JP3072948B2 - 顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置 - Google Patents
顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置Info
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- JP3072948B2 JP3072948B2 JP20189193A JP20189193A JP3072948B2 JP 3072948 B2 JP3072948 B2 JP 3072948B2 JP 20189193 A JP20189193 A JP 20189193A JP 20189193 A JP20189193 A JP 20189193A JP 3072948 B2 JP3072948 B2 JP 3072948B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置に関し、更に詳しくは、顕微鏡によって観
察された試料の観察画像と、測定対象部位をフーリエ変
換機能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペク
トル画像とを表示する表示機構に関するものである。
分光測定装置に関し、更に詳しくは、顕微鏡によって観
察された試料の観察画像と、測定対象部位をフーリエ変
換機能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペク
トル画像とを表示する表示機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図8は、一般的な顕微式フーリエ変換赤
外分光測定装置を示し、まず、図8において、試料観察
時には、可視光源1からの可視光をコンデンサ鏡2を介
して試料ステージ3に載置された試料4に照射する。試
料4を透過した光は、対物鏡5を介して像点6で結像す
る。この像点6には、測定対象部位A以外からの光を遮
蔽する例えば、各辺がナイフエッジに形成され、且つス
リット長を任意に変更できる長方形のスリットから成る
遮蔽マスク7,8を設置し、試料4中の測定対象部位A
からの光のみが遮蔽マスク7,8を通過するよう回転可
能に設定する。すなわち、例えば図9に示すような試料
4中の測定対象部位Aのみの分光スペクトルを測定した
い場合、図10、図11に示すように、像点6に測定対
象部位A以外からの光束を遮蔽するマスク7,8を設置
し、測定対象部位Aからの光束のみを分光して、その分
光スペクトルを得るのである。
外分光測定装置を示し、まず、図8において、試料観察
時には、可視光源1からの可視光をコンデンサ鏡2を介
して試料ステージ3に載置された試料4に照射する。試
料4を透過した光は、対物鏡5を介して像点6で結像す
る。この像点6には、測定対象部位A以外からの光を遮
蔽する例えば、各辺がナイフエッジに形成され、且つス
リット長を任意に変更できる長方形のスリットから成る
遮蔽マスク7,8を設置し、試料4中の測定対象部位A
からの光のみが遮蔽マスク7,8を通過するよう回転可
能に設定する。すなわち、例えば図9に示すような試料
4中の測定対象部位Aのみの分光スペクトルを測定した
い場合、図10、図11に示すように、像点6に測定対
象部位A以外からの光束を遮蔽するマスク7,8を設置
し、測定対象部位Aからの光束のみを分光して、その分
光スペクトルを得るのである。
【0003】さて、図10に示したような長方形のスリ
ットからなる遮蔽マスク7,8を像点6に設置し、測定
対象部位A以外の部位B、Cからの光束を遮蔽し、且つ
測定対象部位Aからの光束が最大限に得られるようにス
リット長を可変とし、測定を行う。なお、遮蔽する手段
として他に、円形のピンホール等が用いられている。
ットからなる遮蔽マスク7,8を像点6に設置し、測定
対象部位A以外の部位B、Cからの光束を遮蔽し、且つ
測定対象部位Aからの光束が最大限に得られるようにス
リット長を可変とし、測定を行う。なお、遮蔽する手段
として他に、円形のピンホール等が用いられている。
【0004】その後、図8に示すように、像点6を通過
した光をCCDカメラ等のテレビカメラ9によって像点
6における結合像としてモニターし、テレビカメラ9か
らの信号をテレビモニタ30の画面上に表示する。ま
た、ビデオプリンタにより画像のみのプリント出力も行
う。この観察画像は、測定対象部位Aと、遮蔽マスク
7,8で遮蔽しない観察視部B,Cによる全体像とが重
ね合わされたものであり、試料4中における測定対象部
位Aの位置関係が明確となると共に、試料4を移動させ
ることにより、測定対象部位の変更も容易に行える。
した光をCCDカメラ等のテレビカメラ9によって像点
6における結合像としてモニターし、テレビカメラ9か
らの信号をテレビモニタ30の画面上に表示する。ま
た、ビデオプリンタにより画像のみのプリント出力も行
う。この観察画像は、測定対象部位Aと、遮蔽マスク
7,8で遮蔽しない観察視部B,Cによる全体像とが重
ね合わされたものであり、試料4中における測定対象部
位Aの位置関係が明確となると共に、試料4を移動させ
ることにより、測定対象部位の変更も容易に行える。
【0005】而して、上記方法により測定対象部位を設
定した後、赤外光を用いて測定対象部位Aの分光特性や
強度を測定するには、図12に示すように、ミラー10
を移動させ、赤外光源11から発した赤外光を例えば二
光束干渉計等からなる干渉計12を通過させて、波長ご
とにエネルギー強度変調をかけ、その後ミラー10およ
びコンデンサ鏡2を介して試料4に照射し、その透過光
を対物鏡5を介して像点6で結像する。
定した後、赤外光を用いて測定対象部位Aの分光特性や
強度を測定するには、図12に示すように、ミラー10
を移動させ、赤外光源11から発した赤外光を例えば二
光束干渉計等からなる干渉計12を通過させて、波長ご
とにエネルギー強度変調をかけ、その後ミラー10およ
びコンデンサ鏡2を介して試料4に照射し、その透過光
を対物鏡5を介して像点6で結像する。
【0006】像点6には、予め可視光を用いて測定対象
部位の光束のみを透過させるように遮蔽マスク7,8を
設定してあるため、測定対象部位以外からの赤外光は遮
蔽される。そして、ミラー13を光路外に外し、測定対
象部位Aからの赤外光を直接検出器14で検出し、周波
数分析することによって分光スペクトルを得る。すなわ
ち、顕微鏡の視野の中で測定対象部位を決めて測定した
スペクトルは、フーリエ変換赤外分光用コントローラC
によりCRTモニターHに出力してスペクトル画像を表
示する画像信号nによるスペクトル情報Iを得る。な
お、スペクトル情報IをプロッタPにより出力すること
も可能である。
部位の光束のみを透過させるように遮蔽マスク7,8を
設定してあるため、測定対象部位以外からの赤外光は遮
蔽される。そして、ミラー13を光路外に外し、測定対
象部位Aからの赤外光を直接検出器14で検出し、周波
数分析することによって分光スペクトルを得る。すなわ
ち、顕微鏡の視野の中で測定対象部位を決めて測定した
スペクトルは、フーリエ変換赤外分光用コントローラC
によりCRTモニターHに出力してスペクトル画像を表
示する画像信号nによるスペクトル情報Iを得る。な
お、スペクトル情報IをプロッタPにより出力すること
も可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来ではこのように、
顕微鏡によって観察された観察画像Mはスペクトル画像
Nとは別に表示されてきた。したがって、報告データと
しては、スペクトル画像Nに観察画像Mを画像コピーや
写真を添付してまとめることが多かった。また、赤外光
を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定する間
は、試料4を観察することはできず、CRTモニターH
の画面ではスペクトル画像Nしか得られなかった。
顕微鏡によって観察された観察画像Mはスペクトル画像
Nとは別に表示されてきた。したがって、報告データと
しては、スペクトル画像Nに観察画像Mを画像コピーや
写真を添付してまとめることが多かった。また、赤外光
を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定する間
は、試料4を観察することはできず、CRTモニターH
の画面ではスペクトル画像Nしか得られなかった。
【0008】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、顕微鏡によって観察
された試料の観察画像と測定対象部位をフーリエ変換機
能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペクトル
画像とを一画像内に表示できる顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、顕微鏡によって観察
された試料の観察画像と測定対象部位をフーリエ変換機
能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペクトル
画像とを一画像内に表示できる顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置
は、試料の測定対象部位を観察するために試料の測定対
象部位を透過した光または照射光を像点で結像させる顕
微機能、赤外光を用いて前記測定対象部位のフーリエ変
換赤外分光測定を行うフーリエ変換機能および前記像点
を通過した光を像点における結合像としてモニターする
モニターを有し、該モニターからの信号を、前記測定対
象部位と全体像を重ね合わせた観察画像を表示する第1
画像信号として出力する顕微式フーリエ変換赤外分光測
定装置本体と、前記測定対象部位を前記フーリエ変換機
能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペクトル
画像を表示する第2画像信号を出力するフーリエ変換赤
外分光用コントローラと、前記顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置本体およびフーリエ変換赤外分光用コント
ローラからそれぞれ第1画像信号および第2画像信号を
