JP3075420B2 - Ｉｃリード浮き検査装置および方法 - Google Patents
Ｉｃリード浮き検査装置および方法Info
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- JP3075420B2 JP3075420B2 JP03025735A JP2573591A JP3075420B2 JP 3075420 B2 JP3075420 B2 JP 3075420B2 JP 03025735 A JP03025735 A JP 03025735A JP 2573591 A JP2573591 A JP 2573591A JP 3075420 B2 JP3075420 B2 JP 3075420B2
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品装着機により
フラットパッケージＩＣ等のＩＣを基板上の所定の位置
に実装するときに、このＩＣのリード浮きを検査するＩ
Ｃリード浮き検査装置および方法に関する。
フラットパッケージＩＣ等のＩＣを基板上の所定の位置
に実装するときに、このＩＣのリード浮きを検査するＩ
Ｃリード浮き検査装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品装着機によりＩＣを基板上の所
定の位置に実装するときに、実装前にＩＣの外周に突出
しているリードの浮きを検出し、その浮きが基準値以内
である場合にのみ合格として実装を実行している。これ
はリードがある基準値以上浮いていると半田付け不良が
発生するためである。
定の位置に実装するときに、実装前にＩＣの外周に突出
しているリードの浮きを検出し、その浮きが基準値以内
である場合にのみ合格として実装を実行している。これ
はリードがある基準値以上浮いていると半田付け不良が
発生するためである。
【０００３】このリード浮きを検出する方法としては、
レーザ変位計を用いてリード先端にレーザ光を照射し、
反射光の変位によりリード浮きを検出する方法や、リー
ドをカメラで撮像してその画像を処理してリード浮きを
検出する方法などが知られている。
レーザ変位計を用いてリード先端にレーザ光を照射し、
反射光の変位によりリード浮きを検出する方法や、リー
ドをカメラで撮像してその画像を処理してリード浮きを
検出する方法などが知られている。
【０００４】上記いずれの方法による場合でも、リード
浮きを検出する前にＩＣを所定の位置に位置決めする必
要がある。この位置決めは従来はＩＣのリードを手動ま
たは機械によって押圧して行なっていた。
浮きを検出する前にＩＣを所定の位置に位置決めする必
要がある。この位置決めは従来はＩＣのリードを手動ま
たは機械によって押圧して行なっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の位置決め方法によると、いずれの場合もＩＣのリー
ドに外力が加わるため、リードが多少変形したり、最悪
の場合は曲げてしまうこともあった。
来の位置決め方法によると、いずれの場合もＩＣのリー
ドに外力が加わるため、リードが多少変形したり、最悪
の場合は曲げてしまうこともあった。
【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてされたも
ので、リードの浮きの検出前のＩＣの位置決めを、リー
ドに外力を加えることなく行うことができ、リードの変
形を防止して部品の不良率を低くすることのできるＩＣ
リード浮き検査装置および方法を提供することを目的と
する。
ので、リードの浮きの検出前のＩＣの位置決めを、リー
ドに外力を加えることなく行うことができ、リードの変
形を防止して部品の不良率を低くすることのできるＩＣ
リード浮き検査装置および方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣリード浮き
検査装置は、ＩＣをノズルにより吸着して保持する保持
手段と、ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端の
座標を画像処理により検出する検出手段と、ＩＣを基準
位置に位置補正するように、ノズルを移動、回転、また
は、昇降させるとともに、レーザ変位計のレーザヘッド
が、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺に平
行な方向に相対的に移動するように、ノズルを駆動する
駆動手段と、所定の距離基準値を設定する設定手段と、
レーザヘッドからＩＣのリードに対して一定の方向に出
射されたレーザ光のリードからの反射光の検出信号によ
り、リードとレーザヘッドとの距離を測定する測定手段
と、測定手段により測定された距離と設定手段により設
定された距離基準値とを比較して、リード浮きの合否を
判定する判定手段とを備えることを特徴とする。前記設
定手段および前記判定手段は、コンピュータにより構成
されることを特徴とする。 本発明のＩＣリード浮き検査
