JP3078102B2 - Liquid crystal display repair method and device - Google Patents
Liquid crystal display repair method and deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ（Ｌ
ＣＤ）の製造工程に係わり、液晶ディスプレイの各ガラ
ス基板間に混入した異物を破砕して修復を行う液晶ディ
スプレイの修正方法及びその装置に関する。The present invention relates to a liquid crystal display (L).
The present invention relates to a manufacturing method of a liquid crystal display (CD), and relates to a method and an apparatus for repairing a liquid crystal display for repairing by crushing foreign substances mixed between glass substrates of the liquid crystal display.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５はカラー液晶ディスプレイの構成図
である。各ガラス基板１、２は支持体３により支持され
て対向配置されている。これらガラス基板１、２のうち
ガラス基板１には各画素電極４−１、４−２…が配列さ
れ、かつこれら画素電極４−１、４−２…に対応して各
薄膜トランジスタ５−１、５−２…が形成されている。
又、ガラス基板２には各カラーフィルタ６−１、６−２
…が、各画素電極４−１、４−２…に対向する位置に形
成され、かつこれらカラーフィルタ６−１、６−２…上
に共通電極７が形成されている。そして、画素電極４−
１、４−２…及び共通電極７に各配向膜８、９が形成さ
れ、これら配向膜８、９の間に液晶１０が封入されてい
る。又、各配向膜８、９の間には、各ガラス基板１、２
の間隔を保持するための球状の微粒子、つまり光透過性
の各球状樹脂体１１が入れられている。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a block diagram of a color liquid crystal display. Each of the glass substrates 1 and 2 is supported by a support 3 and arranged to face each other. Each of the pixel electrodes 4-1, 4-2,... Is arranged on the glass substrate 1 of the glass substrates 1, 2, and each of the thin film transistors 5-1, 4-2,. 5-2 are formed.
The glass substrate 2 has color filters 6-1 and 6-2.
Are formed at positions facing the respective pixel electrodes 4-1, 4-2, and the common electrode 7 is formed on the color filters 6-1, 6-2,. Then, the pixel electrode 4-
Alignment films 8 and 9 are formed on 1, 4-2,... And the common electrode 7, and a liquid crystal 10 is sealed between the alignment films 8 and 9. Further, between each of the alignment films 8 and 9, each of the glass substrates 1, 2
The spherical fine particles for maintaining the interval, that is, each light-transmitting spherical resin body 11 are placed.
【０００３】ところで、かかるカラー液晶ディスプレイ
の製造工程において、液晶１０を封入する際に、導電性
の金属異物１２が各ガラス基板１、２間に混入する場合
がある。この金属異物１２が混入すると、例えば薄膜ト
ランジスタ５−２と共通電極７との間が短絡し、これら
薄膜トランジスタ５−２及び共通電極７間の電圧制御が
できなくなる。そうすると、この画素部分では常に光が
透過する状態となり、不良品として除外される。By the way, in the process of manufacturing such a color liquid crystal display, when the liquid crystal 10 is sealed, a conductive metal foreign matter 12 may be mixed between the glass substrates 1 and 2. When the metal foreign matter 12 is mixed, for example, a short circuit occurs between the thin film transistor 5-2 and the common electrode 7, and voltage control between the thin film transistor 5-2 and the common electrode 7 cannot be performed. Then, light is always transmitted through this pixel portion, and is excluded as a defective product.
【０００４】そこで、かかる不良のカラー液晶ディスプ
レイに対しては救済措置が取られている。すなわち、カ
ラー液晶ディスプレイの外部から拡大観察光学系を通し
て目視によりカラー液晶ディスプレイが観察される。こ
の観察により金属異物１２が見付けだされると、この金
属異物１２に対してパルスレーザが照射され、金属異物
１２を破砕している。Accordingly, remedies have been taken for such defective color liquid crystal displays. That is, the color liquid crystal display is visually observed from outside the color liquid crystal display through the magnifying optical system. When the metal foreign matter 12 is found by this observation, the metal foreign matter 12 is irradiated with a pulse laser to crush the metal foreign matter 12.
【０００５】しかしながら、金属異物１２を見付けだす
場合、カラー液晶ディスプレイの外部からガラス基板１
２等を通して目視するので、金属異物１２の形状が明瞭
に分からず、各球状樹脂体１１との判別が困難となる。[0005] However, when the metallic foreign matter 12 is found, the glass substrate 1 must be provided from outside the color liquid crystal display.
