JP3215289B2 - スケール及びエンコーダ - Google Patents
スケール及びエンコーダInfo
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Landscapes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、エンコーダや分光器な
どに使用されるスケール、ならびに工作機械や半導体製
造装置等の位置計測に利用されるエンコーダに関する。
どに使用されるスケール、ならびに工作機械や半導体製
造装置等の位置計測に利用されるエンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の例えば光学式エンコーダでは、第
1の回折格子(以下、第1格子という)に対して長手方
向に相対移動する第2の回折格子(以下、第2格子とい
う)が第1格子の後方に配置され、光電変換素子が第2
格子の後方に配置されている。第1格子及び第2格子に
は、図12に示すように光を透過させる部分(以下、透
過部という)及び透過させない部分(以下、非透過部と
いう)が所定の長さ(以下、格子ピッチという)で繰り
返されている格子部が設けられている。このような構成
において、平行光束Lを第1格子に照射すると、第1格
子及び第2格子2を透過した光が光電変換素子で受光さ
れ、光電変換素子は受光強度に応じた電気信号に変換し
て出力する。この電気信号の変化は、第1格子と第2格
子2との相対変位によって、第1格子及び第2格子2を
透過する光量が変化することにより生じるものである。
また、この変位信号は、本来第1格子と第2格子2との
重なり具合により発光側から見たみかけ上の透過部の変
化に比例した三角波信号となるはずであるが、実際は光
の回折等により種々の歪成分を含んだ信号となってい
る。そして、この変位信号を疑似正弦波とみなして位置
検出が行われている。
1の回折格子(以下、第1格子という)に対して長手方
向に相対移動する第2の回折格子(以下、第2格子とい
う)が第1格子の後方に配置され、光電変換素子が第2
格子の後方に配置されている。第1格子及び第2格子に
は、図12に示すように光を透過させる部分(以下、透
過部という)及び透過させない部分(以下、非透過部と
いう)が所定の長さ(以下、格子ピッチという)で繰り
返されている格子部が設けられている。このような構成
において、平行光束Lを第1格子に照射すると、第1格
子及び第2格子2を透過した光が光電変換素子で受光さ
れ、光電変換素子は受光強度に応じた電気信号に変換し
て出力する。この電気信号の変化は、第1格子と第2格
子2との相対変位によって、第1格子及び第2格子2を
透過する光量が変化することにより生じるものである。
また、この変位信号は、本来第1格子と第2格子2との
重なり具合により発光側から見たみかけ上の透過部の変
化に比例した三角波信号となるはずであるが、実際は光
の回折等により種々の歪成分を含んだ信号となってい
る。そして、この変位信号を疑似正弦波とみなして位置
検出が行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図12に示すような格
子部を用いた従来の光学式エンコーダは、種々の歪成分
を含むために、その変位信号を利用して求めた位置検出
値に大きな分割誤差を伴っていた。さらに、上述した従
来の光学式エンコーダで得られる変位信号の歪率は、第
1格子と第2格子との間隔が変化すると大きく変動して
しまう。そのため、誤差を一定値以内に抑えるために
は、第1格子と第2格子との間隔を適切な間隔で一定に
保つ必要があり、非常に厳しい取り付け精度が要求され
るという問題があった。そこで、本出願人により、歪成
分を除去するために隣合ったパターンの間隔が等しくな
く、パターンを所定の位相差を有して配置することで、
n次の歪成分を除去する光学式エンコーダが提案されて
いる(例えば特開平3−48122号公報。)。図13
には、検出誤差の主な原因となる3次及び5次の高調波
歪成分を除去するパターンが示されている。また、これ
ら第2格子2のパターンを光電変換素子により形成して
装置の小型化を図ることも可能である。
子部を用いた従来の光学式エンコーダは、種々の歪成分
を含むために、その変位信号を利用して求めた位置検出
値に大きな分割誤差を伴っていた。さらに、上述した従
来の光学式エンコーダで得られる変位信号の歪率は、第
1格子と第2格子との間隔が変化すると大きく変動して
しまう。そのため、誤差を一定値以内に抑えるために
は、第1格子と第2格子との間隔を適切な間隔で一定に
保つ必要があり、非常に厳しい取り付け精度が要求され
るという問題があった。そこで、本出願人により、歪成
分を除去するために隣合ったパターンの間隔が等しくな
く、パターンを所定の位相差を有して配置することで、
n次の歪成分を除去する光学式エンコーダが提案されて
いる(例えば特開平3−48122号公報。)。図13
には、検出誤差の主な原因となる3次及び5次の高調波
歪成分を除去するパターンが示されている。また、これ
ら第2格子2のパターンを光電変換素子により形成して
装置の小型化を図ることも可能である。
【0004】しかし、このような構成において、例えば
3次及び5次の高調波歪成分を除去する場合には、少な
くとも4つのスリットを必要とする。スリットの本数が
十分多い場合は、照射光束の不均一さがあっても十分な
平均化効果が発揮されるが、スリットの本数が少ない場
合、例えば4本〜数本程度の場合は平均化効果が低下
し、3次及び5次の高調波歪成分の除去能力が薄れると
いう問題があった。また、光学格子としては、透過率の
分布を連続的に変化させて正弦波格子を作成する方法が
あり、それによれば格子には歪成分が含まれず、従って
変位信号にも歪成分が含まれない。しかし、この方式の
ための正弦波格子は製作が困難であるため、実際には実
用化がすすんでいない。透過率の分布を格子上で連続的
に変化させることが非常に難しいからである。本発明は
上述した事情から成されたものであり、本発明の目的
は、より歪の少ないスケールを簡易に提供すると共に、
より歪の少ない変位信号を安定して出力できるエンコー
ダを提供することにある。
3次及び5次の高調波歪成分を除去する場合には、少な
くとも4つのスリットを必要とする。スリットの本数が
十分多い場合は、照射光束の不均一さがあっても十分な