方法は、ＩＣをノズルにより吸着して保持する保持ステ
ップと、ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端の
座標を画像処理により検出する検出ステップと、ＩＣを
基準位置に位置補正するように、ノズルを移動、回転、
または、昇降させるとともに、レーザ変位計のレーザヘ
ッドが、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺
に平行な方向に相対的に移動するように、ノズルを駆動
する駆動ステップと、所定の距離基準値を設定する設定
ステップと、レーザヘッドからＩＣのリードに対して一
定の方向に出射されたレーザ光のリードからの反射光の
検出信号により、リードとレーザヘッドとの距離を測定
する測定ステップと、測定ステップの処理により測定さ
れた距離と設定ステップの処理により設定された距離基
準値とを比較して、リード浮きの合否を判定する判定ス
テップとを含むことを特徴とする。
検査装置は、ＩＣをノズルにより吸着して保持する保持
手段と、ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端の
座標を画像処理により検出する検出手段と、ＩＣを基準
位置に位置補正するように、ノズルを移動、回転、また
は、昇降させるとともに、レーザ変位計のレーザヘッド
が、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺に平
行な方向に相対的に移動するように、ノズルを駆動する
駆動手段と、所定の距離基準値を設定する設定手段と、
レーザヘッドからＩＣのリードに対して一定の方向に出
射されたレーザ光のリードからの反射光の検出信号によ
り、リードとレーザヘッドとの距離を測定する測定手段
と、測定手段により測定された距離と設定手段により設
定された距離基準値とを比較して、リード浮きの合否を
判定する判定手段とを備えることを特徴とする。前記設
定手段および前記判定手段は、コンピュータにより構成
されることを特徴とする。 本発明のＩＣリード浮き検査
方法は、ＩＣをノズルにより吸着して保持する保持ステ
ップと、ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端の
座標を画像処理により検出する検出ステップと、ＩＣを
基準位置に位置補正するように、ノズルを移動、回転、
または、昇降させるとともに、レーザ変位計のレーザヘ
ッドが、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺
に平行な方向に相対的に移動するように、ノズルを駆動
する駆動ステップと、所定の距離基準値を設定する設定
ステップと、レーザヘッドからＩＣのリードに対して一
定の方向に出射されたレーザ光のリードからの反射光の
検出信号により、リードとレーザヘッドとの距離を測定
する測定ステップと、測定ステップの処理により測定さ
れた距離と設定ステップの処理により設定された距離基
準値とを比較して、リード浮きの合否を判定する判定ス
テップとを含むことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記構成のＩＣリード浮き検査装置および方法
においては、ＩＣがノズルにより吸着して保持され、Ｉ
Ｃが基準位置に位置補正するように、ノズルを移動、回
転、または、昇降させるとともに、レーザ変位計のレー
ザヘッドが、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する
二辺に平行な方向に相対的に移動するように、ノズルが
駆動され、所定の距離基準値が設定され、リードとレー
ザヘッドとの距離が測定され、測定された距離と設定さ
れた距離基準値とを比較して、リード浮きの合否が判定
される。このようにしてＩＣの位置決め及びリード浮き
の検出を非接触で検査することができ、検査工程におけ
るＩＣリードの変形の発生を防止できる。
においては、ＩＣがノズルにより吸着して保持され、Ｉ
Ｃが基準位置に位置補正するように、ノズルを移動、回
転、または、昇降させるとともに、レーザ変位計のレー
ザヘッドが、基準位置に位置補正されたＩＣの直交する
二辺に平行な方向に相対的に移動するように、ノズルが
駆動され、所定の距離基準値が設定され、リードとレー
ザヘッドとの距離が測定され、測定された距離と設定さ
れた距離基準値とを比較して、リード浮きの合否が判定
される。このようにしてＩＣの位置決め及びリード浮き
の検出を非接触で検査することができ、検査工程におけ
るＩＣリードの変形の発生を防止できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１０】図１乃至図６に本発明の一実施例を示す。
図１に実施例の装置構成を示す。図１において、ＩＣ１
は保持手段であるノズル２に真空吸着されている。ノズ
ル２にはロボットなどの駆動装置３によってＸＹ軸方向
の移動、回転及び昇降の各動作が与えられる。またノズ
