JP3176664U - 常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置 - Google Patents

常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3176664U
JP3176664U JP2012002263U JP2012002263U JP3176664U JP 3176664 U JP3176664 U JP 3176664U JP 2012002263 U JP2012002263 U JP 2012002263U JP 2012002263 U JP2012002263 U JP 2012002263U JP 3176664 U JP3176664 U JP 3176664U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paint
substrate
atomizing
carrier
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012002263U
Other languages
English (en)
Inventor
徐▲逸▼明
陳▲彦▼政
▲黄▼世明
葉俊嘉
陳▲ぺい▼菱
林仕軒
Original Assignee
馗鼎奈米科技股▲分▼有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 馗鼎奈米科技股▲分▼有限公司 filed Critical 馗鼎奈米科技股▲分▼有限公司
Application granted granted Critical
Publication of JP3176664U publication Critical patent/JP3176664U/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4486Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by producing an aerosol and subsequent evaporation of the droplets or particles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45595Atmospheric CVD gas inlets with no enclosed reaction chamber
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54Apparatus specially adapted for continuous coating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】フィルムを、高速且つ均一に大量な基板の表面に塗布可能な、常圧フィルム塗布装置及びフィルム製造装置を提供する。
【解決手段】常圧フィルム塗布装置は、輸送装置102と、霧化装置124と、を備える。輸送装置102は、少なくとも1つの基板120を輸送するのに好適である。霧化装置124は、防汚塗料溶液112を複数の防汚塗料蒸気分子にガス化して、少なくとも1つの基板120の正面方向以外の方向へ、間接に少なくとも1つの基板120の表面に堆積させることに用いられる。
【選択図】図2

Description

(関連出願)
本出願は、2011年4月21日出願された台湾出願No.100207065の優先権を主張し、その出願を引用の方式で本文に編入した。
本考案は、塗布装置に関し、特に、常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置に関する。
ポータブル電子装置が次第に普及しているため、ポータブル電子装置の外表面の保護に対する要求が高まっている。現在、電子装置の外表面を保護するために、防汚フィルムなどのフィルムを電子装置の外表面に塗布することは、一般的である。一般に、表面をカバーするフィルムは、良い防汚性、防指紋性、平滑性、防水性、疎油性及び透明性を有する。また、フィルムの使用寿命を延長するために、フィルムは、装置の外表面に対して高い付着力を持たなければならない。
繰り返してタッチされたり摩擦されても、良い表示品質及び操作感度を保持可能にするように、例としては、通常のタッチ式電子装置のタッチパネルの表面に、一般に、防指紋フィルムが塗布されている。