Since it is visually observed through 2 and the like, the shape of the metal foreign matter 12 is not clearly understood, and it is difficult to distinguish the metal foreign matter 12 from each spherical resin body 11.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】以上のように金属異物
１２を見付けだす場合、金属異物１２の形状が明瞭に分
からず、各球状樹脂体１１との判別が困難である。When the metallic foreign matter 12 is found as described above, the shape of the metallic foreign matter 12 is not clearly understood, and it is difficult to distinguish the metallic foreign matter 12 from each spherical resin body 11.
【０００７】そこで本発明は、金属異物と各ガラス基板
の間隔を保持する球状樹脂体とを判別して金属異物のみ
を確実に破砕できる液晶ディスプレイの修正方法及びそ
の装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for correcting a liquid crystal display capable of discriminating between a metallic foreign matter and a spherical resin body for maintaining the distance between the glass substrates and reliably crushing only the metallic foreign matter. I do.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明による液晶ディス
プレイの修正方法は、液晶ディスプレイの各基板の間隔
を拡張して連続レーザ光を液晶ディスプレイに対して走
査し、この連続レーザ光の走査により微粒子を捕捉して
この微粒子と各基板間に混入した異物とを判別し、この
後、異物に対してパルスレーザ光を照射して異物を破砕
するものである。According to a method of correcting a liquid crystal display according to the present invention, a continuous laser beam is scanned on a liquid crystal display by extending a distance between respective substrates of the liquid crystal display, and fine particles are scanned by the continuous laser beam. Then, the particles are discriminated from the fine particles and the foreign matter mixed between the substrates, and thereafter, the foreign matter is irradiated with a pulse laser beam to crush the foreign matter.
【０００９】又、本発明は、対向配置された各基板間に
液晶を封入するとともに各基板の間隔を保持する光透過
性の微粒子を配置してなる液晶ディスプレイの修正装置
において、各基板の間隔を拡張する拡張手段と、この拡
張手段により各基板を拡張している状態に液晶ディスプ
レイに対して連続レーザ光を走査して微粒子を捕捉し、
各基板間に混入した異物と微粒子とを判別する判別手段
と、この判別手段により判別された異物に対してパルス
レーザ光を照射して異物を破砕する破砕手段とを備えて
上記目的を達成しようとする液晶ディスプレイの修正装
置である。この場合、判別手段は連続レーザ光を光透過
性の回折格子に透過させ干渉光として液晶ディスプレイ
に照射する。Further, according to the present invention, there is provided an apparatus for repairing a liquid crystal display in which a liquid crystal is sealed between substrates disposed opposite to each other and fine particles having a light transmitting property for maintaining the distance between the substrates are arranged. Expanding means for expanding the substrate, scanning the liquid crystal display with continuous laser light to capture fine particles in a state where each substrate is expanded by the expanding means,
The above object is achieved by providing a discriminating means for discriminating between foreign matter and fine particles mixed between the substrates, and a crushing means for irradiating the discriminated foreign matter with a pulse laser beam to crush the foreign matter. Of the liquid crystal display. In this case, the discriminating means transmits the continuous laser light through a light-transmitting diffraction grating and irradiates the liquid crystal display as interference light.
【００１０】[0010]
【作用】このような手段を備えたことにより、液晶ディ
スプレイの各基板の間隔が拡張手段により拡張され、こ
の状態に判別手段によって連続レーザ光が液晶ディスプ
レイに対して走査され、この連続レーザ光の走査により
微粒子を捕捉し、微粒子と各基板間に混入した異物とを
判別する。この後、破砕手段によりパルスレーザ光が異
物に対して照射され、異物を破砕する。With the provision of such means, the distance between the substrates of the liquid crystal display is expanded by the expansion means, and in this state, the continuous laser light is scanned on the liquid crystal display by the determination means, and the continuous laser light is scanned. Fine particles are captured by scanning, and the fine particles and foreign substances mixed between the substrates are discriminated. Then, the foreign matter is irradiated with the pulse laser beam by the crushing means to crush the foreign matter.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の第１実施例について図面を参
照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１２】図１は液晶ディスプレイの修正装置の構成
図である。ＸＹテーブル２０には中央部に中空孔２１が
形成され、この中空孔２１の下方には透過照明ユニット
２２が配置されている。この透過照明ユニット２２は白
色光Ｐ１を中空孔２１に向かって放射するように配置さ
れている。又、ＸＹテーブル２０には位置決め駆動機構
２３が設けられている。この位置決め駆動機構２３はＸ
Ｙテーブル２０をＸＹ平面上に位置移動して位置決めす
る機能を有している。FIG. 1 is a block diagram of a device for correcting a liquid crystal display. A hollow hole 21 is formed in the center of the XY table 20, and a transmission illumination unit 22 is disposed below the hollow hole 21. The transmitted illumination unit 22 is arranged to emit the white light P1 toward the hollow hole 21. The XY table 20 is provided with a positioning drive mechanism 23. This positioning drive mechanism 23 is X
It has a function of moving the Y table 20 on the XY plane for positioning.
