JP3134742B2 - 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、塗布液の塗布装
置および塗布方法に係わり、特に平坦な枚葉部材の上面
に塗布液を吐出して均一な厚みの塗膜を形成するカラー
液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造に適した塗
布装置および塗布方法、並びに、これら装置および方法
を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法に関
する。

【０００２】

【関連する背景技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラ
ーフィルタは、ガラス基板上に３原色の細かな格子模様
を有しており、このような格子模様はガラス基板上に黒
色の塗膜を形成した後、赤、青、緑の３原色に塗り分け
て得られる。それゆえ、カラーフィルタの製造には、ガ
ラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を塗布して塗膜を
形成するための塗布工程が不可欠となる。この種の塗布
工程には従来、塗布装置としてスピナー、バーコータあ
るいはロールコータが使用されていたが、塗布液の消費
量を削減し、また、塗膜の物性を向上する上で、近年に
至ってはダイコータの使用が検討されている。

【０００３】ダイコータは塗布液を吐出する塗布器いわ
ゆるスリットダイを備えており、このスリットダイはた
とえば特開平2-164480号公報、特開平6-154687号公報に
それぞれ開示されている。これら公知のスリットダイは
いずれもフィルムやテープなどの可撓性を有したウエブ
に塗布液を塗布するためのものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】公知のスリットダイは
ウエブの撓みを利用して、その一方の面に塗布液を吐出
するものとなっているため、ガラス基板のような硬い枚
葉部材には適用することができない。また、カラーフィ
ルタの製造には、ガラス基板上に形成される塗膜を均一
な膜厚に制御する必要があるが、公知のスリットダイを
単に利用しただけでは塗膜の膜厚や均一性を所望の範囲
内に維持することができない。

【０００５】この発明は上述した事情に基づいてなされ
たもので、その目的とするところは、被塗布部材がガラ
ス基板のような硬い部材であっても、その被塗布部材の
上面に塗布液が容易に吐出でき、均一な膜厚の塗膜を簡
単にして形成することができる塗布装置および塗布方
法、並びに、これら装置および方法を用いたカラーフィ
ルタの製造装置および製造方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、この発明
によって達成され、請求項１のガラス基板に塗布する塗
布装置は、塗布液を供給する供給手段と、この供給手段
から供給された塗布液を吐出するための一方向に延びる
吐出口を有する塗布器と、この塗布器または被塗布部材
のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備え
ており、そして、請求項１の装置の塗布器は被塗布部材
の相対的な進行方向でみた場合、その進行方向側に位置
するフロントリップと、進行方向とは反対側に位置する
リアリップと、これら両リップ間に形成されるリップ間
隙を有しており、さらに、両リップのそれぞれは、少な
くともリップ間隙を形成する接液面と、この接液面に連
なり被塗布部材と対向するリップ下面を有しているとと
もに、フロントリップ及びリアリップの下端面は同一の
面内にあり、かつ、フロントリップの下端面は進行方向
に沿った長さがリアリップの下端面の進行方向に沿った
長さよりも短く設定され、そして、フロントリップにお
ける下端面の前記進行方向に沿った長さが０．５mm以下
であり、かつ、リアリップにおける下端面の前記長さが
１mm以上となっている。

【０００７】請求項１の塗布装置によれば、その塗布器
に対して被塗布部材を相対的に進行させながら、塗布器
の吐出口から塗布液を吐出すると、塗布器におけるフロ
ントおよびリアリップの下端面と被塗布部材との間に形
成される塗布液の液溜まりは被塗布部材が相対的に進行
しても変動することはなく、そして、この状態で、被塗
布部材の上面に塗布液の塗膜が形成される。つまり、フ
ロントリップの下端面に接する液溜まりの境界線が一定
に維持された状態で、被塗布部材上に塗膜が形成され
る。

【０００８】請求項２の塗布装置は、フロントリップの
下端面の前記長さが０．２mm以下に設定されており、こ
の場合、液溜まりの境界線はフロントリップの下端面に
安定して維持される。

