JP3128912B2 - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
圧電素子の製造方法Info
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- JP3128912B2 JP3128912B2 JP34632391A JP34632391A JP3128912B2 JP 3128912 B2 JP3128912 B2 JP 3128912B2 JP 34632391 A JP34632391 A JP 34632391A JP 34632391 A JP34632391 A JP 34632391A JP 3128912 B2 JP3128912 B2 JP 3128912B2
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- piezoelectric
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層型圧電アクチュエ
ータなどに用いられる圧電素子の製造方法に関する。
ータなどに用いられる圧電素子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電磁力を利用したアクチュエータ
に代わって、例えば特開昭６２−２９１１８７号公報、
実開昭６４−３０８６５号公報などに開示されているよ
うに、圧電効果を利用した圧電アクチュエータが開発さ
れている。この圧電アクチュエータは発熱が少なく、ま
た小型で高速駆動が可能なため、各種の機械的駆動素子
として極めて有望である。ただ圧電効果による機械的変
位は本質的に極めて小さいので、大きな変位量を得るた
めに板状の圧電素子と電極板とを交互に多重に積層し絶
縁保護層で被覆された構造の圧電積層体として提供され
ている。
に代わって、例えば特開昭６２−２９１１８７号公報、
実開昭６４−３０８６５号公報などに開示されているよ
うに、圧電効果を利用した圧電アクチュエータが開発さ
れている。この圧電アクチュエータは発熱が少なく、ま
た小型で高速駆動が可能なため、各種の機械的駆動素子
として極めて有望である。ただ圧電効果による機械的変
位は本質的に極めて小さいので、大きな変位量を得るた
めに板状の圧電素子と電極板とを交互に多重に積層し絶
縁保護層で被覆された構造の圧電積層体として提供され
ている。
【０００３】上記圧電素子の材質としては、チタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）が代表的である。そしてＰＺＴ系
圧電素子を製造するには、少なくとも酸化チタン粉末、
酸化ジルコニウム粉末及び酸化鉛粉末を所定の比率で混
合して仮焼し、仮焼物を粉砕・造粒後、公知の方法で板
状の成形体を形成し、その後焼結する方法が一般的であ
る。
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）が代表的である。そしてＰＺＴ系
圧電素子を製造するには、少なくとも酸化チタン粉末、
酸化ジルコニウム粉末及び酸化鉛粉末を所定の比率で混
合して仮焼し、仮焼物を粉砕・造粒後、公知の方法で板
状の成形体を形成し、その後焼結する方法が一般的であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、積層型圧電
アクチュエータを例えば自動車のエンジン制御部品など
に応用する場合、高荷重での高速作動に耐える必要があ
り、アクチュエータを構成するそれぞれの圧電素子には
圧電特性に加えて高い機械的強度が要求される。また積
層型圧電アクチュエータを構成する複数枚の圧電素子の
うち、１枚でも破損するとアクチュエータとしての機能
が得られなくなる場合がある。したがって圧電素子の機
械的強度のばらつきは小さいほど好ましく、品質管理項
目としては平均強度よりもむしろ最低強度の値の方が重
要である。
アクチュエータを例えば自動車のエンジン制御部品など
に応用する場合、高荷重での高速作動に耐える必要があ
り、アクチュエータを構成するそれぞれの圧電素子には
圧電特性に加えて高い機械的強度が要求される。また積
層型圧電アクチュエータを構成する複数枚の圧電素子の
うち、１枚でも破損するとアクチュエータとしての機能
が得られなくなる場合がある。したがって圧電素子の機
械的強度のばらつきは小さいほど好ましく、品質管理項
目としては平均強度よりもむしろ最低強度の値の方が重
要である。
