JP3123628B2 - クリーンルーム用空調システム - Google Patents
クリーンルーム用空調システムInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場等で供され
るクリーンルーム用空調システムに関し、詳しくは、空
気清浄作用を有する空気調和機に関する。
るクリーンルーム用空調システムに関し、詳しくは、空
気清浄作用を有する空気調和機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、ＬＳＩ等の半導体は、ク
リーンルーム内で製造され、その製造工程では、空気中
の塵埃の濃度のみが管理されていたが、ＬＳＩの集積度
のアップに伴い、塵埃濃度だけでなく空気中の金属成分
（Ｎa ，Ｋ，Ｍ g，Ｂ，・・・）やガス成分（ＮＯX ，
ＳＯX ，・・・）が問題となって来ている。
リーンルーム内で製造され、その製造工程では、空気中
の塵埃の濃度のみが管理されていたが、ＬＳＩの集積度
のアップに伴い、塵埃濃度だけでなく空気中の金属成分
（Ｎa ，Ｋ，Ｍ g，Ｂ，・・・）やガス成分（ＮＯX ，
ＳＯX ，・・・）が問題となって来ている。
【０００３】これらの成分を除去する除去装置には、Ｈ
ＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等の捕集フィルタや
化学吸着を利用したケミカルフィルタ等の吸着フィルタ
が用いられ、空気を清浄にしている。
ＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等の捕集フィルタや
化学吸着を利用したケミカルフィルタ等の吸着フィルタ
が用いられ、空気を清浄にしている。
【０００４】なお、ケミカルフィルタとしては、例えば
強力酸化剤が挙げられ、この強力酸化剤は、過マンガン
酸カリ２０％の成分と、活性アルミナ，ゼロライトの８
０％の成分で構成され、高濃度のＳＯX に有効とされて
いる。
強力酸化剤が挙げられ、この強力酸化剤は、過マンガン
酸カリ２０％の成分と、活性アルミナ，ゼロライトの８
０％の成分で構成され、高濃度のＳＯX に有効とされて
いる。
【０００５】かかるクリーンルーム用空調システムとし
て、例えば、図８に示すものが知られている。図におい
て、符号１０１はクリーンルームで、このクリーンルー
ム１０１の上部一杯に天井チャンバ１０１Ａが張られ、
この天井チャンバ１０１Ａの下面全体にフィルタとして
ＨＥＰＡフィルタ１０２が敷設されるとともに、多数の
吸出孔１０３Ａを有する床１０３が張られている。クリ
ーンルーム１０１はＨＥＰＡフィルタ１０２と床１０３
とにより上記天井チャンバ１０１Ａと、中央室１０１Ｂ
と、床下チャンバ１０１Ｃとに分割されている。
て、例えば、図８に示すものが知られている。図におい
て、符号１０１はクリーンルームで、このクリーンルー
ム１０１の上部一杯に天井チャンバ１０１Ａが張られ、
この天井チャンバ１０１Ａの下面全体にフィルタとして
ＨＥＰＡフィルタ１０２が敷設されるとともに、多数の
吸出孔１０３Ａを有する床１０３が張られている。クリ
ーンルーム１０１はＨＥＰＡフィルタ１０２と床１０３
とにより上記天井チャンバ１０１Ａと、中央室１０１Ｂ
と、床下チャンバ１０１Ｃとに分割されている。
【０００６】クリーンルーム１０１の一側には、送風機
１０４が配置され、この送風機１０４が収納されるチャ
ンバ１０４Ａの一側には第１循環ダクト１０５の一端が
接続され、第１循環ダクト１０５の他端は天井チャンバ
１０１Ａ内に開口している。また、チャンバ１０４Ａの
他側には第２循環ダクト１０６の一端が接続され、第２
循環ダクト１０６の他端は床下チャンバ１０１Ｃ内に開
口している。
１０４が配置され、この送風機１０４が収納されるチャ
ンバ１０４Ａの一側には第１循環ダクト１０５の一端が
接続され、第１循環ダクト１０５の他端は天井チャンバ
１０１Ａ内に開口している。また、チャンバ１０４Ａの
他側には第２循環ダクト１０６の一端が接続され、第２
循環ダクト１０６の他端は床下チャンバ１０１Ｃ内に開
口している。
【０００７】そして、第１循環ダクト１０５の途中部分
には、送気ダクト１０７の一端が接続され、送気ダクト
１０７の他端には外気調和機１０８が接続されている。
外気調和機１０８は、粗塵フィルタ１０９と、予熱コイ
ル１１０と、ケミカルフィルタ１１１と、中性能フィル
タ１１２と、冷却コイル１１３と、送風機１１４とを空
気の上流側から順番に配置して構成されている。
には、送気ダクト１０７の一端が接続され、送気ダクト
１０７の他端には外気調和機１０８が接続されている。
外気調和機１０８は、粗塵フィルタ１０９と、予熱コイ
ル１１０と、ケミカルフィルタ１１１と、中性能フィル
タ１１２と、冷却コイル１１３と、送風機１１４とを空
気の上流側から順番に配置して構成されている。
【０００８】なお、クリーンルーム１０１の中央室１０
１Ｂの清浄度の要請により、送気ダクト１０７の途中に
二点鎖線で示すフィルタ１１５としてＨＥＰＡフィルタ
やＵＬＰＡフィルタを設置することもできる。
１Ｂの清浄度の要請により、送気ダクト１０７の途中に
二点鎖線で示すフィルタ１１５としてＨＥＰＡフィルタ
やＵＬＰＡフィルタを設置することもできる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＨＥＰ
ＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの本体からは、ボロン溶
出や、ケミカルフィルタの本体からは化学吸着成分の再
飛散があり、これらで清浄化した空気が汚れ、高品位の
空気を供給することが困難であるという問題があった。
ＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの本体からは、ボロン溶
出や、ケミカルフィルタの本体からは化学吸着成分の再
飛散があり、これらで清浄化した空気が汚れ、高品位の
空気を供給することが困難であるという問題があった。
