JP3231336B2 - 摺動部材及びその表面処理方法ならびにロータリーコンプレッサーベーン - Google Patents

摺動部材及びその表面処理方法ならびにロータリーコンプレッサーベーン

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泰史 山口
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、ロータリー型コンプレッサー用ベーン又は
デファレンシャル、トランスミッション用ワッシャ等の
ように、片当り又は局部荷重が加わるような高負荷で使
用される摺動部材に関し、より詳しく述べるならば、素
材として使用されるアルミニウム合金に摺動特性の向上
を目的とする表面処理を施した摺動部材に関するもので
ある。また、本発明はアルミニウム合金の表面処理方法
に関するものである。
背景技術 上記したコンプレッサーなどを軽量化するために摺動
部材及び相手材の双方がアルミニウム製となることが多
く、この場合アルミニウムどうしの摺動となるために次
のような表面処理が摺動部材であるベーンに施されてい
る。
その一つでは、例えばベーン表面に耐摩耗性に優れた
無電解Ni−Pめっきもしくは無電解Ni−Bめっきを施す
ことである。別の表面処理では、無電解Ni−Pめっき皮
膜に硬質物、固体湿潤剤等を分散させることにより摺動
特性を向上することも行われている。また、無電解Ni−
Pめっき皮膜を300℃以下に加熱することにより硬化さ
せ耐摩耗性を向上させることも行われている。
一般に摺動部材の表面処理に使用されている無電解Ni
−PめっきはP含有量が6〜10%の中・高P型であっ
て、めっき後のHv450〜500の硬度が熱処理によりHv700
〜800という極めて高い硬度まで上昇することを利用し
て摺動特性を向上させている。例えば特開昭64−32087
号公報によるとベーンにP含有量が8〜10%の無電解Ni
−Pめっき皮膜を形成し、熱処理によりHv700〜800程度
まで硬度を上昇させている。しかしHv700〜800もの高い
皮膜硬度を得るための高い熱処理温度では、アルミニウ
ム合金は材料強度が低下するため、熱処理温度に限界が
あり、実際的にはHv500〜600程度の硬度をもつ皮膜しか
得られない。
特開平8−158,058号公報によると、P−0.5〜3.0wt
%、B−0.05〜2.0wt%のNi−P−B系無電解めっきを
アルミニウム合金母材に施した摺動部材が提案されてい
る。この無電解めっき皮膜は、母材であるアルミニウム
合金の硬度を著しく低下させない温度での熱処理によっ
てHv800以上の極めて高い硬度に硬化される特長を有し
ている。
また無電解Ni−Bめっきは、めっき皮膜中のB含有量
が0.3〜0.8重量%のものが摺動材料の表面処理として用
いられている。無電解Ni−Bめっき皮膜は熱処理によっ
てHv800程度まで硬度が上昇するものの、めっき皮膜に
発生するふくれ欠陥が助長される傾向があるので、特に
厳しい試験条件下ではめっき皮膜に異常摩耗が起こるこ
とがあった。
従来、摺動部材の表面に施されるNi−Pめっき皮膜は
熱処理により高い硬度が得られる中・高P型のものが使
用されていたが、耐摩耗性は期待されたレベルには達し
なかった。特に、ベーンの相手材であるロータ、ハウジ
ングのAl−Si合金中の初晶Siが50μm以上に粗大になり
かつ/またはSi粒子個数が300個/mm2以上と多くなると
高P型無電解めっき皮膜に異常摩耗が発生した。また荷
重が増大したときベーンの面圧が増大し、異常摩耗が発
生した。
また、公知のNi−P−B無電解めっき皮膜はP含有量
は通常のNi−P無電解めっき皮膜のものよりは低いもの
の、Niの結晶性はかなり乱されており、ひいては摺動特
性上の問題を起こしている。これは少量のBでもNiの結
晶性を乱すことに起因することが分かった。
したがって、本発明は高い局部荷重が加えられるよう
な用途に使用でき、優れた摺動特性を有するNi系無電解
