JP2842756B2 - 高周波用誘電体磁器組成物 - Google Patents
高周波用誘電体磁器組成物Info
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- JP2842756B2 JP2842756B2 JP5101338A JP10133893A JP2842756B2 JP 2842756 B2 JP2842756 B2 JP 2842756B2 JP 5101338 A JP5101338 A JP 5101338A JP 10133893 A JP10133893 A JP 10133893A JP 2842756 B2 JP2842756 B2 JP 2842756B2
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- Japan
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- dielectric
- dielectric ceramic
- ceramic composition
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波，ミリ波等
の高周波領域において高い誘電率及び高いＱ値を有する
新規な高周波用誘電体磁器組成物に関する。
の高周波領域において高い誘電率及び高いＱ値を有する
新規な高周波用誘電体磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来技術】マイクロ波やミリ波等の高周波領域におい
て、誘電体磁器は誘電体共振器やＭＩＣ用誘電体基板等
に広く利用されている。
て、誘電体磁器は誘電体共振器やＭＩＣ用誘電体基板等
に広く利用されている。
【０００３】従来より、この種の誘電体磁器としては、
例えばＺｒＯ2 −ＳｎＯ2 −ＴｉＯ2 系材料、ＢａＯ−
ＴｉＯ2 材料、（Ｂａ，Ｓｒ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 系材
料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｔａ）Ｏ3 系材料等が知られている。
例えばＺｒＯ2 −ＳｎＯ2 −ＴｉＯ2 系材料、ＢａＯ−
ＴｉＯ2 材料、（Ｂａ，Ｓｒ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 系材
料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｔａ）Ｏ3 系材料等が知られている。
【０００４】上記材料は、各種の改良により周波数１０
ＧＨｚにおいて誘電率２０〜４０、Ｑ値が３０００以
上、さらに共振周波数の温度係数（τｆ）が０ｐｐｍ／
℃付近の優れた特性が達成されている。
ＧＨｚにおいて誘電率２０〜４０、Ｑ値が３０００以
上、さらに共振周波数の温度係数（τｆ）が０ｐｐｍ／
℃付近の優れた特性が達成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】最近では使用する周
波数がより高くなる傾向にあるとともに誘電体材料に対
してさらに優れた誘電特性、特にＱ値の向上が要求され
つつある。ところが、前述した従来の誘電体材料では、
１０ＧＨｚでは特にＱ値を高めるにしても６０００程度
が限界であり、これらの要求に対して充分に応えること
ができないのが現状である。また、従来の誘電体材料で
は共振周波数の温度係数（τｆ）を制御することができ
なかった。
波数がより高くなる傾向にあるとともに誘電体材料に対
してさらに優れた誘電特性、特にＱ値の向上が要求され
つつある。ところが、前述した従来の誘電体材料では、
１０ＧＨｚでは特にＱ値を高めるにしても６０００程度
が限界であり、これらの要求に対して充分に応えること
ができないのが現状である。また、従来の誘電体材料で
は共振周波数の温度係数（τｆ）を制御することができ
なかった。
【０００６】本発明はこのような要求に応えることがで
き、高周波領域において高い誘電率および高いＱ値を有
するとともに共振周波数の温度特性の制御が可能な誘電
体磁器組成物を提供することを目的とするものである。
き、高周波領域において高い誘電率および高いＱ値を有
するとともに共振周波数の温度特性の制御が可能な誘電
体磁器組成物を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、上記問
題点に対して検討を加えた結果、ＢａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ
3 、Ｔａ2 Ｏ5 を含有し、これらを特定の組成に調製す
ることにより優れた誘電特性が得られることを見出し
た。
題点に対して検討を加えた結果、ＢａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ
3 、Ｔａ2 Ｏ5 を含有し、これらを特定の組成に調製す
ることにより優れた誘電特性が得られることを見出し
た。
【０００８】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は金属複
合酸化物からなり、ＢａＯ，ＭｇＯ，ＷＯ3 及びＴａ2
Ｏ5 より構成されるものである。そして、本発明は、モ
ル比による組成式をｘＢａＯ・ｙＭｇＯ・ｚＷＯ3 ・ｗ
ＴａＯ5/2 と表した時、前記ｘ、ｙ、ｚ、ｗが
合酸化物からなり、ＢａＯ，ＭｇＯ，ＷＯ3 及びＴａ2
Ｏ5 より構成されるものである。そして、本発明は、モ
ル比による組成式をｘＢａＯ・ｙＭｇＯ・ｚＷＯ3 ・ｗ
