JP3101968B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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JP3101968B2
JP3101968B2 JP07103706A JP10370695A JP3101968B2 JP 3101968 B2 JP3101968 B2 JP 3101968B2 JP 07103706 A JP07103706 A JP 07103706A JP 10370695 A JP10370695 A JP 10370695A JP 3101968 B2 JP3101968 B2 JP 3101968B2
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信儀 藤川
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波,ミリ波等
の高周波領域において、高いQ値を有する誘電体磁器組
成物に関するものであり、例えば、マイクロ波,ミリ波
等の周波数領域において使用される種々の共振器用材料
やMIC用誘電体基板材料、誘電体導波路用材料や積層
型セラミックコンデンサ等に用いることができる誘電体
磁器組成物に関する。
【0002】
【従来技術】従来、誘電体磁器は、マイクロ波やミリ波
等の高周波領域において、誘電体共振器、MIC用誘電
体基板や導波路等に広く利用されている。
【0003】従来より、この種の誘電体磁器としては、
例えばBaO−TiO2 材料、ZrO−SnO2 −Ti
2 材料等が知られており、10GHzにおいて誘電率
が35〜40、Q値が1000〜10000程度、共振
周波数の温度係数τfが±10ppm/℃以下の特性を
有している。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】最近では通信分野
等、より高周波数帯を利用する試みがなされており、誘
電体材料に対してはより高いQ値が要求されている。ま
た、使用周波数が高くなるに従って共振器、基板等の寸
法が小型になるため、アプリケ−ションに際して扱い易
い誘電率が要求されている。
【0005】しかしながら、上記した従来の材料では、
Q値が低く、また誘電率が高すぎるため、10GHz以
上の高周波数帯での使用に際して実用的レベルにないの
が現状である。
【0006】また、磁器密度を向上するために高温で焼
成しなければならず、また高温で焼成しても充分な磁器
密度を得ることが困難であり、強度が弱く、高Q値を得
にくいという問題点があった。
【0007】本発明者等はこのような要求に応えること
ができる材料を研究したところ、低誘電率で高Q値を有
するBa,Mg,WO3 からなる誘電体磁器組成物を開
発し、先に特願平4−293165号に特許出願した。
【0008】しかしながら、近年においては、さらに低
誘電率で高Q値が要求されるとともに、高強度化が要求
されていた。
【0009】
【問題点を解決するための手段】本発明者等はこのよう
な要求に応えることができる材料を研究したところ、B
aO,MgO,WO3 からなる組成物に対して、B,
P,Si,アルカリ金属元素を少なくとも1種以上を所
定量含有させることにより、BaO,MgO,WO3
らなる誘電体磁器組成物よりも磁器密度(かさ比重)お
よびQ値を向上することができることを見出し、本発明
に至った。
【0010】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素として少なくともBa,Mg,Wを含有し、これら
の成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、0.40≦x≦0.
60、0.13≦y≦0.40、0.20≦z≦0.3
0、x+y+z=1を満足する主成分、あるいは、この
組成物100モル部に対して、周期律表第3a族元素か
ら選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モル部の割合
で含有してなる主成分、あるいは、前記組成物100モ
ル部に対して、Sn,Mn,Ca及び周期律表第4a族
元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜20モル部
の割合で含有してなる主成分100重量部に対して、
ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量部以上0.
20重量部以下、りん化合物をP量で0.005重量
部以上1重量部以下、SiO2 換算で0.01重量部
以上1重量部以下、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩
換算で0.01重量部以上1重量部未満、上記〜か
ら選ばれる少なくとも一種を添加含有するものである。
【0011】本発明の誘電体磁器組成物は、モル比によ
る組成式をxBaO・yMgO・zWO3 と表わした
時、前記x、y、zが、0.40≦x≦0.60、0.