めっきを皮膜を施したアルミニウム系摺動部材を提供す
ることを一つの目的とする。
さらに、本発明は低P型無電解Ni−P−Bめっき皮膜
の摺動特性を向上する表面処理法を提供することを目的
とする。
発明の開示 本発明者は、無電解Ni−P及びNi−P−Bめっき皮膜
が施されたアルミニウム合金からなる素材の摺動特性を
改良するべく鋭意研究したところ、意外にも低P型Ni−
P無電解めっきに少量のBを添加した無電解めっき皮膜
は結晶性の乱れが少なく、また熱処理温度が低い場合の
硬度が高いことを見出した。
この知見により完成した、本発明の摺動部材は、アル
ミニウム合金からなる素材の摺動面にP0.05〜5重量%
及びB0.01〜0.04重量%を含有する無電解Ni−P−Bめ
っき皮膜を形成した摺動部材である。
本発明に係る摺動部材表面処理方法の第一の方法は、
アルミニウム合金からなる素材の摺動面に形成されたP
0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含有する無電
解Ni−P−Bめっき皮膜にバレル研摩処理を施す方法で
ある。
本発明の第二の方法は、アルミニウム合金からなる素
材の摺動面に形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.
04重量%を含有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜にショ
ットブラスト処理を施す方法である。
本発明の第三の方法は、アルミニウム合金からなる素
材の摺動面に形成されたP含有量0.05〜5重量%及びB
0.01〜0.04重量%を含有する無電解Ni−P−Bめっき皮
膜にレーザービームを照射する方法である。
本発明の第四の方法は、アルミニウム合金からなる素
材の摺動面に形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.
04重量%を含有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜に高周
波誘導熱処理を施す方法である。
上記無電解Ni−P−Bめっき皮膜は、Ni結晶内に入り
込み皮膜の硬度を高めるCo0.1〜1.0重量%及び/又はW
0.05〜1.0重量%をさらに含有することができる。
図面の簡単な説明 第1図は本発明の組成範囲内の無電解Ni−P−Bめっ
き皮膜のX線回折像である。
第2図は、本発明の組成範囲よりP,B量が多い無電解N
i−P−Bめっき皮膜のX線回折像である。
第3図は、低P,B無電解めっき皮膜の組織を電子顕微
鏡により観察した写真(倍率1000倍)である。
第4図は、低P,B無電解めっき皮膜をショットブラス
ト処理した後の組織を電子顕微鏡により観察した写真
(倍率1000倍)である。
第5図は、低P、B無電解めっき皮膜をバレル研摩し
た後の組織を電子顕微鏡により観察した写真(倍率1000
倍)である。
第6図は、高P,B無電解めっき皮膜の写真(倍率1000
倍)である。
第7図は、P含有量が2重量%,B含有量が0.02重量%
の無電解めっき皮膜の表面硬度と熱処理温度の関係を示
すグラフである。
第8図は、アルミニウム合金基材硬さと熱処理温度の
関係を示すグラフである。
第9図は、P含有量が2.8重量%,B含有量が0.02重量
%の無電解めっき皮膜の表面硬度と熱処理時間の関係を
示すグラフである。
第10図は、摩耗試験の説明図である。
発明を実施するための最良の形態 本発明における、P含有量が0.05〜5重量%の低P型
無電解Ni−P−Bめっき皮膜は、P含有量が少ないため
にNiの結晶格子の歪が少なくめっき皮膜の結晶性が優れ
ている。さらに、B含有量が0.01重量%未満であるとな
じみ性が不足し、一方0.04重量%を超えるとNi結晶の歪
が多くなり、外力に対して不均一変形が起こり易くなっ
て、クラック、疲労をもたらすので、本発明においては
B含有量が0.01〜0.05重量%の範囲内である。
また、P及びBを上記の範囲で添加された無電解Niめ
