JP3194836B2

JP3194836B2 - Inspection probe

Info

Publication number: JP3194836B2
Application number: JP15928194A
Authority: JP
Inventors: 信夫白鳥
Original assignee: Seiken Co Ltd
Current assignee: Seiken Co Ltd
Priority date: 1994-06-16
Filing date: 1994-06-16
Publication date: 2001-08-06
Anticipated expiration: 2016-08-06
Also published as: JPH085662A; KR0182084B1

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、チップ部品，ＬＳＩ，
ＬＣＤ等の電気部品を電気的に検査する際に使用するプ
ローブに係り、詳しくは、複数の探針を、互いに平行
に、かつそれぞれの長さ方向に弾性を持たせた状態で保
持して成り、その各探針の先端部を被検査部品の複数の
端子に接触させることにより、その各端子から電気信号
を取り出す検査用プローブに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a chip component, an LSI,
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a probe used for electrically inspecting an electric component such as an LCD, and more specifically, to a probe which is held in a state where a plurality of probes are held in parallel with each other and in a state where elasticity is provided in each longitudinal direction. In addition, the present invention relates to an inspection probe for extracting an electric signal from each terminal by bringing the tip of each probe into contact with a plurality of terminals of a component to be inspected.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図６は、従来のこの種の検査用プローブ
の構成を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は側断面図である。2. Description of the Related Art FIGS. 6A and 6B are diagrams showing the structure of a conventional inspection probe of this type, wherein FIG. 6A is a plan view, FIG.
(C) is a side sectional view.

【０００３】図のようにこの従来のプローブは、複数の
導電性の探針５１を、絶縁性のブロック５２に設けた複
数の保持孔５３に、それぞれ導電性のスリーブ５５を介
して挿着することにより、互いに平行に保持して構成さ
れている。各探針５１は、それぞれの後端部が導電性の
ソケット５６内に、コイルスプリング５７によって外方
へ付勢され、かつ抜け止めされた状態で摺動自在に嵌合
されており、そのソケット５６がスリーブ５５内に固定
されている。言い換えれば、各探針５１は、ブロック５
２の各保持孔５３に、互いに電気的に絶縁された状態
で、しかもコイルスプリング５７によって長さ方向に弾
性を備えた状態で、互いに平行に保持されている。ま
た、探針５１の数とピッチとは、被検査部品の端子に対
応して設定されている。As shown in FIG. 1, in this conventional probe, a plurality of conductive probes 51 are inserted into a plurality of holding holes 53 provided in an insulating block 52 via conductive sleeves 55, respectively. Thereby, they are configured to be held parallel to each other. Each probe 51 has its rear end slidably fitted in a conductive socket 56 in a state where the probe 51 is urged outward by a coil spring 57 and is prevented from coming off. 56 is fixed in the sleeve 55. In other words, each probe 51 is connected to the block 5
The two holding holes 53 are held in parallel with each other in a state of being electrically insulated from each other and having elasticity in the length direction by a coil spring 57. Further, the number and the pitch of the probes 51 are set corresponding to the terminals of the component to be inspected.

【０００４】そして上記構成のプローブでは、各探針５
１の先端部を、被検査部品の各端子に接触させることに
より、その各端子から、探針５１とソケット５６とスリ
ーブ５５とを通して電気信号を取り出すことができる。
その際、各探針５１は、コイルスプリング５７の弾性力
により、各端子に、ショックを与えることなく圧接す
る。In the probe having the above structure, each probe 5
By contacting the distal end of each component 1 with each terminal of the component to be inspected, an electric signal can be extracted from each terminal through the probe 51, the socket 56 and the sleeve 55.
At that time, each probe 51 is pressed against each terminal without giving a shock by the elastic force of the coil spring 57.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の検査用プローブの構成では、ブロック５２に、微
小な径とピッチとで保持孔５３をあけることが困難であ
り、しかもその保持孔５３に、コイルスプリング５７で
弾性を持たせた探針５１をソケット５６およびスリーブ
５５に納めて挿着するため、多数の探針５１を、近年の
ますます高密度化されるチップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等
の微小なピッチの端子に対応させて配列することが、ほ
とんど不可能になってきた。However, in the structure of the conventional inspection probe as described above, it is difficult to form the holding hole 53 in the block 52 with a small diameter and a small pitch. In order to fit the probe 51 having elasticity by a coil spring 57 into the socket 56 and the sleeve 55 and insert the probe 51 into the socket 53, a large number of probes 51 are used in recent years with increasingly high-density chip components, LSIs, It has become almost impossible to arrange them in correspondence with terminals of a minute pitch such as an LCD.

【０００６】本発明は、この問題を解決するために提案
されたもので、複数の探針をより微小なピッチで配列す
ることのできる検査用プローブを提供することを目的と
する。The present invention has been proposed to solve this problem, and has as its object to provide an inspection probe in which a plurality of probes can be arranged at a finer pitch.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る検査用プローブでは、次のような構成
とした。Means for Solving the Problems To achieve the above object, the inspection probe according to the present invention has the following configuration.

