JP3178231B2 - 記録ヘッド - Google Patents
記録ヘッドInfo
- Publication number
- JP3178231B2 JP3178231B2 JP6305494A JP6305494A JP3178231B2 JP 3178231 B2 JP3178231 B2 JP 3178231B2 JP 6305494 A JP6305494 A JP 6305494A JP 6305494 A JP6305494 A JP 6305494A JP 3178231 B2 JP3178231 B2 JP 3178231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- piezoelectric substrate
- reinforcing member
- recording head
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タの記録ヘッドに関するものである。
タの記録ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、インクジェットプリンタにおい
て、ＰＺＴ等の圧電材料からなる圧電基板に、圧力隔壁
によって互いに分離した複数のインク流路を形成し、こ
の各インク流路の底部の一部にレーザーを照射してテー
パー状のインク吐出口を形成し、上記各インク流路の壁
面に上記圧力隔壁を変形させてインクを吐出させるため
の駆動電極を形成してなり、上記駆動電極に電圧を印加
して上記圧力隔壁を撓ませることにより上記インク流路
内のインクを加圧して上記インク吐出口からインクを吐
出させて記録を行なう記録ヘッドがあった。
て、ＰＺＴ等の圧電材料からなる圧電基板に、圧力隔壁
によって互いに分離した複数のインク流路を形成し、こ
の各インク流路の底部の一部にレーザーを照射してテー
パー状のインク吐出口を形成し、上記各インク流路の壁
面に上記圧力隔壁を変形させてインクを吐出させるため
の駆動電極を形成してなり、上記駆動電極に電圧を印加
して上記圧力隔壁を撓ませることにより上記インク流路
内のインクを加圧して上記インク吐出口からインクを吐
出させて記録を行なう記録ヘッドがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の記録ヘッド
のように、インク吐出効率をあげるためにインク吐出口
をテーパー状にしているが、インク流路底部の基板が厚
いと、加工が難しくなるとともに、インク吐出口の出力
側の径が小さくなって必要なインク吐出量が得られない
ことがある。したがって、インク流路底部の基板は薄い
方が好ましいが、薄くなるにしたがって基板の機械的強
度が低下する。インク流路はダイシングソー等により切
削して形成するが、インク流路底部の基板を薄くする
と、切削中に基板に亀裂が生じたり、ヘッドクリーニン
グ中に基板を破損する等の危険性が高くなる。
のように、インク吐出効率をあげるためにインク吐出口
をテーパー状にしているが、インク流路底部の基板が厚
いと、加工が難しくなるとともに、インク吐出口の出力
側の径が小さくなって必要なインク吐出量が得られない
ことがある。したがって、インク流路底部の基板は薄い
方が好ましいが、薄くなるにしたがって基板の機械的強
度が低下する。インク流路はダイシングソー等により切
削して形成するが、インク流路底部の基板を薄くする
と、切削中に基板に亀裂が生じたり、ヘッドクリーニン
グ中に基板を破損する等の危険性が高くなる。
【０００４】本発明は、インク吐出口の形成が容易かつ
確実で、しかも機械的強度の高い記録ヘッドを提供する
ことを目的としている。
確実で、しかも機械的強度の高い記録ヘッドを提供する
ことを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明に係る記録ヘッドは、圧電材料から
なる圧電基板と、該圧電基板の一方側の少なくともイン
ク吐出口を形成する部分近傍を含むインク流路の加工面
とは反対側の面に接着された補強部材とを備え、圧電基
板には補強部材の接着後に加工形成された溝からなる複
数条のインク流路および該溝の底部の一部に該底部側か
ら開けられたインク吐出口を有すると共に、前記溝の壁
面に駆動電極が設けられていることを特徴とする。
に、請求項１の発明に係る記録ヘッドは、圧電材料から
なる圧電基板と、該圧電基板の一方側の少なくともイン
ク吐出口を形成する部分近傍を含むインク流路の加工面
とは反対側の面に接着された補強部材とを備え、圧電基
板には補強部材の接着後に加工形成された溝からなる複
数条のインク流路および該溝の底部の一部に該底部側か
ら開けられたインク吐出口を有すると共に、前記溝の壁
面に駆動電極が設けられていることを特徴とする。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、補強部材は、圧電基板の一方側のほぼ全面にわたっ
て接着され、インク吐出口に対応する位置に開口部が形
成されていることを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、補強部材は、圧電基板の一方側
のほぼ全面にわたって接着され、インク吐出口周囲が他
の部分より薄く形成されていることを特徴とする。
て、補強部材は、圧電基板の一方側のほぼ全面にわたっ
て接着され、インク吐出口に対応する位置に開口部が形
成されていることを特徴とする。請求項３の発明は、請
求項１の発明において、補強部材は、圧電基板の一方側
のほぼ全面にわたって接着され、インク吐出口周囲が他
