JP6505420B2 - Probe and probe card - Google Patents

Description

本発明は、プローブ及びプローブカードに関する。   The present invention relates to a probe and a probe card.

本願の発明者は、本願発明を想到する過程で、図８Ａ及び図８Ｂに示すプローブカードを開発した。このプローブカードは、直線状の複数のプローブ１と、第１、第２ガイド板２ａ、２ｂと、配線基板３とを備えている。プローブ１は、長さ方向の第１、第２端部を有している。プローブ１の第１端部は第１ガイド板２ａのガイド孔を貫通している。プローブ１の第２端部は、第２ガイド板２ｂの貫通孔を貫通し、配線基板３の電極に間隙を有して対向配置されている。プローブ１の第１端部が半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触することによって、プローブ１の第２端部が配線基板３の電極に接触するようになっている。すなわち、プローブ１の第１端部が半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触していない状態で、プローブ１の第２端部が配線基板３の電極に接触していない。なお、図８Ａ及び図８Ｂに示すプローブカードは、開発段階のものであり、本願出願時において未公知である。直線状のプローブを備えたプローブカードは下記特許文献１にも記載されている。   The inventor of the present application developed the probe card shown in FIGS. 8A and 8B in the process of considering the present invention. The probe card includes a plurality of linear probes 1, first and second guide plates 2 a and 2 b, and a wiring board 3. The probe 1 has first and second ends in the longitudinal direction. The first end of the probe 1 passes through the guide hole of the first guide plate 2a. The second end of the probe 1 passes through the through hole of the second guide plate 2 b and is disposed opposite to the electrode of the wiring board 3 with a gap. When the first end of the probe 1 contacts the electrode of the semiconductor wafer or the semiconductor device, the second end of the probe 1 contacts the electrode of the wiring substrate 3. That is, the second end of the probe 1 is not in contact with the electrode of the wiring substrate 3 in a state where the first end of the probe 1 is not in contact with the electrode of the semiconductor wafer or the semiconductor device. The probe cards shown in FIGS. 8A and 8B are at the development stage and are not known at the time of filing of the present application. A probe card provided with a linear probe is also described in Patent Document 1 below.

特開２０１４−１９９７号公報JP, 2014-1997, A

上記プローブカードは、プローブ１の第１端部が半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触する毎に、プローブ１の第２端部の配線基板３の電極に対する接触箇所が変動するため、第２端部と電極部との接続信頼性が低かった。また、半導体ウエハ又は半導体デバイスの高集積化に伴って、プローブの微細化が要求されている。微細化されたプローブは、半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に対する所定の接触圧を確保することが難しく、この点でも第２端部と電極部との接続信頼性が低かった。   The probe card has a second end of contact with the electrode of the wiring substrate 3 at the second end of the probe 1 fluctuating whenever the first end of the probe 1 contacts the electrode of the semiconductor wafer or the semiconductor device. The connection reliability between the part and the electrode part was low. Further, with the high integration of semiconductor wafers or semiconductor devices, miniaturization of probes is required. It is difficult for the miniaturized probe to secure a predetermined contact pressure on the electrode of the semiconductor wafer or the semiconductor device, and the connection reliability between the second end portion and the electrode portion is low also in this point.

本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、電極との間の接続信頼性を向上させることができるプローブ及びプローブカードを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a probe and a probe card capable of improving the connection reliability with an electrode.

上記課題を解決するために、本発明の一態様のプローブは、プローブ本体と、接続部とを備えている。前記プローブ本体は、第１端部と、前記第１端部の反対側の第２端部とを有している。前記接続部はスプリングアームを有している。前記スプリングアームは、前記プローブ本体の前記第２端部の前記長手方向の端面から延びており且つ当該スプリングアームの先端が前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられている。前記スプリングアームが、前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面を正面視した状態で、当該端面の投影面積内に収まる大きさである。前記接続部に対して荷重が加えられることにより、当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの前記先端が前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面に当接するようになっている。 In order to solve the above-mentioned subject, a probe of one mode of the present invention is provided with a probe body and a connection part. The probe body has a first end and a second end opposite the first end. The connection has a spring arm. The spring arm extends from the longitudinal end face of the second end of the probe body , and the tip of the spring arm is opposed to the end face of the second end of the probe body with a gap. It is curved or bent to The spring arm has a size that fits within the projected area of the end face of the probe main body in a front view of the end face of the second end portion. By applying a load to the connection portion, the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side, and the tip end of the spring arm is on the end surface of the second end portion of the probe main body. It comes in contact.

このような態様のプローブによる場合、接続部が電極に押し付けられ、接続部に対して荷重が加えられると、接続部のスプリングアームがプローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの先端がプローブ本体に当接する。これにより、接続部が電極を付勢するので、接続部が、電極に対して接触圧（針圧）がかかった状態で電極に接続される。よって、接続部と電極との接続信頼性を向上させることができる。しかも、スプリングアームの先端がプローブ本体に接触することによって、スプリングアームの電気経路が下記の通り二つ形成される。一つは、スプリングアームの基端から電極に接触する部分までの経路である。もう一つは、スプリングアームの先端から前記電極に接触する部分までの経路である。このようにスプリングアームは、電極に対して並列接続されるので、スプリングアームのＤＣ抵抗を低下させることができる。   In the case of the probe of such an aspect, when the connection portion is pressed against the electrode and a load is applied to the connection portion, the spring arm of the connection portion elastically deforms to the probe main body side, and the tip of the spring arm is the probe main body Abut on. As a result, the connection portion biases the electrode, so that the connection portion is connected to the electrode in a state where contact pressure (needle pressure) is applied to the electrode. Thus, connection reliability between the connection portion and the electrode can be improved. Moreover, when the tip of the spring arm contacts the probe body, two electrical paths of the spring arm are formed as follows. One is a path from the proximal end of the spring arm to the portion in contact with the electrode. The other is a path from the tip of the spring arm to the portion in contact with the electrode. Thus, since the spring arms are connected in parallel to the electrodes, the DC resistance of the spring arms can be reduced.

本発明の別の態様のプローブは、プローブ本体と、接続部とを備えている。前記接続部はスプリングアームを有している。前記スプリングアームは、前記プローブ本体から延びており且つ当該スプリングアームの先端が前記プローブ本体に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられている。前記接続部に対して荷重が加えられることにより、当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの前記先端が前記プローブ本体に当接するようになっている。
前記接続部は、第１接続部と第２接続部とを含む。前記第１接続部の前記スプリングアームは、その先端部が前記プローブ本体の短手方向の一端側を向くように配置されている。
前記第２接続部の前記スプリングアームは、その先端部が前記短手方向の他端側を向くとともに、前記第１接続部の前記スプリングアームと間隔をあけて配置されている。
前記プローブ本体は、第１端部と、前記第１端部の反対側の第２端部とを有する構成とすることが可能である。前記スプリングアームは前記プローブ本体の前記第２端部から延びており且つ前記先端が前記第２端部に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられた構成とすることが可能である。前記接続部に対して荷重が加えられることにより、前記当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体の前記第２端部側に弾性変形し、前記先端が前記第２端部に当接する構成とすることが可能である。 The probe of another aspect of the present invention comprises a probe body and a connection. The connection has a spring arm. The spring arm extends from the probe body and is curved or bent so that the tip of the spring arm faces the probe body with a gap. By applying a load to the connection portion, the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side, and the tip of the spring arm abuts on the probe main body.
The connection portion includes a first connection portion and a second connection portion. The spring arm of the first connection portion is disposed such that its tip end faces one end side in the short direction of the probe main body.
The spring arm of the second connection portion is disposed such that its tip end faces the other end side in the short direction and is spaced from the spring arm of the first connection portion.
The probe body may be configured to have a first end and a second end opposite to the first end. The spring arm may extend from the second end of the probe body and may be curved or bent so as to face the tip with a gap at the second end. When a load is applied to the connection portion, the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the second end side of the probe main body, and the tip abuts on the second end portion. It is possible.

前記プローブ本体は、前記第１端部と前記第２端部との間に設けられた弾性変形部を更に有する構成とすることが可能である。   The probe main body may be configured to further include an elastic deformation portion provided between the first end and the second end.

このような態様のプローブによる場合、接続部が電極に押し付けられ、接続部に対して荷重が加えられると、接続部のスプリングアームが第２端部側に弾性変形し、当該スプリングアームの先端が第２端部に当接する。この状態で、プローブ本体の第１端部に荷重が加えられると、弾性変形部が弾性変形するので、接続部と電極とに過剰な荷重がかかるのを抑止することが可能になる。   According to the probe of this aspect, when the connection portion is pressed against the electrode and a load is applied to the connection portion, the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the second end side, and the tip of the spring arm is deformed. Abuts the second end. In this state, when a load is applied to the first end of the probe main body, the elastically deformable portion is elastically deformed, so that it is possible to prevent an excessive load from being applied to the connection portion and the electrode.

