JP3237665B2 - Method and apparatus for manufacturing plasma display panel - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関す
るもので、特にプラズマディスプレイパネルの蛍光体層
を形成する方法および蛍光体膜形成装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel used for a display device or the like, and more particularly to a method for forming a phosphor layer of a plasma display panel and a phosphor film forming apparatus.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図３は、交流型（ＡＣ型）のプラズマデ
ィスプレイパネルの概略断面図である。図３において、
１１はフロントカバープレート（前面ガラス基板）であ
り、この基板上に表示電極１２があり、この上を誘電体
ガラス層１３とＭｇＯの結晶配向が（１１１）面に配向
した酸化マグネシウム（ＭｇＯ）誘電体保護層１４が覆
っている。従来このＭｇＯ誘電体保護層１４は、主にＭ
ｇＯを原料に用いた電子ビーム加熱による真空蒸着法が
用いられてきた（例えば特開平５−３４２９９１号公
報）。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a schematic sectional view of an alternating current (AC) type plasma display panel. In FIG.
Reference numeral 11 denotes a front cover plate (front glass substrate) on which a display electrode 12 is provided, on which a dielectric glass layer 13 and a magnesium oxide (MgO) dielectric having a crystal orientation of MgO oriented to the (111) plane. The body protection layer 14 covers. Conventionally, this MgO dielectric protective layer 14 is mainly composed of M
A vacuum deposition method by electron beam heating using gO as a raw material has been used (for example, JP-A-5-342991).

【０００３】また、１５は背面ガラス基板（バックプレ
ート）であり、この基板上にアドレス電極１６および隔
壁１７、蛍光体層１８が設けられており、１９が放電ガ
スを封入する放電空間である。従来この電極層（表示電
極およびアドレス電極）を形成するには主にスクリーン
印刷法が、また蛍光体層を形成するにはスクリーン印刷
法（例えば、特開平８−１６２０１９号公報）、インク
ジェット法（例えば、特開昭５３−７９３７１号公
報）、フォトレジストフィルム法（例えば、特開平６−
２７３９２５号公報）が用いられてきた。[0005] Reference numeral 15 denotes a back glass substrate (back plate) on which address electrodes 16, partition walls 17, and a phosphor layer 18 are provided. Reference numeral 19 denotes a discharge space in which discharge gas is sealed. Conventionally, this electrode layer (display electrode and address electrode) is mainly formed by a screen printing method, and the phosphor layer is formed by a screen printing method (for example, JP-A-8-162019) and an ink-jet method ( For example, JP-A-53-79371, a photoresist film method (for example, JP-A-6-79371).
273925) has been used.

【０００４】また、従来プラズマディスプレイパネルと
して開発されてきたパネル輝度は、４０インチのＮＴＳ
Ｃパネル（セル数が６４０×４８０個でセルピッチが
０．４３ｍｍ×１．２９ｍｍ、１セル面積約０．５５ｍ
ｍ² ）で約２５０ｃｄ／ｍ² であった（例えば、機能材
料１９９６年２月号Ｖｏｌ．１６、Ｎｏ．２、７ペー
ジ）。[0004] The luminance of a panel conventionally developed as a plasma display panel is 40 inches NTS.
C panel (640 x 480 cells, cell pitch 0.43 mm x 1.29 mm, cell area about 0.55 m
m ² ) was about 250 cd / m ² (for example, Functional Materials, February 1996, Vol. 16, No. 2, page 7).

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】近年ハイビジョンをは
じめとする高品位、大画面テレビへの期待が高まってい
る。ＣＲＴは解像度・画質の点でプラズマディスプレイ
や液晶に対して優れているが、奥行きと重量の点で４０
インチ以上の大画面には向いていない。液晶は、消費電
力が少なく、駆動電圧も低いといった優れた特徴を有し
ているが、画面の大きさや視野角に限界がある。これに
対してプラズマディスプレイは、大画面の実現が可能で
あり、すでに４０インチクラスの製品が開発されている
（例えば、機能材料１９９６年２月号Ｖｏｌ．１６、Ｎ
ｏ．２、７ページ）。In recent years, expectations for high-definition, large-screen televisions including high-definition televisions have been increasing. CRTs are superior to plasma displays and liquid crystals in terms of resolution and image quality, but they are 40 and 40 in depth and weight.
Not suitable for large screens larger than inches. Liquid crystals have excellent features such as low power consumption and low driving voltage, but have limitations in screen size and viewing angle. On the other hand, a plasma display is capable of realizing a large screen, and a 40-inch class product has already been developed (for example, Functional Materials, February, 1996, Vol. 16, N.
o. 2, 7).

