JP3111269B2 - Ｘ線回折用二次元検出器 - Google Patents
Ｘ線回折用二次元検出器Info
- Publication number
- JP3111269B2 JP3111269B2 JP05091683A JP9168393A JP3111269B2 JP 3111269 B2 JP3111269 B2 JP 3111269B2 JP 05091683 A JP05091683 A JP 05091683A JP 9168393 A JP9168393 A JP 9168393A JP 3111269 B2 JP3111269 B2 JP 3111269B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- ray diffraction
- detector
- dimensional
- fluorescent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Luminescent Compositions (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線回折分野におけ
るＸ線回折パターン検出のための二次元Ｘ線検出器に関
する。
るＸ線回折パターン検出のための二次元Ｘ線検出器に関
する。
【従来の技術】Ｘ線回折強度あるいは回折パターンを検
出するためにはＸ線光子を一個一個計数するパルス計数
型と一定時間にくるＸ線の強度を積分して計数する積分
計数型がある。Ｘ線強度の場所的な分布を一次元あるい
は二次元で記録できる位置検出機能を持つ位置敏感検出
器としては、一次元、二次元比例計数管、Ｘ線フィル
ム、イメージングプレート、Ｘ線テレビ、ＣＣＤＸ線検
出器などが上げられる。この中で、位置分解能を持つ一
次元あるいは二次元の比例計数管は、エネルギー分解能
の機能をもち、パルス計数管検出器の優れた特徴を有し
ている。一方、積分計数型検出器は位置検出における位
置分解能に優れており、Ｘ線フィルムが最も良く用いら
れている。
出するためにはＸ線光子を一個一個計数するパルス計数
型と一定時間にくるＸ線の強度を積分して計数する積分
計数型がある。Ｘ線強度の場所的な分布を一次元あるい
は二次元で記録できる位置検出機能を持つ位置敏感検出
器としては、一次元、二次元比例計数管、Ｘ線フィル
ム、イメージングプレート、Ｘ線テレビ、ＣＣＤＸ線検
出器などが上げられる。この中で、位置分解能を持つ一
次元あるいは二次元の比例計数管は、エネルギー分解能
の機能をもち、パルス計数管検出器の優れた特徴を有し
ている。一方、積分計数型検出器は位置検出における位
置分解能に優れており、Ｘ線フィルムが最も良く用いら
れている。
【発明が解決しようとする課題】用いるＸ線波長、Ｘ線
の種類たとえば特性Ｘ線あるいは連続線によって、Ｘ線
回折パターンの検出方法が異なってくるが、一般にパル
ス計数型検出器である一次元あるいは二次元比例計数管
では不感時間による高計数率での数え落としがあり、し
かも位置分解能が十分ではないという欠点を有してい
る。一方、積分計数型検出器であるＸ線フィルムやＸ線
テレビは感度が低く、ダイナミックレンジが狭く、直線
性が悪い等の難点がある。イメージングプレートの場合
これらの難点は改善されているものの、イメージングプ
レートにＸ線画像が記録されたあと、このＸ線潜像を読
み取るために、Ｈｅ−Ｎｅレーザを用い、集束したビー
ムでイメージングプレート上を二次元的に走査する。蛍
光強度は光電子増倍管で測定され、その出力は対数アン
プで増幅される。さらに、ＡＤ変換により数値化された
後コンピュータで画像が再構成される。このため、読み
取りに時間がかかり、装置が大型化する傾向がある。そ
こで、この発明の目的は、使用するＸ線波長に対して、
最適な蛍光面で、Ｘ線の蛍光体による光電吸収とそれに
伴う蛍光作用を応用し、しかも可視化したＸ線をイメー
ジインテンシファイアーによって、増幅させ、ＣＣＤで
画像を検出し、電気的に処理するもので、高感度で、位
置分解能に優れた小型のＸ線回折用二元検出器を得るこ
とである。
の種類たとえば特性Ｘ線あるいは連続線によって、Ｘ線
回折パターンの検出方法が異なってくるが、一般にパル
ス計数型検出器である一次元あるいは二次元比例計数管
では不感時間による高計数率での数え落としがあり、し
かも位置分解能が十分ではないという欠点を有してい
る。一方、積分計数型検出器であるＸ線フィルムやＸ線
テレビは感度が低く、ダイナミックレンジが狭く、直線
性が悪い等の難点がある。イメージングプレートの場合
これらの難点は改善されているものの、イメージングプ
レートにＸ線画像が記録されたあと、このＸ線潜像を読
み取るために、Ｈｅ−Ｎｅレーザを用い、集束したビー
ムでイメージングプレート上を二次元的に走査する。蛍
光強度は光電子増倍管で測定され、その出力は対数アン
プで増幅される。さらに、ＡＤ変換により数値化された
後コンピュータで画像が再構成される。このため、読み
取りに時間がかかり、装置が大型化する傾向がある。そ
こで、この発明の目的は、使用するＸ線波長に対して、
最適な蛍光面で、Ｘ線の蛍光体による光電吸収とそれに
伴う蛍光作用を応用し、しかも可視化したＸ線をイメー
ジインテンシファイアーによって、増幅させ、ＣＣＤで
画像を検出し、電気的に処理するもので、高感度で、位