【００１３】液晶ディスプレイ３０はＸＹテーブル２０
上に載置されている。なお、この液晶ディスプレイ３０
の構成は図５に示す如くであってその詳しい説明は省略
する。この液晶ディスプレイ３０には液晶ディスプレイ
駆動装置３１が接続されている。この液晶ディスプレイ
駆動装置３１は、液晶ディスプレイ３０の各薄膜トラン
ジスタ５−１、５−２…に駆動制御信号を供給して各画
素電極４−１、４−２…と共通電極７との間の印加電圧
を制御する機能を有している。The liquid crystal display 30 is an XY table 20
Is placed on top. The liquid crystal display 30
Is as shown in FIG. 5, and a detailed description thereof will be omitted. The liquid crystal display driving device 31 is connected to the liquid crystal display 30. The liquid crystal display driving device 31 supplies a driving control signal to each of the thin film transistors 5-1, 5-2... Of the liquid crystal display 30 to apply a voltage between each of the pixel electrodes 4-1, 4-2. It has a function of controlling voltage.
【００１４】又、この液晶ディスプレイ３０に対する拡
張手段４０が備えられている。この拡張手段４０は、液
晶ディスプレイ３０の各ガラス基板１、２の間隔を拡張
するもので、液晶ディスプレイ３０に対して各真空吸着
器４１〜４４を取り付け、かつこれら真空吸着器４１〜
４４に排気管４５を介して真空装置４６を接続した構成
となっている。An extension means 40 for the liquid crystal display 30 is provided. The extending means 40 extends the interval between the glass substrates 1 and 2 of the liquid crystal display 30, and attaches the vacuum suction devices 41 to 44 to the liquid crystal display 30, and
A vacuum device 46 is connected to 44 via an exhaust pipe 45.
【００１５】一方、ＸＹテーブル２０の上方には結像光
学系５０が配置されている。この結像光学系５０は、集
光レンズ５１が配置され、この集光レンズ５１の光軸に
ダイクロイックミラー５２、ビームスプリッタ５３及び
結像レンズ５４が配置されている。このうちビームスプ
リッタ５３の分岐方向には落射照明源５５が配置されて
いる。又、結像レンズ５４の結像点にはＣＣＤカメラ５
６が配置され、このＣＣＤカメラ５６から出力される画
像信号がモニタテレビジョン５７に送られるようになっ
ている。On the other hand, an imaging optical system 50 is disposed above the XY table 20. In the imaging optical system 50, a condenser lens 51 is disposed, and a dichroic mirror 52, a beam splitter 53, and an imaging lens 54 are disposed on the optical axis of the condenser lens 51. An epi-illumination source 55 is arranged in the branching direction of the beam splitter 53 among them. Further, the CCD camera 5 is located at the image forming point of the image forming lens 54.
The image signal output from the CCD camera 56 is sent to a monitor television 57.
【００１６】又、ダイクロイックミラー５２の分岐方向
にはレーザ発振器６０が配置され、このレーザ発振器６
０にレーザ電源６１が接続されている。このレーザ発振
器６０は、レーザトラッピング用の連続（ＣＷ）レーザ
光Ｒ１又は加工用パルスレーザ光Ｒ２を切り換えて出力
する機能を有している。この場合、パルスレーザ光Ｒ２
はＱスイッチの作用により出力される。次に上記の如く
構成された装置による液晶ディスプレイ３０の修正方法
について説明する。A laser oscillator 60 is arranged in the branching direction of the dichroic mirror 52.
0 is connected to a laser power supply 61. The laser oscillator 60 has a function of switching and outputting the continuous (CW) laser light R1 for laser trapping or the pulsed laser light R2 for processing. In this case, the pulse laser light R2
Is output by the action of the Q switch. Next, a method of correcting the liquid crystal display 30 by the above-configured device will be described.
