JP3185676B2 - 基板の位置決め方法 - Google Patents
基板の位置決め方法Info
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- JP3185676B2 JP3185676B2 JP20994896A JP20994896A JP3185676B2 JP 3185676 B2 JP3185676 B2 JP 3185676B2 JP 20994896 A JP20994896 A JP 20994896A JP 20994896 A JP20994896 A JP 20994896A JP 3185676 B2 JP3185676 B2 JP 3185676B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルなどの
基板を位置決めする基板の位置決め方法に関するもので
ある。
基板を位置決めする基板の位置決め方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルなどの基板は、その周辺部に
部品が実装されるため、その保持は、基板の周辺部を避
け、基板の下面中央部を基板保持部で吸着することによ
り、行われている。
部品が実装されるため、その保持は、基板の周辺部を避
け、基板の下面中央部を基板保持部で吸着することによ
り、行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】さてこのような基板の
位置決めは、通常、基板の４隅などに付されている認識
マークなどをカメラで観察して、高い位置精度が実現で
きるように行われている。しかしながら、それほど高い
精度が必要でない場合もあり、そのような場合は、より
簡易・迅速に位置決めしたいものである。
位置決めは、通常、基板の４隅などに付されている認識
マークなどをカメラで観察して、高い位置精度が実現で
きるように行われている。しかしながら、それほど高い
精度が必要でない場合もあり、そのような場合は、より
簡易・迅速に位置決めしたいものである。
【０００４】また、液晶パネルなどの基板は、帯電や摩
擦に対してきわめて弱い性質を有している。
擦に対してきわめて弱い性質を有している。
【０００５】そこで本発明は、液晶パネルなどの基板の
特性に応じて簡易に位置決めできる基板の位置決め方法
を提供することを目的とする。
特性に応じて簡易に位置決めできる基板の位置決め方法
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の基板の位置決め
方法は、基板の下面中央部を基板保持部の強い吸着力で
吸着して保持する第１工程と、基板保持部を移動して基
板を位置決め部材に接近させる第２工程と、前記吸着力
を弱くし、その状態で位置決め部材に基板を角当てして
基板の位置出しを行う第３工程と、位置出しされた基板
を基板保持部に強い吸着力で吸着して固定する第４工程
とを含む。
方法は、基板の下面中央部を基板保持部の強い吸着力で
吸着して保持する第１工程と、基板保持部を移動して基
板を位置決め部材に接近させる第２工程と、前記吸着力
を弱くし、その状態で位置決め部材に基板を角当てして
基板の位置出しを行う第３工程と、位置出しされた基板
を基板保持部に強い吸着力で吸着して固定する第４工程
とを含む。
【０００７】
【発明の実施の形態】請求項１記載の基板の位置決め方
法は、基板の下面中央部を基板保持部の強い吸着力で吸
着して保持する第１工程と、基板保持部を移動して基板
を位置決め部材に接近させる第２工程と、前記吸着力を
弱くし、その状態で位置決め部材に基板を角当てして基
板の位置出しを行う第３工程と、位置出しされた基板を
基板保持部に強い吸着力で吸着して固定する第４工程と
を含む。したがって、認識マークの観察や画像認識など
の複雑な処理を必要とせず、単に位置決め部材に基板を
角当てするだけで簡単に位置決めできる。
法は、基板の下面中央部を基板保持部の強い吸着力で吸
着して保持する第１工程と、基板保持部を移動して基板
を位置決め部材に接近させる第２工程と、前記吸着力を
弱くし、その状態で位置決め部材に基板を角当てして基
板の位置出しを行う第３工程と、位置出しされた基板を
基板保持部に強い吸着力で吸着して固定する第４工程と
を含む。したがって、認識マークの観察や画像認識など
の複雑な処理を必要とせず、単に位置決め部材に基板を
角当てするだけで簡単に位置決めできる。
【０００８】また、請求項４に記載したように、基板保
持部の上端部を導電性ゴムにすることで、基板に帯電や
摩擦などのダメージを与えないようにすることができ
る。
持部の上端部を導電性ゴムにすることで、基板に帯電や
摩擦などのダメージを与えないようにすることができ
る。
【０００９】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る位置決め装置の斜視図である。
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る位置決め装置の斜視図である。
【００１０】図１において、１は基台、２は基台１上に
設けられるＹテーブル、４はＹテーブル２上のＸテーブ
ル３によりＸ方向に移動するＺθテーブルであって、Ｚ
θテーブル４上の基板保持部５は、各テーブル２，３，