っき皮膜は、熱処理により硬さが上昇し耐摩耗性が向上
する。
また、上記のP含有量範囲では無電解めっき皮膜に発
生する引張内部応力(めっき厚さ10〜30μmのNi−P皮
膜で1〜5kg/mm2)に起因する剥離、クラック、ふくれ
あるいは疲労強度の低下などの現象はみられない。さら
に上記範囲で極微量添加したBは圧縮応力を発生させる
(めっき厚さ10〜30μmのNi−B皮膜で−0.1〜1.5kg/m
m2)ため、無電解Ni−Pめっき皮膜の引張応力を緩和
し、この結果内部応力に起因するクラックや疲労が起こ
り難くなる。
上記の無電解Ni−P−Bめっき皮膜にバレル研摩処
理、ショットブラスト処理、レーザービーム処理及び高
周波誘導熱処理を施すと結晶が大きく歪まず変形や溶融
が一様に進行するために、摺動特性の上で好ましい結晶
構造や高い皮膜硬さ等の表面状態が得られる。具体的に
は、めっき後の皮膜表面には結晶粒界が認められるが、
例えばバレル研摩やショットブラスト処理により表面が
押しつぶされるに伴い表面近傍で結晶粒界がなくなり、
より平滑で硬質な状態が得られる。無電解Ni−P−Bめ
っき皮膜のP含有量が0.05%未満であると無電解めっき
自体が困難であり、また耐焼付性の面で摺動特性は優れ
ない。一方P含有量が5重量%を超えると、組織がNi−
P−B化合物と非晶質構造の複合組織となり易い。この
組織ではNi−P−B化合物析出界面,結晶粒界などの変
形し易い場所が多いために外力が加わると不均一変形が
起こり易い。また、融液の液相線と固相線の差が大きい
ために、レーザービームによる高密度エネルギーが加え
られると凝固後の偏析が大きくなり、また融液の流動が
激しく結晶歪みが大きくなる。なお、P含有量は1.5〜
2.5重量%である。B含有量は0.01〜0.04重量%であ
る。
無電解Ni−P−Bめっき皮膜の厚さは5〜40μmが一
般的であり、より好ましくは10〜20μmである。
続いて図面を参照して本発明の特長をより詳しく説明
する。
第1図はP2.0重量%及びB0.02重量%を含有する無電
解Ni−P−Bめっき皮膜(a)のX線回折像を示し、又
第2図はP8重量%及びB3重量%を含有する無電解Ni−P
−Bめっき皮膜(b)のX線回折像を示す。これらの図
において、第1図の皮膜(a)はP及びB含有量が本発
明範囲内であり、第2図の皮膜(b)はこれらが本発明
範囲を超えるめっき皮膜のX線回折像である。これらを
比較すると、前者の方が後者より(111)ピークがシャ
ープであることが分かる。
上記した二種類の無電解Ni−P−Bめっき皮膜を施し
たアルミニウム合金を、荷重1470N、速度0.12m/sの条件
で5時間往復摺動試験したところ皮膜の比摩耗量(10-9
mm2/kg)は以下のとおりとなった。
皮膜(a):0.5 皮膜(b):5.0 無電解Ni−P−BめっきのP,B含有量が摺動特性に及
ぼす影響をさらに調べるために、後者の皮膜(b)のめ
っき後の硬度Hv0.1=850とほぼ同じ硬度にするため前者
の皮膜(a)を200℃で3時間熱処理した。これら二種
類のめっき皮膜を有する試料を荷重9.8Nの条件で平板回
転摩耗試験したところ次の摩耗量(mg/1000回転)が得
られた。
皮膜(a):0.2 皮膜(b):0.8 以上の結果から、無電解Ni−P−Bめっき皮膜のP及
びB量を低くすると、皮膜の配向性が高まり、これに伴
い耐摩耗性を向上していることが分かる。これに対して
P,B量が多く硬度が同じ無電解Ni−P−Bめっき皮膜
(b)は配向性が低く、また(111)結晶と方位が異な
り、その結果粒界の面積や格子不整合を起こす結晶の割
合が大きくなり、これが原因となって摩耗が進行し易く
なると考えられる。
本発明の第一の方法で採用されるバレル研摩は、ベー
ン、研摩媒体としてのポリエステル系媒体等のバレル材
及び水を回転容器の中に入れて回転もしくは振動を行
い、めっき皮膜表面を平滑にしかつ硬化する処理であ
る。研摩条件としては、回転数240rpm,時間5分を好ま
しく採用することができる。
