JP3177945B2

JP3177945B2 - 表面欠陥検査装置

Info

Publication number: JP3177945B2
Application number: JP13889496A
Authority: JP
Inventors: 西正則今; 田清吉; 木裕鈴
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 2001-06-18
Anticipated expiration: 2016-05-31
Also published as: JPH09318336A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検査体の表面欠
陥、例えば、自動車ボディの塗装面の表面欠陥を検査す
るのに好適な表面欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】従来のこの種の表面欠
陥検査装置としては、例えば、特開平６−２１３６４２
号公報などに示されたものがあるが、このような従来の
表面欠陥検査装置では、被検査面における塗装表面欠陥
を検査し、その結果を表示欠陥マークＭ_１，Ｍ_２，Ｍ_３
として表示する場合において、被検査面における所定の
範囲において複数の欠陥が近接混在している欠陥近接部
を検出し、その欠陥近接部における欠陥のうち最も欠陥
の度合いの大きなものを代表表示欠陥マーク（例えば、
表示欠陥マークＭ_１）として表示するようにしたものと
なっている。

【０００３】しかし、このような従来の表面欠陥検査装
置においては、欠陥近接部における欠陥のうち最も欠陥
の度合いの大きなものを代表表示欠陥マークとして表示
するものであったので、欠陥検出処理以外の表示に関す
る処理に時間がかかり、検査時間全体が長くなってしま
うという問題があったことから、このような問題を解決
することが課題としてあった。

【０００４】本発明は、このような従来の課題を解決す
るためになされたものであって、欠陥検出処理と同時に
複数の欠陥をその平均的な位置にある１つの欠陥として
処理することにより、処理時間および検査時間を短くす
ることができる表面欠陥検査装置を提供することを目的
としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる表面欠陥
検査装置は、請求項１に記載しているように、被検査体
の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づ
いて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査
面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検
査面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検
査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像デー
タに変換する撮像手段と、画像データにおける空間周波
数成分のうち高い周波数成分でかつレベルが所定値以上
の成分のみを欠陥の候補として抽出してその欠陥候補領
域の面積および重心座標を算出する画像処理手段と、被
検査面もしくは照明手段および撮像手段のいずれか一方
を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段によ
り所定の処理を時系列に連続して実行してそこで得られ
る上記欠陥候補領域が上記被検査面もしくは照明手段お
よび撮像手段の移動と所定の条件で適合するか否かを判
定して所定の回数以上適合した場合に上記欠陥候補領域
を欠陥と判断する欠陥検出手段と、欠陥検出手段におい
て任意の時刻に同時にかつ所定の範囲内に複数の欠陥候
補領域を欠陥と判断した場合にそれら複数の欠陥の平均
的な位置を算出してそれら複数の欠陥を上記平均的な位
置の１つの欠陥として判定する判定手段と、欠陥検出結
果に基づいて欠陥発生位置を表示処理する場合に、上記
複数の欠陥を１つの欠陥として判定したことを表す表示
マークと、他の欠陥を表す表示マークとが異なる表示手
段を備えた構成としたことを特徴としている。

【０００６】そして、本発明に係わる表面欠陥検査装置
の実施態様においては、請求項２に記載しているよう
に、表示手段が、欠陥検出結果に基づいて欠陥のサイズ
を判定し、そのサイズに応じて表示マークを決定する手
段である構成のものとすることができる。

【０００７】

【発明の作用】上記のように、請求項１に記載の発明に
おいては、照明手段によって被検査面に所定の明暗パタ
ーンを映し出し、それを撮像手段で撮像して前記明暗パ
ターンを電気信号の画像データに変換する。

【０００８】次に、画像処理手段では、上記明暗パター
ンの画像データにおける空間周波数成分のうち高い周波
数成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを抽出す
る。ここで、上記の画像データにおける高周波成分と
は、凹凸状の欠陥などといった輝度変化のある部分であ
り、上記のようにレベルが所定値以上の成分のみを抽出
することにより、欠陥と思われる候補となる領域を欠陥
候補領域として抽出する。そして、画像処理手段では、
前記欠陥候補領域の面積および重心座標を計算して求め
る。