４が駆動されることで、自由に移動できるようになって
いる。
設けられるＹテーブル、４はＹテーブル２上のＸテーブ
ル３によりＸ方向に移動するＺθテーブルであって、Ｚ
θテーブル４上の基板保持部５は、各テーブル２，３，
４が駆動されることで、自由に移動できるようになって
いる。
【００１１】６は基板保持部５の上端部に装着された導
電性ゴムであり、アースに接地されている。そして、図
２に示すように導電性ゴム６及び基板保持部５に開口す
る吸引孔５ａによって、基板Ｐの下面中央部が吸着保持
される。ここで、導電性ゴム６を設けたので、基板Ｐと
導電性ゴム６とが若干相対移動しても、基板Ｐが傷付く
ことはなく、基板Ｐが帯電しようとしても、導電性ゴム
６を介して直ちに除電され、基板Ｐにダメージが及ばな
いようになっている。
電性ゴムであり、アースに接地されている。そして、図
２に示すように導電性ゴム６及び基板保持部５に開口す
る吸引孔５ａによって、基板Ｐの下面中央部が吸着保持
される。ここで、導電性ゴム６を設けたので、基板Ｐと
導電性ゴム６とが若干相対移動しても、基板Ｐが傷付く
ことはなく、基板Ｐが帯電しようとしても、導電性ゴム
６を介して直ちに除電され、基板Ｐにダメージが及ばな
いようになっている。
【００１２】また図１において、７は基台１の端部に垂
直に立設される下受台であり、その上面７ａには複数の
吸引孔８が開口している。さらに下受台７の端部には、
Ｌ字状の位置決め部材９が装着されており、破線で示す
ように、基板Ｐを矢印Ｎ１，Ｎ２で示すように移動して
位置決め部材９に基板Ｐを角当てすれば基板Ｐを位置決
めできる。
直に立設される下受台であり、その上面７ａには複数の
吸引孔８が開口している。さらに下受台７の端部には、
Ｌ字状の位置決め部材９が装着されており、破線で示す
ように、基板Ｐを矢印Ｎ１，Ｎ２で示すように移動して
位置決め部材９に基板Ｐを角当てすれば基板Ｐを位置決
めできる。
【００１３】なお１０は下部に電子部品１１を吸着し、
矢印Ｎ３，Ｎ４のように移動して、基板Ｐの周辺部に電
子部品１１を搭載する移載ヘッドである。
矢印Ｎ３，Ｎ４のように移動して、基板Ｐの周辺部に電
子部品１１を搭載する移載ヘッドである。
【００１４】図２に示すように、上述した吸引孔５ａ，
８には、切替バルブ１３の出力ポートから延びる出力管
１２が接続されている。この切替バルブ１３は、バルブ
制御部１７の制御下において、第１配管１４、第２配管
１５、第３配管１６の何れかを、択一的に出力管１２に
接続する。
８には、切替バルブ１３の出力ポートから延びる出力管
１２が接続されている。この切替バルブ１３は、バルブ
制御部１７の制御下において、第１配管１４、第２配管
１５、第３配管１６の何れかを、択一的に出力管１２に
接続する。
【００１５】ここで、第１配管１４は大気開放部１８に
接続され、切替バルブ１３が第１配管１４を選択する
と、吸引孔５ａ，８は大気圧となる。また、第２配管１
５は、第１調整部２０を介して真空源１９に接続されて
いる。ここで、切替バルブ１３が第２配管１５を選択す
ると、吸引孔５ａ，８は第１調整部２０により設定され
た強い負圧となる。さらに、第３配管１６は第２調整部
２１を介して真空源２０に接続され、切替バルブ１３が
第３配管１６を選択すると、吸引孔５ａ，８は弱い負圧
となる。
接続され、切替バルブ１３が第１配管１４を選択する
と、吸引孔５ａ，８は大気圧となる。また、第２配管１
５は、第１調整部２０を介して真空源１９に接続されて
いる。ここで、切替バルブ１３が第２配管１５を選択す
ると、吸引孔５ａ，８は第１調整部２０により設定され
た強い負圧となる。さらに、第３配管１６は第２調整部
２１を介して真空源２０に接続され、切替バルブ１３が
第３配管１６を選択すると、吸引孔５ａ，８は弱い負圧
となる。
【００１６】次に、図３を参照しながら、本形態の基板
の位置決め方法について説明する。まずステップ１に
て、図１の実線で示すように基板Ｐの下面中央部を基板
保持部５に載置し、第２配管１５を選んで、基板Ｐを基
板保持部５に強く吸着する（ステップ２）。
の位置決め方法について説明する。まずステップ１に
て、図１の実線で示すように基板Ｐの下面中央部を基板
保持部５に載置し、第２配管１５を選んで、基板Ｐを基
板保持部５に強く吸着する（ステップ２）。
【００１７】次に、テーブル２，３を駆動して、図１の
矢印Ｎ１，Ｎ２で示すように、基板Ｐを位置決め部材９
へ接近させる（ステップ３）。また、第３配管１６を選
んで吸引孔５ａ，８の吸着力を弱くする（ステップ
４）。このとき、図２に示すように、基板Ｐの周辺部は
下受台７の上面７ａ上にあって下受台７に下受けされて
おり、基板Ｐの下面中央部は導電性ゴム６上にある。そ
して、吸着力を弱くしたことで、基板Ｐは導電性ゴム６
や上面７ａに対して相対移動できるようになっている。
矢印Ｎ１，Ｎ２で示すように、基板Ｐを位置決め部材９
へ接近させる（ステップ３）。また、第３配管１６を選
んで吸引孔５ａ，８の吸着力を弱くする（ステップ
４）。このとき、図２に示すように、基板Ｐの周辺部は
下受台７の上面７ａ上にあって下受台７に下受けされて
おり、基板Ｐの下面中央部は導電性ゴム６上にある。そ
して、吸着力を弱くしたことで、基板Ｐは導電性ゴム６
や上面７ａに対して相対移動できるようになっている。
【００１８】そして、基板保持部５による基板Ｐの吸着
力を弱くした状態で、基板Ｐの角部を位置決め材９へ近
