JP3078273B2 - 超音波モータの速度制御方法及び装置 - Google Patents
超音波モータの速度制御方法及び装置Info
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- JP3078273B2 JP3078273B2 JP11016560A JP1656099A JP3078273B2 JP 3078273 B2 JP3078273 B2 JP 3078273B2 JP 11016560 A JP11016560 A JP 11016560A JP 1656099 A JP1656099 A JP 1656099A JP 3078273 B2 JP3078273 B2 JP 3078273B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータの速
度制御方法及び速度制御装置に関する。
度制御方法及び速度制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体を用いた振動体に周波電圧を印加
することによって励振させ、該振動体に加圧接触する被
駆動体を該振動体に対して相対的に回転又は直線移動さ
せる超音波モータはすでに公知である。
することによって励振させ、該振動体に加圧接触する被
駆動体を該振動体に対して相対的に回転又は直線移動さ
せる超音波モータはすでに公知である。
【０００３】この超音波モータは振動体に印加する周波
電圧の振幅、周波数のいずれかを変えることによって速
度制御することができる。
電圧の振幅、周波数のいずれかを変えることによって速
度制御することができる。
【０００４】しかし、周波電圧の振幅、周波数に変化に
対し超音波モータの速度の変化は線形にはならず、速度
制御が困難である。 図４は超音波モータの速度と印加
電圧の周波数との関係を示す図である。この図４で示さ
れるように、共振周波数ｆ0で最高速度を発生し、該共
振周波数より高くなると速度は低下する。（なお、共振
周波数より低い周波数では急激に超音波モータの速度は
低下し、共振周波数より低い周波数領域では速度制御は
できない。） しかも、共振周波数近傍では、僅かな周波数変化でも速
度は大きく変化する。又、周波数が高くなり速度が低速
となる領域では、印加周波数が大きく変化しても超音波
モータの速度変化は少ない。すなわち、図４に示すよう
に超音波モーをの速度をΔｖだけ変化させる場合、高速
領域（印加周波数が低い領域）では、Δｆ2と周波数を
僅か変化させればよいが、低速領域（印加周波数が高い
領域）ではΔｆ1と周波数を大きく変化させねばならな
い。
対し超音波モータの速度の変化は線形にはならず、速度
制御が困難である。 図４は超音波モータの速度と印加
電圧の周波数との関係を示す図である。この図４で示さ
れるように、共振周波数ｆ0で最高速度を発生し、該共
振周波数より高くなると速度は低下する。（なお、共振
周波数より低い周波数では急激に超音波モータの速度は
低下し、共振周波数より低い周波数領域では速度制御は
できない。） しかも、共振周波数近傍では、僅かな周波数変化でも速
度は大きく変化する。又、周波数が高くなり速度が低速
となる領域では、印加周波数が大きく変化しても超音波
モータの速度変化は少ない。すなわち、図４に示すよう
に超音波モーをの速度をΔｖだけ変化させる場合、高速
領域（印加周波数が低い領域）では、Δｆ2と周波数を
僅か変化させればよいが、低速領域（印加周波数が高い
領域）ではΔｆ1と周波数を大きく変化させねばならな
い。
【０００５】又、超音波モータに印加する周波電圧の振
幅と速度との関係は、図６に示すように、線形の関係で
はない。印加周波電圧の振幅が小さければ超音波モータ
の速度は遅く、振幅が大きくなれば速くなるが、同じ速
度変化Δｖでも、速度が低速な領域では印加周波電圧の
振幅の変化量はΔＡ１と小さい。しかし速度が高速の領
域では振幅の変化量はΔＡ2と大きい。
幅と速度との関係は、図６に示すように、線形の関係で
はない。印加周波電圧の振幅が小さければ超音波モータ
の速度は遅く、振幅が大きくなれば速くなるが、同じ速
度変化Δｖでも、速度が低速な領域では印加周波電圧の
振幅の変化量はΔＡ１と小さい。しかし速度が高速の領
域では振幅の変化量はΔＡ2と大きい。
【０００６】このように、超音波モータの振動体に供給
する周波電圧の周波数、振幅と超音波モータの速度の関
係が線形でないことから、速度制御が困難になる。そこ
で、印加周波数と速度の関係は、速度の逆数が印加周波
数と一次比例関係にあると見なし、速度の逆数に基づい
て、超音波モータの速度を制御することが特開平６−１
９７５６５号公報で提案されている。
する周波電圧の周波数、振幅と超音波モータの速度の関
係が線形でないことから、速度制御が困難になる。そこ
で、印加周波数と速度の関係は、速度の逆数が印加周波
数と一次比例関係にあると見なし、速度の逆数に基づい
て、超音波モータの速度を制御することが特開平６−１
９７５６５号公報で提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したよう、超音波
モータの速度制御の操作量となる印加電圧の周波数や振
幅と超音波モータの出力速度が、比例関係にないことか
ら速度制御が困難であるが、本発明はこの点を改良し、
簡単にかつ精度のよい超音波モータの速度制御方法及び
制御装置を提供することにある。
モータの速度制御の操作量となる印加電圧の周波数や振
幅と超音波モータの出力速度が、比例関係にないことか
ら速度制御が困難であるが、本発明はこの点を改良し、
簡単にかつ精度のよい超音波モータの速度制御方法及び
制御装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、超音波モータ
の複数の速度に対して離散的に求めた最適ゲイン値を線
形補間して、速度に関するゲイン関数を生成し、モータ
速度に応じてこの関数に従い求まるゲイン値を速度制御