【０００９】次いで、欠陥検出手段では、被検査面もし
くは照明手段および撮像手段のいずれか一方を移動と
し、つまり、もう一方を固定とすることにより、被検査
面上の欠陥は上記処理画像中を上記移動と同期して移動
する。よって、画像において欠陥候補が上記移動と同期
しているならば、それを欠陥と判断する。

【００１０】ここで、上記欠陥検出手段において、上記
任意の時刻に同時にかつ所定の範囲内に複数の欠陥候補
領域を欠陥と判断した場合、判定手段では、それら複数
の欠陥の平均的な位置を算出し、それら複数の欠陥を上
記平均的な位置の１つの欠陥として判定するので、後処
理で扱うデータ量が減少し、処理の高速化が図れること
となる。

【００１１】上記のように、請求項１に記載の発明にお
いて被検査面全体を検査するには、被検査体もしくは照
明手段および撮像手段を順次移動させ、撮像手段の視野
が被検査面全体を走査するように構成する。

【００１２】次に、上記欠陥検出手段において、複数の
欠陥を１つの欠陥として判定し、その欠陥発生位置を表
示処理する場合に、その表示マークが他の単独で検出し
た欠陥の表示マークとは異なる表示手段を備えたものと
しているので、後工程の作業者が上記表示結果をもと
に、欠陥が複数固まって存在するのか、単独で発生して
いるのか、ということを表示マークで判断しうるものと
なる。

【００１３】

【発明の効果】本発明に係わる請求項１に記載の表面欠
陥検査装置によれば、上記の構成としているので、欠陥
検出処理と同時に複数の欠陥をその平均的な位置にある
１つの欠陥として処理することにより欠陥を判定するよ
うにしているので、後処理で扱うデータ量を減少させる
ことが可能となり、処理時間および検査時間を短縮する
ことができるようになるという著しく優れた効果がもた
らされる。

【００１４】また、複数の欠陥を１つの欠陥として判定
し、その欠陥発生位置を表示処理する場合に、その表示
マークが他の単独で検出した欠陥の表示マークとは異な
るものとなっているので、後工程の作業者が上記異なる
表示結果をもとにして、欠陥が複数固まって存在するの
か、単独で発生しているのかを容易に判断することが可
能になるという著しく優れた効果がもたらされる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明による表面欠陥検査装置の
実施の形態について、図１をもとにして説明する。

【００１６】図１において、１は被検査体であり、例え
ば、自動車であって、その塗装面が被検査面１ａであ
る。また、２は被検査体１の被検査面１ａに所定の明暗
パターンを形成する照明手段である。さらに、３は被検
査面１ａを撮像して得られる受光画像すなわち上記明暗
パターンを電気信号の画像データに変換する撮像手段で
あり、例えば、ＣＣＤ（固体撮像素子）カメラ等のビデ
オカメラである。

【００１７】また、４は上記撮像手段３によって得られ
た画像データにおける空間周波数成分のうち高い周波数
成分でかつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補
として抽出してその欠陥候補領域の面積（例えば、画素
数）と重心座標を算出する画像処理手段である。

【００１８】さらにまた、５は上記被検査体１（被検査
面１ａ）もしくは照明手段２および撮像手段３のいずれ
か一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手
段４により所定の処理を時系列に連続して実行し、そこ
で得られる時系列に処理された連続した画像に存在する
欠陥候補領域の移動が、上記被検査体１（被検査面１
ａ）もしくは照明手段２および撮像手段３の移動と所定
の条件で一致するか否かを判定し、所定の回数以上一致
した場合に上記欠陥候補領域を欠陥と判断する欠陥検出
手段である。

【００１９】さらにまた、６は上記欠陥検出手段５にお
いて任意の時刻に同時にかつ所定の範囲内に複数の欠陥
候補領域を欠陥と判断した場合にそれら複数の欠陥の平
均的な位置を算出し、それら複数の欠陥を上記平均的な
位置の１つの欠陥として判定する判定手段である。

