JP2001096123A

JP2001096123A - エアワッシャ

Info

Publication number: JP2001096123A
Application number: JP27540999A
Authority: JP
Inventors: Mitsukazu Yamagata; 允和山形; Shuzo Akita; 州三秋田; Masaaki Shinohara; 正明篠原; Tadashi Suzuki; 正鈴木; Toshihisa Shimizu; 利壽清水
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp; Kubota Kucho KK
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp; Kubota Kucho KK
Priority date: 1999-09-29
Filing date: 1999-09-29
Publication date: 2001-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】飽和効率の高い加湿を行ない、空気中の塵埃
や有害ガスを確実に除去するとともに、噴水水量を抑制
してポンプ動力を低減し、装置外形寸法を小さくできる
エアワッシャを提供する。【解決手段】水噴霧室５３の空気入口５３ａに配置す
る第１ワッシャメディア５４ａと、水噴霧室５３の空気
出口５３ｂに配置する第２ワッシャメディア５４ｂと、
第１ワッシャメディア５４ａより下流側の位置に第１ワ
ッシャメディア５４ａと平行に配置する金網５５と、金
網５５より下流側に位置し、空気流とは逆方向に向けて
第１ワッシャメディア５４ａに達する噴霧水を噴霧する
ノズル５６と、水噴霧室５３の内部に位置して流下する
噴霧水を受け止める貯水槽５８と、貯水槽５８の循環水
をノズル５６に循環供給する循環水供給系５９とを備え
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等にお
ける空気調和装置に係り、空気中の塵埃や有害ガスを除
去するとともに、飽和効率の高い加湿を行なうエアワッ
シャに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアワッシャとしては、例えば図
１３〜図１５に示すものがある。図１３〜図１５におい
て、エアワッシャ１１は、矩形の流路断面を有する本体
ケーシング１２の内部に、所定長さの水噴霧室１３を有
している。水噴霧室１３は、その一端に形成した空気入
口１３ａにおいてダクト（図示せず）に接続しており、
このダクトから流入する空気Ａが水噴霧室１３の流路を
通って他端に形成した空気出口１３ｂから流出する。

【０００３】水噴霧室１３には、空気入口１３ａに位置
して第１ワッシャメディア１４を配置し、空気出口１３
ｂに位置して第２ワッシャメディア１５を配置してお
り、各ワッシャメディア１４、１５は、空気流の流路断
面とほぼ等しい形状を有し、ポリ塩化ビニルデン系繊維
やステンレスの線材等からなり、たとえば２５ｍｍ〜５
０ｍｍ程度の厚みを有するマット状のものである。

【０００４】水噴霧室１３の内部には、後述する循環水
供給系に連通する複数の第１段ノズル１６を第１ワッシ
ャメディア１４より下流側に位置して配置するととも
に、後述する補給水供給系に連通する複数の第２段ノズ
ル１７を第１段ノズル１６とほぼ同じ位置に配置してい
る。第１段ノズル１６は、空気流とは逆方向に向けて第
１ワッシャメディア１４に達する噴霧水を噴霧するもの
であり、第２段ノズル１７は、空気流と順方向に向けて
第２ワッシャメディア１５に噴霧水を噴霧するものであ
る。

【０００５】水噴霧室１３の下部には、流下する噴霧水
を受け止める貯水槽１８が設けてあり、貯水槽１８に滞
留する循環水を第１段ノズル１６に循環供給する循環水
供給系１９が水噴霧室１３の下部に連通して設けてあ
る。循環水供給系１９は、貯水槽１８の下部に開口する
吸込管２０と、吸込管２０に接続した循環ポンプ２１
と、循環ポンプ２１を駆動するモータ２２と、循環ポン
プ２１の吐出口に接続して水噴霧室１３の上方に配置し
た第１段吐出管２３と、第１段吐出管２３から分岐して
水噴霧室１２に垂直方向に配設した複数の第１段分岐管
２４とからなり、各第１段分岐管２４に前述した複数の
第１段ノズル１６を設けている。

【０００６】第２段ノズル１７に補給水として純水を供
給する補給水供給系２５は、清浄水供給装置（図示せ
ず）もしくは純水供給装置（図示せず）に接続して水噴
霧室１３の上方に配置した給水管２６を有し、給水管２
６に前述した複数の第２段ノズル１７を設けている。貯
水槽１８には、オバーフロー管２８と、補給水として清
浄水を供給する第２補給水供給管２９が連通し、第２補
給水供給管２９は清浄水供給装置（図示せず）に連通し
ている。

