JP3221900B2 - プレチャージ型冗長マルチプレクス動作を有する半導体メモリ - Google Patents

プレチャージ型冗長マルチプレクス動作を有する半導体メモリ

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体メモリに関するも
のであって、更に詳細には、半導体メモリにおける冗長
メモリセルを使用した技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】スタチックランダムアクセスメモリ(S
RAM)、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DR
AM)、FIFO、二重ポートメモリ、及び例えばマイ
クロプロセサ及びその他の論理装置等のその他の集積回
路内に埋込まれており且つ個別的な部品として製造され
る種々のタイプのリードオンリメモリを包含する多くの
タイプの半導体メモリは、多数の格納位置を有してお
り、且つ製造技術が改善されるに従い、より高い容量と
なっている。例えば、220個の格納位置(即ち、1メガ
ビット)を有するSRAM及び222個の格納位置(即
ち、4メガビット)を有するDRAMが市販されてい
る。
【0003】一般的な市場の場合、このようなメモリ
は、各々及び全ての格納位置にアクセスすることが可能
であり且つ両方のデジタルデータ状態を格納することが
可能である場合にのみ使用することが可能である。従っ
て、単一の格納位置即ちビットの欠陥は、メモリ全体
(且つ埋込み型メモリを有する論理装置)を販売不可能
なものとさせる。上述した高密度メモリの場合の比較的
大きなチップ寸法及び高い製造コストのことを考慮する
と、これらのメモリは単一の「固定された」ビットを発
生される極めて小さな(ある場合には、サブミクロンの
大きさ)欠陥に特に影響を受易い。
【0004】その結果、多くの半導体メモリは、現在、
所謂冗長な格納位置を有しており、それらの冗長な格納
位置は主要なメモリアレイ内に欠陥が発生する場合にイ
ネーブルされる。イネーブル動作を簡単化し、且つ行又
は列欠陥をアドレスするために、冗長格納位置は、通
常、冗長な行又は列として形成されており、それらは、
イネーブルされると、主要メモリアレイの行又は列全体
を置換させる。このような冗長な格納位置のイネーブル
動作は、従来、製造テストプロセス期間中に行なわれ、
その場合、主要なメモリがその中のビットの機能性に対
してテストが行なわれる。欠陥性のビットのアドレスが
記録され、且つ回路上で使用可能な冗長な行又は列が欠
陥性のビット全てを置換するのに十分であるか否かを、
自動テスト装置内のアルゴリズムが決定する。十分であ
る場合には、メモリのデコード回路内のヒューズが開放
され(又は、アンチヒューズ即ち逆ヒューズが閉じら
れ)、従って欠陥性の行又は列は最早それと関連するア
ドレス値によりイネーブルされることはなく、従って冗
長な行又は列が欠陥性の行又は列と関連するアドレスに
よりイネーブルされる。従来の冗長技術を組込んだメモ
リ装置の例は、Hardee et al.著の「欠陥
許容性30ナノ秒/375mWの16K×1NMOSス
タチックRAM(A Fault−Tolerant
30 ns/375 mW 16K × 1 NMOS
STATIC RAM)」、ジャーナル・オブ・ソリ
ッドステート・サーキッツ、Vol. SC−16、N
o.5(IEEE,1981)、pp.435−43の
文献、及びChildset al.著の「18ナノ秒
の4K×4CMOS SRAM(An 18 ns 4
K× 4 CMOS SRAM)」、ジャーナル・オブ
・ソリッドステート・サーキッツ、Vol. SC−1
9、No.5(IEEE,1984)、pp.545−
51の文献に記載されている。
【0005】特に、高性能メモリの場合、このような冗
長格納位置の設計において2つの対立する拘束条件を取
扱わねばならない。これらの拘束条件のうちの第一のも
のは、主要なアレイにおけるビットのアクセス時間に対
する冗長な格納位置のアクセス時間である。冗長要素の
アクセスは、典型的に、主要なアレイにおけるビットの
アクセスよりも遅い(即ち、少なくとも、冗長を使用し
ない同様のものにおけるビットのアクセス時間よりも遅
い)。性能における減少は、通常、冗長な行又は列を選
択するための付加的な論理回路に起因するか、又は冗長
に起因する増加された内部信号負荷に起因する。
【0006】冗長性を有するメモリの設計における第二
の拘束条件は、冗長な要素及びそれと関連するデコード
回路を組込むために必要とされるチップ面積である。冗
長な行及び列の数の選択は、通常、メモリの製造におい
て遭遇する欠陥のタイプの推定に依存しており、設計者
は、冗長性のために必要とされる付加的なチップ面積と
冗長性により修復することの可能なその他の欠陥性の回
路の推定数との間の利益衡量を行なうことが必要とされ
る。
【0007】複数個の入力端及び出力端を有するメモリ
の場合、冗長な行及び列(特に、列)の構成は、更に、
設計を複雑化させる。なぜならば、例えば、複数個の入
力端及び出力端の各々と通信するために冗長な列を可能
とするための選択回路を設けねばならないか、又は付加
的な冗長列を設けねばならず(単一の入力/出力メモリ
において必要とされる数を超えて)、その各々は特定の
入力端/出力端に対して専用のものとせねばならない。
選択回路を使用することは複数個の入力/出力メモリに
おいて必要な冗長な列の数を減少させるが、冗長な格納
位置への及びそれからの読取り経路及び書込み経路にお
ける選択回路は冗長なメモリセルのアクセス時間を遅滞
化させる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、冗長な格納位置へのアクセスの性能を著しく低
下させることなしに効率的な修復可能性を可能とする冗
長技術を提供することである。本発明の別の目的とする
ところは、特に複数入力/出力メモリに対して適用可能
な冗長技術を提供することである。本発明の更に別の目
的とするところは、特に冗長な列に対して適用可能な冗
長技術を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数個の出力
端を有しており且つ複数個の出力端に対して格納したメ
モリデータの通信において複数個のセンスアンプを使用
するメモリに組込むことが可能である。各冗長な列は、
例えば、ヒューズにより、マルチプレクサを介して、多
数のセンスアンプの1つへ割当てることが可能である。
冗長な列と関連する入力/出力ラインは、メモリサイク
ルの間においてプレチャージされ且つ平衡化され、従っ
て前のサイクルのデータ状態からのトラップされた電荷
が次のサイクルに対するアクセス時間を遅滞化させるこ
とはない。
【0010】
【実施例】図1を参照して、本明細書に記載する本発明
の好適実施例を組込んだ集積回路メモリ1について説明
する。メモリ1は集積回路メモリであり、例えば、220
即ち1,048,576個の格納位置即ちビットを有す
るスタチックランダムアクセスメモリ(SRAM)であ
る。この実施例におけるメモリ1はワイドワード即ち幅
広ワードメモリであり、各々が8ビットの217即ち12
8k個のアドレス可能な位置を有するメモリである。従
って、例えば、読取り動作において、メモリ位置の1つ
へアクセスすると、8個のデータビットが8個の入力/
出力端子DQに表われる。この実施例においては、メモ
リ1の電気的構成は1024個の行と1024個の列と
から構成されており、各通常のメモリ動作において8個
の列がアクセスされる。
【0011】この実施例のメモリ1においては、メモリ
アレイは8個のサブアレイ120 乃至127 に分割され
ており、その各々は1024個の行と128個の列とを
有している。メモリ1は、ユニークなメモリアドレスを
特定するために必要とされる17個のアドレスビットを
受取るために17個のアドレス端子をA0乃至A16を
有している。従来の態様で、これら17個のアドレス端
子からの信号はアドレスバッファ(不図示)によりバッ
ファされる。このようなバッファ動作の後に、これらの
アドレス端子のうちの10個(A7乃至A16)に対応
する信号が、行デコーダ14により付勢されるべき10
24個の行のうちの1つを選択するために行デコーダ1
4により受取られる。
【0012】図1は、互いに且つ行デコーダ14に対し