入力し、この第1および第2画像信号を合成し、該第2
画像信号の前記スペクトル画像に、第1画像信号の前記
観察画像を重ね合わせ、第1画像信号および第2画像信
号の合成画像信号を出力する画像重ね合わせ手段と、該
画像重ね合わせ手段から出力された出力観察画像および
出力スペクトル画像からなる合成画像を表示する合成画
像表示手段とを備えている。
め、本発明に係る顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置
は、試料の測定対象部位を観察するために試料の測定対
象部位を透過した光または照射光を像点で結像させる顕
微機能、赤外光を用いて前記測定対象部位のフーリエ変
換赤外分光測定を行うフーリエ変換機能および前記像点
を通過した光を像点における結合像としてモニターする
モニターを有し、該モニターからの信号を、前記測定対
象部位と全体像を重ね合わせた観察画像を表示する第1
画像信号として出力する顕微式フーリエ変換赤外分光測
定装置本体と、前記測定対象部位を前記フーリエ変換機
能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペクトル
画像を表示する第2画像信号を出力するフーリエ変換赤
外分光用コントローラと、前記顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置本体およびフーリエ変換赤外分光用コント
ローラからそれぞれ第1画像信号および第2画像信号を
入力し、この第1および第2画像信号を合成し、該第2
画像信号の前記スペクトル画像に、第1画像信号の前記
観察画像を重ね合わせ、第1画像信号および第2画像信
号の合成画像信号を出力する画像重ね合わせ手段と、該
画像重ね合わせ手段から出力された出力観察画像および
出力スペクトル画像からなる合成画像を表示する合成画
像表示手段とを備えている。
【0010】本発明における画像重ね合わせ手段として
は、フーリエ変換赤外分光用コントローラからの第2画
像信号とモニターからの第1画像信号とを入力してスペ
クトル画像と観察画像を取り込むスーパーインポーザを
挙げることができる。このスーパーインポーザが、所定
の重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力する
モード変換用コントローラに連動するモード変換用スイ
ッチパネルを具備するのが好ましい。
は、フーリエ変換赤外分光用コントローラからの第2画
像信号とモニターからの第1画像信号とを入力してスペ
クトル画像と観察画像を取り込むスーパーインポーザを
挙げることができる。このスーパーインポーザが、所定
の重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力する
モード変換用コントローラに連動するモード変換用スイ
ッチパネルを具備するのが好ましい。
【0011】また、画像重ね合わせ手段として、フーリ
エ変換赤外分光用コントローラに基板として組み込まれ
てなるスーパーインポーザも挙げることができる。この
スーパーインポーザはスペクトル画像内に観察画像を自
由な位置、大きさで表示できるものであって、このスー
パーインポーザはフーリエ変換赤外分光用コントローラ
からの第2画像信号とモニターからの第1画像信号とを
入力してスペクトル画像と観察画像を取り込み、さら
に、前記フーリエ変換赤外分光用コントローラは所定の
重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力するモ
ード変換用コントローラに連動するモード変換用スイッ
チパネルを具備しているものが好ましい。
エ変換赤外分光用コントローラに基板として組み込まれ
てなるスーパーインポーザも挙げることができる。この
スーパーインポーザはスペクトル画像内に観察画像を自
由な位置、大きさで表示できるものであって、このスー
パーインポーザはフーリエ変換赤外分光用コントローラ
からの第2画像信号とモニターからの第1画像信号とを
入力してスペクトル画像と観察画像を取り込み、さら
に、前記フーリエ変換赤外分光用コントローラは所定の
重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力するモ
ード変換用コントローラに連動するモード変換用スイッ
チパネルを具備しているものが好ましい。
【0012】本発明における合成画像表示手段として
は、1つのCRTモニターを挙げることができる。この
CRTモニター画面上に出力観察画像を動画像として表
示できる。また、合成画像表示手段が1つのCRTモニ
ターであり、スーパーインポーザのモード変換用コント
ローラが、前記1つの該CRTモニター画面上に出力観
察画像を静止画像として表示する静止画像形成機能と、
該静止画像をフーリエ変換赤外分光測定中に表示可能な
静止画像メモリ機能とを有するものを挙げることができ
る。すなわち、後述するように、この出力観察画像を、
静止、いわゆるフリーズさせることができ、フリーズさ
れた出力観察画像と、出力スペクトル画像とを一致させ
て、両信号を光ディスク等に同時に保存することが可能
であり、ビデオプリンタ等での出力も可能である。逆
に、読み込みも可能である。