【０００８】請求項１に係る本発明は（例えば図１
（ａ）、（ｂ）及び図２参照）、複数の導電性の探針
（３）を、互いに平行に、かつ互いに電気的に絶縁する
とともに、それぞれの長さ方向に弾性を持たせた状態で
保持して成り、該各探針の先端部を被検査部品の複数の
端子に接触させることにより、該各端子から電気信号を
取り出す検査用プローブにおいて、ブロック（１）の少
なくとも一端面（１ａ）に、複数の互いに平行な探針嵌
着溝（２）を、該ブロックを貫通して該溝の両端を開口
させた状態で形成し、前記ブロックの前記複数の探針嵌
着溝を形成した端面に、該各探針嵌着溝に対して直交す
る方向に該各探針嵌着溝より深い凹溝（２ａ）を形成
し、前記探針（３）は、その長さ方向中間部に長さ方向
の弾性を持たせるための湾曲部（３ｅ）を有し、前記ブ
ロックの各探針嵌着溝（２）に、前記探針（３）を、前
記湾曲部（３ｅ）が前記凹溝（２ａ）に嵌入するように
かつ該各探針の両端部が前記各探針嵌着溝の両開口端か
ら突出するようにして、互いに電気的に絶縁しかつ長さ
方向に弾性を備えるとともに抜け止めした状態で嵌着し
て保持した、ことを特徴とする検査用プローブにある。The present invention according to claim 1 (for example, FIG.
(A), (b) and FIG. 2), a state in which a plurality of conductive probes (3) are parallel to each other and electrically insulated from each other, and have elasticity in their respective longitudinal directions. In the inspection probe for extracting an electric signal from each terminal by bringing the tip of each probe into contact with a plurality of terminals of the component to be inspected, at least one end surface (1a) of the block (1) is formed. ), A plurality of mutually parallel probe fitting grooves (2) are formed so as to penetrate the block and open both ends of the groove to form the plurality of probe fitting grooves of the block. A concave groove (2a) deeper than each of the probe fitting grooves is formed in a direction perpendicular to each of the probe fitting grooves on the set end surface, and the probe (3) is formed at a middle portion in a longitudinal direction thereof. Each having a curved portion (3e) for imparting elasticity in the longitudinal direction, and each probe fitting groove of the block. 2) The probe (3) is inserted into the groove (2a) so that the curved portion (3e) fits into the concave groove (2a), and both ends of each probe are both open ends of the probe fitting groove. The test probe is electrically insulated from each other, has elasticity in the length direction, and is fitted and held in a state where it is prevented from coming off.

【０００９】請求項２に係る本発明は（例えば図４参
照）、複数の導電性の探針（３）を、互いに平行に、か
つ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ方
向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の先
端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、ブロック（１）の少なくとも一端面（１ａ）
に、複数の互いに平行な探針嵌着溝（２）を、該ブロッ
クを貫通して該溝の両端を開口させた状態で形成し、前
記ブロックの各探針嵌着溝（２）に、それ自体が長さ方
向に弾性を備えた導電性の探針（３）を、該各探針の両
端部を前記各探針嵌着溝の両開口端から突出させるとと
もに抜き止めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁した
状態で嵌着して保持し、前記ブロック（１）の上記複数
の探針嵌着溝（２）を形成した端面（１ａ）に、その各
探針嵌着溝（２）を直角方向に二分した形でその各探針
嵌着溝（２）より深い深溝（１１）を形成するととも
に、上記各探針嵌着溝（２）の間に切り込み（１２）を
入れることにより、上記ブロック（１）に、上記各探針
嵌着溝（２）に対応させて、その各探針嵌着溝（２）の
長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部（１３）を形成
し、該各対の弾性部（１３）の探針嵌着溝（２）に、上
記弾性を備えた導電性の探針（３）を嵌着して、固定し
た状態で保持した、ことを特徴とする検査用プローブに
ある。According to a second aspect of the present invention (see FIG. 4 for example), a plurality of conductive probes (3) are electrically insulated from each other in parallel with each other and elastically in their respective longitudinal directions. In a test probe for extracting an electric signal from each terminal by bringing the tip of each probe into contact with a plurality of terminals of the component to be inspected, At least one end surface (1a)
In addition, a plurality of mutually parallel probe fitting grooves (2) are formed in a state where both ends of the grooves are opened through the block, and in each probe fitting groove (2) of the block, A conductive probe (3) itself having elasticity in the longitudinal direction is provided with both ends of each probe protruding from both open ends of each probe fitting groove and stopped. In addition, the probe fitting grooves (2) are fitted and held in a state of being electrically insulated from each other, and the probe fitting grooves (2) are formed on the end face (1a) of the block (1) where the plurality of probe fitting grooves (2) are formed. A groove (11) deeper than each of the probe fitting grooves (2) is formed in a form obtained by bisecting 2) in the perpendicular direction, and a cut (12) is made between each of the probe fitting grooves (2). Thereby, the block (1) is provided with elasticity in the length direction of each probe fitting groove (2) in correspondence with each probe fitting groove (2). A plurality of pairs of elastic portions (13) are formed, and the conductive probe (3) having elasticity is fitted into the probe fitting grooves (2) of each pair of elastic portions (13). And held in a fixed state.

【００１０】[0010]

【００１１】請求項３に係る本発明は（例えば図５参
照）、複数の導電性の探針（３）を、互いに平行に、か
つ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ方
向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の先
端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、複数のスリット（２５ａ，２６ａ）を有する２
枚の格子板（２５，２６）を、それぞれのスリット（２
５ａ，２６ａ）を交差させた状態で重ねることにより、
その複数のスリット交差部分をそれぞれ探針挿着孔（２
７）とした探針保持板（２１）を形成するとともに、そ
の探針保持板（２１）を２枚、スペーサ（２２）を介し
て互いに対向させた状態で組み合わせることにより中空
ブロック（２３）を構成し、該中空ブロック（２３）を
構成する上記２枚の探針保持板（２１）の相対する各対
の探針挿着孔（２７）に、それ自体が長さ方向に弾性を
備えた導電性の探針（３）を、その各探針（３）の両端
部を上記中空ブロック（２３）の外側へ突出させるとと
もに抜け止めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁した
状態で挿着した、ことを特徴とする検査用プローブにあ
る。請求項４に係る本発明は、前記各探針（３）の、前
記２枚の探針保持板（２１）間の部分に、絶縁コーティ
ングを施した、ことを特徴とする請求項３記載の検査用
プローブにある。According to a third aspect of the present invention (see FIG. 5 for example), a plurality of conductive probes (3) are electrically insulated from each other in parallel with each other and elastically in the longitudinal direction. By holding the tip of each probe in contact with a plurality of terminals of a component to be inspected, a plurality of slits (25a , 26a)
Each of the grid plates (25, 26) is
5a, 26a) are overlapped in an intersecting state,
Each of the plurality of slit intersections is inserted into a probe insertion hole (2
The hollow block (23) is formed by combining the two probe holding plates (21) facing each other via the spacer (22) while forming the probe holding plate (21) described in 7). The pair of probe insertion holes (27) facing each other of the two probe holding plates (21) constituting the hollow block (23) have elasticity in the longitudinal direction. A conductive probe (3) is inserted with both ends of each probe (3) protruding outside the hollow block (23) and prevented from coming off, and electrically insulated from each other. An inspection probe characterized in that: The present invention according to claim 4, wherein an insulating coating is applied to a portion between the two probe holding plates (21) of each of the probes (3). In the inspection probe.

