JP3127310B2 - 非晶質合金の製造方法 - Google Patents
非晶質合金の製造方法Info
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- JP3127310B2 JP3127310B2 JP03130053A JP13005391A JP3127310B2 JP 3127310 B2 JP3127310 B2 JP 3127310B2 JP 03130053 A JP03130053 A JP 03130053A JP 13005391 A JP13005391 A JP 13005391A JP 3127310 B2 JP3127310 B2 JP 3127310B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非晶質合金の製造方法に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、非晶質合金組成の素材より所定の
形状を持つ非晶質合金を製造する場合、その素材を、そ
れのガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度範
囲で過冷却液体状態に保持して、成形性および品質の向
上を狙う、といった方法が試みられている。
形状を持つ非晶質合金を製造する場合、その素材を、そ
れのガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度範
囲で過冷却液体状態に保持して、成形性および品質の向
上を狙う、といった方法が試みられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来法
においては、素材が過冷却液体状態より所定の温度下で
比較的短時間のうちに結晶化するため、時間および温度
上の制約が多く、その結果、非晶質合金の生産性が悪
い、という問題がある。
においては、素材が過冷却液体状態より所定の温度下で
比較的短時間のうちに結晶化するため、時間および温度
上の制約が多く、その結果、非晶質合金の生産性が悪
い、という問題がある。
【０００４】本発明は前記に鑑み、比較的簡単な手段を
採用することによって、素材を過冷却液体状態に保持す
るための時間および温度上の制約を大幅に緩和し、これ
により非晶質合金の生産性を向上させた前記製造方法を
提供することを目的とする。
採用することによって、素材を過冷却液体状態に保持す
るための時間および温度上の制約を大幅に緩和し、これ
により非晶質合金の生産性を向上させた前記製造方法を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る非晶質合金
の製造方法は、非晶質合金組成の素材において、結晶化
の原因となるクラスタが結晶化に必要な大きさに成長す
るのを阻止すべく、その非晶質合金組成の素材のガラス
化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度範囲において
前記素材を流動状態に保持し、次いで前記素材をガラス
化温度Ｔｇ未満に冷却することを特徴とする。
の製造方法は、非晶質合金組成の素材において、結晶化
の原因となるクラスタが結晶化に必要な大きさに成長す
るのを阻止すべく、その非晶質合金組成の素材のガラス
化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度範囲において
前記素材を流動状態に保持し、次いで前記素材をガラス
化温度Ｔｇ未満に冷却することを特徴とする。
【０００６】
【実施例】非晶質合金の製造に当っては、基本的には、
非晶質合金組成の素材を製造する工程と、その素材を、
それのガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度
範囲で過冷却液体状態にすると共に流動状態に保持する
工程と、素材をガラス化温度Ｔｇ未満に冷却する工程と
が順次実施される。この場合、素材を流動状態に保持す
ると同時に素材を所定の形状に成形する、素材を流動状
態に保持した後素材を所定の形状に成形する等の工程を
加えてもよい。成形手段としては、鋳造、鍛造、プレス
等が採用される。
非晶質合金組成の素材を製造する工程と、その素材を、
それのガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度
範囲で過冷却液体状態にすると共に流動状態に保持する
工程と、素材をガラス化温度Ｔｇ未満に冷却する工程と
が順次実施される。この場合、素材を流動状態に保持す
ると同時に素材を所定の形状に成形する、素材を流動状
態に保持した後素材を所定の形状に成形する等の工程を
加えてもよい。成形手段としては、鋳造、鍛造、プレス
等が採用される。
【０００７】流動状態保持手段としては、過冷却液体状
態の素材に振動を与える、素材を流動させながら鋳造す
る等の素材全体を流動状態にする方法の外に、素材の一
面側を全体的または部分的に膨脹させ、同時に他面側を
全体的または部分的に収縮させる等の変形を与えて素材
を局部的に流動状態にする方法も採用される。
態の素材に振動を与える、素材を流動させながら鋳造す
る等の素材全体を流動状態にする方法の外に、素材の一
面側を全体的または部分的に膨脹させ、同時に他面側を
全体的または部分的に収縮させる等の変形を与えて素材