平均化効果が発揮されるが、スリットの本数が少ない場
合、例えば4本〜数本程度の場合は平均化効果が低下
し、3次及び5次の高調波歪成分の除去能力が薄れると
いう問題があった。また、光学格子としては、透過率の
分布を連続的に変化させて正弦波格子を作成する方法が
あり、それによれば格子には歪成分が含まれず、従って
変位信号にも歪成分が含まれない。しかし、この方式の
ための正弦波格子は製作が困難であるため、実際には実
用化がすすんでいない。透過率の分布を格子上で連続的
に変化させることが非常に難しいからである。本発明は
上述した事情から成されたものであり、本発明の目的
は、より歪の少ないスケールを簡易に提供すると共に、
より歪の少ない変位信号を安定して出力できるエンコー
ダを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、エンコーダや
分光器などに使用される光学格子をはじめとするスケー
ルに関するものであり、本発明の上記目的は、格子パタ
ーンの高次の歪み成分が除去されるように、スケールの
格子パターンの幅及び間隔を決定することにより達成さ
れる。また、本発明によるエンコーダは、第1のスケー
ルと、この第1のスケールに対して相対変位する第2の
スケールとを有して、相対位置を検出するエンコーダに
関するものであり、本発明の上記目的は、前記第1のス
ケール、前記第2のスケールの少なくとも1つに、格子
パターンの幅及び間隔が、格子パターンの高次の歪み成
分を除去するように決定されたスケールを備えることに
より達成される。
分光器などに使用される光学格子をはじめとするスケー
ルに関するものであり、本発明の上記目的は、格子パタ
ーンの高次の歪み成分が除去されるように、スケールの
格子パターンの幅及び間隔を決定することにより達成さ
れる。また、本発明によるエンコーダは、第1のスケー
ルと、この第1のスケールに対して相対変位する第2の
スケールとを有して、相対位置を検出するエンコーダに
関するものであり、本発明の上記目的は、前記第1のス
ケール、前記第2のスケールの少なくとも1つに、格子
パターンの幅及び間隔が、格子パターンの高次の歪み成
分を除去するように決定されたスケールを備えることに
より達成される。
【0006】
【作用】本発明にあっては、格子パターンの幅が非パタ
ーン部に対して1:1でなく、格子パターンの幅及び間
隔の選択により、スケールの格子パターンの任意の高次
の歪み成分を除去することができる。即ち、本発明で
は、格子パターンの分布の高次の歪み成分が除去される
ように格子パターンの幅及び間隔を決定している。ま
た、例えば、3次及び5次の歪み成分を除去するために
は、2つのスリットを用いればよく、平均化効果を高め
ることができる。
ーン部に対して1:1でなく、格子パターンの幅及び間
隔の選択により、スケールの格子パターンの任意の高次
の歪み成分を除去することができる。即ち、本発明で
は、格子パターンの分布の高次の歪み成分が除去される
ように格子パターンの幅及び間隔を決定している。ま
た、例えば、3次及び5次の歪み成分を除去するために
は、2つのスリットを用いればよく、平均化効果を高め
ることができる。
【0007】
【実施例】図1は本発明のエンコーダのうち、本発明に
よる光学格子をスケールに用いた光学式エンコーダの第
1の実施例を示す斜視構造図であり、第1の回折格子
(以下、第1格子という)1に対して図示矢印A方向に
相対移動する第2の回折格子(以下、第2格子という)
2が第1格子1の後方に配置され、受光部3が第2格子
2の後方に配置されている。この光学式エンコーダは第
2格子2に、図2に示すような格子部が設けられてい
る。図2に示す格子部は、数μm〜数百μmの間隔でパ
ターンが配置されている。このパターンでは、変位信号
の1/L倍(この例ではL=3)の周期成分を除去する
ようになっている。本実施例では、周期をPとすると、
パターンの幅は2P/3となっている。この格子パター
ンには、3次の歪み成分が含まれておらず、パターン幅
は以下の方針で決定される。
よる光学格子をスケールに用いた光学式エンコーダの第
1の実施例を示す斜視構造図であり、第1の回折格子
(以下、第1格子という)1に対して図示矢印A方向に
相対移動する第2の回折格子(以下、第2格子という)
2が第1格子1の後方に配置され、受光部3が第2格子
2の後方に配置されている。この光学式エンコーダは第
2格子2に、図2に示すような格子部が設けられてい
る。図2に示す格子部は、数μm〜数百μmの間隔でパ
ターンが配置されている。このパターンでは、変位信号
の1/L倍(この例ではL=3)の周期成分を除去する
ようになっている。本実施例では、周期をPとすると、
パターンの幅は2P/3となっている。この格子パター
ンには、3次の歪み成分が含まれておらず、パターン幅
は以下の方針で決定される。
【0008】”0、1”の振幅変調された格子パターン
を、フーリェ級数展開でFn (X)として示すと下記数
1となる。
を、フーリェ級数展開でFn (X)として示すと下記数
1となる。
【数1】 Fn (X)=2L/P+2/π×Σ1 /n ×sin (2 πnL/P )×cos (nX) ただし、2L:格子パターン幅 ここで、この格子パターンの3次の歪成分( n=3) を
除去するには、sin(2 πnL/P )=sin(2 π3L/P )が
常に0となればよい。従って、2 πnL/P =n´×π
を満たせばよい。従って、次の数2が成立する。
除去するには、sin(2 πnL/P )=sin(2 π3L/P )が
常に0となればよい。従って、2 πnL/P =n´×π
を満たせばよい。従って、次の数2が成立する。
【数2】2L = P/n ×n´= P/3 ×n´ ただし、n´:1、2、3、4・・・正の整数 n´としては、”1”や”2”を選んで、パターンの幅
をP/3や2P/3とすればよい。本実施例では、十分
な光量が得られるように2P/3としている。また、n
´に”3”以上を選ぶ場合は格子パターンの間隔を考慮
すればよい。この格子パターンには3次の歪成分が含ま
れていないので、この格子を透過した回折光におけるそ
れら次数の回折光強度は0となる。従って、光学式エン
コーダの受光部3にて得られる信号には、3次の歪成分
が含まれない。また、3次以外の歪成分を除去する場合
も同様にして、上記数2のnにその次数を当てはめて得
