JP3113232B2 - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JP3113232B2 JP3113232B2 JP10248202A JP24820298A JP3113232B2 JP 3113232 B2 JP3113232 B2 JP 3113232B2 JP 10248202 A JP10248202 A JP 10248202A JP 24820298 A JP24820298 A JP 24820298A JP 3113232 B2 JP3113232 B2 JP 3113232B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、試料から発生し
た蛍光を観察する顕微鏡に関するものである。
た蛍光を観察する顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】落射照明型顕微鏡は、試料像を拡大する
為に対物レンズと接眼レンズを備え、これらのレンズの
間に落射照明系が配置された構造を有する。この落射照
明系により光が試料に照射され、その反射像により試料
が観察される。
為に対物レンズと接眼レンズを備え、これらのレンズの
間に落射照明系が配置された構造を有する。この落射照
明系により光が試料に照射され、その反射像により試料
が観察される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、励起光
を試料に照射して得られる蛍光は一般にその光量レベル
が低く、このような微弱光を効率良く検出することがで
きないという問題があった。
を試料に照射して得られる蛍光は一般にその光量レベル
が低く、このような微弱光を効率良く検出することがで
きないという問題があった。
【０００４】本発明の課題は、試料から発生した蛍光を
効率よく検出することができる顕微鏡を提供することで
ある。
効率よく検出することができる顕微鏡を提供することで
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の顕微鏡
は、試料から発生した蛍光を観察する顕微鏡であって、
前記試料に光を照射する落射照明光学系と、前記試料を
透過した光を平行光にする無限遠補正対物レンズと、前
記無限遠補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコー
ナキューブリフレクタと、前記試料に照射する光と前記
試料から発生した蛍光との中で、前記試料から発生した
蛍光を検出する、例えばフィルタ等を有する蛍光検出光
学系とを備えることを特徴とする。
は、試料から発生した蛍光を観察する顕微鏡であって、
前記試料に光を照射する落射照明光学系と、前記試料を
透過した光を平行光にする無限遠補正対物レンズと、前
記無限遠補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコー
ナキューブリフレクタと、前記試料に照射する光と前記
試料から発生した蛍光との中で、前記試料から発生した
蛍光を検出する、例えばフィルタ等を有する蛍光検出光
学系とを備えることを特徴とする。
【０００６】この請求項１記載の顕微鏡によれば、試料
を透過した光は、無限遠補正対物レンズを透過して平行
光になる。この平行光はコーナキューブリフレクタで３
回反射され、再び、無限遠補正対物レンズに入射する。
無限遠補正対物レンズから出射された光は、最初に光が
透過した試料の位置と同一の位置にスポットを結ぶ。従
って、照射光が試料の同一位置を２回透過することか
ら、試料は照射光により２度励起され蛍光の光量が増大
するため、蛍光検出光学系により微弱な蛍光を効率よく
検出することができる。
を透過した光は、無限遠補正対物レンズを透過して平行
光になる。この平行光はコーナキューブリフレクタで３
回反射され、再び、無限遠補正対物レンズに入射する。
無限遠補正対物レンズから出射された光は、最初に光が
透過した試料の位置と同一の位置にスポットを結ぶ。従
って、照射光が試料の同一位置を２回透過することか
ら、試料は照射光により２度励起され蛍光の光量が増大
するため、蛍光検出光学系により微弱な蛍光を効率よく
検出することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、第１図に基づき、本発明の
第１実施の形態に係る、共焦点型レーザ走査顕微鏡を説