【０００９】なお、リアリップの下端面の長さは４mm以
下に設定されているのが好ましい。この程度の長さがリ
アリップの下端面に確保されていると、リアリップの下
端面と被塗布部材との間の液溜まりに生じるメニスカス
を安定して維持可能となる。請求項３の塗布装置にあっ
ては、フロントリップの前面に傾斜面が形成されてお
り、この傾斜面は吐出口に向けて傾斜しかつそのフロン
トリップの下端面に連なっている。そして、フロントリ
ップの傾斜面はその下端面に対して３０°以上、６０°
以下の角度を有している。この場合、フロントリップの
下端面と被塗布部材との間の液溜まりがフロントリップ
の傾斜面まで回り込むようなことはなく、液溜まりの境
界線はフロントリップの下端面に安定して維持される。
しかも、この場合、フロントリップの下端部は過度に先
細形状とはならず、その下端部の強度も十分に確保され
る。

【００１０】請求項４の塗布装置は、フロントリップと
リアリップとの間の吐出口を形成する間隔が０．０５mm
以上に設定されている。この場合、スリットの流路抵抗
が所望の範囲内に維持され、塗布器の吐出口からはその
長手方向に沿い塗布液が一様に吐出される。

【００１１】請求項５の塗布装置は、カラーフィルタの
製造に適用され、この場合、高品質なカラーフィルタが
得られる。請求項６のカラーフィルタの製造装置は、請
求項１〜５に記載のいずれかの塗布器を用いてカラーフ
ィルタが製造され、この場合、高品質なカラーフィルタ
が得られる。請求項７の塗布方法は、請求項１に記載の
塗布器を使用し、塗布器の吐出口から塗布液を吐出しな
がら塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的に
移動させることにより、被塗布部材に塗膜が形成され、
この場合の作用は、請求項１の塗布装置の場合と同様で
ある。そして、請求項８のカラーフィルタの製造方法
は、請求項７の塗布方法を使用してカラーフィルタを製
造する。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、カラーフィル
タの製造に適用された塗布装置いわゆるダイコータが示
されており、ダイコータは基台２を備えている。基台２
上には一対のガイド溝レール４が設けられており、これ
らガイド溝レール４には、ステージ６が配置され、この
ステージ６の上面はサクション面として構成されてい
る。ステージ６はガイド溝レール４上を水平方向に往復
動自在となっている。詳しくはステージ６の下面からは
一対のスライド脚８が突出されており、これらスライド
脚８が対応するガイド溝レール４に摺動自在に嵌合され
ている。各ガイド溝レール４を構成する外側のプレート
部材４ａは、その上端縁がほぼ直角にして内側に折り曲
げられ、ステージ４のスライド脚８に形成したサイド溝
１０にはめ込まれている。

【００１３】一対のガイド溝レール４間には送り機構を
内蔵したケーシング１２が配置されており、ケーシング
１２はガイド溝レール４に沿って延びている。送り機構
は、図２に示されているようにボールねじからなるフィ
ードスクリュー１４を有しており、フィードスクリュー
１４はステージ６の下面に固定されたナット状のコネク
タ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を貫通して延び
ている。フィードスクリュー１４の両端部は図示しない
軸受に回転自在に支持されており、その一端にはＡＣサ
ーボモータ１８が連結されている。なお、ケーシング１
２の上面にはコネクタ１６の移動を許容する開口が形成
されているが、図１にはその開口が省略されている。

【００１４】基台２の上面にはその一端側に位置してセ
ンサ支柱２０が配置されている。センサ支柱２０は逆Ｌ
字形をなし、その先端は一方のガイド溝レール４の上方
まで延びている。センサ支柱２０の先端には電動型の昇
降アクチュエータ２１が取り付けられており、この昇降
アクチュエータ２１に厚みセンサ２２が下向きして取り
付けられている。厚みセンサ２２としてはレーザ変位
計、電子マイクロ変位計、超音波厚さ計などを使用する
ことができる。