前記第２端部には係止凸部が設けられた構成とすることが可能である。このような態様のプローブによる場合、第２端部が挿入されるガイド板の貫通孔の縁部に、当該第２端部の係止凸部が係止可能である。よって、プローブのガイド板に対する取り付けが容易になる。   The second end portion may be configured to have a locking protrusion. According to the probe of such an aspect, the locking convex portion of the second end can be locked at the edge of the through hole of the guide plate into which the second end is inserted. This facilitates the attachment of the probe to the guide plate.

前記スプリングアームは頂部を有する構成とすることが可能である。前記接続部は当接部を更に有する構成とすることが可能である。前記当接部は、前記スプリングアームの前記頂部に設けられており且つ当該頂部よりも外形が大きい構成とすることが可能である。   The spring arm may be configured to have a top. The connection portion may further include a contact portion. The contact portion may be provided at the top of the spring arm and may have a larger outer diameter than the top.

このような態様のプローブによる場合、当接部が電極に対して接触し得るので、接続部の電極に対する接触面積が増大する。よって、接続部と電極との間の接触抵抗を低下させることができるので、両者の接続信頼性を更に向上させることが可能になる。   According to the probe of this aspect, the contact area of the connection with the electrode is increased because the abutment can be in contact with the electrode. Therefore, since the contact resistance between the connection portion and the electrode can be reduced, the connection reliability between the both can be further improved.

本発明のプローブカードは、上記した何れかの態様のプローブと、ガイド板と、電極を有する配線基板とを備えている。ガイド板は、前記プローブの前記第２端部が挿入されたガイド孔と、当該プローブの前記係止凸部を係止した前記ガイド孔の縁部とを有する構成とすることが可能である。前記配線基板と前記ガイド板との間の距離が、当該配線基板の前記電極に前記プローブの前記接続部が押し付けられ、当該接続部の前記スプリングアームが当該プローブの前記プローブ本体側に弾性変形し、前記先端が当該プローブ本体に当接する距離とすることが可能である。なお、係止凸部を省略し、プローブの第２端部をガイド板に固定させても良い。   The probe card of the present invention includes the probe of any of the above-described embodiments, a guide plate, and a wiring board having electrodes. The guide plate may be configured to have a guide hole into which the second end of the probe is inserted, and an edge of the guide hole that locks the locking convex portion of the probe. The distance between the wiring board and the guide plate is such that the connection portion of the probe is pressed against the electrode of the wiring board, and the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side of the probe. The distance by which the tip abuts on the probe main body can be employed. The locking convex portion may be omitted, and the second end of the probe may be fixed to the guide plate.

このような態様のプローブカードによる場合、プローブの第２端部をガイド板のガイド孔に挿入し、当該第２端部の係止凸部をガイド孔の縁部に係止させた状態で、ガイド板と配線基板との間を前記距離とすることにより、配線基板の前記電極に前記プローブの前記接続部が押し付けられ、当該接続部の前記スプリングアームが弾性変形し、前記先端が前記プローブ本体に当接する。よって、プローブの接続部と配線基板の電極との接続を容易に行うことができる。   In the case of the probe card of such an aspect, the second end of the probe is inserted into the guide hole of the guide plate, and the locking projection of the second end is locked to the edge of the guide hole, By setting the distance between the guide plate and the wiring board as the distance, the connection portion of the probe is pressed against the electrode of the wiring board, the spring arm of the connection portion is elastically deformed, and the tip is the probe main body Abut on. Therefore, the connection between the probe and the electrode of the wiring substrate can be easily connected.

本発明の実施例に係るプローブの正面図である。It is a front view of the probe concerning the example of the present invention. 前記プローブの第２端部の拡大正面図である。It is an enlarged front view of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第１設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the example of the 1st design change of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第２設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the example of the 2nd design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第３設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the example of the 3rd design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第４設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the 4th design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第５設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the example of the 5th design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第６設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an enlarged perspective view which shows the 6th design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第７設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the 7th design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 前記プローブの第２端部の第８設計変更例を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view showing the example of the 8th design modification of the 2nd end of the above-mentioned probe. 本発明の実施例に係るプローブカードの概略的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a probe card according to an embodiment of the present invention. 前記プローブカードの図５中のα部分の拡大図であって、前記プローブが半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触する前の状態を示す図である。It is an enlarged view of (alpha) part in FIG. 5 of the said probe card, Comprising: It is a figure which shows the state before the said probe contacts the electrode of a semiconductor wafer or a semiconductor device. 前記プローブカードの図５Ａ中のβ部分の拡大図であって、前記プローブが半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触する前の状態を示す図である。It is an enlarged view of (beta) part in FIG. 5A of the said probe card, Comprising: It is a figure which shows the state before the said probe contacts the electrode of a semiconductor wafer or a semiconductor device. 前記プローブカードの図５中のα部分の拡大図であって、前記プローブが半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触した状態を示す図である。It is an enlarged view of (alpha) part in FIG. 5 of the said probe card, Comprising: It is a figure which shows the state which the said probe contacted the electrode of a semiconductor wafer or a semiconductor device. 前記プローブカードの図５Ａ中のβ部分の拡大図であって、前記プローブが半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に接触した状態を示す図である。It is an enlarged view of (beta) part in FIG. 5A of the said probe card, Comprising: It is a figure which shows the state which the said probe contacted the electrode of a semiconductor wafer or a semiconductor device. 本発明の開発途上のプローブカードの概略的部分断面図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view of a developing probe card of the present invention. 前記プローブカードの図８Ａ中のγ部分の拡大図である。It is an enlarged view of (gamma) part in FIG. 8A of the said probe card.

以下、本発明の実施例に係るプローブ１００について図１Ａ〜図１Ｃを参照しつつ説明する。図１Ａに示すプローブ１００は、プローブ本体１１０と、二つの接続部１２０ａと、接続部１２０ｂとを備えている。以下、プローブＰの各構成要件について詳しく説明する。なお、図１Ａ中に示すＤ１がプローブ１００及びプローブ本体１１０の長さ方向であり、Ｄ２がプローブ１００及びプローブ本体１１０の幅方向である。   Hereinafter, a probe 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A to 1C. The probe 100 shown in FIG. 1A includes a probe main body 110, two connection portions 120a, and a connection portion 120b. Hereinafter, each component of the probe P will be described in detail. Note that D1 shown in FIG. 1A is the length direction of the probe 100 and the probe main body 110, and D2 is the width direction of the probe 100 and the probe main body 110.

プローブ本体１１０は長さ方向Ｄ１に延びた導電を有する針である。プローブ本体１１０は、第１端部１１１と、第２端部１１２と、弾性変形部１１３とを有している。第１端部１１１は、長さ方向Ｄ１の一方側に突出した接触部１１１ａを有している。接触部１１１ａの外形は、第１端部１１１の外形よりも小さい。接触部１１１ａが測定対象１０（図５参照）の電極１１に接触可能な部位である。   The probe body 110 is a needle having a conductivity extending in the longitudinal direction D1. The probe body 110 has a first end 111, a second end 112, and an elastic deformation portion 113. The first end portion 111 has a contact portion 111 a that protrudes to one side in the length direction D1. The outer shape of the contact portion 111 a is smaller than the outer shape of the first end 111. The contact part 111a is a site | part which can contact the electrode 11 of the measuring object 10 (refer FIG. 5).

第２端部１１２は、プローブ本体１１０の第１端部１１１の反対側の端部である。第２端部１１２の幅方向Ｄ２の両端には、外側に凸の突起である一対の係止凸部１１２ａが設けられている。弾性変形部１１３は、プローブ本体１１０の第１端部１１１と第２端部１１２との間に設けられている。弾性変形部１１３は、幅方向Ｄの一方側（長さ方向Ｄ１に直角に交差する方向）に略円弧状に湾曲している。   The second end 112 is the end opposite to the first end 111 of the probe body 110. At both ends in the width direction D2 of the second end portion 112, a pair of engagement convex portions 112a which are convex outwards are provided. The elastically deformable portion 113 is provided between the first end 111 and the second end 112 of the probe main body 110. The elastically deformable portion 113 is curved in a substantially arc shape on one side in the width direction D (direction orthogonal to the length direction D1).