【０００６】現在製品化されているプラズマディスプレ
イの輝度は、放電空間に封入されたガス（Ｈｅ−Ｘｅ系
やネオン−Ｘｅ系のガス）の放電によって発せられる紫
外線の強度により輝度レベルが左右されている。特にＨ
ｅ−Ｘｅ系ガスによる放電では、Ｘｅの共鳴線による波
長が１４７ｎｍ（ナノメートル）の真空紫外線が放出さ
れ、主にこの波長による紫外線によって放電セル内に塗
布された赤、緑、青の紫外線励起蛍光体を励起発光させ
ている（例えば、応用物理Ｖｏｌ．５１、Ｎｏ．３、１
９８２年、３３４ページ〜３４７ページ、あるいは、光
学技術コンタクトＶｏｌ．３４、Ｎｏ．１、１９９６
年、２５ページ、あるいは、ＮＨＫ技術研究第３１巻、
第１号、昭和５４年、１８ページ）。[0006] The brightness of the plasma display currently commercialized depends on the intensity of the ultraviolet rays generated by the discharge of the gas (He-Xe-based gas or neon-Xe-based gas) sealed in the discharge space. I have. Especially H
In the discharge by the e-Xe-based gas, vacuum ultraviolet rays having a wavelength of 147 nm (nanometer) due to the resonance line of Xe are emitted, and the ultraviolet rays of this wavelength mainly excite the red, green, and blue ultraviolet rays applied in the discharge cells. The phosphor is excited to emit light (for example, Applied Physics Vol. 51, No. 3, 1
982, pages 334 to 347, or Optical Technology Contact Vol. 34, no. 1, 1996
Year, 25 pages, or NHK Technical Research Volume 31,
No. 1, 1979, p. 18).

【０００７】また、現行４０〜４２インチクラスのプラ
ズマディスプレイの画素レベルは、画素数６４０×４８
０個、セルピッチ０．４３ｍｍ×１．２９ｍｍ、１セル
の面積０．５５ｍｍ²である（例えば、機能材料１９９
６年２月号Ｖｏｌ．１６、Ｎｏ．２、７ページ）。さら
に、近年期待されているフルスペックのハイビジョンテ
レビの画素レベルは、画素数が１９２０×１１２５とな
り、セルピッチも４２インチクラスで０．１５ｍｍ×
０．４８ｍｍで１セルの面積は０．０７２ｍｍ²の細か
さになる。したがって、プラズマディスプレイの高精細
化が進むにしたがってセルピッチや１セル当たりの面積
が従来のＮＴＳＣと比較して小さくなるため、輝度の向
上を目指した蛍光体膜の高精度形成技術が望まれてい
る。The pixel level of the current 40 to 42 inch class plasma display is 640 × 48 pixels.
0 cells, cell pitch 0.43 mm × 1.29 mm, cell area 0.55 mm ² (for example, functional material 199
Vol. 16, No. 2, 7). Furthermore, the pixel level of a full-spec high-definition television which is expected in recent years has a pixel number of 1920 × 1125 and a cell pitch of 0.15 mm × 42 inch class.
At 0.48 mm, the area of one cell is as fine as 0.072 mm ² . Accordingly, the cell pitch and the area per cell become smaller as compared with the conventional NTSC as the definition of the plasma display advances, so that a high-precision phosphor film forming technique for improving the luminance is desired. .

【０００８】しかしながら、スクリーン印刷法による蛍
光体塗布では、隔壁に蛍光体インクを充填する際にスク
リーン版が変形し、隣接する隔壁内に蛍光体インクが入
ることにより混色するといった課題がある。また、微細
セルを考えると、スクリーン印刷法による蛍光体塗布で
は、隔壁のピッチが０．１ｍｍから０．１５ｍｍになる
と、隔壁には幅があるため、蛍光体の充填される空間は
０．１ｍｍから０．０８ｍｍ程度の非常に狭い幅とな
り、印刷法によって精度良くしかも高速に粘度の高い
（数万センチポアズ）蛍光体インクを流し込むことは困
難になってくる。However, in the case of applying the phosphor by the screen printing method, there is a problem that the screen plate is deformed when the phosphor ink is filled into the partition walls, and the phosphor ink enters the adjacent partition walls to cause color mixing. Considering a fine cell, in the phosphor coating by the screen printing method, when the pitch of the partition walls is changed from 0.1 mm to 0.15 mm, since the partition walls have a width, the space filled with the phosphor is 0.1 mm. And a very narrow width of about 0.08 mm, and it becomes difficult to accurately and rapidly flow high-viscosity (tens of thousands of centipoise) phosphor ink by a printing method.

【０００９】また、蛍光体と紫外線感光樹脂を用いた蛍
光体フォトフィルム法や、蛍光体フォトペースト法で
は、ある程度精度良く隔壁内に蛍光体を埋め込むことが
可能であるが、露光現像行程を３色繰り返し行う必要が
あることや、現像残りによる混色や、高価な蛍光体材料
の回収が困難であること等の課題がある。In a phosphor photo film method and a phosphor photo paste method using a phosphor and an ultraviolet photosensitive resin, the phosphor can be embedded in the partition wall with a certain degree of accuracy. There are problems such as the necessity of performing color repetition, color mixing due to undeveloped portions, and difficulty in recovering expensive phosphor materials.