【００１５】さらに、基台２の上面にはセンサ支柱２０
よりも基台２の中央側に位置してダイ支柱２４が配置さ
れており、このダイ支柱２４もまた逆Ｌ字形をなしてい
る。ダイ支柱２４の先端には昇降機構２６が取り付けら
れており、昇降機構２６は図１には詳細に示されていな
いけれども、昇降ブラケットを備えており、この昇降ブ
ラケットは一対のガイドロッドに昇降自在に取り付けら
れている。これらガイドロッド間にはボールねじからな
るフィードスクリューが配置されており、このフィード
スクリューは昇降ブラケットを貫通するようにして、こ
の昇降ブラケットにねじ込まれている。フィードスクリ
ューの上端部はガイドロッドおよびフィードスクリュー
を収容するケーシング２８に軸受を介して回転自在に支
持されており、その上端にはＡＣサーボモータ３０が連
結されている。

【００１６】昇降ブラケットには、コ字形をなしたダイ
ホルダ３２が垂直面内で回転自在に取り付けられてお
り、このダイホルダ３２は一対のガイド溝レール４の上
方をこれらレール４間に亘って水平に延びている。さら
に、昇降ブラケットには、ダイホルダ３２の上方に位置
して水平バー３６が固定されており、この水平バー３６
はダイホルダ３２に沿って延びている。水平バー３６の
両端部には、空圧型の調整アクチュエータ３８がそれぞ
れ取り付けられている。これら調整アクチュエータ３８
は水平バー３６の下面から突出する伸縮可能なロッドを
有しており、これらロッドがダイホルダ３２の両端に当
接されている。

【００１７】ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリ
ットダイ４０が取り付けられている。図２に示されてい
るようにスリットダイ４０からは塗布液の供給ホース４
２が延びており、この供給ホース４２の先端はシリンジ
ポンプ４４の電磁切換え弁４６の供給ポートに接続され
ている。電磁切換え弁４６の吸引ポートからは吸引ホー
ス４８が延びており、この吸引ホース４８の先端部は、
塗布液を蓄えたタンク５０内に挿入されている。

【００１８】シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、
電磁切換え弁４６の切換え作動により供給ホース４２お
よび吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能となって
いる。そして、これら電磁切換え弁４６およびポンプ本
体５２はコンピュータ５４に電気的に接続され、このコ
ンピュータ５４からの制御信号を受けて、それらの作動
が制御されるようになっている。また、コンピュータ５
４は前述した昇降アクチュエータ２１および厚みセンサ
２２もまた電気的に接続されている。

【００１９】さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御
するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた
電気的に接続されている。このシーケンサ５６は、ステ
ージ６側のフィードスクリュー１４のＡＣサーボモータ
１８や、昇降機構２６つまりそのＡＣサーボモータ３０
の作動をシーケンス制御するものであり、そのシーケン
ス制御のために、シーケンサ５６にはＡＣサーボモータ
１８，３０の作動状態を示す信号、ステージ６の移動位
置を検出する位置センサ５８からの信号、スリットダイ
４０の作動状態を検出するセンサ（図示しない）からの
信号などが入力され、一方、シーケンサ５６からはシー
ケンス動作を示す信号がコンピュータ５４に出力される
ようになっている。なお、位置センサ５８を使用する代
わりに、ＡＣサーボモータ１８にエンコーダを組み込
み、このエンコーダから出力されるパルス信号に基づ
き、シーケンサ５６にてステージ６の位置を検出するこ
とも可能である。

【００２０】図示されていないが、ダイコータには、ス
テージ６上に枚葉部材としてカラーフィルタのためにガ
ラス基板Ａを供給するためのローダや、ステージ６から
ガラス基板Ａを取り外すためのアンローダが備えられて
おり、これらローダ、アンローダにはその主要構成部分
にたとえば円筒座標系産業用ロボットを使用することが
できる。