【０００７】水噴霧室１３の下流側には、水噴霧室１３
を通過した空気に含まれる水滴等を除去するエリミネー
タ３０が配置してあり、水噴霧室１３の空気出口１３ｂ
には、水噴霧室１３と同様の流路断面形状を有する所定
長さの冷却室３１が接続してある。冷却室３１の内部に
は冷却器として冷却コイル３２が設けてあり、冷却室３
１の下方にはドレンパン３３が形成したある。このドレ
ンパン３３の凹みには冷却室３１の外部へ通じるドレン
パイプ３４が接続してある。水噴霧室１３の下流側には
送風機（図示せず）が配置してあり、この送風機を作動
することによって水噴霧室１３の流路に空気を導く。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記したエアワッシャ
において、第１段ノズル１６から噴霧する噴霧水は、空
気中の塵埃や有害ガスに衝突し、衝突した空気中の塵埃
や有害ガスが噴霧水とともに第１ワッシャメディア１４
に達し、第１ワッシャメディア１４が塵埃や有害ガスを
伴った噴霧水を捕捉する。噴霧水と空気中の塵埃や有害
ガスとの接触効率は、噴霧水が微粒子化するほどに多く
なり、除去効率が向上する。

【０００９】本発明は上記した課題を解決するものであ
り、飽和効率の高い加湿を行ない、空気中の塵埃や有害
ガスを確実に除去するとともに、噴水水量を抑制してポ
ンプ動力を低減し、装置外形寸法を小さくできるエアワ
ッシャを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１に係る本発明のエアワッシャは、空気
入口と空気出口とを有し、空気入口から空気出口に向か
って空気流が生じる水噴霧室と、水噴霧室の空気入口に
配置する第１ワッシャメディアと、水噴霧室の空気出口
に配置する第２ワッシャメディアと、第１ワッシャメデ
ィアより下流側の位置に第１ワッシャメディアと平行に
配置する金網と、金網より下流側に位置し、空気流とは
逆方向に向けて第１ワッシャメディアに達する噴霧水を
噴霧するノズルと、水噴霧室内に位置して流下する噴霧
水を受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水をノズルに
循環供給する循環水供給系とを備えた構成としたもので
ある。

【００１１】上記した構成により、水噴霧室の空気入口
から第１ワッシャメディアを通して流入する空気流に対
し、その流れに対向するように貯水槽からの水をノズル
から噴霧する。噴霧水（特に粒子径の大きなもの）は、
金網に衝突し、その衝撃により微粒子化して空気中の塵
埃や有害ガスとの接触効率が良くなる。噴霧水の微粒子
に衝突した空気中の塵埃や有害ガスは、噴霧水とともに
一部が第１ワッシャメディアに達し、第１ワッシャメデ
ィアが塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。第１
ワッシャメディアに達した噴霧水は、第１ワッシャメデ
ィアに付着した塵埃を洗い流して流下するとともに有害
ガスを取り込んで貯水槽へ流入し、流下する過程におい
て蒸発して空気を加湿する。

【００１２】第ｌワッシャメディアに衝突しなかった噴
霧水の微粒子は、一部が水噴霧室の天井面、壁面または
貯水面に衝突するが、それ以外は空気流に乗って移動
し、その過程において蒸発して空気を加湿するととも
に、空気中の塵埃や有害ガスを取り込んで第２ワッシャ
メディアに達し、第２ワッシャメディアが塵埃や有害ガ
スを伴った噴霧水を捕捉する。貯水槽に滞留する循環水
は、循環水供給系を通って循環し、再びノズルから噴霧
する。

【００１３】このように、第１段ノズルから噴射する噴
霧水を金網との衝突により微粒子化し、塵埃や有害ガス
との接触効率を高めて、その除去と空気の加湿を行なう
ので、空気の流量に対する噴霧水の量の割合を低く設定
し、外形寸法を小さくしても、空気中の塵埃や有害ガス
を十分に除去できるとともに、効率よく空気を飽和加湿
することができ、循環水供給系におけるポンプ等のアク
チュエータの出力を低減し、その小型化によって省スペ
ース化が図れる。