【００２０】そして、これらの画像処理手段４，欠陥検
出手段５，判定手段６の部分は、例えば、コンピュータ
７で構成される。

【００２１】上記の構成は、例えば、後記する図２〜図
７で説明する実施例に相当する。

【００２２】また、上記欠陥検出手段５において判断し
た欠陥検出結果に基づいて欠陥発生位置を表示処理する
場合に、複数の欠陥を１つの欠陥として判定したことを
表す表示マークと、他の欠陥を表す表示マークとが異な
るようにした表示手段を備えたものとすることができ
る。

【００２３】上記の構成は、例えば、後記する図８〜図
９で説明する実施例に相当する。

【００２４】

【実施例】以下、本発明による表面欠陥検査装置の実施
例を図面に基づいて説明する。

【００２５】図２ないし図７は、本発明の一実施例を示
す図である。

【００２６】本実施例では、自動車のボディの塗装面を
被検査面とする場合について説明する。

【００２７】図２において、１は被検査体の自動車ボデ
ィであり、２はボディ１の塗装面すなわち被検査面１ａ
に所定の明暗パターンを映し出す照明手段であって、本
実施例では、照明手段２が、ボディ１の横断面方向の明
暗のストライブ（縞状）パターンを映し出すものとして
説明する。

【００２８】３は被検査面１ａを撮像して上記明暗パタ
ーンを電気信号の画像データに変換する撮像手段であ
り、例えば、ＣＣＤカメラ等のビデオカメラである。ま
た、３ａはカメラ３のアングルを自在に調整することが
できるようにしたカメラホルダーであって、カメラ３を
所定の位置およびアングルに固定する。このカメラホル
ダー３ａはカメラスタンド３ｂに固定されている。ここ
で、被検査面１ａの移動方向のカメラ視野の大きさをＷ
とする。

【００２９】４は上記カメラ３によって得られた画像デ
ータを処理する画像処理手段であり、５は画像処理手段
４で処理された時系列に連続した画像から欠陥を検出す
る欠陥検出手段であり、６は欠陥検出手段５で検出した
複数の欠陥を平均的な位置の１つの欠陥として判定する
判定手段であって、これら画像処理手段４，欠陥検出手
段５，判定手段６はパソコン等のコンピュータ７で構成
される。

【００３０】本実施例では、カメラ３および照明手段２
が固定され、ボディ１が搬送コンベヤ等のようなもの
（図示せず）で図２の矢印Ａ方向に速度ｖで移動してい
るものとする。

【００３１】図３は、ボディ１の正面方向から見た概略
図であり、ボディ１を囲むように照明手段２およびカメ
ラ３（フード用カメラＨ１〜Ｈ８，ルーフ用カメラＲ１
〜Ｒ７，左側面用カメラＳＬ１〜ＳＬ５，右側面用カメ
ラＳＲ１〜ＳＲ５）が設置されている。図３中におい
て、ボディ１に向かう線はカメラ３の視野であり、ボデ
ィ１の表面を隙間なく撮像するように、隣合う視野がオ
ーバーラップした帯状の視野を形成している。これによ
って、固定した照明手段２およびカメラ３の門型をなす
内部をボディ１が移動することにより、カメラ３の視野
がボディ１の表面（被検査面１ａ）の全体を走査するこ
とができる。

【００３２】本実施例では、図３に示すように、台車１
６に載ったボディ１がレール１７に沿ってコンベヤ１８
で搬送され、上記照明手段２およびカメラ３の門型をな
す内部を通過するものとする。

【００３３】次に、画像処理手段４における欠陥候補領
域の抽出手順の一例を図４の（ａ）（ｂ）（ｃ）および
図５（画像処理手段４：Ｓ１〜Ｓ７）に基づいて説明す
る。

【００３４】図４に示すように、ストライブパターンの
映し出された被検査面１ａをモノクロのカメラ３で撮像
すると、図４の（ａ）（Ｓ１：原画像）に示すような濃
淡画像が得られる。この段階は図５に示すステップＳ１
に相当する。

【００３５】このとき、カメラ３の視野内の被検査面１
ａ上に凹凸状の欠陥Ｅがあると、この欠陥Ｅで光が乱反
射するため、画像において欠陥は周囲とは異なる明るさ
（輝度）の領域として映し出される。例えば、図４の
（ａ）に示す原画像Ｓ１のように、明ストライプの中に
欠陥Ｅがある場合、暗い領域となって映し出される。

