JP3209948B2 - 光情報記録媒体及びその原盤露光方法 - Google Patents
光情報記録媒体及びその原盤露光方法Info
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24085—Pits
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/007—Arrangement of the information on the record carrier, e.g. form of tracks, actual track shape, e.g. wobbled, or cross-section, e.g. v-shaped; Sequential information structures, e.g. sectoring or header formats within a track
- G11B7/00745—Sectoring or header formats within a track
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Landscapes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、相変化型光ディス
クのような書き込み可能型の光情報記録媒体及びその原
盤露光方法に関する。
クのような書き込み可能型の光情報記録媒体及びその原
盤露光方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の書き込み可能型の光情
報記録媒体では、位置検索のための同期信号やアドレス
情報（以下、これらの情報を「プリフォーマット情報」
という）が、予め、位相溝としてディスク基板上に形成
されている。このようなプリフォーマット情報を位相溝
として形成する手法としては、溝を蛇行（ウォブリン
グ）させる手法や、不連続な溝（以下、この溝を「位相
ピット」という）の長さ、間隔、位置を変化させる手法
がある。
報記録媒体では、位置検索のための同期信号やアドレス
情報（以下、これらの情報を「プリフォーマット情報」
という）が、予め、位相溝としてディスク基板上に形成
されている。このようなプリフォーマット情報を位相溝
として形成する手法としては、溝を蛇行（ウォブリン
グ）させる手法や、不連続な溝（以下、この溝を「位相
ピット」という）の長さ、間隔、位置を変化させる手法
がある。
【０００３】光ディスクの記録容量を大きくするために
は、情報記録用トラックとなるグルーブの間隔（以下、
この間隔を「トラックピッチ」という）を狭くした場
合、ウォブリングさせる手法によると十分なＣ／Ｎがと
れず、記録容量にも制約がある。
は、情報記録用トラックとなるグルーブの間隔（以下、
この間隔を「トラックピッチ」という）を狭くした場
合、ウォブリングさせる手法によると十分なＣ／Ｎがと
れず、記録容量にも制約がある。
【０００４】そこで、特開平９−１７０２９号公報によ
れば、グルーブ間に位置するランド上に位相ピットを形
成することが提案されている。図１６はこの考えの光情
報記録媒体を模式的に示すもので、グルーブＧ間の部分
なるランドＬ上に位相ピットＰが形成されている。図示
の如く、この位相ピットＰは隣接するトラックのグルー
ブＧ同士をつないだ形、即ち、梯子状となる。
れば、グルーブ間に位置するランド上に位相ピットを形
成することが提案されている。図１６はこの考えの光情
報記録媒体を模式的に示すもので、グルーブＧ間の部分
なるランドＬ上に位相ピットＰが形成されている。図示
の如く、この位相ピットＰは隣接するトラックのグルー
ブＧ同士をつないだ形、即ち、梯子状となる。
【０００５】一方、このような位相ピットＰを再生する
手法としては、光ディスクの半径方向（トラック方向に
直交する方向）に２分割されたフォトダイオードを受光
系に配置し、このフォトダイオードから光電変換されて
得られる信号の差信号として検出される（詳細には特開
平９−１７０２９号公報中の図８及び対応する説明参
照）。また、グルーブＧを挾んで左右に位置するランド
Ｌ上にともに位相ピットＰが存在する場合、プリフォー
マット情報が同時に読み出されて干渉してしまう（クロ
ストーク）ので、位相ピットＰで形成されるプリフォー
マット情報のパターンを偶数用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤ
の２種類用意しておき、クロストークが発生するような
配置になった場合にはこれらのパターンを切換えて使用
するようにしている（同公報中の図２及び対応する説明
参照）。この手法により、クロストークの問題は解消さ
れる。
手法としては、光ディスクの半径方向（トラック方向に
直交する方向）に２分割されたフォトダイオードを受光
系に配置し、このフォトダイオードから光電変換されて
得られる信号の差信号として検出される（詳細には特開
平９−１７０２９号公報中の図８及び対応する説明参
照）。また、グルーブＧを挾んで左右に位置するランド
Ｌ上にともに位相ピットＰが存在する場合、プリフォー
マット情報が同時に読み出されて干渉してしまう（クロ
ストーク）ので、位相ピットＰで形成されるプリフォー
マット情報のパターンを偶数用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤ
の２種類用意しておき、クロストークが発生するような
配置になった場合にはこれらのパターンを切換えて使用
するようにしている（同公報中の図２及び対応する説明
参照）。この手法により、クロストークの問題は解消さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した公報では、ク
ロストーク問題のために位相ピットＰで形成されるプリ
フォーマット情報のパターンを２種類用意しておき、ク
ロストークが発生する配置になったらパターンを切換え
て使用するようにしているので、クロストーク問題の解
決手段としては有効といえる。
ロストーク問題のために位相ピットＰで形成されるプリ
フォーマット情報のパターンを２種類用意しておき、ク
ロストークが発生する配置になったらパターンを切換え
て使用するようにしているので、クロストーク問題の解
決手段としては有効といえる。
【０００７】ところが、クロストークが発生する位置
（即ち、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬに
同時に位相ピットＰが存在する位置）を原盤露光中に検
出しながら、偶数用ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパ
ターンとを切換えて露光することは技術的に非常に難し
いといえる。即ち、露光原盤の回転数に誤差がなけれ
ば、計算でクロストークの発生する位置を求めて偶数用
ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパターンとを切換えた
プリフォーマット情報の位相ピットパターンをエンコー
ドすることができるが、露光原盤の回転数には小さいな
がらも誤差（一般的には、０．１％以下）があるため、
計算による手法をとることができない。そこで、実際に
は、露光原盤の回転数をモニタリングしながらクロスト
ークが発生する位置を検出し、偶数用ＥＶＥＮパターン
と奇数用ＯＤＤパターンとを切換えて露光する必要があ
る。しかし、位相ピットＰのトラック方向の長さはサブ
ミクロンオーダであり、極めて短いため、回転数の誤差
検出を少なくともｎｓオーダで行なわなくてはならず、
回転数検出装置自体が持つ誤差によっても、クロストー
クが発生する位置検出に誤差を生じてしまう。
（即ち、グルーブＧを挾んで左右に位置するランドＬに
同時に位相ピットＰが存在する位置）を原盤露光中に検
出しながら、偶数用ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパ
ターンとを切換えて露光することは技術的に非常に難し
いといえる。即ち、露光原盤の回転数に誤差がなけれ
ば、計算でクロストークの発生する位置を求めて偶数用
ＥＶＥＮパターンと奇数用ＯＤＤパターンとを切換えた
プリフォーマット情報の位相ピットパターンをエンコー
ドすることができるが、露光原盤の回転数には小さいな
がらも誤差（一般的には、０．１％以下）があるため、
計算による手法をとることができない。そこで、実際に
は、露光原盤の回転数をモニタリングしながらクロスト
ークが発生する位置を検出し、偶数用ＥＶＥＮパターン
と奇数用ＯＤＤパターンとを切換えて露光する必要があ
る。しかし、位相ピットＰのトラック方向の長さはサブ
ミクロンオーダであり、極めて短いため、回転数の誤差
検出を少なくともｎｓオーダで行なわなくてはならず、
回転数検出装置自体が持つ誤差によっても、クロストー
クが発生する位置検出に誤差を生じてしまう。
【０００８】また、前述した公報中では詳細には述べら
れていないが、位相ピットＰで形成されたプリフォーマ
ット情報を再生する手法として、プッシュプル信号（Ｐ
ush-Ｐull 信号＝差信号）を用いる手法がある。その再
生原理を図１７及び図１８を参照して説明する。図１７
（ｂ）は同図（ａ）に示すように再生ビームＢがディス
ク半径方向を横切る場合に梯子状の位相ピットＰ付近で
生じるプッシュプル信号の波形を示す。この場合のプッ
シュプル信号はトラックピッチＴＰを１周期とする正弦
波となるが、位相ピットＰが存在する梯子状部分では半
径方向の断面形状が破線で示すトラック中心に対して非
対称であるため、位相ピットＰの中心（図中、１点鎖線
で示す）がグルーブＧのトラック中心に対して半径方向
に寸法ｓだけずれた位置となる。このため、図１８
（ａ）に示すようにグルーブＧに沿ってトラッキング制
御しながら信号を再生する場合に、位相ピットＰの位置
では同図（ｂ）に示すようにプッシュプル信号に大きさ
Ａで示すようなピークが生じるので、このＡのようなピ
ークの有無或いは発生位置を検出すれば、位相ピットＰ
で形成されたプリフォーマット情報を再生することがで
きる。
れていないが、位相ピットＰで形成されたプリフォーマ
ット情報を再生する手法として、プッシュプル信号（Ｐ
ush-Ｐull 信号＝差信号）を用いる手法がある。その再
生原理を図１７及び図１８を参照して説明する。図１７
（ｂ）は同図（ａ）に示すように再生ビームＢがディス
ク半径方向を横切る場合に梯子状の位相ピットＰ付近で
生じるプッシュプル信号の波形を示す。この場合のプッ
シュプル信号はトラックピッチＴＰを１周期とする正弦
波となるが、位相ピットＰが存在する梯子状部分では半
径方向の断面形状が破線で示すトラック中心に対して非
対称であるため、位相ピットＰの中心（図中、１点鎖線
で示す）がグルーブＧのトラック中心に対して半径方向
に寸法ｓだけずれた位置となる。このため、図１８
（ａ）に示すようにグルーブＧに沿ってトラッキング制
御しながら信号を再生する場合に、位相ピットＰの位置
では同図（ｂ）に示すようにプッシュプル信号に大きさ
Ａで示すようなピークが生じるので、このＡのようなピ
ークの有無或いは発生位置を検出すれば、位相ピットＰ
で形成されたプリフォーマット情報を再生することがで
きる。
【０００９】ところが、グルーブＧを挾んで左右に位置
するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する個所
（図１６（ｂ）に示すトラックＴｒ３，Ｔｒ４の断面位
置、図１９（ａ）参照）では、位相ピットＰが存在して
も梯子状部分の半径方向の断面形状が非対称とはならな
いので（図１９（ｂ）のプッシュプル信号からも判るよ
うに位相ピットＰの中心にずれｓを生じない）、グルー
ブＧに沿ってトラッキング制御しながら信号を再生する
場合のプッシュプル信号にＡのようなピークを生じな
い。つまり、グルーブＧを挾んで左右に位置するランド
Ｌ上に位相ピットＰが同時に存在する場合には、位相ピ
ットＰで形成されたプリフォーマット情報を検出するこ
とができない問題を生ずる。よって、この問題を解決す
るため、プッシュプル信号で再生する際にも、位相ピッ
トＰで形成されプリフォーマット情報のパターンを偶数
用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤの２種類用意しておき、クロ
ストークが発生するような配置になった場合にはこれら
のパターンを切換えて使用する必要がある。
するランドＬ上に位相ピットＰが同時に存在する個所
（図１６（ｂ）に示すトラックＴｒ３，Ｔｒ４の断面位
置、図１９（ａ）参照）では、位相ピットＰが存在して
も梯子状部分の半径方向の断面形状が非対称とはならな
いので（図１９（ｂ）のプッシュプル信号からも判るよ
うに位相ピットＰの中心にずれｓを生じない）、グルー
ブＧに沿ってトラッキング制御しながら信号を再生する
場合のプッシュプル信号にＡのようなピークを生じな
い。つまり、グルーブＧを挾んで左右に位置するランド
Ｌ上に位相ピットＰが同時に存在する場合には、位相ピ
ットＰで形成されたプリフォーマット情報を検出するこ
とができない問題を生ずる。よって、この問題を解決す
るため、プッシュプル信号で再生する際にも、位相ピッ
トＰで形成されプリフォーマット情報のパターンを偶数
用ＥＶＥＮ、奇数用ＯＤＤの２種類用意しておき、クロ
ストークが発生するような配置になった場合にはこれら
のパターンを切換えて使用する必要がある。
【００１０】そこで、本発明は、プリフォーマット情報
を表す位相ピットが隣接する情報記録用トラックに対し
て同一位置に存在しても隣接する位相ピットの干渉を受
けることがなく、その位相ピットをプッシュプル法等に
より確実に再生することができる光情報記録媒体及びそ
の原盤露光方法を提供することを目的とする。
を表す位相ピットが隣接する情報記録用トラックに対し
て同一位置に存在しても隣接する位相ピットの干渉を受
