JP3078083B2 - 自動合焦装置 - Google Patents
自動合焦装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、顕微鏡又は光
学測定機等の光学機器に適用され、観察中の対象物に対
して自動的に焦点合せを行う自動合焦装置に関する。
学測定機等の光学機器に適用され、観察中の対象物に対
して自動的に焦点合せを行う自動合焦装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置としては、例えば、
***特許公開第２１０２９２２号公報、特開昭５８−２
１７９０９号公報及び特開昭６０−４２７２５号公報等
に開示された装置が知られている。
***特許公開第２１０２９２２号公報、特開昭５８−２
１７９０９号公報及び特開昭６０−４２７２５号公報等
に開示された装置が知られている。
【０００３】これら装置の特徴において、図３に示すよ
うに、測定用光源１から出射された直線偏光の測定用光
束２７は、コリメータレンズ３を介して平行光束に規制
された後、偏光ビームスプリッタ５を介してλ／４板７
を透過する。λ／４板７を透過して円偏光に変換された
測定用光束は、ダイクロイックミラー９に照射され、所
定の波長領域を有する測定用光束のみが対物レンズ１１
方向に反射される。
うに、測定用光源１から出射された直線偏光の測定用光
束２７は、コリメータレンズ３を介して平行光束に規制
された後、偏光ビームスプリッタ５を介してλ／４板７
を透過する。λ／４板７を透過して円偏光に変換された
測定用光束は、ダイクロイックミラー９に照射され、所
定の波長領域を有する測定用光束のみが対物レンズ１１
方向に反射される。
【０００４】対物レンズ１１によって、試料台１３上の
観察対象物１５に集光された測定用光束は、この観察対
象物１５の表面で反射され、再び、対物レンズ１１を介
してダイクロイックミラー９に照射される。
観察対象物１５に集光された測定用光束は、この観察対
象物１５の表面で反射され、再び、対物レンズ１１を介
してダイクロイックミラー９に照射される。
【０００５】ダイクロイックミラー９に照射された反射
光束３１は、その一部分が、ダイクロイックミラー９を
透過し、観察用結像レンズ１７を介して結像位置１９に
像を結び、残りの部分が、ダイクロイックミラー９から
反射してλ／４板７に照射される。
光束３１は、その一部分が、ダイクロイックミラー９を
透過し、観察用結像レンズ１７を介して結像位置１９に
像を結び、残りの部分が、ダイクロイックミラー９から
反射してλ／４板７に照射される。
【０００６】λ／４板７を透過した反射光束３１は、最
初の直線偏光に対して９０°ずれた直線偏光となってい
るため、偏光ビームスプリッタ５で反射され、結像レン
ズ１９を介して受光装置２１に集光される。
初の直線偏光に対して９０°ずれた直線偏光となってい
るため、偏光ビームスプリッタ５で反射され、結像レン
ズ１９を介して受光装置２１に集光される。
【０００７】このとき、演算制御装置２３が作動して、
受光装置２１に集光された反射光束３１の結像状態が検
知され、そのデータを駆動装置２５に出力する。駆動装
置２５は、入力したデータに基づいて試料台１３又は対
物レンズ１１を光軸方向に移動させて、光学系の合焦を
行う。
受光装置２１に集光された反射光束３１の結像状態が検
知され、そのデータを駆動装置２５に出力する。駆動装
置２５は、入力したデータに基づいて試料台１３又は対
物レンズ１１を光軸方向に移動させて、光学系の合焦を
行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４の
（ａ）、（ｂ）に示すように、測定用光束２７が、凹凸
表面を有する観察対象物１５の段差部２９に集光された
場合、この段差部２９から２つの反射光束３１が発生
し、この結果、受光装置２１上にも２つの集光点が形成
される。かかる場合の合焦方法は、２つの反射光束３１
を合成したものを用いて行われている関係上、正規の場
合（反射光束が１つの場合）の合焦位置に対してずれが
生じてしまうという問題がある。
（ａ）、（ｂ）に示すように、測定用光束２７が、凹凸
表面を有する観察対象物１５の段差部２９に集光された
場合、この段差部２９から２つの反射光束３１が発生
し、この結果、受光装置２１上にも２つの集光点が形成
される。かかる場合の合焦方法は、２つの反射光束３１
を合成したものを用いて行われている関係上、正規の場
合（反射光束が１つの場合）の合焦位置に対してずれが
生じてしまうという問題がある。
【０００９】また、図４の（ｃ）に示すように、測定用
光束２７が、観察対象物１５の湾曲部３３に集光された
場合、この湾曲部３３から複数の反射光束３１が発生
し、この結果、受光装置２１上にも複数の集光点が形成
される。かかる場合、合焦位置の検出が狂ってしまうと
いう問題がある。
光束２７が、観察対象物１５の湾曲部３３に集光された
