JP3098834B2 - 偏心測定方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基準円筒面の精度に依
存しない新たな偏心測定方法に関する。
存しない新たな偏心測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転軸の偏心の測定は、回転軸に取り付
けた基準点の軌跡が軸の回転と共に、この軸に垂直な断
面内で真円を描くか否かを検出することにより行われて
いる。
けた基準点の軌跡が軸の回転と共に、この軸に垂直な断
面内で真円を描くか否かを検出することにより行われて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この場合、真円の検出
は精密に作成した基準円筒面との一致度を検出したり、
精密に作成した円筒面を利用した回転軸による軌跡を基
準としたりして行うが、基準となる円筒面の精度自体は
工作機械の加工精度と熟練に依存しており、偏心測定の
精度が向上するにつれて、それに対応する精度の良い基
準円筒面の作成が困難になり、1 nmオーダーの精度を要
求されるようになると、益々この困難度が非常に大きく
なる。
は精密に作成した基準円筒面との一致度を検出したり、
精密に作成した円筒面を利用した回転軸による軌跡を基
準としたりして行うが、基準となる円筒面の精度自体は
工作機械の加工精度と熟練に依存しており、偏心測定の
精度が向上するにつれて、それに対応する精度の良い基
準円筒面の作成が困難になり、1 nmオーダーの精度を要
求されるようになると、益々この困難度が非常に大きく
なる。
【０００４】本発明は、基準円筒面の精度に依存するこ
となく、回転軸の偏心を高精度で測定し、また偏心を除
去する新たな偏心測定方法を提供することを目的とす
る。
となく、回転軸の偏心を高精度で測定し、また偏心を除
去する新たな偏心測定方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段と作用】図１乃至４は本発
明の原理を説明するための図であり、図１は第１のラジ
アル格子10の輪帯状の領域Ａに要素パターンである刻線
1,2,3,4が描かれている。ここで刻線 1と2 、 3と4 は
それぞれ同心円の異なる直径に対応するもので、互いに
対を成している。ここで、説明上、２つのパターンのみ
について述べるが、輪帯状領域内には互いに異なる直径
に対応する多数の同様のパターンが描かれていることは
云うまでもない。
明の原理を説明するための図であり、図１は第１のラジ
アル格子10の輪帯状の領域Ａに要素パターンである刻線
1,2,3,4が描かれている。ここで刻線 1と2 、 3と4 は
それぞれ同心円の異なる直径に対応するもので、互いに
対を成している。ここで、説明上、２つのパターンのみ
について述べるが、輪帯状領域内には互いに異なる直径
に対応する多数の同様のパターンが描かれていることは
云うまでもない。
【０００６】図２は第２のラジアル格子 10'を示す。第
２のラジアル格子 10'は第１のラジアル格子10と同じ物
であるが、第１のラジアル格子10に対して 180°回転し
た位置で用いられる。従って、第２のラジアル格子にお
いて、第１のラジアル格子10の要素パターンである刻線
1,2,3,4に対応する刻線は、図２に破線で示す1',2',
3',4' となる。
２のラジアル格子 10'は第１のラジアル格子10と同じ物
であるが、第１のラジアル格子10に対して 180°回転し
た位置で用いられる。従って、第２のラジアル格子にお
いて、第１のラジアル格子10の要素パターンである刻線
1,2,3,4に対応する刻線は、図２に破線で示す1',2',
3',4' となる。
【０００７】図３は２つのラジアル格子10,10'を互いの
中心 O,O1 が一致するように重ねた状態を示す図であ
る。各刻線が全く誤差なく描かれていれば、対応する刻
線(1と2'),(2と1'),(3と4'),(4と3') はそれぞれ完全に
重なるが、実際には、角度誤差（各直径がラジアル格子
の中心 Oまたは O1 から若干ずれた位置を通ることによ
る誤差）により、若干のずれが生じる。このずれは図面
上では判別できない位の微小なものであるが、図では誇
張して描いてある。このように重ね合わせられたラジア
ル格子においては、対応する２つの刻線（例えば刻線 1
と2'）の間の角の２等分線は必ずラジアル格子の中心 O
（またはO1）を通る。従って、この２等分線を偏心測定
に用いるようにすれば、角度誤差のない極めて高精度の
測定を行うことができるのである。
中心 O,O1 が一致するように重ねた状態を示す図であ
る。各刻線が全く誤差なく描かれていれば、対応する刻
線(1と2'),(2と1'),(3と4'),(4と3') はそれぞれ完全に
重なるが、実際には、角度誤差（各直径がラジアル格子
の中心 Oまたは O1 から若干ずれた位置を通ることによ