低P−低B無電解Niめっき皮膜をバレル研摩した後の
組織を、走査型電子顕微鏡により観察したところ、高P
−B無添加無電解Niめっき皮膜とは均一性に本質的に差
があった。
本発明の第二の方法で採用されるショットブラスト処
理は鋼などの粒子を高速で無電解めっき面に衝突させ、
表面に圧縮応力を発生させる処理である。より好ましく
は、ショットにより無電解Ni−P−Bめっき皮膜の温度
を再結晶温度以上に高めるとともに、めっき皮膜表面に
おいてある程度の塑性変形を招いて、めっき直後とは異
なる結晶形態の微細組織を発生させる条件を設定する。
再結晶組織は配向性が高いめっき組織の方位をかなり引
継ぐために、配向性と微細化の結果さらに組織の緻密性
が高められる。具体的にはショット粒子は、硬度がHv60
0以上のスチール又はAl2O3等の硬質ビーズ又はカーボン
等を使用し、粒径は0.03〜0.4μmの範囲とし、投射速
度は80m/sec以上とする。
低P−低B無電解めっき皮膜の組織を観察した写真
(倍率1000倍)を第3図に示し、高P−B無電解めっき
皮膜の写真(倍率1000倍)を第6図に示す。これらの比
較より低P−B無電解めっき皮膜では組織が微細かつ緻
密になっていることが分かる。また、ショットブラスト
処理した後の写真(倍率1000倍)及びバレル研磨した後
の写真(倍率1000倍)を各々第4、5図に示す。これら
の処理は、組織をさらに微細・緻密化していることが分
かる。
本発明の第三の方法で採用されるレーザー照射処理
は、無電解Ni−P−Bめっき皮膜を瞬間的かつ局部的に
溶融させる処理であって、この結果融液は周囲のNi−P
−B及び基材に熱を奪われて凝固する。この場合溶融を
局部的に行うので、融液からの奪熱量が非常に多くなり
急冷凝固となり、P及びBがNi結晶中に強制的に固溶さ
れて硬化が起こりかつ結晶粒も微細になる。レーザーの
種類としては、特に制限はないが、100〜400W/cm2(ビ
ーム面積)程度の出力を有するYAGパルスレーザーを好
ましく使用することができる。
レーザー照射の操作はレーザーガンと摺動部材を相対
移動させ、後者の摺動部に順次前者のスポットが照射さ
れるように適宜治具を使用して行う。
次に、無電解Ni−P−Bめっき皮膜のレーザー照射に
よる硬化の一例を示す。
レーザー照射条件は下記のとおりである。
レーザー種類:YAGパルス レーザー出力:100〜400W/cm2 レーザービーム直径:2cm レーザー走査速度:10cm/sec 無電解Ni−P−Bめっき皮膜:厚さ20μm 第1表よりP=1.5〜3.6%,B=0.02〜0.03%の範囲で
極めて大きな硬化が起こることが分かる。
本発明の第四の方法で採用される高周波熱処理は上記
したP及びBの強制固溶を高周波誘導加熱により行うも
のである。高周波加熱は母材であるアルミニウム合金の
温度が好ましくは200℃以下に保たれるように、Niのキ
ュリー点(631K)をめっき皮膜の温度が超えず、渦電流
がめっき皮膜に集中し母材にはできるだけ流れないよう
にする必要がある。高周波の周波数は70kHz以上が好ま
しい。
次に、無電解Ni−P−Bめっき皮膜の高周波熱処理に
よる硬化の一例を示す。
高周波熱処理条件は下記のとおりである。なお、第2
表よりP=1.5〜3.6%,B=0.02〜0.03%の範囲で極めて
大きな硬化が起こることが分かる。
周波数:100kHz 高周波出力:80KW 無電解Ni−Pめっき皮膜:厚さ0.02mm 上記した本発明の第一〜第四の処理を施される低P−
低B添加無電解Niめっき皮膜の素材に対する密着性を高
めるために下地として中・高P無電解Ni−Pめっき皮膜
を施すことができる。
但し、高P型Ni−P無電解めっき皮膜は、配向性が低
く(111)比強度は高々60%程度である。この下地に接
して形成される低P,低B型添加無電解めっき皮膜は下地
の影響を受けて配向性が若干低下する。
したがって、中・高P皮膜は、配向性を犠牲にしても
よい場合優れた密着性を利用するために低P−低B型向