【００１４】請求項２に係る本発明のエアワッシャは、
空気入口と空気出口とを有し、空気入口から空気出口に
向かって空気流が生じる水噴霧室と、水噴霧室の空気入
口に配置する第１ワッシャメディアと、水噴霧室の空気
出口に配置する第２ワッシャメディアと、第１ワッシャ
メディアと第２ワッシャメディアの間に空気流と平行に
配置する少なくとも１枚の金網と、金網に向けて噴霧
し、一部が第１ワッシャメディアに達する噴霧水を噴霧
するノズルと、水噴霧室内に位置して流下する噴霧水を
受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水をノズルに循環
供給する循環水供給系とを備えた構成としたものであ
る。

【００１５】上記した構成により、水噴霧室の空気入口
から第１ワッシャメディアを通して流入する空気流に対
し、その流れを横切るように金網に向けてノズルから噴
霧する。噴霧水（特に粒子径の大きなもの）は、金網に
衝突し、その衝撃により微粒子化して空気中の塵埃や有
害ガスとの接触効率が良くなる。噴霧水の微粒子に衝突
した空気中の塵埃や有害ガスは、噴霧水とともに一部が
第１ワッシャメディアに達し、第１ワッシャメディアが
塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。第１ワッシ
ャメディアに達した噴霧水は、第１ワッシャメディアに
付着した塵埃を洗い流して流下するとともに有害ガスを
取り込んで貯水槽へ流入し、流下する過程において蒸発
して空気を加湿する。

【００１６】第ｌワッシャメディアに衝突しなかった噴
霧水の微粒子は、一部が水噴霧室の天井面、壁面または
貯水面に衝突するが、それ以外は空気流に乗って移動
し、その過程において蒸発して空気を加湿するととも
に、空気中の塵埃や有害ガスを取り込んで第２ワッシャ
メディアに達し、第２ワッシャメディアが塵埃や有害ガ
スを伴った噴霧水を捕捉する。貯水槽に滞留する循環水
は、循環水供給系を通って循環し、再びノズルから噴霧
する。

【００１７】このように、第１段ノズルから噴射する噴
霧水を金網との衝突により微粒子化し、塵埃や有害ガス
との接触効率を高めて、その除去と空気の加湿を行なう
ので、空気の流量に対する噴霧水の量の割合を低く設定
し、外形寸法を小さくしても、空気中の塵埃や有害ガス
を十分に除去できるとともに、効率よく空気を飽和加湿
することができ、循環水供給系におけるポンプ等のアク
チュエータの出力を低減し、その小型化によって省スペ
ース化が図れる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。実施形態１図１〜図３に示すように、エアワッシャ５１は、矩形の
流路断面を有する本体ケーシング５２の内部に、所定長
さの水噴霧室５３を有している。水噴霧室５３は、その
一端に形成した空気入口５３ａにおいてダクト（図示せ
ず）に接続しており、このダクトから流入する空気Ａが
水噴霧室５３の流路を通って他端に形成した空気出口５
３ｂから流出する。

【００１９】水噴霧室５３には、空気入口５３ａに位置
して第１ワッシャメディア５４ａを配置し、空気出口５
３ｂに位置して第２ワッシャメディア５４ｂを配置して
おり、各ワッシャメディア５４ａ、５４ｂは、空気流の
流路断面とほぼ等しい形状を有し、ポリ塩化ビニルデン
系繊維やステンレスの線材等からなり、たとえば２５ｍ
ｍ〜５０ｍｍ程度の厚みを有するマット状のものであ
る。

【００２０】水噴霧室５３の内部には、第１ワッシャメ
ディア５４ａの側に金網５５を第１ワッシャメディア５
４ａと平行に配置している。この金網５５は、図４又は
図５に示すように、線径０．５〜１．０ｍｍ、線間隔２
〜５ｍｍ程度のものである。金網５５の下流側には、後
述する循環水供給系に連通する複数の第１段ノズル５６
を配置するとともに、後述する補給水供給系に連通する
複数の第２段ノズル５７を第１段ノズル５６とほぼ同じ
位置に配置している。第１段ノズル５６は、空気流とは
逆方向に、金網５５に向けて第１ワッシャメディア５４
に達する噴霧水を噴霧するものであり、第２段ノズル５
７は、空気流と順方向に向けて第２ワッシャメディア５
４ａに噴霧水を噴霧するものである。

