JP3227863B2 - 超純水の製造方法 - Google Patents
超純水の製造方法Info
- Publication number
- JP3227863B2 JP3227863B2 JP02231293A JP2231293A JP3227863B2 JP 3227863 B2 JP3227863 B2 JP 3227863B2 JP 02231293 A JP02231293 A JP 02231293A JP 2231293 A JP2231293 A JP 2231293A JP 3227863 B2 JP3227863 B2 JP 3227863B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- ultrapure water
- biological treatment
- ultrapure
- toc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
Landscapes
- Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超純水の製造方法に係
り、特に、製造される超純水中のＴＯＣ（全有機体炭
素）を現状より大幅に低減することができる超純水の製
造方法に関する。
り、特に、製造される超純水中のＴＯＣ（全有機体炭
素）を現状より大幅に低減することができる超純水の製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び先行技術】従来、市水、地下水、工水
等の原水から超純水を製造する超純水製造装置は、基本
的に、前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造
装置から構成される。このうち、前処理装置は、凝集、
浮上、濾過装置で構成される。一次純水製造装置は、２
基の逆浸透膜分離装置及び混床式イオン交換装置、或い
は、イオン交換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成さ
れ、また、二次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、
混床式イオン交換装置及び限外濾過膜分離装置で構成さ
れる。
等の原水から超純水を製造する超純水製造装置は、基本
的に、前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造
装置から構成される。このうち、前処理装置は、凝集、
浮上、濾過装置で構成される。一次純水製造装置は、２
基の逆浸透膜分離装置及び混床式イオン交換装置、或い
は、イオン交換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成さ
れ、また、二次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、
混床式イオン交換装置及び限外濾過膜分離装置で構成さ
れる。
【０００３】超純水製造装置を構成する各単位装置のう
ち、原水中のＴＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で
低減化するものは、逆浸透膜分離装置、イオン交換純水
装置、低圧紫外線酸化装置である。なお、各単位装置に
おけるＴＯＣ低減化機構は次の通りである。 逆浸透膜分離装置：逆浸透膜を用いた濾過法であり、イ
オン性、コロイド性のＴＯＣを除去する。 イオン交換純水装置：イオン交換樹脂に吸着又はイオン
交換されるＴＯＣ成分を除去する。 低圧紫外線酸化装置：低圧紫外線ランプより出される１
８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ2
まで分解する。分解された有機物は後段のイオン交換樹
脂で除去する。特に、揮発性有機物の分解に用いられ
る。ところで、上記従来の超純水製造装置により製造さ
れた超純水中には、ＴＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在す
る。この超純水中のＴＯＣを更に低減するための方法と
して、逆浸透膜分離装置の多段設置、低圧紫外線酸化装
置の紫外線照射量の増大といった手段が考えられるが、
このような手段では、超純水中のＴＯＣを更に低減する
ことは殆どできないことが確認された。
ち、原水中のＴＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で
低減化するものは、逆浸透膜分離装置、イオン交換純水
装置、低圧紫外線酸化装置である。なお、各単位装置に
おけるＴＯＣ低減化機構は次の通りである。 逆浸透膜分離装置：逆浸透膜を用いた濾過法であり、イ
オン性、コロイド性のＴＯＣを除去する。 イオン交換純水装置：イオン交換樹脂に吸着又はイオン
交換されるＴＯＣ成分を除去する。 低圧紫外線酸化装置：低圧紫外線ランプより出される１
８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ2
まで分解する。分解された有機物は後段のイオン交換樹
脂で除去する。特に、揮発性有機物の分解に用いられ
る。ところで、上記従来の超純水製造装置により製造さ
れた超純水中には、ＴＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在す
る。この超純水中のＴＯＣを更に低減するための方法と
して、逆浸透膜分離装置の多段設置、低圧紫外線酸化装
置の紫外線照射量の増大といった手段が考えられるが、
このような手段では、超純水中のＴＯＣを更に低減する
ことは殆どできないことが確認された。
【０００４】このＴＯＣの低減を阻む要因について検討
したところ、現状の超純水製造装置で除去できない成分
として尿素（ＮＨ2 ＣＯＮＨ2 ）があり、しかも、原水
（市水、工水等）中には尿素が数十〜数百ｐｐｂ存在し
ていることが判明した。
したところ、現状の超純水製造装置で除去できない成分