【００１０】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、フィルタ本体からの成分
再飛散，再溶出を無くすことにより、空気中の塵埃成分
は勿論金属成分，ガス成分を除去し、高品位の清浄空気
を供給することができるクリーンルーム用空調システム
を提供することである。
なされたもので、その目的は、フィルタ本体からの成分
再飛散，再溶出を無くすことにより、空気中の塵埃成分
は勿論金属成分，ガス成分を除去し、高品位の清浄空気
を供給することができるクリーンルーム用空調システム
を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
クリーンルームに送気ダクトを介して空気調和機から清
浄空気を送るクリーンルーム用空調システムにおいて、
前記空気調和機は、一側に空気取入口が形成されるとと
もに他側に前記送気ダクトに連通する空気排出口を形成
した空気洗浄室を有し、前記空気洗浄室内に、純水を噴
出する噴霧ノズルと、下部下槽とを配置し、前記噴霧ノ
ズルに純水供給管路を介して純水製造装置を接続し、前
記下部下槽に、バルブを有するブロー配管を接続し、前
記下部下槽と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有す
る純水再供給配管で接続し、前記純水再供給配管の途中
に、前記下部下槽に溜まった純水の純度を計測する純度
モニターを介装し、前記純度モニターを制御装置の入力
側に接続し、前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを
接続し、前記制御装置は、記憶装置に予め設定された設
定値と純水の純度の計測値とを比較し、計測値が設定値
よりも大きい場合に、前記バルブを閉じて前記下部下槽
に溜まった純水を前記給水ポンプにより前記純水供給管
路に戻し、計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純
水製造装置から純水を前記純水供給管路に送ると同時に
前記バルブを開くことを特徴とする。
クリーンルームに送気ダクトを介して空気調和機から清
浄空気を送るクリーンルーム用空調システムにおいて、
前記空気調和機は、一側に空気取入口が形成されるとと
もに他側に前記送気ダクトに連通する空気排出口を形成
した空気洗浄室を有し、前記空気洗浄室内に、純水を噴
出する噴霧ノズルと、下部下槽とを配置し、前記噴霧ノ
ズルに純水供給管路を介して純水製造装置を接続し、前
記下部下槽に、バルブを有するブロー配管を接続し、前
記下部下槽と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有す
る純水再供給配管で接続し、前記純水再供給配管の途中
に、前記下部下槽に溜まった純水の純度を計測する純度
モニターを介装し、前記純度モニターを制御装置の入力
側に接続し、前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを
接続し、前記制御装置は、記憶装置に予め設定された設
定値と純水の純度の計測値とを比較し、計測値が設定値
よりも大きい場合に、前記バルブを閉じて前記下部下槽
に溜まった純水を前記給水ポンプにより前記純水供給管
路に戻し、計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純
水製造装置から純水を前記純水供給管路に送ると同時に
前記バルブを開くことを特徴とする。
【００１２】請求項２記載の発明は、クリーンルームに
送気ダクトを介して空気調和機から清浄空気を送るクリ
ーンルーム用空調システムにおいて、前記空気調和機
は、一側に空気取入口が形成されるとともに他側に前記
送気ダクトに連通する空気排出口を形成した空気洗浄室
を有し、前記空気洗浄室内に、前記空気洗浄室内に純水
を高圧空気とともに噴出させる高圧空気噴霧ノズルと、
下部下槽とを配置し、前記高圧空気噴霧ノズルに純水供
給管路を介して純水製造装置を接続し、前記下部下槽
に、バルブを有するブロー配管を接続し、前記下部下槽
と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有する純水再供
給配管で接続し、前記純水再供給配管の途中に、前記下
部下槽に溜まった純水の純度を計測する純度モニターを
介装し、前記純度モニターを制御装置の入力側に接続
し、前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを接続し、
前記制御装置は、記憶装置に予め設定された設定値と純
水の純度の計測値とを比較し、計測値が設定値よりも大
きい場合に、前記バルブを閉じて前記下部下槽に溜まっ
た純水を前記給水ポンプにより前記純水供給管路に戻
し、計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純水製造
装置から純水を前記純水供給管路に送ると同時に前記バ
ルブを開くことを特徴とする。
送気ダクトを介して空気調和機から清浄空気を送るクリ
ーンルーム用空調システムにおいて、前記空気調和機
は、一側に空気取入口が形成されるとともに他側に前記
送気ダクトに連通する空気排出口を形成した空気洗浄室
を有し、前記空気洗浄室内に、前記空気洗浄室内に純水
を高圧空気とともに噴出させる高圧空気噴霧ノズルと、
下部下槽とを配置し、前記高圧空気噴霧ノズルに純水供
給管路を介して純水製造装置を接続し、前記下部下槽
に、バルブを有するブロー配管を接続し、前記下部下槽
と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有する純水再供
給配管で接続し、前記純水再供給配管の途中に、前記下
部下槽に溜まった純水の純度を計測する純度モニターを
介装し、前記純度モニターを制御装置の入力側に接続
し、前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを接続し、