電解Niめっき皮膜の下地として使用する。
高P無電解Ni−Pめっき皮膜のP含有量は0.5〜15重
量%が好ましい。より好ましいP含有量は5〜8重量%
である。Coは0.1〜1.0重量%添加することができる。
上記した本発明の第一〜第四の方法による処理を施さ
れる低P,低B型無電解Niめっき皮膜を熱処理により表面
硬化させ、耐摩耗性を向上させることも可能である。
第7図は2.8重量%P−0.02重量%Bを含有する無電
解Ni−P−Bめっき皮膜の熱処理温度(1時間保持)と
表面硬度の関係を示すグラフであり、第8図はアルミニ
ウム合金基材の硬さと熱処理温度の関係を示すグラフで
ある。ここで、表面硬度はビッカース硬度計(荷重0.1k
g)を使用し、硬さはロックウェルB硬度計を使用し、
それぞれ試料の表面硬度を測定することにより求めたも
のである。すなわち測定荷重の大小により圧痕深さが異
なることを利用して測定部位を変えたものである。ま
た、図中の符号 は3個の試料を指す。これら第7、8図より熱処理は表
面硬度を僅かに増大させるが、220℃以下の熱処理温度
ではアルミニウム合金基材の硬さをほとんど変化させな
いことが分かる。
第9図は2.8〜12重量%P及び0.02重量%Bを含有す
る無電解Ni−P−Bめっき皮膜のP,B含有量、表面硬度
及び200℃での熱処理時間との関係を示すグラフであ
る。このグラフより2.8重量%とP含有量が極めて低い
無電解Ni−P−Bめっき皮膜の表面硬度は20時間以上の
長時間保持でHv1000程度まで上昇することが分かる。
アルミニウム合金としては各種アルミニウム合金展伸
材もしくは鋳造材を使用することができ、Al−Si共晶系
にFe,Ni,Moなどの重金属を多量に添加したアルミニウム
合金粉末を粉末冶金法により成形したものも使用するこ
とができる。これらの粉末冶金成形材料はSHORIK(昭和
電工株式会社)、スミアルタコ(住友電気工業株式会
社)の商品名で販売されている。
アルミニウム合金展伸材はほとんどの種類が200℃で2
0時間以上熱処理されると過時効になるので、適正時効
時間が長い2000番系中でも2218合金を素材として選択す
ることが必要になる。なお、熱処理時間を10時間未満と
すると、ほとんどの熱処理型アルミニウム合金が過時効
にならない。その中には2214などの高強度合金もその中
に含まれる。
素材となるアルミニウム合金に対する無電解Ni−P−
Bめっき皮膜の密着性を高めるために、以下に例示され
る前処理を順次行うことが好ましい。
アルカリ脱脂(50℃×5分、アルカリ脱脂材使用) アルカリエッチング(50℃×40秒、NaOH浴) スマット除去(27℃×40秒、硝酸を主成分とする洗浄
浴) 亜鉛置換めっき処理(1)(27℃×25秒、ジンケート
浴) 亜鉛剥離(27℃×60秒、50%硝酸) 亜鉛置換めっき処理(2)(27℃×25秒、ジンケート
浴) ショットブラスト、バレル処理、レーザービーム照射
などの表面処理後は、処理された面をそのまま摺動面と
して使用するが、高周波熱処理の場合は研摩処理などを
行ってもよい。
以上の如く処理された材料はロータリーコンプレッサ
ーのベーン、ラジアルプレーンベアリング、スラストプ
レーンベアリング等として使用することができる。
続いて本発明の方法で処理されたアルミニウム合金素
材が片当りが発生するような高負荷条件を再現する試験
の結果を説明する。
実施例1 第10図は本実施例における試験方法を説明する概念図
であって、図中10は本発明の方法または比較方法で処理
されたアルミニウム合金素材(AHS−3−T7)、11はブ
ロック(A390アルミニウム合金、初晶Si平均粒径30μ
m)である。素材10の寸法は35×14×3mmである。
さらに第10図において、θは角度=1゜、荷重Pは15
0kgf(15.3N),試験時間は5時間、往復摺動周波数は1
0Hz,ストロークは6mm,給油は30mL/hであった。
素材は前述の予備表面処理を行わず(第3表のP)あ
るいは行った後、P含有量が2.8重量%,B含有量が0.02