られる幅のパターンを設ければよい。なお、図2に示す
格子部は、4つの格子部a、b、a/、b/から成って
いる。これら格子部a、b、a/、b/は、光学式エン
コーダの受光部3において各々位相差の異なる4つの信
号を得るためのもので、格子部aに対して他の格子部
b、a/、b/は、それぞれP/4 、P/2 、3P/4の位相差
をもって配置されている。光学式エンコーダは、これら
格子部a、b、a/、b/からの信号をもとに位置の算
出などを行なう。なお、格子部は、1又は2箇所又は3
箇所、更にそれ以上の格子部で構成されていてもよい。
をP/3や2P/3とすればよい。本実施例では、十分
な光量が得られるように2P/3としている。また、n
´に”3”以上を選ぶ場合は格子パターンの間隔を考慮
すればよい。この格子パターンには3次の歪成分が含ま
れていないので、この格子を透過した回折光におけるそ
れら次数の回折光強度は0となる。従って、光学式エン
コーダの受光部3にて得られる信号には、3次の歪成分
が含まれない。また、3次以外の歪成分を除去する場合
も同様にして、上記数2のnにその次数を当てはめて得
られる幅のパターンを設ければよい。なお、図2に示す
格子部は、4つの格子部a、b、a/、b/から成って
いる。これら格子部a、b、a/、b/は、光学式エン
コーダの受光部3において各々位相差の異なる4つの信
号を得るためのもので、格子部aに対して他の格子部
b、a/、b/は、それぞれP/4 、P/2 、3P/4の位相差
をもって配置されている。光学式エンコーダは、これら
格子部a、b、a/、b/からの信号をもとに位置の算
出などを行なう。なお、格子部は、1又は2箇所又は3
箇所、更にそれ以上の格子部で構成されていてもよい。
【0009】次に、上記格子をさらに改善した格子を、
図3を参照して説明する。本実施例では、パターンの幅
が17P/30及び23P/30の格子から構成されて
いる。この格子パターンには、3次及び5次の歪成分が
含まれない。そして、このパターン幅は以下の方針で決
定される。2種の格子の格子パターン幅を2Lとする
と、格子のパターンの3次及び5次の歪は下記数3で示
される。
図3を参照して説明する。本実施例では、パターンの幅
が17P/30及び23P/30の格子から構成されて
いる。この格子パターンには、3次及び5次の歪成分が
含まれない。そして、このパターン幅は以下の方針で決
定される。2種の格子の格子パターン幅を2Lとする
と、格子のパターンの3次及び5次の歪は下記数3で示
される。
【数3】 3次の歪 = 2/π×1 /3 ×sin (2 π3L/P )×cos (3X) 5次の歪 = 2/π×1 /5 ×sin (2 π5L/P )×cos (5X) = −2/π×1 /5 ×sin (2 π5L/P +π(1+2n´´)×co s (5X) さらに、格子パターン幅が2Lの格子による歪成分と、
格子パターン幅が2L´の格子による歪成分との和が0
となればよいので、下式となる。
格子パターン幅が2L´の格子による歪成分との和が0
となればよいので、下式となる。
【数4】 sin (2 π3L/P )+ sin (2 π3L´/P +2 πn´ =0 sin (2 π5L/P )− sin (2 π5L/P +π(1+2n´´)=0 ただし、n´n´´ は整数。 これより、格子パターン幅を計算すると、以下のように
なる。
なる。
【数5】2L = p (n/3 +(1 +2n´/10 ) 2L´= p (n/3 −(1 +2n´/10 ) なお、上記数4を一般化して、a次及びb次の歪成分を
除去する場合には、下式で示される格子パターン幅とす
ればよい。
除去する場合には、下式で示される格子パターン幅とす
ればよい。
【数6】2L = p (n/a +(1 +2n´/2b ) 2L´= p (n/a −(1 +2n´/2b )
【0010】上記関係式より、2種の格子パターン幅の
格子を用いた構成により、任意の2つの歪の除去が可能
である。なお、格子パターン幅2L及び2L'の値は、
nとn'に変えていくと無限に得られるが、格子パター
ン幅2L及び2L'に採択可能な値を用いればよい。図
4にこの例を示す。これ以外の値も採択可能であるが、
この例では格子パターン幅を2Pまでに限定している。
あまり大きな格子パターン幅を選択すると、回折格子の
本数の密度が低下して平均化効果が劣るためである。そ
して、この例の中から、さらにP以下の格子パターン幅
のみを選択すると、17P/30及び23P/30、1
1P/30及び29P/30、7P/30及び13P/
30、P/30及び19P/30の4種の組合わせが存
在する。従って、図3に示した例の他にも、これら格子
パターン幅の格子を設ければよい。また、3次、5次以
外の歪み成分を除去する場合も同様にして、上記数5の
nにその次数を当てはめて得られる幅のパターンを設け
ればよい。これによれば、例えば、2次及び3次、3次
及び7次、5次及び11次など、任意の2つの次数の歪
み成分を2個の格子により同時に除去することが可能で
ある。図13に示す従来の格子パターンの位相差により
歪み成分を除去する場合には、4個の格子を必要とする
ので、本発明の効果は大きい。
格子を用いた構成により、任意の2つの歪の除去が可能
である。なお、格子パターン幅2L及び2L'の値は、
nとn'に変えていくと無限に得られるが、格子パター
ン幅2L及び2L'に採択可能な値を用いればよい。図
4にこの例を示す。これ以外の値も採択可能であるが、
この例では格子パターン幅を2Pまでに限定している。
あまり大きな格子パターン幅を選択すると、回折格子の
本数の密度が低下して平均化効果が劣るためである。そ
して、この例の中から、さらにP以下の格子パターン幅
のみを選択すると、17P/30及び23P/30、1
1P/30及び29P/30、7P/30及び13P/
30、P/30及び19P/30の4種の組合わせが存
在する。従って、図3に示した例の他にも、これら格子
パターン幅の格子を設ければよい。また、3次、5次以
外の歪み成分を除去する場合も同様にして、上記数5の
nにその次数を当てはめて得られる幅のパターンを設け
ればよい。これによれば、例えば、2次及び3次、3次
及び7次、5次及び11次など、任意の2つの次数の歪
み成分を2個の格子により同時に除去することが可能で
ある。図13に示す従来の格子パターンの位相差により
歪み成分を除去する場合には、4個の格子を必要とする