【００３６】この原画像Ｓ１に対して図５のステップＳ
２において微分等のエッジ検出処理を行い、図５のステ
ップＳ３において所定の輝度レベルのしきい値で２値化
すると、図４の（ｂ）に示すような画像Ｓ３において輝
度変化のある領域が白、それ以外が黒となる２値画像が
得られる。

【００３７】次に、図５のステップＳ４において画像の
白領域に対してラベリング（ラベル付け）を行い、図５
のステップＳ５において面積および重心座標の算出を行
う。ここで、２値画像において、欠陥Ｅは小さい孤立
点、ストライプパターンの境界線は画面を縦に横切る大
きな領域であるという特徴を利用し、図５のステップＳ
６で２値画像において所定の面積値より大きい領域を除
去する面積判定処理を行うと、図４の（ｃ）に示すよう
な面積の小さな孤立点のみが残る面積判定画像Ｓ６が得
られる。

【００３８】ここで抽出した面積の小さい領域は、本物
の欠陥である可能性が高いので、図５のステップＳ７で
はこの領域を欠陥候補領域として、その面積（領域の画
素数）と重心座標を欠陥候補リストとしてメモリする。

【００３９】次に、欠陥検出手段５および判定手段６に
おける欠陥検出および欠陥判定手順の一例を図５（欠陥
検出手段５および欠陥判定手段６：Ｓ８〜Ｓ１５）なら
びに図６の（ａ）〜（ｆ）および図７に基づいて説明す
る。

【００４０】図６の（ａ）〜（ｆ）は、ある時刻Ｔから
Ｔ＋５ｔまでの時系列に連続して処理した面積判定結果
画像の一例であり、これらの画像を重ねあわせると図７
に示すようなものになる。

【００４１】本実施例では、画像の横方向にｘ軸、縦方
向にｙ軸をとり、画像中を欠陥Ｅが図６の（ａ）〜
（ｆ）に示すようにｘ軸方向に右から左へ移動するもの
とし、この移動方向における画像の幅（画素数）をＬと
する。これによって、例えば、時刻ＴおよびＴ＋ｔの画
像において、欠陥Ｅが真横に移動しｙ方向の座標変化が
なければ、欠陥Ｅのｘ方向の重心座標の差が移動画素数
ｄ１、符号が移動方向を表す。

【００４２】まずはじめに、欠陥検出手段５では、図５
のステップＳ８において、図６の（ａ）に示すように、
時刻Ｔにおける欠陥候補リストを画像処理手段４から読
み込み、時刻Ｔ以前までのデータ（保留リスト）とから
各欠陥候補領域に対する移動量ｄ１を上記のように算出
する。

【００４３】ここで、移動画素数ｄ２は、ボディ１の画
像における移動量であり、例えば、コンベヤ搬送速度な
どのボディ移動情報に基づいてステップＳ９で算出す
る。

【００４４】例えば、欠陥Ｅが画像をｙ方向の座標変化
なしで移動するならば、次式（１）により算出すること
ができる。

【００４５】移動画素数ｄ２＝（画像間時間ｔ×移動速度ｖ×画像サイズＬ）／カメラ視野Ｗ・・・（１）画像間時間ｔ：比較する２つの時間的に異なる画像間の
時間差。

【００４６】移動速度ｖ：ボディ１の移動速度。

【００４７】画像サイズＬ：画像におけるボディ移動方
向の画素数。例えば、ｘ×ｙ＝５１２×４８０画素の画
像でボディ１がｘ方向に移動するならば、Ｌ＝５１２と
なる。

【００４８】カメラ視野Ｗ：被検査面移動方向における
カメラ視野の大きさ。例えば、ｔ＝０．１［ｓ］、ｖ＝
１００［ｍｍ／ｓ］、Ｌ＝５１２［画素］、Ｗ＝１２０
［ｍｍ］とすると、ｄ２＝４２．７［画素］となる。