てのサブアレイ12の相対的な物理的位置を概略示して
いる。サブアレイ12における1行のメモリセルの選択
は行ラインにより行なわれ、該行ラインのうちの1つが
端子A7乃至A16における行アドレスの値に従って行
デコーダ14から駆動される。行デコーダ14が中央に
位置されている図1に示した如き配列においては、サブ
アレイ12がその両側に配置されており、最大桁列アド
レスビット(この実施例においてはアドレス端A6)も
行デコーダ14によりデコードされることが望ましく、
従って行ラインは、最大桁列アドレスビットに従って、
中央に位置された行デコーダ14の一方の側においての
み付勢させることが可能である。1つの行ラインの付勢
は、メモリセルの内容を従来の態様でそれらの対応する
ビットラインへ送給する。センス/書込み回路13が、
外部的に供給した入力データを選択されたメモリセルへ
通信即ち送給するために、サブアレイ12内のビットラ
イン上のデータ状態を検知し且つ格納するために設けら
れている。注意すべきことであるが、センス/書込み回
路13の多くの従来の配列及び構成を本発明に従ってメ
モリ1において使用することが可能であり、そのような
配列乃至は構成は各ビットライン対に対し1個のセンス
アンプを割当てるもの、又は複数個のビットライン対に
対して1個のセンスアンプを割当て、検知されるべきビ
ットライン対の選択が列アドレスに従って列デコーダ1
8により行なわれるもの等を包含する。更に、センスア
ンプと別体の書込み経路及び回路を設けることも可能で
ある。
【0013】活性動作期間中に消費される電力を減少さ
せるために、本実施例においては、サブアレイ12のう
ちの1つのみが各活性サイクル期間中に付勢され、付勢
された状態を維持するサブアレイ12の選択は所望のメ
モリアドレス(即ち、列アドレスのうちの3個のビッ
ト)により決定される。このことは、サブアレイ12の
間及び行デコーダ14とサブアレイ123及び124との
間に設けられているリピータ16により行なわれる。リ
ピータ1は、選択された行ラインの付勢状態をパス
し、選択されたサブアレイ12に対して選択された行ラ
インの付勢状態をラッチし、且つ選択されなかったサブ
アレイ12に対する行ラインを脱付勢化させる。この配
列は、アクセスされたメモリ位置の全ての8個のビット
が同一のサブアレイ12内に位置されていることを必要
とする。
【0014】注意すべきことであるが、本発明の目的の
ためには、アクセスされたメモリ位置の8個のビットが
同一のサブアレイ12内に位置されていること、又はラ
ッチされたリピータ16がサブアレイ12の間に設けら
れていることが必須のものではない。1990年9月2
6日に出願され本願出願人に譲渡されている米国特許出
願第588,577号においては、このような構成は好
適である。なぜならば、それは、ワードラインのタイム
アウトに付随する欠点又は複数個のメタルレベル構成の
欠点なしで活性電力散逸を減少させるからである。
【0015】残りの7個のアドレス端子(A0乃至A
6)に対応する信号は列デコーダ18により受取られ、
リピータ14を制御して、ラインRST0乃至RST7
によりサブアレイ12のうちの1つの選択を維持する。
列デコーダ18は、更に、従来の態様で、列アドレス値
の残部に応答して、選択されたサブアレイ12において
所望の列を選択する。信号ラインはアドレス値を行デコ
ーダ14及び列デコーダ18へ通信即ち送給するために
示されているが、多くの従来のメモリにおける如く、各
アドレスビットの真値及び補元値の両方を交互にアドレ
スバッファからデコーダへ送給しデコード動作を簡単化
させることが可能である。
【0016】図1に示した如く、冗長列デコーダ19が
列デコーダ18の一部として設けられている。本実施例
に基づくメモリ1においては、冗長列が設けられてお
り、それらは更に詳細に後述する如く、各アレイと関連
している。冗長デコーダ19は例えばポリシリコンヒュ
ーズ等のような従来のヒューズを有しており、それらは
レーザ、電気的過剰ストレス又はその他の従来の技術に
より開放させて、列アドレス値に対して冗長な列を選択
することを可能とし、且つ欠陥性のメモリセルを有する
サブアレイ12内の列をディスエーブルさせる。冗長デ
コーダ19として使用するための従来の回路の1例は1
986年2月25日に発行され本願出願人に譲渡されて
いる米国特許第4,573,146号に記載されてい
る。従来の態様においては、冗長デコーダ19は列アド
レスビットのうちで適宜のものを受取り、且つ置換され
るべき列のアドレスとマッチングする端子A0乃至A6
における列アドレス値に応答して、選択されたサブアレ
イ12における1つの列の代わりに冗長列を選択する。
【0017】勿論、別法又は冗長列に加えて、冗長行の
メモリセルをメモリ1内に設けることが可能である。従
来の態様においては、行デコーダ14(及び、適用可能
な場合はリピータ16)が冗長デコーダを有しており、
それは同様にヒューズによりイネーブルされて主要な行
の代わりに冗長行を選択する。
【0018】本発明のこの実施例に基づいてメモリ1内
には更に入力/出力回路28が設けられており、それは
8ビット出力バス20及び8ビット入力バス38を介し
て列デコーダ18と通信状態即ち連結状態にあり、且つ
それは入力/出力端子DQ、書込みイネーブル端子W
及び出力イネーブル端子OEと通信状態即ち連結状態に
ある。入力/出力回路28は、入力/出力端子DQとメ
モリ1へ供給されたアドレス値に従って選択されたメモ
リセルとの間の通信を与え且つ制御するための従来の回
路を有しているが、その詳細な説明は割愛する。注意す
べきことであるが、入力/出力幅に関し、且つ共通の入
力/出力端子の代わりに専用の端子を有するメモリ1の
その他の多くの変形例としての構成も本発明を利用する
ことが可能である。
【0019】メモリ1は、更に、タイミング制御回路2
2を有しており、それは従来の態様でメモリサイクル期
間中にメモリ1の種々の部分の動作を制御する。注意す
べきことであるが、タイミング制御回路22は、図1に
示される如く、通常回路の特定のブロックではなく、通
常メモリ1内の種々の部分の動作を制御するためにメモ
リ1内に分散されている。タイミング制御回路22は、
例えば、メモリ1の動作をイネーブルさせ且つディスエ
ーブルさせる端子CEからの信号を受取る。図1に示し
た如く、タイミング制御回路22からのラインSEL
は、上掲の米国特許出願第588,577号に記載され
る如く、その制御のためにリピータ16へ接続されてい
る。
【0020】更に注意すべきことであるが、ある従来の
スタチックメモリにおける如く、タイミング制御回路2
2、及び例えば列デコーダ18等のようなその他の回路
ブロックは、アドレス遷移検知回路26により制御さ
れ、従ってメモリ1は、アドレス端子A0乃至A16に
おける遷移に応答してダイナミックに動作する。199
0年10月22日に出願され本願出願人に譲渡されてい
る米国特許出願第601,287号は、アドレス遷移検
知回路24として使用することが可能であり且つアドレ
ス端子A0乃至A16において受取られるアドレス信号
のバッファ動作を制御するアドレス遷移検知回路を記載
している。注意すべきことであるが、以下に説明する如
く、ビットラインのプレチャージ及び平衡化を制御する
ためにアドレス遷移検知を使用することは本発明のこの
実施例においては好適である。更に注意すべきことであ
るが、上掲の米国特許出願第588,577号に記載さ
れる如く、1サイクル内においてリピータ16をダイナ
ミックに制御するためにアドレス遷移検知を使用するこ
とも好適である。
【0021】メモリ1は、更に、パワーオンリセット回
路24を有している。パワーオンリセット回路24は、
電源端子Vccからバイアス電圧を受取り(勿論、図示し
ていない接続によりメモリ1のその他の部分も同じであ
る)、且つメモリ1が初期的にパワーアップした後にV
cc電源が十分なレベルに到達したことを表わす信号をラ
インPOR上に発生し、メモリ1の一部が中間即ち不所
望な状態にパワーアップすることを防止する。以下に説
明し且つ1990年8月17日に出願し本願出願人に譲
渡されている米国特許出願第569,000号に記載さ
れる如く、パワーオンリセット回路24は同様に、図1
におけるラインPORのタイミング制御回路22への接
続により示唆される如く、メモリ1のその他の部分を制
御することも可能である。上掲の米国特許出願第56