ループのゲイン値として設定して速度制御を行う。
の複数の速度に対して離散的に求めた最適ゲイン値を線
形補間して、速度に関するゲイン関数を生成し、モータ
速度に応じてこの関数に従い求まるゲイン値を速度制御
ループのゲイン値として設定して速度制御を行う。
【０００９】特に、超音波モータに供給する周波電圧の
周波数とモータ速度、もしくは、超音波モータに供給す
る周波電圧の振幅とモータ速度の関係特性に基づいて前
記ゲイン関数を求め、このゲイン関数で求められるゲイ
ンを速度制御のゲインとして、周波数もしくは振幅を用
いてモータの速度制御を行う。
周波数とモータ速度、もしくは、超音波モータに供給す
る周波電圧の振幅とモータ速度の関係特性に基づいて前
記ゲイン関数を求め、このゲイン関数で求められるゲイ
ンを速度制御のゲインとして、周波数もしくは振幅を用
いてモータの速度制御を行う。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の超音波モータの速
度制御ブロック図である。図１において、符号２は超音
波モータであり、符号３は入力電圧に応じて出力周波数
が決まる電圧制御発振器である。該電圧制御発振器３の
出力を駆動回路４で増幅し、超音波モータを駆動するの
に十分な振幅を有する周波電圧として超音波モータ２に
入力印加する。又、該超音波モータ２には該超音波モー
タの位置、速度を検出するためのロータリエンコーダ又
はリニアスケール等の位置検出器５が取り付けれてい
る。
度制御ブロック図である。図１において、符号２は超音
波モータであり、符号３は入力電圧に応じて出力周波数
が決まる電圧制御発振器である。該電圧制御発振器３の
出力を駆動回路４で増幅し、超音波モータを駆動するの
に十分な振幅を有する周波電圧として超音波モータ２に
入力印加する。又、該超音波モータ２には該超音波モー
タの位置、速度を検出するためのロータリエンコーダ又
はリニアスケール等の位置検出器５が取り付けれてい
る。
【００１１】符号１は制御用マイクロコンピュータであ
り、速度制御のための、微分要素１０、比例ゲイン要素
１１，積分要素１２，積分ゲイン要素１３、減算要素１
４等をその機能として備え、又、デジタル信号をアナロ
グ電圧に変換するＤ／Ａ変換器１５を有している。該コ
ンピュータ１は、速度指令Ｖｃから位置検出器５で検出
された位置信号を微分要素１０で微分して得られた速度
フィードバック信号Ｖｆを減じて速度偏差εを求め、該
速度偏差εを積分要素１２で積分し、その積分値に積分
ゲイン要素１３の積分ゲインＫｉを乗じて得られた値
と、前記速度偏差εに比例ゲイン要素１１の比例ゲイン
Ｋｖを乗じた値を加算し、減算要素１４では、前記比
例、積分の速度ループ処理で得られた前記加算された値
Ｅを電圧制御発振器３で超音波モータ２の速度が「０」
となる振動体の共振周波数より高い限界周波数が得られ
る電圧値Ｅｍから減じて指令電圧値Ｅｃ（Ｅｃ＝Ｅｍ−
Ｅ）を求め、この指令電圧ＥｃをＤ／Ａ変換器１５でア
ナログ電圧に変換し、電圧制御発振器３に出力する。
り、速度制御のための、微分要素１０、比例ゲイン要素
１１，積分要素１２，積分ゲイン要素１３、減算要素１
４等をその機能として備え、又、デジタル信号をアナロ
グ電圧に変換するＤ／Ａ変換器１５を有している。該コ
ンピュータ１は、速度指令Ｖｃから位置検出器５で検出
された位置信号を微分要素１０で微分して得られた速度
フィードバック信号Ｖｆを減じて速度偏差εを求め、該
速度偏差εを積分要素１２で積分し、その積分値に積分
ゲイン要素１３の積分ゲインＫｉを乗じて得られた値
と、前記速度偏差εに比例ゲイン要素１１の比例ゲイン
Ｋｖを乗じた値を加算し、減算要素１４では、前記比
例、積分の速度ループ処理で得られた前記加算された値
Ｅを電圧制御発振器３で超音波モータ２の速度が「０」
となる振動体の共振周波数より高い限界周波数が得られ
る電圧値Ｅｍから減じて指令電圧値Ｅｃ（Ｅｃ＝Ｅｍ−
Ｅ）を求め、この指令電圧ＥｃをＤ／Ａ変換器１５でア
ナログ電圧に変換し、電圧制御発振器３に出力する。
【００１２】電圧制御発振器３は入力された電圧に応じ
た周波数の周波電圧を発生し、駆動回路４によってこの
周波電圧の振幅が増幅されて超音波モータ２に印加さ
れ、該超音波モータ２は速度制御されることになる。
た周波数の周波電圧を発生し、駆動回路４によってこの
周波電圧の振幅が増幅されて超音波モータ２に印加さ
れ、該超音波モータ２は速度制御されることになる。
【００１３】図２は、上述した速度ループ制御を内包す
る位置ループ制御をも制御用マイクロコンピュータ１が
行う場合の制御ブロック図である。図１のブロック図と
相違する点は、位置指令Ｐｃから位置検出器５で検出さ
れた位置のフィードバック信号Ｐｆを減じて位置偏差を
求めこの位置偏差にポジションゲインＫｐを乗じて速度
指令Ｖｃを求め、速度ループ制御への速度指令Ｖｃとし
た点のみであり他は同一である。
る位置ループ制御をも制御用マイクロコンピュータ１が
行う場合の制御ブロック図である。図１のブロック図と
相違する点は、位置指令Ｐｃから位置検出器５で検出さ
れた位置のフィードバック信号Ｐｆを減じて位置偏差を
求めこの位置偏差にポジションゲインＫｐを乗じて速度
指令Ｖｃを求め、速度ループ制御への速度指令Ｖｃとし
た点のみであり他は同一である。
【００１４】上記処理工程において、制御用マイクロコ
ンピュータ１は比例ゲインＫｖ及び積分ゲインＫｉのど
ちらか一方若しくは両方を超音波モータの実速度（速度
フィードバック信号）又は速度指令値に基づいて変更し
て、上記速度ループ制御を行う。
ンピュータ１は比例ゲインＫｖ及び積分ゲインＫｉのど
ちらか一方若しくは両方を超音波モータの実速度（速度
フィードバック信号）又は速度指令値に基づいて変更し
て、上記速度ループ制御を行う。
【００１５】前述したように、超音波モータ２に印加す
る周波電圧の周波数ｆと超音波モータ２の速度ｖの関係
は図４に示されるような非線形の関係にある。そのた
め、超音波モータ２に同一の速度変化量Δｖを生じせし