場合、この湾曲部３３から複数の反射光束３１が発生
し、この結果、受光装置２１上にも複数の集光点が形成
される。かかる場合、合焦位置の検出が狂ってしまうと
いう問題がある。
【００１０】また、図５の（ａ）に示すように、測定用
光束２７が、表面反射率の異なる２つの物質３５、３７
から成る観察対象物１５の境界部３９に集光された場
合、半分が明るく他の半分は暗い反射光束３１が発生す
る。また、図５の（ｂ）に示すように、測定用光束２７
が、表面反射率の異なる２つの物質３５、３７から成
り、境界部４１が湾曲している観察対象物１５の境界部
４１に集光された場合、この境界部４１から複数の反射
光束３１が発生する。図５に示されたいずれの場合も、
合焦位置の検出にずれが生じてしまうという問題があ
る。
光束２７が、表面反射率の異なる２つの物質３５、３７
から成る観察対象物１５の境界部３９に集光された場
合、半分が明るく他の半分は暗い反射光束３１が発生す
る。また、図５の（ｂ）に示すように、測定用光束２７
が、表面反射率の異なる２つの物質３５、３７から成
り、境界部４１が湾曲している観察対象物１５の境界部
４１に集光された場合、この境界部４１から複数の反射
光束３１が発生する。図５に示されたいずれの場合も、
合焦位置の検出にずれが生じてしまうという問題があ
る。
【００１１】更に、上述したような問題の他に、特に、
観察中の対象物の動きに合わせて自動的に合焦動作を行
う装置では、ピンボケを引き起こしてしまうという欠点
もある。
観察中の対象物の動きに合わせて自動的に合焦動作を行
う装置では、ピンボケを引き起こしてしまうという欠点
もある。
【００１２】本発明は、上述したような弊害を除去する
ためになされ、その目的は、表面形状及び材質の如何を
問わずに、観察対象物に対して高精度に焦点合わせを行
うことができる自動合焦装置を提供することにある。
ためになされ、その目的は、表面形状及び材質の如何を
問わずに、観察対象物に対して高精度に焦点合わせを行
うことができる自動合焦装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の自動合焦装置は、観察対象物が配置
された光学系に適用されており、
るために、本発明の自動合焦装置は、観察対象物が配置
された光学系に適用されており、
【００１４】光源から出射された照明光を前記観察対象
物に集光させる第１の集光手段と、前記観察対象物から
の観察光の一部を受光手段に集光させる第２の集光手段
と、前記光学系又は前記第１の集光手段を移動して、前
記観察対象物に対する焦点合わせを行う駆動手段と、
物に集光させる第１の集光手段と、前記観察対象物から
の観察光の一部を受光手段に集光させる第２の集光手段
と、前記光学系又は前記第１の集光手段を移動して、前
記観察対象物に対する焦点合わせを行う駆動手段と、
【００１５】前記受光手段に集光される前記観察光の光
量変化を検出し、この光量変化が所定範囲内に維持され
ているとき、前記駆動手段を作動させて合焦動作を行わ
せると共に、前記光量変化が所定範囲外のとき、前記駆
動手段を作動させて合焦動作前の初期位置に前記光学系
又は前記第１の集光手段を復帰させる制御手段と、を備
えていることを特徴とする。
量変化を検出し、この光量変化が所定範囲内に維持され
ているとき、前記駆動手段を作動させて合焦動作を行わ
せると共に、前記光量変化が所定範囲外のとき、前記駆
動手段を作動させて合焦動作前の初期位置に前記光学系
又は前記第１の集光手段を復帰させる制御手段と、を備
えていることを特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明は、第２の集光手段を介して受光手段に
集光される観察光の光量変化を検出し、この光量変化が
所定範囲内に維持されているとき、駆動手段を作動させ
て光学系又は第１の集光手段を光軸方向に移動させて合
焦動作を行わせる。また、光量変化が所定範囲外のと
き、駆動手段を作動させて合焦動作前の初期位置に光学
系又は第１の集光手段を復帰させる。
集光される観察光の光量変化を検出し、この光量変化が
所定範囲内に維持されているとき、駆動手段を作動させ
て光学系又は第１の集光手段を光軸方向に移動させて合
焦動作を行わせる。また、光量変化が所定範囲外のと
き、駆動手段を作動させて合焦動作前の初期位置に光学
系又は第１の集光手段を復帰させる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係る自動合焦
装置について、図１を参照して説明する。
装置について、図１を参照して説明する。
【００１８】図１には、本実施例の自動合焦装置の全体
の構成が概略的に示されている。なお、本実施例の自動
合焦装置は、落射照明型顕微鏡に適用されているものと
する。
の構成が概略的に示されている。なお、本実施例の自動
合焦装置は、落射照明型顕微鏡に適用されているものと
する。