現在、フィルムを基板の表面に塗布するには、4つの主要な方法がある。第1は、真空蒸着法である。この方法では、真空チャンバーにおいて、基板の下方で塗料を加熱し、それをガス化して、上昇させて基板の下表面に付着させ、フィルムを形成する。しかしながら、塗布方法によれば、蒸着チャンバーを真空化する必要があるため、工程の時間が増え、生産性が低いだけでなく、連続的な蒸着を要する基板の表面にも不適当である。
第2は、浸漬塗布法である。この方法では、基板を防汚塗料溶液に浸入することによって、前記基板を取り出した後、前記基板に塗料が塗布されているようにする。しかしながら、連続基板(continuous substrate)の塗布に対して、必要な装置は巨大であるため、連続基板にも不適当である。
第3は、噴霧塗布法である。この方法では、フィルムを形成するように、防汚塗料を直接に基板の表面へ噴射する。しかしながら、塗料噴霧は、殆ど、まだガス化されていないうちに、基板の表面と接触してしまうため、小滴は、基板の表面に垂らされてしまう。結果として、塗布されたフィルムが非常に不均一になる。
第4は、フィルムをブラシによって直接に基板の表面に塗布する刷毛塗り法である。しかしながら、この塗布法は、一般に、隣接する2つの塗り領域の間で、重複塗布することとなり、フィルムが非常に不均一になってしまう。
そこで、フィルムを、高速且つ均一に大量な基板の表面に塗布可能な装置が望まれている。
そこで、本考案の一態様は、常圧環境でフィルムを塗布でき、大幅な生産性向上を実現可能な常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置を提供する。
本考案のさらに他の態様は、フィルムを、効果的に連続基板に塗布可能な常圧フィルム塗布装置を提供する。
本考案のさらに他の態様は、フィルムを、高速且つ均一に大量な基板の表面に塗布可能な常圧フィルム塗布装置を提供する。
前記態様によると、本考案は、輸送装置と、霧化装置と、を備える常圧フィルム塗布装置を提供する。輸送装置は、少なくとも1つの基板を輸送するのに好適である。霧化装置は、防汚塗料溶液を複数の防汚塗料蒸気分子にガス化して、少なくとも1つの基板の正面方向以外の方向へ、間接に少なくとも1つの基板の表面に堆積させることに用いられる。
本考案の一実施例によると、常圧フィルム塗布装置は、少なくとも1つの基板及び霧化装置をカバーするのに好適な保護カバーを更に備える。保護カバーと輸送装置は、閉鎖空間又は半閉鎖空間を画定する。
本考案のさらに他の実施例によると、霧化装置は、防汚塗料溶液を運ぶのに好適な、少なくとも1つの塗料キャリアと、少なくとも1つの塗料キャリアに配置され、且つ防汚塗料溶液を防汚塗料蒸気分子にガス化するのに好適な、少なくとも1つの霧化素子と、を含む。
本考案のさらに他の実施例によると、少なくとも1つの霧化素子は、超音波霧化振動片、加熱蒸着霧化素子、高圧気体ジェット素子、又はノズル霧化素子を包含してよい。
本考案のさらに他の実施例によると、少なくとも1つの霧化素子は、少なくとも1つの塗料キャリアの最上部に設けられ、且つ霧化装置は、防汚塗料溶液を少なくとも1つの霧化素子に誘導するのに好適な少なくとも1つの塗料伝導素子を含む。
本考案のさらに他の実施例によると、少なくとも1つの塗料キャリアは、複数の塗料キャリアを包含し、且つ少なくとも1つの霧化素子は、塗料キャリアに配置される1つの単一霧化素子を包含する。
本考案のさらに他の実施例によると、少なくとも1つの塗料キャリアは、1つの単一塗料キャリアを包含し、且つ少なくとも1つの霧化素子は、塗料キャリアに設けられる複数の霧化素子を包含する。
本考案のさらに他の実施例によると、輸送装置は、少なくとも1つの基板を運ぶのに好適なキャリアを含む。
前記目的によると、本考案は、フィルム製造装置を更に提供する。そのフィルム製造装置は、輸送装置と、プラズマ装置と、常圧塗布装置と、を備える。輸送装置は、少なくとも1つの基板を輸送するのに好適である。プラズマ装置は、輸送装置の最上部に設けられ、少なくとも1つの基板の表面における表面活性化処理を実行するのに好適である。常圧塗布装置は、プラズマ装置に隣接する。常圧塗布装置は、防汚塗料溶液を複数の防汚塗料蒸気分子にガス化して、少なくとも1つの基板の表面の正面方向以外の方向へ、間接に前記のように活性化された少なくとも1つの基板の表面に堆積させてフィルムを形成する霧化装置を含む。
本考案の一実施例によると、フィルムの製造装置は、少なくとも1つの基板及び霧化装置をカバーするのに好適な保護カバーを更に備える。保護カバーと輸送装置は、閉鎖空間又は半閉鎖空間を画定する。
本考案のさらに他の実施例によると、霧化装置は、防汚塗料溶液を運ぶのに好適な、少なくとも1つの塗料キャリアと、少なくとも1つの塗料キャリアに配置され、且つ防汚塗料溶液を防汚塗料蒸気分子にガス化するのに好適な、少なくとも1つの霧化素子と、を含む。