13≦y≦0.40、0.20≦z≦0.30、x+y
+z=1を満足するものを主成分とするものであるが、
BaOのモル比xを0.40≦x≦0.60としたの
は、xがこの範囲をはずれるとQ値が低下するからであ
る。また、MgOのモル比yを0.13≦y≦0.40
としたのは、yがこの範囲をはずれるとQ値が低下する
からである。さらに、WO3 のモル比zを0.20≦z
≦0.30としたのは、zがこの範囲をはずれるとQ値
が低下するからである。
【0012】さらに、本発明の誘電体磁器組成物では、
上記組成物に100モル部に対して、周期律表第3a族
元素のうち少なくとも1種を0.1〜30モル部、また
は、Sn,Mn,Caおよび周期律表第4a族元素のう
ち少なくとも1種を0.1〜20モル部添加含有するも
のを主成分としても良い。主成分にSn,Mn,Caお
よび周期律表第3a,4a族元素のうち少なくとも1種
を所定量含有させることにより、共振周波数の温度係数
τfをプラス側に移行することができる。これらの添加
物の量を上記の範囲に限定したのは、周期律表第3a族
元素のうち少なくとも1種の元素が30モル部より多い
か、またはSn,Mn,Caおよび周期律表第4a族元
素のうち少なくとも1種の元素が20モル部より多いと
Q値の低下が著しくなり、周期律表第3a族元素やS
n、Mn、Caおよび周期律表第4a族元素が0.1モ
ル部より少ない場合には、これらの元素の添加効果がほ
とんどないからである。
【0013】本発明の誘電体磁器組成物は、前記主成分
100重量部に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算
で0.01重量部以上0.20重量部以下、りん化合
物をP量で0.005重量部以上1重量部以下、Si
2 換算で0.01重量部以上1重量部以下、アルカ
リ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1
重量部未満、上記〜から選ばれる少なくとも一種を
添加含有するものである。
【0014】主成分100重量部に対してほう酸化合物
の含有量をB2 3 換算で0.01重量部以上0.20
重量部以下としたのは、0.01重量部未満の場合は焼
成温度の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効
果がなく、0.20重量部を越える場合はQ値が低下す
るからである。ほう酸化合物の含有量は、より高い磁器
密度かつ高いQ値を得るという点からB2 3 換算で
0.025重量部以上0.2重量部以下であることが望
ましい。
【0015】また、主成分100重量部に対してりん化
合物の含有量をP量で0.005重量部以上1重量部以
下としたのは、0.005重量部未満の場合は焼成温度
の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効果がな
く、1重量部を越える場合はQ値が低下するからであ
る。りん化合物の含有量は、より高い磁器密度かつ高い
Q値を得るという点からP量で0.025重量部以上1
重量部以下であることが望ましい。
【0016】さらに、主成分100重量部に対してSi
2 を0.01重量部以上1重量部以下としたのは、
0.01重量部未満の場合は焼成温度の低下や磁器密度
(かさ比重)とQ値の向上に効果がなく、1重量部を越
える場合はQ値が低下するからである。SiO2 はより
高い磁器密度かつ高いQ値を得るという点から0.1重
量部以上1重量部以下であることが望ましい。
【0017】また、主成分100重量部に対してアルカ
リ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1
重量部未満としたのは、1重量部未満の場合は焼成温度
の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効果がな
く、1重量部以上の場合はQ値が低下するからである。
アルカリ金属含有化合物は、より高い磁器密度かつ高い
Q値を得るという点から炭酸塩換算で0.1重量部以上
0.9重量部未満であることが望ましい。
【0018】ここで、ほう酸化合物としてはB2 3
コレマナイト,CaB2 4 ,ZnB2 4 等がある。
また、リン化合物としてはH3 PO4 ,P2 5 ,P等
がある。またアルカリ金属としてはLi,Na,K,R
b,Csがある。
【0019】本発明に基づき磁器を作製する方法として
は、例えば、Ba,Mg,Wの酸化物あるいは焼成によ
り酸化物を生成する水酸化物,炭酸塩,硝酸塩等の金属
塩を原料として用い、これらを前述した範囲になるよう
に秤量した後、充分に混合する。その後、混合物を90
0〜1300℃で仮焼処理する。得られた仮焼物に、例
えば、B2 3 のようなほう酸化合物、P2 5 のよう
なリン化合物、SiO2 、Li2 CO3 のようなアルカ
リ金属含有化合物の各化合物を所定量となるように秤量
し添加して、混合粉砕する。そしてこれをプレス成形や
ドクタ−ブレ−ド法等の成形方法により所定の形状に成
形する。次に成形体を大気中等の酸化性雰囲気中で13
00〜1600℃で焼成することにより誘電体磁器を得
ることができる。
【0020】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、BaO,Mg
O,WO3 からなる組成物よりも高い磁器強度およびQ
値を有し、かつ、Q値が4000以上であり、しかも共
振周波数の温度係数τfを一定領域で自由に制御するこ
とができるとともに、高い磁器密度(かさ比重)により
高強度を実現することができる。
【0021】即ち、BaO,MgO,WO3 からなる組
成物にSn,Mn,Caおよび周期律表第3a,4a族
元素のうち少なくとも1種を所定量含有させることによ
り、共振周波数の温度係数τfをプラス側に移行するこ
とができる。また、主成分に対してほう酸化合物,りん
化合物,SiO2 およびアルカリ金属含有化合物を所定
量含有させることにより、焼結を促進し、高い磁器強度
およびQ値を得ることができる。
【0022】
【実施例】
実施例1 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 の粉末を用いて、組成が表1に示す割合となるよ
うに秤量し、純水を媒体とし、ボ−ルミルにて20時間
湿式混合した。次にこの混合物を乾燥(脱水)し、12
00℃で2時間仮焼した。この仮焼物にB2 3 ,H3
PO4 ,SiO2 ,アルカリ金属含有化合物を表2〜表
4 に示した割合となるように秤量し、イソプロピルアル
コ−ルを媒体とし、ボ−ルミルにて20時間湿式混合し
た後、バインダ−としてパラフィンワックスを1〜10
重量%加えてから乾燥し、メッシュを通して整粒した。
次に該整粒物を約1ton/cm2 の圧力で直径10m