第２端部１１２の端面（上面）上には、図１Ｂ及び図１Ｃに示すように、接続部１２０ａが間隔をあけて設けられている。接続部１２０ａは、円弧状のスプリングアーム１２１ａを有している。スプリングアーム１２１ａは、基端１２１ａ１と、先端１２１ａ２と、頂部１２１ａ３とを有している。基端１２１ａ１は、第２端部１１２の端面の幅方向Ｄの一端部に連接されている。スプリングアーム１２１ａは、第２端部１１２の端面から延びており且つ先端１２１ａ２が第２端部１１２の端面に間隙Ｇ（図１Ｂ参照）を有して対向するように円弧状に湾曲している。スプリングアーム１２１ａの頂部１２１ａ３に対して荷重が加えられることによって、スプリングアーム１２１ａが第２端部１１２側に弾性変形し、先端１２１ａ２が第２端部１１２の端面に当接するようになっている。   As shown in FIGS. 1B and 1C, connection portions 120a are provided on the end surface (upper surface) of the second end portion 112 at an interval. The connection part 120a has a circular arc shaped spring arm 121a. The spring arm 121a has a proximal end 121a1, a distal end 121a2, and a top 121a3. The base end 121 a 1 is connected to one end in the width direction D of the end face of the second end 112. The spring arm 121a extends from the end face of the second end 112 and is curved in an arc so that the tip end 121a2 opposes the end face of the second end 112 with a gap G (see FIG. 1B). . By applying a load to the top 121a3 of the spring arm 121a, the spring arm 121a is elastically deformed to the second end 112 side, and the tip 121a2 abuts on the end face of the second end 112.

第２端部１１２の端面上には、図１Ｃに示すように、接続部１２０ａの間に位置するように接続部１２０ｂが設けられている。接続部１２０ｂは接続部１２０ａの対称形状である。接続部１２０ｂは、円弧状のスプリングアーム１２１ｂを有している。スプリングアーム１２１ｂは、基端１２１ｂ１と、先端１２１ｂ２と、頂部１２１ｂ３とを有している。基端１２１ｂ１は、第２端部１１２の端面の幅方向Ｄの他端部に連接されている。スプリングアーム１２１ｂは、第２端部１１２の端面から延びており且つ先端１２１ｂ２が第２端部１１２の端面に間隙Ｇ（図１Ｂ参照）を有して対向するように円弧状に湾曲している。スプリングアーム１２１ｂの頂部１２１ｂ３に対して荷重が加えられることによって、スプリングアーム１２１ｂが第２端部１１２側に弾性変形し、先端１２１ｂ２が第２端部１１２の端面に当接する（面接触）ようになっている。   On the end face of the second end 112, as shown in FIG. 1C, a connection portion 120b is provided so as to be located between the connection portions 120a. The connection portion 120 b is a symmetrical shape of the connection portion 120 a. The connection portion 120 b has an arc-shaped spring arm 121 b. The spring arm 121b has a proximal end 121b1, a distal end 121b2, and a top 121b3. The base end 121 b 1 is connected to the other end in the width direction D of the end face of the second end 112. The spring arm 121b extends from the end face of the second end 112 and is curved in an arc so that the tip end 121b2 is opposed to the end face of the second end 112 with a gap G (see FIG. 1B). . By applying a load to the top 121b3 of the spring arm 121b, the spring arm 121b elastically deforms to the second end 112 side, and the tip 121b2 abuts on the end face of the second end 112 (surface contact) It has become.

以上のようなプローブ１００はＭＥＭＳ技術を用いて次のように製造される。まず、基板上にレジストを塗布し、当該レジストにマスクを用いて露光・現像を行い、開口を形成する。この開口に電解めっきによりニッケル合金等の導電材料を充填する。その後、前記レジスト上にレジストを塗布し、当該レジストにマスクを用いて露光・現像を行い、開口を形成する。この開口に電解めっきによりニッケル合金等の導電材料を充填する。この工程を繰り返すことによって、プローブ本体１１０及び接続部１２０ａ、１２０ｂを作成する。その後、レジストを除去する。なお、上記開口は、寝かせたプローブ本体１１０及び接続部１２０ａ、１２０ｂの形状（すなわち、図１Ａに示すプローブ１００の形状）に対応している。   The probe 100 as described above is manufactured as follows using MEMS technology. First, a resist is applied onto a substrate, and the resist is exposed and developed using a mask to form an opening. The opening is filled with a conductive material such as a nickel alloy by electrolytic plating. Thereafter, a resist is applied on the resist, and the resist is exposed and developed using a mask to form an opening. The opening is filled with a conductive material such as a nickel alloy by electrolytic plating. By repeating this process, the probe main body 110 and the connection parts 120a and 120b are created. Thereafter, the resist is removed. The opening corresponds to the shape of the probe body 110 and the connection parts 120a and 120b (that is, the shape of the probe 100 shown in FIG. 1A).

なお、プローブ１００の接続部は次の通りに設計変更することが可能である。図２Ａに示すように接続部１２０ａ及び接続部１２０ｂが第２端部１１２の端面上に一つずつ設けられた態様に設計変更することが可能である。図２Ｂに示すように接続部１２０ａのみが第２端部１１２の端面上に設けられた態様に設計変更することが可能である。   The connecting portion of the probe 100 can be designed and changed as follows. As shown in FIG. 2A, it is possible to design change to an aspect in which the connecting portion 120 a and the connecting portion 120 b are provided one by one on the end face of the second end 112. As shown in FIG. 2B, it is possible to design change to a mode in which only the connection portion 120 a is provided on the end face of the second end 112.

図３Ａに示すように、接続部１２０ａ及び接続部１２０ｂに代えて、二つの接続部１２０ａ’と接続部１２０ｂ’とが第２端部１１２の端面上に設けられた態様に設計変更することが可能である。接続部１２０ａ’は、スプリングアーム１２１ａ’が略Ｕ字状である点で接続部１２０ａと相違している。それ以外は、接続部１２０ａ’は接続部１２０ａと略同じ構成である。接続部１２０ｂ’は、接続部１２０ａ’の間に配置されている。接続部１２０ｂ’は、スプリングアーム１２１ｂ’が略Ｕ字状である点で接続部１２０ｂと相違している。それ以外は、接続部１２０ｂ’は接続部１２０ｂと略同じ構成である。図３Ａ中の１２１ａ１’、１２１ｂ１’はスプリングアームの基端、１２１ａ２’、１２１ｂ２’はスプリングアームの先端、１２１ａ３’、１２１ｂ３’はスプリングアームの頂部である。なお、図３Ｂに示すように接続部１２０ａ’及び接続部１２０ｂ’が第２端部１１２の端面上に一つずつ設けられた態様に設計変更することが可能である。図３Ｃに示すように接続部１２０ａ’のみが第２端部１１２の端面上に設けられた態様に設計変更することが可能である。   As shown in FIG. 3A, in place of the connecting portion 120a and the connecting portion 120b, the design may be changed to a mode in which two connecting portions 120a ′ and 120b ′ are provided on the end face of the second end 112. It is possible. The connecting portion 120a 'is different from the connecting portion 120a in that the spring arm 121a' is substantially U-shaped. Except for this, the connection portion 120a 'has substantially the same configuration as the connection portion 120a. The connection portion 120b 'is disposed between the connection portions 120a'. The connecting portion 120b 'is different from the connecting portion 120b in that the spring arm 121b' is substantially U-shaped. Except for this, the connection portion 120b 'has substantially the same configuration as the connection portion 120b. In FIG. 3A, 121a1 'and 121b1' are the proximal ends of the spring arms, 121a2 'and 121b2' are the tips of the spring arms, and 121a3 'and 121b3' are the tops of the spring arms. In addition, as shown to FIG. 3B, it is possible to design-change to the aspect in which one connection part 120a 'and one connection part 120b' were provided on the end surface of the 2nd end part 112, respectively. As shown in FIG. 3C, it is possible to design change to a mode in which only the connection portion 120 a ′ is provided on the end face of the second end 112.