9,000号は、更に、パワーオンリセット回路24の
好適な構成を示しているが、本発明の目的のためには、
従来のパワーオンリセット回路を使用することも可能で
ある。
【0022】上述した如く、電力消費を減少させる目的
のためには、この実施例に基づくメモリ1は3個の最大
桁列アドレスビットに従って選択される8個のサブアレ
イ12のうちの1つのみを付勢させる。この実施例にお
いては、リピータ16はサブアレイ12の間に存在して
おり、且つ行デコーダ14とサブアレイ123 及び12
4 の各々との間にも存在しており、付勢された行ライン
を選択されたサブアレイ12内に印加することを維持し
ており、且つ所定の時間期間の後に、他のサブアレイ1
2における行ラインを脱付勢化させる。このように、列
アドレス(特に、3個の最大桁ビット)がワードライン
の印加を制御し、従ってワードラインのうちで選択され
たサブアレイ12内の部分のみがメモリ動作サイクルの
全体に対して付勢される。列デコーダ18は、更に、列
アドレスの残りのビットの値に従って、選択されたサブ
アレイ12において128個の列のうちの8個の列を選
択する。この実施例においては、活性な電力消費を減少
させるために、選択されたサブアレイ12において所望
のメモリビットと関連するセンス/書込み回路13のみ
が付勢される。列デコーダ18によりそのように選択さ
れたセンス/書込み回路13は、適宜バス20又はバス
38を介して入力/出力回路28と通信状態とされ、そ
れにより選択されたメモリセルからのデータの読取り又
は該セルへのデータの書込みを従来の態様で行なうこと
が可能である。上掲の米国特許出願第588,577号
はリピータ16の構成及び動作に関して詳細な説明を与
えている。
【0023】勿論、メモリ1の多くの変形例をここに記
載した本発明と共に使用することが可能である。このよ
うな変形例の例としては、各サブアレイが入力/出力端
子のうちの1つと関連するワイドワードメモリ、及びア
レイ全体が通常動作期間中に付勢されるメモリ等を包含
している。例えばダイナミックRAM、EPROM、埋
込み型メモリ、二重ポートRAM、FIFO等のような
各々がそれ自身の構成を有するその他のタイプのメモリ
も本発明から利益を享受することが可能である。
【0024】更に注意すべきことであるが、サブアレイ
12のその他の物理的及び電気的構成を本発明と共に使
用することも可能である。例えば、2つの行デコーダ1
4をメモリ1内に組込み、その各々がメモリの半分の中
への行ライン信号の印加を制御することが可能である。
図1に示した如く中間に位置させる代わりに、1個又は
それ以上の行デコーダ14をサブアレイ12の一方の側
部に沿って配置させることも可能である。メモリ1の特
定のレイアウトは特定のメモリ設計及び製造プロセスに
対して興味のある特定のパラメータに従って当業者によ
り適宜決定することが可能なものである。
【0025】図2を参照すると、本発明の好適実施例に
基づくメモリ1内の冗長列の配列が示されている。図2
は、メモリ1のサブアレイ12のうちの1つと、それと
関連するセンス/書込み回路13とを示している。更
に、このサブアレイ12と関連し且つメモリ1内のサブ
アレイ12の各々と関連して、2個の冗長列25が設け
られている。従って、8個のサブアレイ12を有するメ
モリ1の場合には、16個の冗長列25が設けられる。
本発明のこの実施例においては、サブアレイ12と関連
する2個の冗長列25がそれと関連するサブアレイ12
内の列を置換することが可能であるに過ぎず、その他の
サブアレイ12内の列を置換するために使用することは
不可能である。
【0026】図2の配列においては、リピータ16は、
サブアレイ12内の1行のメモリセルを選択するため
に、サブアレイ12に対し行ラインバスRL内の1つの
行ラインを与えている。前述した如く、活性な電力散逸
を減少させるために、メモリ1のこのバイエイト(by
−eight)実施例において選択されたメモリ位置の
8個の全てのビットが同一のサブアレイ12から選択さ
れる。列デコーダ18はサブアレイ12に対しバスSE
L上に列選択信号を供給し、従って、サブアレイ12が
選択されると、サブアレイ12内の8個の列がそれらの
ビットラインをI/Oバス21へ接続させ、サブアレイ
12と関連する8個のセンス/書込み回路13に対して
通信を行なう。サブアレイ12n に対する8個のセンス
/書込み回路13の各々はサブアレイ12n 内のそれら
の関連した選択された列から一対のI/Oライン21を
介して差動信号を受取る。この実施例においては、図2
内のセンス/書込み回路13の各々は、それに接続され
たビットラインのデータ状態を検知し且つそれに接続さ
れたビットラインへデータを書込むための回路を有して
いる。従って、センス/書込み回路13の各々は、入力
データバス38及び出力データバス20の両方を介し
て、入力/出力回路28と通信即ち連結状態にある。こ
のような検知及び書込み回路を包含するセンス/書込み
回路13の構成について以下に更に詳細に説明する。注
意すべきことであるが、本発明の目的のためには、その
他のセンスアンプ配列乃至は構成のものを使用すること
も可能であり、その場合に別体の書込み及びセンス回路
を包含する。
【0027】図2の形態乃至は構成の結果として、サブ
アレイ12n 内の列の各々は単一のセンス/書込み回路
13と関連しており、従って単一のデータ端子DQと関
連している。サブアレイ12内の特定の列に対する個別
的なセンス/書込み回路13の割当ては、レイアウトの
目的のために便利な任意の態様で行なうことが可能であ
る。例えば、サブアレイ12内の128個の列は、各々
が16個の列からなる8個の隣接したブロックにグルー
プ化させることが可能であり、1個のブロック内の各列
は同一のセンス/書込み回路13及びデータ端子DQと
関連しており、一方、8個の隣接する列からなる1つの
グループ内の各列はその8個の列からなるグループにお
ける他のものとは異なったセンス/書込み回路13及び
データ端子DQへ割当てることが可能である。
【0028】図2の構成においてはセンス/書込み回路
13(8個)よりも冗長列25(2個)の方が少ないの
で、サブアレイ12内のどの列が冗長列25により置き
換えられるかに依存して、I/Oバス21を介して冗長
列25を適宜のセンス/書込み回路13へ接続させるた
めに冗長マルチプレクサ40が設けられている。冗長マ
ルチプレクサ40の構成について以下に詳細に説明す
る。しかしながら、図2の説明のためには、8個のセン
ス/書込み回路13のうちで何れが特定の冗長列25と
関連すべきであるかを表わすために冗長マルチプレクサ
40内にヒューズが設けられている。冗長デコーダ19
からの制御ラインRSELは、冗長列25により置き換
えられたサブアレイ12内の列の列アドレスを受取る
と、冗長列25の選択を可能とするために冗長マルチプ
レクサ400 へ接続される。冗長マルチプレクサ40
は、冗長マルチプレクサ40とI/Oバス21との間に
接続されている冗長I/OバスRIOを介して、センス
/書込み回路13と通信状態となる。
【0029】この実施例においては、注意すべきことで
あるが、レイアウト効率のために、各個別的な冗長列2
5を8個のセンス/書込み回路13のうちの4個のみと
接続させることが可能である。従って、サブアレイ12
が同一のセンス/書込み回路13(個別的な冗長列25
により使用可能な4個を有する同一のグループにおける
センス/書込み回路13)と関連する2つの列内に欠陥
を有する場合には、そのメモリは冗長列25により修復
することは不可能である。この実施例の場合には、歩留
り及び欠陥モデルに基づいて、このような欠陥の蓋然性
は十分に小さいものであり、従ってこのような欠陥に起
因する幾つかのメモリの損失の危険を犯しながらも、こ
のような割当ての減少させたレイアウト複雑性の利点を
得ることが効果的であることが判明した。一方、各冗長
列25が8個のセンス/書込み回路のうちの何れかへ割
当て可能であるように冗長マルチプレクサ40を構成す
ることが可能である。以上の説明から、冗長列25のそ
の他の構成及びグループ化を採用することは当業者にと
って自明であり本発明の技術的範囲を逸脱するものでは
ない。
【0030】次に、図3を参照して、冗長列25の構成
及び動作及びそれらのセンス/書込み回路13との通信
について詳細に説明する。図3に示した如く、冗長列2