m、厚み5mmの円柱状に成形した。さらにこの成形体
を大気中で1400〜1600℃で2時間焼成して誘電
体磁器を得た。
【0023】かくして得られた磁器はJIS規格C21
41−1978(電気絶縁用セラミック材料評試験方
法)に基づいてかさ比重を求めた。また、磁器の両面を
平面研磨し、誘電特性評価用の試料(直径8mm,厚み
6mmの円柱状)を作製した。誘電特性の評価は、前記
試料を用いて誘電体円柱共振器法にて周波数10GHz
における比誘電率とQ値を測定した。また、−40〜8
5℃の温度範囲における共振周波数を測定し、25℃で
の共振周波数を基準にして共振周波数の温度係数τfを
算出した。
【0024】表1に主成分の組成を示し、表2〜4に、
主成分に対して添加されるB,P,Si,アルカリ金属
をそれぞれ所定の化合物に換算した含有量と、そのかさ
比重,比誘電率,Q値,共振周波数の温度係数τfを示
した。
【0025】
【表1】
【0026】
【表2】
【0027】
【表3】
【0028】
【表4】
【0029】これらの表2および表4より、主成分10
0重量部に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.
01重量部以上0.20重量部以下、りん化合物をP量
で0.005重量部以上1重量部以下、SiO2 換算で
0.01重量部以上1重量部以下、アルカリ金属含有化
合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部未満添
加した場合や、これらの添加化合物の組み合わせて添加
することにより、BaO,MgO,WO3 からなる組成
物よりも、かさ比重およびQ値が向上し、比誘電率が1
8〜22、Q値が4800以上、共振周波数の温度係数
τfが±30ppm/℃以内の優れた特性を有すること
が判る。
【0030】実施例2 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 およびYO3/2,LaO3/2 ,CeO2 ,NdO
3/2 ,PrO11/6,SmO3/2 の粉末を主成分原料とし
て用いて表5〜表8に示す割合に秤量し、純水を媒体と
し、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した。表5〜表8
中における主成分No,は表1のNo,である。次にこの混
合物を乾燥(脱水)し、1200℃で2時間仮焼した。
この仮焼物にB2 3 ,H3 PO4 ,SiO2 ,アルカ
リ金属含有化合物を表5〜表8に示した割合となるよう
に秤量し、イソプロピルアルコ−ルを媒体とし、ボ−ル
ミルにて20時間湿式混合した後、バインダ−としてパ
ラフィンワックスを1〜10重量%加えてから乾燥し、
メッシュを通して整粒した。次に該整粒物を約1ton
/cm2 の圧力で直径10mm、厚み5mmの円柱状に
成形した。さらにこの成形体を大気中で1400〜16
00℃で2時間焼成して誘電体磁器を得た。
【0031】かくして得られた磁器について、かさ比
重,比誘電率,Q値,共振周波数の温度係数τfを実施
例1と同様にして求めた。表5〜表8にその結果を示し
た。
【0032】
【表5】
【0033】
【表6】
【0034】
【表7】
【0035】
【表8】
【0036】これらの表5〜8によれば、BaO,Mg
O,WO3 からなる組成物100モル部に対して周期律
表第3a族元素を0.1〜30モル部添加することによ
り、共振周波数の温度係数τfを最適な値に調整するこ
とができることが判る。また、主成分100重量部に対
してB,P,Si,アルカリ金属元素を少なくとも1種
以上を所定量添加することにより、BaO,MgO,W
3 からなる組成物よりも、かさ比重およびQ値が向上
し、比誘電率が18〜22、Q値が4300以上の優れ
た特性を有することが判る。
【0037】実施例3 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 およびHfO2,ZrO2 ,MnCO3 ,SnO
2 ,TiO2 ,CaCO3 の粉末を主成分原料として用
いて表9〜表11に示す割合に秤量し、純水を媒体と
し、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した。表9〜表1
1において主成分のNo,は表1におけるNo,である。次
にこの混合物を乾燥(脱水)し、1200℃で2時間仮
焼した。この仮焼物にB2 3 ,H3 PO4 ,Si
2 ,アルカリ金属含有化合物を表9〜表11に示した
割合となるように秤量し、イソプロピルアルコ−ルを媒
体とし、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した後、バイ
ンダ−としてパラフィンワックスを1〜10重量%加え
てから乾燥し、メッシュを通して整粒した。次に該整粒
物を約1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み5
mmの円柱状に成形した。さらにこの成形体を大気中で
1400〜1600℃で2時間焼成して誘電体磁器を得
た。得られた磁器について、かさ比重,比誘電率,Q
値,共振周波数の温度係数τfを実施例1と同様にして
求めた。表9〜表11にその結果を示した。
【0038】
【表9】
【0039】
【表10】
【0040】
【表11】
【0041】これらの表9〜11によれば、BaO,M
gO,WO3 からなる組成物100モル部に対してS
n,Mn,Caおよび周期律表第4a族元素を0.1〜
20モル部添加することにより、共振周波数の温度係数
τfを最適な値に調整することができることが判る。ま
た、主成分100重量部に対してB,P,Si,アルカ
リ金属元素を少なくとも1種以上を所定量添加すること
により、BaO,MgO,WO3 からなる組成物より
も、かさ比重およびQ値が向上し、比誘電率が18〜2
2、Q値が4600以上、共振周波数の温度係数τfが
±30ppm/℃以内の優れた特性を有することが判
る。
【0042】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、B
aO,MgO,WO3 からなる主成分、あるいは、これ
にSn,Mn,Caおよび周期律表第3a,4a族元素
を含んだ主成分に対して、B,P,Si,アルカリ金属
元素を所定量含有することにより、BaO,MgO,W
3 からなる組成物よりかさ比重が向上し、高強度とす
ることができるとともに、10GHzでのQ値を高くす
ることができ(4000以上)、共振周波数の温度係数
τfを制御することができる。また、主成分にSn,M
n,Caおよび周期律表第3a,4a族元素を含有する
ことにより、焼結性を向上するとともに、共振周波数の
温度係数τfをプラス側に移行させ、誘電特性を制御す
ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−309925(JP,A) 特開 平6−236708(JP,A) 特開 平5−205524(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/00

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、ほう酸化合物
    をB2 3 換算で0.01重量部以上0.2重量部以下
    添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、リン化合物を
    P量で0.005重量部以上1重量部以下添加含有する
    ことを特徴とする誘電体磁器組成物。
  3. 【請求項3】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、SiO2
    0.01重量部以上1重量部以下添加含有することを特
    徴とする誘電体磁器組成物。
  4. 【請求項4】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、アルカリ金属
    含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部
    未満添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  5. 【請求項5】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
    a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
    ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
    て、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量部以上
    0.2重量部以下添加含有することを特徴とする誘電体
    磁器組成物。
  6. 【請求項6】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
    a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
    ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
    て、リン化合物をP量で0.005重量部以上1重量部
    以下添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  7. 【請求項7】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
    a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
    ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
    て、SiO2 を0.01重量部以上1重量部以下添加含
    有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  8. 【請求項8】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
    a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
    ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
    て、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重
    量部以上1重量部未満添加含有することを特徴とする誘
    電体磁器組成物。
  9. 【請求項9】金属元素として少なくともBa,Mg,W
    を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
    Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
    1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
    に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量
    部以上0.2重量部以下添加含有することを特徴とする
    誘電体磁器組成物。
  10. 【請求項10】金属元素として少なくともBa,Mg,
    Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
    Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
    1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
    に対して、リン化合物をP量で0.005重量部以上1
    重量部以下添加含有することを特徴とする誘電体磁器組
    成物。
  11. 【請求項11】金属元素として少なくともBa,Mg,
    Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
    Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
    1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
    に対して、SiO2 を0.01重量部以上1重量部以下
    添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  12. 【請求項12】金属元素として少なくともBa,Mg,
    Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
    Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
    1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
    に対して、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.
    01重量部以上1重量部未満添加含有することを特徴と
    する誘電体磁器組成物。
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