ので、本発明の効果は大きい。
【0011】第3の実施例を、図5を参照して説明す
る。本実施例では、パターンの幅が17P/30及び2
3P/30の格子と、11P/30及び29P/30の
格子とで構成されている。この格子パターン幅は、上述
の4種の組合せのうちの2種を選んで含ませたものであ
る。この格子パターンにおいては、3次及び5次の歪成
分が含まれない上に、図3のように1種の組合せのみを
設けた場合よりも7次の歪成分も低下させることができ
る。従って、この格子を透過した回折光における7次の
回折光強度は減少するので、この格子を光学式エンコー
ダに用いた場合、受光部3で得られる受光信号に含まれ
る7次の歪成分も低下させることができる。なお、この
ような効果が得られれば、他のパターン幅の格子の組合
せを用いてもよいし、他の次数(例えば11次等)の歪
成分を低下させる格子の組合せを用いてもよい。
る。本実施例では、パターンの幅が17P/30及び2
3P/30の格子と、11P/30及び29P/30の
格子とで構成されている。この格子パターン幅は、上述
の4種の組合せのうちの2種を選んで含ませたものであ
る。この格子パターンにおいては、3次及び5次の歪成
分が含まれない上に、図3のように1種の組合せのみを
設けた場合よりも7次の歪成分も低下させることができ
る。従って、この格子を透過した回折光における7次の
回折光強度は減少するので、この格子を光学式エンコー
ダに用いた場合、受光部3で得られる受光信号に含まれ
る7次の歪成分も低下させることができる。なお、この
ような効果が得られれば、他のパターン幅の格子の組合
せを用いてもよいし、他の次数(例えば11次等)の歪
成分を低下させる格子の組合せを用いてもよい。
【0012】第4の実施例を図6を参照して説明する。
本実施例では、パターンの幅が17P/30及び23P
/30の格子と、7P/30及び13P/30の格子と
で構成されている。このパターン幅は、上述の4種の組
合せのうちの2種を選んで含ませたものであるが、この
格子パターンにおいては、全体の明暗の比が1:1とな
るようになっているので、3次及び5次の歪成分が含ま
れない上に、偶数次の成分も含まれないという利点を有
する。全体の明暗の比が1:1であれば同様の効果が得
られるので、これ以外の組合せを用いてもよい。また、
本実施例は、他の次数の歪成分の除去、例えば2次及び
3次や、3次及び7次など任意の2つの次数の歪成分を
同時に除去する場合のいずれにも実施可能である。
本実施例では、パターンの幅が17P/30及び23P
/30の格子と、7P/30及び13P/30の格子と
で構成されている。このパターン幅は、上述の4種の組
合せのうちの2種を選んで含ませたものであるが、この
格子パターンにおいては、全体の明暗の比が1:1とな
るようになっているので、3次及び5次の歪成分が含ま
れない上に、偶数次の成分も含まれないという利点を有
する。全体の明暗の比が1:1であれば同様の効果が得
られるので、これ以外の組合せを用いてもよい。また、
本実施例は、他の次数の歪成分の除去、例えば2次及び
3次や、3次及び7次など任意の2つの次数の歪成分を
同時に除去する場合のいずれにも実施可能である。
【0013】上述の図6の実施例を更に改善した第2の
発明について、図7を参照して説明する。図6の実施例
は、格子間の間隔が全てPである。これに対して図7の
実施例では、図6と同様にパターン幅が17P/30及
び23P/30の格子と、7P/30及び13P/30
の格子とで構成されているが、そのパターンの配置され
る間隔が一定ではない。図中の格子0に対して、格子2
が間隔2P+P/14、格子3が間隔3P+P/14を
おいて配置されている。つまり、格子0及び格子1の群
と、格子2及び格子3の群とが、位相差P/14を有し
ている。この位相差は、格子0及び格子1の群の7次の
歪成分と、格子2及び格子3の群の7次の歪成分との位
相が逆相となって相殺されるように決定している。そし
て、格子の幅による効果と合わせて、3次、5次、7次
の各歪成分が除去される。なお、7次の歪成分に限ら
ず、任意のL次の歪成分が除去可能であり、そのために
は格子の群の間にP/(2・L)だけの位相差を持たせ
ればよい。また、格子0〜3の左右の配置順序などは本
実施例に限定されるものではなく、これらの組み合わせ
を含んでいればどのように行ってもよい。例えば、格子
0と格子1が逆でもよい。また、格子の幅も前記数2や
数5を満足する格子であればよく、任意の2つの次数の
歪成分を同時に除去することができる。
発明について、図7を参照して説明する。図6の実施例
は、格子間の間隔が全てPである。これに対して図7の
実施例では、図6と同様にパターン幅が17P/30及
び23P/30の格子と、7P/30及び13P/30
の格子とで構成されているが、そのパターンの配置され
る間隔が一定ではない。図中の格子0に対して、格子2
が間隔2P+P/14、格子3が間隔3P+P/14を
おいて配置されている。つまり、格子0及び格子1の群
と、格子2及び格子3の群とが、位相差P/14を有し
ている。この位相差は、格子0及び格子1の群の7次の
歪成分と、格子2及び格子3の群の7次の歪成分との位
相が逆相となって相殺されるように決定している。そし
て、格子の幅による効果と合わせて、3次、5次、7次
の各歪成分が除去される。なお、7次の歪成分に限ら
ず、任意のL次の歪成分が除去可能であり、そのために
は格子の群の間にP/(2・L)だけの位相差を持たせ
ればよい。また、格子0〜3の左右の配置順序などは本
実施例に限定されるものではなく、これらの組み合わせ
を含んでいればどのように行ってもよい。例えば、格子
0と格子1が逆でもよい。また、格子の幅も前記数2や
数5を満足する格子であればよく、任意の2つの次数の
歪成分を同時に除去することができる。
【0014】更に本発明の第2の実施例について、図8
を参照して説明する。この格子においては、8種のパタ
ーンの幅17P/30及び23P/30、7P/30及
び13P/30、P/30及び19P/30、11P/
30及び29P/30の格子とで構成されており、その
パターンが配置される位相差は図7よりもさらに複雑で
ある。そして、図示の格子0から格子1fまでで、幅と位
相差の組合せが同一の格子は存在していない。ここで、
位相差は、7次、11次、13次、17次の歪成分を除
去するためのもので、P/(2・L)、P/(2・