【００２１】図１から明らかなように前述したスリット
ダイ４０は、一対のガイド溝レール４間に亘り、ステー
ジ６の往復動方向と直交する方向に水平に延びている。
ここで、スリットダイ４０の水平調整は、水平バー３６
の両端に設けた調整アクチュエータ３８の伸縮ロッドを
進退させ、ダイホルダ３２をその回転軸線の回りに回転
させることにより行うことができる。

【００２２】スリットダイ４０の詳細は図３に示されて
おり、図３にはダイホルダ３２、つまり、スリットダイ
４０の回転軸線が１点鎖線で示されている。スリットダ
イ４０は長尺なブロック形状のフロントリップ５８およ
びリアリップ６０を備えており、これらリップ５８，６
０はステージ６の往復動方向でみて前後に張り合わせら
れ、互いに一体的に結合されている。スリットダイ４０
内の中央部分にはマニホールド６２が形成されており、
このマニホールド６２はステージ６の往復動方向と直交
する方向に延びている。マニホールド６２は前述した塗
布液の供給ホース４２に内部通路を介して常時接続され
ている。

【００２３】マニホールド６２からは下方に向けてスリ
ット６４が垂直に延び、スリットダイ４０の下面に開口
している。スリット６４の下端開口、つまり、吐出口６
６はマニホールド６２と同様にステージ６の往復動方向
と直交する方向に延びている。具体的にはフロントリッ
プ５８とリアリップ６０との間にはシム（図示しない）
が介在されており、このシムの厚みにより、スリット６
４および吐出口６６の隙間ＬP、つまり、ステージ６の
往復動方向に沿う長さがたとえば０．０５mm以上、０．
３mm以下に設定されている。

【００２４】図１に示す状態からステージ６がスリット
ダイ４０に向けて往動するとき、その往動方向（図３中
の矢印Ｂ方向）でみて前側に位置するフロントリップ５
８に関し、その前面の下部は吐出口６６に向けて傾斜し
た傾斜面６８に形成されており、この傾斜面６８の下端
縁と吐出口６６との間にて、フロントリップ５８の下端
面７０が規定されている。一方、リアリップ６０に関し
ては、その後面の下端部が吐出口６６に向けて傾斜した
傾斜面７２に形成されており、この傾斜面７２の下端縁
と吐出口６６との間にて、リアリップ６０の下端面７４
が規定されている。

【００２５】ステージ６の往復動方向でみて、図３から
明らかなようにフロントリップ５８における下端面７０
の長さＬFは、リアリップ６０における下端面７４の長
さＬRよりも短く、そして、これら下端面７０，７４は
同一の水平面内に位置付けられている。たとえば、下端
面７０の長さＬFは０．５mm以下に設定されており、下
端面７４の長さＬRは１mm以上、４mm以下に設定されて
いる。

【００２６】さらに、フロントリップ５８において、そ
の傾斜面６８と水平面とのなす角度θFは３０°以上、
６０°以下に設定されている。一方、リアリップ６０に
関し、その傾斜面７２と水平面とのなす角度θRは特別
に制約されるものではないが、θFと同様な範囲に設定
されているのが望ましい。次に、カラーフィルタの製造
に係わる一工程、つまり、上述したスリットダイ４０を
有するダイコータを使用して行う塗布方法に関して説明
する。

【００２７】まず、ダイコータにおける各作動部の原点
復帰が行われると、ステージ６は厚みセンサ２２の下方
に位置付けられ、また、タンク５０から吸引ホース４８
および供給ホース４２を経て、スリットダイ４０内のマ
ニホールド６２およびスリット６４内に至る経路内は塗
布液で満たされている。この状態で、図示しないローダ
からステージ６上にガラス基板Ａが供給され、このガラ
ス基板Ａはステージ６上にサクション圧を受けて保持さ
れる。ガラス基板Ａのローディングが完了すると、厚み
センサ２２が所定の位置まで下降され、ガラス基板Ａの
厚みが厚みセンサ２２により測定される。測定後、厚み
センサ２２は元の位置まで上昇される。