めようとすると、低速回転領域と高速回転領域では、印
加する周波電圧の周波数変化量Δｆは異なってくる。例
えば、速度指令が変化して現在速度よりΔｖだけ変化し
たとする。しかし、この速度変化が低速領域で変化した
ものであれば、速度指令に追従すべく超音波モータ２に
印加される周波数は図４に示すようにΔf1変化しなけれ
ばならないが、高速領域での変化であればΔf2の変化で
よい。
る周波電圧の周波数ｆと超音波モータ２の速度ｖの関係
は図４に示されるような非線形の関係にある。そのた
め、超音波モータ２に同一の速度変化量Δｖを生じせし
めようとすると、低速回転領域と高速回転領域では、印
加する周波電圧の周波数変化量Δｆは異なってくる。例
えば、速度指令が変化して現在速度よりΔｖだけ変化し
たとする。しかし、この速度変化が低速領域で変化した
ものであれば、速度指令に追従すべく超音波モータ２に
印加される周波数は図４に示すようにΔf1変化しなけれ
ばならないが、高速領域での変化であればΔf2の変化で
よい。
【００１６】しかし、速度ループのゲインが一定である
と、上記速度指令と現在速度との差Δｖは速度偏差εと
して生じ、この速度偏差εに基づいて上述した比例、積
分の速度ループ処理がなされることから、この速度ルー
プ処理によって求められる値Ｅは格別なる差異はない。
そしてこの値Ｅから上述したように電圧制御発振器３へ
の指令電圧値Ｅｃが求められるから、この指令電圧値Ｅ
ｃの変化量ΔＥｃも格別なる差異はないことになり、電
圧制御発振器３から出力される周波数の変化量Δｆも差
異がない。そのため図４に示すように、速度変化Δｖ＝
速度偏差εを埋めさせるために必要な印加周波数変化を
低速領域ではΔf1、高速領域ではΔf2を得ることはでき
ず、速度制御ができないことになる。
と、上記速度指令と現在速度との差Δｖは速度偏差εと
して生じ、この速度偏差εに基づいて上述した比例、積
分の速度ループ処理がなされることから、この速度ルー
プ処理によって求められる値Ｅは格別なる差異はない。
そしてこの値Ｅから上述したように電圧制御発振器３へ
の指令電圧値Ｅｃが求められるから、この指令電圧値Ｅ
ｃの変化量ΔＥｃも格別なる差異はないことになり、電
圧制御発振器３から出力される周波数の変化量Δｆも差
異がない。そのため図４に示すように、速度変化Δｖ＝
速度偏差εを埋めさせるために必要な印加周波数変化を
低速領域ではΔf1、高速領域ではΔf2を得ることはでき
ず、速度制御ができないことになる。
【００１７】そこで、本発明は、超音波モータの速度に
応じて速度ループの比例ゲインＫｖ又は速度ゲインＫｉ
の一方、若しくは両方を変えて速度ループ処理を行い、
電圧指令Ｅｃを求め、電圧制御発振器３を駆動制御す
る。例えば、図４に示す例で説明すると、速度が低速の
場合には、速度ループのゲインを大きくし、Δｖの速度
変化に対して周波数の変化がΔf1と大きく変化するよう
に電圧指令値Ｅｃも大きく変化するようにし、高速時で
はゲインを小さくし、同じ速度変化Δｖでも小さな電圧
指令値Ｅｃの変化で、周波数変化も小さいΔf2となるよ
うにする。
応じて速度ループの比例ゲインＫｖ又は速度ゲインＫｉ
の一方、若しくは両方を変えて速度ループ処理を行い、
電圧指令Ｅｃを求め、電圧制御発振器３を駆動制御す
る。例えば、図４に示す例で説明すると、速度が低速の
場合には、速度ループのゲインを大きくし、Δｖの速度
変化に対して周波数の変化がΔf1と大きく変化するよう
に電圧指令値Ｅｃも大きく変化するようにし、高速時で
はゲインを小さくし、同じ速度変化Δｖでも小さな電圧
指令値Ｅｃの変化で、周波数変化も小さいΔf2となるよ
うにする。
【００１８】すなわち、図４に示す速度と周波数の関係
特性に合致するような速度に対するゲイン特性の関数に
よってゲインを求める。すなわち、超音波モータ２の速
度ｖに応じて速度ループの各ゲインの最適値を調べて得
られた速度に対するゲイン関数によってゲインを求め、
その求められたゲインに基づいて速度ループの処理を行
うようにする。
特性に合致するような速度に対するゲイン特性の関数に
よってゲインを求める。すなわち、超音波モータ２の速
度ｖに応じて速度ループの各ゲインの最適値を調べて得
られた速度に対するゲイン関数によってゲインを求め、
その求められたゲインに基づいて速度ループの処理を行
うようにする。
【００１９】このゲイン関数を２次や３次の関数として
求めて、この関数より速度に応じたゲインを求めてもよ
いが、本実施形態では、予め超音波モータ２の速度に応
じた各種ゲインの最適値を調べ、その内の任意点数を選
び線形補間して得られた、折れ線で近似されたモータの
速度に対する各種ゲインの関数としている。図５はこの
各種ゲイン関数の一例である。この例では、破線で示す
予め求められた最適ゲイン関数から４点を選択して、こ
れらの４点間を直線補間して３つの直線により速度に対
するゲインを求めるようにしている。すなわち、図５に
示すように、速度０から速度ｖ１の第１の速度領域の速
度ループの比例、積分ゲインをｆ１（ｖ）、ｆ１’
（ｖ）、速度ｖ１から速度ｖ２までの第２の速度領域の
ゲインをｆ２（ｖ）、ｆ２’（ｖ）、速度ｖ２以上の第
３の速度領域のゲインをｆ３（ｖ）、ｆ３’（ｖ）の一
次関数でそれぞれのゲインを近似して求めるようにす
る。
求めて、この関数より速度に応じたゲインを求めてもよ
いが、本実施形態では、予め超音波モータ２の速度に応
じた各種ゲインの最適値を調べ、その内の任意点数を選
び線形補間して得られた、折れ線で近似されたモータの
速度に対する各種ゲインの関数としている。図５はこの
各種ゲイン関数の一例である。この例では、破線で示す
予め求められた最適ゲイン関数から４点を選択して、こ
れらの４点間を直線補間して３つの直線により速度に対
するゲインを求めるようにしている。すなわち、図５に
示すように、速度０から速度ｖ１の第１の速度領域の速
度ループの比例、積分ゲインをｆ１（ｖ）、ｆ１’
（ｖ）、速度ｖ１から速度ｖ２までの第２の速度領域の