る誤差）により、若干のずれが生じる。このずれは図面
上では判別できない位の微小なものであるが、図では誇
張して描いてある。このように重ね合わせられたラジア
ル格子においては、対応する２つの刻線（例えば刻線 1
と2'）の間の角の２等分線は必ずラジアル格子の中心 O
（またはO1）を通る。従って、この２等分線を偏心測定
に用いるようにすれば、角度誤差のない極めて高精度の
測定を行うことができるのである。
【０００８】次に、測定方法について説明する。図４に
おいて、 X, Y はラジアル格子に固定された直交座標軸
で、図では X軸が刻線 1と2',2と1'の２等分線となるよ
うに選ばれている。一方、２つの基準線L1, L2は測定し
ようとする回転軸に固定された直交座標軸、O2はその交
点、即ち原点である。ここでは、基準線L1と刻線 3と
4',4と3'の２等分線 La とが平行であるように描かれて
いる。 Lb は２等分線 La と直交し原点O を通る軸であ
る。
おいて、 X, Y はラジアル格子に固定された直交座標軸
で、図では X軸が刻線 1と2',2と1'の２等分線となるよ
うに選ばれている。一方、２つの基準線L1, L2は測定し
ようとする回転軸に固定された直交座標軸、O2はその交
点、即ち原点である。ここでは、基準線L1と刻線 3と
4',4と3'の２等分線 La とが平行であるように描かれて
いる。 Lb は２等分線 La と直交し原点O を通る軸であ
る。
【０００９】さて、原点O2の座標系 La − Lb に関する
位置を(db, da ) 、座標系 X−Y に関する位置を(x2 ,y
2 ）、座標軸 La と X軸との成す角をθとすれば、 x2 ＝− da sin θ＋ db cos θ (1) y2 ＝ da cos θ＋ db sin θ (2) の関係が成立するので、 da ， db 及びθを測定すれば
回転軸の回転に伴う原点O2 の軌跡が求められる。座標
軸 L1,L2は回転軸に固定されているから、この原点 O2
の軌跡の中心が実際の回転軸の位置になり、ラジアル格
子の基準系を基準とした回転軸の位置が測定できたこと
になる。
位置を(db, da ) 、座標系 X−Y に関する位置を(x2 ,y
2 ）、座標軸 La と X軸との成す角をθとすれば、 x2 ＝− da sin θ＋ db cos θ (1) y2 ＝ da cos θ＋ db sin θ (2) の関係が成立するので、 da ， db 及びθを測定すれば
回転軸の回転に伴う原点O2 の軌跡が求められる。座標
軸 L1,L2は回転軸に固定されているから、この原点 O2
の軌跡の中心が実際の回転軸の位置になり、ラジアル格
子の基準系を基準とした回転軸の位置が測定できたこと
になる。
【００１０】このように本発明の方法では、ラジアル格
子と回転軸に固定した基準線との間隔を測定することに
より偏心測定を行うことができるので、測定の基準とす
べき精密な円筒面は不要である。しかもラジアル格子を
２枚重ねて用いることによりラジアル格子の製造誤差が
打ち消されるので、非常に高い精度が維持される。
子と回転軸に固定した基準線との間隔を測定することに
より偏心測定を行うことができるので、測定の基準とす
べき精密な円筒面は不要である。しかもラジアル格子を
２枚重ねて用いることによりラジアル格子の製造誤差が
打ち消されるので、非常に高い精度が維持される。
【００１１】尚、上記の説明では各座標軸、基準線は全
て直交系としたが、斜交系でも良いことは勿論である。
斜交系の場合には、それに応じて式(1),(2) を変形すれ
ば良い。
て直交系としたが、斜交系でも良いことは勿論である。
斜交系の場合には、それに応じて式(1),(2) を変形すれ
ば良い。
【００１２】
【実施例】本発明の原理に基づく偏心測定方法の第１の
実施例を図５および図６に示す。２つのラジアル格子1
0,10'は中央に回転軸17を通す開口を持つリング状の板
であって、適宜な方法により回転軸17の影響を受けない
ように固定されている。ここでラジアル格子 10'はラジ
アル格子 10 を母型としたレプリカ（複製）或いは写真
複写であり、図３の位置関係になるように配置されてい
る。11は投影光学系であって、焦点距離が等しいレンズ
群111, 112からなり、ラジアル格子10の刻線は(-1)倍の
倍率でラジアル格子 10'の刻線上に結像される。11' は
投影光学系11と同様に構成された投影光学系である。12
はラジアル格子10を照明する照明光学系であり、13はラ
ジアル格子10の刻線の像とラジアル格子 10'の刻線の重
なりを観察あるいは検出する検出系である。投影光学系
11、照明光学系12および検出系13は、固定板14,15,16を
介して回転軸17に固定されており、回転軸17と一緒に回
転する。以下、照明光学系、投影光学系、および検出系
をまとめて刻線検出系と呼ぶことにする。この例では、