【００１２】[0012]

【作用】上記構成において、ブロック（１）の端面（１
ａ）に形成する複数の探針嵌着溝（２）は、孔をあける
のと異なり、微小な幅とピッチとで形成することができ
る。また、各探針嵌着溝（２）に嵌着する探針（３）に
ついても、それ自体が弾性を備えるようにしたため、コ
イルスプリングと共にソケットおよびスリーブに納める
必要がなくなり、非常に薄く形成することができる。In the above construction, the end surface (1) of the block (1) is
The plurality of probe fitting grooves (2) formed in a) can be formed with a small width and a small pitch, unlike forming a hole. Also, the probe (3) fitted into each probe fitting groove (2) itself has elasticity, so that it is not necessary to house it in the socket and sleeve together with the coil spring, and is formed very thin. be able to.

【００１３】そして、請求項１に係る本発明における検
査用プローブでは、前記各探針（３）の長さ方向中間部
分に湾曲部（３ｅ）を形成するとともに、ブロック
（１）の端面（１ａ）に、前記各探針嵌着溝（２）に対
して直交する方向に各探針嵌着溝より深い凹溝（２ａ）
を形成し、前記湾曲部（３ｅ）を前記凹溝（２ａ）に嵌
入して、各探針（３）を各探針嵌着溝（１ａ）に、長さ
方向に弾性を備えるとともに抜け止めした状態で保持し
たので、従来例のような、ブロックに孔をあけ、その孔
にソケットおよびスリーブを介して探針を挿着する構成
に比べ、格段に微小なピッチで多数の探針（３）を配列
することが可能となる。In the inspection probe according to the first aspect of the present invention, a curved portion (3e) is formed at a longitudinally intermediate portion of each probe (3), and the end face (1a) of the block (1) is formed. ), A concave groove (2a) deeper than each probe fitting groove in a direction orthogonal to each of the probe fitting grooves (2).
Is formed, the curved portion (3e) is fitted into the concave groove (2a), and each probe (3) is provided in each probe fitting groove (1a) with elasticity in the length direction and is prevented from falling off. In this case, a large number of probes (3) are formed at a remarkably fine pitch, compared with a conventional configuration in which a hole is formed in a block and a probe is inserted into the hole through a socket and a sleeve. ) Can be arranged.

【００１４】また、請求項２に係る本発明の構成では、
各探針（３）は、その両端部付近がブロック（１）の各
対の弾性部（１３）に固定され、しかも探針（３）自体
の弾性と弾性部（１３）の弾性とにより、それぞれの長
さ方向に弾性を備えることになる。この構成によれば、
各探針（３）を、ブロック（１）の各対の弾性部（１
３）に直接固定して保持し得るため、各探針（３）の厚
さを非常に薄くすることができ、よってそのピッチをさ
らに微小化することが可能となる。Further, in the configuration of the present invention according to claim 2,
Each probe (3) is fixed to the pair of elastic portions (13) of the block (1) near both ends thereof, and furthermore, by the elasticity of the probe (3) itself and the elasticity of the elastic portion (13). It will have elasticity in each length direction. According to this configuration,
Each probe (3) is connected to each pair of elastic portions (1) of the block (1).
Since the probe (3) can be directly fixed and held, the thickness of each probe (3) can be made extremely thin, so that the pitch can be further miniaturized.

【００１５】さらに、請求項３に係る本発明における検
査用プローブでは、各探針保持板（２１）のそれぞれの
格子板（２５，２６）に設けるスリット（２５ａ，２６
ａ）は、上記検査用プローブにおける探針嵌着溝と同様
に、微小な幅とピッチとで、精度良く、かつ容易に形成
することができる。従って、そのスリット（２５ａ，２
６ａ）どうしを交差させることにより、複数の微細な探
針挿着孔（２７）を、微小なピッチで精度良く、かつ容
易に、しかも２次元に広げて配列した状態で形成するこ
とができる。そして、その各探針挿着孔（２７）に探針
（３）を挿着することにより、多数の探針（３）を、微
小なピッチで２次元に広げて配列することが可能とな
る。Further, in the inspection probe according to the present invention according to the third aspect, the slits (25a, 26) provided in the respective grid plates (25, 26) of the probe holding plates (21).
In the case of a), like the probe fitting groove in the above-mentioned inspection probe, it can be formed accurately and easily with a minute width and a small pitch. Therefore, the slit (25a, 2
6a) By crossing each other, it is possible to form a plurality of fine probe insertion holes (27) with a fine pitch, with high precision, easily, and two-dimensionally. By inserting the probes (3) into the respective probe insertion holes (27), a large number of probes (3) can be arranged two-dimensionally at a minute pitch. .

【００１６】なお、上記括弧内の符号は、図面と対照す
るためのものであり、何等本発明の構成を限定するもの
ではない。The reference numerals in the parentheses are for comparison with the drawings, and do not limit the configuration of the present invention.

【００１７】[0017]

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は、検査用プローブの第１の実施例を示す図
で、（ａ）は一部を破断した正面図、（ｂ）は平面図、
（ｃ）は側断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A and 1B are views showing a first embodiment of an inspection probe, wherein FIG. 1A is a partially cutaway front view, FIG.
(C) is a side sectional view.

【００１８】図のようにこのプローブでは、合成樹脂等
の絶縁材料から成るブロック１の端面１ａに、複数の互
いに平行な探針嵌着溝２が、ブロック１を上下に貫通し
てその溝２の両端を開口させた状態で形成され、その各
探針嵌着溝２にそれぞれ、探針３が、その両端部を各溝
２の両開口端から突出させた状態で嵌着されている。さ
らにこのブロック１の端面（溝形成端面）１ａに、合成
樹脂等の絶縁材料から成る板状の探針保持部材５がネジ
６を用いて取り付けられ、それによって、各探針嵌着溝
２に嵌着された探針３が外れないように保持されてい
る。As shown in the figure, in this probe, a plurality of mutually parallel probe fitting grooves 2 penetrate vertically through the block 1 on an end face 1a of a block 1 made of an insulating material such as a synthetic resin. The probe 3 is fitted in each of the probe fitting grooves 2 with both ends thereof protruding from both open ends of the respective grooves 2. Further, a plate-like probe holding member 5 made of an insulating material such as a synthetic resin is attached to an end face (groove forming end face) 1a of the block 1 using a screw 6, whereby the probe fitting groove 2 is attached to each probe fitting groove 2. The fitted probe 3 is held so as not to come off.