【００２８】上述したガラス基板Ａのローディングの開
始と同時に、シリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６が
ポンプ本体５２と吸引ホース４８とを接続すべく切換え
作動され、そして、ポンプ本体５２にタンク５０内の塗
布液を吸引ホース４８を通じて吸引する吸引動作を行わ
せる。シリンジポンプ４４内に所定量の塗布液が吸引さ
れると、シリンジポンプ４４の電磁切換弁４６はポンプ
本体５２と供給ホース４２とを接続すべく切換え作動さ
れ、そして、ステージ６はスリットダイ４０に向けて往
動され、スリットダイ４０の直前で停止される。この
後、スリットダイ４０が下降され、スリットダイ４０の
下端面７０，７４とガラス基板Ａの上面との間に所定の
クリアランス、すなわち、形成すべき塗膜の厚さに対し
て数倍、たとえば０．０５〜０．２mmのクリアランスが
確保される。クリアランスは、厚みセンサ２２により測
定したガラス基板Ａの厚さを考慮し、ステージ６とスリ
ットダイ４０との間の距離を測定する距離センサ（図示
しない）からの出力信号に基づき、スリットダイ４０の
下降を制御することで正確に決定される。

【００２９】次に、ステージ６をさらに往動させ、ガラ
ス基板Ａの上面において、塗膜の開始すべきスタートラ
インをスリットダイ４０の吐出口６６の直下に位置付
け、ステージ６を一旦停止させる。このステージ６の一
旦停止と実質的に同時に、シリンジポンプ４４に塗布液
の吐出動作を開始させ、塗布液をスリットダイ４０に向
けて供給する。したがって、スリットダイ４０の吐出口
６６からガラス基板Ａ上に塗布液が吐出される。ここ
で、吐出口６６はその間隙ＬPがスリットダイ４０の長
手方向、つまり、ステージ６の往復動方向と直交する方
向に沿って一定であるから、吐出口６６からはガラス基
板Ａのスタートラインに沿って一様に塗布液が吐出さ
れ、この結果、スリットダイ４０とガラス基板Ａとの間
にはメニスカスを有する液溜まりＣ（図３参照）がスタ
ートラインに沿って形成される。

【００３０】このような液溜まりＣの形成と同時に、吐
出口６６からの塗布液の吐出を継続しながら、ステージ
６を一定の速度で往動方向に進行させると、図３に示さ
れているようにガイド基板Ａの上面に塗布液の塗膜Ｄが
連続して形成される。なお、塗膜Ｄの形成にあたって
は、ステージ６の往動を一旦停止することなく、ガラス
基板Ａのスタートラインがスリットダイ４０の吐出口６
６を通過するタイミングにて、吐出口６６から塗布液を
吐出するようにしてもよい。

【００３１】ステージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上
にて塗膜Ｄの形成を終了すべきフィニッシュラインがス
リットダイ４０と吐出口６６の直前位置に到達すると、
この時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作が停止され
る。このようにしてスリットダイ４０、すなわち、その
吐出口６６からの塗布液の吐出が停止されても、ガラス
基板Ａの上面には液溜まりＣの塗布液が消費（スキー
ズ）されながら、塗膜Ｄの形成がフィニッシュラインま
で継続される。なお、ガラス基板Ａ上のフィニッシュラ
インがスリットダイ４０の吐出口６６を通過した時点
で、シリンジポンプ４４の吐出動作を停止するようにし
てもよい。

【００３２】ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインが吐
出口６６を通過する時点または通過した時点で、シリン
ジポンプ４４の吸引動作がわずかに行われ、これによ
り、スリットダイ４０のスリット６４内の塗布液はマニ
ホールド６２側に吸引される。この後、スリットダイ４
０は元の位置まで上昇され、スリットダイ４０からの塗
布液の吐出工程が終了する。なお、スリットダイ４０の
上昇位置にて、その下端面に付着している塗布液がクリ
ーナ（図示しない）により拭き取られる。