本考案のさらに他の実施例によると、プラズマ装置は、常圧プラズマ装置、低圧プラズマ装置又は電磁結合プラズマ装置である。
本考案のさらに他の実施例によると、常圧塗布装置は、少なくとも1つの塗料キャリアが受け取った防汚塗料溶液の量を検知するのに好適な、塗料量センサを含む。
添付図面に合わせて、下記詳細な説明を参照することで、本考案の前記態様及び付随する利点中の多くをよりよく理解できるので、本考案の前記態様及び付随する利点中の多くをより分かりやすくなる。
本考案の実施例による常圧フィルム塗布装置の霧化装置を示す模式図である。 図1に示した常圧フィルム塗布装置の取り付けを示す模式図である。 本考案の実施例によるフィルム製造装置を示す模式図である。
図1は、本考案の実施例によるフィルムの常圧塗布装置の霧化装置を示す模式図であり、図2は、図1に示したフィルムの常圧塗布装置の取り付け状態を示す模式図である。例えば、防汚フィルム、ITOフィルム及びPEDOT:PSSフィルムの製造に、本実施例の常圧フィルム塗布装置100を適用してもよい。
本実施例において、図2に示すように、常圧塗布装置100は、主に、輸送装置102と、霧化装置124と、を備える。ある実施例において、図1に示すように、霧化装置124は、1つ以上の塗料キャリア106と、1つ以上の霧化素子108と、を含んでよい。図2に示すように、輸送装置102は、1つ以上の基板120を輸送することに用いられる。図2に示した例示的な実施例において、輸送装置102は、キャリア104を含んでよく、且つ基板120はキャリア104に置かれて、輸送装置102によって輸送されてもよい。基板120としては、例えば、保護ガラス、プラスチック基板、強化ガラス、又は金属基板でもよい。霧化装置124は、防汚塗料溶液112を霧化して、基板120の正面方向以外の方向へ噴霧することに用いられる。
一実施例において、図3に示すように、防汚塗料溶液112は、方向152へガス化され、且つ方向152と基板120の重力方向150との間の夾角θは、10度〜180度でもよい。さらに他の実施例において、方向152と基板120の重力方向150との間の夾角θは、100度〜170度でもよい。
さらに他の実施例において、図3に示すように、輸送装置102aは、キャリア104aと、若干のローラー122と、を含む。ローラー122は、キャリア104aを駆動できるように、キャリア104aの下方に配置される。さらに他の実施例において、基板は、連続基板であってもよく、且つ輸送装置は、霧化装置124の前後の2つの側面に配置される2つのローラーで、連続基板をサポートして前向きに駆動する、連続基板を駆動可能な輸送装置であってもよい。この場合、基板を運ぶための輸送ストラップを必要としない。
再び、図1を参照する。塗料キャリア106のそれぞれは、防汚塗料溶液112を運ぶことができる。また、図2に示すように、塗料キャリア106は、基板120の上方に配置される。防汚塗料溶液112は、防汚塗料及び溶剤を包含してもよい。一実施例において、防汚フィルムを塗布する場合、防汚塗料分子含有防汚塗料溶液112を使用する。防汚塗料分子は、F‐C‐Si炭化水素化合物、パーフルオロカーボン‐Si(PFC‐Si)炭化水素化合物、F‐C‐Siアルカン系化合物、PF‐Siアルカン系化合物、またはPF‐Siアルキルエーテル系化合物を含んでよい。さらに他の実施例において、ITOフィルムを塗布する場合、防汚塗料溶液112としては、インジウム及びスズ前駆体含有溶液を使用する。さらに他の実施例において、PEDOT:PSSフィルムを塗布する場合、防汚塗料溶液112としては、PEDOT:PSS分子含有溶液を使用する。
また、防汚塗料溶液112の溶剤は、例えば、高揮発性液体、水、又は高揮発性液体及び水の混合物からなる液体を含んでよい。高揮発性液体は、室温で液体状態となり、安定した化学構造、高揮発性及び低沸点を持ち、無色透明、且つ生物に対する明確な有害性を持たない。実施例において、室温で、高揮発性液体の蒸気圧は、水の蒸気圧より大きく、且つアルコール、エーテル、アルカン、ケトン、ベンゼン、フッ素含有アルコール、フッ素含有エーテル、フッ素含有アルカン、フッ素含有ケトン、フッ素含有ベンゼンからなる群から選ばれてよい。
霧化素子108は、基板120の上方で防汚塗料溶液112を霧化するように、塗料キャリア106の片側の最上部に配置される。霧化素子108により処理された後、防汚塗料溶液112は、防汚塗料溶液からなる霧に霧化されることができる。その後、防汚塗料溶液からなる霧における溶剤が高速に揮発し、且つ防汚塗料蒸気分子にガス化される。例えば、霧化素子108としては、超音波霧化振動片、加熱蒸着霧化素子、高圧気体ジェット素子、又はノズル霧化素子でもよい。本実施例において、図1及び図2に示すように、霧化素子108は、超音波霧化振動片である。