【００１９】上記探針３は、導電性を有し、しかもそれ
自体が長さ方向に弾性を備えたもので、本発明の実施例
から外れるが、例えば図１（ｃ）に示すように、薄い金
属板３ａに多数の孔３ｂと切り欠き３ｃとを設けるとと
もに、その金属板３ａの周囲を絶縁性のゴム３ｄで覆っ
て補強することにより形成されている。そしてこの探針
３は、上記ブロック１の探針嵌着溝２に圧入されること
によって、抜け止めされた状態で嵌着される。しかも各
探針嵌着溝２に圧入嵌着された各探針３は、周囲のゴム
３ｄ、およびブロック１と探針保持部材５とが絶縁性で
あるため、互いに電気的に絶縁された状態にある。The probe 3 is electrically conductive and has elasticity in its longitudinal direction, which departs from the embodiment of the present invention. For example, as shown in FIG. It is formed by providing a large number of holes 3b and notches 3c in a thin metal plate 3a, and reinforcing the metal plate 3a by covering the periphery of the metal plate 3a with insulating rubber 3d. The probe 3 is press-fitted into the probe fitting groove 2 of the block 1 to be fitted in a state where it is prevented from falling off. Moreover, each probe 3 press-fitted into each probe fitting groove 2 is in a state of being electrically insulated from each other because the surrounding rubber 3d and the block 1 and the probe holding member 5 are insulative. It is in.

【００２０】なお、上記探針３のように、金属板３ａの
周囲を絶縁性のゴム３ｄで覆ったものであれば、ブロッ
ク１と探針保持部材５とを、金属等の導電性の材料で構
成することも可能である。If the metal plate 3a is covered with an insulating rubber 3d as in the case of the probe 3, the block 1 and the probe holding member 5 are made of a conductive material such as metal. It is also possible to configure with.

【００２１】上記構成において、ブロック１の端面１ａ
に形成する複数の探針嵌着溝２は、孔をあけるのと異な
り、精密溝彫り機などを用いて、微小な幅とピッチ、例
えば幅０．０６ｍｍ程度、ピッチ０．１２ｍｍ程度で、
精度良く、かつ容易に形成することができる。また、各
探針嵌着溝２に嵌着する探針３についても、それ自体が
弾性を備えるようにしたため、コイルスプリングと共に
ソケットおよびスリーブに納める必要がなくなり、非常
に薄く、例えば厚さ０．０５ｍｍ程度に形成することが
できる。In the above configuration, the end surface 1a of the block 1
The plurality of probe fitting grooves 2 to be formed are different from drilling holes, and have a fine width and a pitch, for example, a width of about 0.06 mm, a pitch of about 0.12 mm, using a precision grooving machine or the like.
It can be formed accurately and easily. Also, the probe 3 fitted into each probe fitting groove 2 itself has elasticity, so that it is not necessary to house it in a socket and a sleeve together with a coil spring. It can be formed to about 05 mm.

【００２２】即ち、上記構成のプローブでは、従来例の
ような、ブロックに孔をあけ、その孔にソケットおよび
スリーブを介して探針を挿着する構成に比べ、格段に微
小なピッチで多数の探針３を配列することが可能とな
る。従って、チップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等のピッチの
細かい端子にも、充分に対応させることが可能となる。
しかも構成が簡単で、部品数と組立工数とが減るため、
コストを下げることもできる。That is, in the probe having the above-described structure, a large number of holes are formed at a remarkably fine pitch, compared to a conventional structure in which a hole is formed in a block and a probe is inserted into the hole through a socket and a sleeve. The probes 3 can be arranged. Therefore, it is possible to sufficiently cope with terminals having fine pitches such as chip components, LSIs, LCDs, and the like.
Moreover, since the configuration is simple, the number of parts and the number of assembly steps are reduced,
Costs can also be reduced.

【００２３】このプローブを用いてチップ部品，ＬＳ
Ｉ，ＬＣＤ等の電気部品を検査するには、各探針３の一
端を被検査部品の各端子（図示せず）に接触させるとと
もに、他端を検査機あるいは測定機の入力端子（図示せ
ず）に接触させる。これにより、被検査部品の各端子か
ら、上記プローブの各探針３を通して電気信号を取り出
すことができる。その際、各探針３は、その長さ方向の
弾性力により、被検査部品と検査機との双方の各端子に
確実に圧接し、しかもショックを与えることもない。Using this probe, chip parts, LS
To inspect electrical components such as I and LCD, one end of each probe 3 is brought into contact with each terminal (not shown) of the component to be inspected, and the other end is an input terminal (not shown) of an inspection machine or a measuring machine. Contact). Thus, an electric signal can be extracted from each terminal of the component to be inspected through each probe 3 of the probe. At this time, each probe 3 is reliably pressed into contact with each terminal of both the component to be inspected and the inspection machine by the elastic force in the longitudinal direction, and does not give a shock.

【００２４】図２は、上記第１の実施例における探針３
および探針嵌着溝２を示す側断面図である。FIG. 2 shows a probe 3 according to the first embodiment.
FIG. 4 is a side sectional view showing a probe fitting groove 2.

【００２５】図のようにこの実施例の探針３は、金属ピ
ンの中央部をＵ字状に湾曲させることによって形成され
ており、その探針３を嵌着させるブロック１の探針嵌着
溝２には、探針３の湾曲部３ｅを係合させる凹部２ａが
形成されている。この凹部２ａは、ブロック１の端面１
ａに、各探針嵌着溝２と直角に交わる１本の横溝を、探
針嵌着溝２より深く彫ることによって容易に形成するこ
とができる。As shown in the drawing, the probe 3 of this embodiment is formed by bending a central portion of a metal pin into a U-shape, and the probe 1 of the block 1 to which the probe 3 is fitted is fitted. The groove 2 is formed with a concave portion 2 a for engaging the curved portion 3 e of the probe 3. The recess 2 a is formed on the end face 1 of the block 1.
In (a), one transverse groove which intersects perpendicularly with each probe fitting groove 2 can be easily formed by carving it deeper than the probe fitting groove 2.