【００１０】このような課題を解決できる蛍光体塗布方
法として、特開昭５３−７９３７１号公報や、特開平８
−１６２０１９号公報の様な、蛍光体インクを加圧され
たノズルより噴射させて所望のパターンを基板上に描画
させるインクジェット法が提案されている。インクジェ
ット法では、蛍光体インクをノズルから連続的に吐出さ
せておき、基板あるいはノズルを移動させることで、蛍
光体パターンを隔壁内に充填する。[0010] As a phosphor coating method which can solve such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-79371 and Japanese Patent Application Laid-Open No.
Japanese Patent Application Laid-Open No. -162019 discloses an ink jet method in which a desired pattern is drawn on a substrate by ejecting a phosphor ink from a pressurized nozzle. In the inkjet method, a phosphor pattern is filled in a partition by continuously discharging a phosphor ink from a nozzle and moving a substrate or a nozzle.

【００１１】しかし、インクノズルに複数個のインク吐
出孔を設け、連続的に蛍光体膜を形成する場合、吐出孔
毎のインク吐出速度のバラツキにより蛍光体膜厚が吐出
孔毎に差違を生じる。この差違は、インクノズルの吐出
孔のトータルピッチで繰り返されるため、パネルに縦筋
が発生し、パネルの表示品質を著しく劣化させるといっ
た課題がある。However, when a plurality of ink ejection holes are provided in an ink nozzle and a phosphor film is formed continuously, a difference in the ink ejection speed of each ejection hole causes a difference in the phosphor film thickness for each ejection hole. . Since this difference is repeated at the total pitch of the ejection holes of the ink nozzles, there is a problem that a vertical streak is generated in the panel and the display quality of the panel is significantly deteriorated.

【００１２】また、インクノズルの吐出孔毎のインク吐
出直進性のバラツキにより、隔壁内の蛍光体膜形状が非
対称となる。この非対称性は、インクノズルの吐出孔の
トータルピッチで繰り返されるため、パネルに縦筋を発
生し、パネルの表示品質を著しく劣化させるといった課
題がある。In addition, the shape of the phosphor film in the partition wall becomes asymmetric due to the variation of the ink ejection straightness of each ejection hole of the ink nozzle. Since this asymmetry is repeated at the total pitch of the ejection holes of the ink nozzles, there is a problem that vertical streaks are generated in the panel and display quality of the panel is significantly deteriorated.

【００１３】本発明はかかる点に鑑み、プラズマディス
プレイパネルにおいて安価に精度良く蛍光体層が形成で
きるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。In view of the foregoing, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a plasma display panel in which a phosphor layer can be formed inexpensively and accurately on a plasma display panel.

【００１４】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、隔壁内に蛍光体膜を形成する際、インク
ノズルからのインク吐出速度を、インクが隔壁内から溢
れない範囲で変動させ、前記インクノズルを前記隔壁に
対して水平振動させながら、インクを隔壁内に塗布する
ことで，隔壁内に蛍光体膜を連続的に形成できる方法で
ある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a method for forming a phosphor film in a partition , comprising the steps of:
The ink discharge speed from the nozzles
The ink nozzle to the partition wall.
Apply ink to partition walls while vibrating horizontally
This is a method by which a phosphor film can be continuously formed in the partition.

【００１５】あるいは、隔壁内に蛍光体膜を形成する
際、インクノズルからのインク吐出の直進性を、インク
が隔壁内から溢れない範囲で隔壁内の中心線に対して前
記インクノズルの吐出口をオフセットさせながら変動さ
せ、インクを隔壁内に塗布することで，隔壁内に蛍光体
膜を連続的に形成できる方法であるAlternatively, a phosphor film is formed in the partition.
When printing, the straightness of ink ejection from the ink nozzle
In front of the center line in the bulkhead as long as the
Fluctuates while offsetting the ejection port of the ink nozzle.
And apply ink to the inside of the partition walls to make the phosphor
It is a method that can form a film continuously

【００１６】あるいは、隔壁内に蛍光体膜を形成する
際、インクノズル先端部と隔壁頂部との距離を２００μ
ｍ〜１ｍｍの範囲で変動させ、インクを隔壁内に塗布す
ることで，蛍光体膜を連続的に形成できる方法である。Alternatively, a phosphor film is formed in the partition.
At this time, the distance between the tip of the ink nozzle and the top of the partition is 200μ.
Apply ink to partition walls by varying the range from m to 1 mm
In this way, the phosphor film can be formed continuously.

【００１７】[0017]

【００１８】[0018]

【００１９】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【００２０】（ＰＤＰの全体的な構成及び製法）図１
は、本発明に形態による対向交流放電型ＰＤＰの概略断
面図である。図１ではセルが１つだけ示されているが、
赤、緑、青の各色を発光するセルが多数配列されてＰＤ
Ｐが構成されている。(Overall Configuration and Manufacturing Method of PDP) FIG.
1 is a schematic sectional view of a facing AC discharge type PDP according to an embodiment of the present invention. Although only one cell is shown in FIG. 1,
Many cells that emit red, green, and blue light are arranged and PD
P is configured.

【００２１】このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放
電電極（表示電極）１２と誘電体ガラス層１３およびＭ
ｇＯ保護層１４が配された前面パネルと、背面ガラス基
板１５上にアドレス電極１６、隔壁１７、蛍光体層１８
が配された背面パネルの間に形成される放電空間１９内
に放電ガスが封入された構成となっており、以下に示す
ように作製される。This PDP has a discharge electrode (display electrode) 12, a dielectric glass layer 13,
address electrodes 16, partition walls 17, phosphor layers 18 on a front panel on which a gO protective layer 14 is disposed, and on a rear glass substrate 15.
The discharge gas is sealed in the discharge space 19 formed between the rear panels provided with the, and is manufactured as described below.