ＴａＯ5/2 と表した時、前記ｘ、ｙ、ｚ、ｗが
【０００９】
【数２】
【００１０】を満足する組成範囲に設定されるものであ
る。
る。
【００１１】これらの比率を上記の範囲に設定したの
は、ＢａＯ量（ｘ）が０．４０より少ないとＱ値が低下
し焼結が困難となり、０．５５より多いとＱ値が低下す
るからである。また、ＭｇＯ量（ｙ）が０．１０より少
ないと焼結性が困難となり、あるいはＱ値の低下を招
き、０．４０より多いとＱ値が低下する傾向があるから
である。さらに、ＷＯ3 量（ｚ）が０．３０よりも多い
とＱ値が低下するからである。また、ＴａＯ5/2 量
（ｗ）が０．４０以上となるとＱ値が低下するからであ
る。
は、ＢａＯ量（ｘ）が０．４０より少ないとＱ値が低下
し焼結が困難となり、０．５５より多いとＱ値が低下す
るからである。また、ＭｇＯ量（ｙ）が０．１０より少
ないと焼結性が困難となり、あるいはＱ値の低下を招
き、０．４０より多いとＱ値が低下する傾向があるから
である。さらに、ＷＯ3 量（ｚ）が０．３０よりも多い
とＱ値が低下するからである。また、ＴａＯ5/2 量
（ｗ）が０．４０以上となるとＱ値が低下するからであ
る。
【００１２】そして、本発明の誘電体磁器組成物では、
Ｔａ2 Ｏ5 ，ＢａＯ，ＭｇＯ，ＷＯ3 のモル比を前記範
囲内で変化させることにより、高いＱ値を維持したま
ま、共振周波数の温度特性を一定領域で自由に制御する
ことができる。
Ｔａ2 Ｏ5 ，ＢａＯ，ＭｇＯ，ＷＯ3 のモル比を前記範
囲内で変化させることにより、高いＱ値を維持したま
ま、共振周波数の温度特性を一定領域で自由に制御する
ことができる。
【００１３】さらに、０．２０≦ｚ＋ｗ≦０．４０とし
たのは、ｚ＋ｗが０．２より少ない場合や０．４より多
い場合には、Ｑ値が低下、或いは焼結不良となるからで
ある。
たのは、ｚ＋ｗが０．２より少ない場合や０．４より多
い場合には、Ｑ値が低下、或いは焼結不良となるからで
ある。
【００１４】また、
【００１５】
【数３】
【００１６】としたのは、値が０．１７より少ない場合
や０．９４以上の場合には、Ｑ値が低下したり、焼結不
良となるからである。
や０．９４以上の場合には、Ｑ値が低下したり、焼結不
良となるからである。
【００１７】また、この組成１モル部に対してＹ，Ｈ
ｆ，Ｚｒ，Ｍｎ，Ｓｎ，Ｔｉ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｎ
ｄ，Ｐｒ，Ｓｍの少なくとも一種の酸化物を０．３モル
部以下の範囲で添加含有させることにより、焼結性を改
善したり、誘電特性を制御したりすることができる。
ｆ，Ｚｒ，Ｍｎ，Ｓｎ，Ｔｉ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｎ
ｄ，Ｐｒ，Ｓｍの少なくとも一種の酸化物を０．３モル
部以下の範囲で添加含有させることにより、焼結性を改
善したり、誘電特性を制御したりすることができる。
【００１８】本発明に基づき磁器を作成する方法として
は、例えばＢａ，Ｍｇ，Ｗ, Ｔａの酸化物あるいは焼成
により酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を原
料として用い、これらを前述した範囲になるように秤量
した後、充分に混合する。その後、混合物を９００〜１
３００℃で仮焼処理し、粉砕する。そして、この仮焼粉
末をプレス成形やドクターブレード法等の成形方法によ
り所定の形状に成形する。
は、例えばＢａ，Ｍｇ，Ｗ, Ｔａの酸化物あるいは焼成
により酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を原
料として用い、これらを前述した範囲になるように秤量
した後、充分に混合する。その後、混合物を９００〜１
３００℃で仮焼処理し、粉砕する。そして、この仮焼粉
末をプレス成形やドクターブレード法等の成形方法によ
り所定の形状に成形する。
【００１９】次に成形体を大気中等の酸化性雰囲気中で
１３００〜１６００℃で焼成することにより誘電体磁器
を得ることができる。
１３００〜１６００℃で焼成することにより誘電体磁器
を得ることができる。
【００２０】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、ＢａＯ，Ｍｇ
Ｏ，ＷＯ3 ，Ｔａ2 Ｏ5 のモル比を変化させることによ
り、高いＱ値を維持したまま、共振周波数の温度特性を
一定領域で自由に制御することができる。即ち、Ｔａ量
を増加することにより、温度係数τｆが上昇する傾向に
あり、温度係数（τｆ）の制御が可能となる。以下、本
発明を次の実施例で説明する。
Ｏ，ＷＯ3 ，Ｔａ2 Ｏ5 のモル比を変化させることによ
り、高いＱ値を維持したまま、共振周波数の温度特性を
一定領域で自由に制御することができる。即ち、Ｔａ量
を増加することにより、温度係数τｆが上昇する傾向に
あり、温度係数（τｆ）の制御が可能となる。以下、本
発明を次の実施例で説明する。
【００２１】
実施例１ 原料として純度９９％以上のＢａＣＯ3 ，ＭｇＣＯ3 ，
ＷＯ3 およびＴａ2 Ｏ5 の粉末を用いて、これらを表１
に示す割合に秤量し、これをゴムで内張りしたボールミ
ルに水と共に入れ、８時間湿式混合した。次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、１０００℃で２時間仮焼
し、当該仮焼物をボールミルに水、有機バインダーを入
れ８時間湿式粉砕した。
ＷＯ3 およびＴａ2 Ｏ5 の粉末を用いて、これらを表１
に示す割合に秤量し、これをゴムで内張りしたボールミ
ルに水と共に入れ、８時間湿式混合した。次いで、この