0はSRAMに対して公知の態様で構成されており、
サブアレイ12及び冗長列251(図3においてはブロ
ックで示してある)内の列は冗長列250と同様に構成
されている。冗長列250は、この実施例においては、
1024個のメモリセル30を有しており、各メモリセ
ルはパスゲート31により差動ビットラインRBL0
びRBL0 へ接続可能であり、1024個のメモリセ
ル30の各々に対するパスゲート31は関連する行ライ
ンRLにより制御され、従って1024個の行ラインR
Lのうちの1本をイネーブルさせると、冗長列250
の唯1つのメモリセル30に対するパスゲート31をビ
ットラインRBL0及びRBL0 へ接続させる。行ライン
RLは、図3に示した如く、サブアレイ12内の全ての
列に対して且つ冗長列250及び251に対して共通して
いる。
【0031】冗長列250 におけるビットラインRBL
0 及びRBL0 は各々Pチャンネルトランジスタ32
のドレインへ接続されており、トランジスタ32のソー
スはプレチャージ電圧へ接続されており、該プレチャー
ジ電圧はこの場合においてはVccであり、且つトランジ
スタ32のゲートはラインRSEL0 により制御され、
該ラインRSEL0 は、以下に説明する如く、冗長マル
チプレクサ400 から延在している。トランジスタ32
は、ラインRSEL0 が低論理レベルにある場合に、ビ
ットラインRBL0 及びRBL0 をプレチャージし、
そのことは冗長列250 が選択されていない場合に発生
する。Pチャンネル平衡化トランジスタ34は、そのソ
ース対ドレイン経路をビットラインRBL0 とRBL0
との間に接続しており、且つそのゲートをラインRS
EL0 へ接続しており、従って、ラインRSEL0 が低
状態にある期間中(即ち、トランジスタ32を介しての
プレチャージ期間中)、ビットラインRBL0 及びRB
0 は同一の電位(この場合は、Vcc)へ平衡化され
る。
【0032】ビットラインRBL0 及びRBL0 は冗
長マルチプレクサ400 へ接続されており、該マルチプ
レクサは、センス/書込み回路13の選択した1つに対
してのビットラインRBL0及びRBL0 の印加を制
御する。ビットラインRBL0 及びRBL0 が接続さ
れるセンス/書込み回路13の選択は、後に詳細に説明
する如く、選択的に開放状態とされる冗長マルチプレク
サ400 内のヒューズにより決定される。上述した如
く、冗長列250 は、冗長マルチプレクサ400によ
り、そのサブアレイ12に対する8個のセンス/書込み
回路13の4個と関連しており、同様に、冗長列251
は、その冗長マルチプレクサ401 を介して、8個のセ
ンス/書込み回路13のうちの他の4個と関連してい
る。この例においては、冗長列250 は、センス/書込
み回路130 ,132 ,134 ,136のうちの1つと
通信状態とさせることが可能であり、逆に、冗長列25
1 は、センス/書込み回路131 ,133 ,135 ,1
7 のうちの1つと通信状態とさせることが可能であ
る。
【0033】この機能を達成するために、冗長マルチプ
レクサ400 はバスRIO内の4個の差動対のバスライ
ンのうちの何れかにおいてビットラインRBL0 及びR
BL0 の状態を供給することが可能である。これらの
4対のバスラインが、センス/書込み回路130 へ接続
されている出力端RIO0 と、センス/書込み回路13
2 へ接続されている出力端RIO2 と、センス/書込み
回路134 へ接続されている出力端RIO4 と、センス
/書込み回路136 へ接続されている出力端RIO6
おいて図3内に示されている。冗長マルチプレクサ40
0 の動作は、列デコーダ18における冗長デコーダ19
からラインRSEL0 により制御される。ラインRS
EL0 は、冗長デコーダ19が、メモリ1へ供給され
た列アドレスが冗長列250 により置換されるべき列の
アドレスとマッチすることを認識すると、その活性低状
態へ駆動され、ラインRSEL0 が低論理レベルにあ
ることに応答して、ビットラインRBL0 及びRBL0
がその中のヒューズにより表わされる出力端RIOの
うちの1つへ接続され、且つ、従って、選択されたセン
ス/書込み回路13へ接続されるI/Oバス21のライ
ンへ接続される。センス/書込み回路13は、従来の態
様で、冗長列内の選択したメモリセル30からデータを
検知するか、又はそこへデータを書込む。
【0034】メモリ1へ供給された列アドレスが冗長列
250 により置換されるべき列のアドレスとマッチしな
い場合には、列デコーダ18における冗長デコーダ19
が、ラインRSEL0 を高論理レベルへ駆動させる。
ラインRSEL0 が高状態であることに応答して、ビ
ットラインRBL0 及びRBL0 はI/Oバス21へ
接続されず、且つ冗長マルチプレクサ400 がラインR
SEL0 を介して冗長列250 へ低論理レベルを発生
し、プレチャージトランジスタ32及び平衡化トランジ
スタ34をターンオンさせる。
【0035】本発明のこの実施例においては、冗長マル
チプレクサ400は、更に、更に詳細に後述する如く、
その中の特定のノードをプレチャージするために、タイ
ミング制御回路22からラインIOEQ を介して信号
を受取る。
【0036】次に、図4を参照して、読取り経路と書込
み経路の両方を包含するセンス/書込み回路13j の構
成について説明する。I/Oバス21からの相補的入力
/出力ライン21j 及び21j の各々はPチャンネル
プレチャージトランジスタ42のドレインへ接続されて
おり、トランジスタ42のソースは両方共入力/出力ラ
イン21j 及び21j に対するプレチャージ電圧(こ
の場合は、Vcc)へ接続される。入力/出力ライン21
j 及び21j は、更に、Pチャンネル平衡化トランジ
スタ41により互いに接続されている。トランジスタ4
1及び42のゲートはラインIOEQ へ接続されてお
り、それはATD回路26により検知されるアドレス遷
移に応答するか、又は入力/出力ライン21の平衡化が
所望されるサイクル期間中のその他のイベントに応答し
て、タイミング制御回路22により発生される。
【0037】センス/書込み回路13j の読取り側にお
いて、入力/出力ライン21j 及び21j の各々はP
チャンネルパストランジスタ43へ接続されており、パ
ストランジスタ43の各々はそのゲートが分離信号IS
Oにより制御される。従って、入力/出力ライン21j
及び21j は、ラインISOが高論理レベルにあるこ
とにより読取り回路から分離することが可能であり、且
つラインISOが低論理レベルにあることによりそれへ
接続させることが可能である。入力/出力ライン21j
及び21j からパストランジスタ43の反対側におけ
る相補的ラインは、図4においては、夫々、センスノー
ドSN及びSN として呼称される。
【0038】センスノードSN及びSN は、更に、好
適には、サイクルの適宜の部分の期間中にプレチャージ
され且つ平衡化される。なぜならば、センス/書込み回
路13内のセンスアンプ48は、後述する如く、ダイナ
ミックな態様で動作するからである。Pチャンネルプレ
チャージトランジスタ46の各々は、そのソース対ドレ
イン経路をVccとセンスノードSN及びSN の夫々と
の間に接続している。平衡化トランジスタ45はPチャ
ンネルトランジスタであり、そのソース対ドレイン経路
はセンスノードSNとSN との間に接続している。ト
ランジスタ45及び46のゲートは、全て、ラインSA
EQ により制御され、それは、低レベルにある場合
に、ビットラインBL及びBL 及び入力/出力ライン
21j 及び21j に関して上述したのと同一の態様
で、センスノードSN及びSN をプレチャージし且つ
平衡化させる。
【0039】センスアンプ48は従来のCMOSラッチ
であり、その中における差結合されたインバータから
構成されており、その差結合されたラッチの入力端及
び出力端は従来の態様でセンスノードSN及びSN
接続されている。Nチャンネルプルダウントランジスタ
47は、そのソース対ドレイン経路を、センスアンプ4
8内のNチャンネルトランジスタのソースと接地との間
に接続しており、且つそのゲートはラインSCLKによ
り制御される。
【0040】プルダウントランジスタ47はセンスアン
プ48のダイナミック制御を与え、従ってセンスノード
SN及びSN のセンス動作即ち検知動作はダイナミッ
クな態様で行なわれる。ダイナミックRAMにおいて公
知の如く、この構成におけるダイナミック検知はパスト