m)、P/(2・n)、P/(2・o)の4種の位相差
(ただし、L:7 、m:11、n:13、o:17)の組み合わせによ
り決定され、全部で16通りの位相差を有する。図8に
おいて、格子0及び格子1の群と、格子2及び格子3の
群とは、位相差P/14をもっており、それぞれの群の
7次の歪成分の位相が逆相となって相殺される。これら
4つの格子と同じ群が格子4〜7の群として存在する
が、この群は格子0〜3の群に対して位相差P/22を
有し、11次の歪成分の位相が逆相となって相殺され
る。さらに同様に、格子8〜fの群が格子0〜7の群に
対して位相差P/26を、格子10〜1fの群が格子0
〜fの群に対して、位相差P/34をもって、それぞれ
13次、17次の歪成分の位相が逆相となって相殺され
るようになっている。すなわち、格子0を基準位相とし
た場合、同じパターン幅で同じ位相差の格子は存在して
いない。この格子は、格子の本数が32本で、17次ま
での歪成分を含まないという特徴を有している。なお、
本実施例では、9次や15次の歪成分を除去するための
パターンを設けていない。これは、9次や15次が3次
を因数とする歪成分であり、3次の歪成分を除去するた
めのパターンで除去されるからである。
を参照して説明する。この格子においては、8種のパタ
ーンの幅17P/30及び23P/30、7P/30及
び13P/30、P/30及び19P/30、11P/
30及び29P/30の格子とで構成されており、その
パターンが配置される位相差は図7よりもさらに複雑で
ある。そして、図示の格子0から格子1fまでで、幅と位
相差の組合せが同一の格子は存在していない。ここで、
位相差は、7次、11次、13次、17次の歪成分を除
去するためのもので、P/(2・L)、P/(2・
m)、P/(2・n)、P/(2・o)の4種の位相差
(ただし、L:7 、m:11、n:13、o:17)の組み合わせによ
り決定され、全部で16通りの位相差を有する。図8に
おいて、格子0及び格子1の群と、格子2及び格子3の
群とは、位相差P/14をもっており、それぞれの群の
7次の歪成分の位相が逆相となって相殺される。これら
4つの格子と同じ群が格子4〜7の群として存在する
が、この群は格子0〜3の群に対して位相差P/22を
有し、11次の歪成分の位相が逆相となって相殺され
る。さらに同様に、格子8〜fの群が格子0〜7の群に
対して位相差P/26を、格子10〜1fの群が格子0
〜fの群に対して、位相差P/34をもって、それぞれ
13次、17次の歪成分の位相が逆相となって相殺され
るようになっている。すなわち、格子0を基準位相とし
た場合、同じパターン幅で同じ位相差の格子は存在して
いない。この格子は、格子の本数が32本で、17次ま
での歪成分を含まないという特徴を有している。なお、
本実施例では、9次や15次の歪成分を除去するための
パターンを設けていない。これは、9次や15次が3次
を因数とする歪成分であり、3次の歪成分を除去するた
めのパターンで除去されるからである。
【0015】このような格子を光学式エンコーダに用い
た場合、受光部3で得られる受光信号には、基本周期の
成分に対して17次までの奇数次の歪成分は含まれてい
ない。受光信号には19次以降の歪成分ならびに偶数次
の歪成分が含まれているが、19次の歪成分を除去した
い場合は、p=19として、P/(2・19)を組み合
わせに盛り込んでパターンを作成すればよく、更に23
次、29次、・・・の歪成分を除去する場合も同様であ
る。なお、19次以降の歪成分は次数の2乗分の一に比
例する極く小さいもので、これによる周期の分割誤差は
0. 1%にも満たないものである。また、偶数次の歪成
分は、受光部3が第2格子2の直後に配置される場合
は、極めて小量であり、仮に、含まれていても、通常オ
フセット電圧を相殺する目的で逆相信号との差分をとる
ことで除去され得るものである。なお、格子2の左右の
配置順序などは本実施例に限定されるものではなく、こ
れらの組み合わせを含んでいればどのように行ってもよ
く、できるだけパターン間の間隔が均等に近くなるよう
に設計してもよい。また、本発明においてパターン部と
非パターン部の配置が逆のパターンでも同様の機能が得
られる。このパターンの周期は、正確には16個のパタ
ーン配置で1周期であるが、全体の配置は1周期分でも
良いし、2周期以上でもよい。更に、上述の実施例で
は、パターンの幅により3次及び5次の歪成分を除去す
るようにしたが、他の次数の歪成分を除去するようにし
てもよいし、パターンの間隔によって除去する歪成分を
他の次数としてもよい。
た場合、受光部3で得られる受光信号には、基本周期の
成分に対して17次までの奇数次の歪成分は含まれてい
ない。受光信号には19次以降の歪成分ならびに偶数次
の歪成分が含まれているが、19次の歪成分を除去した
い場合は、p=19として、P/(2・19)を組み合
わせに盛り込んでパターンを作成すればよく、更に23
次、29次、・・・の歪成分を除去する場合も同様であ
る。なお、19次以降の歪成分は次数の2乗分の一に比
例する極く小さいもので、これによる周期の分割誤差は
0. 1%にも満たないものである。また、偶数次の歪成
分は、受光部3が第2格子2の直後に配置される場合
は、極めて小量であり、仮に、含まれていても、通常オ
フセット電圧を相殺する目的で逆相信号との差分をとる
ことで除去され得るものである。なお、格子2の左右の
配置順序などは本実施例に限定されるものではなく、こ
れらの組み合わせを含んでいればどのように行ってもよ
く、できるだけパターン間の間隔が均等に近くなるよう
に設計してもよい。また、本発明においてパターン部と
非パターン部の配置が逆のパターンでも同様の機能が得
られる。このパターンの周期は、正確には16個のパタ
ーン配置で1周期であるが、全体の配置は1周期分でも
良いし、2周期以上でもよい。更に、上述の実施例で
は、パターンの幅により3次及び5次の歪成分を除去す
るようにしたが、他の次数の歪成分を除去するようにし
てもよいし、パターンの間隔によって除去する歪成分を
他の次数としてもよい。
【0016】更に本発明の第3の実施例について、図9
を参照して説明する。このパターンは、非パターン部の
幅がP/2となっている。そして、非パターン部の位相
差によって、変位信号の1/L倍、1/m倍、1/n
倍、1/o倍、1/p倍(L=3、m=5、n=7、o