【０００５】ところが上記した方法で製造された圧電素
子には、内部に５０μｍ以上の粗大なポアが存在する場
合があった。この粗大ポアは、電気的特性面では問題と
ならないが機械的強度の低下の原因となる。またこの粗
大ポアは、上記方法で製造された圧電素子１００枚中に
２０〜５０枚程度の頻度で存在することがわかってい
る。そのため上記方法で製造される圧電素子は、機械的
強度のばらつきが大きく最低強度が平均強度よりかなり
低いものもある。なお、この粗大ポアは、焼結途中の粒
成長に伴い、内部の空孔が集合して形成されるものと考
えられている。
子には、内部に５０μｍ以上の粗大なポアが存在する場
合があった。この粗大ポアは、電気的特性面では問題と
ならないが機械的強度の低下の原因となる。またこの粗
大ポアは、上記方法で製造された圧電素子１００枚中に
２０〜５０枚程度の頻度で存在することがわかってい
る。そのため上記方法で製造される圧電素子は、機械的
強度のばらつきが大きく最低強度が平均強度よりかなり
低いものもある。なお、この粗大ポアは、焼結途中の粒
成長に伴い、内部の空孔が集合して形成されるものと考
えられている。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、圧電素子の製造時に粗大ポアの発生を防止
して機械的強度のばらつきを小さくし、最低強度を向上
させることを目的とする。
ものであり、圧電素子の製造時に粗大ポアの発生を防止
して機械的強度のばらつきを小さくし、最低強度を向上
させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の圧電素子の製造方法は、圧電原料を均一に混合して
原料粉末とする混合工程と、原料粉末から成形体を形成
する成形工程と、成形体を焼結する焼結工程と、からな
る圧電素子の製造方法において、成形体は平均粒径が
０．１μｍ以下の粒状シリカが０．０２〜０．１重量％
の含有量で均一に分散して含有された状態で焼結される
ことを特徴とする。
明の圧電素子の製造方法は、圧電原料を均一に混合して
原料粉末とする混合工程と、原料粉末から成形体を形成
する成形工程と、成形体を焼結する焼結工程と、からな
る圧電素子の製造方法において、成形体は平均粒径が
０．１μｍ以下の粒状シリカが０．０２〜０．１重量％
の含有量で均一に分散して含有された状態で焼結される
ことを特徴とする。
【０００８】粒状シリカの粒径は小さい程好ましく、平
均粒径が０．１μｍを超えると粗大ポアの発生率が著し
く高くなる。０．１μｍ以下とすることにより、粗大ポ
アの発生率を極めて低く抑制することができる。また粒
状シリカの含有量が０．０２重量％未満となると粗大ポ
アの発生を抑制する作用が得られず、０．１μｍを超え
て含有すると粗大ポアの発生は抑制されるが圧電特性な
どの電気的特性が極端に低下する。
均粒径が０．１μｍを超えると粗大ポアの発生率が著し
く高くなる。０．１μｍ以下とすることにより、粗大ポ
アの発生率を極めて低く抑制することができる。また粒
状シリカの含有量が０．０２重量％未満となると粗大ポ
アの発生を抑制する作用が得られず、０．１μｍを超え
て含有すると粗大ポアの発生は抑制されるが圧電特性な
どの電気的特性が極端に低下する。
【０００９】なお、粒状シリカは原料粉末にシリカ粉末
を添加してもよいし、シリコンアルコキシドから加水分
解により沈澱させて含有させることもできる。後者の方
法によれば、極めて粒径の小さい粒状シリカを容易に含
有させることができる。
を添加してもよいし、シリコンアルコキシドから加水分
解により沈澱させて含有させることもできる。後者の方
法によれば、極めて粒径の小さい粒状シリカを容易に含
有させることができる。
【００１０】
【作用】本発明の圧電素子の製造方法では、成形体中に
粒径が０．１μｍ以下の粒状シリカが０．０２〜０．１
重量％の含有量で均一に分散して含有されている。この
状態で成形体が焼結されることにより、粗大ポアの発生
が抑制される。このようになる理由は不明であるが、焼
結時に原料粉末粒子間にシリカの薄い膜が形成され、原
料粉末の移動が一層容易となるため、空孔の粗大ポアへ
の発展が防止されるものと推察される。
粒径が０．１μｍ以下の粒状シリカが０．０２〜０．１
重量％の含有量で均一に分散して含有されている。この
状態で成形体が焼結されることにより、粗大ポアの発生
が抑制される。このようになる理由は不明であるが、焼
結時に原料粉末粒子間にシリカの薄い膜が形成され、原
料粉末の移動が一層容易となるため、空孔の粗大ポアへ