【００４９】なお、上記移動画素数ｄ２の算出方法は、
本実施例に限定されるものではない。

【００５０】次に、図５のステップＳ１０において、上
記移動量ｄ１，ｄ２に基づいて、各欠陥候補領域が本物
の欠陥かどうかを判定する。つまり、時系列に処理され
た２つの画像からボディ１の移動に同期した移動物体を
検出するものであり、ボディ１と同じ動きをする領域は
欠陥、ボディ１の移動と一致しないものは欠陥ではない
（すなわち、ノイズ）、と判定する。

【００５１】例えば、移動量ｄ１，ｄ２が下記のような
条件式（２）を満たすならば、ボディ１の移動とほぼ一
致するので、本物の欠陥である可能性がさらに高いと判
断できる。

【００５２】｜ｄ１−ｄ２｜＜Δｄ・・・（２） Δｄ：誤差を考慮した判定値よって、上記判定処理を時
系列に得られる画像に対してくり返し行い、１つの欠陥
候補において上記一致回数が所定の回数以上であったな
らば、その欠陥候補を欠陥と判定する。例えば、図６の
（ａ）〜（ｆ）に示すように、欠陥が画面に現れてから
通過するまで６回映ったとすると、上記一致回数の判定
値は６回以下となるわけであり、判定値の設定は実験的
に決定すればよい。

【００５３】なお、上記欠陥判定手順は本実施例に限定
されるものではない。

【００５４】そして、図５のステップＳ１０で欠陥と判
定した領域が、所定の範囲内に複数存在するならば、近
接して複数存在する複数近接欠陥であるとステップＳ１
１において判断する。例えば、１台のカメラ視野がｘ×
ｙ＝１５０ｍｍ×１００ｍｍ程度の範囲であるならば、
図７に示すように、ある時刻に複数の領域を同時に欠陥
と判定した場合、それらを複数近接欠陥と判断しても問
題ない範囲である。ここで、上記複数近接欠陥と判定す
る範囲は、後工程の作業者が視線を動かさずに一目で、
近接する複数の欠陥をすべて認識することができる範囲
（すなわち、広さ）であることが望ましく、厳密に、作
業者の視野角と欠陥認識度合いとの関係に基づいて実験
的に決定してもよい。

【００５５】そして、ステップＳ１０で同時刻に複数の
領域を欠陥と判定し、ステップＳ１１でその個数がｎ個
以上であると判定したならば、複数近接欠陥と判断し、
それらの領域の重心座標からステップＳ１２において
ｘ，ｙ座標の平均座標を算出し、ステップＳ１３におい
て上記平均座標に存在する１つの欠陥として欠陥リスト
にメモリする。ここで、面積は、複数の欠陥を１つの欠
陥としてメモリしたことを表すために、所定の値を書き
込んでおけばよい。

【００５６】このように、複数の欠陥をそれらの平均的
な座標位置にある１つの欠陥とすることにより、データ
量が減少し、後述する欠陥表示処理に関する処理時間や
データ通信時間が短くなり、この結果、検査全体にかか
る時間を短縮することができる。

【００５７】また、上記処理の結果、欠陥と判定されな
かったが、まだ欠陥である可能性がある欠陥候補領域
は、ステップＳ１４において保留リストとして次回の画
像データと処理するためにメモリする。

【００５８】次に、ステップＳ１５において、センサー
（図示せず）からの検査開始／終了情報を基に判断す
る。

【００５９】このように、ボディ１が通過し終わるまで
上記一連の処理を、図３に示したようにボディ１の全面
を走査するように取り付けられたすべてのカメラ３の画
像に対して繰り返し実行することにより、ボディ１の全
面の欠陥データがメモリされる。つまり、ボディ１が本
実施例の表面欠陥検査装置を通過し終わると同時に、欠
陥検査処理は終了する。

【００６０】なお、上記複数近接欠陥の判定手順は本実
施例に限定されるものではない。

【００６１】次に、表示手段の実施例を図８および図９
に基づいて説明する。

【００６２】上記欠陥検出結果を表示する表示手段（図
示せず）は、すべてのカメラ３に対する欠陥リストデー
タを図８のステップＳ１６において読み込み、そのデー
タから実際の欠陥発生位置をステップＳ１７において算
出する。例えば、図９に示すように、欠陥位置をボディ
展開図に重ねてプリントアウトする場合、プリンタ用紙
上のボディ展開図に合わせたマーキング位置を算出すれ
ばよい。これは、カメラ３とボディ１との相対的な位置
関係が既知であるので、算出可能である。