また、図４Ａに示すように、接続部１２０ａ及び接続部１２０ｂに代えて、二つの接続部１２０ａ’’と接続部１２０ｂ’’とが第２端部１１２の端面上に設けられた態様に設計変更することが可能である。接続部１２０ａ’’は、略Ｖ字状のスプリングアーム１２１ａ’’と、当接部１２２ａ’’とを有している。スプリングアーム１２１ａ’’は、基端１２１ａ１’’と、先端１２１ａ２’’と、頂部１２１ａ３’’とを有している。基端１２１ａ１’’は、第２端部１１２の端面の幅方向Ｄの一端部に連接されている。スプリングアーム１２１ａ’’は、第２端部１１２の端面から延びており且つ先端１２１ａ２’’が第２端部１１２の端面に間隙を有して対向するように略Ｖ字状に折り曲げられている。当接部１２２ａ’’は、スプリングアーム１２１ａ’’の頂部１２１ａ３’’に設けられており且つ幅方向Ｄ２の一方側に延びている。当接部１２２ａは幅方向Ｄ２に並べられた複数の山部を有している。当接部１２２ａの山部に対して荷重が加えられることによって、スプリングアーム１２１ａ’’が第２端部１１２側に弾性変形し、先端１２１ａ２’’が第２端部１１２の端面に当接するようになっている。   Also, as shown in FIG. 4A, instead of the connection portion 120a and the connection portion 120b, two connection portions 120a ′ ′ and 120b ′ ′ are provided on the end face of the second end 112. It is possible to change. The connecting portion 120 a ′ ′ includes a substantially V-shaped spring arm 121 a ′ ′ and an abutting portion 122 a ′ ′. The spring arm 121 a ′ ′ has a proximal end 121 a 1 ′ ′, a distal end 121 a 2 ′ ′, and a top 121 a 3 ′ ′. The proximal end 121 a 1 ′ ′ is connected to one end in the width direction D of the end face of the second end 112. The spring arm 121a ′ ′ extends from the end face of the second end 112 and is bent in a substantially V shape so that the tip end 121a2 ′ ′ faces the end face of the second end 112 with a gap. . The contact portion 122 a ′ ′ is provided on the top portion 121 a 3 ′ ′ of the spring arm 121 a ′ ′ and extends on one side in the width direction D 2. The contact portion 122a has a plurality of peak portions arranged in the width direction D2. When a load is applied to the peak portion of the contact portion 122 a, the spring arm 121 a ′ ′ is elastically deformed to the second end 112 side, and the tip 121 a 2 ′ ′ abuts on the end surface of the second end 112 It has become.

接続部１２０ｂ’’は接続部１２０ａ’’の対称形状である。接続部１２０ｂ’’は、略Ｖ字状のスプリングアーム１２１ｂ’’と、当接部１２２ｂ’’とを有している。スプリングアーム１２１ｂ’’は、基端１２１ｂ１’’と、先端１２１ｂ２’’（図４Ｂを借りて参照）と、頂部１２１ｂ３’’（図４Ｂを借りて参照）とを有している。基端１２１ｂ１’’は、第２端部１１２の端面の幅方向Ｄの他端部に連接されている。スプリングアーム１２１ｂ’’は、図４Ｂを借りて参照するように、第２端部１１２の端面から延びており且つ先端１２１ｂ２’’が第２端部１１２の端面に間隙を有して対向するように略Ｖ字状に折り曲げられている。当接部１２２ｂ’’は、スプリングアーム１２１ｂ’’の頂部１２１ｂ３’’に設けられており且つ幅方向Ｄ２の他方側に延びている。当接部１２２ａ’’の山部に対して荷重が加えられることによって、スプリングアーム１２１ａ’’が第２端部１１２側に弾性変形し、先端１２１ａ２’’が第２端部１１２の端面に当接するようになっている。   The connection portion 120 b ′ ′ is a symmetrical shape of the connection portion 120 a ′ ′. The connecting portion 120 b ′ ′ includes a substantially V-shaped spring arm 121 b ′ ′ and an abutting portion 122 b ′ ′. The spring arm 121b "has a proximal end 121b1", a distal end 121b2 "(see borrowing FIG. 4B) and a top 121b3" (see borrowing FIG. 4B). The base end 121 b 1 ′ ′ is connected to the other end in the width direction D of the end face of the second end 112. The spring arm 121b ′ ′ extends from the end face of the second end 112 and the tip 121b2 ′ ′ faces the end face of the second end 112 with a gap, as will be referred to with reference to FIG. 4B. Is bent in a substantially V-shape. The contact portion 122 b ′ ′ is provided on the top portion 121 b 3 ′ ′ of the spring arm 121 b ′ ′ and extends to the other side in the width direction D 2. By applying a load to the ridge of the contact portion 122 a ′ ′, the spring arm 121 a ′ ′ is elastically deformed to the second end 112 side, and the end 121 a 2 ′ ′ contacts the end face of the second end 112. It comes to touch.

なお、図４Ｂに示すように接続部１２０ａ’’及び接続部１２０ｂ’’が第２端部１１２の端面上に一つずつ設けられた態様に設計変更することが可能である。図４Ｃに示すように接続部１２０ａ’’のみが第２端部１１２の端面上に設けられた態様に設計変更することが可能である。   In addition, as shown to FIG. 4B, it is possible to design-change to the aspect in which one connection part 120 a ′ ′ and one connection part 120 b ′ ′ are provided on the end face of the second end 112. As shown in FIG. 4C, it is possible to change the design to a mode in which only the connection portion 120 a ′ ′ is provided on the end face of the second end 112.

以下、本発明の実施例に係るプローブカードについて図５〜図７Ｂを参照しつつ説明する。図５に示すプローブカードは、複数のプローブ１００と、ガイド板２００ａ、２００ｂと、スペーサ３００ａ、３００ｂと、配線基板４００と、中間基板５００と、複数のスプリングプローブ６００と、メイン基板７００と、補強板８００と、補強部９００とを備えている。以下、前記プローブカードの各構成要素について詳しく説明する。ただし、説明の便宜上、プローブ１００の第２端部１１２に、図１Ａ〜図１Ｃに示す接続部１２０ａ、１２０ｂが設けられているものを例に挙げて説明する。なお、図５においては、図面の簡略化のため、プローブ１００を３つのみ図示している。   Hereinafter, a probe card according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7B. The probe card shown in FIG. 5 includes a plurality of probes 100, guide plates 200a and 200b, spacers 300a and 300b, a wiring substrate 400, an intermediate substrate 500, a plurality of spring probes 600, a main substrate 700, and reinforcements. A plate 800 and a reinforcing portion 900 are provided. Hereinafter, each component of the probe card will be described in detail. However, for convenience of explanation, the second end 112 of the probe 100 will be described by way of example in which the connection portions 120a and 120b shown in FIGS. 1A to 1C are provided. In addition, in FIG. 5, only three probes 100 are shown in order to simplify the drawing.

メイン基板７００はプリント基板である。メイン基板７００は、第１面と、前記第１面の裏側の第２面とを有している。メイン基板７００の第１面には図示しない複数の電極が、メイン基板７００の第２面の外縁部には複数のコネクタ７１０が設けられている。電極とコネクタ７１０とはメイン基板７００の第１、第２面及び／又は内部に設けられた図示しない複数の導電ラインにより接続されている。   The main substrate 700 is a printed circuit board. The main substrate 700 has a first surface and a second surface on the back side of the first surface. A plurality of electrodes (not shown) are provided on the first surface of the main substrate 700, and a plurality of connectors 710 are provided on the outer edge of the second surface of the main substrate 700. The electrodes and the connector 710 are connected by a plurality of conductive lines (not shown) provided on the first and second surfaces of the main substrate 700 and / or in the inside.

補強板８００はメイン基板７００よりも硬い板状の部材（例えばステンレス鋼等の板）である。この補強板８００は、メイン基板７００の第２面にネジ止めされている。この補強板８００によりメイン基板７００の撓みが抑止される。   The reinforcing plate 800 is a plate-like member (for example, a plate of stainless steel or the like) harder than the main substrate 700. The reinforcing plate 800 is screwed to the second surface of the main substrate 700. Deflection of the main substrate 700 is suppressed by the reinforcing plate 800.

中間基板５００及び配線基板４００は、メイン基板７００及び補強板８００にネジ止めされている。中間基板５００及び配線基板４００は、この順でメイン基板７００の第１面側に配置されている。すなわち、中間基板５００はメイン基板７００と配線基板４００との間に配置されている。中間基板５００には、当該中間基板５００を厚み方向に貫通した複数の貫通孔５１０が設けられている。この貫通孔５１０は、メイン基板７００の電極の位置に対応した位置に配置されている。   The intermediate substrate 500 and the wiring substrate 400 are screwed to the main substrate 700 and the reinforcing plate 800. The intermediate substrate 500 and the wiring substrate 400 are disposed on the first surface side of the main substrate 700 in this order. That is, the intermediate substrate 500 is disposed between the main substrate 700 and the wiring substrate 400. The intermediate substrate 500 is provided with a plurality of through holes 510 penetrating the intermediate substrate 500 in the thickness direction. The through holes 510 are arranged at positions corresponding to the positions of the electrodes of the main substrate 700.