図1及び図2に示した実施例において、霧化装置124は、少なくとも1つの塗料伝導素子110を含んでもよい。防汚塗料溶液112を塗料キャリア106から霧化素子108に伝送するように、塗料伝導素子110は、塗料キャリア106における防汚塗料溶液112と霧化素子108との間に接続される。塗料伝導素子110としては、例えば、コットンシルバー又は伝導パイプでもよい。さらに他の実施例において、霧化素子108は、防汚塗料溶液112に浮いてもよく、且つ霧化装置124は、塗料伝導素子を含まなくてよい。
図1及び図2に示した実施例において、霧化装置124は、複数の塗料キャリア106と、複数の霧化素子108と、複数の塗料伝導素子110と、を含む。霧化装置124において、塗料キャリア106のそれぞれに、一つの霧化素子108及び一つの塗料伝導素子110が相応的に配備されている。
しかしながら、さらに他の例示的な実施例において、霧化装置は、複数の塗料キャリアと、これらの塗料キャリアに配置される1つの単一霧化素子と、を含んでもよい。塗料キャリアに含まれる防汚塗料溶液を、それぞれの塗料伝導素子を介して霧化素子に伝送することができる。次に、霧化素子を介して、全ての塗料キャリアに含まれる防汚塗料溶液を霧化することができる。
さらに他の実施例において、霧化装置は、1つの単一塗料キャリアと、塗料キャリアに配置される複数の霧化素子と、を含んでもよい。塗料キャリアに含まれる防汚塗料溶液を、1つ以上の塗料伝導素子を介してそれぞれの霧化素子に伝送することができる。次に、霧化素子を介して、塗料キャリアに含まれる防汚塗料溶液を霧化することができる。
再び、図1を参照する。プロセスにおける必要があれば、霧化装置124は、塗料供給タンク114を含んでよい。塗料供給タンク114は、輸送管116を介して、防汚塗料溶液112を全ての塗料キャリア106に供給することができる。また、霧化装置124において、連通管の原理により、全ての塗料キャリア106における防汚塗料溶液の液面高さは、実質的に同一である。そこで、図1に示すように、さらに他の実施例において、実際の要求によると、常圧塗布装置100は、塗料キャリア106の受け取った防汚塗料溶液112の量を検知するように、塗料キャリア106の一つに配置される塗料量センサ126を含んでよい。塗料量センサ126より検知された量情報を、常圧塗布装置100の外表面に配置される表示装置に直接表示したり、オンライン作業者による塗料キャリア106における防汚塗料溶液112の量の監視のために、伝送線路によってモニタシステムに伝送してもよい。
本実施例において、若干の霧化装置124を使用して、輸送装置102に載せられた行、列又はアレイに配列された若干の基板124に対して、同時にフィルムを塗布してもよい。また、本考案において、常圧でフィルムの塗布を実行することによって、防汚塗料を、基板120の表面に大量、高速、効果的且つ均一に塗布することができる。
再び、図2を参照する。実施例において、常圧塗布装置100は、保護カバー118を更に備えてもよい。保護カバー118は、輸送装置102の一部をカバーし、且つ輸送装置102のキャリア104と、反応チャンバー132を画定することができる。また、保護カバー118は、輸送装置102のカバーされた部分における基板120及び霧化装置124をカバーし、前記霧化装置124は、塗料キャリア106と、霧化素子108と、塗料伝導素子110と、を含む。連続基板の場合、保護カバーと基板のカバーされた部分が、直接に反応チャンバーを画定することができることに、注意すべきである。一例示的な実施例において、保護カバー118と輸送装置102は、閉鎖空間を画定する。さらに他の例示的な実施例において、保護カバー118と輸送装置102は、半閉鎖空間を画定する。
図2に示すように、保護カバー118の側壁は、開口134を有してもよい。霧化装置124が保護カバー118の開口134を介して、保護カバー118内の反応チャンバー132に入ることができるように、保護カバー118の開口134を、面積が塗料キャリア106の側面よりやや大きくなるようにしてもよい。
一実施例において、霧化装置124は、ヒーター130を更に含んでよい。ヒーター130は、保護カバー118の表面上、又は反応チャンバー132内の輸送装置102上のような、反応チャンバー132内に配置される。ヒーター130は、防汚塗料溶液からなる霧から防汚塗料蒸気分子への転化を速めるように、霧化素子108で形成する防汚塗料溶液からなる霧を加熱してもよい。例としては、防汚塗料溶液112の溶剤が、高揮発性を持たない液体である水又はその他の液体である場合、ヒーター130を、防汚塗料溶液からなる霧から防汚塗料蒸気分子への転化を促進するために用いることができる。