重量%の無電解めっき皮膜を厚さが15μmで素材の全面
に形成した。めっき液の成分は、硫酸ニッケル、次亜リ
ン酸、水酸化ナトリウム、硫酸コバルト等であり、pHは
6.5,温度は80℃であった。めっき後の表面硬度はHv710
であった。
試験に供した表面処理は以下のとおりであった。
1.バレル研摩処理 研摩媒体種類:ポリエステル樹脂+ジルコン 研摩媒体量 :1.5kg 液体量 :1.0kg(水) 素材個数 :20個 回転容器体積:0.01m3 回転容器回転数:200rpm 処理時間 :5min 2.ショットブラスト処理 ショット粒材質:Al2O3、硬度Hv1000 ショット粒径:200μm平均 ショット投射速度:150m/sec 投射量:50kg/m2/sec 3.レーザー照射処理 レーザー種類:YAGパルス(東芝社製) レーザー出力:10KW ビーム径当り出力:100〜400W/m2 4.熱処理 200℃、60分の熱処理を行い、その後1の処理を行っ
た。
5.熱処理 200℃、60分の熱処理を行い、その後2の処理を行っ
た。
6.熱処理 200℃、60分の熱処理を行い、その後3の処理を行っ
た。
前記した無電解Ni−P−Bめっき皮膜に対しCo.0.5重
量%、W.0.1重量%を加えた組成の無電解めっき皮膜15
μmを、Pの含有量が6重量%の奥野製薬工業製めっき
液(商品名トップニコロンTOM)を用いた厚さが2μm
の中間めっきを介して形成し、その後以下の表面処理を
行った。
7:1の処理 8:2の処理 9:3の処理 10:4の処理 11:5の処理 12:6の処理 比較例として次の処理も行った。
(a)上記した低P,B無電解めっき (b)高P,B無電解めっき(P含有量=8重量%,B含有
量=1.2重量%) (c)上記(b)の後熱処理 試験の結果を第3表に示す。
第3表に示すように本発明の供試材は比較例のものと
比較して供試材及びブロックの摩耗が少ない。
実施例2 実施例1でブロック11に使用したA390に代えて、Al−
17%Si−5%Fe−4%Cu−1.2%Mg−0.5%Mnとの組成を
もつアルミニウム合金粉末の押出材(T6処理:HRB94)を
使用して処理1〜12を行ったところ得られた結果は第1
表に記載の数値とほとんど差がなかった。
実施例3 実施例1、2(処理1)の処理を施した素材をコンプ
レッサー実機にベーンとして組込んで下記条件で摩耗試
験を行った。
試験機:ロータリー型コンプレッサ実機試験機 回転数:800rpm 吐出力/吸入圧(kg/cm2):28/4.0 吐出温度/吸入温度(℃):127/24 時間:100時間 試験の結果、ベーン摩耗量は1〜2μmであり、非常
に僅かであった。
産業上の利用可能性 以上説明したように、本発明により提供される低P型
無電解Ni−P−Bめっき皮膜は従来の同種皮膜よりも摺
動特性に優れているために、片当りし易くまた高い局部
荷重下で使用される摺動部品の性能を向上し、以ってコ
ンプレッサーなどの各種機器の信頼性を高めることがで
きる。
フロントページの続き (72)発明者 近藤 賢一 愛知県豊田市緑ケ丘3丁目65番地 大豊 工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平8−158058(JP,A) 特開 昭54−145335(JP,A) 特開 平5−86482(JP,A) 特開 昭60−258473(JP,A) 特開 昭54−84836(JP,A) 特開 昭63−312982(JP,A) 特開 平8−134659(JP,A) 特開 平5−306650(JP,A) 特開 昭63−42382(JP,A) 特開 平2−179333(JP,A) 特開 平7−227302(JP,A) 金属表面技術講座9「無電解メッ キ」、第113−114貢(昭和46年4月25 日、3版、朝倉書店) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 18/16 - 18/52