【００２２】（前面パネルの作製）前面パネルは、前面
ガラス基板１１上に放電電極（表示電極）１２を形成
し、その上を鉛系の誘電体ガラス層１３で覆い、更に誘
電体ガラス層１３の表面上にＭｇＯ保護層１４を形成す
ることによって作製する。(Fabrication of Front Panel) In the front panel, a discharge electrode (display electrode) 12 is formed on a front glass substrate 11, which is covered with a lead-based dielectric glass layer 13. It is manufactured by forming the MgO protective layer 14 on the surface of.

【００２３】本実施の形態では、放電電極（表示電極）
１２は銀電極であって、紫外線感光性樹脂を含んだ銀電
極用インクをスクリーン印刷法により前面ガラス基板１
１上に均一塗布して乾燥した後、露光現像によるパター
ニングと焼成によって形成する。In the present embodiment, a discharge electrode (display electrode)
Reference numeral 12 denotes a silver electrode. The front glass substrate 1 is formed by screen printing a silver electrode ink containing an ultraviolet-sensitive resin.
After being uniformly coated on the substrate 1 and dried, it is formed by patterning by exposure and development and baking.

【００２４】また、誘電体ガラス層１３の組成は、酸化
鉛［ＰｂＯ］７０重量％、酸化硼素［Ｂ₂Ｏ₃］１５重量
％、酸化珪素［ＳｉＯ₂ ］１５重量％であって。スクリ
ーン印刷法と焼成によって形成する。The composition of the dielectric glass layer 13 is 70% by weight of lead oxide [PbO], 15% by weight of boron oxide [B ₂ O ₃ ], and 15% by weight of silicon oxide [SiO ₂ ]. It is formed by screen printing and firing.

【００２５】また、ＭｇＯ保護層１４は、酸化マグネシ
ウム［ＭｇＯ］からなり、スパッタリング法で形成す
る。The MgO protective layer 14 is made of magnesium oxide [MgO] and is formed by a sputtering method.

【００２６】（背面パネルの作製）背面パネルは、背面
ガラス基板１５上にアドレス電極１６を形成し、その上
にガラス製の隔壁１７を所定のピッチで形成し、更に隔
壁１７によって挟まれた各空間に赤色蛍光体、緑色蛍光
体、青色蛍光体による蛍光体層１８を形成することによ
り作製する。(Preparation of Back Panel) In the back panel, an address electrode 16 is formed on a rear glass substrate 15, glass partitions 17 are formed thereon at a predetermined pitch, and each is sandwiched by the partitions 17. It is manufactured by forming a phosphor layer 18 of a red phosphor, a green phosphor, and a blue phosphor in a space.

【００２７】本実施の形態では、アドレス電極１６は銀
電極であって、背面ガラス基板１５上に、紫外線感光性
樹脂を含んだ銀電極用インクをスクリーン印刷法により
背面ガラス基板１５上に均一塗布して乾燥した後、露光
現像によるパターニングと焼成によって形成する。In the present embodiment, the address electrode 16 is a silver electrode, and a silver electrode ink containing an ultraviolet-sensitive resin is uniformly applied on the rear glass substrate 15 by a screen printing method. After drying, patterning by exposure and development and baking are performed.

【００２８】また、隔壁１７であり、スクリーン印刷法
により数回繰り返し印刷することにより形成する。The partition 17 is formed by repeatedly printing several times by a screen printing method.

【００２９】また、隔壁１７によって挟まれた各空間
に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体をそれぞれイ
ンク吐出法によって塗布することにより蛍光体層１８を
形成する。各色の蛍光体としては、一般的にプラズマデ
ィスプレイパネルに用いられる蛍光体を用いることがで
きるが、ここでは次の蛍光体を用いる。A phosphor layer 18 is formed by applying a red phosphor, a green phosphor, and a blue phosphor to each space sandwiched by the partition walls 17 by an ink discharge method. As the phosphor of each color, a phosphor generally used for a plasma display panel can be used. Here, the following phosphor is used.

【００３０】赤色蛍光体 （Ｙ_XＧｄ_1-X）ＢＯ₃：Ｅｕ
³⁺ あるいは ＹＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ 緑色蛍光体 ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ あるいは Ｚｎ₂
ＳｉＯ₄：Ｍｎ 青色蛍光体 ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ （パネル張り合わせによるＰＤＰの作製）次に、このよ
うにして作製した前面パネルと背面パネルとを封着用ガ
ラスを用いて張り合わせると共に、隔壁１７で仕切られ
た放電空間１９内を高真空（８×１０^-7Ｔｏｒｒ）に排
気した後、所定の組成の放電ガスを、所定の圧力で封入
することによってプラズマディスプレイパネルを作製す
る。Red phosphor (Y _X Gd _{1 -X} ) BO ₃ : Eu
³⁺ or YBO ₃ : Eu ³⁺ green phosphor BaAl ₁₂ O ₁₉ : Mn or Zn ₂
SiO ₄ : Mn Blue phosphor BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ (Preparation of PDP by panel bonding) Next, the front panel and the rear panel thus prepared are bonded together using sealing glass, and the partition walls are formed. After the inside of the discharge space 19 partitioned by 17 is evacuated to a high vacuum (8 × 10 ⁻⁷ Torr), a discharge gas of a predetermined composition is sealed at a predetermined pressure to produce a plasma display panel.