ゲインをｆ２（ｖ）、ｆ２’（ｖ）、速度ｖ２以上の第
３の速度領域のゲインをｆ３（ｖ）、ｆ３’（ｖ）の一
次関数でそれぞれのゲインを近似して求めるようにす
る。
【００２０】図３は、本発明の一実施形態の図２に示し
た位置ループ処理、速度ループ処理を実行する制御用マ
イクロプロセッサ１の位置、速度ループ処理のフローチ
ャートである。又、この実施形態では、速度ループの比
例Ｋｖ、積分ゲインＫｉをそれぞれ上記図５のように３
つの速度領域に分割してそれぞれの領域の直線式ｆ１
（ｖ）、ｆ１’（ｖ）、ｆ２（ｖ）、ｆ２’（ｖ）、ｆ
３（ｖ）、ｆ３’（ｖ）によってそれぞれ求めるように
している。
た位置ループ処理、速度ループ処理を実行する制御用マ
イクロプロセッサ１の位置、速度ループ処理のフローチ
ャートである。又、この実施形態では、速度ループの比
例Ｋｖ、積分ゲインＫｉをそれぞれ上記図５のように３
つの速度領域に分割してそれぞれの領域の直線式ｆ１
（ｖ）、ｆ１’（ｖ）、ｆ２（ｖ）、ｆ２’（ｖ）、ｆ
３（ｖ）、ｆ３’（ｖ）によってそれぞれ求めるように
している。
【００２１】制御用マイクロプロセッサ１は所定周期毎
にに図３に示す処理を実行する。
にに図３に示す処理を実行する。
【００２２】まず、指令されている位置指令Ｐｃを読み
込むと共に位置検出器５からの位置フィードバック値Ｐ
ｆを読み（ステップＳ１）、読みとられた位置フィード
バック値Ｐｆと前周期に読み込まれた位置フィードバッ
ク値より、速度フィードバック値ｖｆを求める。すなわ
ち図２の要素１０の微分処理を行い速度フィードバック
値ｖｆを求める（ステップＳ２）。次に、位置指令値Ｐ
ｃから位置フィードバック値Ｐｆを減じた値にポジショ
ンゲインＫｐを乗じて速度指令値Ｖｃを求める、図２の
要素１６の処理を行う（ステップＳ３）。この処理で求
められた速度指令値ＶｃからステップＳ２で求めた速度
フィードバック値ｖｆを減して位置偏差を求め、この位
置偏差を積算するレジスタＲに加算し積分処理を行う。
この処理は図２の要素１２の積分要素の処理に対応する
（ステップＳ４）。
込むと共に位置検出器５からの位置フィードバック値Ｐ
ｆを読み（ステップＳ１）、読みとられた位置フィード
バック値Ｐｆと前周期に読み込まれた位置フィードバッ
ク値より、速度フィードバック値ｖｆを求める。すなわ
ち図２の要素１０の微分処理を行い速度フィードバック
値ｖｆを求める（ステップＳ２）。次に、位置指令値Ｐ
ｃから位置フィードバック値Ｐｆを減じた値にポジショ
ンゲインＫｐを乗じて速度指令値Ｖｃを求める、図２の
要素１６の処理を行う（ステップＳ３）。この処理で求
められた速度指令値ＶｃからステップＳ２で求めた速度
フィードバック値ｖｆを減して位置偏差を求め、この位
置偏差を積算するレジスタＲに加算し積分処理を行う。
この処理は図２の要素１２の積分要素の処理に対応する
（ステップＳ４）。
【００２３】次に、求められた速度フィードバック値ｖ
ｆと第１領域から第２領域への第１の切換速度ｖ１及び
第２速度領域から第３速度領域への第２の切換速度ｖ２
とを比較し（ステップＳ５）、速度フィードバック値ｖ
ｆが第１の速度ｖ１度以下で第１の領域であれば関数ｆ
１（ｖ）、ｆ１’（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、
積分ゲインＫｉを次の１式、２式によって求める（ステ
ップＳ６，Ｓ７）。
ｆと第１領域から第２領域への第１の切換速度ｖ１及び
第２速度領域から第３速度領域への第２の切換速度ｖ２
とを比較し（ステップＳ５）、速度フィードバック値ｖ
ｆが第１の速度ｖ１度以下で第１の領域であれば関数ｆ
１（ｖ）、ｆ１’（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、
積分ゲインＫｉを次の１式、２式によって求める（ステ
ップＳ６，Ｓ７）。
【００２４】 Ｋｖ＝ａ１・ｖｆ＋ｂ１ ・・・（１） Ｋｉ＝ｃ１・ｖｆ＋ｄ１ ・・・（２） 又、速度フィードバック値ｖｆが第１の速度ｖ１と第２
の切換速度ｖ２の間であると、関数ｆ２（ｖ）、ｆ２’
（ｖ）に基づいて、次の第３式、第４式によって比例ゲ
インＫｖ、積分ゲインＫｉを求める（ステップＳ８，Ｓ
９）。
の切換速度ｖ２の間であると、関数ｆ２（ｖ）、ｆ２’
（ｖ）に基づいて、次の第３式、第４式によって比例ゲ
インＫｖ、積分ゲインＫｉを求める（ステップＳ８，Ｓ
９）。
【００２５】 Ｋｖ＝ａ２・ｖｆ＋ｂ２ ・・・（３） Ｋｉ＝ｃ２・ｖｆ＋ｄ２ ・・・（４） 同様に、速度フィードバック値ｖｆが第２の速度ｖ２度
以上で第３の領域であれば関数ｆ３（ｖ）、ｆ３’
（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、積分ゲインＫｉを
次の５式、６式によって求める（ステップＳ１０，Ｓ１
１）。
以上で第３の領域であれば関数ｆ３（ｖ）、ｆ３’
（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、積分ゲインＫｉを
次の５式、６式によって求める（ステップＳ１０，Ｓ１
１）。
【００２６】 Ｋｖ＝ａ３・ｖｆ＋ｂ３ ・・・（５） Ｋｉ＝ｃ３・ｖｆ＋ｄ３ ・・・（６） こうして求められた比例ゲインＫｖ、積分ゲインＫｉに
基づいて、図２の要素１１、要素１３の処理及び加算処
理を行う。すなわち、次の７式の処理を行って速度ルー
プ処理の出力Ｅを求める（ステップＳ１２）。 Ｅ＝Ｋｖ（Ｖｃ−ｖｆ）＋Ｋｉ・Ｒ ・・・（７） 次に、超音波モータ２の振動体の共振周波数ｆ０以上の
周波数で、かつ、超音波モータ２の速度が「０」となる
周波数を電圧制御発振器３から出力する電圧の値Ｅｍか
ら、（ステップＳ１２）で求めた速度ループ処理の出力
Ｅを減じて電圧制御発振器３への指令値Ｅｃとする（ス
テップＳ１３）。
基づいて、図２の要素１１、要素１３の処理及び加算処
理を行う。すなわち、次の７式の処理を行って速度ルー
プ処理の出力Ｅを求める（ステップＳ１２）。 Ｅ＝Ｋｖ（Ｖｃ−ｖｆ）＋Ｋｉ・Ｒ ・・・（７） 次に、超音波モータ２の振動体の共振周波数ｆ０以上の
