JP3207550B2 - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

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JP3207550B2
JP3207550B2 JP24364092A JP24364092A JP3207550B2 JP 3207550 B2 JP3207550 B2 JP 3207550B2 JP 24364092 A JP24364092 A JP 24364092A JP 24364092 A JP24364092 A JP 24364092A JP 3207550 B2 JP3207550 B2 JP 3207550B2
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JP
Japan
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vibrating body
support plate
ultrasonic motor
piezoelectric element
vibrating
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JP24364092A
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美奈子 鈴木
朗弘 飯野
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セイコーインスツルメンツ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電素子の伸縮運動
を利用した超音波振動により、移動体を摩擦駆動させる
超音波モータの加圧支持の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来は図10に示すように、振動体3の
径方向に対して2次の振動モードの節部近傍を、支持板
1に設けられた突起部11を接着接合やネジ止め等の手
段を用いて支持固定していた。また、図11に示すよう
に、振動体3の中心部に収納配置されたばね18によっ
て振動体3を移動体5に加圧支持していた。例えば、特
開昭62-293977号公報ならびに特開平2-106
182号公報にこのような従来の構造が開示されてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の超音波
モータの構造では、例えば図10に示すような支持板1
の突起部11を有する構造によると、振動体3の径方向
に対して2次の振動モードの節部を固定した場合、振動
体3と支持板1の一体化により、振動を減衰させること
になるため、全体として電気-機械変換効率を低下させ
ることにつながる。また、中心部と節円部の二点で支持
しているため、寸法が異なることにより振動体3に歪み
が生じる恐れがあった。さらに、加圧手段を設けるため
には、振動体3と支持板1の外側に設けることとなるた
め、モータが大きくなり小型、薄型化がはかれないなど
の課題も有していた。
【0004】また、図11に示すような振動体3の中心
部に収納配置されたばね18を有する構造によると、加
圧構造が複雑であるため、ばね径を小さくしなければな
らず、大きな加圧力を得るには、ばね18の長さを長く
しなければならなかった。また、振動体3の径方向に対
して2次の振動モードを使用した際に安定性が悪くなる
という課題も有していた。そこで本発明は、小型、薄型
で安定性の良い、高効率な超音波モータを得ることを目
的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の、振動体と支持板
の一体化等により、モータ効率が低下するという課題を
解決するために、本発明は、超音波モータにおいて、加
圧支持手段を振動体と支持板の間に設けるとともに、振
動体径方向に対して2次の振動モードの節部近傍を加圧
支持する構造とし、小型、薄型で安定性の良い、高効率
な超音波モータを実現した。
【0006】
【作用】上記のように構成された超音波モータにおいて
は、図1において、支持板1には中心軸2が固定されて
おり、中心軸2は支持板1と一体でも別体でも構わな
い。振動体3には、電極パターン部を有する分極処理さ
れた圧電素子4が接着されており、支持板1に対して移
動可能なように中心軸2に組み込まれている。さらに移
動体5は中心軸2により回転案内されており、支持板1
と、振動体3の間に設けられた加圧支持手段8により、
振動体3が移動体5に圧接され、振動体上にならって回
転可能となっている。ここで、加圧支持手段8は、振動
体3の径方向に対して2次の振動モードの節部近傍に設
けられることにより、加圧と支持を同時に可能としてい
る。また、駆動回路7は振動体3が径方向に対して2次
の振動モードで振動するような振動波を発生可能とする