図６に示すように回転軸17を中心とする円周上に90°の
角度間隔で４つの刻線検出系 11x,11x',11y,11y'が設け
られており、刻線検出系11x,11x'を結ぶ線が座標軸L
1に、また11y,11y'を結ぶ線が座標軸L2に相当する。
実施例を図５および図６に示す。２つのラジアル格子1
0,10'は中央に回転軸17を通す開口を持つリング状の板
であって、適宜な方法により回転軸17の影響を受けない
ように固定されている。ここでラジアル格子 10'はラジ
アル格子 10 を母型としたレプリカ（複製）或いは写真
複写であり、図３の位置関係になるように配置されてい
る。11は投影光学系であって、焦点距離が等しいレンズ
群111, 112からなり、ラジアル格子10の刻線は(-1)倍の
倍率でラジアル格子 10'の刻線上に結像される。11' は
投影光学系11と同様に構成された投影光学系である。12
はラジアル格子10を照明する照明光学系であり、13はラ
ジアル格子10の刻線の像とラジアル格子 10'の刻線の重
なりを観察あるいは検出する検出系である。投影光学系
11、照明光学系12および検出系13は、固定板14,15,16を
介して回転軸17に固定されており、回転軸17と一緒に回
転する。以下、照明光学系、投影光学系、および検出系
をまとめて刻線検出系と呼ぶことにする。この例では、
図６に示すように回転軸17を中心とする円周上に90°の
角度間隔で４つの刻線検出系 11x,11x',11y,11y'が設け
られており、刻線検出系11x,11x'を結ぶ線が座標軸L
1に、また11y,11y'を結ぶ線が座標軸L2に相当する。
【００１３】投影光学系11，11' が夫々焦点距離の等し
い２つのレンズ群からなるアフォーカル等倍系であるこ
とにより、２つのラジアル格子の対応する刻線の像が重
なれば、投影光学系の光軸が対応する刻線の間の角の２
等分線上に位置するようになる。そこで、まず適当な位
置で投影光学系 11, 11'を用いて、対応する刻線の像が
重なるようにラジアル格子と回転軸の位置を調整しラジ
アル格子を固定する。この時、選んだ位置が X−Y 座標
軸に相当する。ここから適当な角度θだけ回転軸を回転
して対応する刻線の像の間隔を測定する。２つの刻線検
出系11x,11x'により得られる測定値の平均値として da
が求められ、同時に刻線検出系11y,11y'についても、同
様にして db を求めることができる。ここで回転角θは
既知であるので、これらの測定デーダより回転軸の中心
位置がわかる。
い２つのレンズ群からなるアフォーカル等倍系であるこ
とにより、２つのラジアル格子の対応する刻線の像が重
なれば、投影光学系の光軸が対応する刻線の間の角の２
等分線上に位置するようになる。そこで、まず適当な位
置で投影光学系 11, 11'を用いて、対応する刻線の像が
重なるようにラジアル格子と回転軸の位置を調整しラジ
アル格子を固定する。この時、選んだ位置が X−Y 座標
軸に相当する。ここから適当な角度θだけ回転軸を回転
して対応する刻線の像の間隔を測定する。２つの刻線検
出系11x,11x'により得られる測定値の平均値として da
が求められ、同時に刻線検出系11y,11y'についても、同
様にして db を求めることができる。ここで回転角θは
既知であるので、これらの測定デーダより回転軸の中心
位置がわかる。
【００１４】尚、以上はラジアル格子を固定した場合に
ついて述べたが、ラジアル格子を回転し、他を固定して
もよいことは云うまでもない。即ち、先ずラジアル格子
の中心が回転軸中心に略合致するようにラジアル格子を
回転軸に固定する。次に回転軸を回転したとき２等分線
と固定基準軸との間隔を測定することによって、ラジア
ル格子の中心の動きが分かり、これから回転軸中心の動
きを測定することができる。
ついて述べたが、ラジアル格子を回転し、他を固定して
もよいことは云うまでもない。即ち、先ずラジアル格子
の中心が回転軸中心に略合致するようにラジアル格子を
回転軸に固定する。次に回転軸を回転したとき２等分線
と固定基準軸との間隔を測定することによって、ラジア
ル格子の中心の動きが分かり、これから回転軸中心の動
きを測定することができる。
【００１５】図６では２つの刻線検出系を90°間隔で配
置して基準線L1，L2が直交するように配置してあるが、
互いに平行にならない限り必ずしも直交する必要はな
い。この様な場合には幾何学的な考察から偏心量を求め
ることは容易である。
置して基準線L1，L2が直交するように配置してあるが、
互いに平行にならない限り必ずしも直交する必要はな
い。この様な場合には幾何学的な考察から偏心量を求め
ることは容易である。
【００１６】上記ラジアル格子の刻線の間隔を例えば10
μm 程度あるいはこれ以下に小さくすれば、個々の刻線
でなく、所謂モアレ縞を検出することにより da ,db を
求めることもできる。
μm 程度あるいはこれ以下に小さくすれば、個々の刻線