置分解能に優れた小型のＸ線回折用二元検出器を得るこ
とである。
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明ではＸ線の蛍光面として、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ
を含むＸ線蛍光材料を５ｍｇ／ｃｍ2〜３０ｍｇ／ｃｍ2
の面密度をもち、イメージインテンシファイアーチュー
ブと、ＣＣＤを結合した２次元Ｘ線検出器とする。さら
に、検出面の大きさを変化させるために、蛍光面はテー
パードファイバープレート上におかれ、光の効率を最大
限に利用するために、Ｘ線蛍光面と、イメージインテン
シファイアーチューブと、ＣＣＤはファイバープレート
でカップリングする。
に、本発明ではＸ線の蛍光面として、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ
を含むＸ線蛍光材料を５ｍｇ／ｃｍ2〜３０ｍｇ／ｃｍ2
の面密度をもち、イメージインテンシファイアーチュー
ブと、ＣＣＤを結合した２次元Ｘ線検出器とする。さら
に、検出面の大きさを変化させるために、蛍光面はテー
パードファイバープレート上におかれ、光の効率を最大
限に利用するために、Ｘ線蛍光面と、イメージインテン
シファイアーチューブと、ＣＣＤはファイバープレート
でカップリングする。
（実施例１）以下に、この発明の実施例にもとづいて説
明する。図１は本発明におけるＸ線回折用二次元検出器
の構成図である。Ｘ線回折用二次元検出器において、Ｘ
線蛍光面２と、イメージインテンシファイアイーチュー
ブ４と、ＣＣＤ６はファイバープレート３でカップリン
グしてあり、光の利用効率を最大限に引き出している。
この発明で使用するＸ線蛍光面は沈降法で作製したが、
位置分解能やコーティング膜厚によって、塗布法、蒸着
法やスパッタリング法などの物理的・化学的成膜方法に
よっても作製することができる。Ｘ線蛍光面は回折Ｘ線
の波長領域が０．７〜２オングストロームにおいて、高
感度・高位置分解能を有するように設計した。直径２０
ｍｍ、厚さ３ｍｍのファイバープレート上に沈降法で、
Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの蛍光材料を使って、Ｘ線蛍光面を作
製した。蛍光面の厚さは蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの使
用するＸ線波長に対するＸ線吸収から決定でき、次式に
よって求めた。 Ｉ／Ｉ0＝ｅｘｐ［−μ（ρ／ρ0）ｔ］ ただし、I/I0は蛍光材料によるＸ線の透過率、μは使用
Ｘ線に対する線吸収係数、ρ0 は蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：
Ｔｂの密度、ρは蛍光材料の充填度、ｔは蛍光面の厚さ
を表す。Ｘ線蛍光面に対して高位置分解能を実現するた
めに、蛍光材料の粒度をほぼ均一にして、およそ３μｍ
のものを使用した。図２はＸ線波長１．５４オングスト
ロームにおける、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ蛍光面の面密度に対
するＸ線の透過率と充填度とＸ線蛍光の発光強度の関係
を示したものである。面密度が５ｍｇ／ｃｍ2以下であ
るとき、充填度は１０％から４０％で、低く、Ｘ線の吸
収と蛍光の発光効率が小さくなる。一方、Ｘ線蛍光面Ｇ
ｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度が５ｍｇ／ｃｍ2 以上では約６
０％の充填度でほぼ一定になる。さらに、約１０ｍｇ／
ｃｍ2 を越えるＸ線蛍光面Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度に
対しては、Ｘ線の照射方向と発光した可視光の取り出し
が反対方向であるため、Ｘ線蛍光面がある程度以上の膜
厚になると、発光した光が透過せずに蛍光強度が見かけ
上、減少することになる。したがって、Ｘ線波長が１．
５４オングストロームでＸ線回折のパターンを検出する
場合、８ｍｇ／ｃｍ2〜１０ｍｇ／ｃｍ2が最適値であ
る。このＸ線蛍光面を使って、図１の構成を持つＸ線回
折用２次元検出器の感度を調べたものが図３である。図
３はＸ線波長１．５４オングストロームに対する、Ｇｄ
2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ蛍光面を持つＸ線回折用二次元検出器のＸ
線強度とその応答強度の関係を調べたものである。参考
のために、Ｘ線ＣＣＤ検出器の応答強度に付いてもプロ
ットした。蛍光面が約１０ｍｇ／ｃｍ2 の面密度を持つ
とき、１ピクセル当たり１個のＸ線光子に対して応答
し、約２．５桁のダイナミックレンジを有することがわ
っかた。このとき、位置分解能は約２０μｍである。実
施例１においてはＸ線波長が１．５４オングストローム
に付いて述べたが、Ｘ線の吸収端の存在と、Ｘ線波長が
短くなるに従って、Ｘ線蛍光面に対するＸ線吸収の関係
からＸ線蛍光面の面密度を大きくしなければならない。
図４はＸ線波長に対する蛍光面の蛍光強度が最も強くな
るときの蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度を示したも