明する。この共焦点型走査顕微鏡には、レーザ光源１の
光照射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホールが形成
されたピンホール板３及びハーフミラー４がほぼ一列に
配列されている。その為、レーザ光源１から出射された
レーザ光は集光レンズ２により集光され、ピンホール板
３のピンホールに入射する。ハーフミラー４はレーザ光
源１の光照射方向に対して鏡面がほぼ４５度傾斜して配
置されているので、ピンホール板３から出射された光は
ハーフミラー４により入射光路に対してほぼ直角方向に
反射される。
第１実施の形態に係る、共焦点型レーザ走査顕微鏡を説
明する。この共焦点型走査顕微鏡には、レーザ光源１の
光照射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホールが形成
されたピンホール板３及びハーフミラー４がほぼ一列に
配列されている。その為、レーザ光源１から出射された
レーザ光は集光レンズ２により集光され、ピンホール板
３のピンホールに入射する。ハーフミラー４はレーザ光
源１の光照射方向に対して鏡面がほぼ４５度傾斜して配
置されているので、ピンホール板３から出射された光は
ハーフミラー４により入射光路に対してほぼ直角方向に
反射される。
【０００８】この反射光の進行方向に沿って、コリメー
タレンズ５およびＸ方向光偏向器６がほぼ一列に配列さ
れている。ハーフミラー４により反射された光はコリメ
ータレンズ５により平行化され、Ｘ方向光偏向器６に入
射する。Ｘ方向光偏向器６は、その回転軸がＺ軸方向
（Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向）に配置されているの
で、照射光は試料１２に対してＸ方向に振られる。
タレンズ５およびＸ方向光偏向器６がほぼ一列に配列さ
れている。ハーフミラー４により反射された光はコリメ
ータレンズ５により平行化され、Ｘ方向光偏向器６に入
射する。Ｘ方向光偏向器６は、その回転軸がＺ軸方向
（Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向）に配置されているの
で、照射光は試料１２に対してＸ方向に振られる。
【０００９】Ｘ方向光偏向器６の出射側には、リレーレ
ンズ７、８及びＹ方向光偏向器９がほぼ一列に配列され
ている。その為、Ｘ方向光偏向器６から出射された光は
リレーレンズ７、８を介してＹ方向光偏向器９に入射さ
れる。Ｙ方向光偏向器９は、その回転軸がＸ軸方向に配
置されているので、照射光は試料１２に対してＹ方向に
振られる。結局、試料１２に照射される光はＸ方向に高
速でスキャンされると共にＹ方向にスキャンされる。
ンズ７、８及びＹ方向光偏向器９がほぼ一列に配列され
ている。その為、Ｘ方向光偏向器６から出射された光は
リレーレンズ７、８を介してＹ方向光偏向器９に入射さ
れる。Ｙ方向光偏向器９は、その回転軸がＸ軸方向に配
置されているので、照射光は試料１２に対してＹ方向に
振られる。結局、試料１２に照射される光はＸ方向に高
速でスキャンされると共にＹ方向にスキャンされる。
【００１０】Ｙ方向光偏向器９の出射側には、結像レン
ズ１０、対物レンズ１１及び試料１２が配列されてい
る。結像レンズ１０は対物レンズ１１の前側像面にスポ
ットを結ぶように配置されており、このスポットにより
形成された、いわば仮想光源からの光が対物レンズ１１
に入射する。対物レンズ１１から出射された光は、回折
限界まで絞り込まれたスポットになり、試料１２上をＸ
方向及びＹ方向へ２次元的にスキャンする。
ズ１０、対物レンズ１１及び試料１２が配列されてい
る。結像レンズ１０は対物レンズ１１の前側像面にスポ
ットを結ぶように配置されており、このスポットにより
形成された、いわば仮想光源からの光が対物レンズ１１
に入射する。対物レンズ１１から出射された光は、回折
限界まで絞り込まれたスポットになり、試料１２上をＸ
方向及びＹ方向へ２次元的にスキャンする。
【００１１】試料１２の透過側には、無限遠補正対物レ
ンズ１３、テレセントリック結像レンズ１４及び平面鏡
１５が配列されている。無限遠補正対物レンズ１３は、
その前側焦点に試料１２が位置し、その後側焦点にテレ
セントリック結像レンズ１４の前側焦点が位置するよう
に配置されている。さらに、テレセントリック結像レン
ズ１４の後側焦点には、その鏡面が光軸に対して直交す
る方向に平面鏡１５が配置されている。その為、テレセ