【００１９】図１に示すように、測定用光源４３から出
射された直線偏光の測定用光束４５は、コリメータレン
ズ４７を介して平行光束に規制された後、偏光ビームス
プリッタ４９を介してλ／４板５１を透過する。λ／４
板５１を透過して円偏光に変換された測定用光束４５
は、ダイクロイックミラー５３に照射され、所定の波長
領域を有する測定用光束のみが対物レンズ５５方向に反
射される。
射された直線偏光の測定用光束４５は、コリメータレン
ズ４７を介して平行光束に規制された後、偏光ビームス
プリッタ４９を介してλ／４板５１を透過する。λ／４
板５１を透過して円偏光に変換された測定用光束４５
は、ダイクロイックミラー５３に照射され、所定の波長
領域を有する測定用光束のみが対物レンズ５５方向に反
射される。
【００２０】対物レンズ５５の片側を透過して、試料台
５７上の観察対象物５９に集光された測定用光束４５
は、この観察対象物５９の表面で反射され、対物レンズ
５５の他の片側を透過してダイクロイックミラー５３に
照射される。
５７上の観察対象物５９に集光された測定用光束４５
は、この観察対象物５９の表面で反射され、対物レンズ
５５の他の片側を透過してダイクロイックミラー５３に
照射される。
【００２１】ダイクロイックミラー５３に照射された反
射光束６１は、その一部分が、ダイクロイックミラー５
３を透過し、観察用結像レンズ６３を介して結像位置６
５に像を結び、残りの部分が、ダイクロイックミラー５
３から反射してλ／４板５１に照射される。
射光束６１は、その一部分が、ダイクロイックミラー５
３を透過し、観察用結像レンズ６３を介して結像位置６
５に像を結び、残りの部分が、ダイクロイックミラー５
３から反射してλ／４板５１に照射される。
【００２２】λ／４板５１を透過した反射光束６１は、
最初の直線偏光に対して９０°ずれた直線偏光となって
いるため、偏光ビームスプリッタ４９で反射され、結像
レンズ６７の片側を透過して受光装置６９に集光され
る。受光装置６９に集光された反射光束６１は、電気信
号に変換されて制御装置７１に出力される。
最初の直線偏光に対して９０°ずれた直線偏光となって
いるため、偏光ビームスプリッタ４９で反射され、結像
レンズ６７の片側を透過して受光装置６９に集光され
る。受光装置６９に集光された反射光束６１は、電気信
号に変換されて制御装置７１に出力される。
【００２３】制御装置７１は、予め設定された合焦判定
数値がメモリされた合焦判定数値メモリー部７３と、合
焦判定数値メモリー部７３から出力された数値信号と受
光装置６９から出力された電気信号とを比較して、その
比較信号を出力する反射光量比較電気回路７５と、受光
装置６９から出力された電気信号を基に合焦位置を検出
し、その検出信号を出力する合焦位置演算電気回路７７
と、反射光量比較電気回路７５及び合焦位置演算電気回
路７７から出力された比較信号及び検出信号に基づいて
演算された演算信号を駆動装置８１に出力して、試料台
５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させて合焦制
御を行わせる合焦判定回路７９と、を備えている。
数値がメモリされた合焦判定数値メモリー部７３と、合
焦判定数値メモリー部７３から出力された数値信号と受
光装置６９から出力された電気信号とを比較して、その
比較信号を出力する反射光量比較電気回路７５と、受光
装置６９から出力された電気信号を基に合焦位置を検出
し、その検出信号を出力する合焦位置演算電気回路７７
と、反射光量比較電気回路７５及び合焦位置演算電気回
路７７から出力された比較信号及び検出信号に基づいて
演算された演算信号を駆動装置８１に出力して、試料台
５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させて合焦制
御を行わせる合焦判定回路７９と、を備えている。
【００２４】合焦判定数値メモリー部７３にメモリされ
る合焦判定数値は、任意に設定することが可能であり、
観察中の観察対象物や観察倍率あるいは観察方法によっ
て、適宜、最良の数値を設定することができる。
る合焦判定数値は、任意に設定することが可能であり、
観察中の観察対象物や観察倍率あるいは観察方法によっ
て、適宜、最良の数値を設定することができる。
【００２５】このような構成を有する制御装置７１で、
合焦動作が可能であると判定された場合は、合焦動作判
定回路７９によって演算された演算信号が、駆動装置８
１に出力され、この駆動装置８１を駆動させて、試料台
５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させる。この
結果、観察対象物５９に対する高精度な焦点合わせが行
われる。
合焦動作が可能であると判定された場合は、合焦動作判
定回路７９によって演算された演算信号が、駆動装置８
１に出力され、この駆動装置８１を駆動させて、試料台