【００６３】次に、欠陥の面積データに従って、図９に
示すように欠陥のサイズ（Ｍ_１，Ｍ_２，Ｍ_３）を判定
し、ステップＳ１８において表示マークを決定する。こ
こで、複数近接欠陥は、上記のように他の単独に発生す
る欠陥と区別するために面積データが所定の値となって
いるので、図９に示すように複数近接欠陥専用の表示マ
ークＭを選択させる。

【００６４】すべての欠陥の表示マークが決定したなら
ば、ステップＳ１９において所定の表示処理を実行す
る。

【００６５】従来の技術のように、欠陥のサイズ（大き
さ）や個数，種類を判定し、その結果に応じて欠陥表示
マークを設定するという構成では、上記判定にミスがあ
った場合、後工程の作業者を混乱させてしまい、作業性
が低下してしまうという欠点があったが、本発明では、
欠陥のサイズ（大きさ）や個数，種類にかかわらず、欠
陥が単独で発生しているのか、複数が近接して発生して
いるのか、ということを後工程の作業者に知らせること
を本質とするものであるため、後工程の作業性が確実に
向上するという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施形態
を示す機能ブロック図である。

【図２】本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例を
機能ブロック図と共に示す概略平面説明図である。

【図３】本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例を
示す正面説明図である。

【図４】本発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例に
おいて、カメラで映し出された画像の処理による変化を
（ａ）〜（ｃ）に分けて示す説明図である。

【図５】画像処理手段における欠陥候補領域の抽出手順
（Ｓ１〜Ｓ７）ならびに欠陥検出手段および判定手段に
おける欠陥検出および欠陥判定手順（Ｓ８〜Ｓ１５）を
示す説明図である。

【図６】ある時刻ＴからＴ＋５ｔまでの時系列に連続し
て処理した面積判定結果画像の変化を（ａ）〜（ｆ）に
別けて示す説明図である。

【図７】図６に示す面積判定結果画像を重ね合わせた画
像を示す説明図である。

【図８】表示手段における欠陥表示手順（Ｓ１６〜Ｓ１
９）を示す説明図である。

【図９】ボディの展開図に重ねて欠陥位置を表示する状
況を示す説明図である。

【符号の説明】

１被検査体（自動車ボディ）１ａ被検査面２照明手段３撮像手段（カメラ）４画像処理手段５欠陥検出手段６判定手段７コンピュータ

フロントページの続き (56)参考文献特開平８−86634（ＪＰ，Ａ) 特開平８−94333（ＪＰ，Ａ) 特開平５−209844（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の被検査面に光を照射し、被検
査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受
光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥
検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを形
成する照明手段と、被検査面を撮像して得られる受光画
像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、画像
データにおける空間周波数成分のうち高い周波数成分で
かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥の候補として
抽出してその欠陥候補領域の面積および重心座標を算出
する画像処理手段と、被検査面もしくは照明手段および
撮像手段のいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎
に上記画像処理手段により所定の処理を時系列に連続し
て実行してそこで得られる上記欠陥候補領域が上記被検
査面もしくは照明手段および撮像手段の移動と所定の条
件で適合するか否かを判定して所定の回数以上適合した
場合に上記欠陥候補領域を欠陥と判断する欠陥検出手段
と、欠陥検出手段において任意の時刻に同時にかつ所定
の範囲内に複数の欠陥候補領域を欠陥と判断した場合に
それら複数の欠陥の平均的な位置を算出してそれら複数
の欠陥を上記平均的な位置の１つの欠陥として判定する
判定手段と、欠陥検出結果に基づいて欠陥発生位置を表
示処理する場合に、上記複数の欠陥を１つの欠陥として
判定したことを表す表示マークと、他の欠陥を表す表示
マークとが異なる表示手段を備えたことを特徴とする表
面欠陥検査装置。
【請求項２】表示手段が、欠陥検出結果に基づいて欠
陥のサイズを判定し、そのサイズに応じて表示マークを
決定する手段であることを特徴とする請求項１に記載の
表面欠陥検査装置。