前記制御装置は、記憶装置に予め設定された設定値と純
水の純度の計測値とを比較し、計測値が設定値よりも大
きい場合に、前記バルブを閉じて前記下部下槽に溜まっ
た純水を前記給水ポンプにより前記純水供給管路に戻
し、計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純水製造
装置から純水を前記純水供給管路に送ると同時に前記バ
ルブを開くことを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載のクリーンルーム用空調システムにおいて、クリー
ンルームと空気調和機の空気取入口は、空気戻りダクト
を介して接続されていることを特徴とする。
記載のクリーンルーム用空調システムにおいて、クリー
ンルームと空気調和機の空気取入口は、空気戻りダクト
を介して接続されていることを特徴とする。
【００１４】
【作用】請求項１記載の発明においては、噴霧ノズルか
ら、純水を噴霧することで、純水の空気との接触面積が
増し、純水の吸着作用が強くなる。その純水の吸着作用
により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分が吸着
される。即ち、純水自体が種々の物質を吸収し易い性質
を利用し、しかも、霧状にしてその能力を向上させてい
る。
ら、純水を噴霧することで、純水の空気との接触面積が
増し、純水の吸着作用が強くなる。その純水の吸着作用
により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分が吸着
される。即ち、純水自体が種々の物質を吸収し易い性質
を利用し、しかも、霧状にしてその能力を向上させてい
る。
【００１５】請求項２記載の発明においては、高圧空気
噴霧ノズルから、純水を噴霧することで、純水の空気と
の接触面積が増し、純水の吸着作用が強くなる。その純
水の吸着作用により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガ
ス成分が吸着される。
噴霧ノズルから、純水を噴霧することで、純水の空気と
の接触面積が増し、純水の吸着作用が強くなる。その純
水の吸着作用により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガ
ス成分が吸着される。
【００１６】同時に、高圧空気噴霧ノズルから、純水
を、高速で高圧空気とともに噴霧することで、純水の粒
子と空気とが摩擦し、純水が帯電する。この帯電された
純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成分を
吸収し易くしている。
を、高速で高圧空気とともに噴霧することで、純水の粒
子と空気とが摩擦し、純水が帯電する。この帯電された
純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成分を
吸収し易くしている。
【００１７】請求項３記載の発明においては、請求項１
または２記載のクリーンルーム用空調システムにおい
て、クリーンルームと空気調和機の空気取入口は、空気
戻りダクトを介して接続されているので、クリーンルー
ムから排気される清浄空気は、空気戻りダクトを介して
空気調和機の空気取入口に導かれ、空気調和機内で再
び、清浄化される。
または２記載のクリーンルーム用空調システムにおい
て、クリーンルームと空気調和機の空気取入口は、空気
戻りダクトを介して接続されているので、クリーンルー
ムから排気される清浄空気は、空気戻りダクトを介して
空気調和機の空気取入口に導かれ、空気調和機内で再
び、清浄化される。
【００１８】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例について説
明する。図１は本発明の実施例に係わるクリーンルーム
用空調システムを示す。
明する。図１は本発明の実施例に係わるクリーンルーム
用空調システムを示す。
【００１９】図において、符号１はクリーンルームで、
このクリーンルーム１の上部一杯に天井チャンバ１Ａが
張られ、この天井チャンバ１Ａの下面全体にフィルタと
してＨＥＰＡフィルタ２が敷設されるとともに、多数の
吸出孔３Ａを有する床３が張られている。クリーンルー
ム１はＨＥＰＡフィルタ２と床３とにより上記天井チャ
ンバ１Ａと、中央室１Ｂと、床下チャンバ１Ｃとに分割
されている。
このクリーンルーム１の上部一杯に天井チャンバ１Ａが
張られ、この天井チャンバ１Ａの下面全体にフィルタと
してＨＥＰＡフィルタ２が敷設されるとともに、多数の
吸出孔３Ａを有する床３が張られている。クリーンルー
ム１はＨＥＰＡフィルタ２と床３とにより上記天井チャ
ンバ１Ａと、中央室１Ｂと、床下チャンバ１Ｃとに分割
されている。
【００２０】クリーンルーム１の一側には、送風機４が
配置され、この送風機４が収納されるチャンバ４Ａの一
側には第１循環ダクト５の一端が接続され、第１循環ダ
クト５の他端は天井チャンバ１Ａ内に開口している。ま
た、チャンバ４Ａの他側には第２循環ダクト６の一端が
接続され、第２循環ダクト６の他端は床下チャンバ１Ｃ
内に開口している。
配置され、この送風機４が収納されるチャンバ４Ａの一
側には第１循環ダクト５の一端が接続され、第１循環ダ
クト５の他端は天井チャンバ１Ａ内に開口している。ま
た、チャンバ４Ａの他側には第２循環ダクト６の一端が
接続され、第２循環ダクト６の他端は床下チャンバ１Ｃ
内に開口している。
【００２１】そして、第１循環ダクト５の途中部分に
は、送気ダクト７の一端が接続され、送気ダクト７の他
端には空気調和機として外気調和機８が接続されてい
る。外気調和機８は、空気洗浄室として外気洗浄室９を
有し、この外気洗浄室９の一側に空気取入口として外気
取入口１０が形成され、他側に送気ダクト７に連通する
空気排出口として外気排出口１１が形成されている。
は、送気ダクト７の一端が接続され、送気ダクト７の他