【００１７】液晶ディスプレイ３０はＸＹテーブル２０
上に載置される。この液晶ディスプレイ３０には各真空
吸着器４１〜４４が取り付けられ、真空装置４６により
各真空吸着器４１〜４４からの排気が行われる。これに
より、液晶ディスプレイ３０の各ガラス基板１、２はそ
れぞれ各真空吸着器４１、４２及び４３、４４により吸
着され、これらガラス基板１、２の間隔は拡張される。
つまり、各ガラス基板１、２間に配置された各球状樹脂
体１１が移動しやすくなる。又、透過照明ユニット２２
から放射された白色光Ｐ１は中空孔２１を伝播して液晶
ディスプレイ３０に照射される。The liquid crystal display 30 is an XY table 20
Placed on top. The vacuum suction devices 41 to 44 are attached to the liquid crystal display 30, and the vacuum devices 46 exhaust the vacuum suction devices 41 to 44. As a result, the glass substrates 1 and 2 of the liquid crystal display 30 are sucked by the vacuum suction devices 41 and 42 and 43 and 44, respectively, and the distance between the glass substrates 1 and 2 is extended.
That is, the spherical resin bodies 11 disposed between the glass substrates 1 and 2 are easily moved. Also, the transmitted illumination unit 22
The white light P1 emitted from the liquid crystal display propagates through the hollow hole 21 and irradiates the liquid crystal display 30.
【００１８】これと共に落射照明源５５から放射された
落射光Ｐ２は、ビームスプリッタ５３により分岐され、
ダイクロイックミラー５２を通り集光レンズ５１により
集光されて液晶ディスプレイ３０に照射される。そし
て、この落射光Ｐ２の反射光は、集光レンズ５１、ダイ
クロイックミラー５２、ビームスプリッタ５３を通って
結像レンズ５４によりＣＣＤカメラ５６の撮像面に結像
される。このＣＣＤカメラ５６は、反射光を受光して液
晶ディスプレイ３０を撮像し、その画像信号をモニタテ
レビジョン５７に送る。これにより、モニタテレビジョ
ン５７には液晶ディスプレイ３０のモニタ画像が映し出
される。At the same time, the incident light P2 emitted from the incident illumination source 55 is split by the beam splitter 53,
The light passes through the dichroic mirror 52, is condensed by the condensing lens 51, and is irradiated on the liquid crystal display 30. The reflected light of the incident light P2 passes through the condenser lens 51, the dichroic mirror 52, and the beam splitter 53, and is imaged on the imaging surface of the CCD camera 56 by the imaging lens 54. The CCD camera 56 receives the reflected light, captures an image of the liquid crystal display 30, and sends the image signal to the monitor television 57. Thus, a monitor image on the liquid crystal display 30 is displayed on the monitor television 57.
【００１９】一方、レーザ発振器６０はレーザトラッピ
ング用のＣＷレーザ光Ｒ１を出力する。このＣＷレーザ
光Ｒ１は、ダイクロイックミラー５２で反射し、集光レ
ンズ５１により集光されて液晶ディスプレイ３０上に照
射される。この場合、ＣＣＤカメラ５６の撮像領域とＣ
Ｗレーザ光Ｒ１の照射部分とは、集光レンズ５１の光路
を通るので同一部分となる。On the other hand, the laser oscillator 60 outputs a CW laser beam R1 for laser trapping. The CW laser light R1 is reflected by the dichroic mirror 52, condensed by the condensing lens 51, and irradiated on the liquid crystal display 30. In this case, the imaging area of the CCD camera 56 and C
The irradiated portion of the W laser beam R1 is the same portion as it passes through the optical path of the condenser lens 51.
【００２０】この状態に位置決め駆動機構２３はＸＹテ
ーブル２０をＸＹ平面上に移動させる。このＸＹテーブ
ル２０の移動によりＣＣＤカメラ５６により撮像する液
晶ディスプレイ３０の領域は移動し、これに伴ってモニ
タテレビジョン５７のモニタ画像も変化する。このモニ
タ画像により欠陥画素、つまり金属異物１２が混入され
た画素が検出されると、ＣＷレーザ光Ｒ１はかかる金属
異物１２に照射される。In this state, the positioning drive mechanism 23 moves the XY table 20 on the XY plane. By the movement of the XY table 20, the area of the liquid crystal display 30 imaged by the CCD camera 56 moves, and the monitor image of the monitor television 57 changes accordingly. When a defective pixel, that is, a pixel mixed with the metal foreign matter 12 is detected from the monitor image, the CW laser beam R1 is irradiated to the metal foreign matter 12.