を局部的に流動状態にする方法も採用される。
【０００８】このように過冷却液体状態の素材を流動状
態に保持すると、本来不安定な状態にある素材表面にお
いて、結晶化の原因となるクラスタが結晶化に必要な大
きさに成長するのを阻止することができ、これにより過
冷却液体状態にある素材を安定化させて、結晶化までの
時間を延長し、また結晶化を防止した非晶質素材の成形
時における温度範囲を広げることが可能となる。
態に保持すると、本来不安定な状態にある素材表面にお
いて、結晶化の原因となるクラスタが結晶化に必要な大
きさに成長するのを阻止することができ、これにより過
冷却液体状態にある素材を安定化させて、結晶化までの
時間を延長し、また結晶化を防止した非晶質素材の成形
時における温度範囲を広げることが可能となる。
【０００９】〔実施例１〕 （ａ） 素材の製造 Ｍｇ65Ｃｕ25Ｙ10（数値は原子％、以下同じ）の組成を
有する母合金を高周波溶解法により溶製し、その母合金
を口径０．３mmの石英ノズルより９０００rpmで回転す
る銅金型内へ噴出して、図１に示すように、外径約４０
mm、内径約３０mm、厚さ約５mmのリング材１を成形し
た。
有する母合金を高周波溶解法により溶製し、その母合金
を口径０．３mmの石英ノズルより９０００rpmで回転す
る銅金型内へ噴出して、図１に示すように、外径約４０
mm、内径約３０mm、厚さ約５mmのリング材１を成形し
た。
【００１０】図２は、リング材１のＸ線回折図であり、
本図において急峻なピークのない非晶質特有のハローパ
ターンが見られることから、リング材１は非晶質合金組
成を有することが判る。
本図において急峻なピークのない非晶質特有のハローパ
ターンが見られることから、リング材１は非晶質合金組
成を有することが判る。
【００１１】図３は、リング材１の示差熱量分析図であ
り、本図より、リング材１のガラス化温度Ｔｇは１４
０．９℃、結晶化温度Ｔｘは２０１．０℃であり、また
温度（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上で一定の比熱を保持すること
から、過冷却液体状態が安定であることが判る。なお、
Ｋは絶対温度を意味し、以下同じである。
り、本図より、リング材１のガラス化温度Ｔｇは１４
０．９℃、結晶化温度Ｔｘは２０１．０℃であり、また
温度（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上で一定の比熱を保持すること
から、過冷却液体状態が安定であることが判る。なお、
Ｋは絶対温度を意味し、以下同じである。
【００１２】次いでリング材１を破砕して、縦、横およ
び長さがそれぞれ約５mmのペレット状素材を製造した。
この素材は、当然に非晶質合金組成を有する。 （ｂ） 非晶質合金の製造 図４に示すように、ヒータ２により温度制御された銅金
型３内に、素材４を入れた銅ケース５を設置し、素材４
および銅ケース５の加熱温度を、ガラス化温度Ｔｇおよ
び結晶化温度Ｔｘ間の温度範囲に一定に保って、その素
材４を過冷却液体状態にした。そして、水冷ジャケット
７を備えた超音波振動子６を作動させて素材４に振動を
与え、これにより素材４を流動状態に保持した。所定時
間経過後、超音波振動子６を下降させて銅ケース５を銅
金型３外に出し、素材４をガラス化温度Ｔｇ未満に冷却
して合金を得た。
び長さがそれぞれ約５mmのペレット状素材を製造した。
この素材は、当然に非晶質合金組成を有する。 （ｂ） 非晶質合金の製造 図４に示すように、ヒータ２により温度制御された銅金
型３内に、素材４を入れた銅ケース５を設置し、素材４
および銅ケース５の加熱温度を、ガラス化温度Ｔｇおよ
び結晶化温度Ｔｘ間の温度範囲に一定に保って、その素
材４を過冷却液体状態にした。そして、水冷ジャケット
７を備えた超音波振動子６を作動させて素材４に振動を
与え、これにより素材４を流動状態に保持した。所定時
間経過後、超音波振動子６を下降させて銅ケース５を銅
金型３外に出し、素材４をガラス化温度Ｔｇ未満に冷却
して合金を得た。
【００１３】この作業を、加熱温度および流動状態保持
時間を変えて繰返し行うことにより加熱温度と結晶化ま
での時間との関係を求めたところ、図５の結果が得られ
た。この場合、結晶化の判断はＸ線回折法により行われ
た。
時間を変えて繰返し行うことにより加熱温度と結晶化ま
での時間との関係を求めたところ、図５の結果が得られ
た。この場合、結晶化の判断はＸ線回折法により行われ
た。
【００１４】図５において、線ａ1 は振動を与えた場合
に、また線ａ2 は振動を与えなかった場合にそれぞれ該
当する。
に、また線ａ2 は振動を与えなかった場合にそれぞれ該
当する。
【００１５】図５、線ａ1 ，ａ2 を比較すると明らかな
ように、振動を与えた場合には、結晶化までの時間が振
動を与えなかった場合よりも延長されていることが判
る。例えば、加熱温度を１６０℃に設定した場合には、
本発明によれば、非晶質合金製造に当っての許容時間が
約１００分間となり、振動を与えなかった場合に比べて
約２倍に延長されるものである。
ように、振動を与えた場合には、結晶化までの時間が振
動を与えなかった場合よりも延長されていることが判
る。例えば、加熱温度を１６０℃に設定した場合には、
本発明によれば、非晶質合金製造に当っての許容時間が
約１００分間となり、振動を与えなかった場合に比べて
約２倍に延長されるものである。
【００１６】〔実施例２〕素材としては、実施例１と同