周波数で、かつ、超音波モータ２の速度が「０」となる
周波数を電圧制御発振器３から出力する電圧の値Ｅｍか
ら、（ステップＳ１２）で求めた速度ループ処理の出力
Ｅを減じて電圧制御発振器３への指令値Ｅｃとする（ス
テップＳ１３）。
【００２７】速度ループ処理の出力が「０」の場合、電
圧制御発振器の入力電圧は上記電圧値Ｅｍに対応するア
ナログ電圧となり、超音波モータ２は停止状態にある。
そこで、位置指令Ｐｃ、若しくは図１に示す速度制御の
みの場合で速度指令Ｖｃが出力され、速度ループの出力
Ｅが出力されると、電圧制御発振器３への入力電圧Ｅｃ
は減少し、出力周波数は減少する。これにより、超音波
モータ２の速度は上昇する。そして、速度が上昇するに
つれて、上述したように速度ループ処理の比例ゲインＫ
ｖ、積分ゲインＫｉが変更され（速度が上昇するにつれ
てゲインは小さくなる）、速度ループ処理がなされる。
圧制御発振器の入力電圧は上記電圧値Ｅｍに対応するア
ナログ電圧となり、超音波モータ２は停止状態にある。
そこで、位置指令Ｐｃ、若しくは図１に示す速度制御の
みの場合で速度指令Ｖｃが出力され、速度ループの出力
Ｅが出力されると、電圧制御発振器３への入力電圧Ｅｃ
は減少し、出力周波数は減少する。これにより、超音波
モータ２の速度は上昇する。そして、速度が上昇するに
つれて、上述したように速度ループ処理の比例ゲインＫ
ｖ、積分ゲインＫｉが変更され（速度が上昇するにつれ
てゲインは小さくなる）、速度ループ処理がなされる。
【００２８】なお、上記例では、図２に示す位置、速度
ループ制御処理を行う例の処理を説明したが、速度ルー
プ制御処理のみを実施する場合には、位置指令Ｐｃの代
わりに速度指令Ｖｃが制御用マイクロプロセッサ１に入
力されるものであるから、ステップＳ１では位置指令Ｐ
ｃの代わりに速度指令Ｖｃが読み込まれ、又、速度指令
Ｖｃはすでに読み込まれているので、ステップＳ３の処
理は必要がなく、ステップＳ２からステップＳ４に移行
する点が相違するのみである。
ループ制御処理を行う例の処理を説明したが、速度ルー
プ制御処理のみを実施する場合には、位置指令Ｐｃの代
わりに速度指令Ｖｃが制御用マイクロプロセッサ１に入
力されるものであるから、ステップＳ１では位置指令Ｐ
ｃの代わりに速度指令Ｖｃが読み込まれ、又、速度指令
Ｖｃはすでに読み込まれているので、ステップＳ３の処
理は必要がなく、ステップＳ２からステップＳ４に移行
する点が相違するのみである。
【００２９】次に、超音波モータに印加する周波電圧の
周波数を変えるのではなく振幅を変えることによって該
モータの速度を制御する第２の実施形態について説明す
る。
周波数を変えるのではなく振幅を変えることによって該
モータの速度を制御する第２の実施形態について説明す
る。
【００３０】超音波モータの速度と周波電圧の振幅Ａの
関係は図６に示されるように非線形の関係にある。同じ
速度変化Δｖでも低速時と高速時では、この速度変化Δ
ｖを起こさせるための振幅変化量ΔＡは異なり、低速時
では小さな変化量ΔＡ１でよいが高速時では大きな変化
量ΔＡ２が要求される。そのため、この速度ｖに対する
振幅Ａの特性に合わせて、速度ループの各ゲインＫｖ，
Ｋｉの大きさを調整し、同じ速度変化量（速度偏差）Δ
ｖでも、低速時には小さな振幅変化量ΔＡ１を指令でき
るようにゲインを小さく、高速領域では大きな振幅変化
量ΔＡ２が得られるようにゲインを大きくするようにす
ればよい。
関係は図６に示されるように非線形の関係にある。同じ
速度変化Δｖでも低速時と高速時では、この速度変化Δ
ｖを起こさせるための振幅変化量ΔＡは異なり、低速時
では小さな変化量ΔＡ１でよいが高速時では大きな変化
量ΔＡ２が要求される。そのため、この速度ｖに対する
振幅Ａの特性に合わせて、速度ループの各ゲインＫｖ，
Ｋｉの大きさを調整し、同じ速度変化量（速度偏差）Δ
ｖでも、低速時には小さな振幅変化量ΔＡ１を指令でき
るようにゲインを小さく、高速領域では大きな振幅変化
量ΔＡ２が得られるようにゲインを大きくするようにす
ればよい。
【００３１】そこで、超音波モータの速度に対する周波
電圧の振幅特性に合わせて、最適のゲインを図７に破線
で示すように求め、この速度ｖの関数としてのゲイン関
数によってゲインＫｖ，Ｋｉを求めるようにしてもよ
い。しかし、本実施形態ではこのゲイン関数曲線を直線
補間し、複数の直線で近似するようにしている。この実
施形態では、前述した第１の実施形態と同様に、速度ｖ
によって３つの領域に分割し、速度ｖ１以下の第１の領
域には、速度０から速度ｖ１を直線式ｇ１（ｖ）で近似
し、速度ｖ１から速度ｖ２間での領域は直線式ｇ２
（ｖ）で、速度ｖ２以上の領域は直線式ｇ３（ｖ）で近
似して速度ｖに対応するゲインＫｖ，Ｋｉを求めるよう
にした。
電圧の振幅特性に合わせて、最適のゲインを図７に破線
で示すように求め、この速度ｖの関数としてのゲイン関
数によってゲインＫｖ，Ｋｉを求めるようにしてもよ
い。しかし、本実施形態ではこのゲイン関数曲線を直線
補間し、複数の直線で近似するようにしている。この実
施形態では、前述した第１の実施形態と同様に、速度ｖ
によって３つの領域に分割し、速度ｖ１以下の第１の領
域には、速度０から速度ｖ１を直線式ｇ１（ｖ）で近似
し、速度ｖ１から速度ｖ２間での領域は直線式ｇ２
（ｖ）で、速度ｖ２以上の領域は直線式ｇ３（ｖ）で近
似して速度ｖに対応するゲインＫｖ，Ｋｉを求めるよう
にした。
【００３２】図８は、この印加周波電圧の振幅によって
超音波モータの位置、速度を制御する第２の実施形態の
ブロック図である。
超音波モータの位置、速度を制御する第２の実施形態の
ブロック図である。
【００３３】図２に示した第１の実施形態と相違する点
は、制御用マイクロプロセッサで構成される減算手段が
この第２の実施形態では、設けられていないことと、Ｄ
／Ａ変換器１５の出力が、駆動回路４に入力されている
こと、及び超音波モータに印加する周波電圧を発生する