ランジスタ43がセンスノードSN及びSN を入力/
出力ライン21j 及び21j へ接続する時において初
期的にオフであるトランジスタ47で制御され、サイク
ルのこの部分の期間中、センスアンプ48はセンスノー
ドSN及びSN 間の小さな差電圧が供給される。この
小さな差電圧が発生した後に、ラインSCLKは高状態
へ駆動され、従ってセンスアンプ48内のプルダウント
ランジスタのソースは接地へプルされる。このことは、
センスアンプ48をしてセンスノードSN及びSN
に大きな差信号を発生させ、且つセンスノードSN及び
SN の検知した状態をラッチする。
【0041】この構成においては、センスノードSN及
びSN はR−Sフリップフロップ50により出力バス
20へ通信を行ない、フリップフロップ50のセット入
力端はセンスノードSN を受取り、且つフリップフロ
ップ50のリセット入力端はセンスノードSNを受取
る。フリップフロップ50のQ 出力端は、インバータ
49を介して、出力バス20のライン20j へ接続され
ている。インバータ49は出力バス20へ送給される論
理状態を、この説明において指定されたビットラインB
L及びBL の極性と一貫性のあるものとさせる。イン
バータ49は、好適には、列デコーダ18によって制御
される制御入力端を有しており(図4のラインBLK上
に示してある)、従ってインバータ49は、センス/書
込み回路13j が関連しているサブアレイ12が列デコ
ーダ18により選択されない場合に、トライステート状
態となる。
【0042】注意すべきことであるが、センス/書込み
回路13j のその他のものがメモリ1内に存在してお
り、且つ、異なったサブアレイ12の場合を除いて、図
4のセンス/書込み回路13j と同様の態様で出力バス
ライン20j と関連している。出力バス20のこのライ
ンと関連するセンス/書込み回路13j の全てはワイヤ
ードOR態様で接続されている。従って、センス/書込
み回路13j の読取り側へ供給される制御信号ISO,
SAEQ ,SCLKは、好適には、この実施例におい
ては、タイミング制御回路22と関連して列デコーダ1
8により発生される。このようなこれらの制御信号の発
生は、サブアレイ12の選択されなかったものと関連す
るセンス/書込み回路13j のものをイネーブルさせる
ことはなく(ラインISOを高状態に維持し、且つライ
ンSAEQ 及びSCLKを低状態に維持することによ
り)、それらのセンスノードSN及びSN を平衡化さ
れ且つVccへプレチャージされた状態に維持し、出力バ
ス20上でのバス競合を防止する。
【0043】次に、センス/書込み回路13j の書込み
側を検討すると、入力バス38からのライン38j 及び
列デコーダ18からの書込み制御信号WRSELがNA
NDゲート54T及び54Cにより受取られる(ライン
38j がNANDゲート54Cへ接続される前にインバ
ータ53により反転される)。書込み制御信号WRSE
Lが、公知の如く、サイクルにおける適宜の時間におい
て書込み動作を行なうためのタイミング制御回路22か
らの適宜のタイミング信号と共に、センス/書込み回路
13j が関連するサブアレイ12の選択の論理的AND
に従って発生される。
【0044】NANDゲート54Tの出力端がNチャン
ネルプルダウントランジスタ57Tとプシュプル態様で
接続されているPチャンネルプルアップトランジスタ5
6Tのゲートを制御し、NANDゲート54Tの出力端
は、更に、インバータ55Tを介して、Nチャンネルプ
ルダウントランジスタ57Cのゲートへ接続されてお
り、トランジスタ57CはPチャンネルプルアップトラ
ンジスタ56Cとプシュプル態様で接続されている。同
様に、NANDゲート54Cの出力端は、プルアップト
ランジスタ56Cのゲートへ直接的に接続されており、
且つプルダウントランジスタ57Tのゲートへインバー
タ55Cを介して接続されている。トランジスタ56T
及び57Tのドレインは入力/出力ライン21jを駆動
し、且つトランジスタ56C及び57Cのドレインは入
力/出力ライン21j を駆動する。
【0045】従って、センス/書込み回路13j の書込
み側はトライステートドライバの相補的対として動作す
る。該ドライバは、書込み制御ラインWRSELが低論
理レベルにあることに応答して入力/出力ライン21j
及び21j へ高インピーダンス状態を供給する。なぜ
ならば、このことは、NANDゲート54T及び54C
の両方の出力端を高論理レベルとし、トランジスタ56
T,56C,57T,57Cの全てをターンオフさせる
からである。勿論、書込み制御ラインWRSELは、読
取りサイクル期間中、及びセンス/書込み回路13j
関連するもの以外のサブアレイ12に対する書込みサイ
クル期間中に、このような低論理レベルにある。
【0046】この好適実施例によれば、センス/書込み
回路13j の書込み側にソースホロワも与えられる。N
チャンネルトランジスタ60Tは、そのソースを入力/
出力ライン21j へ接続し且つそのドレインをVccへバ
イアスさせ、トランジスタ60TのゲートはNANDゲ
ート54Cの出力により制御され、インバータ55C及
び59Cにより2度反転される。同様に、Nチャンネル
トランジスタ60Cは、そのソースを入力/出力ライン
21j へ接続しており、且つそのドレインをVccへバ
イアスしており、トランジスタ60TのゲートはNAN
Dゲート54Tの出力により制御され、インバータ55
T及び59Tにより2度反転される。
【0047】トランジスタ60T及び60Cのソースホ
ロワは、書込み動作の後で且つ読取り動作の前に(しば
しば「書込み回復」と呼ばれる)入力/出力ライン21
j 及び21j のプルアップを助けるために設けられて
いる。動作について説明すると、書込み動作期間中に、
プルダウントランジスタ57により低レベルへ駆動され
る入力/出力ライン21j 及び21j の一方はその関
連するソースホロワトランジスタをオフさせ(インバー
タ59からの反転により)、ソースホロワトランジスタ
60は、そのプルアップ装置56により高へ駆動される
他の入力/出力ラインに対してオンである。書込み制御
ラインWRSELが書込動作の終了時に低論理レベルへ
復帰すると、NANDゲート54の両方の出力は高であ
り、従って以前にオンでなかったトランジスタ60はタ
ーンオンされる。このことは、それと関連する入力/出
力ライン21j をその適切な低レベルから電圧Vcc−V
t(Vt はトランジスタ60のスレッシュホールド電圧
である)へ向けてプルアップする。プレチャージトラン
ジスタ42は、1度ターンオンされると、入力/出力ラ
イン21j 及び21j を完全にVccへプルアップし、
入力/出力ライン21j 及び21j の電圧がVcc−V
t より高い電圧に到達すると、トランジスタ60は最早
影響を有するものではなくなる。
【0048】注意すべきことであるが、ソースホロワト
ランジスタ60の両方は読取り動作期間中オン状態を維
持する。従って、入力/出力ライン21j及び21j
がクランプされ、従ってそれらの電圧はVcc−Vt のレ
ベル以下に降下することは不可能である。しかしなが
ら、注意すべきことであるが、この実施例におけるVt
は1.25Vのオーダである。入力/出力ライン21及
びビットラインBL及びBL がVccへプレチャージさ
れるので、ビットラインBL及びBL へ接続される選
択されたメモリセル30はVt のオーダの差電圧を入力
/出力ライン21j 及び21j の間に発生させる。こ
の差動電圧はセンスアンプ48により容易に検知するこ
とが可能である。従って、ソースホロワトランジスタ6
0を設けることにより、読取り動作に殆ど影響を与える
ことなしに書込み回復を改善させることが可能である。
【0049】次に、図5を参照して、本発明の好適実施
例に基づく冗長マルチプレクサ40の構成について、一
例として冗長マルチプレクサ400 を使用して説明す
る。上述した図3において示した如く、冗長マルチプレ
クサ400 は冗長列250 からビットラインRBL0
びRBL0 を受取る。パスゲート620 ,622 ,6
4 ,626 が、夫々、一方の側においてはヒューズ6
0 ,662 .664 ,666 へ接続されており且つ他
方の側においてはビットラインRBL0 へ接続されてお
り、同様に、パスゲート620 ,622 ,624
,626 が一方の側において夫々ヒューズ660