=11、p=13)の周期成分の歪成分を除去するよう
になっている。非パターン部の位相差は、P/(2・
L)、P/(2・m)、P/(2・n)、P/(2・
o)、P/(2・p)の5種の組み合わせにより決定さ
れ、この場合は、32通りとなる。この位相差は、P/
(2・L)、P/(2・m)、P/(2・n)、P/
(2・o)、P/(2・p)の5種の組み合わせにより
決定され、この場合は、32通りとなる。また、格子2
の左右の配置順序などは本実施例に限定されるものでは
なく、これらの組み合わせを含んでいればどのように行
ってもよい。図9では、できるだけパターン間の間隔が
均等に近くなるように設計されている。
を参照して説明する。このパターンは、非パターン部の
幅がP/2となっている。そして、非パターン部の位相
差によって、変位信号の1/L倍、1/m倍、1/n
倍、1/o倍、1/p倍(L=3、m=5、n=7、o
=11、p=13)の周期成分の歪成分を除去するよう
になっている。非パターン部の位相差は、P/(2・
L)、P/(2・m)、P/(2・n)、P/(2・
o)、P/(2・p)の5種の組み合わせにより決定さ
れ、この場合は、32通りとなる。この位相差は、P/
(2・L)、P/(2・m)、P/(2・n)、P/
(2・o)、P/(2・p)の5種の組み合わせにより
決定され、この場合は、32通りとなる。また、格子2
の左右の配置順序などは本実施例に限定されるものでは
なく、これらの組み合わせを含んでいればどのように行
ってもよい。図9では、できるだけパターン間の間隔が
均等に近くなるように設計されている。
【0017】上述の各実施例では、受光部3において得
られる受光信号に偶数次の歪成分を含んでいる。この偶
数次の歪成分の発生は、受光部3が、第1の回折格子1
と第2の回折格子2との2回の回折で生じるものであ
る。かかる偶数次の成分は逆相信号との差分をとること
で除去されるので、上述したようなパターンでの除去は
試みないのが得策である。これは、2次の歪成分のパタ
ーンによる除去は損失が大きいからである。しかし、差
分前の信号において利得の減衰も無ければ、偶数次の歪
成分は除去されることが望ましい。これらのことを改善
した実施例について、以下に説明する。図10は、本発
明の光学式エンコーダの別の実施例を図1に対応させて
示す斜視構造図であり、同一構成箇所には同一符号を付
して説明を省略する。この光学式エンコーダでは、図1
0に示す受光部3が第1格子1の後方に配置されてお
り、受光部3の受光素子が図11に示すように格子状に
設けられている。
られる受光信号に偶数次の歪成分を含んでいる。この偶
数次の歪成分の発生は、受光部3が、第1の回折格子1
と第2の回折格子2との2回の回折で生じるものであ
る。かかる偶数次の成分は逆相信号との差分をとること
で除去されるので、上述したようなパターンでの除去は
試みないのが得策である。これは、2次の歪成分のパタ
ーンによる除去は損失が大きいからである。しかし、差
分前の信号において利得の減衰も無ければ、偶数次の歪
成分は除去されることが望ましい。これらのことを改善
した実施例について、以下に説明する。図10は、本発
明の光学式エンコーダの別の実施例を図1に対応させて
示す斜視構造図であり、同一構成箇所には同一符号を付
して説明を省略する。この光学式エンコーダでは、図1
0に示す受光部3が第1格子1の後方に配置されてお
り、受光部3の受光素子が図11に示すように格子状に
設けられている。
【0018】図11に示す受光部3の各受光素子は、平
均すると数μm〜数百μmの間隔で配置されている。本
実施例による配置パターンは、4相の信号a,b,a
/,b/(0゜、90゜、180゜、270゜)を出力
する光学式エンコーダに用いられるものである。図示の
ように、4個おきに結線された各相用の受光素子が交互
に並べられ配置されている。本実施例によるとa相用の
受光素子は8個であり、図示の1a、2a、3a、4
a、5a、6a、7a、8aである。例えば受光素子1
a及び2aは3Pだけ隔てて配置されており、その間に
他相用の受光素子1b,1a/,1b/が配置されてい
る。これら8個の受光素子の素子幅と素子間の間隔とに
より、この相で得られる信号の3次、5次、7次、11
次の歪成分を除去するようになっている。まず、受光素
子1a及び2aの幅は23P/30及び17P/30で
あり、受光素子3a及び4aの幅は7P/30及び13
P/30であって、各々3次及び5次の成分を含んでい
ない。また、受光素子1a及び2aに対して、受光素子
3a及び4aの配置は位相差P/14を持っているの
で、受光素子1a及び2aのパターンの7次の歪成分
と、受光素子3a及び4aの7次の歪成分との位相が逆
相となって相殺される。従って、これら4個の受光素子
の配置パターンには、3次、5次ならびに7次の歪成分
が含まれていない。さらに、これら4個の受光素子に対
して、同様のパターンの群である受光素子5a,6a,
7a,8aが、位相差P/22を持って配置されている
ので、8個の受光素子全体では11次の歪成分も含まれ
ていない。幅を変えずに、配置パターンの間隔のみで1
1次までの歪成分を除去する場合、16個の受光素子を
必要とするが、本発明によればその半分で済むので効果
は大きい。このような受光素子配置による受光部3を光
学式エンコーダに用いた場合、得られる信号には、基本
周期の成分に対して11次までの奇数次の歪成分が含ま
れず、更に偶数次の歪成分も含まれていない。図1の実
施例で含まれていた偶数次の歪成分が含まれないのは、
第2格子2の代わりに受光素子上に格子パターンが設け
てあるので、図1における第2の回折格子2上での2回
目の回折が生じないためである。
均すると数μm〜数百μmの間隔で配置されている。本
実施例による配置パターンは、4相の信号a,b,a
/,b/(0゜、90゜、180゜、270゜)を出力
する光学式エンコーダに用いられるものである。図示の
ように、4個おきに結線された各相用の受光素子が交互
に並べられ配置されている。本実施例によるとa相用の
受光素子は8個であり、図示の1a、2a、3a、4
a、5a、6a、7a、8aである。例えば受光素子1
a及び2aは3Pだけ隔てて配置されており、その間に
他相用の受光素子1b,1a/,1b/が配置されてい
る。これら8個の受光素子の素子幅と素子間の間隔とに
より、この相で得られる信号の3次、5次、7次、11