ントリック結像レンズ１４は無限遠補正対物レンズ１３
の光軸に対して平行な主光線を有する光を平面鏡１５に
向けて出射し、テレセントリック結像レンズ１４からの
出射光により平面鏡１５には試料１２の実像が結ばれ
る。
ンズ１３、テレセントリック結像レンズ１４及び平面鏡
１５が配列されている。無限遠補正対物レンズ１３は、
その前側焦点に試料１２が位置し、その後側焦点にテレ
セントリック結像レンズ１４の前側焦点が位置するよう
に配置されている。さらに、テレセントリック結像レン
ズ１４の後側焦点には、その鏡面が光軸に対して直交す
る方向に平面鏡１５が配置されている。その為、テレセ
ントリック結像レンズ１４は無限遠補正対物レンズ１３
の光軸に対して平行な主光線を有する光を平面鏡１５に
向けて出射し、テレセントリック結像レンズ１４からの
出射光により平面鏡１５には試料１２の実像が結ばれ
る。
【００１２】なお、上記ハーフミラー４としてダイクロ
イックミラーを使用することができ、Ｘ方向光偏向器
６、Ｙ方向光偏向器９としてガルバノミラーを利用した
スキャナ（Galvano Metric Scanner) や回転多面鏡を利
用したスキャナ(Rotary Polygonal Scanner)を使用する
ことができる。
イックミラーを使用することができ、Ｘ方向光偏向器
６、Ｙ方向光偏向器９としてガルバノミラーを利用した
スキャナ（Galvano Metric Scanner) や回転多面鏡を利
用したスキャナ(Rotary Polygonal Scanner)を使用する
ことができる。
【００１３】次に、上記実施の形態に係る共焦点型レー
ザ走査顕微鏡の作用を説明する。レーザ光源１から出射
されたレーザ光は集光レンズ２で集光され、平行光とさ
れた後に、Ｘ方向光偏向器６およびＹ方向光偏向器９に
よってＸ、Ｙ方向に振られる。Ｘ、Ｙ方向に振られた光
は、結像レンズ１０により対物レンズ１１の前側像面に
スポットを結ぶ。これは、Ｘ、Ｙ方向に振られる仮想光
源ともいうべきもので、ここからの光は対物レンズ１１
に入射する。出射された光は、回折限界まで絞り込まれ
たスポットになって試料１２上を二次元的にスキャンす
る。
ザ走査顕微鏡の作用を説明する。レーザ光源１から出射
されたレーザ光は集光レンズ２で集光され、平行光とさ
れた後に、Ｘ方向光偏向器６およびＹ方向光偏向器９に
よってＸ、Ｙ方向に振られる。Ｘ、Ｙ方向に振られた光
は、結像レンズ１０により対物レンズ１１の前側像面に
スポットを結ぶ。これは、Ｘ、Ｙ方向に振られる仮想光
源ともいうべきもので、ここからの光は対物レンズ１１
に入射する。出射された光は、回折限界まで絞り込まれ
たスポットになって試料１２上を二次元的にスキャンす
る。
【００１４】試料１２を透過した光は無限遠補正対物レ
ンズ１３により平行光となり、その後、テレセントリッ
ク結像レンズ１４に入射する。テレセントリック結像レ
ンズ１４は、光束の主光線が光軸に対して平行になるよ
うに、平面鏡１５に向けて光を出射する。平面鏡１５は
テレセントリック結像レンズ１４から出射された光を反
射し、再び、その反射光をテレセントリック結像レンズ
１４に入射する。テレセントリック結像レンズ１４から
出射された光は、無限遠補正対物レンズ１３に入射し、
無限遠補正対物レンズ１３によって試料１２の同一位置
に形成されたスポット光により試料１２を反対方向から
照明する。このように、光が試料を２回通過する為、透
過像の明暗差がより明確になり、像のコントラストを増
強することができる。
ンズ１３により平行光となり、その後、テレセントリッ
ク結像レンズ１４に入射する。テレセントリック結像レ
ンズ１４は、光束の主光線が光軸に対して平行になるよ
うに、平面鏡１５に向けて光を出射する。平面鏡１５は
テレセントリック結像レンズ１４から出射された光を反
射し、再び、その反射光をテレセントリック結像レンズ
１４に入射する。テレセントリック結像レンズ１４から
出射された光は、無限遠補正対物レンズ１３に入射し、
無限遠補正対物レンズ１３によって試料１２の同一位置
に形成されたスポット光により試料１２を反対方向から
照明する。このように、光が試料を２回通過する為、透
過像の明暗差がより明確になり、像のコントラストを増
強することができる。
【００１５】さらに、試料１２を２回透過した透過光は
対物レンズ１１に入射し、照明光が通過した光の経路を
逆方向に辿り、ハーフミラー４まで到達する。この透過
光はハーフミラー４を透過し、ピンホール板３と共役の