【００２１】ところで、金属異物１２にＣＷレーザ光Ｒ
１が照射されると、金属異物１２は捕捉されないが、球
状樹脂体１１にＣＷレーザ光Ｒ１が照射されると、球状
樹脂体１１は捕捉される。By the way, the CW laser light R
When 1 is irradiated, the metallic foreign matter 12 is not captured, but when the spherical resin body 11 is irradiated with the CW laser beam R1, the spherical resin body 11 is captured.
【００２２】この捕捉について図２を参照して説明す
る。ここではＣＷレーザ光Ｒ１が集光レンズ５１により
集光されて光透過性の球状の微粒子７０に照射されてい
る。この場合、微粒子７０の屈折率は周囲の媒質よりも
やや大きく、微粒子７０の表面で生じる光の反射率は小
さいものとして、屈折率のみを考える。ＣＷレーザ光の
光路Ａでは、微粒子７０に入射する際及び出射する際に
屈折するが、このときにベクトルＦａ、Ｆｂに示す各方
向に力が働き、これらベクトルＦａ、Ｆｂの合成力ＦＡ
が働く。又、ＣＷレーザ光の光路Ｂでは、上記同様にベ
クトルＦｃ、Ｆｄに示す各方向に力が働き、これらベク
トルＦｃ、Ｆｄの合成力ＦＢが働く。これにより、微粒
子７０には各ベクトルＦＡ、ＦＢの合成力Ｆが働くこと
になり、この合成力Ｆが重力よりも大きければ、微粒子
７０は持ち上がることになる。ここで、ＣＷレーザ光Ｒ
１の微粒子７０に対する照射位置が微粒子７０の中心か
らずれると、各ベクトルＦＡ、ＦＢの水平成分の大きさ
に差が生じ、微粒子７０はＣＷレーザ光Ｒ１の進行方向
と逆の方向に向かう力が生じる。この力によって微粒子
７０はＣＷレーザ光Ｒ１により捕捉される。This capture will be described with reference to FIG. Here, the CW laser light R1 is condensed by the condensing lens 51 and is applied to the light-transmitting spherical fine particles 70. In this case, only the refractive index is considered assuming that the refractive index of the fine particles 70 is slightly larger than that of the surrounding medium and the reflectance of light generated on the surface of the fine particles 70 is small. In the optical path A of the CW laser light, the light is refracted when entering and exiting the fine particles 70. At this time, forces act in the directions indicated by the vectors Fa and Fb, and the resultant force FA of the vectors Fa and Fb.
Works. In the optical path B of the CW laser light, a force acts in each direction shown by the vectors Fc and Fd, as described above, and a combined force FB of the vectors Fc and Fd acts. As a result, the composite force F of the vectors FA and FB acts on the fine particles 70. If the composite force F is greater than the gravity, the fine particles 70 will be lifted. Here, the CW laser light R
If the irradiation position of the first microparticle 70 deviates from the center of the microparticle 70, a difference occurs between the magnitudes of the horizontal components of the vectors FA and FB, and the microparticle 70 generates a force in the direction opposite to the traveling direction of the CW laser beam R1. Occurs. With this force, the fine particles 70 are captured by the CW laser light R1.
【００２３】従って、球状樹脂体１１にＣＷレーザ光Ｒ
１が照射されると、球状樹脂体１１はＣＷレーザ光Ｒ１
により捕捉され、このときＸＹテーブル２０がＸＹ平面
上に移動していれば、ＸＹテーブル２０の移動に伴って
移動しない。Accordingly, the CW laser light R is applied to the spherical resin body 11.
1 irradiates the spherical resin body 11 with the CW laser light R1.
At this time, if the XY table 20 is moving on the XY plane, it does not move with the movement of the XY table 20.
【００２４】ところが、金属異物１２にＣＷレーザ光Ｒ
１が照射されても、金属異物１２の内部にはＣＷレーザ
光Ｒ１は透過しない。このため、金属異物１２には図２
に示すような各ベクトルＦａ〜Ｆｄ方向の力は働かず、
金属異物１２は捕捉されることはない。従って、ＸＹテ
ーブル２０がＸＹ平面上に移動すれば、この移動に伴っ
て金属異物１２は移動する。この模様はモニタテレビジ
ョン５７のモニタ画像に映し出され、金属異物１２と球
状樹脂体１１とが判別される。However, the CW laser light R
Even if 1 is irradiated, the CW laser beam R1 does not pass through the inside of the metallic foreign matter 12. For this reason, the metallic foreign matter 12
Does not work in the directions of the vectors Fa to Fd as shown in FIG.