端には空気調和機として外気調和機８が接続されてい
る。外気調和機８は、空気洗浄室として外気洗浄室９を
有し、この外気洗浄室９の一側に空気取入口として外気
取入口１０が形成され、他側に送気ダクト７に連通する
空気排出口として外気排出口１１が形成されている。
【００２２】外気洗浄室９の外側には、高圧空気源１２
と、純水製造装置１３とが配置されている。高圧空気源
１２に高圧空気管路１４の一端が接続されている。外気
洗浄室９内に高圧空気噴霧ノズル１５，１５が１段の噴
射ラインを形成して配設され、高圧空気噴霧ノズル１５
は高圧空気管路１４の他端側に設けられ、外気取入口１
０の方向を向いている。
と、純水製造装置１３とが配置されている。高圧空気源
１２に高圧空気管路１４の一端が接続されている。外気
洗浄室９内に高圧空気噴霧ノズル１５，１５が１段の噴
射ラインを形成して配設され、高圧空気噴霧ノズル１５
は高圧空気管路１４の他端側に設けられ、外気取入口１
０の方向を向いている。
【００２３】純水製造装置１３に純水供給管路１６の一
端が接続され、純水供給管路１６の他端が高圧空気噴霧
ノズル１５，１５に接続されている。高圧空気噴霧ノズ
ル１５は、純水を高圧空気とともに噴出させ、純水を霧
化して、ミクロンオーダーの粒子にする。
端が接続され、純水供給管路１６の他端が高圧空気噴霧
ノズル１５，１５に接続されている。高圧空気噴霧ノズ
ル１５は、純水を高圧空気とともに噴出させ、純水を霧
化して、ミクロンオーダーの粒子にする。
【００２４】外気洗浄室９の内側には、高圧空気噴霧ノ
ズル１５，１５の下流側に位置して冷却コイル１７Ａ
と、エリミネータ１７と送風機１８とが順番に配置さ
れ、さらに、下部下槽１９が配置されている。
ズル１５，１５の下流側に位置して冷却コイル１７Ａ
と、エリミネータ１７と送風機１８とが順番に配置さ
れ、さらに、下部下槽１９が配置されている。
【００２５】下部下槽１９の底部と、純水供給管路１６
は純水再供給配管２０で接続されている。この純水再供
給配管２０は給水ポンプ２１を有し、この純水再供給配
管２０の途中には、フィルタ２２と、純度モニター２３
とが介装されている。また、下部下槽１９の底部には、
ブロー配管２４の一端が接続されている。このブロー配
管２４はバルブ２５を有している。 そして、純度モニタ
ー２３は制御装置２７の入力側に接続され、制御装置２
７の出力側に給水ポンプ２１が接続されている。 制御装
置２７は、記憶装置に予め設定された設定値と純水の純
度の計測値とを比較し、計測値が設定値よりも大きい場
合に、バルブ２５を閉じて下部下槽１９に溜まった純水
を給水ポンプ２１により純水供給管路１６に戻し、計測
値が設定値よりも小さい場合に、純水製造装置１３から
純水を純水供給管路１６に送ると同時にバルブ２５を開
くようになっている。
は純水再供給配管２０で接続されている。この純水再供
給配管２０は給水ポンプ２１を有し、この純水再供給配
管２０の途中には、フィルタ２２と、純度モニター２３
とが介装されている。また、下部下槽１９の底部には、
ブロー配管２４の一端が接続されている。このブロー配
管２４はバルブ２５を有している。 そして、純度モニタ
ー２３は制御装置２７の入力側に接続され、制御装置２
７の出力側に給水ポンプ２１が接続されている。 制御装
置２７は、記憶装置に予め設定された設定値と純水の純
度の計測値とを比較し、計測値が設定値よりも大きい場
合に、バルブ２５を閉じて下部下槽１９に溜まった純水
を給水ポンプ２１により純水供給管路１６に戻し、計測
値が設定値よりも小さい場合に、純水製造装置１３から
純水を純水供給管路１６に送ると同時にバルブ２５を開
くようになっている。
【００２６】しかして、本実施例においては、外気取入
口１０から外気が外気洗浄室９内に供給され、この外気
は、点線で示れたエアワッシャ領域２６に導かれる。一
方、純水製造装置１３から純水が、高圧空気噴霧ノズル
１５に供給され、同時に、高圧空気源１２から高圧空気
が高圧空気噴霧ノズル１５に供給され、高圧空気噴霧ノ
ズル１５から高圧空気と純水が噴出される。
口１０から外気が外気洗浄室９内に供給され、この外気
は、点線で示れたエアワッシャ領域２６に導かれる。一
方、純水製造装置１３から純水が、高圧空気噴霧ノズル
１５に供給され、同時に、高圧空気源１２から高圧空気
が高圧空気噴霧ノズル１５に供給され、高圧空気噴霧ノ
ズル１５から高圧空気と純水が噴出される。
【００２７】ここで、純水は、精製された水のことで、
例えば、純度が電気伝導度１８ＭΩ・ｃｍのものが使用
されている。高圧空気噴霧ノズル１５から、純水を、高
速で噴霧することで、エアワッシャ領域２６において、
純水の空気（外気）との接触面積が増し、純水の吸着作
用が強くなる。その純水の吸着作用により、空気中の塵
埃成分，金属成分，ガス成分が吸着される。
例えば、純度が電気伝導度１８ＭΩ・ｃｍのものが使用
されている。高圧空気噴霧ノズル１５から、純水を、高
速で噴霧することで、エアワッシャ領域２６において、
純水の空気（外気）との接触面積が増し、純水の吸着作
用が強くなる。その純水の吸着作用により、空気中の塵
埃成分，金属成分，ガス成分が吸着される。
【００２８】同時に、高圧空気噴霧ノズル１５から、純
水を、高速で高圧空気とともに噴霧することで、純水の
粒子と空気との摩擦により、純水が帯電している。即
ち、帯電された純水のミクロンオーダーの粒子は、プラ
スイオンとマイナスイオンに分極帯電する。この帯電さ
れた純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成
分を吸収し易くなっている。なお、純水は純度が高いほ
ど誘電率が高まり、分極帯電が多くなる。
水を、高速で高圧空気とともに噴霧することで、純水の
粒子と空気との摩擦により、純水が帯電している。即
ち、帯電された純水のミクロンオーダーの粒子は、プラ
スイオンとマイナスイオンに分極帯電する。この帯電さ
れた純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成