【００２６】この構成では、探針３は、その湾曲部３ｅ
によってそれ自体が長さ方向に弾性を備え、しかもその
湾曲部３ｅが探針嵌着溝２の凹部２ａに係合することに
より抜け止めされることになる。In this configuration, the probe 3 has its curved portion 3e
Accordingly, the probe itself has elasticity in the longitudinal direction, and the curved portion 3e is prevented from coming off by engaging with the concave portion 2a of the probe fitting groove 2.

【００２７】そしてこの構成によれば、探針３の構成が
非常に単純であるため、より簡単に低コストで製作する
ことができる。ただし、探針３どうしを絶縁するため
に、ブロック１と探針保持部材５とを絶縁材料で形成す
る必要がある。According to this configuration, since the configuration of the probe 3 is very simple, it can be manufactured more easily and at low cost. However, in order to insulate the probes 3 from each other, it is necessary to form the block 1 and the probe holding member 5 with an insulating material.

【００２８】図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、上記第１
の実施例における検査用プローブの他の構成例を示す平
面図である。FIGS. 3 (a), 3 (b), and 3 (c) show the first
FIG. 13 is a plan view showing another configuration example of the inspection probe in the example of FIG.

【００２９】図３（ａ）に示した構成例では、ブロック
１の正面側と裏面側との２つの端面１ａにそれぞれ複数
の探針嵌着溝２が、位置を交互にずらせた状態で形成さ
れており、その各溝２に探針３が嵌着されるとともに、
双方の端面１ａにはそれぞれ探針保持部材５がネジ６を
用いて取り付けられている。この構成によれば、探針３
のピッチをより微小化することができる。In the configuration example shown in FIG. 3A, a plurality of probe fitting grooves 2 are formed in two end faces 1a on the front side and the back side of the block 1 in a state where the positions are alternately shifted. The probe 3 is fitted into each groove 2 and
A probe holding member 5 is attached to each of both end surfaces 1a using a screw 6. According to this configuration, the probe 3
Can be further miniaturized.

【００３０】図３（ｂ）に示した実施例では、１つのブ
ロック１の、探針嵌着溝２を形成した端面１ａに、他の
ブロック１’の、探針嵌着溝２’を形成した端面１’ａ
を、双方の探針嵌着溝２，２’を平行に、かつ互いにず
らせた状態で接合することによって構成されている。こ
の場合には、双方のブロック１，１’が、互いに相手の
探針３，３’を保持する探針保持部材となる。この構成
によれば、上記図３（ａ）の構成と同じように、探針
３，３’のピッチをより微小化することができる。In the embodiment shown in FIG. 3B, the probe fitting groove 2 'of another block 1' is formed on the end face 1a of one block 1 where the probe fitting groove 2 is formed. End face 1'a
By joining the two probe fitting grooves 2 and 2 ′ in parallel with each other and displaced from each other. In this case, both blocks 1, 1 'serve as a probe holding member for holding the opposing probes 3, 3'. According to this configuration, the pitch between the probes 3 and 3 ′ can be further reduced, as in the configuration of FIG. 3A.

【００３１】図３（ｃ）に示した実施例では、端面１ａ
の探針嵌着溝２に探針３を嵌着するとともにその端面１
ａに探針保持部材５を取り付けた４つのブロック１を、
矩形に組み合わせることによって構成されている。この
構成のように、複数のブロック１を組み合わせることに
より、多数の探針３を、被検査部品の端子の様々な配置
に対応させて配列することができる。In the embodiment shown in FIG. 3C, the end face 1a
The probe 3 is fitted into the probe fitting groove 2 and the end face 1 thereof.
a, the four blocks 1 each having the probe holding member 5 attached thereto,
It is configured by combining with a rectangle. By combining a plurality of blocks 1 as in this configuration, a large number of probes 3 can be arranged corresponding to various arrangements of terminals of a component to be inspected.

【００３２】図４は、検査用プローブの第２の実施例を
示す図で、（ａ）は部分正面図、（ｂ）は部分平面図、
（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。FIGS. 4A and 4B show a second embodiment of the inspection probe. FIG. 4A is a partial front view, FIG.
(C) is a sectional view taken along line AA of (a).

【００３３】図のようにこのプローブでは、合成樹脂等
の絶縁材料から成るブロック１の、複数の探針嵌着溝２
が形成された端面１ａに、その各探針嵌着溝２を直角方
向に二分した形で、その各探針嵌着溝２より深い深溝１
１が形成されるとともに、各探針嵌着溝２の間に、上記
深溝１１と同じ深さの切り込み１２が入れられ、これに
よりブロック１に、各探針嵌着溝２に対応して、その各
探針嵌着溝２の長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部
１３が形成されている。そしてその各対の弾性部１３の
探針嵌着溝２に、それ自体が長さ方向に弾性を備えた導
電性の探針３が嵌着され、接着材１５により固定された
状態で保持されている。As shown in the drawing, in this probe, a plurality of probe fitting grooves 2 of a block 1 made of an insulating material such as a synthetic resin.
Is formed on the end face 1a in which each of the probe fitting grooves 2 is divided in a right angle direction, and the deep groove 1 is deeper than each of the probe fitting grooves 2.
1 is formed, and a cut 12 having the same depth as that of the deep groove 11 is formed between the probe fitting grooves 2, so that the block 1 corresponds to each probe fitting groove 2. A plurality of pairs of elastic portions 13 having elasticity in the length direction of each probe fitting groove 2 are formed. A conductive probe 3 having elasticity in its length direction is fitted into the probe fitting groove 2 of each pair of elastic portions 13, and is held in a state of being fixed by the adhesive 15. ing.

【００３４】この実施例の場合、上記各対の弾性部１３
は、ブロック１の上方と下方とに延びた状態でＬ状に形
成されており、その各対の弾性部１３の上下端部から、
上記探針３の両端部が突出している。また探針３は、薄
い金属片の中央部に深溝１１の断面形状とほぼ同じよう
なコ字状の折曲部３ｆが形成されることによって、その
長さ方向に弾性を備えるように構成されている。In the case of this embodiment, each pair of elastic portions 13
Is formed in an L shape so as to extend above and below the block 1, and from the upper and lower ends of the elastic portions 13 of each pair,
Both ends of the probe 3 protrude. Further, the probe 3 is configured to have elasticity in its length direction by forming a U-shaped bent portion 3f substantially similar to the cross-sectional shape of the deep groove 11 in the center of the thin metal piece. ing.

