JP3232713B2 - ノイズフィルタ - Google Patents

ノイズフィルタ

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はバリスタ特性、コンデン
サ特性及び抵抗特性を兼ね備えた三端子型のノイズフィ
ルタに関し、特に半導体磁器を形成するセラミック層を
介して複数の内部電極と抵抗体を形成した積層型のノイ
ズフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】一般的に電子機器、特にコンピューター
機器において、静電気サージ等のトランジェントノイズ
の侵入によって、IC,LSIをはじめとする半導体デ
バイスが誤動作するのを回避することは重要な課題とな
っている。従来、このトランジェントノイズの侵入によ
る弊害を防止するために、セット、基板に対してグラン
ドを設定したり、基板上の電子部品素子の配列を工夫し
たり、あるいは、別途ディスク型バリスタやLCフィル
タ等を回路に付加していた。その中でもバリスタは回路
に加えることが比較的簡単で低電圧、低容量であり、他
の方法と比べても、ノイズ吸収素子として適しているた
め、よく使用されている。
【0003】近年、電子機器の小型化、薄型化に伴い、
部品の小型化、SMT(表面実装)化が必要となってき
ており、これは、バリスタにおいても同じことがいえる
が、前記ディスク型バリスタでは構造上、小型化、SM
T化に対応できなかった。そのため、小型化、SMT化
に対応できるものとして積層型のバリスタが提案されて
いる。(例えば、特公昭58-23921号)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
積層型バリスタは小型化、SMT化には対応できるもの
の、電圧抑制能力はディスク型バリスタとほとんど変ら
ないことから、ノイズの程度によっては、半導体デバイ
スを保護しきれない場合があり、この点での向上が課題
とされている。
【0005】この課題を解決するために、例えば、抵抗
を外付けすること、あるいは、抵抗をバリスタ表面に形
成することが考えられる。しかしながら、抵抗を外付け
した場合には、バリスタの実力値以上に電圧を抑制する
ことができるものの、新たに抵抗を外付けした分、コス
トアップすることになり、実装スペースも拡大すること
になる。また、バリスタ表面に抵抗を形成した場合に
は、外部からの機械的負荷により、バリスタ表面の抵抗
が損傷しやすく、そのため、電気的特性が悪化する等の
不都合が生じる恐れがある。
【0006】そこで、この従来の積層型バリスタにおけ
る電圧抑制能力を改善するために、電気回路的にみて、
バリスタに対して非対称に抵抗体を内蔵した積層型バリ
スタを本出願人は先に提案した。この積層型バリスタは
電圧抑制能力が大きく改善されるものであるが、信号の
入出力に方向性があるため、部品の方向を判別するため
に、梱包時に同一方向に向けて梱包する等の手間が必要
であり、また、実装時には実装方向を誤る恐れもあっ
た。
【0007】本発明はこのような課題を考慮したうえで
なされたものであり、小型化、SMT化に対応しつつ、
電圧抑制力を向上して、ノイズによる半導体デバイス等
の誤動作を確実に防止し、さらに信号の入出力に方向性
がないノイズフィルタを提供することを目的としてい
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
ノイズフィルタは、複数のセラミック層を積層して半導
体磁器を構成し、該半導体磁器の内部に前記セラミック
層を介して複数の内部電極と抵抗体を形成したノイズフ
ィルタであって、前記半導体磁器の左,右側面に第1,
第2側面電極を形成し、前,後側面に第3,第4側面電
極を形成するとともに、前記セラミック層の第1セラミ
ック層に第1内部電極を形成し、該第1内部電極の両端
を前記第3,第4側面電極に接続し、前記セラミック層
の第2セラミック層に、該セラミック層を介して前記第
1内部電極との一部と重なるように第2内部電極を前記
半導体磁器内部に封入して形成し、該第2内部電極の両
端にその一部が接するように抵抗体を前記セラミック層