The metal foreign matter 12 is not captured. Therefore, if the XY table 20 moves on the XY plane, the metal foreign matter 12 moves with this movement. This pattern is displayed on the monitor image of the monitor television 57, and the metallic foreign matter 12 and the spherical resin body 11 are distinguished.
【００２５】金属異物１２が判別されると、レーザ発振
器６０はＣＷレーザ光Ｒ１からパルスレーザ光Ｒ２の出
力に切り替わる。このレーザ発振器６０から出力された
パルスレーザ光Ｒ２は、ダイクロイックミラー５２で反
射し、集光レンズ５１により集光されて金属異物１２に
照射される。このパルスレーザ光Ｒ２の照射により金属
異物１２は破砕され、例えば薄膜トランジスタ５−２と
共通電極７との間の短絡は断たれる。When the metallic foreign matter 12 is determined, the laser oscillator 60 switches from the CW laser light R1 to the output of the pulse laser light R2. The pulse laser light R2 output from the laser oscillator 60 is reflected by the dichroic mirror 52, collected by the condenser lens 51, and radiated to the metal foreign matter 12. The irradiation of the pulse laser beam R2 crushes the metal foreign matter 12, and cuts off the short circuit between the thin film transistor 5-2 and the common electrode 7, for example.
【００２６】このように上記第１実施例においては、液
晶ディスプレイ２０の各ガラス基板１、２の間隔を拡張
してＣＷレーザ光Ｒ１を液晶ディスプレイ２０に対して
走査し、このＣＷレーザ光Ｒ１の走査により球状樹脂体
１１を捕捉してこの球状樹脂体１１と各ガラス基板１、
２間に混入した金属異物１２とを判別し、この後、金属
異物１２に対してパルスレーザ光Ｒ２を照射して金属異
物１２を破砕するようにしたので、金属異物１２と球状
樹脂体１１とを判別でき、金属異物１２を確実に破砕し
て欠陥画素を修復できる。又、ＣＷレーザ光Ｒ１及びパ
ルスレーザ光Ｒ２を１つのレーザ発振器６０により共用
しているので、その切換えが簡単であり、かつ構成が簡
単である。次に本発明の第２実施例について図３を参照
して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付
してその詳しい説明は省略する。As described above, in the first embodiment, the distance between the glass substrates 1 and 2 of the liquid crystal display 20 is extended, the CW laser light R1 is scanned on the liquid crystal display 20, and the CW laser light R1 is scanned. The spherical resin body 11 is captured by scanning, and this spherical resin body 11 and each glass substrate 1 are captured.
The metallic foreign matter 12 mixed between the two is discriminated, and thereafter, the metallic foreign matter 12 is irradiated with the pulse laser beam R2 to break the metallic foreign matter 12, so that the metallic foreign matter 12 and the spherical resin body 11 Can be determined, and the defective pixel can be repaired by reliably crushing the metal foreign matter 12. Further, since the CW laser light R1 and the pulse laser light R2 are shared by one laser oscillator 60, the switching is simple and the configuration is simple. Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００２７】集光レンズ５１の集光光路上に対して干渉
縞を生じさせるための回折格子７１が挿脱されるように
なっている。すなわち、この回折格子７１は、レーザ発
振器６０からＣＷレーザ光Ｒ１が出力されているときに
集光レンズ５１の光路上に挿入され、パルスレーザ光Ｒ
２が出力されているときに集光レンズ５１の光路上から
脱出されるものとなっている。A diffraction grating 71 for generating interference fringes on the converging light path of the converging lens 51 is inserted and removed. That is, this diffraction grating 71 is inserted on the optical path of the condenser lens 51 when the CW laser light R1 is being output from the laser oscillator 60, and the pulsed laser light R
2 is output from the optical path of the condensing lens 51 when 2 is output.
【００２８】かかる構成であれば、レーザ発振器６０か
ら出力されたＣＷレーザ光Ｒ１は、ダイクロイックミラ
ー５２で反射し、集光レンズ５１により集光される。こ
のとき、ＣＷレーザ光Ｒ１は回折格子７１により干渉縞
が生じ、この干渉縞が液晶ディスプレイ３０上に結像さ
れる。With such a configuration, the CW laser light R1 output from the laser oscillator 60 is reflected by the dichroic mirror 52 and collected by the condenser lens 51. At this time, interference fringes are generated by the diffraction grating 71 in the CW laser light R1, and the interference fringes are imaged on the liquid crystal display 30.