【００３１】封入する放電ガスの組成は、従来から用い
られているＮｅ−Ｘｅ系であるが、Ｘｅの含有量を５体
積％以上に設定し、封入圧力は５００から８００Ｔｏｒ
ｒの範囲に設定する。The composition of the discharge gas to be filled is a conventional Ne—Xe system, but the content of Xe is set to 5% by volume or more, and the filling pressure is 500 to 800 Torr.
Set to the range of r.

【００３２】[0032]

【実施例】次に、本発明について図２を用いて蛍光体層
の形成方法について説明する。Next, a method of forming a phosphor layer according to the present invention will be described with reference to FIG.

【００３３】図２は、プラズマディスプレイパネルの蛍
光体層を形成する際に用いるインク吐出装置の概略図、
および背面パネルの概略図である。背面ガラス基板２０
上に、隔壁１７はスクリーン印刷を繰り返して行った後
焼成することによって形成したもので、一方の端部が交
互に閉じる形になっている。つぎに、隔壁１７で仕切ら
れた各空間に蛍光体層を形成する方法を図２を用いて説
明する。FIG. 2 is a schematic view of an ink discharge device used for forming a phosphor layer of a plasma display panel.
It is the schematic of a back panel. Back glass substrate 20
Above, the partition wall 17 is formed by repeating screen printing and then baking, and one end portion is alternately closed. Next, a method of forming a phosphor layer in each space partitioned by the partition 17 will be described with reference to FIG.

【００３４】図２において２２は蛍光体インク、２３は
蛍光体インク２２を吐出するノズル、２４は蛍光体イン
ク２２をノズル２３に供給するためのサーバー、２５は
ノズル２３に圧力を加えるための加圧器である。In FIG. 2, reference numeral 22 denotes a phosphor ink; 23, a nozzle for discharging the phosphor ink 22; 24, a server for supplying the phosphor ink 22 to the nozzle 23; It is a pressure device.

【００３５】まず、サーバー２４に平均粒径２．０μｍ
の青色蛍光体であるＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺粉末３
０重量％、エチルセルロース（分子量２０万）４．５重
量％、分散剤（グリセリルトリオレエート）２重量％、
平均粒径０．０１μｍのシリカ（ＳｉＯ₂ ）粒子１重量
％、溶剤（ブチルカルビトールアセテート）６２．０重
量％、可塑剤０．５重量％から成る蛍光体混合物を良く
攪拌して１０センチポイズ（ｃｐ）とした塗布液を入
れ、加圧器２５の圧力でノズル２３（ノズル径φ１００
μｍ）から青色蛍光体を背面ガラス基板２０上にストラ
イプ形状に形成された隔壁１７内に吐出させると同時に
背面ガラス基板２０を隔壁１７の方向に合わせて直線状
に移動させて、青色蛍光体ラインを形成する。First, an average particle size of 2.0 μm
Blue phosphor BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ powder 3
0% by weight, 4.5% by weight of ethyl cellulose (molecular weight 200,000), 2% by weight of a dispersant (glyceryl trioleate),
A phosphor mixture composed of 1% by weight of silica (SiO ₂ ) particles having an average particle diameter of 0.01 μm, 62.0% by weight of a solvent (butyl carbitol acetate), and 0.5% by weight of a plasticizer is thoroughly stirred and 10 centipoise ( cp), and the pressure of the pressurizer 25 is applied to the nozzle 23 (nozzle diameter φ100).
μm), the blue phosphor is discharged into the barrier ribs 17 formed in a stripe shape on the rear glass substrate 20, and at the same time, the rear glass substrate 20 is moved linearly in the direction of the barrier ribs 17 to form a blue phosphor line. To form

【００３６】続いて、赤色蛍光体（Ｙ_XＧｄ_1-X）Ｂ
Ｏ₃：Ｅｕ³⁺の蛍光体混合物からなる塗布液をノズル２
３から吐出させると同時に背面ガラス基板２０を隔壁１
７の方向に合わせて直線状に移動させて、赤色蛍光体ラ
インを形成する。ここで、背面ガラス基板２０を直線状
に移動する際、移動速度が一定になるまでの間、隔壁１
７内に充填された青色蛍光体に慣性力が作用し、隔壁１
７の閉じていない端部から青色蛍光体が漏れる。しか
し、隔壁１７の端部は交互に閉じているため隣接する隔
壁内に青色蛍光体が漏れ込むことはなく、混色は発生し
ない。Subsequently, the red phosphor (Y _X Gd _{1 -X} ) B
A coating liquid comprising a phosphor mixture of O ₃ : Eu ³⁺ is applied to a nozzle 2
3 and simultaneously with the rear glass substrate 20
The red phosphor line is formed by linearly moving in the direction of 7. Here, when the rear glass substrate 20 is moved linearly, the partition wall 1 is kept until the moving speed becomes constant.
The inertial force acts on the blue phosphor filled in the inside 7, and the partition 1
Blue phosphor leaks from the unclosed end of 7. However, since the ends of the partition walls 17 are alternately closed, the blue phosphor does not leak into the adjacent partition walls, and no color mixing occurs.