ル２の下部にはＩＣ１のリード４に対してレーザ光５を
照射するレーザ光源と、リード４によって反射されたレ
ーザ光５を受光するセンサとを有するレーザヘッド６が
設けられている。リード４とレーザヘッド６との距離は
通常１０ｍｍ乃至２０ｍｍに設定されており、レーザヘ
ッド６が受光した信号はレーザ変位計７に送られる。そ
してレーザ変位計７により各リード４とレーザヘッド６
との間の距離Ｌが測定される。
図１に実施例の装置構成を示す。図１において、ＩＣ１
は保持手段であるノズル２に真空吸着されている。ノズ
ル２にはロボットなどの駆動装置３によってＸＹ軸方向
の移動、回転及び昇降の各動作が与えられる。またノズ
ル２の下部にはＩＣ１のリード４に対してレーザ光５を
照射するレーザ光源と、リード４によって反射されたレ
ーザ光５を受光するセンサとを有するレーザヘッド６が
設けられている。リード４とレーザヘッド６との距離は
通常１０ｍｍ乃至２０ｍｍに設定されており、レーザヘ
ッド６が受光した信号はレーザ変位計７に送られる。そ
してレーザ変位計７により各リード４とレーザヘッド６
との間の距離Ｌが測定される。
【００１１】レーザ変位計７には測定された距離データ
Ｌを取り込み、制御コンピュータ８から送られてくる所
定の距離基準値と比較して、リード浮きの合否判定を行
なう検出コンピュータ９が接続されている。また検出コ
ンピュータ９が検出した合否信号は制御コンピュータ８
に送られ、制御コンピュータ８は合格信号を受けると、
マウント信号をサーボアンプ１０を介して駆動装置３に
送る。そして駆動装置３はＩＣ１を図示しない基板上の
所定の位置に実装するようになっている。
Ｌを取り込み、制御コンピュータ８から送られてくる所
定の距離基準値と比較して、リード浮きの合否判定を行
なう検出コンピュータ９が接続されている。また検出コ
ンピュータ９が検出した合否信号は制御コンピュータ８
に送られ、制御コンピュータ８は合格信号を受けると、
マウント信号をサーボアンプ１０を介して駆動装置３に
送る。そして駆動装置３はＩＣ１を図示しない基板上の
所定の位置に実装するようになっている。
【００１２】一方、ノズル２の下部にはＩＣ１の下面と
対向してカメラ１１が設けられている。カメラ１１は高
倍率用カメラ１１ａと低倍率用カメラ１１ｂとから構成
されており、基板に対して一定の位置に固定されてい
る。カメラ１１は画像処理回路１２（検出手段）を介し
て表示部１３に接続されている。
対向してカメラ１１が設けられている。カメラ１１は高
倍率用カメラ１１ａと低倍率用カメラ１１ｂとから構成
されており、基板に対して一定の位置に固定されてい
る。カメラ１１は画像処理回路１２（検出手段）を介し
て表示部１３に接続されている。
【００１３】次に本実施例の装置の作用を説明する。ま
ず図２に示すようにＩＣ１をノズル２に吸着保持させ
る。図２に示す符号１５はＩＣ１を供給するためのトレ
ーである。この状態のＩＣ１をカメラ１１により下側か
ら撮像する。このときＩＣ１が小型である場合は高倍率
用カメラ１１ａを使用し、大型である場合は低倍率用カ
メラ１１ｂを使用する。カメラ１１で撮像された画像は
画像処理回路１２を介して表示部１３に表示される。こ
の画像が図３に示すように、基板１４のＸ，Ｙ方向の基
準線に対してずれており、原点にあるべきリード４ａの
先端の座標が（ｘ，ｙ）の位置にあり、ＩＣ１の基準辺
がＹ軸に対してθの角度をなしている場合は、制御コン
ピュータ８により駆動装置３を駆動して、ノズル２とと
もにＩＣ１を回転しかつ移動させてθ，ｘ，ｙをゼロと
する。この位置補正は画像処理回路１２による演算結果
をもとに非接触で行なわれる。
ず図２に示すようにＩＣ１をノズル２に吸着保持させ
る。図２に示す符号１５はＩＣ１を供給するためのトレ
ーである。この状態のＩＣ１をカメラ１１により下側か
ら撮像する。このときＩＣ１が小型である場合は高倍率
用カメラ１１ａを使用し、大型である場合は低倍率用カ
メラ１１ｂを使用する。カメラ１１で撮像された画像は
画像処理回路１２を介して表示部１３に表示される。こ
の画像が図３に示すように、基板１４のＸ，Ｙ方向の基
準線に対してずれており、原点にあるべきリード４ａの
先端の座標が（ｘ，ｙ）の位置にあり、ＩＣ１の基準辺
がＹ軸に対してθの角度をなしている場合は、制御コン
ピュータ８により駆動装置３を駆動して、ノズル２とと
もにＩＣ１を回転しかつ移動させてθ，ｘ，ｙをゼロと
する。この位置補正は画像処理回路１２による演算結果
をもとに非接触で行なわれる。
【００１４】上記のようにしてＩＣ１が正しい位置に位
置決めされた後、制御コンピュータ８の指令により駆動
装置３を駆動し、図４に示すようにノズル２に固定され
たＩＣ１をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順にＸ，Ｙ方向に移動す
る。そして一定の方向を照射するレーザ光５を順次リー
ド４に当て、その反射光に対応する検出信号はレーザヘ
ッド６を介してレーザ変位計７に送られる。
置決めされた後、制御コンピュータ８の指令により駆動