【００２９】ここで、干渉縞が液晶ディスプレイ３０に
照射されることにより、この干渉縞に沿って各球状樹脂
体１１が捕捉される。例えば、図４に示すように各球状
樹脂体１１は捕捉され、干渉縞に従って同心円状に配列
される。Here, by irradiating the liquid crystal display 30 with the interference fringes, each spherical resin body 11 is captured along the interference fringes. For example, as shown in FIG. 4, each spherical resin body 11 is captured and arranged concentrically according to interference fringes.
【００３０】この場合、各球状樹脂体１１はＣＷレーザ
光Ｒ１により捕捉されるが、金属異物１２は上記説明の
通りに捕捉されず、干渉縞に従って同心円状に配列され
ない。この模様は上記同様にモニタテレビジョン５７の
モニタ画像に映し出され、金属異物１２と球状樹脂体１
１とが容易に判別される。In this case, each spherical resin body 11 is captured by the CW laser beam R1, but the metallic foreign matter 12 is not captured as described above, and is not arranged concentrically according to the interference fringes. This pattern is projected on the monitor image of the monitor television 57 in the same manner as described above, and the metallic foreign matter 12 and the spherical resin body 1 are displayed.
1 is easily determined.
【００３１】そして、金属異物１２が判別されると、回
折格子７１は集光レンズ５１の光路から脱出され、レー
ザ発振器６０はＣＷレーザ光Ｒ１からパルスレーザ光Ｒ
２の出力に切り替わる。このレーザ発振器６０から出力
されたパルスレーザ光Ｒ２は、ダイクロイックミラー５
２で反射し、集光レンズ５１により集光されて金属異物
１２に照射される。この結果、金属異物１２は破砕さ
れ、例えば薄膜トランジスタ５−２と共通電極７との間
の短絡は断たれる。When the metallic foreign matter 12 is determined, the diffraction grating 71 escapes from the optical path of the condenser lens 51, and the laser oscillator 60 changes the pulse laser light R from the CW laser light R1.
The output is switched to 2. The pulse laser light R2 output from the laser oscillator 60 is applied to the dichroic mirror 5
The light is reflected by the condenser lens 2, is condensed by the condenser lens 51, and is irradiated on the metallic foreign matter 12. As a result, the metal foreign matter 12 is crushed and, for example, a short circuit between the thin film transistor 5-2 and the common electrode 7 is broken.
【００３２】このように上記第２実施例においては、集
光レンズ５１の光路上に干渉縞を生じさせる回折格子７
１を配置するようにしたので、上記第１実施例の効果に
加え、広い領域における複数の球状樹脂体１１を同時に
捕捉でき、その領域に存在する金属異物１２を素早く検
出できて効率よく液晶ディスプレイ３０の検査ができ
る。As described above, in the second embodiment, the diffraction grating 7 that generates interference fringes on the optical path of the condenser lens 51 is used.
1 is arranged, in addition to the effect of the first embodiment, a plurality of spherical resin bodies 11 can be simultaneously captured in a wide area, and the metallic foreign matter 12 existing in that area can be quickly detected, so that the liquid crystal display can be efficiently performed. 30 tests are possible.
【００３３】なお、本発明は上記各実施例に限定される
ものでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよ
い。例えば、ＣＷレーザ光Ｒ１の走査は位置決め駆動機
構２３によるＸＹテーブル２０の移動に限らず、結像光
学系５０を移動させたり、又ＸＹテーブル２０と結像光
学系５０とを相互に移動させてもよい。又、ＣＷレーザ
光とパルスレーザ光とは、別のレーザ発振器により出力
させるようにしてもよい。The present invention is not limited to the above embodiments, but may be modified within the scope of the invention. For example, the scanning of the CW laser beam R1 is not limited to the movement of the XY table 20 by the positioning drive mechanism 23, but may be performed by moving the imaging optical system 50 or by moving the XY table 20 and the imaging optical system 50 mutually. Is also good. Further, the CW laser light and the pulse laser light may be output by different laser oscillators.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、金
属異物と各ガラス基板の間隔を保持する球状樹脂体とを
判別して金属異物のみを確実に破砕できる液晶ディスプ
レイの修正方法及びその装置を提供できる。As described above in detail, according to the present invention, there is provided a method for correcting a liquid crystal display capable of discriminating between a metallic foreign matter and a spherical resin body for maintaining the distance between the respective glass substrates and reliably crushing only the metallic foreign matter. The device can be provided.