の発展が防止されるものと推察される。
【００１１】
【実施例】以下、実施例により具体的に説明する。 （実施例１） ＜混合工程＞２価元素に対して鉛：８６ｍｏｌ％、スト
ロンチウム：１４ｍｏｌ％、４価元素に対してジルコニ
ウム：５６ｍｏｌ％、チタン：４３ｍｏｌ％及びニオ
ブ：１ｍｏｌ％の組成となるように各原料を秤量し、ボ
ールミルで混合した後８００℃で２時間仮焼した。
ロンチウム：１４ｍｏｌ％、４価元素に対してジルコニ
ウム：５６ｍｏｌ％、チタン：４３ｍｏｌ％及びニオ
ブ：１ｍｏｌ％の組成となるように各原料を秤量し、ボ
ールミルで混合した後８００℃で２時間仮焼した。
【００１２】仮焼物に対して、平均粒径０．０２μｍの
超微粒シリカ粉末を０．４重量％添加し、水とともにボ
ールミルで再び粉砕・混合して原料粉末とした。 ＜成形工程＞上記原料粉末９０重量部に対して、それぞ
れ１０重量部のポリビニルアルコール水溶液（濃度２重
量％）を加えて混合した。これを乾燥させ、篩いに通し
た後造粒を行った。得られた造粒粉をそれぞれ直径２０
ｍｍ、厚さ１０ｍｍのキャビティをもつ金型に投入し、
１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でプレスして円板状成形体を得
た。 ＜焼結工程＞得られた成形体を、１２００℃で４時間加
熱して焼結した。そして焼結体を厚さ０．５ｍｍに研磨
して圧電素子を得た。 ＜試験例１＞得られた圧電素子１００個について、透過
Ｘ線により内部の直径５０μｍ以上の粗大ポアの有無を
調査した。そして粗大ポアの存在率を算出し、結果を図
１に示す。なお、仮焼物への超微粒シリカ粉末の添加量
を０〜０．２重量％の範囲で変化させたこと以外は同様
にしてそれぞれの圧電素子を製造し、同様に粗大ポアの
存在率を算出した結果を合わせて図１に示す。
超微粒シリカ粉末を０．４重量％添加し、水とともにボ
ールミルで再び粉砕・混合して原料粉末とした。 ＜成形工程＞上記原料粉末９０重量部に対して、それぞ
れ１０重量部のポリビニルアルコール水溶液（濃度２重
量％）を加えて混合した。これを乾燥させ、篩いに通し
た後造粒を行った。得られた造粒粉をそれぞれ直径２０
ｍｍ、厚さ１０ｍｍのキャビティをもつ金型に投入し、
１ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でプレスして円板状成形体を得
た。 ＜焼結工程＞得られた成形体を、１２００℃で４時間加
熱して焼結した。そして焼結体を厚さ０．５ｍｍに研磨
して圧電素子を得た。 ＜試験例１＞得られた圧電素子１００個について、透過
Ｘ線により内部の直径５０μｍ以上の粗大ポアの有無を
調査した。そして粗大ポアの存在率を算出し、結果を図
１に示す。なお、仮焼物への超微粒シリカ粉末の添加量
を０〜０．２重量％の範囲で変化させたこと以外は同様
にしてそれぞれの圧電素子を製造し、同様に粗大ポアの
存在率を算出した結果を合わせて図１に示す。
【００１３】図１より、シリカ粉末の添加量が０．０２
重量％以上であれば粗大ポア存在率が約５％以下とな
り、シリカ粉末の添加が粗大ポアの発生を抑制している
ことが明らかである。 ＜試験例２＞上記で得られたそれぞれの圧電素子を、厚
さ１ｍｍまで研磨し両面に銀ペーストを印刷後焼き付け
て銀電極を形成した。そして８０℃のシリコーンオイル
中で２ｋｖ／ｍｍの直流電界を印加して分極し、電気機
械結合係数Ｋｐを測定した。結果を図２に示す。
重量％以上であれば粗大ポア存在率が約５％以下とな
り、シリカ粉末の添加が粗大ポアの発生を抑制している
ことが明らかである。 ＜試験例２＞上記で得られたそれぞれの圧電素子を、厚
さ１ｍｍまで研磨し両面に銀ペーストを印刷後焼き付け
て銀電極を形成した。そして８０℃のシリコーンオイル
中で２ｋｖ／ｍｍの直流電界を印加して分極し、電気機
械結合係数Ｋｐを測定した。結果を図２に示す。
【００１４】図２より、シリカ粉末の添加量が増大する
につれてＫｐ値が低下し、特に添加量が０．１重量％を
超えると急激に低下していることが明らかである。した
がって図１及び図２より、シリカ粉末の添加量は０．０
２〜０．１重量％の範囲が最も有効であることが明らか
である。 ＜試験例３＞０．０２〜４．８μｍの範囲の平均粒径を
もつシリカ粉末を、仮焼物に対して０．０５重量％添加
したこと以外は上記と同様にしてそれぞれの圧電素子を
製造し、試験例１と同様に粗大ポアの存在率を算出し
た。また試験例２と同様にＫｐ値を測定した。結果を図
３に示す。
につれてＫｐ値が低下し、特に添加量が０．１重量％を