位置に置かれたピンホール板１６のピンホールに入射
し、その後、ホトディテクタ１７により検出される。
対物レンズ１１に入射し、照明光が通過した光の経路を
逆方向に辿り、ハーフミラー４まで到達する。この透過
光はハーフミラー４を透過し、ピンホール板３と共役の
位置に置かれたピンホール板１６のピンホールに入射
し、その後、ホトディテクタ１７により検出される。
【００１６】上記実施の形態によると、Ｘ方向光偏向
器、Ｙ方向光偏向器によってスキャンされた情報とホト
ディテクタからの出力により２次元の共焦点透過光像を
作り出すことができる。
器、Ｙ方向光偏向器によってスキャンされた情報とホト
ディテクタからの出力により２次元の共焦点透過光像を
作り出すことができる。
【００１７】また、通常の反射型の共焦点型レーザ走査
顕微鏡に無限遠補正対物レンズ、テレセントリック結像
レンズ及び平面鏡を付加することにより、簡単に透過型
の共焦点型レーザ走査顕微鏡に転換することができる。
顕微鏡に無限遠補正対物レンズ、テレセントリック結像
レンズ及び平面鏡を付加することにより、簡単に透過型
の共焦点型レーザ走査顕微鏡に転換することができる。
【００１８】次に、第２図に基づき、本発明の第２実施
の形態に係る落射照明系を利用した透過型顕微鏡を説明
する。
の形態に係る落射照明系を利用した透過型顕微鏡を説明
する。
【００１９】第１実施の形態に係る共焦点型レーザ走査
顕微鏡と比べて、試料１２に照明光を導く光学系の構成
が異なっているが、試料１２、無限遠補正対物レンズ１
３、テレセントリック結像レンズ１４及び平面鏡１５の
配置は同一なので説明は省略する。この透過型顕微鏡に
よると、試料１２と観察者１８の間には接眼レンズ１９
及び対物レンズ２０が配列されており、接眼レンズ１９
と対物レンズ２０の間には落射照明系Ａが配列されてい
る。落射照明系Ａは例えばビームスプリッタ２１、レン
ズ２２及び落射照明用光源２３を備えて構成されてお
り、落射照明用光源２３からの光はレンズ２２を透過
し、ビームスプリッタ２１で対物レンズ２０に向けて反
射される。この場合、均一な照明を得る為に落射照明系
Ａとしてケーラ照明系を使用してもよい。
顕微鏡と比べて、試料１２に照明光を導く光学系の構成
が異なっているが、試料１２、無限遠補正対物レンズ１
３、テレセントリック結像レンズ１４及び平面鏡１５の
配置は同一なので説明は省略する。この透過型顕微鏡に
よると、試料１２と観察者１８の間には接眼レンズ１９
及び対物レンズ２０が配列されており、接眼レンズ１９
と対物レンズ２０の間には落射照明系Ａが配列されてい
る。落射照明系Ａは例えばビームスプリッタ２１、レン
ズ２２及び落射照明用光源２３を備えて構成されてお
り、落射照明用光源２３からの光はレンズ２２を透過
し、ビームスプリッタ２１で対物レンズ２０に向けて反
射される。この場合、均一な照明を得る為に落射照明系
Ａとしてケーラ照明系を使用してもよい。
【００２０】次に、上記実施の形態に係る透過型顕微鏡
の作用を説明する。落射照明系Ａからの光は対物レンズ
２０により集光され試料１２上に照射される。また、試
料１２を透過した光は試料１２に関する光情報を得て、
無限遠補正対物レンズ１３に入射し、無限遠補正対物レ
ンズ１３によって平行光に変えられる。その後、この平
行光はテレセントリック結像レンズ１４に入射し、その
光束の主光線がテレセントリック結像レンズ１４の光軸
に対して平行になるように平面鏡１５に入射する。この
入射光は平面鏡１５により反射された後、テレセントリ
ック結像レンズ１４によりほぼ平行光に変えられる。こ
の平行光は無限遠補正対物レンズ１３に入射し、無限遠
補正対物レンズ１３により試料１２の同一位置にスポッ
トを形成し、最初に照明光が入射した同一位置を反対側
から照射する。
の作用を説明する。落射照明系Ａからの光は対物レンズ
２０により集光され試料１２上に照射される。また、試
料１２を透過した光は試料１２に関する光情報を得て、
無限遠補正対物レンズ１３に入射し、無限遠補正対物レ
ンズ１３によって平行光に変えられる。その後、この平
行光はテレセントリック結像レンズ１４に入射し、その
光束の主光線がテレセントリック結像レンズ１４の光軸
に対して平行になるように平面鏡１５に入射する。この
入射光は平面鏡１５により反射された後、テレセントリ
ック結像レンズ１４によりほぼ平行光に変えられる。こ
の平行光は無限遠補正対物レンズ１３に入射し、無限遠