けることがなく、その位相ピットをプッシュプル法等に
より確実に再生することができる光情報記録媒体及びそ
の原盤露光方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の光
情報記録媒体は、情報記録用トラックをグルーブとし、
プリフォーマット情報が位相ピットとして形成された光
情報記録媒体であって、前記位相ピットがグルーブ上に
形成されてトラックに直交する半径方向の両側エッジ部
分の傾き角が異なる。従って、位相ピットの半径方向の
両側エッジ部分の傾き角を異ならせるだけで、位相ピッ
トの溝断面形状がグルーブのトラック中心に対して非対
称とされているので、プッシュプル法によりトラッキン
グ制御をかけてグルーブ上をトラッキングしながら信号
を再生する際に位相ピット部分をグルーブ部分と区別し
得るので、位相ピットを再生し得る。この際、位相ピッ
トがグルーブ上に形成されているので、位相ピットが隣
接する情報記録用トラックに対して同一位置に存在して
も隣接する位相ピットの干渉を受けることはない。ここ
に、位相ピットが形成される範囲（グルーブ上）として
は、純粋にグルーブの溝幅の範囲内に位置する場合はも
ちろん、グルーブ外のランド領域にはみ出してもよい
が、隣接するトラックのグルーブにはつながることがな
いことを意味する。
情報記録媒体は、情報記録用トラックをグルーブとし、
プリフォーマット情報が位相ピットとして形成された光
情報記録媒体であって、前記位相ピットがグルーブ上に
形成されてトラックに直交する半径方向の両側エッジ部
分の傾き角が異なる。従って、位相ピットの半径方向の
両側エッジ部分の傾き角を異ならせるだけで、位相ピッ
トの溝断面形状がグルーブのトラック中心に対して非対
称とされているので、プッシュプル法によりトラッキン
グ制御をかけてグルーブ上をトラッキングしながら信号
を再生する際に位相ピット部分をグルーブ部分と区別し
得るので、位相ピットを再生し得る。この際、位相ピッ
トがグルーブ上に形成されているので、位相ピットが隣
接する情報記録用トラックに対して同一位置に存在して
も隣接する位相ピットの干渉を受けることはない。ここ
に、位相ピットが形成される範囲（グルーブ上）として
は、純粋にグルーブの溝幅の範囲内に位置する場合はも
ちろん、グルーブ外のランド領域にはみ出してもよい
が、隣接するトラックのグルーブにはつながることがな
いことを意味する。
【００１２】請求項２記載の発明の光情報記録媒体は、
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心と位相ピットの中心とが
同一で、グルーブと位相ピットとの溝幅が同一で、グル
ーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットのト
ラックに直交する半径方向の両側エッジ部分の傾き角が
異なる。従って、位相ピットの半径方向の両側エッジ部
分の傾き角を異ならせてトラック中心に対して非対称な
溝断面形状とするだけで、位相ピットとそれに隣接する
トラックのグルーブとがつながることはなく、半径方向
に位相ピットが隣接する場合でもその干渉を受けずに安
定して位相ピットを再生できる。
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心と位相ピットの中心とが
同一で、グルーブと位相ピットとの溝幅が同一で、グル
ーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットのト
ラックに直交する半径方向の両側エッジ部分の傾き角が
異なる。従って、位相ピットの半径方向の両側エッジ部
分の傾き角を異ならせてトラック中心に対して非対称な
溝断面形状とするだけで、位相ピットとそれに隣接する
トラックのグルーブとがつながることはなく、半径方向
に位相ピットが隣接する場合でもその干渉を受けずに安
定して位相ピットを再生できる。
【００１３】請求項３記載の発明の光情報記録媒体は、
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中
心がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝
幅より位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に
隣接するトラックのグルーブにつながらない範囲で大き
く、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピ
ットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角が異なる。従
って、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットの溝幅を広げてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生できる。
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中
心がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝
幅より位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に
隣接するトラックのグルーブにつながらない範囲で大き
く、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピ
ットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角が異なる。従
って、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットの溝幅を広げてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生できる。
【００１４】請求項４記載の発明の光情報記録媒体は、
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中
心が当該位相ピットが半径方向に隣接するトラックのグ
ルーブにつながらない範囲でトラックに直交する半径方
向にずれ、グルーブと位相ピットとの溝幅が同一で、グ
ルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットの
半径方向の両側エッジ部分の傾き角が異なる。従って、
位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角を異な
らせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつながらな
い範囲で位相ピットを半径方向にずらしてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生できる。
情報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット
情報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であ
って、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中
心が当該位相ピットが半径方向に隣接するトラックのグ
ルーブにつながらない範囲でトラックに直交する半径方
向にずれ、グルーブと位相ピットとの溝幅が同一で、グ
ルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットの
半径方向の両側エッジ部分の傾き角が異なる。従って、
位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角を異な
らせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつながらな
い範囲で位相ピットを半径方向にずらしてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生できる。
【００１５】請求項５記載の発明の原盤露光方法は、請
求項２記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームと光量
がこのグルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相
ピット露光ビームとにより原盤を同時に露光する。従っ
て、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
り、グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変
動の少ない安定した位相ピットを形成できる。
求項２記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームと光量
がこのグルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相
ピット露光ビームとにより原盤を同時に露光する。従っ
て、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
り、グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変
動の少ない安定した位相ピットを形成できる。
【００１６】請求項６記載の発明の原盤露光方法は、情
報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情
報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であっ
て、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心
がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅
より位相ピットの溝幅が小さく、グルーブと位相ピット
との溝深さが同一で、位相ピットの半径方向の両側エッ
ジ部分の傾き角が同一である光情報記録媒体を製造する
ための原盤露光方法であって、１本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には露光ビームをトラック中心に配
置させて原盤を露光し、位相ピット露光時には露光ビー
ムをトラック中心から半径方向にずらすとともにグルー
ブ露光時よりも光量を下げて原盤を露光する。従って、
１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により、グ
ルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットを形成できる。
報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情
報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であっ
て、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心
がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅
より位相ピットの溝幅が小さく、グルーブと位相ピット
との溝深さが同一で、位相ピットの半径方向の両側エッ
ジ部分の傾き角が同一である光情報記録媒体を製造する
ための原盤露光方法であって、１本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には露光ビームをトラック中心に配
置させて原盤を露光し、位相ピット露光時には露光ビー
ムをトラック中心から半径方向にずらすとともにグルー
ブ露光時よりも光量を下げて原盤を露光する。従って、
１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により、グ
ルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットを形成できる。
【００１７】請求項７記載の発明の原盤露光方法は、請
求項３記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームとこの
グルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相ピット
露光ビームとにより原盤を同時に露光する。従って、２
本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御により、グ
ルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットを形成できる。
求項３記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームとこの
グルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相ピット
露光ビームとにより原盤を同時に露光する。従って、２
本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御により、グ
ルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットを形成できる。
【００１８】請求項８記載の発明の原盤露光方法は、請
求項４記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームとこの
グルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相ピット
露光ビームとを同時に半径方向にずらして原盤を同時に
露光する。従って、２本の露光ビームのビーム間隔と光
量との制御により、グルーブと位相ピットとを原盤露光
できるので、変動の少ない安定した位相ピットを形成で
きる。
求項４記載の光情報記録媒体を製造するための原盤露光
方法であって、トラック中心に配置させたグルーブ露光
ビームとトラック中心に対して半径方向にずらして配置
させた位相ピット露光ビームとの２本の露光ビームを用
い、グルーブ露光時には前記グルーブ露光ビームにより
原盤を露光し、位相ピット露光時にはグルーブ露光時よ
りも光量が小さくされた前記グルーブ露光ビームとこの
グルーブ露光ビームの光量よりも小さい前記位相ピット
露光ビームとを同時に半径方向にずらして原盤を同時に
露光する。従って、２本の露光ビームのビーム間隔と光
量との制御により、グルーブと位相ピットとを原盤露光
できるので、変動の少ない安定した位相ピットを形成で
きる。
【００１９】請求項９記載の発明の原盤露光方法は、情
報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情
報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であっ
て、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心
がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅
より位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に隣
接するトラックのグルーブにつながらない範囲で大き
く、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピ
ットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角が同一である
光情報記録媒体を製造するための原盤露光方法であっ
て、１本の露光ビームを用い、グルーブ露光時には露光
ビームをトラック中心に配置させて原盤を露光し、位相
ピット露光時には露光ビームをトラック中心から半径方
向にずらすとともにグルーブ露光時よりも光量を上げて
原盤を露光する。従って、１本の露光ビームのずらし量
と光量との制御により、グルーブと位相ピットとを原盤
露光できるので、変動の少ない安定した位相ピットを形
成できる。
報記録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情
報が位相ピットとして形成された光情報記録媒体であっ
て、グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心
がトラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅
より位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に隣
接するトラックのグルーブにつながらない範囲で大き
く、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピ
ットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角が同一である
光情報記録媒体を製造するための原盤露光方法であっ
て、１本の露光ビームを用い、グルーブ露光時には露光
ビームをトラック中心に配置させて原盤を露光し、位相
ピット露光時には露光ビームをトラック中心から半径方
向にずらすとともにグルーブ露光時よりも光量を上げて
原盤を露光する。従って、１本の露光ビームのずらし量
と光量との制御により、グルーブと位相ピットとを原盤
露光できるので、変動の少ない安定した位相ピットを形
成できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
ないし図４に基づいて説明する。なお、本実施の形態並
びに後述する各実施の形態でも、情報記録用トラックと
なるグルーブをＧ、グルーブＧ間部分のランドをＬ、プ
リフォーマット情報を表す位相ピットをＰで示すものと
する。また、グルーブＧの溝幅をＷｇ、位相ピットＰの
溝幅をＷｐで示すものとする。
ないし図４に基づいて説明する。なお、本実施の形態並
びに後述する各実施の形態でも、情報記録用トラックと
なるグルーブをＧ、グルーブＧ間部分のランドをＬ、プ
リフォーマット情報を表す位相ピットをＰで示すものと
する。また、グルーブＧの溝幅をＷｇ、位相ピットＰの
溝幅をＷｐで示すものとする。
【００２１】本実施の形態の光情報記録媒体では、位相
ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位相ピットＰ
のトラックＴｒに直交する半径方向の左右両側エッジ部
分の傾き角を異ならせている。即ち、エッジ部分の傾き
角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ２（ここで
は、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、グルーブＧ
の両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とされている。
この他の点は、位相ピットＰとグルーブＧとは同一条件
とされている。即ち、グルーブＧの溝幅Ｗｇと位相ピッ
トＰの溝幅ＷｐとがＷｇ＝Ｗｐ（厳密に等しくなくても
よい）であり、溝深さも同一とされている。また、位相
ピットＰの中心はグルーブＧのトラック中心に一致して
いる。
ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位相ピットＰ
のトラックＴｒに直交する半径方向の左右両側エッジ部
分の傾き角を異ならせている。即ち、エッジ部分の傾き
角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ２（ここで
は、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、グルーブＧ
の両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とされている。
この他の点は、位相ピットＰとグルーブＧとは同一条件
とされている。即ち、グルーブＧの溝幅Ｗｇと位相ピッ
トＰの溝幅ＷｐとがＷｇ＝Ｗｐ（厳密に等しくなくても
よい）であり、溝深さも同一とされている。また、位相
ピットＰの中心はグルーブＧのトラック中心に一致して
いる。
【００２２】即ち、本実施の形態の特徴は、図１６に示
した従来例との対比で、ランドＬ上には位相ピットを形
成せずに、直接グルーブＧ上に位相ピットＰを形成して
その両側エッジ部分の傾き角θ１，θ２を異ならせるこ
とにより、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのト
ラック中心に対して非対称にできる点である。よって、
例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接した
トラックの同一位置に位相ピットＰが同時に存在するこ
とになってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状
を有する位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を
受けることなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピ
ットＰを安定して再生検出することができる。
した従来例との対比で、ランドＬ上には位相ピットを形
成せずに、直接グルーブＧ上に位相ピットＰを形成して
その両側エッジ部分の傾き角θ１，θ２を異ならせるこ
とにより、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのト
ラック中心に対して非対称にできる点である。よって、
例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接した
トラックの同一位置に位相ピットＰが同時に存在するこ
とになってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状
を有する位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を
受けることなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピ
ットＰを安定して再生検出することができる。
【００２３】ところで、このような光情報記録媒体のプ
ラスチック基板は、スタンパと称される金型から射出成
形法により大量複製される。一般に、スタンパは、図２
に示すスタンパ製造プロセスに従い作製される。このプ
ロセスでは、まず、ガラス基板１にフォトレジスト膜２
を塗布・ベークする（レジスト原盤作製工程…図２
（ａ））。つづいて、レジスト原盤３を集光されたレー
ザビーム、ここでは、Ａｒレーザ４により露光すること
で潜像形成する（原盤露光工程…図２（ｂ））。露光さ
れたレジスト原盤３を現像し、フォトレジスト膜２上に
溝パターン５を形成する（現像工程…図２（ｃ））。フ
ォトレジスト膜２上に溝パターン５が形成されたレジス
ト原盤３の表面にＮｉ膜をスパッタリングして導電皮膜
６を形成する（導電皮膜処理工程…図２（ｄ））。この
導電皮膜６上にＮｉを積層し、Ｎｉ電鋳板７を形成する
（Ｎｉ電鋳工程…図２（ｅ））。このＮｉ電鋳板７をガ
ラス基板１から剥離し、洗浄、裏面研磨、内外径加工の
処理を経てスタンパ８として完成させる（剥離、洗浄、
裏面研磨、加工工程…図２（ｆ））。
ラスチック基板は、スタンパと称される金型から射出成
形法により大量複製される。一般に、スタンパは、図２
に示すスタンパ製造プロセスに従い作製される。このプ
ロセスでは、まず、ガラス基板１にフォトレジスト膜２
を塗布・ベークする（レジスト原盤作製工程…図２
（ａ））。つづいて、レジスト原盤３を集光されたレー
ザビーム、ここでは、Ａｒレーザ４により露光すること
で潜像形成する（原盤露光工程…図２（ｂ））。露光さ
れたレジスト原盤３を現像し、フォトレジスト膜２上に
溝パターン５を形成する（現像工程…図２（ｃ））。フ
ォトレジスト膜２上に溝パターン５が形成されたレジス
ト原盤３の表面にＮｉ膜をスパッタリングして導電皮膜
６を形成する（導電皮膜処理工程…図２（ｄ））。この
導電皮膜６上にＮｉを積層し、Ｎｉ電鋳板７を形成する
（Ｎｉ電鋳工程…図２（ｅ））。このＮｉ電鋳板７をガ
ラス基板１から剥離し、洗浄、裏面研磨、内外径加工の
処理を経てスタンパ８として完成させる（剥離、洗浄、
裏面研磨、加工工程…図２（ｆ））。
【００２４】ここで、図２（ｂ）に示す原盤露光工程の
モデルを図３に示す。この原盤露光は、レジスト原盤３
をターンテーブル９により回転させながら横送りさせ
て、レジスト原盤３上にＡｒレーザ４のレーザビームを
集光照射させることで、グルーブ用の溝パターン５がス
パイラル状に形成される。１０は対物レンズである。
モデルを図３に示す。この原盤露光は、レジスト原盤３
をターンテーブル９により回転させながら横送りさせ
て、レジスト原盤３上にＡｒレーザ４のレーザビームを
集光照射させることで、グルーブ用の溝パターン５がス
パイラル状に形成される。１０は対物レンズである。
【００２５】このような原理で行なわれる原盤露光に関
して、図１に示したような本実施の形態の位相ピットＰ
を含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法につい
て、図４を参照して説明する。本実施の形態では、グル
ーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本の露光ビ
ームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック中心に配
置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の１つは、
トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけずらして
配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとする。まず、
グルーブ露光時には図４（ａ）に示すようにトラック中
心（１点鎖線で示す）上に配置されている１本のグルー
ブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト原盤３を露光
する。ちなみに、このグルーブ露光ビームＰＷｇの光量
を小さくすると、図４（ｂ）に示すように、左右両側エ
ッジ部分の傾き角が小さくなるグルーブＧを形成でき
る。このような露光ビームの光量制御でエッジ部分の傾
き角を可変させ得る原理を利用し、位相ピット露光時に
は、図４（ｃ）に示すように、グルーブ露光ビームＰＷ
ｇの光量をグルーブ露光時よりも小さくするとともに、
片側（図中、右側）のエッジ部分の傾き角を大きくする
ためにトラック中心から寸法ＢＤだけ離れた個所に配置
させた位相ピット露光ビームＰＷｐを併用して、２本の
露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時にレジスト原盤３を露
光する。この際、図示の如く、位相ピット露光ビームＰ
Ｗｐの光量はグルーブ露光ビームＰＷｇの光量よりも小
さく設定される。
して、図１に示したような本実施の形態の位相ピットＰ
を含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法につい