発振器が前述した第１の実施形態では、電圧によってそ
の出力周波数を制御できる電圧制御発振器を用いたが、
この第２の実施形態では、出力周波数が一定の発振器６
を用いている点である。なお、図２に示した要素と同一
の要素は同一符号を付している。
は、制御用マイクロプロセッサで構成される減算手段が
この第２の実施形態では、設けられていないことと、Ｄ
／Ａ変換器１５の出力が、駆動回路４に入力されている
こと、及び超音波モータに印加する周波電圧を発生する
発振器が前述した第１の実施形態では、電圧によってそ
の出力周波数を制御できる電圧制御発振器を用いたが、
この第２の実施形態では、出力周波数が一定の発振器６
を用いている点である。なお、図２に示した要素と同一
の要素は同一符号を付している。
【００３４】すなわち、指令された位置指令Ｐｃから位
置検出器５で検出される位置のフィードバック情報Ｐｆ
を減じて位置偏差を求め、該位置偏差にポジションゲイ
ンＫｐを乗じて速度指令Ｖｃを求め（要素１６の処
理）、この速度指令Ｖｃから位置検出器５の出力信号を
微分して（要素１０の処理）求めれる速度フィードバッ
ク情報Ｖｆを減じて速度偏差εを求める。この速度偏差
εに速度ループの比例ゲインＫｖを乗じた値と、速度偏
差を積分しその積分値に積分ゲインＫｉを乗じた値を加
算し速度ループ出力を求める（要素１１、１２、１３の
速度ループ処理）。この出力をＤ／Ａ変換器１５でアナ
ログ信号に変換して駆動回路４に出力する。
置検出器５で検出される位置のフィードバック情報Ｐｆ
を減じて位置偏差を求め、該位置偏差にポジションゲイ
ンＫｐを乗じて速度指令Ｖｃを求め（要素１６の処
理）、この速度指令Ｖｃから位置検出器５の出力信号を
微分して（要素１０の処理）求めれる速度フィードバッ
ク情報Ｖｆを減じて速度偏差εを求める。この速度偏差
εに速度ループの比例ゲインＫｖを乗じた値と、速度偏
差を積分しその積分値に積分ゲインＫｉを乗じた値を加
算し速度ループ出力を求める（要素１１、１２、１３の
速度ループ処理）。この出力をＤ／Ａ変換器１５でアナ
ログ信号に変換して駆動回路４に出力する。
【００３５】この第２の実施形態では、前述したよう
に、発振器６からは一定の所定周波数の周波電圧が出力
される。駆動回路４ではこの周波電圧の振幅をＤ／Ａ変
換器１５から出力される信号に基づいて増幅し、この振
幅の増幅された周波電圧のよって超音波モータ２は駆動
され、その速度が制御されることになる。
に、発振器６からは一定の所定周波数の周波電圧が出力
される。駆動回路４ではこの周波電圧の振幅をＤ／Ａ変
換器１５から出力される信号に基づいて増幅し、この振
幅の増幅された周波電圧のよって超音波モータ２は駆動
され、その速度が制御されることになる。
【００３６】この第２の実施形態における制御用マイク
ロプロセッサ１の位置、速度ループ処理周期ごとの処理
は、前述した第１の実施形態の処理を示す図３とほぼ同
じであるが、図１、図２における減算処理がないことか
ら、これに対応するステップＳ１３の処理がこの第２の
実施形態では必要がないこと。そして、他の処理のステ
ップＳ１からステップＳ１２の処理は第１の実施形態と
同じであるが、ただし、前述したように、速度を３つの
領域に分割した分割点の速度ｖ１、ｖ２、ｖ３の値、及
び各領域の速度に対するゲインＫｖ，Ｋｉを現す関数ｇ
１（ｖ）、ｇ１’（ｖ）、ｇ２（ｖ）、ｇ２’（ｖ）、
ｇ３（ｖ）、ｇ３’（ｖ）が異なり、ステップＳ６〜ス
テップＳ１１の直線式の係数ａ１〜ａ３、ｂ１〜ｂ３、
ｃ１〜ｃ３、ｄ１〜ｄ３が異なるのみである。
ロプロセッサ１の位置、速度ループ処理周期ごとの処理
は、前述した第１の実施形態の処理を示す図３とほぼ同
じであるが、図１、図２における減算処理がないことか
ら、これに対応するステップＳ１３の処理がこの第２の
実施形態では必要がないこと。そして、他の処理のステ
ップＳ１からステップＳ１２の処理は第１の実施形態と
同じであるが、ただし、前述したように、速度を３つの
領域に分割した分割点の速度ｖ１、ｖ２、ｖ３の値、及
び各領域の速度に対するゲインＫｖ，Ｋｉを現す関数ｇ
１（ｖ）、ｇ１’（ｖ）、ｇ２（ｖ）、ｇ２’（ｖ）、
ｇ３（ｖ）、ｇ３’（ｖ）が異なり、ステップＳ６〜ス
テップＳ１１の直線式の係数ａ１〜ａ３、ｂ１〜ｂ３、
ｃ１〜ｃ３、ｄ１〜ｄ３が異なるのみである。
【００３７】この第２の実施形態の処理は、第１の実施
形態の処理とほとんど同じであるので、簡単に説明す
る。位置指令Ｐｃと位置フィードバック値Ｐｆを読み速
度フィードバック値ｖｆを求め、位置指令Ｐｃから位置
フィードバック値Ｐｆを減じた値にポジションゲインＫ
ｐを乗じて速度指令Ｖｃを求め、この速度指令Ｖｃから
速度フィードバック値ｖｆを減じた値をレジスタＲに加
算し速度偏差の積分値を求める。次に、速度フィードバ
ック値ｖｆと速度領域を区分する設定速度ｖ１，ｖ２と
比較し、設定速度ｖ１以下であれば関数ｇ１（ｖ）、ｇ
１’（ｖ）、に基づいて速度ループの比例ゲインＫｖ、
積分ゲインＫｉを求め、速度フィードバック値ｖｆがｖ
１＜ｖｆ＜ｖ２であると、関数ｇ２（ｖ）、ｇ２’
（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、積分ゲインＫｉを
求め、ｖ２≦ｖｆであると、関数ｇ３（ｖ）、ｇ３’
（ｖ）に基づいて比例ゲインＫＶ、積分ゲインＫｉを求
め。そして、こうして求められたゲインＫｖ，Ｋｉによ
り、速度ループ処理を行う。すなわち、速度指令Ｖｃに
速度フィードバック値ｖｆを減じた値に比例ゲインＫｖ
を乗じた値と、前記レジスタＲに積算された速度偏差の
積分値に積分ゲインＫｉを乗じた値を加算して、駆動回
路４への出力値Ｅｃを求め、この出力値ＥｃをＤ／Ａ変
換器１５でアナログ信号に変換し、この信号によって駆
動回路４の増幅度を制御し、発振器６から出力される周
波電圧の振幅を制御して超音波モータ２の速度ｖを制御
する。
形態の処理とほとんど同じであるので、簡単に説明す
る。位置指令Ｐｃと位置フィードバック値Ｐｆを読み速