混合物を脱水、乾燥した後、１０００℃で２時間仮焼
し、当該仮焼物をボールミルに水、有機バインダーを入
れ８時間湿式粉砕した。
【００２２】その後、この粉砕物を乾燥した後、５０番
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を３０００
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１０ｍｍφ×５ｍｍｔの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を１４００〜１６
００℃×６時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を３０００
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１０ｍｍφ×５ｍｍｔの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を１４００〜１６
００℃×６時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
【００２３】かくして得られた磁器試料について、周波
数１０ＧＨｚにおける比誘電率（εｒ），Ｑ値を誘電体
共振器法にて測定し、また２５℃から８５℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化率から共振周波数の
温度係数（τｆ）を計算した。それらの結果を表１に示
した。
数１０ＧＨｚにおける比誘電率（εｒ），Ｑ値を誘電体
共振器法にて測定し、また２５℃から８５℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化率から共振周波数の
温度係数（τｆ）を計算した。それらの結果を表１に示
した。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１によれば、ＢａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3 、
Ｔａ2 Ｏ5 の配合組成が本発明の範囲を逸脱する試料Ｎ
ｏ．４，８，１１，１２，１８，２２，２５，２６，２
７，２８はＱ値が１２００以下あるいは焼結不良を生じ
た。これに対して、本発明の試料は比誘電率１０以上、
Ｑ値３０００以上が達成され、Ｔａ2 Ｏ5 の配合量を変
化させると共振周波数の温度特性が−２８〜１３ｐｐｍ
／℃まで変動していることが判る。
Ｔａ2 Ｏ5 の配合組成が本発明の範囲を逸脱する試料Ｎ
ｏ．４，８，１１，１２，１８，２２，２５，２６，２
７，２８はＱ値が１２００以下あるいは焼結不良を生じ
た。これに対して、本発明の試料は比誘電率１０以上、
Ｑ値３０００以上が達成され、Ｔａ2 Ｏ5 の配合量を変
化させると共振周波数の温度特性が−２８〜１３ｐｐｍ
／℃まで変動していることが判る。
【００２６】実施例２ 原料として純度９９％以上のＢａＣＯ3 ，ＭｇＣＯ3 ，
ＷＯ3 ，Ｔａ2 Ｏ5 粉末を用いて表１中、材料Ｎo.２，
７，１０の組成に秤量し、その主成分組成物１モル部に
対してＹ2 Ｏ3 ，ＨｆＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＯ2 ，Ｓｎ
Ｏ2 ，ＴｉＯ2，ＣａＯ，Ｌａ2 Ｏ3 ，ＣｅＯ2 ，Ｎｄ
2 Ｏ3 ，Ｐｒ6 Ｏ11，Ｓｍ2 Ｏ3 の少なくとも一種の粉
末を表２に示す割合に秤量し、これをゴムで内張りした
ボールミルに水と共に入れ、８時間湿式混合した。次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、１０００℃で２時
間仮焼し、当該仮焼物をボールミルに水、有機バインダ
ーを入れ８時間湿式粉砕した。
ＷＯ3 ，Ｔａ2 Ｏ5 粉末を用いて表１中、材料Ｎo.２，
７，１０の組成に秤量し、その主成分組成物１モル部に
対してＹ2 Ｏ3 ，ＨｆＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＯ2 ，Ｓｎ
Ｏ2 ，ＴｉＯ2，ＣａＯ，Ｌａ2 Ｏ3 ，ＣｅＯ2 ，Ｎｄ
2 Ｏ3 ，Ｐｒ6 Ｏ11，Ｓｍ2 Ｏ3 の少なくとも一種の粉
末を表２に示す割合に秤量し、これをゴムで内張りした
ボールミルに水と共に入れ、８時間湿式混合した。次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、１０００℃で２時
間仮焼し、当該仮焼物をボールミルに水、有機バインダ
ーを入れ８時間湿式粉砕した。
【００２７】その後、この粉砕物を乾燥した後、５０番
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を３０００
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１０ｍｍφ×５ｍｍｔの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を１４００〜１６
００℃×６時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を３０００
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１０ｍｍφ×５ｍｍｔの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を１４００〜１６
００℃×６時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