て、図４を参照して説明する。本実施の形態では、グル
ーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本の露光ビ
ームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック中心に配
置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の１つは、
トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけずらして
配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとする。まず、
グルーブ露光時には図４（ａ）に示すようにトラック中
心（１点鎖線で示す）上に配置されている１本のグルー
ブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト原盤３を露光
する。ちなみに、このグルーブ露光ビームＰＷｇの光量
を小さくすると、図４（ｂ）に示すように、左右両側エ
ッジ部分の傾き角が小さくなるグルーブＧを形成でき
る。このような露光ビームの光量制御でエッジ部分の傾
き角を可変させ得る原理を利用し、位相ピット露光時に
は、図４（ｃ）に示すように、グルーブ露光ビームＰＷ
ｇの光量をグルーブ露光時よりも小さくするとともに、
片側（図中、右側）のエッジ部分の傾き角を大きくする
ためにトラック中心から寸法ＢＤだけ離れた個所に配置
させた位相ピット露光ビームＰＷｐを併用して、２本の
露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時にレジスト原盤３を露
光する。この際、図示の如く、位相ピット露光ビームＰ
Ｗｐの光量はグルーブ露光ビームＰＷｇの光量よりも小
さく設定される。
【００２６】このような原盤露光方法を行なうことで、
図１に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て非対称で、グルーブＧと溝幅がほぼ同一で、溝断面の
左右エッジ部分の傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となる
位相ピットＰを形成することができる。
図１に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て非対称で、グルーブＧと溝幅がほぼ同一で、溝断面の
左右エッジ部分の傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となる
位相ピットＰを形成することができる。
【００２７】本発明の第二の実施の形態を図５及び図６
に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体で
は、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、位相ピッ
トＰの中心（溝断面の中心）がグルーブＧのトラック中
心に対して半径方向に寸法ｓだけずらされている。ま
た、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対して位相ピットＰの溝幅
Ｗｐが小さく設定され（Ｗｇ＞Ｗｐ）、溝深さは同一と
されている。ちなみに、位相ピットＰのトラックＴｒに
直交する半径方向の左右両側エッジ部分の傾き角は同一
とされている（グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角も
同一とされている）。
に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体で
は、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、位相ピッ
トＰの中心（溝断面の中心）がグルーブＧのトラック中
心に対して半径方向に寸法ｓだけずらされている。ま
た、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対して位相ピットＰの溝幅
Ｗｐが小さく設定され（Ｗｇ＞Ｗｐ）、溝深さは同一と
されている。ちなみに、位相ピットＰのトラックＴｒに
直交する半径方向の左右両側エッジ部分の傾き角は同一
とされている（グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角も
同一とされている）。
【００２８】即ち、図１６に示した従来例との対比で、
ランドＬ上には位相ピットを形成せずに、位相ピットＰ
の溝幅ＷｐをグルーブＧの溝幅Ｗｇよりも小さめとして
その中心をトラック中心から寸法ｓだけずらすことによ
り、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのトラック
中心に対して非対称にできる点である。よって、例えば
トラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接したトラッ
クの同一位置に位相ピットＰが同時に存在することにな
ってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状を有す
る位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を受ける
ことなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピットＰ
を安定して再生検出することができる。
ランドＬ上には位相ピットを形成せずに、位相ピットＰ
の溝幅ＷｐをグルーブＧの溝幅Ｗｇよりも小さめとして
その中心をトラック中心から寸法ｓだけずらすことによ
り、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのトラック
中心に対して非対称にできる点である。よって、例えば
トラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接したトラッ
クの同一位置に位相ピットＰが同時に存在することにな
ってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状を有す
る位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を受ける
ことなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピットＰ
を安定して再生検出することができる。
【００２９】本実施の形態は、図５に示すような位相ピ
ットＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法
に関する。本実施の形態では、１本の露光ビーム（ここ
では、グルーブ露光ビームＰＷｇとする）のみを用い
る。まず、グルーブ露光時には図６に実線で示すように
グルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中心に配置させて
レジスト原盤３を露光する。これは、図４（ａ）の場合
と同様である。ついで、位相ピット露光時には図７に破
線で示すようにグルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中
心から半径方向に寸法ｓだけずらすとともにグルーブ露
光時よりも光量を下げてレジスト原盤３を露光する。
ットＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法
に関する。本実施の形態では、１本の露光ビーム（ここ
では、グルーブ露光ビームＰＷｇとする）のみを用い
る。まず、グルーブ露光時には図６に実線で示すように
グルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中心に配置させて
レジスト原盤３を露光する。これは、図４（ａ）の場合
と同様である。ついで、位相ピット露光時には図７に破
線で示すようにグルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中
心から半径方向に寸法ｓだけずらすとともにグルーブ露
光時よりも光量を下げてレジスト原盤３を露光する。
【００３０】このような原盤露光方法を行なうことで、
図５に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、グルーブＧの溝幅Ｗｇより
溝幅Ｗｐが小さくてトラック中心に対して非対称となる
溝断面形状を有する位相ピットＰを形成することができ
る。つまり、１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのずらし
量と光量との制御により、グルーブＧと位相ピットＰと
を原盤露光できるので、変動の少ない安定した位相ピッ
トＰを形成することができる。
図５に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、グルーブＧの溝幅Ｗｇより
溝幅Ｗｐが小さくてトラック中心に対して非対称となる
溝断面形状を有する位相ピットＰを形成することができ
る。つまり、１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのずらし
量と光量との制御により、グルーブＧと位相ピットＰと
を原盤露光できるので、変動の少ない安定した位相ピッ
トＰを形成することができる。
【００３１】本発明の第三の実施の形態を図７及び図８
に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体で
は、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位相
ピットＰのトラックＴｒに直交する半径方向の左右両側
エッジ部分の傾き角を異ならせている。即ち、エッジ部
分の傾き角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ２
（ここでは、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、グ
ルーブＧの両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とされ
ている。また、位相ピットＰの中心（溝断面の中心）が
グルーブＧのトラック中心に対して半径方向に寸法ｓだ
けずらされている。また、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対し
て位相ピットＰの溝幅Ｗｐが大きく設定され（Ｗｇ＜Ｗ
ｐ）、溝深さは同一とされている。ちなみに、位相ピッ
トＰの溝幅ＷｐはグルーブＧの溝幅Ｗｇよりも大きい
が、位相ピットＰが隣接するトラックのグルーブＧには
つながらない範囲内とされている。
に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体で
は、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位相
ピットＰのトラックＴｒに直交する半径方向の左右両側
エッジ部分の傾き角を異ならせている。即ち、エッジ部
分の傾き角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ２
（ここでは、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、グ
ルーブＧの両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とされ
ている。また、位相ピットＰの中心（溝断面の中心）が
グルーブＧのトラック中心に対して半径方向に寸法ｓだ
けずらされている。また、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対し
て位相ピットＰの溝幅Ｗｐが大きく設定され（Ｗｇ＜Ｗ
ｐ）、溝深さは同一とされている。ちなみに、位相ピッ
トＰの溝幅ＷｐはグルーブＧの溝幅Ｗｇよりも大きい
が、位相ピットＰが隣接するトラックのグルーブＧには
つながらない範囲内とされている。
【００３２】即ち、本実施の形態の特徴は、図１６に示
した従来例との対比で、ランドＬ上の一部にも位相ピッ
トＰが形成されるものの、その位相ピットＰが隣接する
トラックのグルーブＧにはつながらない範囲内に溝幅を
抑えることで、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧ
のトラック中心に対して非対称にできる点である。よっ
て、例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接
したトラックの同一位置に位相ピットＰが同時に存在す
ることになってもトラック中心に対して非対称な溝断面
形状を有する位相ピットＰを配置し得るので、相互に干
渉を受けることなく、プッシュプル信号からこれらの位
相ピットＰを安定して再生検出することができる。
した従来例との対比で、ランドＬ上の一部にも位相ピッ
トＰが形成されるものの、その位相ピットＰが隣接する
トラックのグルーブＧにはつながらない範囲内に溝幅を
抑えることで、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧ
のトラック中心に対して非対称にできる点である。よっ
て、例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接
したトラックの同一位置に位相ピットＰが同時に存在す
ることになってもトラック中心に対して非対称な溝断面
形状を有する位相ピットＰを配置し得るので、相互に干