の部分より薄く形成されていることを特徴とする。
【０００７】請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれ
かの発明において、補強部材は、インクとの接触角が大
きい材料が用いられていることを特徴とする。
かの発明において、補強部材は、インクとの接触角が大
きい材料が用いられていることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００９】図１に記録ヘッドの要部の構成を示す。同
図において、１はＰＺＴ等の圧電材料からなる圧電基板
で、厚さ０．８ｍｍ程度である。圧電基板１には複数の
インク流路２〜２が形成してある。すなわち、インク流
路２〜２は圧電材料からなる圧力隔壁により互いに分離
された状態となっている。インク流路２は幅９０μｍ、
深さ６００μｍ、長さ１ｃｍ程度で、圧力隔壁は幅１５
０μｍ程度である。各インク流路２の底部の一部にはそ
れぞれインク吐出口３がレーザー加工により形成してあ
る。インク吐出口３はインク流路２側の径より出力側の
径の方が小さいテーパー状に加工してある。インク吐出
口３の径はインク流路２側が９０μｍ程度、出口側が４
０μｍ程度である。なお、インク流路２の底部における
圧電基板１の厚さは、５０〜２００μｍ程度が好まし
い。４〜４はそれぞれ上記圧力隔壁に電圧を印加して撓
ませるための駆動電極、５〜５は各電極４からそれぞれ
引き出した電気的配線で、ヘッド駆動回路（図示せ
ず。）と接続される。６は補強部材で、プラスチック、
ガラス、セラミック、金属等からなり、厚さ０．０５〜
０．５ｍｍ程度で、インク吐出口３に対応する位置に開
口部７を設けてあり、圧電基板１に接着してある。
図において、１はＰＺＴ等の圧電材料からなる圧電基板
で、厚さ０．８ｍｍ程度である。圧電基板１には複数の
インク流路２〜２が形成してある。すなわち、インク流
路２〜２は圧電材料からなる圧力隔壁により互いに分離
された状態となっている。インク流路２は幅９０μｍ、
深さ６００μｍ、長さ１ｃｍ程度で、圧力隔壁は幅１５
０μｍ程度である。各インク流路２の底部の一部にはそ
れぞれインク吐出口３がレーザー加工により形成してあ
る。インク吐出口３はインク流路２側の径より出力側の
径の方が小さいテーパー状に加工してある。インク吐出
口３の径はインク流路２側が９０μｍ程度、出口側が４
０μｍ程度である。なお、インク流路２の底部における
圧電基板１の厚さは、５０〜２００μｍ程度が好まし
い。４〜４はそれぞれ上記圧力隔壁に電圧を印加して撓
ませるための駆動電極、５〜５は各電極４からそれぞれ
引き出した電気的配線で、ヘッド駆動回路（図示せ
ず。）と接続される。６は補強部材で、プラスチック、
ガラス、セラミック、金属等からなり、厚さ０．０５〜
０．５ｍｍ程度で、インク吐出口３に対応する位置に開
口部７を設けてあり、圧電基板１に接着してある。
【００１０】上記構成の記録ヘッドの製造工程を説明す
る。まず、図２に示したように、インク吐出口に対応す
る位置に開口部７を設けた補強部材６を圧電基板１に接
着する。
る。まず、図２に示したように、インク吐出口に対応す
る位置に開口部７を設けた補強部材６を圧電基板１に接
着する。
【００１１】つぎに、圧電基板１に複数本の上記サイズ
のインク流路および電気的配線を形成するための深さ１
０μｍ程度の溝をダイシングソー等を用いて切削により
形成する。このとき補強部材６が接着されているため、
圧電基板１の強度が補強され、切削によって圧電基板１
に亀裂が生じたりすることがなく、インク流路底部の基
板を薄くすることができる。
のインク流路および電気的配線を形成するための深さ１
０μｍ程度の溝をダイシングソー等を用いて切削により
形成する。このとき補強部材６が接着されているため、
圧電基板１の強度が補強され、切削によって圧電基板１
に亀裂が生じたりすることがなく、インク流路底部の基
板を薄くすることができる。
【００１２】つぎに、圧電基板１のインク流路側から、
インク流路底面に対して斜めにレーザーを照射して各イ
ンク流路の底部の一部にテーパー状のインク吐出口を形
成する。レーザーとしてはＹＡＧレーザーやエキシマレ
ーザーが適している。
インク流路底面に対して斜めにレーザーを照射して各イ
ンク流路の底部の一部にテーパー状のインク吐出口を形
成する。レーザーとしてはＹＡＧレーザーやエキシマレ
ーザーが適している。
【００１３】つぎに、ＡｌやＮｉ等の金属材料を用いて
圧電基板１のインク流路を形成した側に斜め方向から、
それぞれ角度を変えて２回蒸着を行なうことにより、イ
ンク流路の両壁面に厚さ１μｍ程度の導電膜を形成す
る。このとき各インク流路間の隔壁の上面にも導電膜が
形成されるが、この上面を研磨することにより上記導電
膜をインク流路ごとに分離する。
圧電基板１のインク流路を形成した側に斜め方向から、
それぞれ角度を変えて２回蒸着を行なうことにより、イ
ンク流路の両壁面に厚さ１μｍ程度の導電膜を形成す
る。このとき各インク流路間の隔壁の上面にも導電膜が
形成されるが、この上面を研磨することにより上記導電
膜をインク流路ごとに分離する。
【００１４】この後、圧電基板のインク流路を形成した
面にヘッドカバー部（図示せず。）を重ね合わせて接着
して記録ヘッドが完成する。
面にヘッドカバー部（図示せず。）を重ね合わせて接着
して記録ヘッドが完成する。
【００１５】以上のようにして、インク流路底部の基板
が薄い記録ヘッドが完成する。
が薄い記録ヘッドが完成する。
【００１６】なお、上記実施例では、補強部材６のイン
ク吐出口と対応する位置に開口部７を設けたが、これに