の第3セラミック層の両端に形成し、該抵抗体を介して
前記第2内部電極を前記第1,第2側面電極に接続した
ことを特徴とする。
【0009】本発明の請求項2に係るノイズフィルタ
は、前記半導体磁器を形成するセラミック層の一つの
左,右端縁に導電体を形成するとともに、該導電体を介
して前記抵抗体を前記第1,第2側面電極に接続したこ
とを特徴とする。
【0010】本発明の請求項3に係るノイズフィルタ
は、前記半導体磁器の第1〜第4側面電極を除く外表面
をガラス膜で覆ったことを特徴とする。
【0011】
【作用】本発明に係るノイズフィルタによれば、電圧非
直線特性を有する半導体磁器を形成する複数のセラミッ
ク層を介して、第1,第2内部電極を設け、さらに、第
2内部電極の両端縁にその一部が接するように第2内部
電極に対して対称に抵抗体を設けたので、第1内部電極
と第2内部電極の間で電圧非直線特性を得ながら、抵抗
体でバリスタの実力値以上の電圧抑制能力を得られる。
また、電気回路的に、バリスタに対して抵抗体が対称に
設けられているため、信号の入出力の方向性をなくすこ
とができる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
【0013】図1〜図4は本発明の請求項1に係るノイ
ズフィルタの一実施例を説明するための図である。図に
おいて、1は本実施例のノイズフィルタである。このノ
イズフィルタ1を構成する半導体磁器3は複数のセラミ
ック層2を積層し、この積層体を一体焼結してなる直方
体状のものである。この半導体磁器3の左,右側面3
a,3bには第1,第2側面電極4,4が形成されてお
り、前,後側面3c,3dにはの中央部には第3,第4
側面電極5,5が形成されている。
【0014】また、半導体磁器3の内部には第1セラミ
ック層2aを介して第1内部電極6が形成されている。
第1内部電極6の両端縁6a,6bは半導体磁器3の
前、後側面3c,3dに露出しており、第3,第4側面
電極5,5に接続されている。さらに、半導体磁器3の
内部には第2セラミック層2bを挟んで、第1内部電極
6と重なるように第2内部電極7が形成されている。第
2内部電極7の両端縁7a,7bは半導体磁器3の内部
に封入されている。第1内部電極6と第2内部電極7と
に挟まれた第2セラミック層2bが電圧非直線特性を発
現している。
【0015】さらに、半導体磁器3の内部には第3セラ
ミック層2cを介して抵抗体8,9が形成されている。
抵抗体8の一端縁8aは第2内部電極7の一端縁7aに
接続され、他端縁8bは半導体磁器3の右側面3bに露
出しており、第1側面電極4に接続されている。また、
抵抗体9の一端縁9aは第2内部電極7の他端縁7bに
接続され、他端縁9bは半導体磁器3の左側面3aに露
出しており、第2側面電極4に接続されているもので、
抵抗体8,9は第2内部電極7に対して対称に設けられ
ている。これらの抵抗体8,9は厚さ、幅を選定するこ
とにより、所定の抵抗値に設定される。
【0016】また、図示していないが、半導体磁器3の
第1,第2側面電極4,4及び第3,第4側面電極5,
5を除く外表面にはガラス膜が被覆形成されている。こ
れにより、耐湿性や耐薬品性を向上できるとともに、漏
れ電流を低減できる。
【0017】次に、本実施例のノイズフィルタ1の製造
方法を一例を挙げて説明する。まず、純度99%以上のZ
nOを主成分とし、これにBi23 、CoCO3 、M
nO2 及びSb22 をそれぞれ98mol %、0.5mol
%、0.5mol %、0.5mol%の割合で秤量し、これに純水
を加えてボールミルで24時間混合してスラリーを形成す
る。次にこのスラリーを濾過乾燥して造粒した後、800
℃の温度で2時間仮焼成する。
【0018】次に、仮焼成物をパルベライザーにより粗
粉砕した後、これに純水を加えてボールミルで微粉砕す
る。次いで、この微粉末を濾過乾燥させた後、有機バイ
ンダーとともに溶媒中に分散させてスラリーを形成す
る。この後、このスラリーを、ドクターブレード法によ
り厚さ50μmのセラミックグリーンシートを形成し、こ
のグリーンシートを所定寸法の大きさに打ち抜いて複数