【００３３】一方、ステージ６の往動は、塗布液の吐出
工程が終了しても継続されており、ステージ６がガイド
溝レール４の終端に到達した時点で、その往動が停止さ
れる。この状態で、塗膜Ｄが形成されたガラス基板Ａは
アンローダによりステージ６上から取り外される。この
後、ステージ６は復動され、図１に示す初期位置に戻さ
れて一連の塗布工程が終了する。初期位置にて、ステー
ジ６は新たなガラス基板がローディングされるまで待機
する。

【００３４】ガラス基板Ａ上に塗膜Ｄを形成するダイコ
ータは上述したスリットダイ４０を備えているので、そ
の塗膜Ｄを均一にして形成することができ、カラーフィ
ルタの製造に好適したものとなる。つまり、スリットダ
イ４０に関し、フロントリップ５８の下端面７０はその
長さＬFがリアリップ６０の下端面の長さＬRよりも短く
なっているので、液溜まりＣの境界線Ｅ（図３参照）を
下端面７０上に確実に維持することができる。したがっ
て、塗膜Ｄの形成中、液溜まりＣの形状が変動すること
はなく、塗膜Ｄの厚さが均一になる。この場合、下端面
７０の長さＬFが０．５mm以下に設定されていると、液
溜まりＣの境界線Ｅが表面張力により下端面７０を越
え、フロントリップ５８の前面側に回り込むのを確実に
防止できる。この点に関し、下端面７０に連なる傾斜面
６８の角度θFが３０°以上であれば、液溜まりＣの境
界線Ｅが傾斜面６８まではみ出てくるようなことはな
く、また、傾斜面６８の角度θFが６０°を越えてしま
うと、フロントリップ５８における下端部の剛性が不足
してしまう虞がある。

【００３５】なお、液溜まりＣの境界線Ｅがフロントリ
ップ５８の前面側に回り込んでしまうと、塗膜Ｄの膜厚
を薄く維持することができない。フロントリップ５８の
下端面はその長さＬFが０、すなわち、エッジ状であっ
てもよいが、この場合、そのエッジの剛性を確保するこ
とは困難である。フロントリップ５８およびリアリップ
６０の下端面７０，７４が同一の水平面内にあると、液
溜まりＣの上縁を規定する両境界線が安定して維持さ
れ、液溜まりＣの形状が不安定になることはない。

【００３６】リアリップ６０の下端面７４はその長さＬ
Rが１mm以上、４mm以下に設定されているので、その下
端面７４とガラス基板Ａとの間にメニスカスを確実に形
成することができる。さらに、スリット６４の間隙Ｌp
が０．０５mm以上確保されていると、スリット６４を規
定するフロントリップ５８およびリアリップ６０の内面
に関して、加工精度上、その平面性を十分に確保でき
る。一方、間隙Ｌpが０．３mmを越えてしまうと、スリ
ット６４およびマニホールド６２内の塗布液の吐出圧が
低下してしまい、スリットダイ４０の吐出口６６から一
様に塗布液を吐出することができない。

【００３７】上述した下端面７０，７４の長さＬF，ＬR
を種々に変更して、ガラス基板Ａに塗膜Ｄを形成した実
験結果を以下の表１に示す。この実験では、スリット６
４の間隙ＬPが０．１mm，ガラス基板Ａの大きさが縦横
４００×３００mm，形成すべき塗膜Ｄの膜厚１．６μ
m、ステージ６の移動速度が３m/minに設定されている。