限らず、図３に示したように、補強部材６のインク吐出
口近傍に位置する箇所を他の部分より薄くして、圧電基
板１と補強部材６とを貫通するインク吐出口３を形成す
るようにしてもよい。
ク吐出口と対応する位置に開口部７を設けたが、これに
限らず、図３に示したように、補強部材６のインク吐出
口近傍に位置する箇所を他の部分より薄くして、圧電基
板１と補強部材６とを貫通するインク吐出口３を形成す
るようにしてもよい。
【００１７】また、補強部材としてテフロン（デュポン
社登録商標）等のインクとの接触角が大きい材料を用い
れば、インク吐出口付近でのインクの付着が少なくな
り、インク射出方向を長期間にわたって安定させること
ができる。
社登録商標）等のインクとの接触角が大きい材料を用い
れば、インク吐出口付近でのインクの付着が少なくな
り、インク射出方向を長期間にわたって安定させること
ができる。
【００１８】また、補強部材は必ずしも圧電基板の全面
に設けなくてもよい。例えば、インク流路が形成されな
い圧電基板端部は必ずしも補強部材を設ける必要はな
い。
に設けなくてもよい。例えば、インク流路が形成されな
い圧電基板端部は必ずしも補強部材を設ける必要はな
い。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、圧電基板の一方側の少
なくともインク吐出口を形成する部分近傍を含むインク
流路の加工面とは反対側の面に、インク流路およびイン
ク吐出口の加工前に接着された補強部材を設けること
で、圧電基板を薄くしても基板の機械的強度を十分に確
保することができ、インク流路およびインク吐出口を容
易に、かつ破損することなく形成可能となり、耐久性、
信頼性に優れた高品質の記録ヘッドを提供することがで
きる。
なくともインク吐出口を形成する部分近傍を含むインク
流路の加工面とは反対側の面に、インク流路およびイン
ク吐出口の加工前に接着された補強部材を設けること
で、圧電基板を薄くしても基板の機械的強度を十分に確
保することができ、インク流路およびインク吐出口を容
易に、かつ破損することなく形成可能となり、耐久性、
信頼性に優れた高品質の記録ヘッドを提供することがで
きる。
【００２０】特に、補強部材を圧電基板のほぼ全面に設
け、かつインク吐出口を形成する部分に開口部を形成し
たので、圧電基板の強度が十分に確保され、圧電基板を
破損することなくインク吐出口を形成する部分の基板を
薄くでき、テーパー状のインク吐出口を容易に形成する
ことができる。
け、かつインク吐出口を形成する部分に開口部を形成し
たので、圧電基板の強度が十分に確保され、圧電基板を
破損することなくインク吐出口を形成する部分の基板を
薄くでき、テーパー状のインク吐出口を容易に形成する
ことができる。
【００２１】また、補強部材のインク吐出口に対応する
部分を薄くしたので、インク吐出口近傍の強度がさらに
増し、圧電基板を破損することなくインク吐出口を形成
する部分の基板を薄くでき、テーパー状のインク吐出口
を容易に形成することができる。
部分を薄くしたので、インク吐出口近傍の強度がさらに
増し、圧電基板を破損することなくインク吐出口を形成
する部分の基板を薄くでき、テーパー状のインク吐出口
を容易に形成することができる。
【００２２】さらに、補強部材としてインクとの接触角
が大きい材料を用いたので、インク吐出口付近のインク
の付着がなくなり、インク射出方向を長期間にわたって
安定させることができる。
が大きい材料を用いたので、インク吐出口付近のインク
の付着がなくなり、インク射出方向を長期間にわたって
安定させることができる。
【図１】本発明による記録ヘッドの要部の一構成例を示
した説明図
した説明図
【図２】本発明による記録ヘッドの製造工程の一例を示
した説明図
した説明図
【図３】本発明による記録ヘッドの要部の他の構成例を
示した説明図
示した説明図
１ 圧電基板 ２ インク流路 ３ インク吐出口 ４ 駆動電極 ６ 補強部材 ７ 開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電材料からなる圧電基板と、該圧電基
板の一方側の少なくともインク吐出口を形成する部分近
傍を含むインク流路の加工面とは反対側の面に接着され
た補強部材と、を備え、 前記圧電基板には前記補強部材の接着後に加工形成され
た溝からなる複数条のインク流路および該溝の底部の一
部に該底部側から開けられたインク吐出口を有すると共
に、前記溝の壁面に駆動電極が設けられていることを特
徴とする記録ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の記録ヘッドにおいて、補
強部材は、圧電基板の一方側のほぼ全面にわたって接着
され、インク吐出口に対応する位置に開口部が形成され
ていることを特徴とする記録ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１記載の記録ヘッドにおいて、補
強部材は、圧電基板の一方側のほぼ全面にわたって接着
され、インク吐出口周囲が他の部分より薄く形成されて
いることを特徴とする記録ヘッド。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の記録ヘ
ッドにおいて、補強部材は、インクとの接触角が大きい
材料が用いられていることを特徴とする記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6305494A JP3178231B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6305494A JP3178231B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07266555A JPH07266555A (ja) | 1995-10-17 |