,662 ,664 ,666 へ接続されており、
且つ他方の側においてビットラインRBL0 へ接続さ
れている。パスゲート62の各々は、ソース対ドレイン
経路を互いに並列に接続したNチャンネル及びPチャン
ネルトランジスタとして構成されている。パスゲート6
2内のPチャンネルトランジスタの各々のゲートは、列
デコーダ18からのラインRSEL0 へ接続されてお
り、且つパスゲート62内のNチャンネルトランジスタ
の各々のゲートはラインRSEL0 を反転するインバ
ータ63の出力端においてラインRSEL0 へ接続され
ている。インバータ63の出力端からのラインRSEL
0 は、更に、図3に示した如く、冗長列250 内の平衡
化トランジスタ34及びプレチャージトランジスタ32
のゲートへ接続されている。
【0050】ヒューズ66は、冗長列250 が選択され
る場合に、ビットラインRBL0 及びRBL0 を接続
すべきバスRIOのラインを選択する。この例において
は、選択されたセンス/書込み回路13と関連する2つ
のもの以外のもの全てのヒューズ66が、この選択を制
御するためのレーザにより開放状態とされる。例えば、
冗長列250 がセンス/書込み回路132 と関連するサ
ブアレイ12内の1つの列と置き換えるべき場合には、
ヒューズ660 ,660 ,664 ,664 ,666
666 の全てが開放状態とされ且つヒューズ662
び662 はそのままの状態とされる。その結果、列デ
コーダ18がラインRSEL0 を低状態へ駆動するこ
とにより冗長列250 を選択すると、全てのパスゲート
62がターンオンされ、且つビットラインRBL0 及び
RBL0 は、パスゲート622 及び622 及び変化
されなかったヒューズ662 及び662 を介して、夫
々、出力ラインRIO2 及びRIO2 へ接続される。
ラインRIO2 及びRIO2 は、図3に示した如く、
R/Oバス21のライン212 及び212 へ接続さ
れ、従って図4に示した態様で、センス/書込み回路2
2 へ接続される。本発明の好適実施例によれば、冗長
マルチプレクサ40はヒューズ66とパスゲート62と
の間に接続されるその中のノードをプレチャージするた
めの回路を有している。図5を参照すると、この回路は
Pチャンネルプレチャージトランジスタ64によって実
現されており、該トランジスタの各々は、そのドレイン
を、関連するパスゲート62とヒューズ66との間にお
いて、冗長マルチプレクサ400 内のノードNへ結合さ
せている。例えば、プレチャージトランジスタ64
6は、そのドレインを、パスゲート626 とヒューズ6
6 との間におけるノードN6 へ接続している。プレチ
ャージトランジスタ64の各々は、更に、そのソースを
プレチャージ電圧へ接続しており、それは、この場合に
は、Vccであり、且つそのゲートをラインIOEQ
接続しており、該ラインはセンス/書込み回路13にお
いてI/Oライン21及び21 を平衡化させる場合に
ついて上述したものと同一の信号である。従って、I/
Oライン21及び21 がプレチャージされているメモ
リサイクルにおける期間中において、プレチャージトラ
ンジスタ64のドレインが接続されるべきノードは同様
にVccへプレチャージされる。一方冗長マルチプレクサ
40内のノードNをプレチャージすることに変えて(又
は、そのことに加えて)、与えられた対の冗長入力/出
力ラインRIO及びRIO に対するノードNの平衡化
は、更に、選択されなかった入力/出力対に対しそこに
おける差動的なトラップされた電荷を減少させるべく作
用することが可能である。例えば、各入力/出力対RI
O及びRIO に対してPチャンネルトランジスタを設
けることが可能であり、そのソース−ドレイン経路をそ
れと関連する入力/出力ラインRIO及びRIO の間
に接続し、且つそのゲートをラインIOEQ へ接続
し、従って入力/出力バス平衡化期間中にそれが導通状
態であるようにすることが可能である。ノードNの平衡
化は、そこにおいてトラップされた電荷の差動的成分を
除去し、従ってラインRSEL0 による関連した冗長
列の選択は、冗長列250 のビットライン上に差動電圧
を与えることはない。注意すべきことであるが、このよ
うな平衡化をノードN(プレチャージなし)に与えるこ
とは、差動的なトラップした電荷を除去する上では効果
的であるが、冗長列250 のビットラインへオフセット
電圧を印加することとなる可能性があり、そのことは、
その列に対するセンス及び書込み回路による動作におい
て考慮されねばならない。従って、プレチャージの代わ
りにノードNの平衡化を行なうことは、レイアウトが1
個のトランジスタを容易に受入れることが可能であるよ
うな場合に主に好適であるが、図5の実施例に示した2
個のプレチャージトランジスタ64を容易に取入れるこ
とは不可能である。
【0051】図6及び7を参照して、冗長列25へアク
セスするのに必要とされる時間をサブアレイ12内の1
つの列へアクセスするのに必要とされる時間と可及的に
近い状態に維持する場合のこのようなプレチャージ動作
の利点について説明する。図6は、プレチャージトラン
ジスタ64なしで構成された場合の、一連の読取り動作
に対する冗長マルチプレクサ40の動作を示している。
説明の便宜上、図6におけるライン及びノードに対する
参照は図5の冗長マルチプレクサ400 の要素に関して
行なうものとするが、前述した如く、図6に示した動作
は、プレチャージトランジスタ64を有することのない
マルチプレクサに対するものである。図6に示したシー
ケンスは両方共冗長列250 内であるが異なった行内に
ある2個のメモリセル30の相継ぐ読取りの場合を示し
ており、且つその場合に、アクセスされたメモリセル内
に格納されているデータ状態は互いに反対である。
【0052】図6のシーケンスは、「1」データ状態を
収容する冗長列250 内のメモリセルの読取りの完了で
開始する。その結果、ビットラインRBL0 はビットラ
インRBL0 に対して高状態にあり、注意すべきこと
であるが、ビットラインRBL0 及びRBL0 間の差
動信号は、前述した如く、Nチャンネルトランジスタス
レッシュホールド電圧の程度である。この例の目的のた
めには、ヒューズ662 及び662 は不変のままであ
り、且つその他の6個のヒューズ66の全ては開放状態
にあり、従ってセンス/書込み回路132が選択された
状態にある。従って、図6の最初の読取りサイクルの終
了時に、ビットラインRBL0 及びRBL0 の状態に
従って、出力ラインRIO2 は高レベルにあり且つRI
2 は低論理レベルにあり、センス/書込み回路13
2 に対して差動信号を送給する。パスゲート62の全て
がオンであるので、開放状態にあるヒューズ66と関連
しているノードNは出力ラインRIO2 及びRIO2
の状態に追従する。例えば、図6に示した如く、ノード
6 は高論理レベルにあり且つノードN6 は低論理レ
ベルにある。
【0053】行アドレスの遷移があると、アドレス遷移
検知回路26がラインATD上にパルスを発生する。上
述した如く、このことは種々の制御信号を発生させ、例
えば、図6に示した如く、ラインIOEQ が低論理レ
ベルへ移行し且つラインRSEL0 が高論理レベルへ
移行する。従って、そのアドレス遷移の結果として、パ
スゲート62の全てがターンオフされ且つビットライン
RBL0 及びRBL0 が、ラインRSEL0 が高状態
へ移行する(且つラインRSEL0 が低状態へ移行)へ
動作によりプレチャージされ且つ平衡化される。同様
に、図4に示したセンス/書込み回路13j の構成を参
照すると、ラインIOEQ が低状態へ移行することに
応答してI/Oライン21及び21 がプレチャージさ
れ且つ平衡化され、従って、ラインRIO2 及びRIO
2 がVccへプレチャージされ且つ平衡化される。
【0054】しかしながら、ヒューズ666 及び666
が開放状態にあるので、ラインATD上のパルスに応答
してラインRSEL0 が高状態へ移行することにより
パスゲート626 及び626 がターンオフされると、
ノードN6 及びN6 がフロート状態のままとされ、前
のサイクルの期間中にそれらが駆動された電圧を維持す
る(究極的には、それからのリークに依存する)。その
結果、行アドレスの変化からラインATD上に発生する
パルスが、開放状態にあるヒューズ66と関連するノー
ドN上の電荷をトラップする。
【0055】開放状態にあるヒューズ66と関連するノ