分を吸収し易くなっている。なお、純水は純度が高いほ
ど誘電率が高まり、分極帯電が多くなる。
【００２９】そして、空気がエアワッシャ領域２６を通
過すると、純水が気化して空気から蒸発潜熱を奪い、空
気の温度が低下し、水分を多量に含んだ状態となる。こ
の水分を多量に含んだ空気は、冷却コイル１７Ａにより
冷却・減湿され、水滴となり、下部下槽１９に溜まる。
過すると、純水が気化して空気から蒸発潜熱を奪い、空
気の温度が低下し、水分を多量に含んだ状態となる。こ
の水分を多量に含んだ空気は、冷却コイル１７Ａにより
冷却・減湿され、水滴となり、下部下槽１９に溜まる。
【００３０】さらに、冷却コイル１７Ａを通過した空気
から、エリミネータ１７により水滴が飛散されて分離
し、この水滴は下部下槽１９に溜まる。下部下槽１９に
溜まった純水は、純水供給管路１６に送られる。
から、エリミネータ１７により水滴が飛散されて分離
し、この水滴は下部下槽１９に溜まる。下部下槽１９に
溜まった純水は、純水供給管路１６に送られる。
【００３１】また、純度モニター２３により、下部下槽
１９に溜まった純水の純度が計測され、その信号が制御
装置２７に送られる。制御装置２７では、その記憶装置
に予め設定された設定値と、上記信号で表される計測値
とが比較される。計測値が設定値よりも大きい場合に
は、バルブ２５を閉じた状態にして下部下槽１９に溜ま
った純水は、給水ポンプ２１により純水供給管路１６に
戻され、この純水が使用される。計測値が設定値よりも
小さい場合には、純水製造装置１３からの高純度の純水
が使用され、純水供給管路１６に送られる。同時に、バ
ルブ２５が開かれ、ブロー配管２４を介して下部下槽１
９中の低い純度の純水が排出される。
１９に溜まった純水の純度が計測され、その信号が制御
装置２７に送られる。制御装置２７では、その記憶装置
に予め設定された設定値と、上記信号で表される計測値
とが比較される。計測値が設定値よりも大きい場合に
は、バルブ２５を閉じた状態にして下部下槽１９に溜ま
った純水は、給水ポンプ２１により純水供給管路１６に
戻され、この純水が使用される。計測値が設定値よりも
小さい場合には、純水製造装置１３からの高純度の純水
が使用され、純水供給管路１６に送られる。同時に、バ
ルブ２５が開かれ、ブロー配管２４を介して下部下槽１
９中の低い純度の純水が排出される。
【００３２】以上の如き構成によれば、外気調和機８と
して、従来例の如き、ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィ
ルタ，ケミカルフィルタを採用せず、高圧空気噴霧ノズ
ル１５から噴霧された純水の吸着作用により、空気中の
塵埃成分，金属成分，ガス成分を吸着することができ
る。即ち、純水の吸着機能を利用しているので、従来例
の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタの本体から
の、ボロン溶出や、ケミカルフィルタの本体からの化学
吸着成分の再飛散を防止し、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去ができ、高品位の清浄空気を供給す
ることができる。
して、従来例の如き、ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィ
ルタ，ケミカルフィルタを採用せず、高圧空気噴霧ノズ
ル１５から噴霧された純水の吸着作用により、空気中の
塵埃成分，金属成分，ガス成分を吸着することができ
る。即ち、純水の吸着機能を利用しているので、従来例
の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタの本体から
の、ボロン溶出や、ケミカルフィルタの本体からの化学
吸着成分の再飛散を防止し、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去ができ、高品位の清浄空気を供給す
ることができる。
【００３３】また、高圧空気噴霧ノズル１５から、純水
を、高速で高圧空気とともに噴霧しているので、帯電さ
れた純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成
分を吸収し易くなっており、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去能力をアップできる。
を、高速で高圧空気とともに噴霧しているので、帯電さ
れた純水の粒子が空気中の帯電された金属成分や塵埃成
分を吸収し易くなっており、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去能力をアップできる。
【００３４】なお、本実施例においては、高圧空気噴霧
ノズル１５から、純水を、高圧空気とともに１段の噴射
ラインで噴霧しているが、図２に示すように、高圧空気
管路３１に、空気噴射口３１Ａを３個設けてなる空気噴
射ライン３１Ｂ，３１Ｂを２段に配列するとともに、純
水供給管路３２に空気噴射口３１Ａと同じ位置に純水噴
射口３２Ａを３個設けてなる純水噴射ライン３２Ｂ，３
２Ｂを２段に配列し、純水噴射口３２Ａからミクロンオ
ーダーの霧を、空気噴射口３１Ａから噴出された空気と
接触させながら発生させている。かかる構成によれば、
２段に噴射ラインが構成されているので、より高品位の
清浄空気を供給するこができる。
ノズル１５から、純水を、高圧空気とともに１段の噴射
ラインで噴霧しているが、図２に示すように、高圧空気
管路３１に、空気噴射口３１Ａを３個設けてなる空気噴
射ライン３１Ｂ，３１Ｂを２段に配列するとともに、純
水供給管路３２に空気噴射口３１Ａと同じ位置に純水噴
射口３２Ａを３個設けてなる純水噴射ライン３２Ｂ，３
２Ｂを２段に配列し、純水噴射口３２Ａからミクロンオ
ーダーの霧を、空気噴射口３１Ａから噴出された空気と
接触させながら発生させている。かかる構成によれば、
２段に噴射ラインが構成されているので、より高品位の
清浄空気を供給するこができる。