| JP3178231B2 true JP3178231B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=13218248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6305494A Expired - Fee Related JP3178231B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178231B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6572221B1 (en) | 1997-10-10 | 2003-06-03 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus for ink jet printhead |
| JP6095320B2 (ja) * | 2011-12-02 | 2017-03-15 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6305494A patent/JP3178231B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07266555A (ja) | 1995-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4467860B2 (ja) | 小滴堆積装置 | |
| JP4357600B2 (ja) | 流体噴射装置 | |
| JP3257960B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3694652B2 (ja) | 液滴デポジット装置とその製造方法 | |
| JP3178231B2 (ja) | 記録ヘッド | |
| KR20030034214A (ko) | 액적 증착 장치 | |
| JP2006035853A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、記録ヘッド用基板、及びインクジェットカートリッジ | |
| JPH11334088A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3147964B2 (ja) | 積層形圧電変位素子ユニット及びインクジェット記録ヘッド | |
| JP3379538B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
| JP2003309301A (ja) | デバイス製造方法 | |
| JP3214017B2 (ja) | 積層形圧電変位素子及びインクジェット式印字ヘッド | |
| JPS62101455A (ja) | インクジエツトヘツドとその製造方法 | |
| JP3729997B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 | |
| JP3758255B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3520429B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、及び製造方法 | |
| JP3298755B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4590934B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3622484B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド | |
| JP2002120367A (ja) | インクジェットヘッドとその製造方法 | |
| JPH0858090A (ja) | インク噴射装置及びその製造方法 | |
| JP2004082611A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3261799B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3381480B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP3706034B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010313 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080413 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090413 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090413 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130413 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |