JP3073052B2 - インピーダンス測定器 - Google Patents
インピーダンス測定器Info
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- JP3073052B2 JP3073052B2 JP03154414A JP15441491A JP3073052B2 JP 3073052 B2 JP3073052 B2 JP 3073052B2 JP 03154414 A JP03154414 A JP 03154414A JP 15441491 A JP15441491 A JP 15441491A JP 3073052 B2 JP3073052 B2 JP 3073052B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、インピーダンス測定
器に関し、特に測定ケーブルが長くなることに起因する
測定ケーブル誤差を少なくし、低域の測定インピーダン
ス範囲を拡大したインピーダンス測定器に関する。
器に関し、特に測定ケーブルが長くなることに起因する
測定ケーブル誤差を少なくし、低域の測定インピーダン
ス範囲を拡大したインピーダンス測定器に関する。
【０００２】
【従来の技術】インピーダンス測定器の従来例を図１を
参照して説明する。試験信号発振器１より送り出された
正弦波試験信号は測定ケーブル２を介して被測定インピ
ーダンス５の入力端に入力され、被測定インピーダンス
５の出力端から送り出された電流は測定ケーブル６を介
して演算増幅器７に入力されてここにおいて電圧成分に
変換される。この電流の電圧成分に変換されたものは、
次いで切り替えスイッチ１０、増幅器１１を介してベク
トル検波器１２においてベクトル検波され、アナログ・
ディジタル・コンバータ１３においてディジタル信号に
変換されて演算表示装置１４に導入され、演算処理に供
される。一方、被測定インピーダンス５の入力端および
出力端それぞれの電圧は測定ケーブル３、４およびバッ
ファ回路８を介して差動回路９に図示される通りに印加
されて差電圧成分が得られる。上述の如くして得られた
差電圧成分も、切替えスイッチ１０、増幅器１１を介し
てベクトル検波器１２においてベクトル検波され、アナ
ログ・ディジタル・コンバータ１３においてディジタル
信号に変換されて演算表示装置１４に導入され、演算処
理に供される。上述の演算結果を基にして被測定インピ
ーダンス５のインピーダンスを演算表示装置１４におい
て演算表示する。なお、上記増幅器１１は試験信号発振
器１より送り出される正弦波試験信号Ｖosc に応じて利
得の切替えがなされるよう構成されている。
参照して説明する。試験信号発振器１より送り出された
正弦波試験信号は測定ケーブル２を介して被測定インピ
ーダンス５の入力端に入力され、被測定インピーダンス
５の出力端から送り出された電流は測定ケーブル６を介
して演算増幅器７に入力されてここにおいて電圧成分に
変換される。この電流の電圧成分に変換されたものは、
次いで切り替えスイッチ１０、増幅器１１を介してベク
トル検波器１２においてベクトル検波され、アナログ・
ディジタル・コンバータ１３においてディジタル信号に
変換されて演算表示装置１４に導入され、演算処理に供
される。一方、被測定インピーダンス５の入力端および
出力端それぞれの電圧は測定ケーブル３、４およびバッ
ファ回路８を介して差動回路９に図示される通りに印加
されて差電圧成分が得られる。上述の如くして得られた
差電圧成分も、切替えスイッチ１０、増幅器１１を介し
てベクトル検波器１２においてベクトル検波され、アナ
ログ・ディジタル・コンバータ１３においてディジタル
信号に変換されて演算表示装置１４に導入され、演算処
理に供される。上述の演算結果を基にして被測定インピ
ーダンス５のインピーダンスを演算表示装置１４におい
て演算表示する。なお、上記増幅器１１は試験信号発振
器１より送り出される正弦波試験信号Ｖosc に応じて利
得の切替えがなされるよう構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ａ、このインピーダン
ス測定器において、測定ケーブル２、３、４、および６
の長さが長くなると共に試験信号発振器１より送り出さ
る正弦波試験信号周波数が高くなった場合について考え
てみる。この場合、ケーブルが長くなった結果、ケーブ
ル・ショート・アドミタンスＹL が小さくなると、ケー
ブルの芯線と被覆間浮遊容量アドミタンスＹｃが被測定
インピーダンス５の測定値Ｙx に及ぼす影響はこれを無
視することができなくなってくる。測定値Ｙx について
の測定誤差はこれをεy とすると、εy ＝ーＹc ／（Ｙ
L ＋Ｙc ）≒ーＹc ／ＹL である（簡単のため、導入式
は省略する）。測定誤差は、結局、ケーブルの芯線と被
覆間浮遊容量アドミタンスＹｃとケーブル・ショート・
アドミタンスＹL とにより殆んど決定されることとな
る。ここで、例えば、100pF の容量変化があったものと
すると、測定誤差はεy ＝0、13％／ｍ（１MＨz）程度の
ものとなる。そして、研究の結果、測定ケーブルのイン
ダクタンスによるケーブル・ショート・アドミタンスＹ
L が測定誤差に大きく影響することがわかった。
ス測定器において、測定ケーブル２、３、４、および６
の長さが長くなると共に試験信号発振器１より送り出さ
る正弦波試験信号周波数が高くなった場合について考え
てみる。この場合、ケーブルが長くなった結果、ケーブ
ル・ショート・アドミタンスＹL が小さくなると、ケー
ブルの芯線と被覆間浮遊容量アドミタンスＹｃが被測定
インピーダンス５の測定値Ｙx に及ぼす影響はこれを無
視することができなくなってくる。測定値Ｙx について
の測定誤差はこれをεy とすると、εy ＝ーＹc ／（Ｙ
L ＋Ｙc ）≒ーＹc ／ＹL である（簡単のため、導入式
は省略する）。測定誤差は、結局、ケーブルの芯線と被
覆間浮遊容量アドミタンスＹｃとケーブル・ショート・
アドミタンスＹL とにより殆んど決定されることとな
る。ここで、例えば、100pF の容量変化があったものと
すると、測定誤差はεy ＝0、13％／ｍ（１MＨz）程度の
ものとなる。そして、研究の結果、測定ケーブルのイン
ダクタンスによるケーブル・ショート・アドミタンスＹ
L が測定誤差に大きく影響することがわかった。
【０００４】ｂ、被測定インピーダンス５が小さくなっ
た場合について考えてみる。この場合は、電流がほぼ一
定となり、電圧が低くなるので測定確度は低下する。例
えば、正弦波試験信号電圧Ｖosc ＝１v 、Ｚout ＝100
Ω、１／Ｙx ＝１Ωとした場合、得られる測定電圧はＶ
cur ＝１v 、Ｖpot ＝10mvとなり、レベル差が大きすぎ
る。ここで、Ｖcur 、Ｖpot の測定に際して各別の増幅
器を使用してレベルを揃えればよいようにも思われる
が、そうすると増幅器の温度係数が測定確度に悪影響を
及ぼしてこれを低下させる。
た場合について考えてみる。この場合は、電流がほぼ一
定となり、電圧が低くなるので測定確度は低下する。例
えば、正弦波試験信号電圧Ｖosc ＝１v 、Ｚout ＝100
Ω、１／Ｙx ＝１Ωとした場合、得られる測定電圧はＶ
cur ＝１v 、Ｖpot ＝10mvとなり、レベル差が大きすぎ
る。ここで、Ｖcur 、Ｖpot の測定に際して各別の増幅
器を使用してレベルを揃えればよいようにも思われる
が、そうすると増幅器の温度係数が測定確度に悪影響を
及ぼしてこれを低下させる。
【０００５】この発明は、上述の通りの問題を解消した
インピーダンス測定器を提供しようとするものである。
インピーダンス測定器を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願発明のインピーダン
ス測定装置は、被測定インピーダンス素子に正弦波電流
を流し、その被測定インピーダンス素子を流れる電流及
びその素子の両端間電圧をベクトル検波して上記被測定
インピーダンス素子のインピーダンスを求めるインピー
ダンス測定装置において、 上記被測定インピーダンス素
子の出力電流が導入される測定ケーブルの電流出力端と
電流電圧成分変換用の演算増幅器の入力端との間に、上
記測定ケーブルの浮遊インダクタンスを相殺するケーブ
ルＬ共振回路と、抵抗より成る分流回路とを直列接続し
たものを接続し、上記ケーブルＬ共振回路は、上記測定
ケーブルの浮遊インダクタンスに応じてキャパシタンス
が切替えられて、その浮遊インダクタンスの影響を相殺
する複数のコンデンサ及び複数のスイッチから成り、上
記分流回路は、上記被測定インピーダンス素子のインピ
ーダンスに応じて分流比が切替えられて、その出力する
電流を分流する複数の抵抗及び複数のスイッチから成
り、上記電流電圧成分変換用の演算増幅器と上記ベクト
ル検波をする手段との間に、上記分流回路の分流比に対
応した利得に切替えられる増幅手段が設けられている。
ス測定装置は、被測定インピーダンス素子に正弦波電流
を流し、その被測定インピーダンス素子を流れる電流及
びその素子の両端間電圧をベクトル検波して上記被測定
インピーダンス素子のインピーダンスを求めるインピー
ダンス測定装置において、 上記被測定インピーダンス素
子の出力電流が導入される測定ケーブルの電流出力端と
電流電圧成分変換用の演算増幅器の入力端との間に、上
記測定ケーブルの浮遊インダクタンスを相殺するケーブ
ルＬ共振回路と、抵抗より成る分流回路とを直列接続し
たものを接続し、上記ケーブルＬ共振回路は、上記測定
ケーブルの浮遊インダクタンスに応じてキャパシタンス
が切替えられて、その浮遊インダクタンスの影響を相殺
する複数のコンデンサ及び複数のスイッチから成り、上
記分流回路は、上記被測定インピーダンス素子のインピ
ーダンスに応じて分流比が切替えられて、その出力する
電流を分流する複数の抵抗及び複数のスイッチから成
り、上記電流電圧成分変換用の演算増幅器と上記ベクト
ル検波をする手段との間に、上記分流回路の分流比に対
応した利得に切替えられる増幅手段が設けられている。
【０００７】
【実施例】この発明の実施例を図２を参照して説明す
る。図２において、図１における参照数字と同一の参照
数字は互いに同一の部品を示すものとする。この発明の
特徴とするところは、測定ケーブルの芯線と被覆間浮遊
容量とこのケーブルのインダクタンスＬとに起因する測
定誤差を補償するために、ケーブルのＬ成分を相殺する
目的でケーブルＬ共振回路１５をケーブルに直列に接続
し、そして測定インピーダンス範囲、特に低域を拡大す
るために、抵抗より成る分流回路１６とこれに対応した
利得に切替え可能な増幅器１７とを具備するところであ
る。即ち、インピーダンス測定器の測定ケーブル６が接
続される電流入力端と電流電圧成分変換用の演算増幅器
７の入力との間に、上記ケーブルＬ共振回路１５と上記
分流回路１６とを直列接続したものを接続し、分流回路
に対応した利得に切替え可能な増幅器１７をベクトル検
波器１２の前段に接続する。以下、これらについて詳述
する。
る。図２において、図１における参照数字と同一の参照
数字は互いに同一の部品を示すものとする。この発明の
特徴とするところは、測定ケーブルの芯線と被覆間浮遊
容量とこのケーブルのインダクタンスＬとに起因する測
定誤差を補償するために、ケーブルのＬ成分を相殺する
目的でケーブルＬ共振回路１５をケーブルに直列に接続
し、そして測定インピーダンス範囲、特に低域を拡大す
るために、抵抗より成る分流回路１６とこれに対応した
利得に切替え可能な増幅器１７とを具備するところであ
る。即ち、インピーダンス測定器の測定ケーブル６が接
続される電流入力端と電流電圧成分変換用の演算増幅器
７の入力との間に、上記ケーブルＬ共振回路１５と上記
分流回路１６とを直列接続したものを接続し、分流回路
に対応した利得に切替え可能な増幅器１７をベクトル検
波器１２の前段に接続する。以下、これらについて詳述
する。
【０００８】Ｓ1 は、ケーブルＬ共振補償モードをとる
場合においてオンすることにより直流電流を接地にバイ
パスするためのスイッチである。ケーブルＬ共振回路１
５はスイッチＳ2 、キャパシタＣ1 、キャパシタＣ2 と
スイッチＳ3 の直列接続したもの、の３者を並列接続し
たものより成る。スイッチＳ2 はこれがオンであればケ
ーブルＬ共振補償しない通常モードであり、オフであれ
ばケーブルＬ共振補償モードとなる。Ｓ3 はケーブルの
長さ或は試験信号周波数に応じてケーブルＬ共振周波数
を切替えるためのものである。
場合においてオンすることにより直流電流を接地にバイ
パスするためのスイッチである。ケーブルＬ共振回路１
５はスイッチＳ2 、キャパシタＣ1 、キャパシタＣ2 と
スイッチＳ3 の直列接続したもの、の３者を並列接続し
たものより成る。スイッチＳ2 はこれがオンであればケ
ーブルＬ共振補償しない通常モードであり、オフであれ
ばケーブルＬ共振補償モードとなる。Ｓ3 はケーブルの
長さ或は試験信号周波数に応じてケーブルＬ共振周波数
を切替えるためのものである。
【０００９】分流回路１６は、抵抗Ｒ1 とスイッチＳ6
とを直列接続したもの、抵抗Ｒ2 とスイッチＳ7 とを直
列接続したもの、の２者を並列接続し、これとスイッチ
Ｓ4とを直列接続したもの、とスイッチＳ5 とを並列接
続し、ここでスイッチＳ4 、抵抗Ｒ1 、Ｒ2の３者の接
続点を接地したものより成る。ここで、Ｓ5 はオンする
ことにより抵抗を通さない直接電流モードとするもので
ある。Ｓ4 はオンすることにより比較的低インピーダン
スの測定を行なう分流測定モードとするものである。Ｓ
6 、Ｓ7 は分流測定モードにおいて測定インピーダンス
のレンジを切替えるスイッチである。分流抵抗はＲ1 、
Ｒ2 の２個が示されているが、これを更に数を増やし、
また抵抗値の段階を細かく細分することができる。
とを直列接続したもの、抵抗Ｒ2 とスイッチＳ7 とを直
列接続したもの、の２者を並列接続し、これとスイッチ
Ｓ4とを直列接続したもの、とスイッチＳ5 とを並列接
続し、ここでスイッチＳ4 、抵抗Ｒ1 、Ｒ2の３者の接
続点を接地したものより成る。ここで、Ｓ5 はオンする
ことにより抵抗を通さない直接電流モードとするもので
ある。Ｓ4 はオンすることにより比較的低インピーダン
スの測定を行なう分流測定モードとするものである。Ｓ
6 、Ｓ7 は分流測定モードにおいて測定インピーダンス
のレンジを切替えるスイッチである。分流抵抗はＲ1 、
Ｒ2 の２個が示されているが、これを更に数を増やし、
また抵抗値の段階を細かく細分することができる。
【００１０】分流回路に対応した利得に切替え可能な増
幅器１７は測定インピーダンスのレンジに対応して、例
えば上記切替えスイッチＳ5 、Ｓ6 、Ｓ7 に連動して利
得を切替えるようにする。この利得の設定はＶcur 、Ｖ
pot の測定に際して各別の値とすることができる。Ｓ8
、Ｓ9 は分流および通常インピーダンス測定モードに
おいてレンジ切替えをするためのスイッチである。
幅器１７は測定インピーダンスのレンジに対応して、例
えば上記切替えスイッチＳ5 、Ｓ6 、Ｓ7 に連動して利
得を切替えるようにする。この利得の設定はＶcur 、Ｖ
pot の測定に際して各別の値とすることができる。Ｓ8
、Ｓ9 は分流および通常インピーダンス測定モードに
おいてレンジ切替えをするためのスイッチである。
【００１１】
【発明の効果】測定ケーブルの芯線と被覆間浮遊容量と
このケーブルのインダクタンスＬとに起因する測定誤差
を補償するために、特にケーブルのＬ成分を相殺する目
的でケーブルＬ共振回路１５をケーブルに直列に接続し
たことにより、これら浮遊容量およびインダクタンスに
起因する測定誤差を小さなものとすることができた。
このケーブルのインダクタンスＬとに起因する測定誤差
を補償するために、特にケーブルのＬ成分を相殺する目
的でケーブルＬ共振回路１５をケーブルに直列に接続し
たことにより、これら浮遊容量およびインダクタンスに
起因する測定誤差を小さなものとすることができた。
【００１２】そして、分流回路１６とこれに対応した利
得に切替え可能な増幅器１７とを具備してこれらを調整
することにより、測定インピーダンス範囲、特に低域を
拡大することができた。その様子は以下の通りである。
Ｖosc ＝１ｖ、Ｚout ＝10Ω、Ｒ1 ＝１KΩ、Ｒ2 ＝ 10
0Ω、Ｒ3 ＝１KΩ、Ｒ4 ＝１００Ω、という測定条件
で、各スイッチおよび増幅器１７を調整して、測定す
る。 測定レンジＺx Ｓ4 Ｓ5 Ｓ6 Ｓ7 Ｓ8 Ｓ9 増幅器17 1KΩ≦Ｚx オフ オン オフ オフ オン オフ × 1 100Ω≦Ｚx＜1KΩ オフ オン オフ オフ オフ オン × 1 10Ω≦Ｚx＜100Ω オン オフ オフ オン オン オフ × 1 1Ω≦Ｚx＜10Ω オン オフ オフ オン オフ オン ×10 Ｚx＜1Ω オン オフ オン オフ オフ オン ×100 更に、上述の各測定レンジＺx において、ベクトル検波
入力電圧Ｖpot およびＶcur を同等のレベルに保つこと
ができた。これにより、Ｖcur 、Ｖpot の測定に際して
各別の増幅器を使用するというような煩わしさから解放
される。
得に切替え可能な増幅器１７とを具備してこれらを調整
することにより、測定インピーダンス範囲、特に低域を
拡大することができた。その様子は以下の通りである。
Ｖosc ＝１ｖ、Ｚout ＝10Ω、Ｒ1 ＝１KΩ、Ｒ2 ＝ 10
0Ω、Ｒ3 ＝１KΩ、Ｒ4 ＝１００Ω、という測定条件
で、各スイッチおよび増幅器１７を調整して、測定す
る。 測定レンジＺx Ｓ4 Ｓ5 Ｓ6 Ｓ7 Ｓ8 Ｓ9 増幅器17 1KΩ≦Ｚx オフ オン オフ オフ オン オフ × 1 100Ω≦Ｚx＜1KΩ オフ オン オフ オフ オフ オン × 1 10Ω≦Ｚx＜100Ω オン オフ オフ オン オン オフ × 1 1Ω≦Ｚx＜10Ω オン オフ オフ オン オフ オン ×10 Ｚx＜1Ω オン オフ オン オフ オフ オン ×100 更に、上述の各測定レンジＺx において、ベクトル検波
入力電圧Ｖpot およびＶcur を同等のレベルに保つこと
ができた。これにより、Ｖcur 、Ｖpot の測定に際して
各別の増幅器を使用するというような煩わしさから解放
される。
【図１】インピーダンス測定器の従来例を示す図。
【図２】この発明のインピーダンス測定器を示す図。
１ 試験信号発振器 ２ 測定ケーブル ３ 測定ケーブル ４ 測定ケーブル ５ 被測定インピーダンス ６ 測定ケーブル ７ 演算増幅器 ８ バッファ回路 ９ 差動回路 １０ 切替えスイッチ １１ 増幅器 １２ ベクトル検波器 １３ アナログ・ディジタル・コンバータ １４ 演算表示装置 １５ ケーブルＬ共振回路 １６ 分流回路 １７ 分流回路に対応した利得に切替え可能な増幅器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 27/00
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定インピーダンス素子に正弦波電流
を流し、その被測定インピーダンス素子を流れる電流及
びその素子の両端間電圧をベクトル検波して上記被測定
インピーダンス素子のインピーダンスを求めるインピー
ダンス測定装置において、上記被測定インピーダンス素子の出力電流が導入される
測定ケーブルの電流出力端と 電流電圧成分変換用の演算
増幅器の入力端との間に、上記測定ケーブルの浮遊イン
ダクタンスを相殺するケーブルＬ共振回路と、抵抗より
成る分流回路とを直列接続したものを接続し、上記ケーブルＬ共振回路は、上記測定ケーブルの浮遊イ
ンダクタンスに応じてキャパシタンスが切替えられて、
その浮遊インダクタンスの影響を相殺する複数のコンデ
ンサ及び複数のスイッチから成り、 上記分流回路は、上記被測定インピーダンス素子のイン
ピーダンスに応じて分流比が切替えられて、その出力す
る電流を分流する複数の抵抗及び複数のスイッチから成
り、 上記電流電圧成分変換用の演算増幅器と上記ベクトル検
波をする手段との間に、上記分流回路の分流比に対応し
た利得に切替えられる増幅手段が設けられている、 ことを特徴とするインピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154414A JP3073052B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | インピーダンス測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154414A JP3073052B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | インピーダンス測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052040A JPH052040A (ja) | 1993-01-08 |
| JP3073052B2 true JP3073052B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=15583638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03154414A Expired - Fee Related JP3073052B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | インピーダンス測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3073052B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP03154414A patent/JP3073052B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052040A (ja) | 1993-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000516 |
|
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