【００３５】また、本実施例においては、高圧空気管路
１４の他端に設けられた高圧空気噴霧ノズル１５から、
高圧空気とともに、純水が噴霧されるようになっている
が、図３に示すように、高圧空気は使用せずに純水だけ
を噴霧する噴霧ノズル４１，４１を、外気洗浄室９に配
設することもできる。
１４の他端に設けられた高圧空気噴霧ノズル１５から、
高圧空気とともに、純水が噴霧されるようになっている
が、図３に示すように、高圧空気は使用せずに純水だけ
を噴霧する噴霧ノズル４１，４１を、外気洗浄室９に配
設することもできる。
【００３６】かかる構造の装置によれば、噴霧ノズル４
１，４１から、純水を、高速で噴霧することで、純水の
空気との接触面積が増し、純水の吸着作用が強くなる。
その純水の吸着作用により、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分が吸着される。
１，４１から、純水を、高速で噴霧することで、純水の
空気との接触面積が増し、純水の吸着作用が強くなる。
その純水の吸着作用により、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分が吸着される。
【００３７】従って、噴霧された純水の吸着機能を利用
することにより、従来例の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬ
ＰＡフィルタの本体からの、ボロン溶出や、ケミカルフ
ィルタの本体からの化学吸着成分の再飛散を防止し、空
気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分の除去ができる。
また、図１と同様に、制御装置２７により、計測値が設
定値よりも大きい場合には、バルブ２５を閉じた状態に
して下部下槽１９に溜まった純水は、給水ポンプ２１に
より純水供給管路１６に戻され、この純水が使用され
る。計測値が設定値よりも小さい場合には、純水製造装
置１３からの高純度の純水が使用され、純水供給管路１
６に送られる。同時に、バルブ２５が開かれ、ブロー配
管２４を介して下部下槽１９中の低い純度の純水が排出
される。
することにより、従来例の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬ
ＰＡフィルタの本体からの、ボロン溶出や、ケミカルフ
ィルタの本体からの化学吸着成分の再飛散を防止し、空
気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分の除去ができる。
また、図１と同様に、制御装置２７により、計測値が設
定値よりも大きい場合には、バルブ２５を閉じた状態に
して下部下槽１９に溜まった純水は、給水ポンプ２１に
より純水供給管路１６に戻され、この純水が使用され
る。計測値が設定値よりも小さい場合には、純水製造装
置１３からの高純度の純水が使用され、純水供給管路１
６に送られる。同時に、バルブ２５が開かれ、ブロー配
管２４を介して下部下槽１９中の低い純度の純水が排出
される。
【００３８】さらに、本実施例においては、高圧空気噴
霧ノズル１５は１段の噴射ラインとなっているが、図４
に示すように、３つの高圧噴霧ノズル５１，５１，５１
を１列に設けてなる噴霧ライン５２，５２を対向設置し
たノズル群５３，５３を２段に配置することができる。
要するに、２段式エアーワッシャ方式となっている。
霧ノズル１５は１段の噴射ラインとなっているが、図４
に示すように、３つの高圧噴霧ノズル５１，５１，５１
を１列に設けてなる噴霧ライン５２，５２を対向設置し
たノズル群５３，５３を２段に配置することができる。
要するに、２段式エアーワッシャ方式となっている。
【００３９】かかる構成によれば、エアーワッシャの効
率を上昇させることができる。そして、本実施例の態様
の他に図５に示すように、いわゆるキャピラリ型エアワ
ッシャもある。即ち、グラスウールを充填してエアフィ
ルタに似たウェットセル６１，６１を斜めに複数段に並
設し、これに噴霧ノズル６２，６２から純水を噴霧して
空気と接触させる。なお、グラスウールには、空気の通
路と平行になるように繊維が並んだものが用いられてい
る。
率を上昇させることができる。そして、本実施例の態様
の他に図５に示すように、いわゆるキャピラリ型エアワ
ッシャもある。即ち、グラスウールを充填してエアフィ
ルタに似たウェットセル６１，６１を斜めに複数段に並
設し、これに噴霧ノズル６２，６２から純水を噴霧して
空気と接触させる。なお、グラスウールには、空気の通
路と平行になるように繊維が並んだものが用いられてい
る。
【００４０】かかる構成によれば、装置をコンパクトに
組み付けることができる。そして、また、図６は本発明
の実施例に係わるクリーンルーム用空調システムの変形
例を示すもので、クリーンルーム１と外気調和機８の外
気取入口１０は、空気戻りダクト２８を介して接続さ
れ、これにより、クリーンルーム１から使用されて排気
される清浄空気を、空気戻りダクト２８を介して外気調
和機８の外気取入口１０に導き、外気調和機８内で再
び、清浄化してクリーンルーム１に戻し、清浄空気を再
利用することができる。
組み付けることができる。そして、また、図６は本発明
の実施例に係わるクリーンルーム用空調システムの変形
例を示すもので、クリーンルーム１と外気調和機８の外
気取入口１０は、空気戻りダクト２８を介して接続さ
れ、これにより、クリーンルーム１から使用されて排気
される清浄空気を、空気戻りダクト２８を介して外気調
和機８の外気取入口１０に導き、外気調和機８内で再
び、清浄化してクリーンルーム１に戻し、清浄空気を再
利用することができる。
【００４１】この場合、外気ととともにクリーンルーム
１からの空気を外気取入口１０に導くことができる。ま
た、外気を取り込まずにクリーンルーム１からの清浄空
気だけを外気取入口１０に取り込むこともでき、クリー
ンルーム１と外気調和機８の間を清浄空気が循環するこ
とになる。