【００３７】同様にして、緑色蛍光体Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍ
ｎのラインを形成した後、５００℃で１０分間焼成し、
蛍光体層を形成する。Similarly, the green phosphor Zn ₂ SiO ₄ : M
After forming the line of n, baking at 500 ℃ for 10 minutes,
A phosphor layer is formed.

【００３８】つぎに、蛍光体層が設けられた背面ガラス
基板２０を封着用ガラスを用いて前記前面ガラス基板と
貼り合わせ、放電ガス封入前に放電空間部１９を８×１
０^-7Ｔｏｒｒの真空度に排気する。なお、隔壁１７の端
部は一方のみ閉じているので、放電空間は均一に排気す
ることができる。放電空間部１９を排気した後、放電空
間部内に１０％キセノン（Ｘｅ）ガスを含むヘリウム
（Ｈｅ）ガスを放電ガスとして５００Ｔｏｒｒ封入し、
交流面放電プラズマディスプレイとした。Next, the back glass substrate 20 provided with the phosphor layer is bonded to the front glass substrate using sealing glass, and the discharge space 19 is filled with 8 × 1 before filling the discharge gas.
Evacuate to 0 ^-7 Torr vacuum. Since only one end of the partition wall 17 is closed, the discharge space can be exhausted uniformly. After exhausting the discharge space portion 19, the discharge space portion is filled with helium (He) gas containing 10% xenon (Xe) gas as a discharge gas at 500 Torr,
An AC surface discharge plasma display was used.

【００３９】つぎに、このパネルを放電維持電圧１５０
Ｖ、周波数３０ＫＨｚで放電させた時の紫外線の波長
は、（間接的な実験から）主に１７３ｎｍを中心とする
Ｘｅの分子線による励起波長であり、パネルの輝度は４
８０ｃｄ／ｍ² であった。Next, this panel was set to a discharge maintaining voltage of 150.
V, the wavelength of ultraviolet light when discharged at a frequency of 30 KHz is the excitation wavelength of a molecular beam of Xe centered at 173 nm (from indirect experiments), and the luminance of the panel is 4
It was 80 cd / m ² .

【００４０】なお、本実施例では端部を閉じた部分の高
さを隔壁１７と同じ高さとしたが、隔壁１７より低い高
さでもよい。In the present embodiment, the height of the portion whose end is closed is the same as the height of the partition wall 17. However, the height may be lower than that of the partition wall 17.

【００４１】[0041]

【発明の効果】以上述べてきたように本発明による蛍光
体層の形成方法を用いたプラズマディスプレイパネル
は、高精度で安定、安価に蛍光体層が形成可能な、従来
にない優れた方法であり、テレビ仕様の広幅ピッチから
ハイビジョンをはじめとする微細ピッチのプラズマディ
スプレイパネルまでに適応できる方法である。As described above, the plasma display panel using the method for forming a phosphor layer according to the present invention is an excellent method which can be used to form a phosphor layer with high accuracy, stability and low cost. This is a method that can be applied to a wide-range pitch of TV specifications to a plasma display panel of a fine pitch including HDTV.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施形態によるプラズマディスプレイ
パネルの断面図FIG. 1 is a cross-sectional view of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施例のインクライン形成法の概略を
示す斜視図FIG. 2 is a perspective view schematically showing an ink line forming method according to an embodiment of the present invention.

【図３】従来の実施形態によるプラズマディスプレイパ
ネルの断面図FIG. 3 is a sectional view of a plasma display panel according to a conventional embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 前面ガラス基板 １２ 放電電極（表示電極） １３ 誘電体ガラス層 １４ ＭｇＯ保護層 １５ 背面ガラス基板 １６ アドレス電極 １７ 隔壁 １８ 蛍光体層 １９ 放電空間 ２０ 背面ガラス基板 ２２ 蛍光体インク ２３ ノズル ２４ サーバー ２５ 加圧器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Front glass substrate 12 Discharge electrode (display electrode) 13 Dielectric glass layer 14 MgO protective layer 15 Back glass substrate 16 Address electrode 17 Partition wall 18 Phosphor layer 19 Discharge space 20 Back glass substrate 22 Phosphor ink 23 Nozzle 24 Server 25 Addition Pressure machine

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 住田 圭介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 青木 正樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−223138（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−155527（ＪＰ，Ａ) 特開2000−126664（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 9/227 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Keisuke Sumita 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Masaki 1006 Kazuma Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-10-223138 (JP, A) JP-A-63-155527 (JP, A) JP-A-2000-126664 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷⁾ , DB name) H01J 9/227