次の歪成分を除去するようになっている。まず、受光素
子1a及び2aの幅は23P/30及び17P/30で
あり、受光素子3a及び4aの幅は7P/30及び13
P/30であって、各々3次及び5次の成分を含んでい
ない。また、受光素子1a及び2aに対して、受光素子
3a及び4aの配置は位相差P/14を持っているの
で、受光素子1a及び2aのパターンの7次の歪成分
と、受光素子3a及び4aの7次の歪成分との位相が逆
相となって相殺される。従って、これら4個の受光素子
の配置パターンには、3次、5次ならびに7次の歪成分
が含まれていない。さらに、これら4個の受光素子に対
して、同様のパターンの群である受光素子5a,6a,
7a,8aが、位相差P/22を持って配置されている
ので、8個の受光素子全体では11次の歪成分も含まれ
ていない。幅を変えずに、配置パターンの間隔のみで1
1次までの歪成分を除去する場合、16個の受光素子を
必要とするが、本発明によればその半分で済むので効果
は大きい。このような受光素子配置による受光部3を光
学式エンコーダに用いた場合、得られる信号には、基本
周期の成分に対して11次までの奇数次の歪成分が含ま
れず、更に偶数次の歪成分も含まれていない。図1の実
施例で含まれていた偶数次の歪成分が含まれないのは、
第2格子2の代わりに受光素子上に格子パターンが設け
てあるので、図1における第2の回折格子2上での2回
目の回折が生じないためである。
【0019】ここで残った歪は、13次以降の極めて高
次の歪成分のみとなる。しかし、これらは、次数の2乗
分の一(17次の場合:基本波の0.59%)に比例する極
く小さいもので、これによる周期の分割誤差はほとんど
無視できるものである。なお、更に13次以降の歪成分
を除去したい場合は、P/(2・13)を組み合わせに
盛り込んでパターンを作成すればよく、17次、19
次、・・・の歪成分を除去する場合も同様である。ここ
で、受光素子で格子パターンを形成した場合の特徴とし
て、利得の減衰も無い状態で偶数次の成分が全く含まれ
ないため、逆相信号との差分を行なうまでもなく望まし
い信号が得られ、格子パターンによる歪成分除去との相
乗効果が得られる。
次の歪成分のみとなる。しかし、これらは、次数の2乗
分の一(17次の場合:基本波の0.59%)に比例する極
く小さいもので、これによる周期の分割誤差はほとんど
無視できるものである。なお、更に13次以降の歪成分
を除去したい場合は、P/(2・13)を組み合わせに
盛り込んでパターンを作成すればよく、17次、19
次、・・・の歪成分を除去する場合も同様である。ここ
で、受光素子で格子パターンを形成した場合の特徴とし
て、利得の減衰も無い状態で偶数次の成分が全く含まれ
ないため、逆相信号との差分を行なうまでもなく望まし
い信号が得られ、格子パターンによる歪成分除去との相
乗効果が得られる。
【0020】これらa相用の受光素子と同様のb相用,
a/相用,b/相用の受光素子の群が、更に図11のよ
うにP/4,P/2,3P/4の位相差をもって配置さ
れている。これらの受光素子の群から出力される信号
は、互いに90゜の位相差をもった4相信号a,b,a
/,b/となる。本実施例によれば、各相用の受光素子
が入り混じって配置されているので、他の実施例と異な
り、第1格子1の汚れやキズ、照射光束の不均一さなど
の影響が各相の受光素子にほぼ均等に生じ、誤差の少な
い良好な検出が可能となる。ここで、パターンは、でき
るだけパターン間のスペースが均等に近くなるように設
計するとよい。本実施例の一例では、素子幅が23P/
30であるa相用の受光素子1の隣の受光素子2には、
素子幅が7P/30の受光素子を配置している。他の素
子の配置についても同様である。これにより、隣接する
パターンの間隔がいずれの場所でも均等に近く一定以上
に保てるため、受光素子の製作が簡易になると共に、受
光素子間のクロストークが減少するなど光学特性も向上
し、その効果は大きい。本実施例のパターン周期は、正
確には1相につき8個のパターン配置で1周期である
が、全体の配置は1周期分でも良いし、2周期以上でも
よい。また、パターン部と非パターン部の配置が逆のパ
ターンでもよい。なお、本実施例で説明した次数以外の
歪成分を除去するようにしてもよい。また、受光素子の
素子幅と配置パターンの間隔により歪成分を除去してい
るが、受光素子の素子幅のみによって行なってもよい。
その場合、3次と5次以外の他の次数の歪成分を除去す
るようにしてもよい。
a/相用,b/相用の受光素子の群が、更に図11のよ
うにP/4,P/2,3P/4の位相差をもって配置さ
れている。これらの受光素子の群から出力される信号
は、互いに90゜の位相差をもった4相信号a,b,a
/,b/となる。本実施例によれば、各相用の受光素子
が入り混じって配置されているので、他の実施例と異な
り、第1格子1の汚れやキズ、照射光束の不均一さなど
の影響が各相の受光素子にほぼ均等に生じ、誤差の少な
い良好な検出が可能となる。ここで、パターンは、でき
るだけパターン間のスペースが均等に近くなるように設
計するとよい。本実施例の一例では、素子幅が23P/
30であるa相用の受光素子1の隣の受光素子2には、
素子幅が7P/30の受光素子を配置している。他の素
子の配置についても同様である。これにより、隣接する
パターンの間隔がいずれの場所でも均等に近く一定以上
に保てるため、受光素子の製作が簡易になると共に、受
光素子間のクロストークが減少するなど光学特性も向上
し、その効果は大きい。本実施例のパターン周期は、正
確には1相につき8個のパターン配置で1周期である
が、全体の配置は1周期分でも良いし、2周期以上でも
よい。また、パターン部と非パターン部の配置が逆のパ
ターンでもよい。なお、本実施例で説明した次数以外の
歪成分を除去するようにしてもよい。また、受光素子の
素子幅と配置パターンの間隔により歪成分を除去してい
るが、受光素子の素子幅のみによって行なってもよい。
その場合、3次と5次以外の他の次数の歪成分を除去す
るようにしてもよい。
【0021】受光部3は、耐環境性のために樹脂モール
ドやキャンパッケージ化してもよいし、セラミックやメ
タルなどのパッケージに格納して、受光面をガラスや樹
脂などで保護してもよい。本発明におけるスケールは光
学式エンコーダには勿論のこと、分光器や波長計測器、
光の分割、回折角の検出器等の各種光学機器用途に使用