配線基板４００はＳＴ（スペーストランスフォーマ）基板である。配線基板４００は、第１面と、この第１面の裏側の第２面とを有している。配線基板４００の第１面上には、図６Ａ〜図７Ｂに示すように、複数の電極４１０が間隔をあけて設けられている。配線基板４００の第２面には、図５に示すように、複数の電極４２０が間隔をあけて配設されている。電極４２０は、メイン基板７００の電極の鉛直線上に配置されている。電極４１０と電極４２０とは配線基板４００の第１、第２面及び／又は内部に設けられた図示しない複数の導電ラインにより接続されている。   The wiring substrate 400 is an ST (space transformer) substrate. The wiring substrate 400 has a first surface and a second surface on the back side of the first surface. As shown in FIGS. 6A to 7B, a plurality of electrodes 410 are provided on the first surface of the wiring substrate 400 at intervals. On the second surface of the wiring substrate 400, as shown in FIG. 5, a plurality of electrodes 420 are arranged at intervals. The electrode 420 is disposed on the vertical line of the electrode of the main substrate 700. The electrode 410 and the electrode 420 are connected by a plurality of conductive lines (not shown) provided on the first and second surfaces of the wiring substrate 400 and / or the inside.

各スプリングプローブ６００は、中間基板５００の貫通孔５１０に収容され、メイン基板７００の電極と配線基板４００の電極４２０との間に圧縮状態で介在している。これにより、スプリングプローブ６００がメイン基板７００の電極と配線基板４００の電極４２０との間を電気的に接続している。   Each spring probe 600 is accommodated in the through hole 510 of the intermediate substrate 500, and is interposed between the electrode of the main substrate 700 and the electrode 420 of the wiring substrate 400 in a compressed state. Thus, the spring probe 600 electrically connects the electrode of the main substrate 700 and the electrode 420 of the wiring substrate 400.

補強部９００は、プレート９１０と、取付部９２０とを有している。プレート９１０は、配線基板４００の第１面側に、当該配線基板４００に対して略平行に配置されている。取付部９２０は、配線基板４００とプレート９１０の端部との間に介在している。プレート９１０及び取付部９２０は、配線基板４００にネジ止めされている。プレート９１０には、当該プレート９１０を貫通した貫通孔９１１が設けられている。なお、プレート９１０と取付部９２０は一体化することが可能である。   The reinforcing portion 900 has a plate 910 and a mounting portion 920. The plate 910 is disposed on the first surface side of the wiring substrate 400 substantially in parallel to the wiring substrate 400. The mounting portion 920 is interposed between the wiring substrate 400 and the end of the plate 910. The plate 910 and the mounting portion 920 are screwed to the wiring substrate 400. The plate 910 is provided with a through hole 911 penetrating the plate 910. The plate 910 and the mounting portion 920 can be integrated.

ガイド板２００ｂは、取付部９２０の内側で配線基板４００の第１面側に配置されている。ガイド板２００ｂには、当該ガイド板２００ｂを貫通した複数のガイド孔２１０ｂが設けられている。ガイド孔２１０ｂは、配線基板４００の電極４１０の位置に対応するように配置されている。ガイド孔２１０ｂには、プローブ１００の第２端部１１２が挿通されている。第２端部１１２の係止凸部１１２ａが、ガイド板２００ｂのガイド孔２１０ｂの縁部に係止されている。このようにガイド板２００ｂは特許請求の範囲のガイド板に相当する。   The guide plate 200 b is disposed on the first surface side of the wiring substrate 400 inside the attachment portion 920. The guide plate 200b is provided with a plurality of guide holes 210b penetrating the guide plate 200b. The guide holes 210 b are arranged to correspond to the positions of the electrodes 410 of the wiring substrate 400. The second end 112 of the probe 100 is inserted into the guide hole 210b. The locking projection 112a of the second end 112 is locked to the edge of the guide hole 210b of the guide plate 200b. Thus, the guide plate 200b corresponds to the guide plate in the claims.

ガイド板２００ｂの端部と配線基板４００との間にはスペーサ３００ｂが介在している。スペーサ３００ｂによってガイド板２００ｂと配線基板４００との間に間隙が形成されている。スペーサ３００ｂの厚み寸法（ガイド板２００ｂと配線基板４００との間の上記間隙（距離Ｌ））は、図６Ａに示すように、プローブ１００の接続部１２０ａ、１２０ｂのスプリングアーム１２１ａ、１２１ｂの頂部１２１ａ３、１２１ｂ３が配線基板４００の電極４１０に押し付けられ、当該スプリングアーム１２１ａ、１２１ｂが第２端部１１２側に弾性変形し、先端１２１ａ２、１２１ｂ２が第２端部１１２に当接する寸法（距離）に設定されている。よって、接続部１２０ａ、１２０ｂは、電極４１０に当接した状態で、配線基板４００の電極４１０を付勢している。換言すると、接続部１２０ａ、１２０ｂは電極４１０に対して所定の接触圧で接触し、接続されている。また、接続部１２０ａのスプリングアーム１２１ａの先端１２１ａ２が第２端部１１２に当接しているため、接続部１２０ａの電極４１０に対する電気経路はＲ１、Ｒ２の二つとなる。Ｒ１は、接続部１２０ａのスプリングアーム１２１ａの基端１２１ａ１から頂部１２１ａ３（電極４１０に接触する部分）までの経路である。Ｒ２は、接続部１２０ａのスプリングアーム１２１ａの先端１２１ａ２から頂部１２１ａ３（電極４１０に接触する部分）までの経路である。なお、接続部１２０ｂも接続部１２０ａと同様に電気経路Ｒ１、Ｒ２を有する。   A spacer 300 b is interposed between the end of the guide plate 200 b and the wiring substrate 400. A gap is formed between the guide plate 200b and the wiring substrate 400 by the spacer 300b. The thickness dimension of the spacer 300b (the distance (distance L) between the guide plate 200b and the wiring substrate 400) is the top 121a3 of the spring arms 121a and 121b of the connection parts 120a and 120b of the probe 100, as shown in FIG. 6A. , 121b3 is pressed against the electrode 410 of the wiring substrate 400, the spring arms 121a and 121b are elastically deformed to the second end 112 side, and the tips 121a2 and 121b2 are set to a dimension (distance) to abut the second end 112 It is done. Therefore, the connection portions 120 a and 120 b urge the electrode 410 of the wiring substrate 400 in a state of being in contact with the electrode 410. In other words, the connection portions 120a and 120b are in contact with and connected to the electrode 410 at a predetermined contact pressure. Further, since the tip end 121a2 of the spring arm 121a of the connection portion 120a is in contact with the second end 112, the electrical path to the electrode 410 of the connection portion 120a is two, R1 and R2. R1 is a path from the base end 121a1 of the spring arm 121a of the connection portion 120a to the top portion 121a3 (a portion in contact with the electrode 410). R2 is a path from the tip end 121a2 of the spring arm 121a of the connection portion 120a to the top portion 121a3 (a portion in contact with the electrode 410). The connection portion 120b also has electric paths R1 and R2 similarly to the connection portion 120a.

ガイド板２００ｂの端部とプレート９１０との間には、スペーサ３００ａが介在している。プレート９１０、スペーサ３００ａ、３００ｂ及びガイド板２００ｂが、配線基板４００、メイン基板７００及び補強板８００にネジ止めされている。プレート９１０の図示下側には、ガイド板２００ａが配置されている。ガイド板２００ａは樹脂でプレート９１０に固着されている。ガイド板２００ａには、当該ガイド板２００ａを貫通した複数のガイド孔２１０ａが設けられている。ガイド孔２１０ａは、ガイド孔２１０ｂの鉛直線上に各々位置しており且つプレート９１０の貫通孔９１１に連通している。ガイド板２００ａのガイド孔２１０ａには、プローブ１００の第１端部１１１が挿通されている。第１端部１１１がガイド孔２１０ａを貫通し、当該第１端部１１１の接触部１１１ａが測定対象１０の電極１１に接触可能となっている。   A spacer 300 a is interposed between the end of the guide plate 200 b and the plate 910. The plate 910, the spacers 300 a and 300 b and the guide plate 200 b are screwed to the wiring substrate 400, the main substrate 700 and the reinforcing plate 800. Below the plate 910, a guide plate 200a is disposed. The guide plate 200a is fixed to the plate 910 by resin. The guide plate 200a is provided with a plurality of guide holes 210a penetrating the guide plate 200a. The guide holes 210 a are respectively positioned on the vertical line of the guide holes 210 b and communicate with the through holes 911 of the plate 910. The first end 111 of the probe 100 is inserted into the guide hole 210a of the guide plate 200a. The first end portion 111 penetrates the guide hole 210 a, and the contact portion 111 a of the first end portion 111 can be in contact with the electrode 11 of the measurement target 10.