超えると急激に低下していることが明らかである。した
がって図１及び図２より、シリカ粉末の添加量は０．０
２〜０．１重量％の範囲が最も有効であることが明らか
である。 ＜試験例３＞０．０２〜４．８μｍの範囲の平均粒径を
もつシリカ粉末を、仮焼物に対して０．０５重量％添加
したこと以外は上記と同様にしてそれぞれの圧電素子を
製造し、試験例１と同様に粗大ポアの存在率を算出し
た。また試験例２と同様にＫｐ値を測定した。結果を図
３に示す。
【００１５】図３より、シリカ粉末の粒径が大きくなる
と、Ｋｐ値には影響がないが粗大ポアの存在率が大きく
なっていることがわかる。特に、粒径が０．１μｍを超
えると粗大ポアの存在率が２％以上と急激に大きくなっ
ていることから、シリカ粉末の粒径は０．１μｍ以下と
小さくすることが必要である。 ＜試験例４＞試験例１において、シリカ粉末の添加量が
０．０５重量％のものと０重量％のものを選び、それぞ
れ１００個ずつＪＩＳ規格に準じて３点曲げ強度を測定
した。結果を図４に示す。図４より、本発明の製造方法
により得られた圧電素子は、シリカを含有しない従来の
圧電素子に比べて強度が平均で約１０％向上し、最低強
度も約２０ＭＰａ向上していた。 （比較例１）シリカ粉末として平均粒径が２．５μｍの
市販の無水ケイ酸を用いたこと以外は実施例１と同様に
圧電素子を製造し、試験例１と同様に添加量を０〜０．
２重量％の範囲で変化させて同様に試験を行った。結果
を図１に示す。
と、Ｋｐ値には影響がないが粗大ポアの存在率が大きく
なっていることがわかる。特に、粒径が０．１μｍを超
えると粗大ポアの存在率が２％以上と急激に大きくなっ
ていることから、シリカ粉末の粒径は０．１μｍ以下と
小さくすることが必要である。 ＜試験例４＞試験例１において、シリカ粉末の添加量が
０．０５重量％のものと０重量％のものを選び、それぞ
れ１００個ずつＪＩＳ規格に準じて３点曲げ強度を測定
した。結果を図４に示す。図４より、本発明の製造方法
により得られた圧電素子は、シリカを含有しない従来の
圧電素子に比べて強度が平均で約１０％向上し、最低強
度も約２０ＭＰａ向上していた。 （比較例１）シリカ粉末として平均粒径が２．５μｍの
市販の無水ケイ酸を用いたこと以外は実施例１と同様に
圧電素子を製造し、試験例１と同様に添加量を０〜０．
２重量％の範囲で変化させて同様に試験を行った。結果
を図１に示す。
【００１６】図１より、シリカ粉末の粒径が２．５μｍ
と大きい場合には、０．１重量％以上の添加によりよう
やく粗大ポアの抑制効果が現れ、実施例１と同等とする
には０．２重量％以上の添加が必要である。しかし図２
より、０．２重量％以上の添加ではＫｐ値が大きく低下
し、圧電素子としての使用は困難である。 （実施例２）混合工程において、仮焼物に対してシリカ
粉末の代わりにシリコンアルコキシドを添加したこと以
外は実施例１と同様である。なお、シリコンアルコキシ
ドはエチルアルコールで３０重量％の濃度に希釈したも
のを用い、シリコンアルコキシド量が実施例１の試験例
１と同量となるようにメスピペットを用いて添加した。
と大きい場合には、０．１重量％以上の添加によりよう
やく粗大ポアの抑制効果が現れ、実施例１と同等とする
には０．２重量％以上の添加が必要である。しかし図２
より、０．２重量％以上の添加ではＫｐ値が大きく低下
し、圧電素子としての使用は困難である。 （実施例２）混合工程において、仮焼物に対してシリカ
粉末の代わりにシリコンアルコキシドを添加したこと以
外は実施例１と同様である。なお、シリコンアルコキシ
ドはエチルアルコールで３０重量％の濃度に希釈したも
のを用い、シリコンアルコキシド量が実施例１の試験例
１と同量となるようにメスピペットを用いて添加した。
【００１７】シリコンアルコキシドはボールミル中で水
により加水分解を受け、微細なシリカとなって析出す
る。このとき同時に粉砕・混合を受け、原料粉末中に均
一に分散される。得られた圧電素子について実施例１と
同様に試験したところ、平均粒径０．０２μｍのシリカ
粉末を用いた場合と全く同一の結果が得られた。すなわ
ちシリコンアルコキシドを用いることは、平均粒径０．
０２μｍのシリカ粉末を用いたことに相当し、微細で取
扱い作業が困難なシリカ粉末を用いるのに比べて作業性
が著しく向上するという利点がある。
により加水分解を受け、微細なシリカとなって析出す
る。このとき同時に粉砕・混合を受け、原料粉末中に均
一に分散される。得られた圧電素子について実施例１と
同様に試験したところ、平均粒径０．０２μｍのシリカ