５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させる。この
結果、観察対象物５９に対する高精度な焦点合わせが行
われる。
【００２６】一方、制御装置７１で、合焦動作が不可能
と判定された場合は、合焦動作判定回路７９によって演
算された演算信号によって駆動装置８１が駆動され、試
料台５７又は対物レンズ５５が合焦動作前の初期位置に
復帰される。
と判定された場合は、合焦動作判定回路７９によって演
算された演算信号によって駆動装置８１が駆動され、試
料台５７又は対物レンズ５５が合焦動作前の初期位置に
復帰される。
【００２７】このときの初期位置は、例えば、予めピン
ト合わせが行われた指定位置あるいは合焦動作が停止
（ＯＦＦ）される前に所定時間（例えば、０．１ｍｓ）
だけ前記検出信号が同一位置に維持されていた位置等が
該当する。
ト合わせが行われた指定位置あるいは合焦動作が停止
（ＯＦＦ）される前に所定時間（例えば、０．１ｍｓ）
だけ前記検出信号が同一位置に維持されていた位置等が
該当する。
【００２８】このように、合焦動作を停止させないとす
ると、観察対象物５９の境界等からの反射光によって装
置が誤動作して、例えば、装置のＯＮ・ＯＦＦ動作が繰
り返され、合焦誤判定がされる結果となる。
ると、観察対象物５９の境界等からの反射光によって装
置が誤動作して、例えば、装置のＯＮ・ＯＦＦ動作が繰
り返され、合焦誤判定がされる結果となる。
【００２９】また、一定時間、前記検出信号が同一位置
に維持されていた位置での光量を記憶しておき、この値
から合焦動作を判定する数値を算出し、算出された数値
を基に合焦制御させることも好ましい。かかる方法は、
特に、観察対象物５９の移動に同期して自動的に合焦動
作を連続させる場合に有効であり、合焦動作中に、連続
的に変化する判定数値が連続的にメモリされ、観察対象
物５９の移動に対応した合焦制御が行われる。
に維持されていた位置での光量を記憶しておき、この値
から合焦動作を判定する数値を算出し、算出された数値
を基に合焦制御させることも好ましい。かかる方法は、
特に、観察対象物５９の移動に同期して自動的に合焦動
作を連続させる場合に有効であり、合焦動作中に、連続
的に変化する判定数値が連続的にメモリされ、観察対象
物５９の移動に対応した合焦制御が行われる。
【００３０】なお、観察対象物５９が移動している状態
では、合焦動作をＯＦＦする必要はない。なぜなら、観
察対象物５９が移動している状態では、上述した初期位
置には既に観察対象物５９の境界は存在しないからであ
る。
では、合焦動作をＯＦＦする必要はない。なぜなら、観
察対象物５９が移動している状態では、上述した初期位
置には既に観察対象物５９の境界は存在しないからであ
る。
【００３１】かかる場合、観察対象物５９の動きによっ
てＯＦＦする方が有効である場合とそうでない場合とが
あり、初期位置に戻ってＯＦＦし、一定時間経過後に合
焦動作をＯＮする方法が好ましい。
てＯＦＦする方が有効である場合とそうでない場合とが
あり、初期位置に戻ってＯＦＦし、一定時間経過後に合
焦動作をＯＮする方法が好ましい。
【００３２】次に、本発明の第２の実施例に係る自動合
焦装置について、図２を参照して説明する。なお、本実
施例の説明に際し、第１の実施例と同一の構成には、同
一符号を付してその説明を省略する。
焦装置について、図２を参照して説明する。なお、本実
施例の説明に際し、第１の実施例と同一の構成には、同
一符号を付してその説明を省略する。
【００３３】本実施例の装置の特徴は、制御装置７１
に、受光装置６９から出力された電気信号をデジタル信
号に変換して出力するＡ／Ｄ変換器８３と、予め設定さ
れた合焦判定数値がメモリされた合焦判定数値メモリー
部７３と、Ａ／Ｄ変換器８３から出力されたデジタル信
号及び合焦判定数値メモリー部７３から出力された数値
信号を受信して、これらデジタル信号と数値信号とを比
較演算して合焦動作が可能か否かを判定し、その判定信
号を駆動装置８１に出力するマイクロコンピュータ８５
と、が設けられている点である。他の構成は、第１の実
施例と同一であるため、本実施例では、上述した制御装
置７１の動作のみを説明する。
に、受光装置６９から出力された電気信号をデジタル信
号に変換して出力するＡ／Ｄ変換器８３と、予め設定さ
れた合焦判定数値がメモリされた合焦判定数値メモリー
部７３と、Ａ／Ｄ変換器８３から出力されたデジタル信
号及び合焦判定数値メモリー部７３から出力された数値
信号を受信して、これらデジタル信号と数値信号とを比
較演算して合焦動作が可能か否かを判定し、その判定信
号を駆動装置８１に出力するマイクロコンピュータ８５
と、が設けられている点である。他の構成は、第１の実
施例と同一であるため、本実施例では、上述した制御装
置７１の動作のみを説明する。
【００３４】図２に示すように、制御装置７１で、合焦
動作が可能であると判定された場合は、マイクロコンピ
ュータ８５によって比較演算された判定信号が、駆動装