ような駆動信号を圧電素子4に印加し、移動体5に設け
られた出力取り出し手段6によりモータの出力が取り出
される。
【0007】また、図2において、支持板1には中心軸
2が固定されており、中心軸2は支持板1と一体でも別
体でも構わない。振動体3には、電極パターン部を有す
る分極処理された圧電素子4が接着されており、支持板
1に対して移動可能なように中心軸2に組み込まれてい
る。また、支持板1および振動体3には、回転止め手段
9が設けられており、振動体3が支持板1に対して回転
することを規正している。さらに移動体5は中心軸2に
より回転案内されており、支持板1と、振動体3の径方
向に対して2次の振動モードの節部近傍の間に設けられ
た加圧支持手段8により、振動体3が移動体5に圧接さ
れ、振動体上にならって回転可能となっている。また、
駆動回路7は振動体3が径方向に対して2次の振動モー
ドで振動するような駆動信号を圧電素子4に印加し、移
動体5に設けられた出力取り出し手段6によりモータの
出力が取り出される。
【0008】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 (実施例1)図3および図4は、本発明の超音波モータ
の第一実施例の断面図およびブロック図である。図3お
よび図4において、支持板1には中心軸2が固定されて
おり、中心軸2は支持板1と一体でも別体でも構わな
い。振動体3には、電極パターン部を有する分極処理さ
れた圧電素子4が接着されており、支持板1に対して移
動可能なように中心軸2に組み込まれている。さらに移
動体5は中心軸2により回転案内されており、支持板1
と、振動体3の間に設けられたばね18により、振動体
3が移動体5に圧接され、振動体上にならって回転可能
となっている。ここで、ばね18は、振動体3の径方向
に対して2次の振動モードの節部近傍に設けられること
により、加圧と支持を同時に可能としている。
【0009】なお、ばね18は、コイルばね,板ばね,
ゴム等の弾性体を用いることができ、これらを併用して
も構わない。また、駆動回路7は振動体3が径方向に対
して2次の振動モードで振動するような進行波もしくは
定在波を発生可能とするような駆動信号を圧電素子4に
印加し、移動体5に設けられた出力軸16によりモータ
の出力が取り出される。
【0010】(実施例2)図5および図6は、本発明の
超音波モータの第二実施例の断面図およびブロック図で
ある。図5および図6において、支持板1には中心軸2
が固定されており、中心軸2は支持板1と一体でも別体
でも構わない。振動体3には、電極パターン部を有する
分極処理された圧電素子4が接着されており、支持板1
に対して移動可能なように中心軸2に組み込まれてい
る。また、支持板1および振動体3には、回転止め部材
19が設けられており、振動体3が支持板1に対して回
転することを規正している。なお、回転止め部材19
は、例えば柱形状で、支持板1もしくは振動体3と一体
でも別体でも構わないこととし、支持板1および振動体
3のどちらか一方に形成された角部と対する一方に形成
された角穴が噛み合い、回転止めを行なうような構造と
なっている。
【0011】さらに、移動体5は中心軸2により回転案
内されており、支持板1と、振動体3の径方向に対して
2次の振動モードの節部近傍の間に設けられたばね18
により、振動体3が移動体5に圧接され、振動体上にな
らって回転可能となっている。
【0012】なお、ばね18は、コイルばね,板ばね,
ゴム等の弾性体を用いることができ、これらを併用して
も構わない。また、駆動回路7は振動体3が径方向に対
して2次の振動モードで振動するような駆動信号を圧電
素子4に印加し、移動体5に設けられた出力軸16によ
りモータの出力が取り出される。
【0013】(実施例3)図7,図8および図9は、本
発明の超音波モータの第三実施例の断面図,平面図およ
びブロック図である。図7,図8および図9において、
支持板1には移動体案内枠10が設けられており、移動
体案内枠10は支持板1と一体でも別体でも構わない。
振動体3には、電極パターン部を有する分極処理された
圧電素子4が接着されており、支持板1に対して移動可
能なように配置されている。移動体5は、支持板1に設
けられた移動体案内枠10により回転案内されている。
【0014】さらに、支持板1と振動体3の径方向に対
して2次の振動モードの節部近傍の間に設けられたばね
18により、振動体3が移動体5に圧接され、移動体5
は、振動体上にならって回転可能となっている。本実施
例では、ばね18は、板ばねを用いているとともに回転
止めを兼ねており、振動体3もしくは圧電素子4と接合
もしくはねじ固定されている。さらに、振動体周方向に
対して3ヶ所に配置され、振動体3が支持板1に対して
回転することを規正しているとともに、ばね18を介し
て振動体3の電位を接地させることも可能である。な
お、ばね18は、コイルばね,板ばね,ゴム等の弾性体
を用いることができ、これらを併用しても構わない。駆
動回路7は、振動体3が径方向に対して2次の振動モー