でなく、所謂モアレ縞を検出することにより da ,db を
求めることもできる。
【００１７】図７は第１の実施例と同じ構成の光学系を
用いてモアレ縞を検出することにより偏心を測定する方
法の実施例を示す。この例では２つのラジアル格子10,1
0'は回転軸17に固定されている。固定板15,16 は軸受を
兼ねており、回転軸17と共には回転せず固定されてい
る。また投影光学系11は適当な方法で照明光学系12、検
出系13と同軸になるように固定されている。４つの刻線
検出系11x,11x',11y,11y' の内、ここでは11x,11x'の２
組のみが示されている。(-1)倍の投影光学系11，11' に
よってラジアル格子 10'にラジアル格子10の像を投影す
ることによりモアレ縞が形成される。これを検出系13に
よって検出する。モアレ縞の形成および検出の技術につ
いては、公知であるので説明は省略する。
用いてモアレ縞を検出することにより偏心を測定する方
法の実施例を示す。この例では２つのラジアル格子10,1
0'は回転軸17に固定されている。固定板15,16 は軸受を
兼ねており、回転軸17と共には回転せず固定されてい
る。また投影光学系11は適当な方法で照明光学系12、検
出系13と同軸になるように固定されている。４つの刻線
検出系11x,11x',11y,11y' の内、ここでは11x,11x'の２
組のみが示されている。(-1)倍の投影光学系11，11' に
よってラジアル格子 10'にラジアル格子10の像を投影す
ることによりモアレ縞が形成される。これを検出系13に
よって検出する。モアレ縞の形成および検出の技術につ
いては、公知であるので説明は省略する。
【００１８】この投影光学系では 1/2格子間隔だけ回転
する毎に、１モアレ縞だけ変化する。θ＝０の時、 X軸
方向に関する２組のモアレ縞計数器18,18'および図示し
ないY軸に関する他の２組の計数器を０にセットした
後、回転軸を回転する。角度θのときのモアレ縞の計数
値を端数を含めて計数器18では Na1、計数器 18'では N
a2、 Y方向に関する計数器では、夫々 Nb1、 Nb2、格子
間隔を pとすると、基準線と２等分線との間隔は、 da ＝(p/2)( Na1− Na2)/2 (3) db ＝(p/2)( Nb1− Nb2)/2 (4) で与えられる。図７中の19は（3)式を求めるための演算
器である。また、(p/2)( Na1＋ Na2)/2 および(p/2)( N
b1＋ Nb2)/2 を演算すれば、いずれの場合も、回転角θ
が得られる。更にこの２つの平均値をとると、ラジアル
格子の持つ周期誤差を打ち消すことができる。
する毎に、１モアレ縞だけ変化する。θ＝０の時、 X軸
方向に関する２組のモアレ縞計数器18,18'および図示し
ないY軸に関する他の２組の計数器を０にセットした
後、回転軸を回転する。角度θのときのモアレ縞の計数
値を端数を含めて計数器18では Na1、計数器 18'では N
a2、 Y方向に関する計数器では、夫々 Nb1、 Nb2、格子
間隔を pとすると、基準線と２等分線との間隔は、 da ＝(p/2)( Na1− Na2)/2 (3) db ＝(p/2)( Nb1− Nb2)/2 (4) で与えられる。図７中の19は（3)式を求めるための演算
器である。また、(p/2)( Na1＋ Na2)/2 および(p/2)( N
b1＋ Nb2)/2 を演算すれば、いずれの場合も、回転角θ
が得られる。更にこの２つの平均値をとると、ラジアル
格子の持つ周期誤差を打ち消すことができる。
【００１９】図８は、本発明の第２の実施例を示す偏心
測定方法を適用して振れのない回転軸を実現するための
１例を示したものである。この実施例では回転軸17の軸
方向に、２つの偏心検出系20,20'を取り付けている。こ
れらの偏心検出系20,20'はいずれも図 7に示したものと
同じ構成、即ち、２つのラジアル格子、４つの照明光学
系、投影光学系、検出系、モアレ縞計数器および演算器
を含むものである。
測定方法を適用して振れのない回転軸を実現するための
１例を示したものである。この実施例では回転軸17の軸
方向に、２つの偏心検出系20,20'を取り付けている。こ
れらの偏心検出系20,20'はいずれも図 7に示したものと
同じ構成、即ち、２つのラジアル格子、４つの照明光学
系、投影光学系、検出系、モアレ縞計数器および演算器
を含むものである。
【００２０】X軸方向の偏心調整を行う場合には、これ
らの偏心検出系20,20'により X軸方向の回転軸の振れを
検出し、この振れの検出出力ができるだけ小さくなるよ
うに２つのラジアル格子の中心位置を調整すれば、回転
軸とラジアル格子の中心を略合致させることができる。
21,21'は軸受であり、偏心検出系20,20'からの出力によ
り駆動されるアクチュエータ22および 22'により X軸方
向に移動することができる。従って、回転軸17の X軸方