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 フロントカバープレートと、バックプレ
ートの少なくとも一方に設けられた隔壁に，蛍光体イン
クをインクノズルから吐出させながら隔壁内に塗布した
後に焼成することによって前記隔壁内に蛍光体膜を形成
する方法であって、 前記蛍光体インクをインクノズルから吐出させながら隔
壁内に塗布する際に、インク吐出速度を、インクが隔壁
内から溢れない範囲で変動させ、前記インクノズルを前
記隔壁に対して水平振動させながら、インクを隔壁内に
塗布することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の蛍光体膜形成方法。1. A front cover plate and a back press plate.
At least one of the partitions has a phosphor
Was applied to the inside of the partition wall while discharging the ink from the ink nozzle.
Forming a phosphor film in the partition by baking later
A method of, before the Kihotaru the light ink when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, the ink discharge speed was varied within a range in which the ink does not overflow from the partition wall, before the ink nozzles
While horizontal vibration to serial septum, phosphor film formation method of a plasma display panel, wherein the benzalkonium to apply ink to the barrier ribs. 【請求項２】 フロントカバープレートと、バックプレ
ートの少なくとも一方に設けられた隔壁に，蛍光体イン
クをインクノズルから吐出させながら隔壁内に塗布した
後に焼成することによって前記隔壁内に蛍光体膜を形成
する方法であって、 前記蛍光体インクを、インクノズルから吐出させながら
隔壁内に塗布する際に、インク吐出の直進性を、インク
が隔壁内から溢れない範囲で隔壁内の中心線に対して前
記インクノズルの吐出口をオフセットさせながら変動さ
せ、インクを隔壁内に塗布することを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。2. A front cover plate and a back press.
At least one of the partitions has a phosphor
Was applied to the inside of the partition wall while discharging the ink from the ink nozzle.
Forming a phosphor film in the partition by baking later
A method for the pre Kihotaru the light ink, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, the straightness of the ink ejection, the center line of the partition wall to the extent that the ink does not overflow from the partition wall Before
Serial ink varied while offsetting the discharge port of the nozzle, the phosphor film formation method of a plasma display panel, wherein the coated fabric to Rukoto the ink through the septum. 【請求項３】 フロントカバープレートと、バックプレ
ートの少なくとも一方に設けられた隔壁に，蛍光体イン
クをインクノズルから吐出させながら隔壁内に塗布した
後に焼成することによって前記隔壁内に蛍光体膜を形成
する方法であって、 前記蛍光体インクを、インクノズルから吐出させながら
隔壁内に塗布する際に、前記インクノズルの先端部と前
記隔壁頂部との距離を２００μｍ〜１ｍｍの範囲で変動
させ、インクを隔壁内に塗布することを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。3. A front cover plate and a back press plate.
At least one of the partitions has a phosphor
Was applied to the inside of the partition wall while discharging the ink from the ink nozzle.
Forming a phosphor film in the partition by baking later
A method of, varying pre Kihotaru the light ink, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, the distance between the partition top and tip of the ink nozzles in the range of 2 00Myuemu～1mm is allowed, the phosphor film formation method of a plasma display panel, wherein the coated fabric to Rukoto the ink through the septum. 【請求項４】 蛍光体インクを、インクノズルから吐出
させながら隔壁内に塗布する際に、インク吐出速度を、
インクが隔壁内から溢れない範囲で変動させ、前記イン
クノズルを前記隔壁に対して水平振動させながら、イン
クを隔壁内に塗布することを特徴とするプラズマディス
プレイパネルの蛍光体膜形成装置。 4. The method according to claim 1, wherein when the phosphor ink is applied to the inside of the partition wall while being ejected from the ink nozzle, the ink ejection speed is set to:
Ink varied within a range that does not overflow from the partition wall, the in-
A phosphor film forming apparatus for a plasma display panel , wherein ink is applied to the inside of a partition wall while horizontally oscillating a nozzle with respect to the partition wall. 【請求項５】 蛍光体インクを、インクノズルから吐出
させながら隔壁内に塗布する際に、インク吐出の直進性
を、インクが隔壁内から溢れない範囲で隔壁内の中心線
に対して前記インクノズルの吐出口をオフセットさせな
がら変動させ、インクを隔壁内に塗布することを特徴と
するプラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。 5. A fluorescent substance ink, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, the straightness of the ink ejection, the center line of the partition wall to the extent that the ink does not overflow from the partition wall
Do not offset the discharge port of the ink nozzle with respect to
An apparatus for forming a phosphor film for a plasma display panel, characterized in that the ink is applied to the inside of a partition wall while being fluctuated. 【請求項６】 蛍光体インクを、インクノズルから吐出
させながら隔壁内に塗布する際に、前記インクノズルの
先端部と前記隔壁頂部との距離を２００μｍ〜１ｍｍの
範囲で変動させながら、インクを隔壁内に塗布すること
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形
成装置。 6. A fluorescent substance ink, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, while varying the distance between the partition top and tip of the ink nozzles in the range 2 00Myuemu～1mm, A phosphor film forming apparatus for a plasma display panel, wherein an ink is applied to a partition wall. 【請求項７】 電極と誘電体ガラス層が設けられたフロ