のである。回折Ｘ線の波長領域が２オングストローム〜
０．７オングストロームにおいては５ｍｇ／ｃｍ2〜５
０ｍｇ／ｃｍ2の面密度を要し、図１で示した回折Ｘ線
用二次元検出器の構成においては、検出器の応答感度と
ダイナミックレンジに対してはＸ線波長が１．５４オン
グストロームの場合と同じであるが、位置分解能は使用
Ｘ線波長によって、蛍光面の厚さが異なるため、１５μ
ｍ〜６０μｍとなった。 （実施例２）実施例１に示す結果をもとに、Ｘ線蛍光面
とテーパードファイバープレートを組み合わせることに
よって、受光面積を大きくすることが可能である。図５
は縮小率が約１／３であるテーパードファイバープレー
トとＸ線蛍光面Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂを組み合わせたときの
概略図である。実施例２においてはイメージインテンシ
ファイアーチューブの有効径は直径１８ｍｍであり、従
って、Ｘ線蛍光面の有効面は、直径約５４ｍｍである。
この時、テーパードファイバープレートによる光の損失
は図１の構成を持つＸ線回折用二次元検出器と比較して
３０％程度あるがかなり高感度である。一方、位置分解
能は縮小率の逆数分だけ大きくなるため、実施例１の
１．５４オングストロームのＸ線波長に対しては、約６
０μｍである。また２オングストローム〜０．７オング
ストロームのＸ線波長に対しては４５μｍ〜１５０μｍ
である。実施例１と実施例２においては、イメージイン
テンシファイアーチューブの有効径が直径１８ｍｍのも
のを用いたが、有効径４０ｍｍ程度のイメージインテン
シファイアーチューブを用い、縮小率１／３〜１／５の
テーパードファイバープレートと組み合わせることによ
って、Ｘ線の受光面は直径１２０ｍｍ〜２００ｍｍとな
り、大きな面積でのＸ線回折パターンを検出することが
可能となる。
明する。図１は本発明におけるＸ線回折用二次元検出器
の構成図である。Ｘ線回折用二次元検出器において、Ｘ
線蛍光面２と、イメージインテンシファイアイーチュー
ブ４と、ＣＣＤ６はファイバープレート３でカップリン
グしてあり、光の利用効率を最大限に引き出している。
この発明で使用するＸ線蛍光面は沈降法で作製したが、
位置分解能やコーティング膜厚によって、塗布法、蒸着
法やスパッタリング法などの物理的・化学的成膜方法に
よっても作製することができる。Ｘ線蛍光面は回折Ｘ線
の波長領域が０．７〜２オングストロームにおいて、高
感度・高位置分解能を有するように設計した。直径２０
ｍｍ、厚さ３ｍｍのファイバープレート上に沈降法で、
Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの蛍光材料を使って、Ｘ線蛍光面を作
製した。蛍光面の厚さは蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの使
用するＸ線波長に対するＸ線吸収から決定でき、次式に
よって求めた。 Ｉ／Ｉ0＝ｅｘｐ［−μ（ρ／ρ0）ｔ］ ただし、I/I0は蛍光材料によるＸ線の透過率、μは使用
Ｘ線に対する線吸収係数、ρ0 は蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：
Ｔｂの密度、ρは蛍光材料の充填度、ｔは蛍光面の厚さ
を表す。Ｘ線蛍光面に対して高位置分解能を実現するた
めに、蛍光材料の粒度をほぼ均一にして、およそ３μｍ
のものを使用した。図２はＸ線波長１．５４オングスト
ロームにおける、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ蛍光面の面密度に対
するＸ線の透過率と充填度とＸ線蛍光の発光強度の関係
を示したものである。面密度が５ｍｇ／ｃｍ2以下であ
るとき、充填度は１０％から４０％で、低く、Ｘ線の吸
収と蛍光の発光効率が小さくなる。一方、Ｘ線蛍光面Ｇ
ｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度が５ｍｇ／ｃｍ2 以上では約６
０％の充填度でほぼ一定になる。さらに、約１０ｍｇ／
ｃｍ2 を越えるＸ線蛍光面Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度に
対しては、Ｘ線の照射方向と発光した可視光の取り出し
が反対方向であるため、Ｘ線蛍光面がある程度以上の膜
厚になると、発光した光が透過せずに蛍光強度が見かけ
上、減少することになる。したがって、Ｘ線波長が１．
５４オングストロームでＸ線回折のパターンを検出する
場合、８ｍｇ／ｃｍ2〜１０ｍｇ／ｃｍ2が最適値であ
る。このＸ線蛍光面を使って、図１の構成を持つＸ線回
折用２次元検出器の感度を調べたものが図３である。図
３はＸ線波長１．５４オングストロームに対する、Ｇｄ
2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ蛍光面を持つＸ線回折用二次元検出器のＸ
線強度とその応答強度の関係を調べたものである。参考
のために、Ｘ線ＣＣＤ検出器の応答強度に付いてもプロ
ットした。蛍光面が約１０ｍｇ／ｃｍ2 の面密度を持つ
とき、１ピクセル当たり１個のＸ線光子に対して応答
し、約２．５桁のダイナミックレンジを有することがわ
っかた。このとき、位置分解能は約２０μｍである。実
施例１においてはＸ線波長が１．５４オングストローム
に付いて述べたが、Ｘ線の吸収端の存在と、Ｘ線波長が