【００３５】即ち、このプローブでは、各探針３は、そ
の両端部付近がブロック１の各対の弾性部１３に固定さ
れ、しかも探針３自体の弾性と弾性部１３の弾性とによ
り、それぞれの長さ方向に弾性を備えることになる。ま
た、各探針３どうしは、ブロック１が絶縁材料から成る
ため、互いに電気的に絶縁された状態にある。That is, in this probe, each of the probes 3 is fixed to each pair of elastic portions 13 of the block 1 near both ends thereof, and furthermore, by the elasticity of the probe 3 itself and the elasticity of the elastic portion 13, respectively. Will have elasticity in the longitudinal direction. Further, the probes 3 are electrically insulated from each other because the block 1 is made of an insulating material.

【００３６】この実施例におけるプローブによれば、各
探針３を、ブロック１の各対の弾性部１３に直接固定し
て保持するため、各探針３の厚さを非常に薄くすること
ができ、よってそのピッチをより微小化して、より微小
なピッチの端子にも対応させることが可能になる。According to the probe of this embodiment, since each probe 3 is directly fixed and held on each pair of elastic portions 13 of the block 1, the thickness of each probe 3 can be made extremely thin. Therefore, the pitch can be further miniaturized, and it is possible to correspond to a terminal having a finer pitch.

【００３７】さらに、探針嵌着溝２が形成されたブロッ
ク１の端面１ａに、探針保持部材を取り付ける必要がな
いため、被検査部品に対するスペース上の制約が格段に
減ることになる。言い換えれば、より多くの形態の部品
に対応させることが可能になる。Further, since it is not necessary to attach a probe holding member to the end surface 1a of the block 1 in which the probe fitting groove 2 is formed, the space restriction on the component to be inspected is remarkably reduced. In other words, it is possible to cope with more types of components.

【００３８】そのほか、この実施例の構成を応用して、
ブロック１の後方から、そのブロック１を緩挿し得るよ
うな深溝を有する他のブロックを被せるようにして組み
合わせれば、さらに微小なピッチの端子にも対応させる
ことが可能になる。図５は、第３の実施例に係る検査用
プローブの実施例を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）
は平面図である。In addition, by applying the configuration of this embodiment,
If the block 1 is combined with another block having a deep groove into which the block 1 can be loosely inserted from behind, it is possible to correspond to a terminal with a finer pitch. 5A and 5B are diagrams showing an embodiment of the inspection probe according to the third embodiment, in which FIG. 5A is a front view, and FIG.
Is a plan view.

【００３９】図のようにこのプローブでは、２枚の探針
保持板２１を、スペーサ２２を介して上下に対向させた
状態で組み合わせることで中空ブロック２３が構成さ
れ、その中空ブロック２３によって複数の探針３が保持
されている。As shown in the drawing, in this probe, a hollow block 23 is formed by combining two probe holding plates 21 in a state of being vertically opposed via a spacer 22, and a plurality of hollow blocks 23 are formed by the hollow block 23. The probe 3 is held.

【００４０】上記各探針保持板２１は、複数のスリット
２５ａ，２６ａを有する２枚の格子板２５，２６を、そ
れぞれのスリット２５ａ，２６ａを直角に交差させた状
態で重ねることにより、その複数のスリット交差部分を
それぞれ探針挿着孔２７としたものである。この各探針
保持板２１の格子板２５，２６どうし、および各探針保
持板２１とスペーサ２２とは、接着材を用いて互いに接
着固定されている。なお、上記２枚の格子板２５，２６
のそれぞれのスリット２５ａ，２６ａの交差角度につい
ては、直角でなくてもよい。Each of the probe holding plates 21 is formed by stacking two lattice plates 25 and 26 having a plurality of slits 25a and 26a in such a manner that the respective slits 25a and 26a intersect at right angles. Are formed as probe insertion holes 27, respectively. The lattice plates 25 and 26 of each probe holding plate 21 and the probe holding plate 21 and the spacer 22 are bonded and fixed to each other using an adhesive. The two lattice plates 25, 26
The intersection angle between the slits 25a and 26a may not be a right angle.

【００４１】そして上下の探針保持板２１は、それぞれ
の探針挿着孔２７が相対するように組み合わされてお
り、その相対する各対の探針挿着孔２７に、探針３が、
その各探針３の両端部を中空ブロック２３の外側へ突出
させた状態で挿着されている。The upper and lower probe holding plates 21 are combined so that the respective probe insertion holes 27 face each other, and the probe 3 is inserted into each pair of the corresponding probe insertion holes 27.
The probe 3 is inserted with both ends protruding outside the hollow block 23.

【００４２】上記探針３は、弾性を有するピアノ線等の
細い金属線から成り、しかも両端部から圧縮力を受けた
際に中央部が撓むことにより、その長さ方向に弾性を備
えるように構成されている。また、この探針３は、その
下端部の径を上部より細くするとともに、その下端部を
挿着する下側の探針保持板２１の各探針挿着孔２７の大
きさ、つまり２枚の格子板２５，２６の各スリット２５
ａ，２６ａの幅を上側のものより小さくすることによっ
て、下方へ抜け止めされている。The probe 3 is made of a thin metal wire such as a piano wire having elasticity, and has a center portion that is bent when receiving a compressive force from both ends, so that the probe 3 has elasticity in its length direction. Is configured. The probe 3 has a lower end portion having a smaller diameter than the upper portion, and has a size of each probe insertion hole 27 of the lower probe holding plate 21 into which the lower end portion is to be inserted, that is, two probes. Grids 25, 26 each slit 25
By making the widths of a and 26a smaller than those on the upper side, they are prevented from falling down.