度フィードバック値ｖｆを求め、位置指令Ｐｃから位置
フィードバック値Ｐｆを減じた値にポジションゲインＫ
ｐを乗じて速度指令Ｖｃを求め、この速度指令Ｖｃから
速度フィードバック値ｖｆを減じた値をレジスタＲに加
算し速度偏差の積分値を求める。次に、速度フィードバ
ック値ｖｆと速度領域を区分する設定速度ｖ１，ｖ２と
比較し、設定速度ｖ１以下であれば関数ｇ１（ｖ）、ｇ
１’（ｖ）、に基づいて速度ループの比例ゲインＫｖ、
積分ゲインＫｉを求め、速度フィードバック値ｖｆがｖ
１＜ｖｆ＜ｖ２であると、関数ｇ２（ｖ）、ｇ２’
（ｖ）に基づいて、比例ゲインＫｖ、積分ゲインＫｉを
求め、ｖ２≦ｖｆであると、関数ｇ３（ｖ）、ｇ３’
（ｖ）に基づいて比例ゲインＫＶ、積分ゲインＫｉを求
め。そして、こうして求められたゲインＫｖ，Ｋｉによ
り、速度ループ処理を行う。すなわち、速度指令Ｖｃに
速度フィードバック値ｖｆを減じた値に比例ゲインＫｖ
を乗じた値と、前記レジスタＲに積算された速度偏差の
積分値に積分ゲインＫｉを乗じた値を加算して、駆動回
路４への出力値Ｅｃを求め、この出力値ＥｃをＤ／Ａ変
換器１５でアナログ信号に変換し、この信号によって駆
動回路４の増幅度を制御し、発振器６から出力される周
波電圧の振幅を制御して超音波モータ２の速度ｖを制御
する。
【００３８】この第２の実施形態においても、位置ルー
プ制御を行わないときは、第１の実施形態と同様に、位
置指令の代わりに速度指令を読み込み、ステップＳ３の
処理は必要とせず、ステップＳ４以下の処理を実行する
のみとなる。
プ制御を行わないときは、第１の実施形態と同様に、位
置指令の代わりに速度指令を読み込み、ステップＳ３の
処理は必要とせず、ステップＳ４以下の処理を実行する
のみとなる。
【００３９】又、上述した第１、第２の実施形態では、
超音波モータ２の実速度、すなわち速度フィードバック
値に基づいて、速度ループ制御のゲインを変更するよう
にしたが、この超音波モータの実速度の代わりに速度指
令を用いてもよい。又、上記各実施形態では、速度ルー
プの比例ゲイン、積分ゲインを共に速度に応じて変更す
るようにしたが、どちらか一方のゲインのみを調整して
最適ゲインを得るようにしてもよい。
超音波モータ２の実速度、すなわち速度フィードバック
値に基づいて、速度ループ制御のゲインを変更するよう
にしたが、この超音波モータの実速度の代わりに速度指
令を用いてもよい。又、上記各実施形態では、速度ルー
プの比例ゲイン、積分ゲインを共に速度に応じて変更す
るようにしたが、どちらか一方のゲインのみを調整して
最適ゲインを得るようにしてもよい。
【００４０】
【発明の効果】本発明は、超音波モータの速度に応じて
速度ループゲインを変更し操作量である超音波モータに
印加する周波電圧の周波数や振幅を変え、指令速度に線
形に超音波モータの速度が追従するようにしたから、速
度制御が正確となる。又、超音波モータの速度に対する
周波電圧の周波数や振幅の関係に基づいて、速度に対す
る速度ループの最適ゲインカーブを直線補間して近似
し、各速度に応じたゲインを求めることによって、簡単
な処理で最適の速度制御を得ることができる。又、この
速度ループ制御を内包した位置ループ制御を行えば、高
精度の位置制御も可能となる。
速度ループゲインを変更し操作量である超音波モータに
印加する周波電圧の周波数や振幅を変え、指令速度に線
形に超音波モータの速度が追従するようにしたから、速
度制御が正確となる。又、超音波モータの速度に対する
周波電圧の周波数や振幅の関係に基づいて、速度に対す
る速度ループの最適ゲインカーブを直線補間して近似
し、各速度に応じたゲインを求めることによって、簡単
な処理で最適の速度制御を得ることができる。又、この
速度ループ制御を内包した位置ループ制御を行えば、高
精度の位置制御も可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態における超音波モータ
の速度制御のブロック図である。
の速度制御のブロック図である。
【図２】位置制御をも実行する際の第１の実施形態にお
けるブロック図である。
けるブロック図である。
【図３】同第１の実施形態における制御用マイクロプロ
セッサの位置、速度ループ制御処理のフローチャートで
ある。
セッサの位置、速度ループ制御処理のフローチャートで
ある。
【図４】超音波モータの速度を該超音波モータに印加さ
れる周波電圧の周波数で制御する際の、速度と周波数の
関係特性を現す説明図である。
れる周波電圧の周波数で制御する際の、速度と周波数の
関係特性を現す説明図である。
【図５】本発明の第１の実施形態（周波数による速度制
御）における超音波モータの速度に対する速度ループの
ゲインの関係を現す図である。
御）における超音波モータの速度に対する速度ループの
ゲインの関係を現す図である。
【図６】超音波モータの速度を該超音波モータに印加さ
れる周波電圧の振幅で制御する際の、速度と振幅の関係
特性を現す説明図である。
れる周波電圧の振幅で制御する際の、速度と振幅の関係
特性を現す説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態（振幅による速度制
御）における超音波モータの速度に対する速度ループの
ゲインの関係を現す図である。
御）における超音波モータの速度に対する速度ループの
ゲインの関係を現す図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における超音波モータ
の速度制御のブロック図である。
の速度制御のブロック図である。
１ 制御用マイクロプロセッサ ２ 超音波モータ ３ 電圧制御発信器 ４ 駆動回路 ５ 位置検出器 ６ 発振器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−18453（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−18454（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−248276（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−237584（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 G05B 13/02 G05D 13/62