短くなるに従って、Ｘ線蛍光面に対するＸ線吸収の関係
からＸ線蛍光面の面密度を大きくしなければならない。
図４はＸ線波長に対する蛍光面の蛍光強度が最も強くな
るときの蛍光材料Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの面密度を示したも
のである。回折Ｘ線の波長領域が２オングストローム〜
０．７オングストロームにおいては５ｍｇ／ｃｍ2〜５
０ｍｇ／ｃｍ2の面密度を要し、図１で示した回折Ｘ線
用二次元検出器の構成においては、検出器の応答感度と
ダイナミックレンジに対してはＸ線波長が１．５４オン
グストロームの場合と同じであるが、位置分解能は使用
Ｘ線波長によって、蛍光面の厚さが異なるため、１５μ
ｍ〜６０μｍとなった。 （実施例２）実施例１に示す結果をもとに、Ｘ線蛍光面
とテーパードファイバープレートを組み合わせることに
よって、受光面積を大きくすることが可能である。図５
は縮小率が約１／３であるテーパードファイバープレー
トとＸ線蛍光面Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂを組み合わせたときの
概略図である。実施例２においてはイメージインテンシ
ファイアーチューブの有効径は直径１８ｍｍであり、従
って、Ｘ線蛍光面の有効面は、直径約５４ｍｍである。
この時、テーパードファイバープレートによる光の損失
は図１の構成を持つＸ線回折用二次元検出器と比較して
３０％程度あるがかなり高感度である。一方、位置分解
能は縮小率の逆数分だけ大きくなるため、実施例１の
１．５４オングストロームのＸ線波長に対しては、約６
０μｍである。また２オングストローム〜０．７オング
ストロームのＸ線波長に対しては４５μｍ〜１５０μｍ
である。実施例１と実施例２においては、イメージイン
テンシファイアーチューブの有効径が直径１８ｍｍのも
のを用いたが、有効径４０ｍｍ程度のイメージインテン
シファイアーチューブを用い、縮小率１／３〜１／５の
テーパードファイバープレートと組み合わせることによ
って、Ｘ線の受光面は直径１２０ｍｍ〜２００ｍｍとな
り、大きな面積でのＸ線回折パターンを検出することが
可能となる。
【発明の効果】この発明によれば、以上説明したように
Ｘ線回折用二次元検出器Ｘ線として、Ｘ線蛍光面と、イ
メージインテンシファイアーチューブと、電荷結合素子
（ＣＣＤ）で構成され、Ｘ線蛍光面材料がＧｄ2Ｏ2Ｓ：
Ｔｂを含み、５ｍｇ／ｃｍ2 〜５０ｍｇ／ｃｍ2 の範囲
の面密度の蛍光面を有することによって、回折Ｘ線の検
出感度を高め、しかも位置分解能の良い二次元Ｘ線検出
器が得られる。さらに、Ｘ線蛍光面がテーパードファイ
バープレート上にコーティングすることによって、検出
面積を大きくすることができる。また、Ｘ線蛍光面と、
イメージインテンシファイアーチューブと、ＣＣＤをフ
ァイバープレートあるいはテーパードファイバープレー
トでカップリングすることによって、光の利用効率を最
大限にすることができる。
Ｘ線回折用二次元検出器Ｘ線として、Ｘ線蛍光面と、イ
メージインテンシファイアーチューブと、電荷結合素子
（ＣＣＤ）で構成され、Ｘ線蛍光面材料がＧｄ2Ｏ2Ｓ：
Ｔｂを含み、５ｍｇ／ｃｍ2 〜５０ｍｇ／ｃｍ2 の範囲
の面密度の蛍光面を有することによって、回折Ｘ線の検
出感度を高め、しかも位置分解能の良い二次元Ｘ線検出
器が得られる。さらに、Ｘ線蛍光面がテーパードファイ
バープレート上にコーティングすることによって、検出
面積を大きくすることができる。また、Ｘ線蛍光面と、
イメージインテンシファイアーチューブと、ＣＣＤをフ
ァイバープレートあるいはテーパードファイバープレー
トでカップリングすることによって、光の利用効率を最
大限にすることができる。
【図１】本発明にかかる、Ｘ線回折用二次元検出器の構
成図を示したものである。
成図を示したものである。
【図２】本発明にかかる、Ｘ線蛍光面、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔ
ｂの面密度対するＸ線波長１．５４オングストロームに
おけるＧｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの透過率と充填度と発光強度の
関係を示したものである。
ｂの面密度対するＸ線波長１．５４オングストロームに
おけるＧｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの透過率と充填度と発光強度の
関係を示したものである。
【図３】本発明にかかる、Ｘ線波長１．５４オングスト
ロームに対するＸ線強度とＸ線回折用二次元検出器の応
答強度の関係を示したものである。
ロームに対するＸ線強度とＸ線回折用二次元検出器の応
答強度の関係を示したものである。
【図４】本発明にかかる、Ｘ線波長０．７〜２オンング
ストロームに対する蛍光面、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの最適な
面密度の関係を示したものである。
ストロームに対する蛍光面、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂの最適な
面密度の関係を示したものである。
【図５】Ｘ線蛍光面とテーパードファイバープレートを