として尿素（ＮＨ2 ＣＯＮＨ2 ）があり、しかも、原水
（市水、工水等）中には尿素が数十〜数百ｐｐｂ存在し
ていることが判明した。
【０００５】また、現状で得られている超純水を濃縮
（２０〜３０倍）して、超純水中に含有される尿素濃度
を測定した結果、超純水のＴＯＣのうち５０％以上を尿
素が占めていることが判明した。
（２０〜３０倍）して、超純水中に含有される尿素濃度
を測定した結果、超純水のＴＯＣのうち５０％以上を尿
素が占めていることが判明した。
【０００６】このように、現状の超純水製造装置は、原
水中に存在する尿素を除去し難く、これが超純水中のＴ
ＯＣの低減を阻む原因となっていることが解明された。
そして、この尿素を除去するべく更に検討を重ねた結
果、原水中に存在する尿素を低減する方法として生物処
理手段が好適であることが見出された。かかる知見を基
として、本出願人は、「原水の前処理装置、一次純水製
造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製造装置に
おいて、該前処理装置が生物処理手段を含む超純水製造
装置」について、先に特許出願を行なった。（特願平４
−２２５６８１号。以下「先願」という。）。
水中に存在する尿素を除去し難く、これが超純水中のＴ
ＯＣの低減を阻む原因となっていることが解明された。
そして、この尿素を除去するべく更に検討を重ねた結
果、原水中に存在する尿素を低減する方法として生物処
理手段が好適であることが見出された。かかる知見を基
として、本出願人は、「原水の前処理装置、一次純水製
造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製造装置に
おいて、該前処理装置が生物処理手段を含む超純水製造
装置」について、先に特許出願を行なった。（特願平４
−２２５６８１号。以下「先願」という。）。
【０００７】上記先願の超純水製造装置によれば、原水
（市水、地下水、工業用水など）の前処理装置の一部と
して生物処理手段を組み込んだことにより、従来の前処
理装置では除去し得ず、超純水中のＴＯＣ源となる、原
水中の尿素を高度に除去することができ、ＴＯＣ濃度が
著しく低減された超純水を得ることが可能とされる。
（市水、地下水、工業用水など）の前処理装置の一部と
して生物処理手段を組み込んだことにより、従来の前処
理装置では除去し得ず、超純水中のＴＯＣ源となる、原
水中の尿素を高度に除去することができ、ＴＯＣ濃度が
著しく低減された超純水を得ることが可能とされる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記先願の装置におい
て、生物処理手段における尿素分解速度については、原
水中に酢酸、酢酸ナトリウム、メタノール、エタノー
ル、アセトン等の易分解性有機物（Ｃ源）を添加するこ
とにより、尿素の分解速度を向上させることができるこ
とを知見した。
て、生物処理手段における尿素分解速度については、原
水中に酢酸、酢酸ナトリウム、メタノール、エタノー
ル、アセトン等の易分解性有機物（Ｃ源）を添加するこ
とにより、尿素の分解速度を向上させることができるこ
とを知見した。
【０００９】しかしながら、この有機物添加法は、非常
に有効な手段ではあるが、新たに薬品タンク、ポンプ、
配管並びに薬品の補充等が必要となるという欠点があ
る。このため、これらの設備や作業を必要としない、処
理効率向上のための方法ないし手段の開発が望まれてい
た。
に有効な手段ではあるが、新たに薬品タンク、ポンプ、
配管並びに薬品の補充等が必要となるという欠点があ
る。このため、これらの設備や作業を必要としない、処
理効率向上のための方法ないし手段の開発が望まれてい
た。
【００１０】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、市水、地下水、工業用水を原水として、これを生
物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置
で処理して超純水を製造する方法において、有機物（Ｃ
源）を添加する方法に代る手段により生物処理工程にお
ける尿素分解速度を向上させることができ、これにより
ＴＯＣが著しく低減された超純水を製造することができ
る超純水の製造方法を提供することを目的とする。
あり、市水、地下水、工業用水を原水として、これを生
物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置
で処理して超純水を製造する方法において、有機物（Ｃ
源）を添加する方法に代る手段により生物処理工程にお
ける尿素分解速度を向上させることができ、これにより
ＴＯＣが著しく低減された超純水を製造することができ
る超純水の製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の超純水の製造方
法は、原水を、超純水による半導体洗浄回収水と混合し
て生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造
装置に通水することを特徴とする。
法は、原水を、超純水による半導体洗浄回収水と混合し
て生物処理した後、一次純水製造装置及び二次純水製造
装置に通水することを特徴とする。
【００１２】
【作用】従来、半導体工場等、製品の洗浄のために超純
水を使用している工場では、洗浄に使用した使用済の超
純水を再利用するために再度回収し（以下、これを「回
収水」と称す。）、超純水製造用の原水として使用して
いる。この回収水中には、通常、洗浄のために使用され
たイソプロピルアルコール、酢酸、アセトン等の有機物
がＴＯＣとして数１００ｐｐｂ〜数ｐｐｍ含有されてい
る。
水を使用している工場では、洗浄に使用した使用済の超
純水を再利用するために再度回収し（以下、これを「回
収水」と称す。）、超純水製造用の原水として使用して
いる。この回収水中には、通常、洗浄のために使用され
たイソプロピルアルコール、酢酸、アセトン等の有機物
がＴＯＣとして数１００ｐｐｂ〜数ｐｐｍ含有されてい
る。