枚のセラミック層2を形成する。
【0019】次に、Ag−Pd(7:3)合金からなる
導電ペーストを第1セラミック層2aの上面にスクリー
ン印刷して第1内部電極6を形成する。この第1内部電
極6は、これの両端縁6a,6bが第1セラミック層2
aの長手方向両側端に位置するように形成する。また、
第2セラミック層2bの上面には同じく導電ペーストを
印刷して第2内部電極7を形成する。この第2内部電極
7は、これの両端縁7a,7bが第2セラミック層2a
の内方に位置するように形成する。
【0020】次いで、RuO2 にPb2 Ru27 及び
BiRu27 を60wt%以下混合し、これにワニスを加
えて抵抗ペーストを作成し、この抵抗ペーストを第3セ
ラミック層2cにスクリーン印刷して抵抗体8,9を形
成する。抵抗体8は、その一端縁8aが第2内部電極7
の他端縁7b上に位置するように形成し、他端縁8bが
第3セラミック層2cの外縁に位置するように形成され
る。抵抗体9は、その一端縁9aが第2内部電極7の一
端縁7a上に位置するように形成し、他端縁9bが第3
セラミック層2cの外縁に位置するように形成される。
【0021】ここで、抵抗体8,9にRuO2 にPb2
Ru27 及びBiRu27 を60wt%混合したものを
使用したのは、これにより、抵抗値の制御が容易にでき
るからである。また、これと合わせて、抵抗体8,9の
長さ、面積や積層数を適宜変えることによって、所望の
抵抗値を設定でき、さらに、Pb2 Ru27 、BiR
27 の混合量を60wt%以下としたのは、この値を越
えると抵抗値にばらつきが生じるからである。
【0022】そして、図3に示すように、第1内部電極
6と第2内部電極7とが第2セラミック層2aを挟んで
対向するように第1セラミック層2aと第2セラミック
層2bを重ねる。また、第2セラミック層2aに抵抗体
8,9が形成された第3セラミック層2cを重ねる。こ
の場合、抵抗体8の一端縁8aが第2内部電極7の他端
縁7bに少し重なるように配置し、抵抗体9の一端縁9
aが第2内部電極7の一端縁7aに少し重なるように配
置する。さらに、この上下に他のセラミック層2を複数
枚重ね、これに2t /cm2 の圧力を加えて圧着し、積層
体を形成する。
【0023】次に、積層体を所定寸法にカットし、これ
を900 ℃の温度で2時間焼成して半導体磁器3を得る。
次いで、この半導体磁器3を磁器ポット内に収容すると
ともに、磁器ポット内にホウケイ酸亜鉛ガラスを添加
し、この磁器ポットを回転させながら600 〜900 ℃の温
度で熱処理を施す。これにより半導体磁器3の外表面部
分にガラス膜を形成する。そして最後に、半導体磁器3
の左、右側面3a,3b及び前、後側面3c,3dの中
央部にAgペーストを塗布した後、800 ℃で10分間焼き
付けて第1,第2側面電極4,4及び第3,第4側面電
極5,5を形成する。これによりノイズフィルタ1が構
成される。
【0024】本実施例のノイズフィルタ1は、図4の等
価回路図に示すように、第1側面電極4と第3側面電極
5との間に電源を接続し、第2側面電極4と第4側面電
極5との間に半導体デバイスAを接続する。これにより
半導体デバイスAに異常電圧が加わるのを防止するとと
もに、バリスタ部Zの電圧抑制能力を越える過電圧エネ
ルギーを抵抗体8,9で吸収することとなる。また、図
4に示されているように、電気回路的に、バリスタ部Z
に対して抵抗体8,9は対称に設けられているため、第
2側面電極4と第4側面電極5が入力側、第1側面電極
と第3側面電極が出力側となっても支障はない。
【0025】このように本実施例によれば、第2内部電
極7と側面電極4,4との間に抵抗体8,9を付加する
とともに、この抵抗体8,9を半導体磁器3の内部に形
成したので、半導体デバイスAの破壊電圧より大きいノ
イズが侵入しても抵抗体8,9で抑制することができ、
その結果ICやLSI等の半導体デバイスの誤動作を確
実に回避できる。また、電気回路的に、バリスタの両端
に対称に抵抗を設けたので、信号の入出力の方向性をな
くすことができる。
【0026】
【表1】
【0027】表1は、本実施例のノイズフィルタ1の効