さらに他の実施例において、プロセスにおける必要があれば、霧化装置124は、対流装置128を更に含んでもよい。同様に、対流装置128は、保護カバー118の表面上、又は反応チャンバー132内の輸送装置102上などの、反応チャンバー132内に配置されてもよい。防汚塗料蒸気分子が基板120に堆積する前、対流装置128は、反応チャンバー132内の防汚塗料蒸気分子をより均一に分配することができる。対流装置128を使用することで、フィルムをより均一に形成することができ、且つ常圧塗布装置100によって、フィルムを三次元構造の多種の表面にうまく塗布することができる。
プラズマ装置を使用する場合、本実施例の常圧塗布装置を使用してフィルムを塗布することができる。図3は、本考案の実施例によるフィルム製造装置を示す模式図である。常圧塗布装置100のほか、フィルム製造装置138は、プラズマ装置136を更に備える。実施例において、常圧塗布装置100及びプラズマ装置136は、共同で輸送装置102aを使用してもよい。しかしながら、さらに他の実施例において、常圧塗布装置100及びプラズマ装置136は、異なる輸送装置を使用して被処理基板を輸送してもよい。常圧塗布装置100及びプラズマ装置136のいずれも、輸送装置102aの上に配置される。基板120がプラズマ装置136によって処理された後、遅滞なくフィルムを常圧で基板120に塗布可能にするように、常圧塗布装置100を、プラズマ装置136に隣接させる。
プラズマ装置136は、プラズマ144を発生するために用いられる。プラズマ144は、基板120の表面を活性化するように、基板120の表面に対して洗浄及び表面変性処理を実行するために用いられる。一実施例において、プラズマ144により活性化された後、基板120の表面で複数の官能基を形成することができる。一実施例において、プラズマ装置136は、窒素ガス、アルゴン、酸素ガス及び空気のような処理ガスを利用して、プラズマ144を発生することができる。プラズマ144により表面処理された後、基板120の表面で形成された官能基が、例えば、ヒドロキシル官能基、窒化水素官能基(hydronitrogen functional groups)、及び/又は防汚塗料蒸気分子と結合可能な官能基又はダングリングボンドを含んでよい。
一実施例において、常圧プラズマ又は低圧プラズマを形成して、基板120の表面に対して洗浄及び表面変性処理を実行するように、プラズマ装置136は、常圧プラズマ装置、低圧プラズマ装置又は電磁結合プラズマ装置でもよい。常圧プラズマは、常圧プラズマジェット(又はプラズマトーチ)、誘電体バリア放電(dielectric barrier discharge;DBD)プラズマ、又は常圧グロー放電プラズマであってもよく、且つ低圧プラズマは、真空プラズマでもよい。本実施例において、工程の時間を低減させるために、常圧プラズマで行う基板120の表面に対する洗浄及び活性化、及びそれに続く常圧塗布処理を順番に実行することに注意すべきである。
製造装置138がフィルムの塗布に用いられる場合、1つ以上の基板120を輸送装置102aに配置してもよい。プラズマ装置136によって発生されたプラズマ144は、基板120の表面を活性化し、且つ基板120の表面で複数の官能基を形成するように、まず、基板120の表面に対して洗浄及び表面変性処理を実行することに用いられる。
次に、常圧環境において、常圧塗布装置100の霧化装置124は、基板120の上方で防汚塗料溶液からなる霧140を形成するために、反応チャンバー132内において、基板120の表面の上方で防汚塗料溶液112を霧化することに用いられる。霧化装置124の霧化素子108が、防汚塗料溶液112の霧化に用いられる場合、高揮発性溶剤により、大きな分子の防汚塗料を移動できるため、防汚塗料溶液112の霧化を促進して、防汚塗料溶液からなる霧140に転化させることができる。その後、防汚塗料溶液からなる霧140における溶剤が高速で揮発し、防汚塗料溶液からなる霧140をガス化して、防汚塗料蒸気分子142を形成することになる。
防汚塗料溶液112が反応チャンバー132内で霧化されたりガス化された後、防汚塗料溶液からなる霧140は、反応チャンバー132内で拡散する。防汚塗料溶液からなる霧140における溶剤が揮発しやすく、且つ防汚塗料の分子が大きいため、反応チャンバー132内で拡散した防汚塗料溶液からなる霧140がガス化され、溶剤が揮発した後、防汚塗料蒸気分子142を形成する。防汚塗料蒸気分子142は、基板120の表面へ落ちて堆積し、基板120の表面にフィルムを形成する。