向の移動は偏心検出系20および 20'の出力が０になるよ
うに、それぞれのアクチュエータによって制御される。
このようにして、２つのラジアル格子の中心を結ぶ線を
軸とする振れのない回転軸を実現することができる。ま
た、回転軸17のY 軸方向への移動は図示しない別の２個
のアクチュエータによって軸受21，21' をY 軸方向に移
動させることによって行うようにすればよい。
らの偏心検出系20,20'により X軸方向の回転軸の振れを
検出し、この振れの検出出力ができるだけ小さくなるよ
うに２つのラジアル格子の中心位置を調整すれば、回転
軸とラジアル格子の中心を略合致させることができる。
21,21'は軸受であり、偏心検出系20,20'からの出力によ
り駆動されるアクチュエータ22および 22'により X軸方
向に移動することができる。従って、回転軸17の X軸方
向の移動は偏心検出系20および 20'の出力が０になるよ
うに、それぞれのアクチュエータによって制御される。
このようにして、２つのラジアル格子の中心を結ぶ線を
軸とする振れのない回転軸を実現することができる。ま
た、回転軸17のY 軸方向への移動は図示しない別の２個
のアクチュエータによって軸受21，21' をY 軸方向に移
動させることによって行うようにすればよい。
【００２１】図９は第３の実施例を示す。この例におけ
る刻線検出系も上述の実施例と同じく左右対称に配置さ
れている。照明光学系12より出射した光は半透鏡113,レ
ンズ111によって、ラジアル格子 10'の刻線を照明す
る。刻線の像はレンズ111,半透鏡 113, 反射鏡114,115,
半透鏡116,レンズ 112によってラジアル格子10の刻線上
に投影される。刻線と像の位置関係を検出系13により検
出する。照明光学系12'を出射した光も照明光学系12の
場合と同様にしてラジアル格子10' の刻線を照明し、ラ
ジアル格子10の刻線上に投影され、そして刻線と像の位
置関係が検出系13' により検出される。この例ではラジ
アル格子10,10'は反射型であり、回転軸17に固定されて
いる。
る刻線検出系も上述の実施例と同じく左右対称に配置さ
れている。照明光学系12より出射した光は半透鏡113,レ
ンズ111によって、ラジアル格子 10'の刻線を照明す
る。刻線の像はレンズ111,半透鏡 113, 反射鏡114,115,
半透鏡116,レンズ 112によってラジアル格子10の刻線上
に投影される。刻線と像の位置関係を検出系13により検
出する。照明光学系12'を出射した光も照明光学系12の
場合と同様にしてラジアル格子10' の刻線を照明し、ラ
ジアル格子10の刻線上に投影され、そして刻線と像の位
置関係が検出系13' により検出される。この例ではラジ
アル格子10,10'は反射型であり、回転軸17に固定されて
いる。
【００２２】図１０はモアレ縞形成の方法に利用した第
４の実施例を示す。これ以外の方法を用いてもよいこと
は明らかである。図の(a) において、ラジアル格子10と
レンズ 111の間に平行平面板117, 118が２枚配置されて
いる。平行平面板117, 118は刻線の方向を軸として互い
に反対方向に傾けてある。その傾き角は、図１０ (b)に
示す如く、平行平面板117, 118を通して見た時、刻線が
互いに1/4 ピッチずれるように調整する。 119はレンズ
111の焦点面に置かれた遮光板であり、０次光と１次光
の回析光のみを通すようになっている。０次光は、ラジ
アル格子 10'で１次の方向に回析し、１次回析光は直進
しモアレ縞を形成する。平行平面板 117の部分と平行平
面板 118の部分ではラジアル格子10の像が互いに 1/4ピ
ッチずれているので、モアレ縞の位相は 90 °ずれてい
る。従って、モアレ縞を２個の光検出器（図示せず）で
それぞれ検出すれば、位相が 90 °異なる２つの信号が
得られる。このような信号は、回転軸の回転方向と回転
角あるいは縞の端数を測定する場合に必要である。
４の実施例を示す。これ以外の方法を用いてもよいこと
は明らかである。図の(a) において、ラジアル格子10と
レンズ 111の間に平行平面板117, 118が２枚配置されて
いる。平行平面板117, 118は刻線の方向を軸として互い
に反対方向に傾けてある。その傾き角は、図１０ (b)に
示す如く、平行平面板117, 118を通して見た時、刻線が
互いに1/4 ピッチずれるように調整する。 119はレンズ
111の焦点面に置かれた遮光板であり、０次光と１次光
の回析光のみを通すようになっている。０次光は、ラジ
アル格子 10'で１次の方向に回析し、１次回析光は直進
しモアレ縞を形成する。平行平面板 117の部分と平行平
面板 118の部分ではラジアル格子10の像が互いに 1/4ピ
ッチずれているので、モアレ縞の位相は 90 °ずれてい
る。従って、モアレ縞を２個の光検出器（図示せず）で
それぞれ検出すれば、位相が 90 °異なる２つの信号が
得られる。このような信号は、回転軸の回転方向と回転
角あるいは縞の端数を測定する場合に必要である。
【発明の効果】本発明による偏心測定方法によれば、円
筒面の精度に依存しなくても極めて高精度の偏心測定が
できる。
筒面の精度に依存しなくても極めて高精度の偏心測定が
できる。
【図１】第１のラジアル格子の領域に格子が刻まれた状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図２】図１の状態から 180°回転した第２のラジアル
格子の図である。
格子の図である。
【図３】図１および図２のラジアル格子を重ね合わせ図
である。
である。
【図４】本発明の原理説明図である。
【図５】本発明による偏心測定方法の第１の実施例によ
る構成図である。
る構成図である。
【図６】第１の実施例における刻線検出系の配置例を示
す。
す。
【図７】第１の実施例をモアレ縞検出方法に利用した例
を示す。
を示す。
【図８】本発明の第２の実施例による偏心測定方法を適
用して振れの無い円筒軸を実現するため例を示す構成図
である。
用して振れの無い円筒軸を実現するため例を示す構成図
である。
【図９】本発明の第３の実施例を示す構成図である。
【図１０】（ａ）はモアレ縞検出方法に利用した第４の
実施例を示す構成図である。（ｂ）は同じく平行平面板
を通して見たときの刻線ずれ位置関係を示す図である。
実施例を示す構成図である。（ｂ）は同じく平行平面板
を通して見たときの刻線ずれ位置関係を示す図である。
１ 刻線 ２ 刻線 ３ 刻線 ４ 刻線 １’ 刻線 ２’ 刻線 ３’ 刻線 ４’ 刻線 10 ラジアル格子 10’ ラジアル格子 11 投影光学系 11' 投影光学系 11x 刻線検出系 11x' 刻線検出系 11y 刻線検出系 11y' 刻線検出系 12 照明光学系 12' 照明光学系 13 検出系 13' 検出系 14 固定板 15 固定板 16 固定板 17 回転軸 18 モアレ縞計数器 20 検出系 20' 検出系 114 反射鏡 117 平行平面板 L a 二等分線 L b 二等分線 L1 基準線 L2 基準線 x2 O 2 のx 座標 y2 O 2 のY 座標 O2 二等分線の交点 d a 二等分線と基準線との間隔 d b 二等分線と基準線との間隔 p 格子間隔Ｎ ａ１ 計数値 N a2 計数値
Claims (2)
- 【請求項１】 円周上の要素パターンがほぼ等間隔に並
ぶパターンを持つ第１のラジアル格子と、該第１のラジ
アル格子と同一のパターンを持つ第２のラジアル格子と
を互いに 180°回転した位置で対向させると共に、回転
軸に設けられた基準線と前記第１、第２のラジアル格子
の互いに対応する要素パターンを二等分する二等分線で
あって前記基準線に平行なものとの間隔を計測すること
により、前記二等分線に対向する前記回転軸の偏心を測
定する偏心測定方法。 - 【請求項２】 円周上の要素パターンがほぼ等間隔に並
ぶパターンを持つ第１のラジアル格子と、該第１のラジ
アル格子と同一のパターンを持つ第２のラジアル格子と
を互いに 180°回転した位置で対向させると共に、回転
軸に設けられた基準線と前記第１、第２のラジアル格子
の互いに対応する要素パターンを二等分する二等分線で
あって前記基準線に平行なものとの間隔をゼロにするよ
うに該二等分線または基準線を前記ラジアル格子の面に
沿った方向に移動させることにより、前記回転軸の偏心
を除去する回転軸の位置合わせ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04014358A JP3098834B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 偏心測定方法 |
| US08/009,986 US5291026A (en) | 1992-01-29 | 1993-01-27 | Method for measuring eccentricity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04014358A JP3098834B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 偏心測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203429A JPH05203429A (ja) | 1993-08-10 |
| JP3098834B2 true JP3098834B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=11858850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04014358A Expired - Fee Related JP3098834B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 偏心測定方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5291026A (ja) |