【００３８】

【表１】

【００３９】前記の表１から明らかなように下端面７０
の長さＬFが０．６mm以上である場合、また、下端面７
４の長さＬRが１mmよりも短くなると、塗膜Ｄを良好に
形成できないことがわかる。上述の実施例の説明では、
ガラス基板のような枚葉部材上への塗膜の形成に関して
説明したが、この発明の装置および方法は、長尺な被塗
布部材に対しての塗布液の連続塗布や、エンドレスの被
塗布部材に対する塗布もまた可能である。また、上述の
実施例の場合、塗布器は下向きに配置されているが、塗
布器が横向きあるいは上向きに配置されていても、被塗
布部材に均一な膜厚の塗膜を同様にして形成することが
できる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１，５，７の塗布装置および塗布方法、並びに、請求項
６，８のカラーフィルタの製造装置および製造方法によ
れば、その塗布器つまりフロントリップにおける下端面
の長さをリアリップの下端面よりも短くしたので、塗膜
の形成中、液溜まりの形状を安定させることができ、塗
布液の塗布が容易になるとともに塗膜の膜厚を均一にす
ることができる。この結果、被塗布部材が枚葉部材、つ
まり、カラーフィルタ用のガラス基板である場合には、
高品質なカラーフィルタを得ることができる。

【００４１】請求項２の塗布装置によれば、液溜まりの
形状を安定させる上でさらに利点を有する。請求項３，
４の塗布装置によれば、液溜まりの形状を安定させる上
で利点を有することは勿論のこと、塗布器の剛性および
加工精度上にも大きな利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例のダイコータを示した概略斜視図であ
る。

【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系をも含めて
示した概略構成図である。

【図３】図１のダイコータに使用されているスリットダ
イの断面図である。

【符号の説明】

６ ステージ １４ フィードスクリュー ４０ スリットダイ（塗布器） ４４ シリンジポンプ（供給手段） ５０ タンク ５８ フロントリップ ６０ リアリップ ６２ マニホールド ６４ スリット ６６ 吐出口 ６８，７２ 傾斜面 ７０，７４ 下端面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−229481（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−61958（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−151296（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−52404（ＪＰ，Ａ) 国際公開94／27737（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B05C 5/00 - 5/04 B05D 1/26 G02F 1/1335 G02B 5/20 - 5/28

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を供給する供給手段と、 前記供給手段から供給された塗布液を吐出するための一
   方向に延びる吐出口を有する塗布器と、 前記塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的に
   移動させる移動手段とを備えたガラス基板に塗布する塗
   布装置において、 前記塗布器は、前記被塗布部材の相対的な進行方向でみ
   た場合、その進行方向側に位置するフロントリップと、
   前記進行方向とは反対側に位置するリアリップと、前記
   両リップ間に形成されるリップ間隙とを有しており、 前記両リップはそれぞれ、少なくとも前記リップ間隙を
   形成する接液面と、該接液面に連なり前記被塗布部材と
   対向するリップ下端面とを有しているとともに、前記フ
   ロントリップ及びリアリップの下端面は同一の面内にあ
   り、かつ、前記フロントリップの下端面は前記進行方向
   に沿った長さが前記リアリップの下端面の前記進行方向
   に沿った長さよりも短く、 前記フロントリップにおける下端面の前記進行方向に沿
   った長さは０．５mm以下であり、かつ、前記リアリップ
   における下端面の前記長さは１mm以上である ことを特徴
   とする塗布装置。
2. 【請求項２】 前記フロントリップにおける下端面の前
   記進行方向に沿った長さは０．２mm以下であることを特
   徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
3. 【請求項３】 前記フロントリップの前面には前記吐出
   口に向けて傾斜し、その下端面に連なる傾斜面が形成さ
   れており、前記下端面に対する前記傾斜面の角度は３０
   °以上、６０°以下であることを特徴とする、請求項１
   または２に記載の塗布装置。
4. 【請求項４】 前記吐出口を形成する前記フロントリッ
   プと前記リアリップとの間隙は０．０５mm以上であるこ
   とを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布
   装置。
5. 【請求項５】 カラーフィルタの製造に用いられること
   を特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の塗布装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかの塗布装置を用
   いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラー
   フィルタの製造装置。
7. 【請求項７】 請求項１に記載の塗布器を使用し、この
   塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら前記塗布器ま
   たは前記被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させ
   ることにより、前記被塗布部材に塗布液の塗膜を形成す
   ることを特徴とする塗布方法。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の塗布方法を用いて、カ
   ラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィル
   タの製造方法。