果を確認するために行った試験結果を説明するためのも
のである。この試験は上述した製造方法によりサンプル
No.1,2を作成し、この各サンプルの抵抗値(Ω)、
バリスタ電圧(V1mA)、非直線係数(α)、及び静電
容量値(pf)を測定するとともに、それぞれのばらつき
を調べた。また、ばらつきは3CV=σ×3/平均×100
%で求めた(σは標準偏差)。
【0028】表1からも明らかなように、本実施例によ
れば、両サンプルNo. 1,2ともバリスタ電圧、非直線
係数、静電容量のいずれも満足できる値が得られてい
る。また、抵抗値は231 、201 Ωのような値が得られて
おり、しかもばらつきは5.2 〜3.5 %と小さい。この結
果、半導体磁器の内部に抵抗体を形成して一体焼結する
ことによって、バリスタ特性及び誘電率の変化がなく、
しかも抵抗のばらつきが小さく、かつ結合安定性の良い
ノイズフィルタが得られることがわかる。ちなみに、各
サンプルの抵抗体にノイズシュミレーションを用いて2
kV・200nSEC の方形波を印加したところ、いずれも抵抗
体の変化は2%未満であった。
【0029】図5はサンプルNo. 1,2を採用して、図
4に示すような回路を構成し、これに高電圧パルスを印
加したときのパルス波形を示す。図5からも明らかなよ
うに本実施例サンプルでは40V 程度となっており、従来
のバリスタの略1/5 に低減できている。この点からも半
導体磁器の内部に抵抗体を形成したものは電圧抑制能力
が高く半導体デバイスの保護に有効であることがわか
る。
【0030】図6は、サンプルNo. 1,2の周波数特性
を示す図であり、この図からも明らかなように、優れた
周波数特性が得られており、内部電極による浮遊容量の
発生が少ないことがわかる。
【0031】図7は本発明の請求項2に係るノイズフィ
ルタの一実施例を説明するための図である。図中、図3
と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
【0032】図7において、第2内部電極が形成された
第2セラミック層2bの両端縁に導電体10,11をパ
ターン形成し、第3セラミック層2cに抵抗体12,1
3を形成している。抵抗体12の一端縁12aは第2内
部電極7の他端縁7bに接続され、他端縁12bは導電
体10を介して第1側面電極4と接続されている。抵抗
体13の一端縁13aは第2内部電極7の一端縁7aに
接続され、他端縁13bは導電体11を介して第2側面
電極4と接続されている。このように本実施例のノイズ
フィルタは構成されている。
【0034】本実施例では、抵抗体12,13の各端縁
を半導体磁器3の内部に封入し、導電体10,11を介
して第1,第2側面電極4,4と接続したので、半導体
磁器3にガラス膜を形成する場合に、ガラスが抵抗体1
2,13に拡散するのを防止できる。その結果、抵抗値
の変動を回避し、設計どおり抵抗値を得ることができ
る。
【0035】
【発明の効果】請求項1に係るノイズフィルタによれ
ば、電圧非直線特性を有する半導体磁器内部の複数のセ
ラミック層において、第1,第2内部電極を形成し、第
2内部電極の両端縁に抵抗体を付加したので、第1内部
電極と第2内部電極の間で電圧非直線特性を得ながら、
抵抗体でバリスタの実力値以上の電圧抑制能力を得られ
ることとなり、半導体デバイスの誤動作を確実に防止で
きる効果がある。
【0036】また、抵抗体を内蔵した構造であるから、
抵抗部品を外付けする場合に比べて部品点数、部品コス
トを低減できるとともに、実装スペースを縮小できる。
さらに、半導体磁器の表面に抵抗体を被覆形成する場合
に比べて機械的負荷による抵抗体の損傷を回避でき、ひ
いては寿命特性を向上することができる。また、製品の
小型化、SMT化に対応できるのはもちろんである。
【0037】さらに、電気回路的に対称となるように、
バリスタ両端に抵抗を設けたので、部品の信号入出力に
方向性がなくなり、梱包時に同一方向に向けて梱包する
手間を省略することができ、実装時に実装方向を確認し
ながら、実装する必要がないので、使い勝手がよい。ま
た、構造上、実装方向を誤ることがないため、実装方向