ントカバープレートと、電極と蛍光体膜が設けられたバ
ックプレートの少なくとも一方に隔壁が設けられ、それ
ぞれの電極面を所定のギャップを保って相対向させ封着
し、内部に放電可能なガス媒体を封入して成るプラズマ
ディスプレイパネルであって、 前記蛍光体膜を形成する際、前記隔壁内に塗布する蛍光
体インクの隔壁の中央からのオフセット量を変動させる
ことで前記蛍光体膜の非対称性を一定周期で変動させて
形成させたことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。 A front cover plates to 7. A electrode and the dielectric glass layer is provided, the electrode and the phosphor film partition wall is provided on at least one of the back plates provided is predetermined gap each electrode surface sealed to opposed by keeping, a plasma display panel comprising encapsulating a dischargeable gas medium therein, when forming the phosphor layer, septal wall of phosphor ink to be applied in the partition wall A plasma display panel formed by changing the asymmetry of the phosphor film at a constant period by changing the offset amount from the center of the plasma display panel. 【請求項８】 インクノズルから吐出される蛍光体イン
クにより隔壁内に蛍光体膜を形成する際、前記インクノ
ズルの先端部と前記隔壁頂部との距離を２００μｍ〜１
ｍｍの範囲で垂直振動させながら、前記隔壁内に蛍光体
膜を形成する、請求項３記載のプラズマディスプレイパ
ネルの蛍光体膜の形成方法。 8. When forming the phosphor film in the partition wall by the phosphor ink discharged from the ink nozzles, the distance between the a tip portion of the ink nozzle partition wall top 2 00Myuemu～1
while the vertical vibration in the range of mm
The method for forming a phosphor film of a plasma display panel according to claim 3, wherein the film is formed. 【請求項９】 少なくとも蛍光体インク供給手段とイン
クノズルと、前記インクノズルからのインク吐出速度の
可変手段を具備し、蛍光体インクを、前記インクノズル
から吐出させながら隔壁内に塗布する際に、前記インク
吐出速度の可変手段によりインク吐出速度を、インクが
隔壁内から溢れない範囲で変動させ、前記インクノズル
を前記隔壁に対して水平振動させながら、インクを隔壁
内に塗布することを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネルの蛍光体膜形成装置。 9. at least a phosphor ink supplying means and ink nozzles, comprising a variable means of the ink discharge speed from the ink nozzles, the fluorescent body inks, when applied to the partition wall while discharging from said ink nozzles The ink ejection speed is varied by the ink ejection speed varying means within a range in which ink does not overflow from the inside of the partition wall.
Wherein the ink is applied to the inside of the partition wall while horizontally vibrating with respect to the partition wall. 【請求項１０】 少なくとも蛍光体インク供給手段とイ
ンクノズルと、前記インクノズルの水平方向加振手段を
具備し、蛍光体インクを、前記インクノズルから吐出さ
せながら隔壁内に塗布する際に、前記インクノズルを前
記水平方向加振手段によりインクが隔壁内から溢れない
範囲で変動させ、インクを隔壁内に塗布することを特徴
とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装
置。 10. and the ink nozzle least phosphor ink supplying means, comprises a horizontal vibrating means of the ink nozzles, the fluorescent body inks, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, The phosphor film forming apparatus for a plasma display panel, wherein the ink nozzle is moved by the horizontal vibrating means within a range where the ink does not overflow from the inside of the partition, and the ink is applied to the inside of the partition. 【請求項１１】 少なくとも蛍光体インク供給手段とイ
ンクノズルと、前記インクノズルの垂直方向移動手段を
具備し、蛍光体インクを、前記インクノズルから吐出さ
せながら隔壁内に塗布する際に、前記インクノズルの先
端部と前記隔壁頂部との距離を２００μｍ〜１ｍｍの範
囲で変動させながら、インクを隔壁内に塗布することを
特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成
装置。 11. A least a phosphor ink supplying means and ink nozzles, comprising a vertical moving means of the ink nozzles, the fluorescent body inks, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, the A phosphor film forming apparatus for a plasma display panel, wherein ink is applied to a partition wall while changing a distance between a tip end portion of an ink nozzle and a top of the partition wall within a range of 200 μm to 1 mm. 【請求項１２】 少なくとも蛍光体インク供給手段とイ
ンクノズルと、前記インクノズルの垂直方向加振手段を
具備し、蛍光体インクを、前記インクノズルから吐出さ
せながら隔壁内に塗布する際に、前記インクノズルを前
記垂直方向加振手段によりインクが隔壁内から溢れない
範囲で振動させ、インクを隔壁内に塗布することを特徴
とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装
置。 12. and the ink nozzle least phosphor ink supplying means, comprising a vertically vibrating means of the ink nozzles, the fluorescent body inks, when applied to the partition wall while discharging from the ink nozzles, The phosphor film forming apparatus for a plasma display panel, wherein the ink nozzle is vibrated by the vertical vibrating means within a range where the ink does not overflow from the inside of the partition, and the ink is applied to the inside of the partition. 【請求項１３】 請求項１から３記載のいずれかの蛍光
体膜形成方法で蛍光体膜を作成した請求項７記載のプラ
ズマディスプレイパネル。 13. The fluorescence according to any one of claims 1 to 3.
The plasma display panel according to claim 7 , wherein the phosphor film is formed by a body film forming method.