１からの空気を外気取入口１０に導くことができる。ま
た、外気を取り込まずにクリーンルーム１からの清浄空
気だけを外気取入口１０に取り込むこともでき、クリー
ンルーム１と外気調和機８の間を清浄空気が循環するこ
とになる。
【００４２】そして、さらに、高圧空気は使用せずに純
水だけを噴霧する噴霧ノズル４１，４１を、外気洗浄室
９に配設した内容を図示した図３において、図７に示す
ように、クリーンルーム１と外気調和機８の外気取入口
１０を、空気戻りダクト２８を介して接続することがで
き、これにより、クリーンルーム１から使用されて排気
される清浄空気を、空気戻りダクト２８を介して外気調
和機８の外気取入口１０に導き、外気調和機８内で再
び、清浄化し、クリーンルーム１に戻し、清浄空気を再
利用することができる。
水だけを噴霧する噴霧ノズル４１，４１を、外気洗浄室
９に配設した内容を図示した図３において、図７に示す
ように、クリーンルーム１と外気調和機８の外気取入口
１０を、空気戻りダクト２８を介して接続することがで
き、これにより、クリーンルーム１から使用されて排気
される清浄空気を、空気戻りダクト２８を介して外気調
和機８の外気取入口１０に導き、外気調和機８内で再
び、清浄化し、クリーンルーム１に戻し、清浄空気を再
利用することができる。
【００４３】この場合、外気ととともにクリーンルーム
１からの空気を外気取入口１０に導くことができる。ま
た、外気を取り込まずにクリーンルーム１からの清浄空
気だけを外気取入口１０に取り込むこともでき、クリー
ンルーム１と外気調和機８の間を清浄空気が循環するこ
とになる。
１からの空気を外気取入口１０に導くことができる。ま
た、外気を取り込まずにクリーンルーム１からの清浄空
気だけを外気取入口１０に取り込むこともでき、クリー
ンルーム１と外気調和機８の間を清浄空気が循環するこ
とになる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、噴霧ノズルから噴霧された純水の吸着作用
により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分を吸着
することができる。即ち、純水の吸着機能を利用してい
るので、従来例の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィ
ルタの本体からの、ボロン溶出や、ケミカルフィルタの
本体からの化学吸着成分の再飛散を防止し、空気中の塵
埃成分，金属成分，ガス成分の除去ができ、高品位の清
浄空気を供給することができる効果を奏する。
明によれば、噴霧ノズルから噴霧された純水の吸着作用
により、空気中の塵埃成分，金属成分，ガス成分を吸着
することができる。即ち、純水の吸着機能を利用してい
るので、従来例の如きＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィ
ルタの本体からの、ボロン溶出や、ケミカルフィルタの
本体からの化学吸着成分の再飛散を防止し、空気中の塵
埃成分，金属成分，ガス成分の除去ができ、高品位の清
浄空気を供給することができる効果を奏する。
【００４５】また、請求項２記載の発明によれば、高圧
空気噴霧ノズルから、純水を高速で高圧空気とともに噴
霧しているので、帯電された純水の粒子が空気中の帯電
された金属成分や塵埃成分を吸収し易くなっており、請
求項１記載の発明よりも、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去能力をアップできる。
空気噴霧ノズルから、純水を高速で高圧空気とともに噴
霧しているので、帯電された純水の粒子が空気中の帯電
された金属成分や塵埃成分を吸収し易くなっており、請
求項１記載の発明よりも、空気中の塵埃成分，金属成
分，ガス成分の除去能力をアップできる。
【００４６】そして、請求項３記載の発明によれば、ク
リーンルームと空気調和機の空気取入口は、空気戻りダ
クトを介して接続されているので、クリーンルームから
排気される清浄空気を、空気戻りダクトを介して空気調
和機の空気取入口に導き、空気調和機内で再び、清浄化
し、クリーンルームに戻し、清浄空気を再利用すること
ができる。
リーンルームと空気調和機の空気取入口は、空気戻りダ
クトを介して接続されているので、クリーンルームから
排気される清浄空気を、空気戻りダクトを介して空気調
和機の空気取入口に導き、空気調和機内で再び、清浄化
し、クリーンルームに戻し、清浄空気を再利用すること
ができる。
【図１】本発明の実施例に係わるクリーンルーム用空調
システムの構成図である。
システムの構成図である。
【図２】同クリーンルーム用空調システムの空気調和機
の第１の変形例を示す構成図である。
の第１の変形例を示す構成図である。
【図３】同クリーンルーム用空調システムの空気調和機
の第２の変形例を示す構成図である。
の第２の変形例を示す構成図である。
【図４】同クリーンルーム用空調システムの空気調和機
の第３の変形例を示す構成図である。
の第３の変形例を示す構成図である。
【図５】同クリーンルーム用空調システムの空気調和機
の第４の変形例を示す構成図である。
の第４の変形例を示す構成図である。
【図６】本発明の実施例に係わるクリーンルーム用空調
システムの変形例を示す構成図である。
システムの変形例を示す構成図である。
【図７】図３に示すクリーンルーム用空調システムの変
形例を示す構成図である。
形例を示す構成図である。
【図８】従来におけるクリーンルーム用空調システムの
構成図である。
構成図である。
【符号の説明】 １ クリーンルーム ７ 送気ダクト ８ 外気調和機（空気調和機） ９ 外気洗浄室（空気洗浄室） １０ 外気取入口（空気取入口） １１ 外気排出口（空気排出口） １５ 高圧空気噴霧ノズル
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 3/16 F24F 3/044 F24F 7/06