付けることで、基板Ｐを位置決め部材９へ角当てして位
置出しを行う（ステップ５）。位置出しされたら、直ち
に第２配管１５を選択し、吸引孔５ａの吸着力を強にす
る（ステップ６）。これにより、基板Ｐの下面中央部は
基板保持部５に固定され、基板Ｐの周辺部は上面７ａに
固定される。この状態で、図１に示したように、移載ヘ
ッド１０を用いて、基板Ｐの周辺部に電子部品１１を搭
載するものである。
力を弱くした状態で、基板Ｐの角部を位置決め材９へ近
付けることで、基板Ｐを位置決め部材９へ角当てして位
置出しを行う（ステップ５）。位置出しされたら、直ち
に第２配管１５を選択し、吸引孔５ａの吸着力を強にす
る（ステップ６）。これにより、基板Ｐの下面中央部は
基板保持部５に固定され、基板Ｐの周辺部は上面７ａに
固定される。この状態で、図１に示したように、移載ヘ
ッド１０を用いて、基板Ｐの周辺部に電子部品１１を搭
載するものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、
帯電や摩擦を防ぎ、液晶パネルなどの基板にあわせて、
簡易・迅速に位置決めを行うことができる。
帯電や摩擦を防ぎ、液晶パネルなどの基板にあわせて、
簡易・迅速に位置決めを行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態における位置決め装置の
斜視図
斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における位置決め装置の
ブロック図
ブロック図
【図３】本発明の一実施の形態における基板の位置決め
方法のフローチャート
方法のフローチャート
５ 基板保持部 ９ 位置決め部材 Ｐ 基板
Claims (4)
- 【請求項１】基板の下面中央部を基板保持部の強い吸着
力で吸着して保持する第１工程と、前記基板保持部を移
動して基板を位置決め部材に接近させる第２工程と、前
記吸着力を弱くし、その状態で前記位置決め部材に基板
を角当てして基板の位置出しを行う第３工程と、位置出
しされた基板を前記基板保持部に強い吸着力で吸着して
固定する第４工程とを含むことを特徴とする基板の位置
決め方法。 - 【請求項２】前記第３工程における前記基板保持部の吸
着力を前記第４工程における吸着力よりも弱くしてある
ことを特徴とする請求項１記載の基板の位置決め方法。 - 【請求項３】前記第３工程において、基板の周辺部を下
受台で下受けしておくことを特徴とする請求項１記載の
基板の位置決め方法。 - 【請求項４】前記基板保持部の上端部に、導電性ゴムが
装着されていることを特徴とする請求項１記載の基板の
位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20994896A JP3185676B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 基板の位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20994896A JP3185676B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 基板の位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1056298A JPH1056298A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3185676B2 true JP3185676B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=16581325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20994896A Expired - Fee Related JP3185676B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 基板の位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3185676B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002158498A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Nec Kagoshima Ltd | フレキシブルプリント基板の保持ステ−ジ |
| JP4995977B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-08 | 富士機械製造株式会社 | 基板保持装置 |
-
1996
- 1996-08-08 JP JP20994896A patent/JP3185676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1056298A (ja) | 1998-02-24 |
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Legal Events
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