置８１に出力され、この駆動装置８１を駆動させて、試
料台５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させる。
この結果、観察対象物５９に対する高精度な焦点合わせ
が行われる。
動作が可能であると判定された場合は、マイクロコンピ
ュータ８５によって比較演算された判定信号が、駆動装
置８１に出力され、この駆動装置８１を駆動させて、試
料台５７又は対物レンズ５５を光軸方向に移動させる。
この結果、観察対象物５９に対する高精度な焦点合わせ
が行われる。
【００３５】一方、制御装置７１で、合焦動作が不可能
と判定された場合は、マイクロコンピュータ８５によっ
て比較演算された判定信号によって駆動装置８１が駆動
され、上述した第１の実施例と同様に試料台５７又は対
物レンズ５５が合焦動作前の初期位置に復帰される。
と判定された場合は、マイクロコンピュータ８５によっ
て比較演算された判定信号によって駆動装置８１が駆動
され、上述した第１の実施例と同様に試料台５７又は対
物レンズ５５が合焦動作前の初期位置に復帰される。
【００３６】このように、上述した実施例に係る自動合
焦装置は、観察対象物の表面形状が均一でない箇所に合
焦させる場合、観察中の観察対象物が移動している場合
でも、合焦動作の可否を観察対象物からの反射光を用い
て判定することによって、自動的に合焦動作を行うこと
が可能であると共に、合焦誤動作や物質と物質との境界
等が原因となるピンボケを防止することもでき、合焦動
作を高精度に維持させることができる。
焦装置は、観察対象物の表面形状が均一でない箇所に合
焦させる場合、観察中の観察対象物が移動している場合
でも、合焦動作の可否を観察対象物からの反射光を用い
て判定することによって、自動的に合焦動作を行うこと
が可能であると共に、合焦誤動作や物質と物質との境界
等が原因となるピンボケを防止することもでき、合焦動
作を高精度に維持させることができる。
【００３７】また、各実施例の装置は、特に、液晶パネ
ルに対して利用価値が高い。具体的には、液晶パネルの
パターンは、線密度がＩＣ標本ほどはっきりしておら
ず、物質の異なる滑らかな面が交互に並んでいるだけで
ある。しかし、各実施例の装置を用いることによって、
パターンの境界に照明光のスポットが当たった時の誤動
作のみを制御するだけで、高精度に焦点を合わせること
ができる。
ルに対して利用価値が高い。具体的には、液晶パネルの
パターンは、線密度がＩＣ標本ほどはっきりしておら
ず、物質の異なる滑らかな面が交互に並んでいるだけで
ある。しかし、各実施例の装置を用いることによって、
パターンの境界に照明光のスポットが当たった時の誤動
作のみを制御するだけで、高精度に焦点を合わせること
ができる。
【００３８】なお、本実施例は、落射照明型顕微鏡に適
用したが、これに限定されることはなく、透過型の顕微
鏡あるいはその他の顕微鏡や、測定機等の光学機器に適
用することもできる。
用したが、これに限定されることはなく、透過型の顕微
鏡あるいはその他の顕微鏡や、測定機等の光学機器に適
用することもできる。
【００３９】
【発明の効果】本発明の自動合焦装置は、観察対象物の
表面形状が均一でない箇所に合焦させる場合、観察中の
観察対象物が移動している場合でも、合焦動作の可否を
観察対象物からの観察光の光量変化を監視するだけで、
自動的に合焦動作を行うことが可能であると共に、合焦
誤動作や物質と物質との境界等が原因となるピンボケを
防止することもでき、合焦動作を高精度に維持させるこ
とができる。
表面形状が均一でない箇所に合焦させる場合、観察中の
観察対象物が移動している場合でも、合焦動作の可否を
観察対象物からの観察光の光量変化を監視するだけで、
自動的に合焦動作を行うことが可能であると共に、合焦
誤動作や物質と物質との境界等が原因となるピンボケを
防止することもでき、合焦動作を高精度に維持させるこ
とができる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る自動合焦装置の全
体の構成を概略的に示す図。
体の構成を概略的に示す図。
【図２】本発明の第２の実施例に係る自動合焦装置の全
体の構成を概略的に示す図。
体の構成を概略的に示す図。
【図３】従来の自動合焦装置の全体の構成を概略的に示
す図。
す図。
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）は共に、図３に示す装置を
用いて凹凸表面を有する観察対象物に測定用光束を照射
させた場合に発生する複数の反射光束の例を示す図。
用いて凹凸表面を有する観察対象物に測定用光束を照射
させた場合に発生する複数の反射光束の例を示す図。
【図５】（ａ）（ｂ）は共に、図３に示す装置を用いて
表面反射率の異なる２つの物質から成る観察対象物に測
定用光束を照射させた場合に発生する複数の反射光束の
例を示す図。