様のペレット状素材を用いる。
様のペレット状素材を用いる。
【００１７】図６に示すように、素材４を銅金型８のシ
リンダ孔９内に装入し、その銅金型４に内蔵されたヒー
タ（図示せず）によって銅金型８および素材４の加熱温
度を、ガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度
範囲にある１７０℃（一定）に保って、その素材４を過
冷却液体状態にした。そして、シリンダ孔９に摺動自在
に嵌合されたプランジャ１０を１．０mm／min の一定速
度で下降させて素材４を直径５mmのスプル１１より、直
径２００mm、深さ２mmの円盤状キャビティ１２の中心部
に極く緩慢に押出した。素材４はキャビティ１２内を中
心部より外周部に向って展延し、これにより素材４は流
動状態に保持される。
リンダ孔９内に装入し、その銅金型４に内蔵されたヒー
タ（図示せず）によって銅金型８および素材４の加熱温
度を、ガラス化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度
範囲にある１７０℃（一定）に保って、その素材４を過
冷却液体状態にした。そして、シリンダ孔９に摺動自在
に嵌合されたプランジャ１０を１．０mm／min の一定速
度で下降させて素材４を直径５mmのスプル１１より、直
径２００mm、深さ２mmの円盤状キャビティ１２の中心部
に極く緩慢に押出した。素材４はキャビティ１２内を中
心部より外周部に向って展延し、これにより素材４は流
動状態に保持される。
【００１８】所定時間経過後、銅金型８に内蔵された冷
却手段（図示せず）を作動させて素材４をガラス化温度
Ｔｇ未満に冷却し、図７に示す円盤状合金１３を得た。
却手段（図示せず）を作動させて素材４をガラス化温度
Ｔｇ未満に冷却し、図７に示す円盤状合金１３を得た。
【００１９】この作業を、流動状態保持時間を変えて繰
返し行うことにより、その流動状態保持時間と結晶化の
有無との関係を調べたところ、表１の結果が得られた。
この場合、図７に示すように、テストピース１４は円盤
状合金１３の外周部から切出され、したがって最も長く
流動状態に保持された部分を検査対象とした。また、結
晶化の有無は、Ｘ線回折法および示差熱量分析法により
判断された。
返し行うことにより、その流動状態保持時間と結晶化の
有無との関係を調べたところ、表１の結果が得られた。
この場合、図７に示すように、テストピース１４は円盤
状合金１３の外周部から切出され、したがって最も長く
流動状態に保持された部分を検査対象とした。また、結
晶化の有無は、Ｘ線回折法および示差熱量分析法により
判断された。
【００２０】比較例は、銅金型の前記と同一寸法のキャ
ビティに、前記と同一の素材を入れて、銅金型および素
材を加熱温度１７０℃に保った場合に該当し、この場合
には素材は全く流動しない。
ビティに、前記と同一の素材を入れて、銅金型および素
材を加熱温度１７０℃に保った場合に該当し、この場合
には素材は全く流動しない。
【００２１】表１において、「○」は非晶質状態にある
ことを、また「×」は結晶化していることをそれぞれ示
す。
ことを、また「×」は結晶化していることをそれぞれ示
す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１から明らかなように、素材を流動状態
に保持すると、結晶化までの時間が流動状態に保持しな
かった場合に比べて、略２倍に延長されることが判る。
に保持すると、結晶化までの時間が流動状態に保持しな
かった場合に比べて、略２倍に延長されることが判る。
【００２４】図８は、流動状態保持時間を、約２０分に
設定して得られた非晶質合金のＸ線回折図であり、急峻
なピークの無い非晶質特有のハローパターンが見られ
る。
設定して得られた非晶質合金のＸ線回折図であり、急峻
なピークの無い非晶質特有のハローパターンが見られ
る。
【００２５】図９は、２０分経過後における比較例合金
のＸ線回折図であり、結晶化に伴い急峻なピークが現わ
れることが判る。
のＸ線回折図であり、結晶化に伴い急峻なピークが現わ
れることが判る。
【００２６】次に、前記同様に図６の銅金型８および素
材４を用い、流動状態保持時間を５０分（一定）に設定
し、また加熱温度を変化させて、加熱温度と結晶化の有
無との関係を調べたところ、表２の結果が得られた。こ
の場合、テストピースの切出し方、結晶化の有無の判断
法、「○」、「×」については前記と同じである。また
比較例の場合には素材は全く流動しない。
材４を用い、流動状態保持時間を５０分（一定）に設定
し、また加熱温度を変化させて、加熱温度と結晶化の有
無との関係を調べたところ、表２の結果が得られた。こ
の場合、テストピースの切出し方、結晶化の有無の判断
法、「○」、「×」については前記と同じである。また
比較例の場合には素材は全く流動しない。
【００２７】
【表２】
【００２８】表２から明らかなように、素材を流動状態
に保持すると、結晶化するまでの温度範囲を比較例に比
べて、略１０℃広げることができる。
に保持すると、結晶化するまでの温度範囲を比較例に比
べて、略１０℃広げることができる。
【００２９】次に、本発明で用いられる素材の鋳造、鍛
造、プレス等における成形性について考察する。
造、プレス等における成形性について考察する。
【００３０】非晶質合金は、略ガラス化温度Ｔｇ以上に
おいて可塑化するため、その成形可能温度範囲の最大温