上記プローブカードの組立時において、プローブ１００の第２端部１１２をガイド板２００ｂのガイド孔２１０ｂに挿通させ、当該第２端部１１２の係止凸部１１２ａをガイド孔２１０ｂの縁部に係止させる。このガイド板２００ｂを、スペーサ３００ｂを介して配線基板４００に積層させる。このとき、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、プローブ１００の接続部１２０ａ、１２０ｂの頂部１２１ａ３、１２１ｂ３が配線基板４００の電極４１０に押し付けられる。すなわち、プローブ１００の接続部１２０ａ、１２０ｂに対して図示上側から荷重が加えられる。これにより、接続部１２０ａ、１２０ｂのスプリングアーム１２１ａ、１２１ｂが第２端部１１２側に弾性変形し、スプリングアーム１２１ａ、１２１ｂの先端１２１ａ２、１２１ｂ２が第２端部１１２の端面に当接する。このようにして接続部１２０ａ、１２０ｂが配線基板４００の電極４１０に所定の接触圧で接触し、接続される。   At the time of assembly of the probe card, the second end 112 of the probe 100 is inserted into the guide hole 210b of the guide plate 200b, and the locking convex portion 112a of the second end 112 is locked to the edge of the guide hole 210b. Let The guide plate 200b is stacked on the wiring substrate 400 via the spacer 300b. At this time, as shown in FIGS. 6A and 6B, the tops 121a3 and 121b3 of the connection parts 120a and 120b of the probe 100 are pressed against the electrodes 410 of the wiring substrate 400. That is, a load is applied to the connection portions 120a and 120b of the probe 100 from the upper side in the drawing. As a result, the spring arms 121a and 121b of the connection portions 120a and 120b elastically deform toward the second end 112, and the tips 121a2 and 121b2 of the spring arms 121a and 121b abut the end face of the second end 112. Thus, the connection portions 120 a and 120 b are in contact with and connected to the electrodes 410 of the wiring substrate 400 with a predetermined contact pressure.

上記プローブカードは、テスターのプローバに取り付けられ、測定対象１０の電気的諸特性を測定するのに使用される。具体的には、プローバが、プローブカードと測定対象１０とを対向配置し、この状態で同プローブカードと測定対象１０とを相対的に接近させる。すると、図７Ａに示すように、同プローブカードのプローブ１００の第１端部１１１の接触部１１１ａが測定対象１０の電極１１に接触する。その後、プローバが、プローブカードと測定対象１０とを相対的に更に接近させる。これにより、プローブ１００の第１端部１１１の接触部１１１ａが測定対象１０の電極１１に押圧される（すなわち、第１端部１１１に荷重（オーバードライブ）が加えられる）。すると、プローブ１００の弾性変形部１１３が屈曲するように弾性変形する。これにより、図７Ｂに示すようにプローブ１００の接続部１２０ａ、１２０ｂと配線基板４００の電極４１０とに過剰な荷重が加わるのを抑止することができる。この状態で、測定対象１０の電気的諸特性が前記テスターにより測定される。   The probe card is attached to a prober of a tester and is used to measure the electrical characteristics of the object to be measured 10. Specifically, the prober arranges the probe card and the measurement target 10 opposite to each other, and makes the probe card and the measurement target 10 relatively approach in this state. Then, as shown to FIG. 7A, the contact part 111a of the 1st end part 111 of the probe 100 of the same probe card contacts the electrode 11 of the measuring object 10. FIG. Thereafter, the prober brings the probe card and the object to be measured 10 closer to each other. Thereby, the contact portion 111a of the first end 111 of the probe 100 is pressed against the electrode 11 of the measurement target 10 (that is, a load (overdrive) is applied to the first end 111). Then, the elastically deformable portion 113 of the probe 100 is elastically deformed so as to bend. Thereby, as shown to FIG. 7B, it can suppress that an excessive load is added to connection part 120a, 120b of the probe 100, and the electrode 410 of the wiring board 400. FIG. In this state, the electrical characteristics of the measuring object 10 are measured by the tester.

以上のようなプローブカードによる場合、プローブ１００の接続部１２０ａ、１２０ｂが配線基板４００の電極４１０に押し付けられ、接続部１２０ａ、１２０ｂのスプリングアーム１２１ａ、１２１ｂがプローブ本体１１０側に弾性変形し、スプリングアーム１２１ａ、１２１ｂの先端１２１ａ２、１２１ｂ２がプローブ本体１１０に当接している。これにより、接続部１２０ａ、１２０ｂが所定の接触圧で配線基板４００の電極４１０に接触するので、接続部１２０ａ、１２０ｂと電極４１０との接続信頼性を向上させることができる。しかも、接続部１２０ａ、１２０ｂは、電気経路Ｒ１、Ｒ２を有している。すなわち、接続部１２０ａが電極４１０に対して電気経路Ｒ１、Ｒ２で並列接続され、接続部１２０ｂが電極４１０に対して電気経路Ｒ１、Ｒ２で並列接続されているので、接続部１２０ａ、１２０ｂのＤＣ抵抗を低下させることができる。   In the case of the probe card as described above, the connection portions 120a and 120b of the probe 100 are pressed against the electrodes 410 of the wiring substrate 400, and the spring arms 121a and 121b of the connection portions 120a and 120b elastically deform toward the probe main body 110 side. The tips 121a2 and 121b2 of the arms 121a and 121b are in contact with the probe main body 110. Thus, the connection portions 120a and 120b contact the electrodes 410 of the wiring substrate 400 with a predetermined contact pressure, so that connection reliability between the connection portions 120a and 120b and the electrode 410 can be improved. Moreover, the connection portions 120a and 120b have the electrical paths R1 and R2. That is, since the connection portion 120a is connected in parallel to the electrode 410 by the electric paths R1 and R2, and the connection portion 120b is connected in parallel to the electrode 410 by the electric paths R1 and R2, the DC of the connection portions 120a and 120b is The resistance can be reduced.

なお、図３Ａ〜図３Ｂに示す接続部１２０ａ’、１２０ｂ’を配線基板４００の電極４１０に押し付けた場合、スプリングアーム１２１ａ’、１２１ｂ’がプローブ本体１１０の第２端部１１２側に弾性変形し、スプリングアーム１２１ａ’、１２１ｂ’の先端１２１ａ１’、１２１ｂ１’が第２端部１１２に当接する。この設計変更例の場合、上記した接続部１２０ａ、１２０ｂを有するプローブ１００と同様の技術的効果を奏する。図４Ａ〜図４Ｂに示す接続部１２０ａ’’、１２０ｂ’’の当接部１２２ａ’’、１２２ｂ’’を配線基板４００の電極４１０に押し付けた場合、スプリングアーム１２１ａ’’、１２１ｂ’’が第２端部１１２側に弾性変形し、スプリングアーム１２１ａ’’、１２１ｂ’’の先端１２１ａ２’’、１２１ｂ２’’が第２端部１１２に当接する。この設計変更例の場合も、上記した接続部１２０ａ、１２０ｂを有するプローブ１００と同様の技術的効果を奏する。加えて、当接部１２２ａ’’、１２２ｂ’’の電極４１０に対する接触面積は、接続部１２０ａ、１２０ｂの頂部１２１ａ３、１２１ｂ３の電極４１０に対する接触面積よりも大きいので、当接部１２２ａ’’、１２２ｂ’’の電極４１０に対する接触抵抗を低減させることができる。図２Ａ、図２Ｂ、図３Ｃ及び図４Ｃに示した例は、接続部の数が相違するだけであるので、上記した技術的効果を奏する。   When the connecting portions 120a 'and 120b' shown in FIGS. 3A to 3B are pressed against the electrodes 410 of the wiring substrate 400, the spring arms 121a 'and 121b' are elastically deformed toward the second end 112 of the probe main body 110. The tips 121 a 1 ′ and 121 b 1 ′ of the spring arms 121 a ′ and 121 b ′ abut on the second end 112. In the case of this design modification, technical effects similar to those of the probe 100 having the connection portions 120a and 120b described above are obtained. When the contact portions 122a ′ ′ and 122b ′ ′ of the connection portions 120a ′ ′ and 120b ′ ′ shown in FIGS. 4A to 4B are pressed against the electrodes 410 of the wiring substrate 400, the spring arms 121a ′ ′ and 121b ′ ′ The two end portions 112 are elastically deformed, and the tips 121 a 2 ′ ′ and 121 b 2 ′ ′ of the spring arms 121 a ′ ′ and 121 b ′ ′ abut on the second end portion 112. Also in the case of this design modification, technical effects similar to those of the probe 100 having the connection portions 120a and 120b described above can be obtained. In addition, the contact areas of the contact portions 122a ′ ′ and 122b ′ ′ with respect to the electrodes 410 are larger than the contact areas of the top portions 121a3 and 121b3 of the connection portions 120a and 120b with respect to the electrodes 410. The contact resistance to the electrode 410 'can be reduced. The examples shown in FIG. 2A, FIG. 2B, FIG. 3C and FIG. 4C have the above-described technical effects because the number of connection parts is different.