【００２１】水噴霧室５３の下部には、流下する噴霧水
を受け止める貯水槽５８が設けてあり、貯水槽５８に滞
留する循環水を第１段ノズル５６に循環供給する循環水
供給系５９が水噴霧室５３の下部に連通して設けてあ
る。循環水供給系５９は、貯水槽５８の下部に開口する
吸込管６０と、吸込管６０に接続した循環ポンプ６１
と、循環ポンプ６１を駆動するモータ６２と、循環ポン
プ６１の吐出口に接続して水噴霧室５３の上方に配置し
た第１段吐出管６３と、第１段吐出管６３から分岐して
水噴霧室５２に垂直方向に配設した複数の第１段分岐管
６４とからなり、各第１段分岐管６４に前述した複数の
第１段ノズル５６を設けている。

【００２２】第２段ノズル５７に補給水として純水を供
給する補給水供給系６５は、清浄水供給装置（図示せ
ず）もしくは純水供給装置（図示せず）に接続して水噴
霧室５３の上方に配置した給水管６６を有し、給水管６
６に前述した複数の第２段ノズル５７を設けている。貯
水槽５８には、オバーフロー管６８と、補給水として清
浄水を供給する第２補給水供給管６９が連通し、第２補
給水供給管６９は清浄水供給装置（図示せず）に連通し
ている。

【００２３】水噴霧室５３の下流側には、水噴霧室５３
を通過した空気に含まれる水滴等を除去するエリミネー
タ７０が配置してあり、水噴霧室５３の空気出口５３ｂ
には、水噴霧室５３と同様の流路断面形状を有する所定
長さの冷却室７１が接続してある。冷却室７１の内部に
は冷却器として冷却コイル７２が設けてあり、冷却室７
１の下方にはドレンパン７３が形成したある。このドレ
ンパン７３の凹みには冷却室７１の外部へ通じるドレン
パイプ７４が接続してある。水噴霧室５３の下流側には
送風機（図示せず）が配置してあり、この送風機を作動
することによって水噴霧室５３の流路に空気を導く。

【００２４】上記した構成における作用を説明する。図
６に示すように、空気Ａは空気入口５３ａから第１ワッ
シャメディア５４ａを通して水噴霧室５３に流入する。
この空気流に対し、その流れに対向するように貯水槽５
８からの循環水を第１段ノズル５６から噴霧する。噴霧
水（特に粒子径の大きなもの）は、金網５５に衝突して
微粒子化し、空気中の塵埃や有害ガスに衝突する。この
とき、噴霧水は微粒子化により空気中の塵埃や有害ガス
との接触効率が良くなる。

【００２５】空気中の塵埃や有害ガスに衝突した噴霧水
の微粒子は、その一部が第１ワッシャメディア５４ａに
達し、第１ワッシャメディア５４ａが塵埃や有害ガスを
伴った噴霧水を捕捉する。第１ワッシャメディア５４ａ
では、噴霧水が第１ワッシャメディア５４ａに付着した
塵埃を洗い流して流下するとともに、有害ガスを取り込
んで貯水槽５８へ流入する。噴霧水は流下する過程にお
いて蒸発して空気を加湿する。

【００２６】第ｌワッシャメディア５４ａに衝突しなか
った噴霧水は、一部が水噴霧室５３の天井面、壁面また
は貯水面に衝突するが、それ以外は空気流に乗って移動
し、その過程において蒸発して空気を加湿するととも
に、空気中の塵埃や有害ガスを取り込んで第２ワッシャ
メディア５４ｂに達し、第２ワッシャメディア５４ｂが
塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。

【００２７】そして、水噴霧室５３の空気流に対して、
清浄水もしくは純水を第２段ノズル５７から噴霧する
と、清浄水もしくは純水の噴霧水が空気中に残存する塵
埃や有害ガスとともに第２ワッシャメディア５４ｂに達
し、第２ワッシャメディア５４ｂが塵埃や有害ガスを伴
った噴霧水を捕捉する。第２ワッシャメディア５４ｂで
は、噴霧水が第２ワッシャメディア５４ｂに付着した塵
埃を洗い流して流下するとともに、有害ガスを取り込ん
で貯水槽５８へ流入する。噴霧水は流下する過程におい
て蒸発して空気を加湿する。貯水槽５８へ流入した清浄
水もしくは純水は、補給水として循環水に合流し、循環
水供給系５９を通って第１段ノズル５６から循環水とし
て噴霧する。