粉末を用いた場合と全く同一の結果が得られた。すなわ
ちシリコンアルコキシドを用いることは、平均粒径０．
０２μｍのシリカ粉末を用いたことに相当し、微細で取
扱い作業が困難なシリカ粉末を用いるのに比べて作業性
が著しく向上するという利点がある。
【００１８】
【発明の効果】すなわち本発明の圧電素子の製造方法に
よれば、粗大ポアの発生を確実に抑制することができ、
圧電素子の機械的強度が向上し最低強度値が上昇すると
ともに強度のばらつきが小さくなる。また電気的特性の
低下もない。したがって本発明で製造された圧電素子か
ら形成された積層型圧電アクチュエータは、高い強度を
有し長寿命となる。
よれば、粗大ポアの発生を確実に抑制することができ、
圧電素子の機械的強度が向上し最低強度値が上昇すると
ともに強度のばらつきが小さくなる。また電気的特性の
低下もない。したがって本発明で製造された圧電素子か
ら形成された積層型圧電アクチュエータは、高い強度を
有し長寿命となる。
【図１】シリカ粉末添加量と粗大ポアの発生率との関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図２】シリカ粉末添加量と電気機械結合係数との関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図３】シリカ粉末の平均粒径と粗大ポアの発生率及び
電気機械結合係数との関係を示すグラフである。
電気機械結合係数との関係を示すグラフである。
【図４】本発明で得られた圧電素子と従来の圧電素子の
曲げ強度を比較するグラフである。
曲げ強度を比較するグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電原料を均一に混合して原料粉末とす
る混合工程と、該原料粉末から成形体を形成する成形工
程と、該成形体を焼結する焼結工程と、からなる圧電素
子の製造方法において、 該成形体は平均粒径が０．１μｍ以下の粒状シリカが
０．０２〜０．１重量％の含有量で均一に分散して含有
された状態で焼結されることを特徴とする圧電素子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34632391A JP3128912B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 圧電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34632391A JP3128912B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 圧電素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05178653A JPH05178653A (ja) | 1993-07-20 |
| JP3128912B2 true JP3128912B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=18382633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34632391A Expired - Fee Related JP3128912B2 (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 圧電素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3128912B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5305263B2 (ja) * | 2007-10-17 | 2013-10-02 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 発電用圧電体 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP34632391A patent/JP3128912B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05178653A (ja) | 1993-07-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
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