組み合わせたＸ線回折用二次元検出器の構成の一部を示
したものである。
組み合わせたＸ線回折用二次元検出器の構成の一部を示
したものである。
１ 回折Ｘ線 ２ Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ、Ｘ線蛍光面 ３ ファイバープレート ４ イメージインテンシファイアーチューブ ５ 光電面 ６ ＣＣＤ検出器 ７ テーパードファイバープレート ８ ホルダー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｎ 23/207 Ｇ０１Ｎ 23/207 Ｇ０１Ｔ 1/00 Ｇ０１Ｔ 1/00 Ｂ Ｈ０１Ｊ 31/50 Ｈ０１Ｊ 31/50 Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01T 1/20 C09K 11/00 C09K 11/84 CPD G01N 23/207 G01T 1/00 H01J 31/50
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線回折パターンを二次元的に検出する
Ｘ線検出器において、 Ｘ線蛍光面と、イメージインテンシファイアーチューブ
と、電荷結合素子（ＣＣＤ）で構成され、Ｘ線蛍光面材
料がＧｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂを含み、回折Ｘ線の波長領域が
０．７オングストローム〜２オングストロームで、５ｍ
ｇ／ｃｍ2〜５０ｍｇ／ｃｍ2の範囲の面密度の蛍光面を
有することを特徴とするＸ線回折用二次元検出器。 - 【請求項２】 請求項１のＸ線回折用二次元検出器にお
いて、Ｘ線蛍光面がテーパードファイバープレート上に
あることを特徴とするＸ線回折用二次元検出器。 - 【請求項３】 請求項１のＸ線回折用二次元検出器にお
いて、Ｘ線蛍光面と、イメージインテンシファイアーチ
ューブと、ＣＣＤが、ファイバープレートあるいはテー
パードファイバープレートで結合することを特徴とする
Ｘ線回折用二次元検出器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05091683A JP3111269B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | Ｘ線回折用二次元検出器 |
| DE69403129T DE69403129T2 (de) | 1993-03-25 | 1994-03-25 | Röntgenstrahlen-Analysegerät |
| EP94302171A EP0617431B1 (en) | 1993-03-25 | 1994-03-25 | X-ray analysing apparatus |
| US08/569,861 US5612987A (en) | 1993-03-25 | 1995-12-08 | X-ray analyzing apparatus |
| US08/749,943 US5739542A (en) | 1993-03-25 | 1996-11-14 | X-ray analyzing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05091683A JP3111269B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | Ｘ線回折用二次元検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300852A JPH06300852A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3111269B2 true JP3111269B2 (ja) | 2000-11-20 |
Family
ID=14033301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05091683A Expired - Lifetime JP3111269B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-04-19 | Ｘ線回折用二次元検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3111269B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7250417B2 (ja) | 2017-03-23 | 2023-04-03 | 株式会社レゾナック・パッケージング | 食品用容器および包装体 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP05091683A patent/JP3111269B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7250417B2 (ja) | 2017-03-23 | 2023-04-03 | 株式会社レゾナック・パッケージング | 食品用容器および包装体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06300852A (ja) | 1994-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Mančić et al. | Absolute calibration of photostimulable image plate detectors used as (0.5–20MeV) high-energy proton detectors | |