ドで振動するような駆動信号を圧電素子4に印加し、移
動体5に設けられた出力軸16によりモータの出力が取
り出される。
【0015】このような構成とすることにより、複雑な
加圧および支持機構が不要になり、モータの小型、薄型
化がはかれるとともに、特に振動体径方向に対して2次
の振動モードを使用した際でも、安定性の良いモータを
得ることができる。従って、電気−機械変換効率を低下
させることなく、高効率なモータが実現できる。このた
め、本発明による超音波モータによれば、カメラ,時計
等の電子機器ならびにロボット駆動等の工作産業機械等
への利用が可能となる。
【0016】
【発明の効果】本発明による超音波モータによれば、加
圧支持手段を振動体と支持板の間に設けるとともに、振
動体径方向に対して2次の振動モードの節部近傍を加圧
支持するという簡単な構成で、以下のような効果を有す
る。
【0017】(1)モータ駆動時の移動体と振動体の接
触状況が良好になる。 (2)加圧機構の簡易化がはかれるとともに、加圧手段
と支持手段の部品の兼用化がはかれる。 (3)振動体の安定性が良好となるため、モータ駆動時
の摺動音の低減が図れるとともに、モータ性能の向上が
図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波モータの第一ブロック図であ
る。
【図2】本発明の超音波モータの第二ブロック図であ
る。
【図3】本発明の超音波モータの第一実施例の断面図で
ある。
【図4】本発明の超音波モータの第一実施例のブロック
図である。
【図5】本発明の超音波モータの第二実施例の断面図で
ある。
【図6】本発明の超音波モータの第二実施例のブロック
図である。
【図7】本発明の超音波モータの第三実施例の断面図で
ある。
【図8】本発明の超音波モータの第三実施例の平面図で
ある。
【図9】本発明の超音波モータの第三実施例のブロック
図である。
【図10】従来の超音波モータの断面図である。
【図11】従来の他の超音波モータの断面図である。
【符号の説明】
1 支持板 2 中心軸 3 振動体 4 圧電素子 5 移動体 6 出力取り出し手段 7 駆動回路 8 加圧支持手段 9 回転止め手段 10 移動体案内枠 11 突起部 16 出力軸 18 ばね 19 回転止め部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−23074(JP,A) 特開 昭64−60271(JP,A) 特開 平2−106182(JP,A) 特開 昭62−126878(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電素子を有する振動体と、前記振動体
    に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動を利用した超音波
    振動により移動体を摩擦駆動させる超音波モータにおい
    て、 支持板と、 前記支持板に固定された中心軸に案内される振動体と、 前記中心軸を回転案内として回転運動する移動体と、 前記振動体と前記支持板の間で、振動体径方向に対する
    振動の節円部近傍に設けられるとともに、前記振動体を
    前記移動体に圧接する加圧手段と、 前記支持板と前記振動体間に設けられ、前記支持板に対
    して前記振動体が回転することを規正する回転止め部材
    とを有することを特徴とする超音波モータ。
  2. 【請求項2】 圧電素子を有する振動体と、前記振動体
    に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動を利用した超音波
    振動により移動体を摩擦駆動させる超音波モータにおい
    て、 前記移動体を回転可能に案内する案内部材と、 前記振動体と前記支持板の間で、振動体径方向に対する
    振動の節円部近傍に設けられ、前記振動体を前記移動体
    に圧接するとともに、前記振動体の周方向への動きを規
    制する加圧手段とを有することを特徴とする超音波モー
    タ。
JP24364092A 1992-09-11 1992-09-11 超音波モータ Expired - Lifetime JP3207550B2 (ja)

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JP4053646B2 (ja) * 1998-02-16 2008-02-27 セイコーインスツル株式会社 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器
JP4751076B2 (ja) * 2005-02-18 2011-08-17 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及びそれを用いた電子機器

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