渉を受けることなく、プッシュプル信号からこれらの位
相ピットＰを安定して再生検出することができる。
【００３３】図７に示すような本実施の形態の位相ピッ
トＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法に
ついて、図８を参照して説明する。本実施の形態でも、
グルーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本の露
光ビームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック中心
に配置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の１つ
は、トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけずら
して配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとする。ま
ず、グルーブ露光時には図８（ａ）に示すようにトラッ
ク中心（１点鎖線で示す）上に配置されている１本のグ
ルーブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト原盤３を
露光する。これは、図４（ａ）の場合と同様である。つ
いで、位相ピット露光時には、前述したように、露光ビ
ームの光量制御でエッジ部分の傾き角を可変させ得る原
理を利用し、図８（ｂ）に示すように、グルーブ露光ビ
ームＰＷｇの光量をグルーブ露光時よりも小さくすると
ともに、片側（図中、右側）のエッジ部分の傾き角を大
きくするためにトラック中心から寸法ＢＤだけ離れた個
所に配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐを併用し
て、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時にレジスト
原盤３を露光する。この際、図示の如く、位相ピット露
光ビームＰＷｐの光量はグルーブ露光ビームＰＷｇの光
量よりも小さく設定される。もっとも、図１に示したよ
うな位相ピットＰを形成するための原盤露光方法と対比
すると、露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐ間の寸法ＢＤは図４
（ｃ）に示す場合よりも広く、かつ、位相ピット露光ビ
ームＰＷｐ側の光量も図８（ｂ）中に破線で示すように
少し大きめとされている。即ち、位相ピットＰの溝幅Ｗ
ｐを広げるために、図４に示す方法の場合よりも、露光
ビームＰＷｇ，ＰＷｐ間の距離が広めとされ、位相ピッ
ト露光ビームＰＷｐの光量も少し大きめとされている。
トＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法に
ついて、図８を参照して説明する。本実施の形態でも、
グルーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本の露
光ビームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック中心
に配置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の１つ
は、トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけずら
して配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとする。ま
ず、グルーブ露光時には図８（ａ）に示すようにトラッ
ク中心（１点鎖線で示す）上に配置されている１本のグ
ルーブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト原盤３を
露光する。これは、図４（ａ）の場合と同様である。つ
いで、位相ピット露光時には、前述したように、露光ビ
ームの光量制御でエッジ部分の傾き角を可変させ得る原
理を利用し、図８（ｂ）に示すように、グルーブ露光ビ
ームＰＷｇの光量をグルーブ露光時よりも小さくすると
ともに、片側（図中、右側）のエッジ部分の傾き角を大
きくするためにトラック中心から寸法ＢＤだけ離れた個
所に配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐを併用し
て、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時にレジスト
原盤３を露光する。この際、図示の如く、位相ピット露
光ビームＰＷｐの光量はグルーブ露光ビームＰＷｇの光
量よりも小さく設定される。もっとも、図１に示したよ
うな位相ピットＰを形成するための原盤露光方法と対比
すると、露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐ間の寸法ＢＤは図４
（ｃ）に示す場合よりも広く、かつ、位相ピット露光ビ
ームＰＷｐ側の光量も図８（ｂ）中に破線で示すように
少し大きめとされている。即ち、位相ピットＰの溝幅Ｗ
ｐを広げるために、図４に示す方法の場合よりも、露光
ビームＰＷｇ，ＰＷｐ間の距離が広めとされ、位相ピッ
ト露光ビームＰＷｐの光量も少し大きめとされている。
【００３４】このような原盤露光方法を行なうことで、
図７に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、溝断面の左右エッジ部分の
傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となり、かつ、グルーブ
Ｇよりも溝幅Ｗｐが大きくてトラック中心に対して非対
称となる溝断面形状を有する位相ピットＰを形成するこ
とができる。つまり、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐ
のビーム間隔と光量との制御により、グルーブＧと位相
ピットＰとを原盤露光できるので、変動の少ない安定し
た位相ピットＰを形成することができる。
図７に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、溝断面の左右エッジ部分の
傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となり、かつ、グルーブ
Ｇよりも溝幅Ｗｐが大きくてトラック中心に対して非対
称となる溝断面形状を有する位相ピットＰを形成するこ
とができる。つまり、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐ
のビーム間隔と光量との制御により、グルーブＧと位相
ピットＰとを原盤露光できるので、変動の少ない安定し
た位相ピットＰを形成することができる。
【００３５】本発明の第四の実施の形態を図９及び図１
０に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体
では、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位
相ピットＰのトラックＴｒに直交する半径方向の左右両
側エッジ部分の傾き角が異ならされている。即ち、エッ
ジ部分の傾き角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ
２（ここでは、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、
グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とさ
れている。また、位相ピットＰの中心（溝断面の中心）
がグルーブＧのトラック中心に対して半径方向に寸法ｓ
だけずらされている。また、グルーブＧの溝幅Ｗｇと位
相ピットＰの溝幅Ｗｐとは同一に設定され（Ｗｇ＝Ｗ
ｐ）、溝深さは同一とされている。ちなみに、位相ピッ
トＰのトラック中心に対するずらし量ｓは、その位相ピ
ットＰが隣接するトラックのグルーブＧにはつながらな
い範囲内とされている。
０に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒体
では、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、その位
相ピットＰのトラックＴｒに直交する半径方向の左右両
側エッジ部分の傾き角が異ならされている。即ち、エッ
ジ部分の傾き角を各々θ１，θ２としたとき、θ１≠θ
２（ここでは、θ１＜θ２）とされている。ちなみに、
グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角は何れもθ２とさ
れている。また、位相ピットＰの中心（溝断面の中心）
がグルーブＧのトラック中心に対して半径方向に寸法ｓ
だけずらされている。また、グルーブＧの溝幅Ｗｇと位
相ピットＰの溝幅Ｗｐとは同一に設定され（Ｗｇ＝Ｗ
ｐ）、溝深さは同一とされている。ちなみに、位相ピッ
トＰのトラック中心に対するずらし量ｓは、その位相ピ
ットＰが隣接するトラックのグルーブＧにはつながらな
い範囲内とされている。
【００３６】即ち、本実施の形態の特徴は、図１６に示
した従来例との対比で、ランドＬ上の一部にも位相ピッ
トＰが形成されるものの、その位相ピットＰが隣接する
トラックのグルーブＧにはつながらない範囲内に位相ピ
ットＰのずらし量ｓを抑えることで、位相ピットＰの溝
断面形状をグルーブＧのトラック中心に対して非対称に
できる点である。よって、例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ
４に示すように、隣接したトラックの同一位置に位相ピ
ットＰが同時に存在することになってもトラック中心に
対して非対称な溝断面形状を有する位相ピットＰを配置
し得るので、相互に干渉を受けることなく、プッシュプ
ル信号からこれらの位相ピットＰを安定して再生検出す
ることができる。
した従来例との対比で、ランドＬ上の一部にも位相ピッ
トＰが形成されるものの、その位相ピットＰが隣接する
トラックのグルーブＧにはつながらない範囲内に位相ピ
ットＰのずらし量ｓを抑えることで、位相ピットＰの溝
断面形状をグルーブＧのトラック中心に対して非対称に
できる点である。よって、例えばトラックＴｒ３，Ｔｒ
４に示すように、隣接したトラックの同一位置に位相ピ
ットＰが同時に存在することになってもトラック中心に
対して非対称な溝断面形状を有する位相ピットＰを配置
し得るので、相互に干渉を受けることなく、プッシュプ
ル信号からこれらの位相ピットＰを安定して再生検出す
ることができる。
【００３７】図９に示すような本実施の形態の位相ピッ
トＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法に
ついて、図１０を参照して説明する。本実施の形態で
も、グルーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本
の露光ビームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック
中心に配置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の
１つは、トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけ
ずらして配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとす
る。まず、グルーブ露光時には図１０（ａ）に示すよう
にトラック中心（１点鎖線で示す）上に配置されている
１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト
原盤３を露光する。これは、図４（ａ）の場合と同様で
ある。ついで、位相ピット露光時には、前述したよう
に、露光ビームの光量制御でエッジ部分の傾き角を可変
させ得る原理を利用し、図１０（ｂ）に示すように、グ
ルーブ露光ビームＰＷｇの光量をグルーブ露光時よりも
小さくするとともに、片側（図中、右側）のエッジ部分
の傾き角を大きくするためにトラック中心から寸法ＢＤ
だけ離れた個所に配置させた位相ピット露光ビームＰＷ
ｐを併用して、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時
にレジスト原盤３を露光する。この際、図示の如く、位
相ピット露光ビームＰＷｐの光量はグルーブ露光ビーム
ＰＷｇの光量よりも小さく設定される。また、位相ピッ
トＰの中心をトラック中心に対して半径方向にずらすた
め、位相ピット露光時には図１０（ｂ）に破線で示すよ
うにこれらの２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐをトラッ
ク中心から半径方向に寸法ｓだけ同時にずらす。
トＰを含むグルーブＧを形成するための原盤露光方法に
ついて、図１０を参照して説明する。本実施の形態で
も、グルーブＧと位相ピットＰとを露光するために２本
の露光ビームを用いる。１つは、グルーブＧのトラック
中心に配置させたグルーブ露光ビームＰＷｇとし、他の
１つは、トラック中心に対して半径方向に寸法ＢＤだけ
ずらして配置させた位相ピット露光ビームＰＷｐとす
る。まず、グルーブ露光時には図１０（ａ）に示すよう
にトラック中心（１点鎖線で示す）上に配置されている
１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのみを用いてレジスト
原盤３を露光する。これは、図４（ａ）の場合と同様で
ある。ついで、位相ピット露光時には、前述したよう
に、露光ビームの光量制御でエッジ部分の傾き角を可変
させ得る原理を利用し、図１０（ｂ）に示すように、グ