補正対物レンズ１３により試料１２の同一位置にスポッ
トを形成し、最初に照明光が入射した同一位置を反対側
から照射する。
【００２１】試料１２を反対側から透過した光は、再
び、試料１２に関する光学情報を得て、対物レンズ２０
に入射する。このように光が試料の同一位置を２回通過
することから、透過像の明暗差が大きくなりコントラス
トが増強される。対物レンズ２０からの光は、ビームス
プリッタ２１を透過して接眼レンズ１９に入射し、観察
光が観察者１８により観察される。なお、この実施の形
態では接眼レンズ１９を使用しているが、接眼レンズ１
９の代わりにＴＶカメラを使用してもよい。
び、試料１２に関する光学情報を得て、対物レンズ２０
に入射する。このように光が試料の同一位置を２回通過
することから、透過像の明暗差が大きくなりコントラス
トが増強される。対物レンズ２０からの光は、ビームス
プリッタ２１を透過して接眼レンズ１９に入射し、観察
光が観察者１８により観察される。なお、この実施の形
態では接眼レンズ１９を使用しているが、接眼レンズ１
９の代わりにＴＶカメラを使用してもよい。
【００２２】このように、通常の落射照明型顕微鏡に、
無限遠補正対物レンズ１３、テレセントリック結像レン
ズ１４及び平面鏡１５を追加すれば、簡単に透過型顕微
鏡に転換することができる。
無限遠補正対物レンズ１３、テレセントリック結像レン
ズ１４及び平面鏡１５を追加すれば、簡単に透過型顕微
鏡に転換することができる。
【００２３】次に、第３図に基づき、本発明の第３実施
の形態に係る落射照明系を利用した透過型顕微鏡を説明
する。第２実施の形態に係る透過型顕微鏡と比べて、こ
の透過型顕微鏡は試料１２の透過光が再び試料１２に戻
るまでの光学系の構成が異なるが、落射照明系、接眼レ
ンズの構成は基本的に同一なので説明は省略する。
の形態に係る落射照明系を利用した透過型顕微鏡を説明
する。第２実施の形態に係る透過型顕微鏡と比べて、こ
の透過型顕微鏡は試料１２の透過光が再び試料１２に戻
るまでの光学系の構成が異なるが、落射照明系、接眼レ
ンズの構成は基本的に同一なので説明は省略する。
【００２４】この透過型顕微鏡は、無限遠補正対物レン
ズ２４の焦点が試料１２に合致するように配置されてお
り、無限遠補正対物レンズ２４の射出瞳面にはコーナキ
ューブリフレクタ（レトロリフレクタ）２５が配置され
ている点に特徴がある。その為、試料１２を透過した光
は無限遠補正対物レンズ２４によって平行光に変えら
れ、コーナキューブリフレクタ２５により反射され、再
び、試料１２を裏側より照射する。
ズ２４の焦点が試料１２に合致するように配置されてお
り、無限遠補正対物レンズ２４の射出瞳面にはコーナキ
ューブリフレクタ（レトロリフレクタ）２５が配置され
ている点に特徴がある。その為、試料１２を透過した光
は無限遠補正対物レンズ２４によって平行光に変えら
れ、コーナキューブリフレクタ２５により反射され、再
び、試料１２を裏側より照射する。
【００２５】以下、上記実施の形態に係る透過型顕微鏡
の作用を説明する。落射照明系Ａからの光は対物レンズ
２０により集光され試料１２上に照射される。また、試
料１２を透過した光は試料１２に関する光情報を得て無
限遠補正対物レンズ２４に入射し、無限遠補正対物レン
ズ２４によって平行光に変えられる。その後、この平行
光はコーナキューブリフレクタ２５に入射し、鏡面で３
回反射されて無限遠補正対物レンズ２４に再び入射す
る。無限遠補正対物レンズ２４から出射された光は試料
１２の同一位置にスポットを形成し、最初に照明光が入
射した同一位置を反対側から照射する。試料１２を反対
側から透過した光は再び試料１２に関する同一の透過情
報を得て、対物レンズ２０に入射する。
の作用を説明する。落射照明系Ａからの光は対物レンズ
２０により集光され試料１２上に照射される。また、試
料１２を透過した光は試料１２に関する光情報を得て無
限遠補正対物レンズ２４に入射し、無限遠補正対物レン
ズ２４によって平行光に変えられる。その後、この平行
光はコーナキューブリフレクタ２５に入射し、鏡面で３
回反射されて無限遠補正対物レンズ２４に再び入射す
る。無限遠補正対物レンズ２４から出射された光は試料
１２の同一位置にスポットを形成し、最初に照明光が入
射した同一位置を反対側から照射する。試料１２を反対
側から透過した光は再び試料１２に関する同一の透過情
報を得て、対物レンズ２０に入射する。
【００２６】このように、観察者により観察される戻り
光は２度にわたり試料１２の同一位置を透過するので透