の誤りに起因する誤動作をなくすことができる。
【0038】請求項2に係るノイズフィルタによれば、
半導体磁器内部に抵抗体を封入し、導電体を介して側面
電極に抵抗体を接続したので、ガラス膜を半導体磁器の
外部に形成した場合においても、ガラスが半導体に拡散
することに起因する抵抗値の変動を回避することがで
き、設計どおりの抵抗値が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタを示
す断面図である。
【図2】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタを示
す斜視図である。
【図3】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタを示
す分解斜視図である。
【図4】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタを示
す等価回路図である。
【図5】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタの効
果を示す特性図である。
【図6】請求項1の一実施例に係るノイズフィルタの効
果を示す特性図である。
【図7】請求項2の一実施例に係るノイズフィルタを示
す分解斜視図である。
【符号の説明】
1……ノイズフィルタ 2……セラミック層 2a……第1セラミック層 2b……第2セラミック層 2c……第3セラミック層 3……半導体磁器 3a,3b……左,右側面(第1,第2側面) 3c,3d……前,後側面(第3,第4側面) 4……第1,第2側面電極 5……第3,第4側面電極 6……第1内部電極 7……第2内部電極 7a……一端縁 7b……他端縁 8,9,12,13……抵抗体 8a,9a,12a,13a……一端縁 8b,9b,12b,13b……他端縁 10,11……導電体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後 外茂昭 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 審査官 江畠 博 (56)参考文献 特開 平3−49306(JP,A) 特開 平5−226184(JP,A) 特開 平5−226117(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01C 7/02 - 7/22

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のセラミック層を積層して半導体磁
    器を構成し、該半導体磁器の内部に前記複数のセラミッ
    ク層を介して複数の内部電極と抵抗体を形成したノイズ
    フィルタであって、前記半導体磁器の左,右側面に第
    1,第2側面電極を形成し、前,後側面に第3,第4側
    面電極を形成するとともに、前記セラミック層の第1セ
    ラミック層に第1内部電極を形成し、該第1内部電極の
    両端を前記第3,第4側面電極に接続し、前記セラミッ
    ク層の第2セラミック層に、該セラミック層を介して前
    記第1内部電極との一部と重なるように第2内部電極を
    前記半導体磁器内部に封入して形成し、該第2内部電極
    の両端にその一部が接するように抵抗体を前記セラミッ
    ク層の第3セラミック層の両端に形成し、該抵抗体を介
    して前記第2内部電極を前記第1,第2側面電極に接続
    したことを特徴とするノイズフィルタ。
  2. 【請求項2】 前記半導体磁器を形成するセラミック層
    の一つの左,右端縁に導電体を形成するとともに、該導
    電体を介して前記抵抗体を前記第1,第2側面電極に接
    続したことを特徴とする請求項1記載のノイズフィル
    タ。
  3. 【請求項3】 前記半導体磁器の第1〜第4側面電極を
    除く外表面をガラス膜で覆ったことを特徴とする請求項
    1,2記載のノイズフィルタ。
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