度幅は、図３に示すように（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋとなる。
おいて可塑化するため、その成形可能温度範囲の最大温
度幅は、図３に示すように（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋとなる。
【００３１】図１０の線ｂ1 は、前記素材（Ｍｇ65Ｃｕ
25Ｙ10）をガラス化温度Ｔｇ以上の温度に加熱したとき
の、素材の温度と粘度との関係を示す。本図より、素材
の温度が（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上になると、粘度が最も低
くなることが明らかであり、この温度（Ｔｇ＋２０）Ｋ
と粘度との関係は非晶質合金特有のものである。これ
は、図１０の線ｂ2 で示したＡｌ85Ｎｉ5 Ｙ8 Ｃｏ2 の
組成を有する非晶質合金素材の温度と粘度との関係から
も裏付けられる。
25Ｙ10）をガラス化温度Ｔｇ以上の温度に加熱したとき
の、素材の温度と粘度との関係を示す。本図より、素材
の温度が（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上になると、粘度が最も低
くなることが明らかであり、この温度（Ｔｇ＋２０）Ｋ
と粘度との関係は非晶質合金特有のものである。これ
は、図１０の線ｂ2 で示したＡｌ85Ｎｉ5 Ｙ8 Ｃｏ2 の
組成を有する非晶質合金素材の温度と粘度との関係から
も裏付けられる。
【００３２】したがって、成形可能温度範囲における最
適温度幅ＴＫは、（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋ−２０Ｋとなる。
適温度幅ＴＫは、（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋ−２０Ｋとなる。
【００３３】前記のように、素材を流動状態に保持して
過冷却液体状態を安定化させるためには、素材が温度
（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上において、図３に示すように一定
の比熱を保持することが必要であり、数多の実験の結
果、素材における前記一定比熱保持状態を含む最適温度
幅ＴＫは１０Ｋ以上であることが確認されている。
過冷却液体状態を安定化させるためには、素材が温度
（Ｔｇ＋２０）Ｋ以上において、図３に示すように一定
の比熱を保持することが必要であり、数多の実験の結
果、素材における前記一定比熱保持状態を含む最適温度
幅ＴＫは１０Ｋ以上であることが確認されている。
【００３４】そこで、本発明においては、非晶質合金組
成の素材として、（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋ−２０Ｋ＝ＴＫ（た
だし、Ｔｘ：素材の結晶化温度、Ｔｇ：素材のガラス化
温度）としたとき、ＴＫ≧１０Ｋの温度特性を有するも
のを用いるものである。
成の素材として、（Ｔｘ−Ｔｇ）Ｋ−２０Ｋ＝ＴＫ（た
だし、Ｔｘ：素材の結晶化温度、Ｔｇ：素材のガラス化
温度）としたとき、ＴＫ≧１０Ｋの温度特性を有するも
のを用いるものである。
【００３５】表３は、各種素材における最適温度幅ＴＫ
と成形性との関係を示す。成形装置としては、図６の銅
金型８が用いられた。
と成形性との関係を示す。成形装置としては、図６の銅
金型８が用いられた。
【００３６】
【表３】
【００３７】表３より、素材（１）〜（４）が本発明に
おいて要求される条件を有するものであり、素材
（５），（６）は成形時の圧力を２０kgｆ／cm2 に上げ
ても素材の粘度が高く、成形を行うことができなかっ
た。
おいて要求される条件を有するものであり、素材
（５），（６）は成形時の圧力を２０kgｆ／cm2 に上げ
ても素材の粘度が高く、成形を行うことができなかっ
た。
【００３８】図１１は、図１０の線ｂ2 に対応する素材
（５）の示差熱量分析図であり、この素材（５）のガラ
ス化温度Ｔｇは２６８．７℃、結晶化温度Ｔｘは２９
５．８℃である。本図より、最適温度幅ＴＫの狭いこと
が判る。
（５）の示差熱量分析図であり、この素材（５）のガラ
ス化温度Ｔｇは２６８．７℃、結晶化温度Ｔｘは２９
５．８℃である。本図より、最適温度幅ＴＫの狭いこと
が判る。
【００３９】前記素材（１）〜（４）によれば、成形温
度および成形時の圧力が低くてよく、しかも非晶質であ
ることから固化時の熱収縮が非常に小さくなり、これに
より寸法精度の高い非晶質合金を容易に製造することが
できる。
度および成形時の圧力が低くてよく、しかも非晶質であ
ることから固化時の熱収縮が非常に小さくなり、これに
より寸法精度の高い非晶質合金を容易に製造することが
できる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、前記のような特定の手
段を採用することにより、時間および温度上の制約を大
幅に緩和して非晶質合金の生産性を向上させることが可
能な製造方法を提供することができる。
段を採用することにより、時間および温度上の制約を大
幅に緩和して非晶質合金の生産性を向上させることが可
能な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】非晶質合金組成を有するリング材の斜視図であ
る。