ードN上のトラップされた電荷は、冗長列250 の爾後
のアクセスを遅滞化させ、その場合に、ビットラインR
BL0 及びRBL0 上のデータ状態は前のサイクルの
ものと反対である。このことは、ラインATD上のパル
スの終了時に発生するものとして図6に示してあり、そ
のことは、ラインIOEQ をして高論理レベルへ復帰さ
せ且つそのことは列デコーダ18をイネーブルしてライ
ンRSEL0 上に低論理レベルを発生させる(なぜな
らば、この例においては、列アドレスが同一のまま維持
されるからである)。ラインRSEL0 が低論理レベ
ルへ復帰することに応答して、ビットラインRBL0
びRBL0 が新たな行アドレスと関連する選択された
メモリセル30からのデータ状態を受取り、且つパスゲ
ート62は全てターンオン状態とされる。しかしなが
ら、このサイクルにおいてビットラインRBL0 及びR
BL0 上に供給される反対のデータ状態は、開放状態
にあるヒューズ66と関連するノードN上のトラップさ
れた電荷に打ち勝つものでなければならず、このように
トラップされた電荷は前のサイクルとは反対のデータ状
態である。6個のヒューズ66が開放状態とされている
例の場合には、この格納された帯電状態はノードN0
0 ,N4 ,N4 ,N6 ,N6 上に存在する。
【0056】図6に示した如く、ノードN0 ,N0
4 ,N4 ,N6 ,N6 上のトラップされた電荷は、
ビットラインRBL0 及びRBL0 上に誤った差電圧
が確立されるような大きさのものである場合がある。こ
の誤った差電圧は、選択された冗長入力/出力ラインR
IO2 及びRIO2 及びビットラインRBL0 及びR
BL0 と共に、全てのノードをN及びN の間で発生
する電荷分割から発生する。従って、ビットラインRB
0 及びRBL0 が誤った差電圧に打ち勝ち(そのこ
との検知は出力端へ誤ったデータを送給する場合があ
る)且つラインRIO2 及びRIO2 上に有効な新た
なデータ状態を供給するために時間が必要とされる。従
って、図6に示した、アドレス値の遷移の後ラインRI
2 及びRIO2 が新たなデータ状態を供給する時間
の間のアクセス時間tacはこの遅延時間を有している。
上述した例は読取り動作に続く読取り動作の場合として
示したが、書込み動作に続く読取り動作はより長い遅延
時間を経験することとなる。なぜならば、入力/出力ラ
インは、通常、読取り動作(例えば、Nチャンネルトラ
ンジスタスレッシュホールド電圧の程度における差電
圧)におけるよりも書込み動作においてより大きな差電
圧(例えば、レール対レール差電圧)へ駆動されるから
である。
【0057】図7を参照すると、相継ぐサイクルにおけ
る冗長列250 における異なったセルから反対のデータ
状態の同一の読取りに対してのプレチャージトランジス
タ64を包含する図5の冗長マルチプレクサ400 の動
作が示されている。図7のシーケンスにおける最初のサ
イクルに対する本発明のこの実施例に基づく冗長マルチ
プレクサ400 の動作は図6に示したものと同一であ
る。
【0058】しかしながら、プレチャージトランジスタ
64を設けているために、ヒューズ66のうちで開放状
態にあるものと関連しているノードNはフロートするこ
とはなく、ラインIOEQ が低レベルへ移行すること
に応答してVccへプレチャージされ、I/Oバス21内
のラインを平衡化させる。ノードN6 及びN6 (及び
開放状態とされたヒューズ66と関連するノードNの他
のもの)のVccへのプレチャージ動作は、ビットライン
RBL0 及びRBL0 及びI/Oバス21のプレチャ
ージ及び平衡化と実質的に同時に発生する(その結果、
図6に示した如く、ラインRIO2 及びRIO2 の平
衡化が行なわれる)。
【0059】ラインATD上のパルスが完了し、且つ冗
長列250 の新たな行内のメモリセル30が選択される
と(この例においては列アドレスは一定のままであ
る)、選択されたメモリセル30により発生されるビッ
トラインRBL0 及びRBL0 上の差動電圧が、ノード
Nの上のトラップされた電荷に打ち勝つ必要性なしに、
ラインRIO2 及びRIO2 上に発生される。その結
果、ラインRIO2 及びRIO2 上に十分な差動信号
が発生されるアクセス時間tacは、プレチャージトラン
ジスタ64の動作に起因して、図6に示した場合のもの
よりも一層短い。従って、本発明のこの実施例に基づく
メモリ内の冗長列と関連するデータ端子DQを選択する
ための回路の構成は、冗長列内の選択されたメモリセル
からのデータ状態の通信即ち送給における遅れを減少さ
せる。その結果、該メモリ内において具体化される冗長
列の数は、上述した歩留りとチップ面積との利益衡量に
従って選択することが可能である。なぜならば、本発明
によれば、冗長列が複数個のデータ端子のうちの1つと
通信状態とされる選択回路を設けることにより性能に与
えられる影響が最小とされているからである。
【0060】注意すべきことであるが、上述した説明で
はVccへプレチャージしており、従って、好適には、こ
のようなプレチャージのためにPチャンネルトランジス
タを使用しているが、異なったトランジスタタイプ及び
その他の回路を使用してその他の電圧へプレチャージす
ることにより、集積メモリ回路としてか、又は例えばマ
イクロプロセサ、論理アレイ等のような論理装置におけ
る埋込み型メモリ等のメモリのアクセス時間の性能にお
いて同様の改善が得られる。更に注意すべきことである
が、上述した説明はスタチックRAM装置に関するもの
であるが、本発明の利点は、例えばダイナミックRA
M、ROM、EPROM及びEEPROM等のようなリ
ードオンリメモリ、及びFIFO及び二重ポートメモリ
等のようなその他のメモリ形態のもの等のその他のメモ
リ構成及びタイプにおいて使用することによっても得る
ことが可能である。
【0061】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好適実施例に基づくメモリの概略
図。
【図2】 図1のメモリ内のサブアレイ及びその冗長列
を示した概略図。
【図3】 図1のメモリ内の冗長列とセンス/書込み回
路との間の通信状態を示した概略図。
【図4】 図1のメモリにおけるセンス/書込み回路を
示した概略図。
【図5】 図1のメモリにおける冗長マルチプレクサを
示した概略図。
【図6】 プレチャージ及び平衡化が存在しない場合の
冗長デコーダの動作を示したタイミング線図。
【図7】 本発明の好適実施例に基づく冗長マルチプレ
クサの動作を示したタイミング線図。
【符号の説明】 1 メモリ 12 サブアレイ 13 センス/書込み回路 14 行デコーダ 16 リピータ 18 列デコーダ 19 冗長列デコーダ 22 タイミング制御回路 24 パワーオンリセット回路 25 冗長列 26 アドレス遷移検知回路 28 入力/出力回路 40 冗長マルチプレクサ 66 ヒューズ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−142599(JP,A) 特開 平2−89299(JP,A) 特開 平1−224999(JP,A) 特表 昭59−500117(JP,A) 特表 昭55−501194(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00

Claims (23)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリを有する集積回路において、行及
    び列の形態に配列された格納セルからなるアレイが設け
    られており、前記アレイと関連して複数個の冗長格納セ
    ルが設けられており、複数個のデータ端子が設けられて
    おり、各々がデータ端子へデータを送給するために1つ
    データ端子と関連している複数個の検知回路が設けら
    れており、格納セル内に格納されたデータを前記検知回
    路へ送給するために複数個の格納セルを選択するデコー
    ダが設けられており、前記選択は前記メモリへ供給され
    るアドレスに従って行なわれ、前記冗長格納セルと前記
    検知回路との間に結合されており前記冗長格納セルと通
    信するために前記検知回路の1つを選択する選択回路が
    設けられており、前記選択回路は、各々が前記デコーダ
    により制御され各々が前記冗長格納セルを前記検知回路
    の1つへ接続させる複数個のパスゲートと、各々が関連