霧化された防汚塗料溶液112を基板120に間接的に噴霧することによって、防汚塗料溶液からなる霧140における溶剤のために十分な揮発時間を提供することができ、且つ噴霧された防汚塗料溶液からなる霧140のために十分な拡散距離を提供することもでき、更にフィルム塗布の均一性を高めることができる。
実施例において、活性化された後、基板120の表面が官能基を有するため、防汚塗料溶液からなる霧140における防汚塗料分子は、異方的に基板120の表面に付着して、且つ基板120の表面における官能基と縮合反応を起こす。結果としては、形成したフィルムと基板120の表面との間に強い付着力を形成する。ある実施例において、フィルムは、防汚フィルム、ITOフィルム、又はPEDOT:PSSフィルムでもよい。PEDOT:PSSフィルムは、一般に、有機発光ダイオード(OLED)、又は有機太陽電池中に用いられる。
ITOフィルムを塗布する実施例において、インジウム及びスズ前駆体含有防汚塗料蒸気分子142が基板120の表面に堆積した後、インジウム及びスズ前駆体を反応させてITOフィルムを形成するように、加熱、プラズマ、又はレーザーによって、基板120の表面にプレコートされたインジウム及びスズ前駆体にエネルギーを提供してよい。
前記実施例より、本考案の1つの利点は、常圧フィルム塗布装置及びフィルム製造装置が、常圧環境でフィルムを塗布できるため、フィルムを基板に高速に塗布することができることである。
前記実施例より、本考案のさらに他の利点は、常圧フィルム塗布装置及びフィルム製造装置が、フィルムを大量な基板に同時に塗布できるため、フィルムの生産性を著しく向上させることができることである。
前記実施例より、本考案のさらに他の利点は、常圧フィルム塗布装置及びフィルム製造装置が、フィルムを連続基板に効果的且つ均一に塗布することができることである。
当業者が理解できるように、本考案の前記好ましい実施例は、本考案を限定するものではなく、説明するためのものである。本考案は、添付した実用新案登録請求の範囲の精神と範囲に含まれる多様な修正及び類似した配置を包含することが意図されている。前記修正及び類似した構造の全体を含むように、前記添付した実用新案登録請求の範囲には、最も幅広い解釈が与えられるべきである。
100 常圧フィルム塗布装置、102、102a 輸送装置、104、104a キャリア、106 塗料キャリア、108 霧化素子、110 塗料伝導素子、112 防汚塗料溶液、114 塗料供給タンク、116 輸送管、118 保護カバー、120 基板、122 ローラー、124 霧化装置、126 塗料量センサ、128 対流装置、130 ヒーター、132 反応チャンバー、134 開口、136 プラズマ装置、138 フィルム製造装置、140 防汚塗料溶液からなる霧、142 防汚塗料蒸気分子、144 プラズマ、150 重力方向、152 方向、θ 夾角

Claims (20)

  1. 少なくとも1つの基板を輸送する輸送装置と、
    防汚塗料溶液を複数の防汚塗料蒸気分子にガス化して、前記少なくとも1つの基板の正面方向以外の方向へ、間接に前記少なくとも1つの基板の表面に堆積させることに用いられる霧化装置と、
    を備える常圧フィルム塗布装置。
  2. 前記少なくとも1つの基板及び前記霧化装置をカバーする保護カバーを更に備え、そのうち、前記保護カバーと前記輸送装置は、閉鎖空間又は半閉鎖空間を定める請求項1に記載の常圧フィルム塗布装置。
  3. 前記霧化装置は、
    防汚塗料溶液を運ぶ、少なくとも1つの塗料キャリアと、
    前記少なくとも1つの塗料キャリアに配置され、且つ前記防汚塗料溶液を前記防汚塗料蒸気分子にガス化する、少なくとも1つの霧化素子と、を含む請求項1に記載の常圧フィルム塗布装置。
  4. 前記少なくとも1つの霧化素子は、超音波霧化振動片、加熱蒸着霧化素子、高圧気体ジェット素子、又はノズル霧化素子を包含する請求項3に記載の常圧フィルム塗布装置。
  5. 前記少なくとも1つの霧化素子は、前記少なくとも1つの塗料キャリアの最上部に配置され、且つ前記霧化装置は、前記防汚塗料溶液を前記少なくとも1つの霧化素子に誘導する少なくとも1つの塗料伝導素子を更に含む請求項3に記載の常圧フィルム塗布装置。
  6. 前記少なくとも1つの塗料キャリアは、複数の塗料キャリアを包含し、且つ前記少なくとも1つの霧化素子は、前記塗料キャリアに配置される1つの単一霧化素子を包含する請求項3に記載の常圧フィルム塗布装置。