過像の明暗差が大きくなり、コントラストが増強され
る。対物レンズ２０からの光はビームスプリッタ２１を
透過して接眼レンズ１９に入射し、観察光が観察者１８
により観察される。
光は２度にわたり試料１２の同一位置を透過するので透
過像の明暗差が大きくなり、コントラストが増強され
る。対物レンズ２０からの光はビームスプリッタ２１を
透過して接眼レンズ１９に入射し、観察光が観察者１８
により観察される。
【００２７】上記実施の形態によると、反射照明用の光
源を利用して透過像を観察することができ、無限遠補正
対物レンズ２４及びコーナキューブリフレクタ２５を付
加することにより、簡単に通常の落射照明型顕微鏡を透
過型顕微鏡に転換することができる。なお、本発明は上
記実施の形態に限定されるものではない。例えば、第２
実施の形態又は第３実施の形態に係る透過型顕微鏡の光
源としてレーザを使用し、さらにピンホールを追加する
ことにより、共焦点型顕微鏡に転換することができる。
源を利用して透過像を観察することができ、無限遠補正
対物レンズ２４及びコーナキューブリフレクタ２５を付
加することにより、簡単に通常の落射照明型顕微鏡を透
過型顕微鏡に転換することができる。なお、本発明は上
記実施の形態に限定されるものではない。例えば、第２
実施の形態又は第３実施の形態に係る透過型顕微鏡の光
源としてレーザを使用し、さらにピンホールを追加する
ことにより、共焦点型顕微鏡に転換することができる。
【００２８】また、照射光が試料を励起することにより
生じる蛍光は、２回にわたる照射光の透過により試料が
２回励起されてそれぞれ生じ、これらは共に、対物レン
ズにより捕捉される。その為、フィルタ等を用いてこれ
ら光量が増大された蛍光をホトディテクタにより検出す
ることができる。さらに、試料に光が照射されることに
より発生する反射光、散乱光は対物レンズにより捕捉さ
れ、照明光が通過した光の経路を逆方向に辿ってハーフ
ミラー４まで到達するのでホトディテクタにより検出す
ることができる。
生じる蛍光は、２回にわたる照射光の透過により試料が
２回励起されてそれぞれ生じ、これらは共に、対物レン
ズにより捕捉される。その為、フィルタ等を用いてこれ
ら光量が増大された蛍光をホトディテクタにより検出す
ることができる。さらに、試料に光が照射されることに
より発生する反射光、散乱光は対物レンズにより捕捉さ
れ、照明光が通過した光の経路を逆方向に辿ってハーフ
ミラー４まで到達するのでホトディテクタにより検出す
ることができる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、照射光が試料の同一位
置を２回透過することにより試料は照射光により２度励
起され、微弱な蛍光などの光を効率良く検出することが
できる。
置を２回透過することにより試料は照射光により２度励
起され、微弱な蛍光などの光を効率良く検出することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態に係る共焦点型レーザ
走査顕微鏡を示す概略図である。
走査顕微鏡を示す概略図である。
【図２】本発明の第２実施の形態に係る落射照明型顕微
鏡を示す概略図である。
鏡を示す概略図である。
【図３】本発明の第３実施の形態に係る落射照明型顕微
鏡を示す概略図である。
鏡を示す概略図である。
１…レーザ光源、２…集光レンズ、３…ピンホール、４
…ハーフミラー、５…コリメータレンズ、６…Ｘ方向偏
光器、７、８…リレーレンズ、９…Ｙ方向偏光器、１０
…結像レンズ、１１…対物レンズ、１２…試料、１３、
２４…無限遠補正対物レンズ、１４…テレセントリック
結像レンズ、１５…平面鏡、１６…ピンホール、１７…
ホトディテクタ、１８…観察者、１９…接眼レンズ、２
０…対物レンズ、２１…ビームスプリッタ、２２…レン
ズ、２３…落射照明用光源、２５…コーナキューブリフ
レクタ（レトロリフレクタ）。
…ハーフミラー、５…コリメータレンズ、６…Ｘ方向偏
光器、７、８…リレーレンズ、９…Ｙ方向偏光器、１０
…結像レンズ、１１…対物レンズ、１２…試料、１３、
２４…無限遠補正対物レンズ、１４…テレセントリック
結像レンズ、１５…平面鏡、１６…ピンホール、１７…
ホトディテクタ、１８…観察者、１９…接眼レンズ、２
０…対物レンズ、２１…ビームスプリッタ、２２…レン
ズ、２３…落射照明用光源、２５…コーナキューブリフ