装置３を駆動し、図４に示すようにノズル２に固定され
たＩＣ１をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順にＸ，Ｙ方向に移動す
る。そして一定の方向を照射するレーザ光５を順次リー
ド４に当て、その反射光に対応する検出信号はレーザヘ
ッド６を介してレーザ変位計７に送られる。
【００１５】この検出信号は図５に示すようにパルス波
となる。このパルス波はレーザ変位計７に入力され、駆
動装置３のＸＹ軸モータに取り付けられたエンコーダ１
５が出力するパルスに同期する所定のタイミングにおけ
るリード４とレーザヘッド６との間の距離Ｌが測定され
る。この測定されたデータは前述したように、制御コン
ピュータ８から送られてくる基準値と検出コンピュータ
９において比較され、合格であればＩＣ１は駆動装置３
により図６に示すように基板１４上の所定の位置に実装
される。
となる。このパルス波はレーザ変位計７に入力され、駆
動装置３のＸＹ軸モータに取り付けられたエンコーダ１
５が出力するパルスに同期する所定のタイミングにおけ
るリード４とレーザヘッド６との間の距離Ｌが測定され
る。この測定されたデータは前述したように、制御コン
ピュータ８から送られてくる基準値と検出コンピュータ
９において比較され、合格であればＩＣ１は駆動装置３
により図６に示すように基板１４上の所定の位置に実装
される。
【００１６】本実施例によれば、ＩＣ１の位置補正を画
像処理を利用して行なうようにしたので、ＩＣリード４
に不必要な外力を加えることなく、ＩＣリード４の浮き
検出を行ない、基板にＩＣを装着することができるの
で、ＩＣリード４の変形の発生を防止して部品の不良率
を低下することができる。
像処理を利用して行なうようにしたので、ＩＣリード４
に不必要な外力を加えることなく、ＩＣリード４の浮き
検出を行ない、基板にＩＣを装着することができるの
で、ＩＣリード４の変形の発生を防止して部品の不良率
を低下することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｉ
Ｃをノズルにより吸着して保持し、ＩＣが基準位置に位
置補正するように、ノズルを移動、回転、または、昇降
させるとともに、レーザ変位計のレーザヘッドが、基準
位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺に平行な方向
に相対的に移動するように、ノズルを駆動し、所定の距
離基準値を設定し、リードとレーザヘッドとの距離を測
定し、測定された距離と設定された距離基準値とを比較
して、リード浮きの合否を判定するようにしたので、Ｉ
Ｃリード浮き検査の全工程をＩＣリードに接触すること
なく行なうことができ、このＩＣが実装される部品の不
良率を低くすることができる。
Ｃをノズルにより吸着して保持し、ＩＣが基準位置に位
置補正するように、ノズルを移動、回転、または、昇降
させるとともに、レーザ変位計のレーザヘッドが、基準
位置に位置補正されたＩＣの直交する二辺に平行な方向
に相対的に移動するように、ノズルを駆動し、所定の距
離基準値を設定し、リードとレーザヘッドとの距離を測
定し、測定された距離と設定された距離基準値とを比較
して、リード浮きの合否を判定するようにしたので、Ｉ
Ｃリード浮き検査の全工程をＩＣリードに接触すること
なく行なうことができ、このＩＣが実装される部品の不
良率を低くすることができる。
【図１】本発明に係るＩＣリード浮き検出装置の一実施
例の構成を示すブロック図
例の構成を示すブロック図
【図２】図１の実施例においてＩＣをノズルに吸着した
状態を示す説明図
状態を示す説明図
【図３】図１の実施例においてＩＣの変位を示す説明図
【図４】図１の実施例においてレーザ光に対するＩＣの
移動経路を示す説明図
移動経路を示す説明図
【図５】図１の実施例における測定波形を示すタイミン
グチャート
グチャート
【図６】図１の実施例におけるＩＣの基板への実装動作
を示す説明図
を示す説明図
１ ＩＣ ２ ノズル（保持手段） ３ 駆動装置 ４ リード ５ レーザ光 ７ レーザ変位計 １１ カメラ １２ 画像処理回路（検出手段） １３ 表示部 １４ 基板 １５ トレー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−161635（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−21937（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−231513（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−129111（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−5243（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−272126（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−129110（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/66 G01B 11/00 H05K 3/34 512 H05K 13/08