  7. 前記少なくとも1つの塗料キャリアは、1つの単一塗料キャリアを包含し、且つ前記少なくとも1つの霧化素子は、前記塗料キャリアに配置される複数の霧化素子を包含する請求項3に記載の常圧フィルム塗布装置。
  8. 前記輸送装置は、前記少なくとも1つの基板を運ぶキャリアを更に含む請求項1に記載の常圧フィルム塗布装置。
  9. 前記方向と前記少なくとも1つの基板の重力方向との間の夾角は、10度〜180度である請求項1に記載の常圧フィルム塗布装置。
  10. 前記方向と前記少なくとも1つの基板の重力方向との間の夾角は、100度〜170度である請求項1に記載の常圧フィルム塗布装置。
  11. 少なくとも1つの基板を輸送するのに好適な輸送装置と、
    前記輸送装置の上に配置され、前記少なくとも1つの基板の表面における表面活性化処理を実行するプラズマ装置と、
    前記プラズマ装置に隣接し、防汚塗料溶液を複数の防汚塗料蒸気分子にガス化して、前記少なくとも1つの基板の前記表面の正面方向以外の方向へ、間接に前記少なくとも1つの基板の前記表面に堆積させることに用いられる霧化装置を含む常圧塗布装置と、
    を備えるフィルム製造装置。
  12. 前記少なくとも1つの基板及び前記霧化装置をカバーする保護カバーを更に備え、そのうち、前記保護カバーと前記輸送装置は、閉鎖空間又は半閉鎖空間を定める請求項11に記載のフィルム製造装置。
  13. 前記霧化装置は、
    防汚塗料溶液を運ぶ、少なくとも1つの塗料キャリアと、
    前記少なくとも1つの塗料キャリアに配置され、且つ前記防汚塗料溶液を前記防汚塗料蒸気分子にガス化する、少なくとも1つの霧化素子と、を含む請求項11に記載のフィルム製造装置。
  14. 前記少なくとも1つの霧化素子は、超音波霧化振動片、加熱蒸着霧化素子、高圧気体ジェット素子、又はノズル霧化素子を包含する請求項13に記載のフィルム製造装置。
  15. 前記少なくとも1つの霧化素子は、前記少なくとも1つの塗料キャリアの最上部に配置され、且つ前記霧化装置は、前記防汚塗料溶液を前記少なくとも1つの霧化素子に伝送する少なくとも1つの塗料伝導素子を更に含む請求項13に記載のフィルム製造装置。
  16. 前記少なくとも1つの塗料キャリアは、複数の塗料キャリアを包含し、且つ前記少なくとも1つの霧化素子は、前記塗料キャリアに配置される1つの単一霧化素子を包含する請求項13に記載のフィルム製造装置。
  17. 前記少なくとも1つの塗料キャリアは、1つの単一塗料キャリアを包含し、且つ前記少なくとも1つの霧化素子は、前記塗料キャリアに配置される複数の霧化素子を包含する請求項13に記載のフィルム製造装置。
  18. 前記常圧塗布装置は、前記少なくとも1つの塗料キャリアの受け取た前記防汚塗料溶液の量を検知する、塗料量センサを更に含む請求項13に記載のフィルム製造装置。
  19. 前記プラズマ装置は、常圧プラズマ装置、低圧プラズマ装置又は電磁結合プラズマ装置である請求項11に記載のフィルム製造装置。
  20. 前記方向と前記少なくとも1つの基板の重力方向との間の夾角は、10度〜180度である請求項11に記載のフィルム製造装置。
JP2012002263U 2011-04-21 2012-04-17 常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置 Expired - Fee Related JP3176664U (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW100207065 2011-04-21
TW100207065U TWM415754U (en) 2011-04-21 2011-04-21 Atmospheric evaporation device and manufacturing apparatus of anti-smudge film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP3176664U true JP3176664U (ja) 2012-06-28

Family

ID=46448106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012002263U Expired - Fee Related JP3176664U (ja) 2011-04-21 2012-04-17 常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20120266818A1 (ja)
JP (1) JP3176664U (ja)