【００２８】かくして得られた磁器試料について、周波
数１０ＧＨｚにおける比誘電率（εｒ），Ｑ値を誘電体
共振器法にて測定し、また２５℃から８５℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化率から共振周波数の
温度係数（τｆ）を計算した。それらの結果を表２に示
した。
数１０ＧＨｚにおける比誘電率（εｒ），Ｑ値を誘電体
共振器法にて測定し、また２５℃から８５℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化率から共振周波数の
温度係数（τｆ）を計算した。それらの結果を表２に示
した。
【００２９】
【表２】
【００３０】表２によれば、主成分組成物にＹ，Ｈｆ，
Ｚｒ，Ｍｎ，Ｓｎ，Ｔｉ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｎｄ，Ｐ
ｒ，Ｓｍの酸化物のうち少なくとも一種を０．２モル部
以内添加含有させてもＱ値は３０００以上の高い値が得
られ、同時に共振周波数の温度特性も±３０ｐｐｍ／℃
以内の範囲で任意の値に制御できることが判る。
Ｚｒ，Ｍｎ，Ｓｎ，Ｔｉ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｎｄ，Ｐ
ｒ，Ｓｍの酸化物のうち少なくとも一種を０．２モル部
以内添加含有させてもＱ値は３０００以上の高い値が得
られ、同時に共振周波数の温度特性も±３０ｐｐｍ／℃
以内の範囲で任意の値に制御できることが判る。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｂ
ａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3 およびＴａ2 Ｏ5 を所定の割合で
配合することにより、高周波領域において高い誘電率お
よびＱ値を得ることができるとともに、Ｔａ量を制御す
ることにより温度特性を一定領域で自由に制御すること
ができる。それにより、マイクロ波やミリ波領域におい
て使用される種々の共振器用材料やＭＩＣ用誘電体基板
材料等に充分適用することができる。
ａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3 およびＴａ2 Ｏ5 を所定の割合で
配合することにより、高周波領域において高い誘電率お
よびＱ値を得ることができるとともに、Ｔａ量を制御す
ることにより温度特性を一定領域で自由に制御すること
ができる。それにより、マイクロ波やミリ波領域におい
て使用される種々の共振器用材料やＭＩＣ用誘電体基板
材料等に充分適用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−18806（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】ＢａＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3 及びＴａ2 Ｏ5 を
含有し、モル比による組成式をｘＢａＯ・ｙＭｇＯ・ｚ
ＷＯ3 ・ｗＴａＯ5/2 と表した時、前記ｘ、ｙ、ｚ、ｗ
が 【数１】 を満足することを特徴とする高周波用誘電体磁器組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5101338A JP2842756B2 (ja) | 1992-10-22 | 1993-04-27 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28432292 | 1992-10-22 | ||
| JP4-284322 | 1992-10-22 | ||
| JP5101338A JP2842756B2 (ja) | 1992-10-22 | 1993-04-27 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187828A JPH06187828A (ja) | 1994-07-08 |
| JP2842756B2 true JP2842756B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=26442230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5101338A Expired - Fee Related JP2842756B2 (ja) | 1992-10-22 | 1993-04-27 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2842756B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102023398B1 (ko) | 2017-03-31 | 2019-09-23 | 강릉원주대학교산학협력단 | Ｂｍｗ계 고주파 유전체 세라믹 소재 및 그 제조방법 |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP5101338A patent/JP2842756B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06187828A (ja) | 1994-07-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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