表面反射率の異なる２つの物質から成る観察対象物に測
定用光束を照射させた場合に発生する複数の反射光束の
例を示す図。
４３…測定用光源、４５…測定用光束、５５…対物レン
ズ、５７…試料台、５９…観察対象物、６１…反射光
束、６７…結像レンズ、６９…受光装置、７１…制御装
置、８１…駆動装置。
ズ、５７…試料台、５９…観察対象物、６１…反射光
束、６７…結像レンズ、６９…受光装置、７１…制御装
置、８１…駆動装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−172613（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−254634（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−16810（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−72214（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−217322（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−118814（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−18913（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−259208（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 7/28 - 7/40
Claims (1)
- 【請求項１】 観察対象物が配置された光学系に適用さ
れており、 光源から出射された照明光を前記観察対象物に集光させ
る第１の集光手段と、 前記観察対象物からの観察光の一部を受光手段に集光さ
せる第２の集光手段と、 前記光学系又は前記第１の集光手段を移動して、前記観
察対象物に対する焦点合わせを行う駆動手段と、 前記受光手段に集光される前記観察光の光量変化を検出
し、この光量変化が所定範囲内に維持されているとき、
前記駆動手段を作動させて合焦動作を行わせると共に、
前記光量変化が所定範囲外のとき、前記駆動手段を作動
させて合焦動作前の初期位置に前記光学系又は前記第１
の集光手段を復帰させる制御手段と、を備えていること
を特徴とする自動合焦装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3192192A JP3078083B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 自動合焦装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3192192A JP3078083B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 自動合焦装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232378A JPH05232378A (ja) | 1993-09-10 |
| JP3078083B2 true JP3078083B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=12344442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3192192A Expired - Fee Related JP3078083B2 (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 自動合焦装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078083B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4434376B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2010-03-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡画像転送システム |
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-
1992
- 1992-02-19 JP JP3192192A patent/JP3078083B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH05232378A (ja) | 1993-09-10 |
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