【図１】本発明に係わる液晶ディスプレイの修正装置の
第１実施例を示す構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a liquid crystal display repair apparatus according to the present invention.
【図２】同装置におけるＣＷレーザ光による捕捉を示す
模式図。FIG. 2 is a schematic view showing capture by a CW laser beam in the apparatus.
【図３】本発明に係わる液晶ディスプレイの修正装置の
第２実施例を示す構成図。FIG. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the liquid crystal display correction device according to the present invention.
【図４】同装置における干渉縞による捕捉を示す模式
図。FIG. 4 is a schematic view showing capture by interference fringes in the apparatus.
【図５】液晶ディスプレイの構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of a liquid crystal display.
１，２…ガラス基板、１０…液晶、１１…球状樹脂体、
１２…金属異物、２０…ＸＹテーブル、３０…液晶ディ
スプレイ、４０…拡張手段、４１〜４４…真空吸着器、
４６…真空装置、５０…結像光学系、５６…ＣＣＤカメ
ラ、５７…モニタテレビジョン、６０…レーザ発振器、
７１…回折格子。1, 2, glass substrate, 10 liquid crystal, 11 spherical resin body,
12: Metallic foreign matter, 20: XY table, 30: Liquid crystal display, 40: Expansion means, 41 to 44: Vacuum suction device,
46: vacuum device, 50: imaging optical system, 56: CCD camera, 57: monitor television, 60: laser oscillator,
71 ... Diffraction grating.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/13 101 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/13 101
Claims (3)
るとともに前記各基板の間隔を保持する光透過性の微粒
子を配置してなる液晶ディスプレイの修正方法におい
て、 前記各基板の間隔を拡張して連続レーザ光を前記液晶デ
ィスプレイに対して走査し、この連続レーザ光の走査に
より前記微粒子を捕捉してこの微粒子と前記各基板間に
混入した異物とを判別する工程と、前記異物に対してパ
ルスレーザ光を照射して前記異物を破砕する工程とを備
えたことを特徴とする液晶ディスプレイの修正方法。1. A method of repairing a liquid crystal display, wherein liquid crystal is sealed between substrates disposed opposite to each other and light-transmitting fine particles for maintaining a distance between the substrates are arranged. Scanning the liquid crystal display with a continuous laser beam, and capturing the fine particles by scanning the continuous laser beam to determine the fine particles and foreign matter mixed between the substrates; and Irradiating a pulsed laser beam to crush the foreign matter.
るとともに前記各基板の間隔を保持する光透過性の微粒
子を配置してなる液晶ディスプレイの修正装置におい
て、 前記各基板の間隔を拡張する拡張手段と、この拡張手段
により前記各基板を拡張している状態に前記液晶ディス
プレイに対して連続レーザ光を走査して前記微粒子を捕
捉し、前記各基板間に混入した異物と前記微粒子とを判
別する判別手段と、この判別手段により判別された前記
異物に対してパルスレーザ光を照射して前記異物を破砕
する破砕手段とを具備したことを特徴とする液晶ディス
プレイの修正装置。2. A liquid crystal display repairing apparatus in which liquid crystal is sealed between substrates disposed opposite to each other and light-transmitting fine particles for maintaining the distance between the substrates are arranged, wherein the distance between the substrates is extended. Expansion means, and the liquid crystal display scans the liquid crystal display with continuous laser light to capture the fine particles in a state where the respective substrates are expanded by the expansion means, and the foreign matter mixed between the respective substrates and the fine particles And a crushing means for irradiating the foreign matter determined by the determining means with a pulsed laser beam to crush the foreign matter.
回折格子に透過させ干渉光として液晶ディスプレイに照
射する請求項２記載の液晶ディスプレイの修正装置。3. The liquid crystal display repair apparatus according to claim 2, wherein the discriminating means transmits the continuous laser light through a light-transmitting diffraction grating and irradiates the continuous laser light as interference light to the liquid crystal display.
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| JP04109916A JP3078102B2 (en) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | Liquid crystal display repair method and device |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP04109916A JP3078102B2 (en) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | Liquid crystal display repair method and device |
Publications (2)
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-
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- 1992-04-28 JP JP04109916A patent/JP3078102B2/en not_active Expired - Fee Related
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