TW (1) TWM415754U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017038037A (ja) * 2015-08-13 2017-02-16 馗鼎奈米科技股▲分▼有限公司 金属配線の製造方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103608484B (zh) * 2011-04-20 2016-06-22 Oled工厂有限责任公司 用于气相沉积应用的测量设备和方法
TWI564411B (zh) * 2013-03-19 2017-01-01 財團法人工業技術研究院 蒸鍍設備與蒸鍍方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19803240A1 (de) * 1998-01-28 1999-07-29 Voith Sulzer Papiertech Patent Farbvorhang-Auftragsvorrichtung
JP3349953B2 (ja) * 1998-05-25 2002-11-25 シャープ株式会社 基板処理装置
US6841006B2 (en) * 2001-08-23 2005-01-11 Applied Materials, Inc. Atmospheric substrate processing apparatus for depositing multiple layers on a substrate
US20110195187A1 (en) * 2010-02-10 2011-08-11 Apple Inc. Direct liquid vaporization for oleophobic coatings

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017038037A (ja) * 2015-08-13 2017-02-16 馗鼎奈米科技股▲分▼有限公司 金属配線の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20120266818A1 (en) 2012-10-25
TWM415754U (en) 2011-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101357069B1 (ko) 대기 필름 코팅법
CN102747327B (zh) 抗污薄膜的常压蒸镀方法、常压蒸镀装置与制作设备
CN101351868B (zh) 使用涂覆工艺雾化材料的方法
CN102712529B (zh) 具有防污表面的玻璃制品及其制造方法
CN101263565A (zh) 成膜装置及成膜方法
JP3176664U (ja) 常圧フィルム塗布装置及びそれを用いたフィルム製造装置
CN101023499A (zh) 透明导电膜
WO2010125926A1 (ja) 防汚性積層体
US20100126227A1 (en) Electrostatically depositing conductive films during glass draw
US20090214770A1 (en) Conductive film formation during glass draw
TWI431137B (zh) 薄膜之蒸鍍方法
KR20160103611A (ko) 증착 장치
WO2013094232A1 (ja) 薄膜成膜装置、薄膜成膜方法および薄膜太陽電池の製造方法
TWI573170B (zh) 抗汙膜之鍍膜模組、鍍膜系統及製造方法
JP5012745B2 (ja) ハードコート層付積層体
KR20120007713U (ko) 대기 필름 코팅 디바이스 및 필름 제조 장치
JP2009279778A (ja) ハードコート層付積層体
TWM426599U (en) Evaporating apparatus of film
TWI464055B (zh) 薄膜之製造方法
TWM452963U (zh) 抗汙膜之鍍膜設備
JP5482651B2 (ja) ハードコート層付積層体
JP4969787B2 (ja) 成膜装置および成膜方法
JP2014005502A (ja) 薄膜成膜方法
JP2008119634A (ja) 成膜装置
JP2003306774A (ja) プラズマ放電処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150606

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees