JP3098374B2 - 信号測定用装置 - Google Patents
信号測定用装置Info
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- JP3098374B2 JP3098374B2 JP06048212A JP4821294A JP3098374B2 JP 3098374 B2 JP3098374 B2 JP 3098374B2 JP 06048212 A JP06048212 A JP 06048212A JP 4821294 A JP4821294 A JP 4821294A JP 3098374 B2 JP3098374 B2 JP 3098374B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高速信号を伝送する電
子回路パッケージの信号測定用装置に関する。
子回路パッケージの信号測定用装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、従来の、コンタクトプローブ式
を採用した信号測定用装置を示す側面図、図10は、従
来の、アース接続用端子式を採用した信号測定用装置を
示す側面図である。
を採用した信号測定用装置を示す側面図、図10は、従
来の、アース接続用端子式を採用した信号測定用装置を
示す側面図である。
【0003】従来の信号測定用装置は、図9に示すよう
な、被測定回路としての電子回路パッケージ109が載
置される載置板110に対して垂直に固定されたガイド
ポスト102に、コンタクトプローブ100を支持する
支持板104が移動自在に挿通された構成(実開平1−
144870号公報参照)により、コンタクトプローブ
100の先端部を電子回路パッケージ109の測定パッ
ド103に当接して信号波形を測定している。
な、被測定回路としての電子回路パッケージ109が載
置される載置板110に対して垂直に固定されたガイド
ポスト102に、コンタクトプローブ100を支持する
支持板104が移動自在に挿通された構成(実開平1−
144870号公報参照)により、コンタクトプローブ
100の先端部を電子回路パッケージ109の測定パッ
ド103に当接して信号波形を測定している。
【0004】また、信号測定用装置は、図10に示すよ
うな、同軸型の測定プローブ113の先端を所定の測定
パッド103へ案内する基準電位接続用端子111を、
電子回路パッケージ上に実装するとともに、基準電位接
続用端子111を、測定パッド103近傍の、電子回路
パッケージ上の基準電位と接続した構成により、測定プ
ローブ113の外部導体を基準電位に接続させた状態
で、測定プローブ113の中心導体である先端を測定パ
ッド103に当接して信号波形を測定している。
うな、同軸型の測定プローブ113の先端を所定の測定
パッド103へ案内する基準電位接続用端子111を、
電子回路パッケージ上に実装するとともに、基準電位接
続用端子111を、測定パッド103近傍の、電子回路
パッケージ上の基準電位と接続した構成により、測定プ
ローブ113の外部導体を基準電位に接続させた状態
で、測定プローブ113の中心導体である先端を測定パ
ッド103に当接して信号波形を測定している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図9に
示した、コンタクトプローブを用いた信号用測定装置で
は、測定回路系の特性インピーダンスに整合できない、
つまり測定回路系のインピーダンスが被測定回路に接続
された際の影響や負荷効果を軽減できないため、信号波
形が歪むとともに、高速信号の分岐(分流)測定が困難
であった。
示した、コンタクトプローブを用いた信号用測定装置で
は、測定回路系の特性インピーダンスに整合できない、
つまり測定回路系のインピーダンスが被測定回路に接続
された際の影響や負荷効果を軽減できないため、信号波
形が歪むとともに、高速信号の分岐(分流)測定が困難
であった。
【0006】また、図10に示した、基準電位接続用端
子を用いた信号用測定装置は、電子回路パッケージに実
装された基準電位接続用端子によって、同軸型の測定プ
ローブの外部導体が基準電位と接続できるように構成さ
れているため、測定パッド部の実装エリアが大きくな
り、基準電位接続用端子の半田付け部での信号配線パタ
ーンの収容性が悪化する。また、電子回路パッケージ単
体を取り出して測定するので実際の使用状態に比べ基準
電位がふらつき基準電位雑音が増加したり、外来雑音の
影響を受けるので、正確な測定をしにくい、という問題
点がある。
子を用いた信号用測定装置は、電子回路パッケージに実
装された基準電位接続用端子によって、同軸型の測定プ
ローブの外部導体が基準電位と接続できるように構成さ
れているため、測定パッド部の実装エリアが大きくな
り、基準電位接続用端子の半田付け部での信号配線パタ
ーンの収容性が悪化する。また、電子回路パッケージ単
体を取り出して測定するので実際の使用状態に比べ基準
電位がふらつき基準電位雑音が増加したり、外来雑音の
影響を受けるので、正確な測定をしにくい、という問題
点がある。
【0007】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたものであって、測定回路系の特性インピーダン
スを整合させ、かつ、測定プローブの基準電位のふらつ
きを低く抑える構造を持つ信号測定用装置を提供するこ
とを目的とする。
なされたものであって、測定回路系の特性インピーダン
スを整合させ、かつ、測定プローブの基準電位のふらつ
きを低く抑える構造を持つ信号測定用装置を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、同軸型の測定プローブの外部導体を基準電
位と電気的に接続させた状態で、前記測定プローブの中
心導体である先端を被測定回路基板上の測定パッドに当
接して信号波形を測定する信号測定用装置において、前
記測定パッドが設けられた側の面を被うようにして、前
記被測定回路基板と対向配置された、基準電位が接続さ
れる基準電位板と、前記測定パッドに対応して前記基準
電位板に配設され、前記測定プローブの先端が前記測定
パッドに当接するように前記測定プローブを案内可能に
するとともに、内壁部で前記測定プローブの外部導体を
前記基準電位板と電気的に接続させる案内スリーブと、
を備えたことを特徴とする。
の本発明は、同軸型の測定プローブの外部導体を基準電
位と電気的に接続させた状態で、前記測定プローブの中
心導体である先端を被測定回路基板上の測定パッドに当
接して信号波形を測定する信号測定用装置において、前
記測定パッドが設けられた側の面を被うようにして、前
記被測定回路基板と対向配置された、基準電位が接続さ
れる基準電位板と、前記測定パッドに対応して前記基準
電位板に配設され、前記測定プローブの先端が前記測定
パッドに当接するように前記測定プローブを案内可能に
するとともに、内壁部で前記測定プローブの外部導体を
前記基準電位板と電気的に接続させる案内スリーブと、
を備えたことを特徴とする。
【0009】また、前記信号測定用装置は、前記被測定
回路基板の、前記測定パッドが設けられた側の面と反対
の面に複数の給電パッドが配設され、前記被測定回路基
板の、前記各給電パッドが設けられた面の側には、前記
各給電パッドに対応して複数のコンタクトプローブを支
持するとともに、該各コンタクトプローブを通じて前記
被電子回路基板へ給電するための給電板が、前記被測定
回路基板に対して対向移動可能に設置され、前記給電板
には、前記被測定回路基板へ基準電位を給電するための
基準電位電源が少なくとも接続されており、前記給電板
を前記被測定回路基板に向けて移動させて前記給電パッ
ドに前記コンタクトプローブを当接させた際、前記給電
板の基準電位と前記基準電位板との間が、一点で電気的
に接続されるものであってもよく、さらに、前記給電板
は、絶縁性板と導電性板とを交互に積層して構成されて
おり、前記給電板を構成する導電性板のうちの一つに基
準電位電源が接続され、前記給電板の、前記基準電位電
源が接続された導電板と前記基準電位板との間が、一点
で電気的に接続されるものであってもよい。
回路基板の、前記測定パッドが設けられた側の面と反対
の面に複数の給電パッドが配設され、前記被測定回路基
板の、前記各給電パッドが設けられた面の側には、前記
各給電パッドに対応して複数のコンタクトプローブを支
持するとともに、該各コンタクトプローブを通じて前記
被電子回路基板へ給電するための給電板が、前記被測定
回路基板に対して対向移動可能に設置され、前記給電板
には、前記被測定回路基板へ基準電位を給電するための
基準電位電源が少なくとも接続されており、前記給電板
を前記被測定回路基板に向けて移動させて前記給電パッ
ドに前記コンタクトプローブを当接させた際、前記給電
板の基準電位と前記基準電位板との間が、一点で電気的
に接続されるものであってもよく、さらに、前記給電板
は、絶縁性板と導電性板とを交互に積層して構成されて
おり、前記給電板を構成する導電性板のうちの一つに基
準電位電源が接続され、前記給電板の、前記基準電位電
源が接続された導電板と前記基準電位板との間が、一点
で電気的に接続されるものであってもよい。
【0010】
【作用】上記のとおり構成された本発明では、被測定回
路基板には測定パッドが配設されており、その被測定回
路基板の、測定パッドが配設された側の面を覆うよう
に、基準電位が接続される基準電位板を対向配置して、
同軸型の測定プローブを前記測定パッドに当接するよう
に案内可能にするとともに、内壁部で測定プローブの外
部導体を基準電位板と電気的に接続させる案内スリーブ
を、基準電位板に測定パッドに対応して配設した。この
ことにより、測定パッドと測定プローブ先端との位置合
わせが確実になり、測定パッドの実装エリアが必要最小
限で済む。また、被測定回路基板に基準電位接続用端子
を実装する必要がないので、信号配線パターンの収容性
が良好となる。
路基板には測定パッドが配設されており、その被測定回
路基板の、測定パッドが配設された側の面を覆うよう
に、基準電位が接続される基準電位板を対向配置して、
同軸型の測定プローブを前記測定パッドに当接するよう
に案内可能にするとともに、内壁部で測定プローブの外
部導体を基準電位板と電気的に接続させる案内スリーブ
を、基準電位板に測定パッドに対応して配設した。この
ことにより、測定パッドと測定プローブ先端との位置合
わせが確実になり、測定パッドの実装エリアが必要最小
限で済む。また、被測定回路基板に基準電位接続用端子
を実装する必要がないので、信号配線パターンの収容性
が良好となる。
【0011】また、前記基準電位板と前記案内スリーブ
との構成に加えて、被測定回路基板へ給電するための給
電板が、被測定回路基板に対して対向移動可能に配置さ
れており、給電板を被測定回路基板に向けて対向移動さ
せると、被測定回路基板に配設された複数の給電パッド
に、各給電パッドに対応させて給電板に支持された複数
のコンタクトプローブが当接し、被測定回路基板は給電
される。このとき、給電板には、被測定回路基板へ基準
電位を給電する基準電位電源が少なくとも接続されてお
り、給電板の基準電位と基準電位板との間が、一点で電
気的に接続されるので、基準電位雑音や外来雑音の影響
を受けることなく、特性インピーダンス整合をした測定
系で高速信号の分岐(分流)測定が可能となる。
との構成に加えて、被測定回路基板へ給電するための給
電板が、被測定回路基板に対して対向移動可能に配置さ
れており、給電板を被測定回路基板に向けて対向移動さ
せると、被測定回路基板に配設された複数の給電パッド
に、各給電パッドに対応させて給電板に支持された複数
のコンタクトプローブが当接し、被測定回路基板は給電
される。このとき、給電板には、被測定回路基板へ基準
電位を給電する基準電位電源が少なくとも接続されてお
り、給電板の基準電位と基準電位板との間が、一点で電
気的に接続されるので、基準電位雑音や外来雑音の影響
を受けることなく、特性インピーダンス整合をした測定
系で高速信号の分岐(分流)測定が可能となる。
【0012】さらに、給電板を、絶縁性板と導電性板と
を交互に積層して構成することにより、給電板内の許容
電圧降下を配慮して、導電性板の板厚を任意に設定でき
る。
を交互に積層して構成することにより、給電板内の許容
電圧降下を配慮して、導電性板の板厚を任意に設定でき
る。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0014】図1は本発明の一実施例の全体構成を示
し、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は側面図
である。図2は本発明の一実施例における電子回路パッ
ケージへの給電状態を説明するための縦断面図である。
図3は本発明の一実施例の主構成を示す分解斜視図、図
4は図3に示した電子回路パッケージの平面図、図5は
本発明の一実施例に備わる案内スリーブの取付け状態を
示す部分断面図、図6は図3に示した給電板の平面図、
図7は本発明の一実施例に備わる、給電板とコンタクト
プローブ間の接続を示す断面図、図8は本発明の一実施
例に備わる、基準電位接続用端子の接続を示す断面図で
ある。
し、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は側面図
である。図2は本発明の一実施例における電子回路パッ
ケージへの給電状態を説明するための縦断面図である。
図3は本発明の一実施例の主構成を示す分解斜視図、図
4は図3に示した電子回路パッケージの平面図、図5は
本発明の一実施例に備わる案内スリーブの取付け状態を
示す部分断面図、図6は図3に示した給電板の平面図、
図7は本発明の一実施例に備わる、給電板とコンタクト
プローブ間の接続を示す断面図、図8は本発明の一実施
例に備わる、基準電位接続用端子の接続を示す断面図で
ある。
【0015】図1乃至図3に示すように、被測定回路基
板としての電子回路パッケージ9の被測定面側には、基
準電位板5が覆われている。この基準電位基板5には、
図5に示すように電子回路パッケージ9を測定するため
の測定プローブ13が装着される筒状の案内スリーブ4
がカシメ付けられている。これにより、案内スリーブ4
と基準電位板5とは電気的に強固に接続されるので、案
内スリーブ4と基準電位板5の間の電位差は無視でき
る。また、案内スリーブ4がカシメ付けられる、基準電
位板5の案内スリーブ用穴15の位置は、電子回路パッ
ケージ9上の測定パッド3(図4参照)の位置に対応す
るように割り出して決めるので、測定パッド3の直上に
正確に設けることができる。このため、小さなサイズの
測定パッド3に対しても、測定プローブ13の先端を確
実に当接できる。そして、図1の(A)に示すように、
基準電位板5のほぼ全面に案内スリーブ4を設けること
ができるので、測定プローブ13での測定箇所は実質的
に制約されない。ここで測定プローブ13を案内スリー
ブ4に装着すると、測定プローブ13の、基準電位とな
る外部導体が、案内スリーブ4の内壁部2に接続される
が、さらに確実な接続にするには、測定プローブ13の
外周の基準電位に設けた基準電位ピンコンタクト20と
基準電位板5に設けたソケットコンタクト19との嵌合
で電気的に接続することも可能である。なお、測定プロ
ーブ13は、外部導体と中心導体との間に絶縁体材料が
介在された同軸型のものである。
板としての電子回路パッケージ9の被測定面側には、基
準電位板5が覆われている。この基準電位基板5には、
図5に示すように電子回路パッケージ9を測定するため
の測定プローブ13が装着される筒状の案内スリーブ4
がカシメ付けられている。これにより、案内スリーブ4
と基準電位板5とは電気的に強固に接続されるので、案
内スリーブ4と基準電位板5の間の電位差は無視でき
る。また、案内スリーブ4がカシメ付けられる、基準電
位板5の案内スリーブ用穴15の位置は、電子回路パッ
ケージ9上の測定パッド3(図4参照)の位置に対応す
るように割り出して決めるので、測定パッド3の直上に
正確に設けることができる。このため、小さなサイズの
測定パッド3に対しても、測定プローブ13の先端を確
実に当接できる。そして、図1の(A)に示すように、
基準電位板5のほぼ全面に案内スリーブ4を設けること
ができるので、測定プローブ13での測定箇所は実質的
に制約されない。ここで測定プローブ13を案内スリー
ブ4に装着すると、測定プローブ13の、基準電位とな
る外部導体が、案内スリーブ4の内壁部2に接続される
が、さらに確実な接続にするには、測定プローブ13の
外周の基準電位に設けた基準電位ピンコンタクト20と
基準電位板5に設けたソケットコンタクト19との嵌合
で電気的に接続することも可能である。なお、測定プロ
ーブ13は、外部導体と中心導体との間に絶縁体材料が
介在された同軸型のものである。
【0016】一方、電子回路パッケージ9の被測定面と
反対側には、図1乃至図3に示すように、電子回路パッ
ケージ9への給電を行なう給電板14が、ハンドル18
を備えた昇降手段により電子回路パッケージ9に対して
対向移動可能に設置されている。電子回路パッケージ9
への給電は、図1および図6に示すように、基準電位用
給電端子16A、半導体装置動作用給電端子16B、お
よび終端電源用給電端子16Cからなる給電端子16か
らなされ、電源の種別により個々に給電できる。このよ
うな給電板14は、図7に示すように、絶縁性板6と導
電性板7と交互に狭持または接着した積層構造となって
いる。そして、給電端子16A,16B,16Cは各導
電性板7にそれぞれ配設されるとともに、各導電性板7
にはコンタクトプローブ10A,10B,10C(図6
参照)が給電端子16A,16B,16Cに対応して電
気的に接続されている。このような給電板14の構造の
為、給電板14内の許容電圧降下を配慮して、導電性板
6の板厚を任意に設定できる。
反対側には、図1乃至図3に示すように、電子回路パッ
ケージ9への給電を行なう給電板14が、ハンドル18
を備えた昇降手段により電子回路パッケージ9に対して
対向移動可能に設置されている。電子回路パッケージ9
への給電は、図1および図6に示すように、基準電位用
給電端子16A、半導体装置動作用給電端子16B、お
よび終端電源用給電端子16Cからなる給電端子16か
らなされ、電源の種別により個々に給電できる。このよ
うな給電板14は、図7に示すように、絶縁性板6と導
電性板7と交互に狭持または接着した積層構造となって
いる。そして、給電端子16A,16B,16Cは各導
電性板7にそれぞれ配設されるとともに、各導電性板7
にはコンタクトプローブ10A,10B,10C(図6
参照)が給電端子16A,16B,16Cに対応して電
気的に接続されている。このような給電板14の構造の
為、給電板14内の許容電圧降下を配慮して、導電性板
6の板厚を任意に設定できる。
【0017】このように、コンタクトプローブ位置間の
電圧降下値のバラツキは無視できる値に設定できるの
で、基準電位雑音・電源雑音が信号測定結果に影響を与
えるのを防止できる。また、図7に示すように、給電板
14から電子回路パッケージ9までの給電は、コンタク
トプローブ10の内部のコイルスプリング(不図示)が
図7に示すS値までに変化したときの反発力が接触力と
なるので、高い接触力で給電板14と電子回路パッケー
ジ9と間を接続でき、電子回路パッケージ9とコンタク
トプローブ10との間の電圧降下値もまた無視可能なレ
ベルまで低くできる。
電圧降下値のバラツキは無視できる値に設定できるの
で、基準電位雑音・電源雑音が信号測定結果に影響を与
えるのを防止できる。また、図7に示すように、給電板
14から電子回路パッケージ9までの給電は、コンタク
トプローブ10の内部のコイルスプリング(不図示)が
図7に示すS値までに変化したときの反発力が接触力と
なるので、高い接触力で給電板14と電子回路パッケー
ジ9と間を接続でき、電子回路パッケージ9とコンタク
トプローブ10との間の電圧降下値もまた無視可能なレ
ベルまで低くできる。
【0018】図6は、コンタクトプローブ10をほぼ均
等に配置し、電圧降下を小さくした給電板14の例を示
している。基準電位用コンタクト10Aは電子回路パッ
ケージ背面の半導体装置動作用パッド、終端電源用コン
タクトプローブ10Cは電子回路パッケージ背面の終端
電源用パッド(各パッドの図示は省略)に対応した位置
に設けられている。
等に配置し、電圧降下を小さくした給電板14の例を示
している。基準電位用コンタクト10Aは電子回路パッ
ケージ背面の半導体装置動作用パッド、終端電源用コン
タクトプローブ10Cは電子回路パッケージ背面の終端
電源用パッド(各パッドの図示は省略)に対応した位置
に設けられている。
【0019】さらに、基準電位用給電端子16Aが接続
された給電板14の導電性板、つまり基準電位には、図
8に示すように基準電位接続用端子11が設けられてお
り、基準電位板5には、基準電位コンタクト17が基準
電位接続用端子11の位置に対応して設けられている。
これにより、基準電位板5を一点で基準電位に接続でき
る構造になっている。また、図5に示すように測定用の
電源が電子回路パッケージ9に実装された測定用電源コ
ネクタ21で給電され、測定精度の向上において基準電
位系のみの強化で良い場合には、給電板14を基準電位
接続用の導電性板のみとして構成することも可能であ
る。
された給電板14の導電性板、つまり基準電位には、図
8に示すように基準電位接続用端子11が設けられてお
り、基準電位板5には、基準電位コンタクト17が基準
電位接続用端子11の位置に対応して設けられている。
これにより、基準電位板5を一点で基準電位に接続でき
る構造になっている。また、図5に示すように測定用の
電源が電子回路パッケージ9に実装された測定用電源コ
ネクタ21で給電され、測定精度の向上において基準電
位系のみの強化で良い場合には、給電板14を基準電位
接続用の導電性板のみとして構成することも可能であ
る。
【0020】上述のように構成した信号測定用装置で
は、ハンドル18を水平にすると、図2の(A)に示し
た状態に給電板14が上昇して、コンタクトプローブ1
0が押し下げられ、電子回路パッケージに電源が接続さ
れる。また、ハンドル18を垂直にすると、図2の
(B)に示した状態に給電板が下降して、電源が非接続
となる。
は、ハンドル18を水平にすると、図2の(A)に示し
た状態に給電板14が上昇して、コンタクトプローブ1
0が押し下げられ、電子回路パッケージに電源が接続さ
れる。また、ハンドル18を垂直にすると、図2の
(B)に示した状態に給電板が下降して、電源が非接続
となる。
【0021】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。
ので、以下に記載するような効果を奏する。
【0022】請求項1に記載の発明は、被測定回路基板
回路の、測定パッドが配設された側の面を基準電位板で
覆い、同軸型の測定プローブの外部導体と案内スリーブ
の内壁部が接触する構造にし、案内スリーブにより被測
定回路基板の測定パッドとの位置合わせを確実にしたの
で、測定パッド部の実装エリアを最小にすることができ
る。
回路の、測定パッドが配設された側の面を基準電位板で
覆い、同軸型の測定プローブの外部導体と案内スリーブ
の内壁部が接触する構造にし、案内スリーブにより被測
定回路基板の測定パッドとの位置合わせを確実にしたの
で、測定パッド部の実装エリアを最小にすることができ
る。
【0023】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明の効果に加えて、被測定回路基板の給電パッド側
に配置した給電板の基準電位と、被測定回路基板を覆う
基準電位板と、を一点で接続したので、基準電位雑音や
外来雑音の影響を受けることなく、特性インピーダンス
整合をした測定系で高速信号の分岐(分流)測定ができ
る。
の発明の効果に加えて、被測定回路基板の給電パッド側
に配置した給電板の基準電位と、被測定回路基板を覆う
基準電位板と、を一点で接続したので、基準電位雑音や
外来雑音の影響を受けることなく、特性インピーダンス
整合をした測定系で高速信号の分岐(分流)測定ができ
る。
【0024】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
の発明の効果に加えて、給電板内の許容電圧降下を配慮
して、導電性板の板厚を任意に設定できる。
の発明の効果に加えて、給電板内の許容電圧降下を配慮
して、導電性板の板厚を任意に設定できる。
【図1】本発明の一実施例の全体構成を示し、(A)は
平面図、(B)は正面図、(C)は側面図である。
平面図、(B)は正面図、(C)は側面図である。
【図2】本発明の一実施例における電子回路パッケージ
への給電状態を説明するための側面図である。
への給電状態を説明するための側面図である。
【図3】本発明の一実施例の主構成を示す分解斜視図で
ある。
ある。
【図4】図3に示した電子回路パッケージの平面図であ
る。
る。
【図5】図3に示した給電板の平面図である。
【図6】本発明の一実施例に備わる案内スリーブの取付
け状態を示す部分断面図である。
け状態を示す部分断面図である。
【図7】本発明の一実施例に備わる、給電板とコンタク
トプローブ間の接続を示す断面図である。
トプローブ間の接続を示す断面図である。
【図8】本発明の一実施例に備わる、基準電位接続用端
子の接続を示す断面図である。
子の接続を示す断面図である。
【図9】従来の、コンタクトプローブ式を採用した信号
測定用装置を示す側面図である。
測定用装置を示す側面図である。
【図10】従来の、アース接続用端子式を採用した信号
測定用装置を示す側面図である。
測定用装置を示す側面図である。
2 内壁部 3 測定パッド 4 案内スリーブ 5 基準電位板 6 導電性板 7 絶縁性板 8 基準電位一点接続部 9 電子回路パッケージ 10 コンタクトプローブ 10A 基準電位用コンタクトプローブ 10B 半導体装置動作電源用プローブ 10C 終端電源用コンタクトプローブ 11 基準電位接続用端子 13 測定プローブ 14 給電板 15 案内スリーブ用穴 16 給電端子 16A 基準電位用給電端子 16B 半導体装置動作用給電端子 16C 終端電源用給電端子 17 基準電位コンタクト 18 ハンドル 19 ソケットコンタクト 20 基準電位ピンコンタクト 21 測定用電源コネクタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三日月 哲郎 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 榊原 一彦 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 岡 宏規 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−60789(JP,A) 特開 平5−256905(JP,A) 特開 昭63−317784(JP,A) 実開 平4−134075(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 G01R 1/06 G01R 31/02
Claims (3)
- 【請求項1】 同軸型の測定プローブの外部導体を基準
電位と電気的に接続させた状態で、前記測定プローブの
中心導体である先端を被測定回路基板上の測定パッドに
当接して信号波形を測定する信号測定用装置において、 前記測定パッドが設けられた側の面を覆うようにして、
前記被測定回路基板と対向配置された、基準電位が接続
される基準電位板と、 前記測定パッドに対応して前記基準電位板に配設され、
前記測定プローブの先端が前記測定パッドに当接するよ
うに前記測定プローブを案内可能にするとともに、内壁
部で前記測定プローブの外部導体を前記基準電位板と電
気的に接続させる案内スリーブと、を備えたことを特徴
とする、信号測定用装置。 - 【請求項2】 前記被測定回路基板の、前記測定パッド
が設けられた側の面と反対の面に複数の給電パッドが配
設され、 前記被測定回路基板の、前記各給電パッドが設けられた
面の側には、前記各給電パッドに対応して複数のコンタ
クトプローブを支持するとともに、該各コンタクトプロ
ーブを通じて前記被電子回路基板へ給電するための給電
板が、前記被測定回路基板に対して対向移動可能に設置
され、 前記給電板には、前記被測定回路基板へ基準電位を給電
する基準電位電源が少なくとも接続されており、 前記給電板を前記被測定回路基板に向けて移動させて前
記給電パッドに前記コンタクトプローブを当接させた
際、前記給電板の基準電位と前記基準電位板との間が、
一点で電気的に接続されることを特徴とする、請求項1
に記載の信号測定用装置。 - 【請求項3】 前記給電板は、絶縁性板と導電性板とを
交互に積層して構成されており、 前記給電板を構成する導電性板のうちの一つに基準電位
電源が接続され、 前記給電板の、前記基準電位電源が接続された導電板と
前記基準電位板との間が、一点で電気的に接続されるこ
とを特徴とする、請求項2に記載の信号測定用装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06048212A JP3098374B2 (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 信号測定用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06048212A JP3098374B2 (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 信号測定用装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07260860A JPH07260860A (ja) | 1995-10-13 |
JP3098374B2 true JP3098374B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=12797107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP06048212A Expired - Fee Related JP3098374B2 (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 信号測定用装置 |
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Country | Link |
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JP6842355B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-03-17 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品試験装置用のキャリア |
CN112379185B (zh) * | 2020-11-06 | 2023-03-21 | 海光信息技术股份有限公司 | 一种裸片的电源噪声测试结构 |
-
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- 1994-03-18 JP JP06048212A patent/JP3098374B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH07260860A (ja) | 1995-10-13 |
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