【００４３】上記上下の探針保持板２１のそれぞれの格
子板２５，２６は、合成樹脂等の絶縁材料で構成されて
おり、それによって、各探針３は互いに電気的に絶縁さ
れた状態にある。さらに、各探針３は、上下の探針保持
板２１間の部分に絶縁コーティングが施されており、被
検査部品と検査機との双方の各端子に圧接して撓んだ際
に、隣接する探針３どうしが接触したとしても、互いに
絶縁された状態が保たれるようになっている。Each of the grid plates 25 and 26 of the upper and lower probe holding plates 21 is made of an insulating material such as a synthetic resin, so that the probes 3 are electrically insulated from each other. is there. Further, each probe 3 is provided with an insulating coating in a portion between the upper and lower probe holding plates 21, and is adjacent to each terminal of both the component to be inspected and the inspection machine when being bent by pressing. Even if the probe tips 3 contact each other, they are kept insulated from each other.

【００４４】上記構成において、各探針保持板２１のそ
れぞれの格子板２５，２６に設けるスリット２５ａ，２
６ａは、上述した第１及び第２の実施例の検査用プロー
ブにおける探針嵌着溝と同様に、精密溝彫り機などを用
いて、微小な幅とピッチとで、精度良く、かつ容易に形
成することができる。従って、そのスリット２５ａ，２
６ａどうしを交差させることにより、複数の微細な探針
挿着孔２７を、微小なピッチで精度良く、かつ容易に、
しかも２次元に広げて配列した状態で形成することがで
きる。そして、その各探針挿着孔２７に探針３を挿着す
ることにより、多数の探針３を、微小なピッチで２次元
に広げて配列することが可能となる。In the above arrangement, the slits 25a, 2 provided in the respective grid plates 25, 26 of the probe holding plates 21 are provided.
6a has a fine width and a small pitch and is easily and precisely formed by using a precision groove engraving machine or the like, similarly to the probe fitting grooves in the inspection probes of the first and second embodiments described above. Can be formed. Therefore, the slits 25a, 2
6a, a plurality of fine probe insertion holes 27 can be accurately and easily formed at a fine pitch.
Moreover, it can be formed in a state of being spread two-dimensionally and arranged. Then, by inserting the probes 3 into the respective probe insertion holes 27, it becomes possible to arrange a large number of probes 3 two-dimensionally at a minute pitch.

【００４５】即ち、上記第３の実施例に係る検査用プロ
ーブによれば、チップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等の、細か
いピッチで様々な形に配列された端子にも、充分に、か
つより容易に対応させることが可能となる。That is, according to the inspection probe according to the third embodiment, terminals arranged in various shapes at a fine pitch, such as chip components, LSIs, and LCDs, can be sufficiently and more easily. It becomes possible to correspond.

【００４６】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る本
発明の検査用プローブによれば、長さ方向に弾性を備え
た多数の探針を、従来のものに比べて格段に微小なピッ
チで配列することができる。従って、高密度化されたチ
ップ部品，ＬＳＩ，ＬＣＤ等の微小なピッチの端子にも
充分に対応させることができる。しかも、ブロック端面
の凹溝に探針の湾曲部を嵌入することにより、探針を、
ブロックの各探針嵌着溝に、長さ方向に弾性を備えると
ともに抜け止めして保持するので、構成が簡単で、部品
数と組立工数とが減るため、コストを下げることもでき
る。As described above, according to the inspection probe of the present invention according to the first aspect, a large number of probes having elasticity in the longitudinal direction can be made extremely finer than the conventional one. They can be arranged at a pitch. Therefore, it is possible to sufficiently cope with terminals having minute pitches, such as high-density chip components, LSIs, and LCDs. Moreover, by fitting the curved portion of the probe into the concave groove on the end face of the block, the probe can be
Since each probe fitting groove of the block has elasticity in the length direction and retains and retains it, the structure is simple, the number of parts and the number of assembly steps are reduced, and the cost can be reduced.

【００４７】また、請求項２に係る本発明によると、ブ
ロックに複数対の弾性部を形成し、その各対の弾性部の
探針嵌着溝に探針を嵌着して固定するように構成するの
で、探針の厚さを非常に薄くすることができ、よってそ
のピッチをさらに微小化して、より微小なピッチの端子
にも対応させることが可能になる。According to the second aspect of the present invention, a plurality of pairs of elastic portions are formed on the block, and the probes are fitted into and fixed to the probe fitting grooves of each pair of elastic portions. With such a configuration, the thickness of the probe can be made extremely thin, so that the pitch can be further miniaturized, and it is possible to cope with a terminal having a finer pitch.

【００４８】さらに、請求項３に係る本発明の検査用プ
ローブによれば、多数の探針を、微小なピッチで２次元
に広げて配列することができ、そのため、チップ部品，
ＬＳＩ，ＬＣＤ等の、細かいピッチで様々な形に配列さ
れた端子にも、充分に、かつより容易に対応させること
が可能となる。Further, according to the inspection probe of the present invention according to the third aspect, a large number of probes can be two-dimensionally spread and arranged at a minute pitch.
It is possible to sufficiently and more easily cope with terminals arranged in various shapes at a fine pitch, such as LSIs and LCDs.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】検査用プローブの第１の実施例を示す図で、
（ａ）は一部を破断した正面図、（ｂ）は平面図、
（ｃ）は側断面図である。FIG. 1 is a view showing a first embodiment of an inspection probe.
(A) is a partially cutaway front view, (b) is a plan view,
(C) is a side sectional view.

【図２】（ａ），（ｂ）は、第１の実施例における探針
および探針嵌着溝の構成例を示す側断面図である。FIGS. 2A and 2B are side cross-sectional views showing a configuration example of a probe and a probe fitting groove in the first embodiment.

【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、第１の実施例にお
ける検査用プローブの他の構成例を示す平面図である。FIGS. 3A, 3B, and 3C are plan views showing other configuration examples of the inspection probe in the first embodiment.

【図４】検査用プローブの第２の実施例を示す図で、
（ａ）は部分正面図、（ｂ）は部分平面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。FIG. 4 is a view showing a second embodiment of the inspection probe;
(A) is a partial front view, (b) is a partial plan view, and (c) is a sectional view taken along line AA of (a).

【図５】検査用プローブの第３の実施例を示す図で、
（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。FIG. 5 is a view showing a third embodiment of the inspection probe;
(A) is a front view, (b) is a plan view.