【００２８】第２ワッシャメディア５４ｂを通過した空
気は、浄化して十分に加湿した清浄な空気として空気出
口からエリミネータ７０に流入し、エリミネータ７０に
おいて空気中の水滴を除去する。エリミネータ７０から
流出する空気は冷却室７１に導き、冷却コイル７２によ
って冷却する。上述した過程において、第１段ノズル５
６から噴射する噴霧水を金網５５との衝突により微粒子
化し、塵埃や有害ガスとの接触効率を高めて、その除去
と空気の加湿を行なうので、空気の流量に対する噴霧水
の量の割合を低く設定し、外形寸法を小さくしても、空
気中の塵埃や有害ガスを十分に除去できるとともに、効
率よく空気を飽和加湿することができ、循環水供給系５
９における循環ポンプ６１の出力を低減し、その小型化
によって省スペース化が図れる。

【００２９】循環水は空気の加湿に伴って減少するの
で、この循環水の減少量を補うとともに、循環水中の有
害ガス濃度を一定値以下に維持するために必要な必要補
給水量の補給水を循環水の循環系に補給する。第２段ノ
ズル５７において清浄水もしくは純水が貯水槽５８へ補
給水として流入するので、この水量を必要補給水量から
減じ、その量を補給水として第２補給水供給管６９から
貯水槽５８に供給する。第２段ノズル５７に供給する補
給水供給系６５より、必要補給水量の全てを清浄水もし
くは純水を供給するようにし、第２補給水供給管６９か
らは非常時のみ供給するようにしても良い。

【００３０】実施形態２図７は、本発明の他の実施形態を示すものであり、先の
実施形態と同様の作用を行なう部材は同一番号を付して
説明を省略する。図７において、水噴霧室５３の内部に
は、第１ワッシャメディア５４ａと第２ワッシャメディ
ア５４ｂの間に中間ワッシャメディア５４ｃを配置し、
第２段ノズル５７を、空気流に対向する方向に向けて噴
霧水を噴霧するように配置する。

【００３１】この構成により、第１段ノズル５６から噴
霧した噴霧水のうち空気流に乗って移動する噴霧水が空
気中の塵埃や有害ガスを取り込んで中間ワッシャメディ
ア５４ｃに達し、中間ワッシャメディア５４ｃが塵埃や
有害ガスを伴った噴霧水を捕捉する。中間ワッシャメデ
ィア５４ｃを通過した空気流に対して、清浄水もしくは
純水を第２段ノズル５７から噴霧すると、清浄水もしく
は純水の噴霧水が空気中に残存する塵埃や有害ガスに衝
突して、中間ワッシャメディア５４ｃに達し、中間ワッ
シャメディア５４ｃが塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を
捕捉する。第２段ノズル５７から噴霧した噴霧水のうち
空気流に乗って移動する噴霧水は空気中の塵埃や有害ガ
スを取り込んで第２ワッシャメディア５４ｂに達する。

【００３２】実施形態３図８は、本発明の他の実施形態を示すものであり、先の
実施形態と同様の作用を行なう部材は同一番号を付して
説明を省略する。図８において、エアワッシャ８１は、
空気流に沿って二連のエアワッシャ部８２、８３を有し
ており、各エアワッシャ部８２、８３には、水噴霧室５
３と、第１ワッシャメディア５４ａと、第２ワッシャメ
ディア５４ｂと、金網５５と、第１段ノズル５６と、貯
水槽５８と、循環水供給系５９とを設けており、下流側
のエアワッシャ部８３に第２段ノズル５７と、補給水供
給系６５とを設けている。上流側のエアワッシャ部８２
の貯水槽５８と下流側のエアワッシャ部８３の貯水槽５
８とは連絡管８４を介して連通しており、上流側のエア
ワッシャ部８２の貯水槽５８にオーバーフロー管６８を
設けている。

【００３３】上記した構成により、流入する空気を多段
に浄化でき、ガス除去効果が高まり、大気の有害ガス濃
度が高濃度である地域においても使用することができ
る。

【００３４】

【表１】因みに、表１は本発明の効果を示すものであり、実施形
態１、２、３の何れにおいても、噴霧水を金網５５との
衝突により微粒子化して、塵埃や有害ガスとの接触効率
を高めることで、空気の流量に対する噴霧水の量の割合
を低く設定し、外形寸法を小さくすることができる。

【００３５】実施形態４図９〜図１１は、本発明の他の実施形態を示すものであ
り、先の実施形態と同様の作用を行なう部材は同一番号
を付して説明を省略する。図９〜図１１において、水噴
霧室５３の内部には、第１ワッシャメディア５４ａと第
２ワッシャメディア５４ｂの間に、複数の金網９０を空
気流と平行に配置している。この金網５５は、先に図４
又は図５に示したものと同じである。