ルーブ露光ビームＰＷｇの光量をグルーブ露光時よりも
小さくするとともに、片側（図中、右側）のエッジ部分
の傾き角を大きくするためにトラック中心から寸法ＢＤ
だけ離れた個所に配置させた位相ピット露光ビームＰＷ
ｐを併用して、２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐで同時
にレジスト原盤３を露光する。この際、図示の如く、位
相ピット露光ビームＰＷｐの光量はグルーブ露光ビーム
ＰＷｇの光量よりも小さく設定される。また、位相ピッ
トＰの中心をトラック中心に対して半径方向にずらすた
め、位相ピット露光時には図１０（ｂ）に破線で示すよ
うにこれらの２本の露光ビームＰＷｇ，ＰＷｐをトラッ
ク中心から半径方向に寸法ｓだけ同時にずらす。
【００３８】このような原盤露光方法を行なうことで、
図９に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、溝断面の左右エッジ部分の
傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となってトラック中心に
対して非対称となる溝断面形状を有する位相ピットＰを
形成することができる。つまり、２本の露光ビームＰＷ
ｇ，ＰＷｐのビーム間隔と光量との制御により、グルー
ブＧと位相ピットＰとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットＰを形成することができる。
図９に示したように、グルーブＧのトラック中心に対し
て中心が寸法ｓだけずれて、溝断面の左右エッジ部分の
傾き角θ１，θ２がθ１＜θ２となってトラック中心に
対して非対称となる溝断面形状を有する位相ピットＰを
形成することができる。つまり、２本の露光ビームＰＷ
ｇ，ＰＷｐのビーム間隔と光量との制御により、グルー
ブＧと位相ピットＰとを原盤露光できるので、変動の少
ない安定した位相ピットＰを形成することができる。
【００３９】本発明の第五の実施の形態を図１１及び図
１２に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒
体では、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、位相
ピットＰの中心（溝断面の中心）がグルーブＧのトラッ
ク中心に対して半径方向に寸法ｓだけずらされている。
また、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対して位相ピットＰの溝
幅Ｗｐが大きく設定され（Ｗｇ＜Ｗｐ）、溝深さは同一
とされている。ちなみに、位相ピットＰの溝幅Ｗｐはグ
ルーブＧの溝幅Ｗｇよりも大きいが、位相ピットＰが隣
接するトラックのグルーブＧにはつながらない範囲内と
されている。ちなみに、位相ピットＰのトラックＴｒに
直交する半径方向の左右両側エッジ部分の傾き角は同一
とされている（グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角も
同一とされている）。
１２に基づいて説明する。本実施の形態の光情報記録媒
体では、位相ピットＰがグルーブＧ上に形成され、位相
ピットＰの中心（溝断面の中心）がグルーブＧのトラッ
ク中心に対して半径方向に寸法ｓだけずらされている。
また、グルーブＧの溝幅Ｗｇに対して位相ピットＰの溝
幅Ｗｐが大きく設定され（Ｗｇ＜Ｗｐ）、溝深さは同一
とされている。ちなみに、位相ピットＰの溝幅Ｗｐはグ
ルーブＧの溝幅Ｗｇよりも大きいが、位相ピットＰが隣
接するトラックのグルーブＧにはつながらない範囲内と
されている。ちなみに、位相ピットＰのトラックＴｒに
直交する半径方向の左右両側エッジ部分の傾き角は同一
とされている（グルーブＧの両側エッジ部分の傾き角も
同一とされている）。
【００４０】即ち、図１６に示した従来例との対比で、
ランドＬ上の一部にも位相ピットＰが形成されるもの
の、その位相ピットＰが隣接するトラックのグルーブＧ
にはつながらない範囲内に溝幅、ずらし量を抑えること
で、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのトラック
中心に対して非対称にできる点である。よって、例えば
トラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接したトラッ
クの同一位置に位相ピットＰが同時に存在することにな
ってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状を有す
る位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を受ける
ことなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピットＰ
を安定して再生検出することができる。
ランドＬ上の一部にも位相ピットＰが形成されるもの
の、その位相ピットＰが隣接するトラックのグルーブＧ
にはつながらない範囲内に溝幅、ずらし量を抑えること
で、位相ピットＰの溝断面形状をグルーブＧのトラック
中心に対して非対称にできる点である。よって、例えば
トラックＴｒ３，Ｔｒ４に示すように、隣接したトラッ
クの同一位置に位相ピットＰが同時に存在することにな
ってもトラック中心に対して非対称な溝断面形状を有す
る位相ピットＰを配置し得るので、相互に干渉を受ける
ことなく、プッシュプル信号からこれらの位相ピットＰ
を安定して再生検出することができる。
【００４１】本実施の形態の特徴は、図１１に示すよう
な位相ピットＰを含むグルーブＧを形成するための原盤
露光方法に関する。本実施の形態では、１本の露光ビー
ム（ここでは、グルーブ露光ビームＰＷｇとする）のみ
を用いる。まず、グルーブ露光時には図１２に実線で示
すようにグルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中心に配
置させてレジスト原盤３を露光する。これは、図４
（ａ）の場合と同様である。ついで、位相ピット露光時
には図１２に破線で示すようにグルーブ露光ビームＰＷ
ｇをトラック中心から半径方向に寸法ｓだけずらすとと
もにグルーブ露光時よりも光量を上げてレジスト原盤３
を露光する。
な位相ピットＰを含むグルーブＧを形成するための原盤
露光方法に関する。本実施の形態では、１本の露光ビー
ム（ここでは、グルーブ露光ビームＰＷｇとする）のみ
を用いる。まず、グルーブ露光時には図１２に実線で示
すようにグルーブ露光ビームＰＷｇをトラック中心に配
置させてレジスト原盤３を露光する。これは、図４
（ａ）の場合と同様である。ついで、位相ピット露光時
には図１２に破線で示すようにグルーブ露光ビームＰＷ
ｇをトラック中心から半径方向に寸法ｓだけずらすとと
もにグルーブ露光時よりも光量を上げてレジスト原盤３
を露光する。
【００４２】このような原盤露光方法を行なうことで、
図１１に示したように、グルーブＧのトラック中心に対
して中心が寸法ｓだけずれて、グルーブＧの溝幅Ｗｇよ
り溝幅Ｗｐが広くてトラック中心に対して非対称となる
溝断面形状を有する位相ピットＰを形成することができ
る。つまり、１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのずらし
量と光量との制御により、グルーブＧと位相ピットＰと
を原盤露光できるので、変動の少ない安定した位相ピッ
トＰを形成することができる。
図１１に示したように、グルーブＧのトラック中心に対
して中心が寸法ｓだけずれて、グルーブＧの溝幅Ｗｇよ
り溝幅Ｗｐが広くてトラック中心に対して非対称となる
溝断面形状を有する位相ピットＰを形成することができ
る。つまり、１本のグルーブ露光ビームＰＷｇのずらし
量と光量との制御により、グルーブＧと位相ピットＰと
を原盤露光できるので、変動の少ない安定した位相ピッ
トＰを形成することができる。
【００４３】
【実施例】前述した各実施の形態の如く、グルーブＧの
トラック中心に対して非対称な溝断面形状を有する位相
ピットＰと、図１８で説明した位相ピット部分のプッシ
ュプル信号の変化量Ａとの関係について説明する。ここ
では、便宜上、変化量ＡをグルーブＧを再生する際の和
信号レベルで除算した数値ＬＰＰを用いるものとする。
また、再生ビームＢとしては、波長６３５ｎｍ、ビーム
径が約０．９μｍのレーザビームを用いた。さらに、ト
ラックピッチＴＰは約０．８μｍとし、基板には記録膜
として相変化型材料を形成したものを用いた。
トラック中心に対して非対称な溝断面形状を有する位相
ピットＰと、図１８で説明した位相ピット部分のプッシ
ュプル信号の変化量Ａとの関係について説明する。ここ
では、便宜上、変化量ＡをグルーブＧを再生する際の和
信号レベルで除算した数値ＬＰＰを用いるものとする。
また、再生ビームＢとしては、波長６３５ｎｍ、ビーム
径が約０．９μｍのレーザビームを用いた。さらに、ト
ラックピッチＴＰは約０．８μｍとし、基板には記録膜
として相変化型材料を形成したものを用いた。
【００４４】まず、本発明の第一の実施例を図１３を参
照して説明する。本実施例は、図１に示した第一の実施
の形態に対応するもので、位相ピットＰの片側エッジ部
分の傾き角θ１を変化させた場合のＬＰＰの変化の様子
を検討したものである。ちなみに、図１３（ｂ）に示す
ように、他方のエッジ部分の傾き角θ２は４５°で固定
した。また、位相ピットＰの溝幅Ｗｐは０．４μｍ、溝
深さＤｐは６００Åとした。図１３（ａ）中、○印は隣
接トラックに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣
接トラックに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある
場合）のＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、
図４で説明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露
光ビーム間の間隔と光量とを制御することで種々のサン
プルを作製したものである。
照して説明する。本実施例は、図１に示した第一の実施
の形態に対応するもので、位相ピットＰの片側エッジ部
分の傾き角θ１を変化させた場合のＬＰＰの変化の様子
を検討したものである。ちなみに、図１３（ｂ）に示す
ように、他方のエッジ部分の傾き角θ２は４５°で固定
した。また、位相ピットＰの溝幅Ｗｐは０．４μｍ、溝
深さＤｐは６００Åとした。図１３（ａ）中、○印は隣
接トラックに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣
接トラックに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある
場合）のＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、
図４で説明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露
光ビーム間の間隔と光量とを制御することで種々のサン
プルを作製したものである。
【００４５】本実施例の結果を示す図１３（ａ）によれ
ば、位相ピットＰに関して片側エッジ部分の傾き角θ１
を小さくすればする程、ＬＰＰの値は大きくなるが、約
１０°でＬＰＰ＝０．２０程度と最大になることが判明
したものである。●印で示すように、位相ピット同士の
干渉のおそれがある場合でも、○印で示す場合に比して
ＬＰＰ値は０．０５程度低下する程度であり、干渉によ
る影響は少ないことが判る。本実施例の場合、ＬＰＰの
信号安定性と位相ピットＰの検出信頼性とを高めるため
には、片側エッジ部分の傾き角θ１を１０°程度にする
のがよいことが判る。
ば、位相ピットＰに関して片側エッジ部分の傾き角θ１
を小さくすればする程、ＬＰＰの値は大きくなるが、約
１０°でＬＰＰ＝０．２０程度と最大になることが判明
したものである。●印で示すように、位相ピット同士の
干渉のおそれがある場合でも、○印で示す場合に比して
ＬＰＰ値は０．０５程度低下する程度であり、干渉によ
る影響は少ないことが判る。本実施例の場合、ＬＰＰの
信号安定性と位相ピットＰの検出信頼性とを高めるため
には、片側エッジ部分の傾き角θ１を１０°程度にする
のがよいことが判る。
【００４６】本発明の第二の実施例を図１４を参照して
説明する。本実施例は、図７に示した第三の実施の形態
に対応するもので、左右両側エッジ部分の傾き角θ１，
θ２が異なる条件下に、位相ピットＰの片側エッジ部分
のみをシフトさせて位相ピットＰの溝幅Ｗｐが広く（大
きく）なる方向に変化させた場合のＬＰＰの変化の様子
を検討したものである。ちなみに、図１４（ｂ）に示す
ように、両側エッジ部分の傾き角はθ１＝１０°，θ２
＝４５°に固定した。また、位相ピットＰの溝深さＤｐ
は６００Åとした。図１４（ａ）中、○印は隣接トラッ
クに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣接トラッ
クに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある場合）の
ＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、図８で説
明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露光ビーム
間の間隔と光量とを制御することで種々のサンプルを作
製したものである。
説明する。本実施例は、図７に示した第三の実施の形態
に対応するもので、左右両側エッジ部分の傾き角θ１，
θ２が異なる条件下に、位相ピットＰの片側エッジ部分
のみをシフトさせて位相ピットＰの溝幅Ｗｐが広く（大
きく）なる方向に変化させた場合のＬＰＰの変化の様子
