JP4629486B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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Description
Claims (6)
- 光源と、移動方向に沿ってスリットと非透過部とが繰り返される第1の格子が形成されたメインスケールと、それぞれ複数のスリットを含む4N個(ただし、Nは2以上の整数)のスリットグループが前記移動方向に沿った行及び前記移動方向に交差する列に形成された第2格子と、受光素子と、を備え、受光素子から出力される互いに異なる位相を持つ4種の周期的な変位信号からメインスケールの相対変位を検出する光学式エンコーダにおいて、
前記第2格子は、
4種の変位信号に対応するスリットグループをそれぞれ同数含み、
スリットグループの各列に4種の変位信号に対応するスリットグループを同数ずつ含み、
任意の2行×2列に配置された4つのスリットグループに4種の変位信号に対応するスリットグループを1個ずつ含むことを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記第2格子は、透明基板上に形成された非透過膜を部分的に取り去って設けられた透過型格子であることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第2格子は、前記受光素子上に形成された非透過膜を部分的に取り去って設けられた透過型格子であることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 各スリットグループに属する複数のスリットは、変位信号に含まれる奇数次高調波のうち1つ以上を相殺するように配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光学式エンコーダ。
- 光源と、移動方向に沿ってスリットと非透過部とが繰り返される第1の格子が形成されたメインスケールと、それぞれ複数のスリット状の受光領域を含む4N個(ただし、Nは2以上の整数)の受光領域のグループが前記移動方向に沿った行及び前記移動方向に交差する列に形成された受光素子と、を備え、受光素子から出力される互いに異なる位相を持つ4種の周期的な変位信号からメインスケールの相対変位を検出する光学式エンコーダにおいて、
前記受光素子は、
4種の変位信号に対応する受光領域のグループをそれぞれ同数含み、
受光領域のグループの各列に4種の変位信号に対応する受光領域のグループを同数ずつ含み、
任意の2行×2列に配置された4つの受光領域のグループに4種の変位信号に対応する受光領域のグループを1個ずつ含むことを特徴とする光学式エンコーダ。 - 各受光領域のグループに属する複数の受光領域は、変位信号に含まれる奇数次高調波のうち1つ以上を相殺するように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の光学式エンコーダ。
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