| Neitzel | Status and prospects of digital detector technology for CR and DR | |
| JP2000504832A (ja) | 医用画像のためのマルチメディア検出器 | |
| JP4607587B2 (ja) | 放射線検出器用蛍光体シートおよびそれを用いた放射線検出器と放射線検査装置 | |
| US4369367A (en) | Radiation image information read out device | |
| CN100386650C (zh) | X射线成像装置 | |
| Thoms et al. | An improved X-ray detector for use at synchrotrons | |
| Gruner et al. | Comparison of X-ray detectors | |
| JP2006258618A (ja) | 放射線検出器用蛍光体シートおよびそれを用いた放射線検出器 | |
| EP0371987B1 (en) | Storage phosphor read-out method | |
| JP2538247B2 (ja) | 放射線像撮像装置 | |
| JP3111269B2 (ja) | Ｘ線回折用二次元検出器 | |
| Mortimer et al. | The gamma-ray pinhole camera with image amplifier | |
| US6512231B1 (en) | Device for measuring exposure of a solid-state image detector subjected to ionising radiation and image detector equipped with such a measuring device | |
| WO1989003526A1 (en) | Powder diffraction method and apparatus | |
| Dietze et al. | Intensified CCDs as position sensitive neutron detectors | |
| US20030021376A1 (en) | High-resolution radiation detector | |
| Arndt | X‐ray television area detectors | |
| Hofmann et al. | Performance of a prototype detector system for thermal neutrons based on laser stimulated luminescence | |
| Fakra et al. | Scintillator detectors for scanning transmission X‐ray microscopes at the advanced light source | |
| Arndt et al. | An image intensifier-television system for the direct recording of x-ray diffraction patterns | |
| Bele et al. | New high‐DQE Imaging Plate scanner using the reflected readout laser signal for noise corrections | |
| US7122823B2 (en) | Thick clear crystal photostimulable phosphor plate for X-ray imaging | |
| Täte et al. | X‐ray detectors for macromolecular crystallography | |
| Losko et al. | Event-Mode Neutron Imaging Using the TPX3Cam-Breaking the Boundaries of Conventional Neutron Imaging Techniques |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070922 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080922 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090922 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 10 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 12 |