なお、上記したプローブ１００及びプローブカードは、上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲において任意に設計変更することが可能である。以下、詳しく述べる。   The above-mentioned probe 100 and probe card are not limited to the above-mentioned example, and can be arbitrarily designed and changed in the range of a statement of a claim. The details will be described below.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブ１００のプローブ本体１１０は、第１端部１１１と、第２端部１１２と、弾性変形部１１３を有するとした。しかし、本発明のプローブのプローブ本体は、任意に設計変更することが可能である。例えば、プローブ本体は、第１端部と、この第１端部の反対側の第２端部とを有する構成とすることが可能である。   In the above-described embodiment and the above-described design variation, the probe main body 110 of the probe 100 has the first end 111, the second end 112, and the elastic deformation portion 113. However, the probe body of the probe of the present invention can be arbitrarily changed in design. For example, the probe body may be configured to have a first end and a second end opposite the first end.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブ１００のプローブ本体１１０の弾性変形部１１３は、幅方向Ｄ２に円弧状に湾曲しているとした。しかし、本発明のプローブのプローブ本体の弾性変形部は、第１端部と第２端部との間に設けられており且つ第１端部に荷重が加えられることによって弾性変形可能である限り任意に設計変更することが可能である。例えば、弾性変形部は、略く字状に折り曲げられた構成とすることが可能である。また、プローブが片持ち梁状である場合には、弾性変形部は第１端部から第２端部にかけて斜めに傾斜する構成とすることが可能である。   In the above-described embodiment and the above-described design modification, the elastically deformable portion 113 of the probe main body 110 of the probe 100 is curved in a circular arc in the width direction D2. However, as long as the elastically deformable portion of the probe body of the probe of the present invention is provided between the first end and the second end and can be elastically deformed by applying a load to the first end It is possible to change the design arbitrarily. For example, the elastically deformable portion can be configured to be bent in a substantially U-shape. When the probe is cantilevered, the elastically deformable portion can be configured to be inclined obliquely from the first end to the second end.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブ１００のプローブ本体１１０の第１端部１１１は、接触部１１１ａを有するとした。しかし、本発明のプローブのプローブ本体の第１端部は、測定対象の電極に接触可能である限り任意に設計変更することが可能である。よって、接触部は省略可能である。   In the above embodiment and the above design modification, the first end 111 of the probe main body 110 of the probe 100 has the contact portion 111a. However, the first end of the probe body of the probe of the present invention can be arbitrarily changed in design as long as the electrode to be measured can be contacted. Therefore, the contact part can be omitted.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブ１００のプローブ本体１１０の第２端部１１２は、係止凸部１１２ａを有しているとした。しかし、本発明のプローブのプローブ本体の第２端部は、これに限定されるものではない。例えば、第２端部がガイド板に固定される場合には、係止凸部は省略可能である。この場合も、ガイド板と配線基板との間の距離が、当該配線基板の電極に上記した何れかの態様のプローブの接続部が押し付けられ、当該接続部のスプリングアームが当該プローブのプローブ本体側に弾性変形し、スプリングアームの先端が当該プローブ本体に当接する距離とすると良い。   In the above embodiment and the above design modification, the second end 112 of the probe main body 110 of the probe 100 is assumed to have the locking projection 112 a. However, the second end of the probe body of the probe of the present invention is not limited to this. For example, when the second end is fixed to the guide plate, the locking projection can be omitted. Also in this case, the distance between the guide plate and the wiring board is such that the connection portion of the probe in any of the above-described modes is pressed against the electrode of the wiring board, and the spring arm of the connection portion is the probe main body side of the probe It is preferable that the distance between the tip of the spring arm and the probe main body be elastically deformed.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブの接続部は、プローブ本体の第２端部に設けられた円弧状、略Ｕ字状又は略Ｖ字状のスプリングアームを有しているとした。しかし、本発明のプローブの接続部のスプリングアームは、プローブ本体から延び、先端が前記プローブ本体に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられており且つ当該接続部に対して荷重が加えられることにより、前記スプリングアームが前記プローブ本体側に弾性変形し、前記先端が前記プローブ本体に当接し得る限り任意に設計変更することが可能である。すなわち、プローブの接続部は、プローブ本体の第２端部に設けられているものに限定されるものはなく、プローブ本体の任意の箇所に設けることが可能である。また、本発明のプローブの接続部は、前記スプリングアームの先端が前記プローブ本体に当接することによって、二つの電気経路が形成される。一つは、スプリングアームの基端から電極に接触する部分までの経路である。もう一つは、スプリングアームの先端から前記電極に接触する部分までの経路である。   In the above-mentioned embodiment and the above-mentioned design modification, the connecting portion of the probe is assumed to have an arc-shaped, substantially U-shaped or substantially V-shaped spring arm provided at the second end of the probe main body. However, the spring arm of the connection portion of the probe of the present invention extends from the probe body, and the tip is curved or bent so as to face the probe body with a gap, and a load is applied to the connection portion. As a result, the spring arm can be elastically deformed toward the probe main body, and the design can be arbitrarily changed as long as the tip can abut the probe main body. That is, the connection part of the probe is not limited to the one provided at the second end of the probe main body, and can be provided at any position of the probe main body. Further, in the connection portion of the probe of the present invention, two electrical paths are formed when the tip of the spring arm abuts on the probe body. One is a path from the proximal end of the spring arm to the portion in contact with the electrode. The other is a path from the tip of the spring arm to the portion in contact with the electrode.

上記設計変更例では、プローブの接続部の当接部１２２ａ’’は、スプリングアーム１２１ａ’’の頂部１２１ａ３’’に設けられ、幅方向Ｄ２の一方側に延びており且つ幅方向Ｄ２に並べられた複数の山部を有しているとした。しかし、本発明のプローブの接続部の当接部は、省略可能である。よって、当接部１２２ａ’’は、スプリングアーム１２１ａ’’のみを有する構成とすることが可能である。また、本発明のプローブの接続部の当接部は、スプリングアームの前記頂部に設けられており且つ当該頂部よりも外形が大きい限り任意に設計変更することが可能である。上記したようにスプリングアームが円弧状又は略Ｕ字状に湾曲している場合も、当該スプリングアームの頂部に当接部を設けることが可能である。当接部に山部を設けるか否かについては任意に設定することができる。   In the above design variation, the contact portion 122a ′ ′ of the connection portion of the probe is provided on the top portion 121a3 ′ ′ of the spring arm 121a ′ ′, extends to one side in the width direction D2, and is arranged in the width direction D2 It is assumed that there are several hills. However, the contact part of the connection part of the probe of the present invention can be omitted. Therefore, the contact portion 122 a ′ ′ can be configured to include only the spring arm 121 a ′ ′. Further, the contact portion of the connection portion of the probe of the present invention can be arbitrarily changed in design as long as it is provided on the top of the spring arm and the outer diameter is larger than the top. As described above, even in the case where the spring arm is curved in an arc shape or a substantially U shape, it is possible to provide the contact portion at the top of the spring arm. It can be arbitrarily set about whether a peak part is provided in a contact part.

上記実施例及び上記設計変更例では、プローブカードは、複数のプローブ１００と、ガイド板２００ａ、２００ｂと、スペーサ３００ａ、３００ｂと、配線基板４００と、中間基板５００と、複数のスプリングプローブ６００と、メイン基板７００と、補強板８００と、補強部９００とを備えているとした。しかし、本発明のプローブカードは、上記した何れかの態様のプローブと、電極を有する配線基板とを備えており、前記プローブの接続部が前記電極に押し付けられ、当該接続部のスプリングアームが当該プローブのプローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの先端が当該プローブ本体に当接し得る限り任意に設計変更することが可能である。プローブカードの中間基板５００、スプリングプローブ６００、メイン基板７００及び補強板８００は、省略可能である。また、配線基板を他の基板（メイン基板を含む。）に接続するか否かについては適宜設計変更することが可能である。配線基板自体をメイン基板として用いることが可能である。配線基板と他の基板との電気的な接続は、スプリングプローブ６００に限定されることはなく、一般的なプローブやケーブル等の周知の接続部材を用いることが可能である。   In the above embodiment and the above design modification, the probe card includes a plurality of probes 100, guide plates 200a and 200b, spacers 300a and 300b, a wiring substrate 400, an intermediate substrate 500, and a plurality of spring probes 600; The main substrate 700, the reinforcing plate 800, and the reinforcing portion 900 are provided. However, the probe card of the present invention includes the probe of any of the above-described aspects and a wiring substrate having an electrode, the connection portion of the probe is pressed against the electrode, and the spring arm of the connection portion It is possible to elastically deform to the probe main body side of the probe, and arbitrarily change the design as long as the tip of the spring arm can abut on the probe main body. The intermediate substrate 500 of the probe card, the spring probe 600, the main substrate 700, and the reinforcing plate 800 can be omitted. Further, whether or not the wiring substrate is connected to another substrate (including the main substrate) can be changed in design as appropriate. The wiring board itself can be used as a main board. The electrical connection between the wiring substrate and the other substrate is not limited to the spring probe 600, and a known connection member such as a general probe or a cable can be used.