【００１３】従って、このような回収水を、尿素を含む
原水（市水、地下水、工業用水）と混合して生物処理す
ることにより、回収水中に存在する有機成分を生物処理
のＣ源として有効に利用して、生物処理における尿素の
分解効率を向上させると共に、当該有機成分をも分解除
去することができる。
原水（市水、地下水、工業用水）と混合して生物処理す
ることにより、回収水中に存在する有機成分を生物処理
のＣ源として有効に利用して、生物処理における尿素の
分解効率を向上させると共に、当該有機成分をも分解除
去することができる。
【００１４】本発明によれば、原水及び回収水の各々に
含有される、除去・低減化の目的物質を、単一装置にて
同時に分解除去することができる。
含有される、除去・低減化の目的物質を、単一装置にて
同時に分解除去することができる。
【００１５】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１６】図１は本発明の超純水の製造方法の実施に
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図である。
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図である。
【００１７】図１（ａ）に示す超純水製造装置は、前処
理装置Ａとして生物処理装置とメンブレンフィルター、
即ち限外濾過（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）膜分離装置
２を、一次純水製造装置Ｂとして第１逆浸透（ＲＯ）膜
分離装置３と第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置４と混床式
イオン交換装置５を、また、二次純水製造装置Ｃとして
（タンク６と）低圧紫外線酸化装置７と、混床式イオン
交換装置８とＵＦ膜分離装置９を設け、この順で直列に
設置したものである。２０Ａは原水の導入配管、２０Ｂ
は回収水の導入配管を示す。
理装置Ａとして生物処理装置とメンブレンフィルター、
即ち限外濾過（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）膜分離装置
２を、一次純水製造装置Ｂとして第１逆浸透（ＲＯ）膜
分離装置３と第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置４と混床式
イオン交換装置５を、また、二次純水製造装置Ｃとして
（タンク６と）低圧紫外線酸化装置７と、混床式イオン
交換装置８とＵＦ膜分離装置９を設け、この順で直列に
設置したものである。２０Ａは原水の導入配管、２０Ｂ
は回収水の導入配管を示す。
【００１８】即ち、市水、工水、地下水等の原水は、ま
ず生物処理装置１に導入されて生物処理され、尿素等の
有機物が分解除去されるが、本発明においては、この原
水の導入配管２０Ａに、導入配管２０Ｂより回収水を導
入して、原水と回収水とを混合した状態で生物処理装置
１に送給する。
ず生物処理装置１に導入されて生物処理され、尿素等の
有機物が分解除去されるが、本発明においては、この原
水の導入配管２０Ａに、導入配管２０Ｂより回収水を導
入して、原水と回収水とを混合した状態で生物処理装置
１に送給する。
【００１９】この生物処理装置１においては、回収水中
の有機成分を利用して、効率的に尿素の分解が進行する
と共に、回収水中の有機成分の分解も行なわれる。この
生物処理水は生物処理装置１から流出する菌体の除去の
ためにＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離さ
れる。
の有機成分を利用して、効率的に尿素の分解が進行する
と共に、回収水中の有機成分の分解も行なわれる。この
生物処理水は生物処理装置１から流出する菌体の除去の
ためにＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離さ
れる。
【００２０】このような前処理装置Ａで処理された前処
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
【００２１】更に、一次純水製造装置Ｂの処理水は、二
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
【００２２】図１（ｂ）に示す超純水製造装置は、一次
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図１（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図１（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
【００２３】なお、本発明で使用される超純水製造装置
においては、原水及び回収水を直接生物処理装置を設け
た前処理装置に通水すること以外は、基本的に従来の超
純水製造装置と同様の構成とすることができ、一次純水
製造装置及び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置
やイオン交換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成
は従来のものをそのまま採用することができる。
においては、原水及び回収水を直接生物処理装置を設け
た前処理装置に通水すること以外は、基本的に従来の超
純水製造装置と同様の構成とすることができ、一次純水
製造装置及び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置
やイオン交換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成
は従来のものをそのまま採用することができる。
【００２４】ところで、通常、有機廃水を処理する生物
処理手段としては活性汚泥法等があるが、超純水製造用
の原水として用いられる市水、地下水、工業用水といっ
た低濃度有機含有水にこのような方法を適用しても、菌