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アルミニウム合金からなる素材の摺動面に
    形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含
    有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜を有することを特徴
    とする摺動部材。
  2. 【請求項2】前記無電解Ni−P−Bめっき皮膜がさらに
    0.1〜1.0重量%のCo及び0.05〜1.0重量%のWの少なく
    とも1種を含有することを特徴とする請求の範囲第1項
    記載の摺動部材。
  3. 【請求項3】前記無電解Ni−P−Bめっき皮膜の下地に
    P含有量が5重量%を超え15重量%以下の下地無電解Ni
    −Pめっき皮膜が施されていることを特徴とする請求の
    範囲第1項又は第2項記載の摺動部材。
  4. 【請求項4】アルミニウム合金からなる素材の摺動面に
    形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含
    有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜にバレル研摩処理を
    施すことを特徴とする摺動部材の表面処理方法。
  5. 【請求項5】アルミニウム合金からなる素材の摺動面に
    形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含
    有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜にショットブラスト
    処理を施すことを特徴とする摺動部材の表面処理方法。
  6. 【請求項6】前記ショットブラスト処理を、前記無電解
    Ni−P−Bめっき皮膜の硬度とほぼ同等以上の硬度を有
    する粒子を80m/sec以上の速度で投射することにより行
    う請求の範囲第5項記載の摺動部材の表面処理方法。
  7. 【請求項7】アルミニウム合金からなる素材の摺動面に
    形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含
    有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜の表面にレーザービ
    ームを照射することを特徴とする摺動部材の表面処理方
    法。
  8. 【請求項8】アルミニウム合金からなる素材の摺動面に
    形成されたP0.05〜5重量%及びB0.01〜0.04重量%を含
    有する無電解Ni−P−Bめっき皮膜の表面に高周波誘導
    熱処理を施すことを特徴とする摺動部材の表面処理方
    法。
  9. 【請求項9】前記無電解Ni−P−Bめっき皮膜がさらに
    Co0.1〜1.0重量%及びW0.05〜1.0重量%の少なくとも1
    種を含有することを特徴とする請求の範囲第4から8項
    までの何れか1項記載の摺動部材。
  10. 【請求項10】前記無電解Ni−P−Bめっき皮膜の形成
    に先立って、P含有量が5重量%を超え15重量%以下の
    下地無電解Ni−Pめっき皮膜を施すことを特徴とする請
    求の範囲第4から9項までの何れか1項記載の摺動部材
    の表面処理方法。
  11. 【請求項11】前記無電解Ni−P−Bめっき皮膜に100
    〜200℃の熱処理を施すことを特徴とする請求の範囲第
    4項から8項までの何れか1項記載の摺動部材の表面処
    理方法。
  12. 【請求項12】請求の範囲第4から11項までの何れか1
    項記載の表面処理方法で処理された摺動部材を用いたロ
    ータリーコンプレッサーベーン。
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