| JP (1) | JP3098834B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01266908A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-24 | Nippon Steel Corp | 表裏面で粗度差を有する金属箔の製造方法 |
| CN102564355A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 干涉式高密度圆光栅偏心检测方法 |
| JP6051298B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2016-12-27 | 田中貴金属工業株式会社 | リベット型接点及びその製造方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4810081B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-11-09 | キヤノン株式会社 | トナーの帯電量分布測定装置及び方法 |
| US7304295B2 (en) * | 2005-09-30 | 2007-12-04 | Avago Technologies Ecbuip (Singapore) Pte Ltd | Method and system of detecting eccentricity and up/down movement of a code wheel of an optical encoder set |
| CN102564308B (zh) * | 2011-12-29 | 2013-09-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 干涉式高密度圆光栅偏心检测装置 |
| CN112729172B (zh) * | 2020-12-23 | 2022-12-02 | 长春长光启衡传感技术有限公司 | 一种编码器码盘偏心检测设备以及偏心调节方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH498373A (de) * | 1967-02-23 | 1970-10-31 | Contraves Ag | Anordnung mit mehreren Fotozellen |
| GB2076147B (en) * | 1980-05-15 | 1984-07-11 | Ferranti Ltd | Position encoder |
| US4883955A (en) * | 1987-02-25 | 1989-11-28 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Optical encoder with converging means |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP04014358A patent/JP3098834B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-27 US US08/009,986 patent/US5291026A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01266908A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-24 | Nippon Steel Corp | 表裏面で粗度差を有する金属箔の製造方法 |
| CN102564355A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-07-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 干涉式高密度圆光栅偏心检测方法 |
| JP6051298B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2016-12-27 | 田中貴金属工業株式会社 | リベット型接点及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05203429A (ja) | 1993-08-10 |
| US5291026A (en) | 1994-03-01 |
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