体を保持することが不可能で、ＴＯＣ低減化法としては
利用できない。
処理手段としては活性汚泥法等があるが、超純水製造用
の原水として用いられる市水、地下水、工業用水といっ
た低濃度有機含有水にこのような方法を適用しても、菌
体を保持することが不可能で、ＴＯＣ低減化法としては
利用できない。
【００２５】これに対して、特殊担体を上向流で流動化
させ、担体表面に菌体を固定化させる上向流式生物分解
装置は、菌体を流出させない生物処理手段として有効で
ある。この場合には、生物分解槽内に設けた、活性炭又
はアンスラサイト、砂、ゼオライト、イオン交換樹脂、
プラスチック製成形品等の原水への溶出成分を無視し得
るような担体表面に菌体を保持させ、生物分解槽の下部
より原水及び回収水と、別途設けた曝気槽の流出液とに
よる上向流で流動させて生物処理を行なえば良い。
させ、担体表面に菌体を固定化させる上向流式生物分解
装置は、菌体を流出させない生物処理手段として有効で
ある。この場合には、生物分解槽内に設けた、活性炭又
はアンスラサイト、砂、ゼオライト、イオン交換樹脂、
プラスチック製成形品等の原水への溶出成分を無視し得
るような担体表面に菌体を保持させ、生物分解槽の下部
より原水及び回収水と、別途設けた曝気槽の流出液とに
よる上向流で流動させて生物処理を行なえば良い。
【００２６】なお、生物処理装置は上向流通水方式のも
のに限らず、下向流通水方式のものであっても良い。
のに限らず、下向流通水方式のものであっても良い。
【００２７】図示の超純水製造装置は本発明の実施に好
適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨を超え
ない限り、何ら図示のものに限定されるものではない。
例えば、原水と回収水との混合は、別途混合槽を設けて
行なうこともできる。しかしながら、通常の場合、配管
への直接供給で十分である。また、生物処理装置の前段
又は後段に凝集沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良
い。
適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨を超え
ない限り、何ら図示のものに限定されるものではない。
例えば、原水と回収水との混合は、別途混合槽を設けて
行なうこともできる。しかしながら、通常の場合、配管
への直接供給で十分である。また、生物処理装置の前段
又は後段に凝集沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良
い。
【００２８】更に、生物処理装置の後段に設ける生物処
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。
【００２９】なお、本発明の方法においては、原水と回
収水とを混合して処理するものであれば良く、その混合
比率には特に制限はないが、通常の場合、原水に対して
回収水を４０〜８０体積％混合するのが好ましい。
収水とを混合して処理するものであれば良く、その混合
比率には特に制限はないが、通常の場合、原水に対して
回収水を４０〜８０体積％混合するのが好ましい。
【００３０】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げて
本発明をより詳細に説明する。
本発明をより詳細に説明する。
【００３１】実施例１ 図１（ａ）に示す超純水製造装置により原水（厚木市水
（平成４年１０月〜１２月））の処理を行なった。な
お、生物処理装置としては、活性炭に菌体を担持させた
上向流式生物分解装置を用い、その後段にＵＦ膜分離装
置を設けた。上向流式生物分解装置の原水滞留時間（Ｈ
ＲＴ）は１５分とした。また、この原水には、半導体製
造工程で排出された洗浄回収水を、原水に対して５０体
積％の割合で混合した。得られた超純水のＴＯＣを表１
に示す。
（平成４年１０月〜１２月））の処理を行なった。な
お、生物処理装置としては、活性炭に菌体を担持させた
上向流式生物分解装置を用い、その後段にＵＦ膜分離装
置を設けた。上向流式生物分解装置の原水滞留時間（Ｈ
ＲＴ）は１５分とした。また、この原水には、半導体製
造工程で排出された洗浄回収水を、原水に対して５０体
積％の割合で混合した。得られた超純水のＴＯＣを表１
に示す。
【００３２】比較例１ 原水に回収水を混合せず、上記上向流式生物分解装置に
酢酸ナトリウム（ＣＨ3 ＣＯＯＮａ）を１ｍｇ／ｌ（Ｃ
として）添加したこと以外は実施例１と同様に処理を行
なった。得られた超純水のＴＯＣを表１に示す。
酢酸ナトリウム（ＣＨ3 ＣＯＯＮａ）を１ｍｇ／ｌ（Ｃ
として）添加したこと以外は実施例１と同様に処理を行
なった。得られた超純水のＴＯＣを表１に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】表１より明らかなように、本発明の超純水
の製造方法によれば、生物処理工程で有機物の添加を行
なうことなく、有機物を添加した場合と同等の優れた処
理効率にて、ＴＯＣが著しく低減された超純水を得るこ
とができる。
の製造方法によれば、生物処理工程で有機物の添加を行
なうことなく、有機物を添加した場合と同等の優れた処
理効率にて、ＴＯＣが著しく低減された超純水を得るこ
とができる。
【００３５】なお、有機物の添加を行なわず、また、回
収水の混合も行なわずに上記実施例１及び比較例１で得
られた超純水と同等の超純水を製造しようとすると、生
物分解装置のＨＲＴは約３０分程度とする必要があっ
た。
収水の混合も行なわずに上記実施例１及び比較例１で得
られた超純水と同等の超純水を製造しようとすると、生
物分解装置のＨＲＴは約３０分程度とする必要があっ
た。
【００３６】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水の製
造方法によれば、尿素を含有する市水、地下水、工業用
水を原水として生物処理した後、一次純水製造装置及び
二次純水製造装置に通水して超純水を製造するにあた