することができる。更に本発明におけるエンコーダは、
上述した光学式エンコーダには勿論のこと、磁気式や電
磁式、静電容量式のエンコーダにも使用できる。これ
は、直線式でも回転式でもよい。また、第1の格子のピ
ッチと第2の格子の平均的なピッチはほぼ同じでも、
1:2等の異なったピッチでも本発明は適用可能であ
り、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
ドやキャンパッケージ化してもよいし、セラミックやメ
タルなどのパッケージに格納して、受光面をガラスや樹
脂などで保護してもよい。本発明におけるスケールは光
学式エンコーダには勿論のこと、分光器や波長計測器、
光の分割、回折角の検出器等の各種光学機器用途に使用
することができる。更に本発明におけるエンコーダは、
上述した光学式エンコーダには勿論のこと、磁気式や電
磁式、静電容量式のエンコーダにも使用できる。これ
は、直線式でも回転式でもよい。また、第1の格子のピ
ッチと第2の格子の平均的なピッチはほぼ同じでも、
1:2等の異なったピッチでも本発明は適用可能であ
り、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
【0022】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、歪の少な
いスケールをより少ない格子本数により、簡易に提供す
ることができる。また本発明のエンコーダによれば、歪
成分が除去された信号を用いて高精度の位置検出を行う
ことができるので、例えば工作機械において精度の高い
加工を容易に行うことが可能となり、生産効率の向上を
図ることができる。
いスケールをより少ない格子本数により、簡易に提供す
ることができる。また本発明のエンコーダによれば、歪
成分が除去された信号を用いて高精度の位置検出を行う
ことができるので、例えば工作機械において精度の高い
加工を容易に行うことが可能となり、生産効率の向上を
図ることができる。
【図1】本発明の光学式エンコーダの第1の実施例を示
す斜視構造図である。
す斜視構造図である。
【図2】図1の実施例の格子部の一例を示す図である。
【図3】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図4】図1の実施例の格子部の他の例のパターンの格
子パターン幅に関するデータ例を示す図である。
子パターン幅に関するデータ例を示す図である。
【図5】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図6】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図7】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図8】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図9】図1の実施例の格子部の他の例を示す図であ
る。
る。
【図10】本発明のエンコーダの第2の実施例を示す斜
視構造図である。
視構造図である。
【図11】図10に示す第2の実施例の受光部の一例を
示す図である。
示す図である。
【図12】従来の光学式エンコーダの格子部の例を示す
図である。
図である。
【図13】従来の光学式エンコーダの格子部の例を示す
図である。
図である。
1 第1スケール 2 第2スケール 3 光電変換素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/26 - 5/38 G01B 11/00 - 11/30
Claims (6)
- 【請求項1】格子パターンが並べられたスケールにおい
て、下式で決定される幅Wの格子パターンを含み、前記
格子パターンの任意のa次の歪み成分を除去したことを
特徴とするスケール。 格子パターンの幅 W=P×n/a ただし、P:パターンの平均周期 n:1〜∞ - 【請求項2】格子パターンが並べられたスケールにおい
て、下式で決定される幅Wの格子パターンを含み、前記
格子パターンの任意のa次及びb次の歪み成分を除去し
たことを特徴とするスケール。 格子パターンの幅 W=P×(n/a±(1+2m)/
2b) ただし、P:パターンの平均周期 n:−∞〜∞ m:−∞〜∞ - 【請求項3】前記格子パターンの幅Wが、17P/30
及び23P/30の格子パターン、11P/30及び2
9P/30の格子パターン、7P/30及び13P/3
0の格子パターン、P/30及び19P/30の格子パ
ターン、5P/30及び35P/30の格子パターンの
少なくとも1つを含み、前記格子パターンの3次及び5
次の歪み成分を除去したことを特徴とする請求項2記載
のスケール。 - 【請求項4】格子パターンが並べられたスケールにおい
て、任意のa次及びb次の歪み成分を除去するために下
式で決定される幅Wの格子パターンを含むと共に、任意
のc次、d次……の歪み成分を除去するために基準とな
る位相に対して、P/(2・c)、P/(2・d)、P
/(2・e)、P/(2・f)……だけの位相差(c、
d、e、f……は正の整数、Pはパターンの平均周期)
及び各位相差の和の組み合わせに応じた位相差を有する
格子パターンを含むことを特徴とするスケール。 格子パターンの幅 W=P×(n/a±(1+2m)/
2b) ただし、P:パターンの平均周期 n:−∞〜∞ m:−∞〜∞ - 【請求項5】格子パターンが並べられたスケールにおい
て、格子パターンの幅W が一定でなく、隣り合った格子
パターンの間隔が一定でなく、非パターン部が基準位相
に対して、P/(2・a)、P/(2・b)、P/(2
・c)、P/(2・d)……だけの位相差(a、b、
c、d……は正の整数、Pはパターンの平均周期)及び
各位相差の和の組み合わせに応じた位相差を有するよう
に前記格子パターンが配置されていることを特徴とする
スケール。 - 【請求項6】第1のスケールと、この第1のスケールに
対して相対変位する第2スケールとを有して変位を検出
するエンコーダにおいて、前記第1スケール、第2スケ
ールの少なくとも1つに、請求項1、2、3、4又は5
に記載の高次の歪み成分を除去するようになされた格子
パターンを備えていることを特徴とするエンコーダ。
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