【図６】従来の検査用プローブの構成を示す図で、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側断面図で
ある。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a conventional inspection probe.
(A) is a plan view, (b) is a front view, and (c) is a side sectional view.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１’ ブロック１ａ，１’ａ端面２，２’ 探針嵌着溝３，３’ 探針５探針保持部材１１深溝１２切り込み１３弾性部２１探針保持板２２スペーサ２３中空ブロック２５，２６格子板２５ａ，２６ａスリット２７探針挿着孔 1, 1 'block 1a, 1'a end face 2, 2' probe fitting groove 3, 3 'probe 5 probe holding member 11 deep groove 12 cut 13 elastic part 21 probe holding plate 22 spacer 23 hollow block 25, 26 lattice plate 25a, 26a slit 27 probe insertion hole

Claims

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]

【請求項１】複数の導電性の探針を、互いに平行に、
かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、ブロックの少なくとも一端面に、複数の互いに平行な探
針嵌着溝を、該ブロックを貫通して該溝の両端を開口さ
せた状態で形成し、前記ブロックの前記複数の探針嵌着溝を形成した端面
に、該各探針嵌着溝に対して直交する方向に該各探針嵌
着溝より深い凹溝を形成し、前記探針は、その長さ方向中間部に長さ方向の弾性を持
たせるための湾曲部を有し、前記ブロックの各探針嵌着溝に、前記探針を、前記湾曲
部が前記凹溝に嵌入するようにかつ該各探針の両端部が
前記各探針嵌着溝の両開口端から突出するようにして、
互いに電気的に絶縁しかつ長さ方向に弾性を備えるとと
もに抜け止めした状態で嵌着して保持した、ことを特徴とする検査用プローブ。1. A plurality of conductive probes are arranged in parallel with each other,
And electrically insulated from each other, and each length
Holding the probe with elasticity in the direction.
By contacting the tip with multiple terminals of the
Test probe for extracting electrical signals from each terminal
A plurality of parallel probes on at least one end of the block.
A needle fitting groove is passed through the block and both ends of the groove are opened.
Formed in the stateEnd face of the block on which the plurality of probe fitting grooves are formed
The probe fittings in a direction orthogonal to the probe fitting grooves.
Form a groove deeper than the landing groove, The probe has a longitudinal elasticity at an intermediate portion in the longitudinal direction.
It has a curved part to add In each probe fitting groove of the block,SaidThe tip,The curvature
So that the part fits into the concave groove andBoth ends of each probeBut
Projecting from both open ends of each probe fitting grooveSo that
Electrically isolated from each otherAnd if it has elasticity in the length direction,
StuckAn inspection probe fitted and held in a state.

【請求項２】複数の導電性の探針を、互いに平行に、
かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、ブロックの少なくとも一端面に、複数の互いに平行な探
針嵌着溝を、該ブロックを貫通して該溝の両端を開口さ
せた状態で形成し、前記ブロックの各探針嵌着溝に、それ自体が長さ方向に
弾性を備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記
各探針嵌着溝の両開口端から突出させるとともに抜き止
めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で嵌着
して保持し、前記ブロックの前記複数の探針嵌着溝を形成した端面
に、該各探針嵌着溝を直角方向に二分した形で該各探針
嵌着溝より深い深溝を形成するとともに、前記各探針嵌
着溝の間に切り込みを入れることにより、前記ブロック
に、前記各探針嵌着溝に対応させて、該各探針嵌着溝の
長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部を形成し、該各
対の弾性部の探針嵌着溝に、前記弾性を備えた導電性の
探針を嵌着して、固定した状態で保持した、ことを特徴とする検査用プローブ。(2)A plurality of conductive tips are parallel to each other,
And electrically insulated from each other, and each length
Holding the probe with elasticity in the direction.
By contacting the tip with multiple terminals of the
Test probe for extracting electrical signals from each terminal
And On at least one end of the block, several parallel
A needle fitting groove is passed through the block and both ends of the groove are opened.
Formed in the state Each probe fitting groove of the block, itself in the length direction
An electrically conductive probe having elasticity, the both ends of each probe are
Protrude from both open ends of each probe fitting groove and prevent removal
And fitted electrically insulated from each other
And hold, End face of the block on which the plurality of probe fitting grooves are formed
Each of the probe fitting grooves is divided into two at right angles.
Forming a deep groove deeper than the fitting groove,
By making a cut between the mounting grooves, the block
In correspondence with each of the probe fitting grooves,
Forming a plurality of pairs of elastic portions having elasticity in the longitudinal direction,
In the probe fitting groove of the pair of elastic portions, the conductive material having elasticity is provided.
An inspection probe, wherein the probe is fitted and held in a fixed state.

【請求項３】複数の導電性の探針を、互いに平行に、
かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、複数のスリットを有する２枚の格子板を、それぞれのス
リットを交差させた状態で重ねることにより、その複数
のスリット交差部分をそれぞれ探針挿着孔とした探針保
持板を形成するとともに、該探針保持板を２枚、スペー
サを介して互いに対向させた状態で組み合わせることに
より中空ブロックを構成し、該中空ブロックを構成する前記２枚の探針保持板の相対
する各対の探針挿着孔に、それ自体が長さ方向に弾性を
備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記中空ブ
ロックの外側へ突出させるとともに抜け止めした状態
で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で挿着した、ことを特徴とする検査用プローブ。3. A plurality of conductive probes are arranged in parallel with each other,
In addition to being electrically insulated from each other and being held in a state of having elasticity in the respective longitudinal directions, the tip of each probe is brought into contact with a plurality of terminals of the component to be inspected. In an inspection probe for extracting an electric signal from a terminal, two lattice plates each having a plurality of slits are overlapped with each slit intersecting, so that the plurality of slit intersections are respectively formed as probe insertion holes. And forming a hollow block by combining the two probe holding plates in a state where they face each other via a spacer, and the two probes forming the hollow block. When each pair of opposed probe insertion holes of the holding plate has a conductive probe itself having elasticity in the longitudinal direction, both ends of each probe are projected outside the hollow block. With In fastened securely fastened state, and was inserted in a state of electrically insulated from one another, the inspection probe, characterized in that.

【請求項４】前記各探針の、前記２枚の探針保持板間
の部分に、絶縁コーティングを施した、ことを特徴とする請求項３記載の検査用プローブ。4. The inspection probe according to claim 3, wherein an insulating coating is applied to a portion of each probe between the two probe holding plates.