り、 生物処理工程において、新たな有機物（Ｃ源）の注
入を行なうことなく、尿素分解速度を向上させることが
できる。 より、処理効率の向上、得られる超純水のＴＯＣ
のより一層の低減化が図れる。 単一装置で原水中のＴＯＣ源（尿素）の分解のみな
らず、回収水中のＴＯＣ源をも同時に分解・低減化する
ことができる。 といった効果が奏され、極めて純度の高い超純水を効率
的に製造することが可能とされる。
造方法によれば、尿素を含有する市水、地下水、工業用
水を原水として生物処理した後、一次純水製造装置及び
二次純水製造装置に通水して超純水を製造するにあた
り、 生物処理工程において、新たな有機物（Ｃ源）の注
入を行なうことなく、尿素分解速度を向上させることが
できる。 より、処理効率の向上、得られる超純水のＴＯＣ
のより一層の低減化が図れる。 単一装置で原水中のＴＯＣ源（尿素）の分解のみな
らず、回収水中のＴＯＣ源をも同時に分解・低減化する
ことができる。 といった効果が奏され、極めて純度の高い超純水を効率
的に製造することが可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超純水の製造方法の実施に好適な超純
水製造装置の一例を示す系統図である。
水製造装置の一例を示す系統図である。
Ａ 前処理装置 Ｂ 一次純水製造装置 Ｃ 二次純水製造装置 １ 生物処理装置 ２ ＵＦ又はＭＦ膜分離装置 ３ 第１ＲＯ膜分離装置 ４ 第２ＲＯ膜分離装置 ５，８ 混床式イオン交換装置 ６ タンク ７ 低圧紫外線酸化装置 ９ ＵＦ膜分離装置 １０ イオン交換純水装置 １１ ＲＯ膜分離装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４Ａ 1/42 1/42 Ｂ 1/44 1/44 Ｊ 3/08 ＺＡＢ 3/08 ＺＡＢＢ (56)参考文献 特開 昭62−282689（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−31592（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 9/00 501 C02F 9/00 503 C02F 3/00 - 3/34 101
Claims (1)
- 【請求項１】 原水を、超純水による半導体洗浄回収水
と混合して生物処理した後、一次純水製造装置及び二次
純水製造装置に通水することを特徴とする超純水の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02231293A JP3227863B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 超純水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02231293A JP3227863B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 超純水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06233997A JPH06233997A (ja) | 1994-08-23 |
| JP3227863B2 true JP3227863B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=12079226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02231293A Expired - Lifetime JP3227863B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 超純水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227863B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3323040B2 (ja) * | 1995-09-06 | 2002-09-09 | シャープ株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP3370576B2 (ja) | 1997-10-09 | 2003-01-27 | シャープ株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP5055662B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2012-10-24 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP3948337B2 (ja) * | 2001-10-18 | 2007-07-25 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
| JP3969185B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2007-09-05 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
| JP4738235B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2011-08-03 | パナソニック株式会社 | 揮発性有機塩素化合物で汚染された土壌の浄化方法 |
| JP5233138B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-07-10 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置からの濃縮廃水の処理方法および前記濃縮廃水の処理装置。 |