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルームに送気ダクトを介して空
気調和機から清浄空気を送るクリーンルーム用空調シス
テムにおいて、前記空気調和機は、一側に空気取入口が形成されるとと
もに他側に前記送気ダクトに連通する空気排出口を形成
した空気洗浄室を有し、 前記空気洗浄室内に、純水を噴出する噴霧ノズルと、下
部下槽とを配置し、 前記噴霧ノズルに純水供給管路を介して純水製造装置を
接続し、 前記下部下槽に、バルブを有するブロー配管を接続し、 前記下部下槽と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有
する純水再供給配管で接続し、 前記純水再供給配管の途中に、前記下部下槽に溜まった
純水の純度を計測する純度モニターを介装し、 前記純度モニターを制御装置の入力側に接続し、 前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを接続し、 前記制御装置は、 記憶装置に予め設定された設定値と純水の純度の計測値
とを比較し、 計測値が設定値よりも大きい場合に、前記バルブを閉じ
て前記下部下槽に溜まった純水を前記給水ポンプにより
前記純水供給管路に戻し、 計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純水製造装置
から純水を前記純水供給管路に送ると同時に前記バルブ
を開く ことを特徴とするクリーンルーム用空調システ
ム。 - 【請求項２】 クリーンルームに送気ダクトを介して空
気調和機から清浄空気を送るクリーンルーム用空調シス
テムにおいて、前記空気調和機は、一側に空気取入口が形成されるとと
もに他側に前記送気ダクトに連通する空気排出口を形成
した空気洗浄室を有し、 前記空気洗浄室内に、前記空気洗浄室内に純水を高圧空
気とともに噴出させる高圧空気噴霧ノズルと、下部下槽
とを配置し、 前記高圧空気噴霧ノズルに純水供給管路を介して純水製
造装置を接続し、 前記下部下槽に、バルブを有するブロー配管を接続し、 前記下部下槽と前記純水供給管路とを、給水ポンプを有
する純水再供給配管で接続し、 前記純水再供給配管の途中に、前記下部下槽に溜まった
純水の純度を計測する純度モニターを介装し、 前記純度モニターを制御装置の入力側に接続し、 前記制御装置の出力側に前記給水ポンプを接続し、 前記制御装置は、 記憶装置に予め設定された設定値と純水の純度の計測値
とを比較し、 計測値が設定値よりも大きい場合に、前記バルブを閉じ
て前記下部下槽に溜まった純水を前記給水ポンプにより
前記純水供給管路に戻し、 計測値が設定値よりも小さい場合に、前記純水製造装置
から純水を前記純水供給管路に送ると同時に前記バルブ
を開く ことを特徴とするクリーンルーム用空調システ
ム。 - 【請求項３】 クリーンルームと空気調和機の空気取入
口は、空気戻りダクトを介して接続されていることを特
徴とする請求項１または２記載のクリーンルーム用空調
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04344288A JP3123628B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | クリーンルーム用空調システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04344288A JP3123628B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | クリーンルーム用空調システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06193911A JPH06193911A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3123628B2 true JP3123628B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=18368081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04344288A Expired - Fee Related JP3123628B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | クリーンルーム用空調システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123628B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4954018B2 (ja) * | 2007-10-24 | 2012-06-13 | オルガノ株式会社 | 空気調和装置 |
| SG10201500549WA (en) * | 2010-01-24 | 2015-03-30 | Halton Group Ltd Oy | Chilled beam devices, systems, and methods |
| JP5525312B2 (ja) * | 2010-04-01 | 2014-06-18 | 積水化学工業株式会社 | 換気空調システム及び建物 |
| WO2022035385A1 (en) * | 2020-08-14 | 2022-02-17 | Bk Smart Co., Ltd. | Air conditioner |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP04344288A patent/JP3123628B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06193911A (ja) | 1994-07-15 |
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