レクタ（レトロリフレクタ）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−145911（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−18785（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−188408（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−131811（ＪＰ，Ａ) ***国特許出願公開2546079（ＤＥ, Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/62 - 21/74 G02B 21/00 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 試料から発生した蛍光を観察する顕微鏡
であって、 前記試料に光を照射する落射照明光学系と、 前記試料を透過した光を平行光にする無限遠補正対物レ
ンズと、 前記無限遠補正対物レンズの射出瞳位置に配設されたコ
ーナキューブリフレクタと、 前記試料に照射する光と前記試料から発生した蛍光との
中で、前記試料から発生した蛍光を検出する蛍光検出光
学系と、 を備えることを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10248202A JP3113232B2 (ja) | 1998-09-02 | 1998-09-02 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10248202A JP3113232B2 (ja) | 1998-09-02 | 1998-09-02 | 顕微鏡 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2133152A Division JPH0760217B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 透過型顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142335A JPH11142335A (ja) | 1999-05-28 |
| JP3113232B2 true JP3113232B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=17174723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10248202A Expired - Fee Related JP3113232B2 (ja) | 1998-09-02 | 1998-09-02 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3113232B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3747890B2 (ja) * | 2002-07-08 | 2006-02-22 | オムロン株式会社 | 光学部品ならびに当該光学部品を用いた光検出装置、光検出方法および分析方法 |
| JP2009156659A (ja) | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Olympus Corp | 測定装置及び測定方法 |
| JP2013511713A (ja) * | 2009-11-20 | 2013-04-04 | ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ | 向上した蛍光検出及び方法 |
| CN107290050A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 北京世纪桑尼科技有限公司 | 一种可用于光谱分析的多点扫描共聚焦成像*** |
-
1998
- 1998-09-02 JP JP10248202A patent/JP3113232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11142335A (ja) | 1999-05-28 |
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