Claims (4)
- 【請求項１】 速度指令と超音波モータの速度検出情報
に基づいて速度ループ制御を行うにあたり、前記超音波
モータに供給する周波電圧の周波数を制御して速度を制
御する超音波モータの速度制御方法において、前記速度ループ制御の比例ゲイン及び積分ゲインの少な
くとも一方について、前記超音波モータの複数の速度値
のそれぞれに対するゲイン最適値を求め、該ゲイン最適
値間を線形補間した速度に対するゲインの関数を生成
し、速度制御時に超音波モータへの前記速度指令若しく
は前記速度検出情報に対応したゲインを前記ゲイン関数
から求め、速度制御ループのゲインとして速度ループ制
御を行うことを特徴とする超音波モータの速度制御方
法 。 - 【請求項２】 速度指令と超音波モータの速度検出情報
に基づいて速度ループ制御を行うにあたり、前記超音波
モータに供給する周波電圧の振幅を制御して速度を制御
する超音波モータの速度制御方法において、前記速度ループ制御の比例ゲイン及び積分ゲインの少な
くとも一方について、前記超音波モータの複数の速度値
のそれぞれに対するゲイン最適値を求め、該ゲイン最適
値間を線形補間した速度に対するゲインの関数を生成
し、速度制御時に超音波モータへの前記速度指令若しく
は前記速度検出情報に対応したゲインを前記ゲイン関数
から求め、速度制御ループのゲインとして速度ループ制
御を行うことを特徴とする超音波モータの速度制御方
法。 - 【請求項３】 速度指令と超音波モータの速度検出情報
に基づいて速度ループ制御を行うにあたり、前記超音波
モータに供給する周波電圧の周波数を制御して速度を制
御する超音波モータの速度制御装置において、 前記速度ループ制御の比例ゲイン及び積分ゲインの少な
くとも一方について、前記超音波モータの複数の速度値
のそれぞれに対するゲイン最適値を求め、該ゲイン最適
値間を線形補間した速度に対するゲインの関数を生成
し、速度制御時に超音波モータへの前記速度指令若しく
は前記速度検出情報に対応したゲインを前記ゲイン関数
から求め、速度制御ループのゲインとして速度ループ制
御を行うことを特徴とする超音波モータの速度制御装
置。 - 【請求項４】 速度指令と超音波モータの速度検出情報
に基づいて速度ルー プ制御を行うにあたり、前記超音波
モータに供給する周波電圧の振幅を制御して速度を制御
する超音波モータの速度制御装置において、 前記速度ループ制御の比例ゲイン及び積分ゲインの少な
くとも一方について、前記超音波モータの複数の速度値
のそれぞれに対するゲイン最適値を求め、該ゲイン最適
値間を線形補間した速度に対するゲインの関数を生成
し、速度制御時に超音波モータへの前記速度指令若しく
は前記速度検出情報に対応したゲインを前記ゲイン関数
から求め、速度制御ループのゲインとして速度ループ制
御を行うことを特徴とする超音波モータの速度制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016560A JP3078273B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 超音波モータの速度制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016560A JP3078273B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 超音波モータの速度制御方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000217375A JP2000217375A (ja) | 2000-08-04 |
| JP3078273B2 true JP3078273B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=11919677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11016560A Expired - Fee Related JP3078273B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 超音波モータの速度制御方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078273B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003295904A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Honda Motor Co Ltd | プラントの制御装置 |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP11016560A patent/JP3078273B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003295904A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Honda Motor Co Ltd | プラントの制御装置 |
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| JP2000217375A (ja) | 2000-08-04 |
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