    するパスゲートとそれと関連する検知回路との間に接続
    されている複数個のヒューズと、前記パスゲートの各々
    とそれと関連するヒューズとの間のノードをプレチャー
    する手段とを有することを特徴とする集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記複数個の冗長格
    納セルが1列に配設されていることを特徴とする集積回
    路。
  3. 【請求項3】 請求項2において、更に、前記デコーダ
    へ供給された列アドレスが所定の値にマッチすることに
    応答して前記冗長格納セルの列を選択する冗長デコーダ
    が設けられていることを特徴とする集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記データ端子によ
    り受取られたデータを前記アレイ内の選択された格納セ
    ルへ供給する複数個の書込み回路が設けられていること
    を特徴とする集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項4において、更に、前記選択回路
    へ接続して入力/出力バスが設けられており、前記検知
    回路及び前記書込み回路が前記入力/出力バスへ接続さ
    れており、且つ前記選択回路が前記冗長格納セルと通信
    するために前記入力/出力バス内のラインを選択するた
    めのものであることを特徴とする集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項4において、前記データ端子
    力/出力端子であることを特徴とする集積回路。
  7. 【請求項7】 請求項6において、更に、前記選択回路
    へ接続して入力/出力バスが設けられており、前記検知
    回路及び前記書込み回路が前記入力/出力バスへ接続さ
    れており、且つ前記選択回路が前記冗長格納セルと通信
    するために前記入力/出力バス内のラインを選択するた
    めのものであることを特徴とする集積回路。
  8. 【請求項8】 請求項7において、前記データ端子の各
    々が1個の検知回路及び1個の書込み回路と関連してお
    り、且つ同一のデータ端子と関連する前記検知回路及び
    前記書込み回路が前記入力/出力バス内の同一のライン
    へ接続されていることを特徴とする集積回路。
  9. 【請求項9】 請求項1において、前記選択回路が各検
    知回路と関連する出力端を有しており、前記ヒューズの
    各々がそれの関連するパスゲートと前記選択回路の前記
    出力端のうちの1つとの間に直列接続されており、且つ
    前記複数個のヒューズのうちで前記選択された検知回路
    と関連しないものは開放されていることを特徴とする集
    積回路。
  10. 【請求項10】 請求項1において、前記冗長格納セル
    が1列に配列されており、且つ、更に、前記冗長格納
    ルの列を前記選択回路へ接続するための一対のビット線
    が設けられていることを特徴とする集積回路。
  11. 【請求項11】 請求項7において、更に、プレチャー
    ジ信号に応答して前記入力/出力バスをプレチャージす
    る手段が設けられており、且つ前記プレチャージ手段が
    複数個のトランジスタを有しており、前記各トランジス
    タは関連するノードとプレチャージ電圧との間に接続さ
    れた導通経路を有すると共に、前記プレチャージ信号を
    受取るための制御端子を有することを特徴とする集積回
    路。
  12. 【請求項12】 請求項1において、前記放電手段が複
    数個のトランジスタを有しており、前記各トランジスタ
    が関連するノードとプレチャージ電圧との間に接続され
    た導通経路を有すると共に、プレチャージ信号を受取る
    ための制御端子を有することを特徴とする集積回路。
  13. 【請求項13】 請求項1において、更に、前記検知回
    路と前記選択回路との間に結合されて出力バスが設けら
    れており、前記出力バスは、複数個の対の差動バスライ
    ンを有しており、且つ前記選択回路が差動ビットライン
    により前記冗長格納セルへ結合されており、且つ前記
    レチャージ手段が複数個の平衡化トランジスタを有して
    おり、前記各トランジスタが前記差動バスラインの1つ
    と関連しており且つ平衡化信号を受取るための制御端子
    を有することを特徴とする集積回路。
  14. 【請求項14】 集積回路においてメモリを動作させる
    方法において、前記メモリが行及び列の形態に配列され
    た格納セルからなるアレイを有すると共に、複数個の
    ータ端子に対してデータを通信するために複数個のデー
    タ端子と連結させることの可能な複数個の冗長格納セル
    を有しており、 前記複数個の冗長格納セルと通信するためにデータ端子
    を選択し、 前記冗長格納セルの選択を表わすアドレス値に応答し
    て、前記冗長格納セルとノードとの間に結合されている
    複数個のパスゲートをターンオンさせることにより前記
    冗長格納セルの1つを前記選択されたデータ端子へ接続
    させ、前記各ノードは前記複数個のデータ端子の1つと
    関連しており、且つ前記接続ステップの後に、前記複数
    個のデータ端子のうちで前記選択ステップにおいて選択
    されなかったものと関連するノードを放電させる、 上記各ステップを有することを特徴とする方法。
  15. 【請求項15】 請求項14において、前記選択ステッ
    プが、 複数個のヒューズのうちの選択したものを開放し、前記
    複数個のヒューズの各々がノードとそれと関連するデー
    タ端子との間に接続されている、 上記ステップを有することを特徴とする方法。
  16. 【請求項16】 請求項15において、前記開放ステッ
    プが、前記複数個のヒューズのうちで前記複数個のデー
    タ端子のうちで選択されなかったものと関連するものを
    開放することを特徴とする方法。
  17. 【請求項17】 請求項14において、更に、 前記接続ステップの後に、前記選択した冗長格納セルの
    状態を検知し、 前記検知した状態を前記選択したデータ端子へ供給す
    る、 上記各ステップを有することを特徴とする方法。
  18. 【請求項18】 請求項14において、前記放電ステッ
    プが、前記接続ステップの後に別のアドレス値を受取る
    ことに応答して実施されることを特徴とする方法。
  19. 【請求項19】 請求項14において、更に、 前記冗長格納セルが選択されていることを表わすことの
    ないアドレス値に応答して、前記複数個のパスゲートを
    ターンオフさせる、 上記ステップを有することを特徴とする方法。
  20. 【請求項20】 請求項14において、前記接続ステッ
    プが前記選択した冗長格納セルを書込み回路へ接続し、
    且つ、更に、 前記接続ステップの後に、前記選択した冗長格納セルへ
    データを書込む、 上記ステップを有することを特徴とする方法。
  21. 【請求項21】 請求項14において、前記接続ステッ
    プが差動ビットラインを前記選択したデータ端子と関連
    する検知回路へ接続することを特徴とする方法。
  22. 【請求項22】 請求項14において、前記放電ステッ
    プが、前記複数個のデータ端子のうちで前記選択ステッ
    プにおいて選択されなかったものと関連するノードをプ
    レチャージ電圧へバイアスさせるステップを有すること
    を特徴とする方法。
  23. 【請求項23】 請求項14において、前記冗長格納セ
    ルが差動信号ラインにより前記データ端子と通信し、前
    記接続ステップが前記冗長格納セルと前記データ端子
    各々との間の差動パスゲートをターンオンさせることを
    包含しており、且つ前記放電ステップが、前記複数個の
    データ端子のうちで前記選択ステップにより選択されな
    かったものに関連する差動ノードを平衡化させることを
    包含することを特徴とする方法。
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