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ変位計を用いてＩＣのリードの浮
きの合否の判定を行うＩＣリード浮き検査装置におい
て、前記ＩＣを ノズルにより吸着して保持する保持手段と、
前記ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端の座
標を画像処理により検出する検出手段と、前記ＩＣを前記基準位置に位置補正するように 、前記ノ
ズルを移動、回転、または、昇降させるとともに、前記
レーザ変位計のレーザヘッドが、前記基準位置に位置補
正された前記ＩＣの直交する二辺に平行な方向に相対的
に移動するように、前記ノズルを駆動する駆動手段と、所定の距離基準値を設定する設定手段と、 前記レーザヘッドから前記ＩＣのリードに対して 一定の
方向に出射されたレーザ光の前記リードからの反射光の
検出信号により、前記リードと前記レーザヘッドとの距
離を測定する測定手段と、 前記測定手段により測定された距離と前記設定手段によ
り設定された前記距離基準値とを比較して、前記リード
浮きの合否を判定する判定手段と を備えることを特徴と
するＩＣリード浮き検査装置。 - 【請求項２】 前記設定手段および前記判定手段は、コ
ンピュータにより構成される ことを特徴とする請求項１
に記載のＩＣリード浮き検査装置。 - 【請求項３】 レーザ変位計を用いてＩＣのリードの浮
きの合否の判定を行うＩＣリード浮き検査装置のＩＣリ
ード浮き検査方法において、 前記ＩＣをノズルにより吸着して保持する保持ステップ
と、 前記ＩＣの基準位置に対する傾き及びリード先端
の座標を画像処理により検出する検出ステップと、 前記ＩＣを前記基準位置に位置補正するように、前記ノ
ズルを移動、回転、または、昇降させるとともに、前記
レーザ変位計のレーザヘッドが、前記基準位置に位置補
正された前記ＩＣの直交する二辺に平行な方向に相対的
に移動するように、前記ノズルを駆動する駆動ステップ
と、 所定の距離基準値を設定する設定ステップと、 前記レーザヘッドから前記ＩＣのリードに対して一定の
方向に出射されたレーザ光の前記リードからの反射光の
検出信号により、前記リードと前記レーザヘッドとの距
離を測定する測定ステップと、 前記測定ステップの処理により測定された距離と前記設
定ステップの処理により設定された前記距離基準値とを
比較して、前記リード浮きの合否を判定する判定ステッ
プと を含むことを特徴とするＩＣリード浮き検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03025735A JP3075420B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｉｃリード浮き検査装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03025735A JP3075420B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｉｃリード浮き検査装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04330756A JPH04330756A (ja) | 1992-11-18 |
| JP3075420B2 true JP3075420B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=12174077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03025735A Expired - Fee Related JP3075420B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｉｃリード浮き検査装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3075420B2 (ja) |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP03025735A patent/JP3075420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04330756A (ja) | 1992-11-18 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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