なお、上記実施例におけるプローブ及びプローブカードの各部を構成する素材、形状、寸法、数及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変更することが可能である。なお、上記実施例及び上記した設計変更例のプローブは、基板間を接続するためのプローブとして使用可能である。上記実施例及び上記した設計変更例のプローブの接続部は、半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極に対する接続部としても用いることが可能である。   The materials, shapes, dimensions, number, arrangement, etc. constituting the respective parts of the probe and the probe card in the above embodiment are merely examples of those, and any design changes can be made as long as similar functions can be realized. Is possible. In addition, the probe of the said Example and the above-mentioned design modification can be used as a probe for connecting between board | substrates. The connection part of the probe of the above-mentioned example and the above-mentioned design modification can be used also as a connection part to an electrode of a semiconductor wafer or a semiconductor device.

１００・・・・プローブ
１１０・・・プローブ本体
１１１・・第１端部
１１２・・第２端部
１２０ａ・・接続部
１２１ａ・スプリングアーム
１２１ａ１・基端
１２１ａ２・先端
１２１ａ３・頂部
１２０ｂ・・接続部
１２１ｂ・スプリングアーム
１２１ｂ１・基端
１２１ｂ２・先端
１２１ｂ３・頂部
２００ａ・・・ガイド板
２１０ａ・・ガイド孔
２００ｂ・・・ガイド板
２１０ｂ・・ガイド孔
３００ａ・・・スペーサ
３００ｂ・・・スペーサ
４００・・・・配線基板
４１０・・・電極
５００・・・・中間基板
６００・・・・スプリングプローブ
７００・・・・メイン基板
８００・・・・補強板
９００・・・・補強部 100 · · · Probe 110 · · · Probe body 111 · · First end 112 · · Second end 120 121b Spring arm 121b1 Base end 121b2 Tip 121b3 Top portion 200a Guide plate 210a Guide hole 200b Guide plate 210b Guide hole 300a Spacer 300b Spacer 400 · Wiring substrate 410 ··· Electrode 500 · · · Intermediate substrate 600 · · · Spring probe 700 · · · Main substrate 800 · · · Reinforcement plate 900 · · · Reinforcement portion

Claims (8)

プローブ本体と、
接続部とを備えており、
前記プローブ本体は、前記プローブ本体の長手方向の第１端部と、前記第１端部の反対側の第２端部とを有しており、
前記接続部は、前記プローブ本体の前記第２端部の前記長手方向の端面から延びており且つ先端が前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられたスプリングアームを有しており、前記スプリングアームが、前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面を正面視した状態で、当該端面の投影面積内に収まる大きさであり、 前記接続部に対して荷重が加えられることにより、当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの前記先端が前記プローブ本体の前記第２端部の前記端面に当接するプローブ。 A probe body,
Equipped with a connection,
The probe body has a first end in the longitudinal direction of the probe body and a second end opposite to the first end.
The connecting portion extends from the end face in the longitudinal direction of the second end of the probe main body , and is curved such that a tip end faces the end face of the second end of the probe main body with a gap. Or has a bent spring arm, and the spring arm is sized to fit within the projection area of the end face of the probe main body in a front view of the end face of the second end portion, When a load is applied to the connecting portion, the spring arm of the connecting portion is elastically deformed toward the probe main body , and the tip end of the spring arm contacts the end face of the second end of the probe main body. Touching probe. プローブ本体と、
接続部とを備えており、
前記接続部は、前記プローブ本体から延びており且つ先端が前記プローブ本体に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられたスプリングアームを有しており、
前記接続部に対して荷重が加えられることにより、当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体側に弾性変形し、当該スプリングアームの前記先端が前記プローブ本体に当接するようになっており、
前記接続部は、第１接続部と第２接続部とを含み、
前記第１接続部の前記スプリングアームは、その先端部が前記プローブ本体の短手方向の一端側を向くように配置されており、
前記第２接続部の前記スプリングアームは、その先端部が前記短手方向の他端側を向くとともに、前記第１接続部の前記スプリングアームと間隔をあけて配置されているプローブ。 A probe body,
Equipped with a connection,
The connection portion includes a spring arm extending from the probe body and curved or bent so that a tip of the connection portion faces the probe body with a gap.
When a load is applied to the connection portion, the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side, and the tip end of the spring arm abuts on the probe main body.
The connection portion includes a first connection portion and a second connection portion,
The spring arm of the first connection portion is disposed such that its tip end faces one end side in the short direction of the probe main body,
The probe in which the tip of the spring arm of the second connection portion faces the other end side in the lateral direction and is spaced apart from the spring arm of the first connection portion. 請求項２記載のプローブにおいて、
前記プローブ本体は、前記プローブ本体の長手方向の第１端部と、
前記第１端部の反対側の第２端部とを有しており、
前記スプリングアームは前記プローブ本体の前記第２端部から延びており且つ前記先端が前記第２端部に間隙を有して対向するように湾曲又は折り曲げられており、
前記接続部に対して荷重が加えられることにより、当該接続部の前記スプリングアームが前記プローブ本体の前記第２端部側に弾性変形し、前記先端が前記第２端部に当接するプローブ。 In the probe according to claim 2 ,
The probe body has a first longitudinal end of the probe body;
And a second end opposite said first end,
The spring arm extends from the second end of the probe body and the tip is curved or bent to face the second end with a gap,
A load is applied to the connection portion, whereby the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the second end side of the probe main body, and the tip abuts on the second end portion. 請求項１又は３記載のプローブにおいて、
前記プローブ本体は、前記第１端部と前記第２端部との間に設けられた弾性変形部を更に有しているプローブ。 In the probe according to claim 1 or 3,
The probe body further includes an elastically deformable portion provided between the first end and the second end. 請求項３〜４の何れか一つに記載のプローブにおいて、
前記第２端部には係止凸部が設けられているプローブ。 The probe according to any one of claims 3 to 4
A probe having a locking projection at the second end; 請求項１〜５の何れか一つに記載のプローブにおいて、
前記スプリングアームは頂部を有しており、
前記接続部は、前記スプリングアームの前記頂部に設けられており且つ当該頂部よりも外形が大きい当接部を更に有しているプローブ。 In the probe according to any one of claims 1 to 5,
The spring arm has a top,
The probe according to claim 1, wherein the connection portion is provided at the top of the spring arm and further includes an abutting portion whose outer shape is larger than that of the top. 請求項５記載のプローブと、
前記プローブの前記第２端部が挿入されたガイド孔及び当該プローブの前記係止凸部を係止した前記ガイド孔の縁部を有するガイド板と、
電極を有する配線基板とを備えており、
前記配線基板と前記ガイド板との間の距離が、当該配線基板の前記電極に前記プローブの前記接続部が押し付けられ、当該接続部の前記スプリングアームが当該プローブの前記プローブ本体側に弾性変形し、前記先端が当該プローブ本体に当接する距離であるプローブカード。 A probe according to claim 5;
A guide plate having a guide hole into which the second end of the probe is inserted, and a guide plate having an edge of the guide hole locking the locking projection of the probe;
And a wiring substrate having an electrode,
The distance between the wiring board and the guide plate is such that the connection portion of the probe is pressed against the electrode of the wiring board, and the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side of the probe. The probe card, wherein the tip end is in contact with the probe main body. 請求項１、３又は４記載のプローブと、
前記プローブの前記第２端部が挿入されたガイド孔を有しており且つ前記第２端部が固定されたガイド板と、
電極を有する配線基板とを備えており、
前記配線基板と前記ガイド板との間の距離が、当該配線基板の前記電極に前記プローブの前記接続部が押し付けられ、当該接続部の前記スプリングアームが当該プローブの前記プローブ本体側に弾性変形し、前記先端が当該プローブ本体に当接する距離であるプローブカード。 A probe according to claim 1, 3 or 4 .
A guide plate having a guide hole into which the second end of the probe is inserted and to which the second end is fixed;
And a wiring substrate having an electrode,
The distance between the wiring board and the guide plate is such that the connection portion of the probe is pressed against the electrode of the wiring board, and the spring arm of the connection portion is elastically deformed to the probe main body side of the probe. The probe card, wherein the tip end is in contact with the probe main body.

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