| JP5499433B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2014-05-21 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
| JP5194771B2 (ja) * | 2007-12-21 | 2013-05-08 | 栗田工業株式会社 | 有機物含有水の生物処理方法および装置 |
| JP2011104496A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Nissin Electric Co Ltd | 生物接触ろ過装置及び地下水浄化システム |
| JP5604914B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2014-10-15 | 栗田工業株式会社 | 水処理方法及び超純水製造方法 |
| KR20130014493A (ko) * | 2010-03-05 | 2013-02-07 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 수처리 방법 및 초순수 제조 방법 |
| JP5914964B2 (ja) | 2010-10-18 | 2016-05-11 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法 |
| KR101035899B1 (ko) * | 2010-11-17 | 2011-05-23 | 지에스건설 주식회사 | 고회수 저오염형 하수처리수 재이용 장치 및 방법 |
| CN103771641B (zh) * | 2012-10-19 | 2016-04-27 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种硝基氯苯废水深度处理及回用方法 |
| JPWO2014087991A1 (ja) * | 2012-12-07 | 2017-01-05 | 東レ株式会社 | 有機性汚水の処理方法および処理装置 |
-
1993
- 1993-02-10 JP JP02231293A patent/JP3227863B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06233997A (ja) | 1994-08-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3468784B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JP3227863B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JP3426072B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JP3009535B2 (ja) | 下水を生物学的に浄化する方法及び装置 | |
| JP3491328B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| CN107364998B (zh) | 中等浓度有机工业废水的处理工艺 | |
| JPH11285696A (ja) | 汚水処理装置及び汚水処理方法 | |
| KR100882802B1 (ko) | 하폐수 고도처리를 위한 생물학적 처리 및 여과 장치 및 이를 이용한 하폐수의 재활용 방법 | |
| JP3721871B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| CN101397179A (zh) | 双膜脱磷***及脱磷方法 | |
| JPH05329477A (ja) | 膜分離方法 | |
| JP2008510619A (ja) | 無酸素性生物学的削減システムと方法 | |
| JP3417052B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JPH0645036B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JP3265456B2 (ja) | メタン発酵処理液の処理方法及び処理設備 | |
| JP3221801B2 (ja) | 水処理方法 | |
| JP3376639B2 (ja) | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 | |
| JP2887284B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JP3168757B2 (ja) | 浄水の高度処理方法及び装置 | |
| JP3216256B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPH0839058A (ja) | 半導体洗浄排水の処理方法 | |
| JPS6331592A (ja) | 超純水製造方法 | |
| JP2915214B2 (ja) | アルキルスルホキシドを含有する排水の処理方法 | |
| JPH09174093A (ja) | 排水処理および排水処理装置 | |
| JPH05293494A (ja) | 純水製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090907 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090907 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120907 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130907 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130907 Year of fee payment: 12 |