【００３６】金網９０の下流側には、金網５５に向けて
噴霧し、噴霧水の一部が第１ワッシャメディア５４ａに
達する複数の第１段ノズル５６を設けている。この構成
により、図１２に示すように、水噴霧室５３の空気入口
５３ａから第１ワッシャメディア５４ａを通して流入す
る空気流に対し、その流れを横切るように金網９０に向
けて第１段ノズル５６から噴霧する。噴霧水（特に粒子
径の大きなもの）は、金網９０に衝突し、その衝撃によ
り微粒子化して空気中の塵埃や有害ガスとの接触効率が
良くなる。他の作用効果は先に説明した実施形態１のも
のと同様である。

【００３７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
１段ノズルから噴射する噴霧水を金網との衝突により微
粒子化し、塵埃や有害ガスとの接触効率を高めて、その
除去と空気の加湿を行なうので、空気の流量に対する噴
霧水の量の割合を低く設定し、外形寸法を小さくして
も、空気中の塵埃や有害ガスを十分に除去できるととも
に、効率よく空気を飽和加湿することができ、循環水供
給系におけるポンプ等のアクチュエータの出力を低減
し、その小型化によって省スペース化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示すエアワッシャの平断面
図である。

【図２】同エアワッシャの縦断面図である。

【図３】同エアワッシャの正面図である。

【図４】同エアワッシャに使用する金網の形態を示す模
式図である。

【図５】同エアワッシャに使用する金網の他の形態を示
す模式図である。

【図６】同エアワッシャおける作用を説明する模式図で
ある。

【図７】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの縦
断面図である。

【図８】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの縦
断面図である。

【図９】本発明の実施形態を示すエアワッシャの平断面
図である。

【図１０】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１１】同エアワッシャの正面図である。

【図１２】同エアワッシャにおける作用を説明する模式
図である。

【図１３】従来のエアワッシャの平断面図である。

【図１４】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１５】同エアワッシャにおける作用を説明する模式
図である。

【符号の説明】

５１エアワッシャ５２本体ケーシング５３水噴霧室５３ａ空気入口５３ｂ空気出口５４ａ第１ワッシャメディア５４ｂ第２ワッシャメディア５５金網５６第１段ノズル５７第２段ノズル５８貯水槽５９循環水供給系６０吸込管６１循環ポンプ６２モータ６３第１段吐出管６４第１段分岐管６５純水供給系６６第２段吐出管６７各第２段分岐管６８オバーフロー管６９補給水供給管７０エリミネータ７１冷却室７２冷却コイル７３ドレンパン７４ドレンパイプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山形允和東京都千代田区有楽町１−４−１三機工業株式会社内 (72)発明者秋田州三栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空調株式会社栃木工場内 (72)発明者篠原正明栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空調株式会社栃木工場内 (72)発明者鈴木正栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空調株式会社栃木工場内 (72)発明者清水利壽栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空調株式会社栃木工場内Ｆターム(参考） 4D020 AA09 AA10 BA23 BB03 CB27 CC08 CC13 CC14 CD01 CD02 4D032 AB02 AB07 AC04 AC07 AC08 BB01 BB05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気入口と空気出口とを有し、空気入口
から空気出口に向かって空気流が生じる水噴霧室と、水
噴霧室の空気入口に配置する第１ワッシャメディアと、
水噴霧室の空気出口に配置する第２ワッシャメディア
と、第１ワッシャメディアより下流側の位置に第１ワッ
シャメディアと平行に配置する金網と、金網より下流側
に位置し、空気流とは逆方向に向けて第１ワッシャメデ
ィアに達する噴霧水を噴霧するノズルと、水噴霧室内に
位置して流下する噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽
内の循環水をノズルに循環供給する循環水供給系とを備
えたことを特徴とするエアワッシャ。
【請求項２】空気入口と空気出口とを有し、空気入口
から空気出口に向かって空気流が生じる水噴霧室と、水
噴霧室の空気入口に配置する第１ワッシャメディアと、
水噴霧室の空気出口に配置する第２ワッシャメディア
と、第１ワッシャメディアと第２ワッシャメディアの間
に空気流と平行に配置する少なくとも１枚の金網と、金
網に向けて噴霧し、一部が第１ワッシャメディアに達す
る噴霧水を噴霧するノズルと、水噴霧室内に位置して流
下する噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水
をノズルに循環供給する循環水供給系とを備えたことを
特徴とするエアワッシャ。