る。
【図２】リング材のＸ線回折図である。
【図３】リング材の示差熱量分析図である。
【図４】銅金型の一例を示す縦断面図である。
【図５】結晶化までの時間と加熱温度との関係を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図６】銅金型の他例を示す縦断面図である。
【図７】円盤状合金の斜視図である。
【図８】非晶質合金のＸ線回折図である。
【図９】結晶質合金のＸ線回折図である。
【図１０】素材の温度と素材の粘度との関係を示すグラ
フである。
フである。
【図１１】比較例素材の示差熱量分析図である。
３ 銅金型 ４ 素材 ５ 銅ケース ６ 超音波振動子 ７ 水冷ジャケット
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−204160（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−87339（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−149327（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−133964（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 1/00 C22C 45/00 - 45/10 B22D 27/00 - 27/09
Claims (2)
- 【請求項１】 非晶質合金組成の素材において、結晶化
の原因となるクラスタが結晶化に必要な大きさに成長す
るのを阻止すべく、その非晶質合金組成の素材のガラス
化温度Ｔｇおよび結晶化温度Ｔｘ間の温度範囲において
前記素材を流動状態に保持し、次いで前記素材をガラス
化温度Ｔｇ未満に冷却することを特徴とする非晶質合金
の製造方法。 - 【請求項２】 前記非晶質合金組成の素材として、（Ｔ
ｘ−Ｔｇ）Ｋ−２０Ｋ＝ＴＫ（ただし、Ｔｘ：素材の結
晶化温度、Ｔｇ：素材のガラス化温度、Ｔ：絶対温度）
としたとき、ＴＫ≧１０Ｋの温度特性を有するものを用
いる、請求項１記載の非晶質合金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03130053A JP3127310B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 非晶質合金の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03130053A JP3127310B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 非晶質合金の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04354837A JPH04354837A (ja) | 1992-12-09 |
| JP3127310B2 true JP3127310B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15024928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03130053A Expired - Fee Related JP3127310B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 非晶質合金の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3127310B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101217127B1 (ko) * | 2011-03-30 | 2012-12-31 | 덕성여자대학교 산학협력단 | 멀티탭 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070107467A1 (en) * | 2003-09-25 | 2007-05-17 | National Inst Of Industrial Science And Tech. | Metal glass body, process for producing the same and apparatus therefor |
| CN108085632B (zh) * | 2017-12-11 | 2019-07-23 | 华中科技大学 | 一种基于超声振动的塑性成形及增韧工艺方法及其装置 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP03130053A patent/JP3127310B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101217127B1 (ko) * | 2011-03-30 | 2012-12-31 | 덕성여자대학교 산학협력단 | 멀티탭 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04354837A (ja) | 1992-12-09 |
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