を検討したものである。ちなみに、図１４（ｂ）に示す
ように、両側エッジ部分の傾き角はθ１＝１０°，θ２
＝４５°に固定した。また、位相ピットＰの溝深さＤｐ
は６００Åとした。図１４（ａ）中、○印は隣接トラッ
クに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣接トラッ
クに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある場合）の
ＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、図８で説
明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露光ビーム
間の間隔と光量とを制御することで種々のサンプルを作
製したものである。
【００４７】本実施例の結果を示す図１８（ａ）によれ
ば、第一の実施例の場合（Ｗｐ＝４０μｍ）よりも位相
ピットＰを広くしてその中心を矢印方向にずらせばＬＰ
Ｐの値がさらに大きくなることが判明したものである。
ＬＰＰは溝幅Ｗｐが約０．６５μｍで最大となる。本実
施例の場合には、位相ピットＰが隣接するトラックのグ
ルーブＧにつながらないように安定して溝形成する点を
重視すると、位相ピットＰの溝幅Ｗｐを０．５〜０．７
μｍの範囲内程度に設定するのが望ましい。なぜなら、
トラックピッチＴＰが約０．８μｍであるため、溝幅Ｗ
ｐを０．６μｍ以上にするとトラックピッチＴＰの変動
や各ビーム光量変動などにより、位相ピットＰとそれに
隣接するトラックのグルーブＧにつながってしまう確率
が高くなるためである。
ば、第一の実施例の場合（Ｗｐ＝４０μｍ）よりも位相
ピットＰを広くしてその中心を矢印方向にずらせばＬＰ
Ｐの値がさらに大きくなることが判明したものである。
ＬＰＰは溝幅Ｗｐが約０．６５μｍで最大となる。本実
施例の場合には、位相ピットＰが隣接するトラックのグ
ルーブＧにつながらないように安定して溝形成する点を
重視すると、位相ピットＰの溝幅Ｗｐを０．５〜０．７
μｍの範囲内程度に設定するのが望ましい。なぜなら、
トラックピッチＴＰが約０．８μｍであるため、溝幅Ｗ
ｐを０．６μｍ以上にするとトラックピッチＴＰの変動
や各ビーム光量変動などにより、位相ピットＰとそれに
隣接するトラックのグルーブＧにつながってしまう確率
が高くなるためである。
【００４８】本発明の第三の実施例を図１５を参照して
説明する。本実施例は、図９に示した第四の実施の形態
に対応するもので、左右両側エッジ部分の傾き角θ１，
θ２が異なる条件下に、位相ピットＰを半径方向にシフ
トさせた場合のＬＰＰの変化の様子を検討したものであ
る。ちなみに、図１５（ｂ）に示すように、両側エッジ
部分の傾き角はθ１＝１０°，θ２＝４５°に固定し
た。また、位相ピットＰの溝幅Ｗｐは０．４μｍ、溝深
さＤｐは６００Åとした。図１５（ａ）中、○印は隣接
トラックに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣接
トラックに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある場
合）のＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、図
１０で説明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露
光ビーム間の間隔と光量とを制御することで種々のサン
プルを作製したものである。
説明する。本実施例は、図９に示した第四の実施の形態
に対応するもので、左右両側エッジ部分の傾き角θ１，
θ２が異なる条件下に、位相ピットＰを半径方向にシフ
トさせた場合のＬＰＰの変化の様子を検討したものであ
る。ちなみに、図１５（ｂ）に示すように、両側エッジ
部分の傾き角はθ１＝１０°，θ２＝４５°に固定し
た。また、位相ピットＰの溝幅Ｗｐは０．４μｍ、溝深
さＤｐは６００Åとした。図１５（ａ）中、○印は隣接
トラックに位相ピットＰが存在しない場合、●印は隣接
トラックに位相ピットＰが存在する場合（干渉がある場
合）のＬＰＰを示している。原盤露光方法としては、図
１０で説明した２本の露光ビームを用いる方法とし、露
光ビーム間の間隔と光量とを制御することで種々のサン
プルを作製したものである。
【００４９】本実施例の結果を示す図１５（ａ）によれ
ば、第一の実施例の場合よりも位相ピットＰの位置を半
径方向にシフトすればＬＰＰの値がさらに大きくなるこ
とが判明したものである。特に、本実施例の場合には、
位相ピットＰの中心のトラック中心からのずらし量（シ
フト量）を０．１５μｍ程度にすればＬＰＰの値が０．
４程度で最大になることが判る。
ば、第一の実施例の場合よりも位相ピットＰの位置を半
径方向にシフトすればＬＰＰの値がさらに大きくなるこ
とが判明したものである。特に、本実施例の場合には、
位相ピットＰの中心のトラック中心からのずらし量（シ
フト量）を０．１５μｍ程度にすればＬＰＰの値が０．
４程度で最大になることが判る。
【００５０】
【発明の効果】請求項１記載の発明の光情報記録媒体に
よれば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き
角を異ならせるだけで、位相ピットの溝断面形状がグル
ーブのトラック中心に対して非対称とされているので、
プッシュプル法によりトラッキング制御をかけてグルー
ブ上をトラッキングしながら信号を再生する際に位相ピ
ット部分をグルーブ部分と確実に区別することができる
ので、位相ピットを再生でき、この際、位相ピットがグ
ルーブ上に形成されているので、位相ピットが隣接する
情報記録用トラックに対して同一位置に存在しても隣接
する位相ピットの干渉を受けることはない。
よれば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き
角を異ならせるだけで、位相ピットの溝断面形状がグル
ーブのトラック中心に対して非対称とされているので、
プッシュプル法によりトラッキング制御をかけてグルー
ブ上をトラッキングしながら信号を再生する際に位相ピ
ット部分をグルーブ部分と確実に区別することができる
ので、位相ピットを再生でき、この際、位相ピットがグ
ルーブ上に形成されているので、位相ピットが隣接する
情報記録用トラックに対して同一位置に存在しても隣接
する位相ピットの干渉を受けることはない。
【００５１】請求項２記載の発明の光情報記録媒体によ
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせてトラック中心に対して非対称な溝断面形状
とするだけで、位相ピットとそれに隣接するトラックの
グルーブとがつながることはなく、半径方向に位相ピッ
トが隣接する場合でもその干渉を受けずに安定して位相
ピットを再生することができる。
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせてトラック中心に対して非対称な溝断面形状
とするだけで、位相ピットとそれに隣接するトラックの
グルーブとがつながることはなく、半径方向に位相ピッ
トが隣接する場合でもその干渉を受けずに安定して位相
ピットを再生することができる。
【００５２】請求項３記載の発明の光情報記録媒体によ
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットの溝幅を広げてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生することがで
きる。
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットの溝幅を広げてトラック中心
に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相ピット
とそれに隣接するトラックのグルーブとがつながること
はなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合でもその
干渉を受けずに安定して位相ピットを再生することがで
きる。
【００５３】請求項４記載の発明の光情報記録媒体によ
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットを半径方向にずらしてトラッ
ク中心に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相
ピットとそれに隣接するトラックのグルーブとがつなが
ることはなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合で
もその干渉を受けずに安定して位相ピットを再生するこ
とができる。
れば、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角
を異ならせ、かつ、隣接するトラックのグルーブにつな
がらない範囲で位相ピットを半径方向にずらしてトラッ
ク中心に対して非対称な溝断面形状とするだけで、位相
ピットとそれに隣接するトラックのグルーブとがつなが
ることはなく、半径方向に位相ピットが隣接する場合で
もその干渉を受けずに安定して位相ピットを再生するこ
とができる。
【００５４】請求項５記載の発明の原盤露光方法によれ
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項２記載の光情報記録媒体を製造する上で変動の少ない
安定した位相ピットを形成することができる。
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項２記載の光情報記録媒体を製造する上で変動の少ない
安定した位相ピットを形成することができる。
【００５５】請求項６記載の発明の原盤露光方法によれ
ば、１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により
グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、情報記
録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が
位相ピットとして形成された光情報記録媒体であって、
グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心がト
ラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅より
位相ピットの溝幅が小さく、グルーブと位相ピットとの
溝深さが同一で、位相ピットの半径方向の両側エッジ部
分の傾き角が同一である光情報記録媒体を製造する上
で、変動の少ない安定した位相ピットを形成することが
できる。
ば、１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により
グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、情報記
録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が
位相ピットとして形成された光情報記録媒体であって、
グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心がト
ラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅より
位相ピットの溝幅が小さく、グルーブと位相ピットとの
溝深さが同一で、位相ピットの半径方向の両側エッジ部
分の傾き角が同一である光情報記録媒体を製造する上
で、変動の少ない安定した位相ピットを形成することが
できる。
【００５６】請求項７記載の発明の原盤露光方法によれ
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項３記載の光情報記録媒体を製造する上で、変動の少な
い安定した位相ピットを形成することができる。
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項３記載の光情報記録媒体を製造する上で、変動の少な
い安定した位相ピットを形成することができる。
【００５７】請求項８記載の発明の原盤露光方法によれ
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項４記載の光情報記録媒体を製造する上で、変動の少な
い安定した位相ピットを形成することができる。
ば、２本の露光ビームのビーム間隔と光量との制御によ
りグルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、請求
項４記載の光情報記録媒体を製造する上で、変動の少な
い安定した位相ピットを形成することができる。
【００５８】請求項９記載の発明の原盤露光方法によれ
ば、１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により
グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、情報記
録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が
位相ピットとして形成された光情報記録媒体であって、
グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心がト
ラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅より
位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に隣接す
るトラックのグルーブにつながらない範囲で大きく、グ
ルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットの
半径方向の両側エッジ部分の傾き角が同一である光情報
記録媒体を製造する上で、変動の少ない安定した位相ピ
ットを形成することができる。
ば、１本の露光ビームのずらし量と光量との制御により
グルーブと位相ピットとを原盤露光できるので、情報記
録用トラックをグルーブとし、プリフォーマット情報が
位相ピットとして形成された光情報記録媒体であって、
グルーブのトラック中心に対して位相ピットの中心がト
ラックに直交する半径方向にずれ、グルーブの溝幅より
位相ピットの溝幅が当該位相ピットが半径方向に隣接す
るトラックのグルーブにつながらない範囲で大きく、グ
ルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットの
半径方向の両側エッジ部分の傾き角が同一である光情報
記録媒体を製造する上で、変動の少ない安定した位相ピ
ットを形成することができる。
【図１】本発明の第一の実施の形態の光情報記録媒体を
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
【図２】スタンパ製造プロセスを示す工程図である。
【図３】原盤露光モデルを示す斜視図である。
【図４】原盤露光方法を示す説明図である。
【図５】本発明の第二の実施の形態の光情報記録媒体を
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
【図６】原盤露光方法を示す説明図である。
【図７】本発明の第三の実施の形態の光情報記録媒体を
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
【図８】原盤露光方法を示す説明図である。
【図９】本発明の第四の実施の形態の光情報記録媒体を
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
【図１０】原盤露光方法を示す説明図である。
【図１１】本発明の第五の実施の形態の光情報記録媒体
を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその位置での断面
図、（ｃ）は位置での断面図である。
【図１２】原盤露光方法を示す説明図である。
【図１３】本発明の第一の実施例を示し、（ａ）はＬＰ
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
【図１４】本発明の第二の実施例を示し、（ａ）はＬＰ
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
【図１５】本発明の第三の実施例を示し、（ａ）はＬＰ
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
Ｐ特性図、（ｂ）は条件を示す説明図である。
【図１６】従来の光情報記録媒体を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）はその位置での断面図、（ｃ）は位置で
の断面図である。
図、（ｂ）はその位置での断面図、（ｃ）は位置で
の断面図である。
【図１７】位相ピット再生原理を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図である。
図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図である。
【図１８】トラッキングに伴う位相ピット再生原理を示
し、（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形
図である。
し、（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形
図である。
【図１９】位相ピットを再生できない場合を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図で
ある。
（ａ）は平面図、（ｂ）はプッシュプル信号の波形図で
ある。
Ｇ グルーブ Ｐ 位相ピット Ｗｇ グルーブの溝幅 Ｗｐ 位相ピットの溝幅 θ１，θ２ 傾き角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/24 G11B 7/26 G11B 7/007 G11B 11/105
Claims (9)
- 【請求項１】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、前記位相ピットがグルーブ上に形
成されてトラックに直交する半径方向の両側エッジ部分
の傾き角が異なることを特徴とする光情報記録媒体。 - 【請求項２】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、グルーブのトラック中心と位相ピ
ットの中心とが同一で、グルーブと位相ピットとの溝幅
が同一で、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、
位相ピットのトラックに直交する半径方向の両側エッジ
部分の傾き角が異なることを特徴とする光情報記録媒
体。 - 【請求項３】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、グルーブのトラック中心に対して
位相ピットの中心がトラックに直交する半径方向にず
れ、グルーブの溝幅より位相ピットの溝幅が当該位相ピ
ットが半径方向に隣接するトラックのグルーブにつなが
らない範囲で大きく、グルーブと位相ピットとの溝深さ
が同一で、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾
き角が異なることを特徴とする光情報記録媒体。 - 【請求項４】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、グルーブのトラック中心に対して
位相ピットの中心が当該位相ピットが半径方向に隣接す
るトラックのグルーブにつながらない範囲でトラックに
直交する半径方向にずれ、グルーブと位相ピットとの溝
幅が同一で、グルーブと位相ピットとの溝深さが同一
で、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾き角が
異なることを特徴とする光情報記録媒体。 - 【請求項５】 請求項２記載の光情報記録媒体を製造す
るための原盤露光方法であって、トラック中心に配置さ
せたグルーブ露光ビームとトラック中心に対して半径方
向にずらして配置させた位相ピット露光ビームとの２本
の露光ビームを用い、グルーブ露光時には前記グルーブ
露光ビームにより原盤を露光し、位相ピット露光時には
グルーブ露光時よりも光量が小さくされた前記グルーブ
露光ビームと光量がこのグルーブ露光ビームの光量より
も小さい前記位相ピット露光ビームとにより原盤を同時
に露光することを特徴とする原盤露光方法。 - 【請求項６】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、グルーブのトラック中心に対して
位相ピットの中心がトラックに直交する半径方向にず
れ、グルーブの溝幅より位相ピットの溝幅が小さく、グ
ルーブと位相ピットとの溝深さが同一で、位相ピットの
半径方向の両側エッジ部分の傾き角が同一である光情報
記録媒体を製造するための原盤露光方法であって、１本
の露光ビームを用い、グルーブ露光時には露光ビームを
トラック中心に配置させて原盤を露光し、位相ピット露
光時には露光ビームをトラック中心から半径方向にずら
すとともにグルーブ露光時よりも光量を下げて原盤を露
光することを特徴とする原盤露光方法。 - 【請求項７】 請求項３記載の光情報記録媒体を製造す
るための原盤露光方法であって、トラック中心に配置さ
せたグルーブ露光ビームとトラック中心に対して半径方
向にずらして配置させた位相ピット露光ビームとの２本
の露光ビームを用い、グルーブ露光時には前記グルーブ
露光ビームにより原盤を露光し、位相ピット露光時には
グルーブ露光時よりも光量が小さくされた前記グルーブ
露光ビームとこのグルーブ露光ビームの光量よりも小さ
い前記位相ピット露光ビームとにより原盤を同時に露光
することを特徴とする原盤露光方法。 - 【請求項８】 請求項４記載の光情報記録媒体を製造す
るための原盤露光方法であって、トラック中心に配置さ
せたグルーブ露光ビームとトラック中心に対して半径方
向にずらして配置させた位相ピット露光ビームとの２本
の露光ビームを用い、グルーブ露光時には前記グルーブ
露光ビームにより原盤を露光し、位相ピット露光時には
グルーブ露光時よりも光量が小さくされた前記グルーブ
露光ビームとこのグルーブ露光ビームの光量よりも小さ
い前記位相ピット露光ビームとを同時に半径方向にずら
して原盤を同時に露光することを特徴とする原盤露光方
法。 - 【請求項９】 情報記録用トラックをグルーブとし、プ
リフォーマット情報 が位相ピットとして形成された光情
報記録媒体であって、グルーブのトラック中心に対して
位相ピットの中心がトラックに直交する半径方向にず
れ、グルーブの溝幅より位相ピットの溝幅が当該位相ピ
ットが半径方向に隣接するトラックのグルーブにつなが
らない範囲で大きく、グルーブと位相ピットとの溝深さ
が同一で、位相ピットの半径方向の両側エッジ部分の傾
き角が同一である光情報記録媒体を製造するための原盤
露光方法であって、１本の露光ビームを用い、グルーブ
露光時には露光ビームをトラック中心に配置させて原盤
を露光し、位相ピット露光時には露光ビームをトラック
中心から半径方向にずらすとともにグルーブ露光時より
も光量を上げて原盤を露光することを特徴とする原盤露
光方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23069697A JP3209948B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 光情報記録媒体及びその原盤露光方法 |
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| US11/247,695 US20060028975A1 (en) | 1997-08-27 | 2005-10-11 | Optical information recording medium and method of producing a master and stampers therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23069697A JP3209948B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 光情報記録媒体及びその原盤露光方法 |
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|---|---|
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| JP3209948B2 true JP3209948B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=16911892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23069697A Expired - Lifetime JP3209948B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 光情報記録媒体及びその原盤露光方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3209948B2 (ja) |
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| TWI255452B (en) * | 2002-03-18 | 2006-05-21 | Ricoh Kk | Multi-level information recording apparatus, multi-level information recording method, multi-level information recording medium and multi-level information recording-reproducing apparatus |
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| US7190653B2 (en) * | 2002-10-21 | 2007-03-13 | Ricoh Company, Ltd. | Data recording/reproducing device |
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| JP4490918B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2010-06-30 | パナソニック株式会社 | 光学情報記録媒体及びその製造方法 |
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1998
- 1998-08-27 US US09/140,975 patent/US20020036978A1/en not_active Abandoned
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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