は、1つのCRTモニターを挙げることができる。この
CRTモニター画面上に出力観察画像を動画像として表
示できる。また、合成画像表示手段が1つのCRTモニ
ターであり、スーパーインポーザのモード変換用コント
ローラが、前記1つの該CRTモニター画面上に出力観
察画像を静止画像として表示する静止画像形成機能と、
該静止画像をフーリエ変換赤外分光測定中に表示可能な
静止画像メモリ機能とを有するものを挙げることができ
る。すなわち、後述するように、この出力観察画像を、
静止、いわゆるフリーズさせることができ、フリーズさ
れた出力観察画像と、出力スペクトル画像とを一致させ
て、両信号を光ディスク等に同時に保存することが可能
であり、ビデオプリンタ等での出力も可能である。逆
に、読み込みも可能である。
【0013】なお、前記スーパーインポーザによる前記
所定の重ね合わせモードとしては、1つのCRTモニタ
ー上に表示される出力観察画像の拡大・縮小モードが好
ましく、例えば、 A.図4に示すように、試料の観察位置を確認するため
に1つのCRTモニターの画面上に表示される出力スペ
クトル画像によるスペクトルの全体スペクトルを有する
枠内に、動画表示と同倍率の出力観察画像を重ね合わせ
るモードや、 B.図5に示すように、1つのCRTモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠内に、動画表示と同倍率の出力
観察画像を重ね合わせるモード、あるいは、 C.図6に示すように、試料の観察位置を確認するため
に1つのCRTモニターの画面上に表示される出力スペ
クトル画像によるスペクトルの全体スペクトルを有する
枠外に、縮小された出力観察画像を重ね合わせる。すな
わち、スペクトル全体が表示されているモニター画面の
向かって右上に縮小された観察画像を表示したり、更
に、 D.図7に示すように、1つのCRTモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠外に、縮小された出力観察画像
を重ね合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル部
分が表示されているモニター画面の向かって右上に縮小
された観察画像を表示したりするもの等を挙げることが
できる。なお、図5、図7においては、モニター画面の
向かって下側に、スペクトル全体が縮小された形態で表
示されている。
所定の重ね合わせモードとしては、1つのCRTモニタ
ー上に表示される出力観察画像の拡大・縮小モードが好
ましく、例えば、 A.図4に示すように、試料の観察位置を確認するため
に1つのCRTモニターの画面上に表示される出力スペ
クトル画像によるスペクトルの全体スペクトルを有する
枠内に、動画表示と同倍率の出力観察画像を重ね合わせ
るモードや、 B.図5に示すように、1つのCRTモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠内に、動画表示と同倍率の出力
観察画像を重ね合わせるモード、あるいは、 C.図6に示すように、試料の観察位置を確認するため
に1つのCRTモニターの画面上に表示される出力スペ
クトル画像によるスペクトルの全体スペクトルを有する
枠外に、縮小された出力観察画像を重ね合わせる。すな
わち、スペクトル全体が表示されているモニター画面の
向かって右上に縮小された観察画像を表示したり、更
に、 D.図7に示すように、1つのCRTモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠外に、縮小された出力観察画像
を重ね合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル部
分が表示されているモニター画面の向かって右上に縮小
された観察画像を表示したりするもの等を挙げることが
できる。なお、図5、図7においては、モニター画面の
向かって下側に、スペクトル全体が縮小された形態で表
示されている。
【0014】さらに、本発明では、スーパーインポーザ
のモード変換用コントローラに、1つのCRTモニター
画面上に出力観察画像を静止画像として表示する静止画
像形成機能を持たせた場合には、画像重ね合わせ手段か
ら出力された出力観察画像および出力スペクトル画像か
らなる合成画像をメモリするメモリ機能を有する光ディ
スク等の磁気記録媒体に出力観察画像および出力スペク
トル画像の2情報を同時に保存したり、該情報をプリン
タしておけば、2情報を1つのCRTモニターに出力す
ることで、設置の面積が低減できるとともに、フーリエ
変換赤外分光測定中には、現在、スペクトル測定してい
る測定対象部位がどこなのかを静止画像で観察画像を表
示しながら測定ができる。そして、プロッタ出力したス
ペクトルがどこを測ったものなのかを一枚の紙に表示で
きたり、保存した2情報も、磁気記録媒体から呼び出せ
ば、出力観察画像および出力スペクトル画像が出てくる
ので後日、観察画像と出力スペクトル画像の測定対象部
位の不一致をもたらすおそれは無い。
のモード変換用コントローラに、1つのCRTモニター
画面上に出力観察画像を静止画像として表示する静止画
像形成機能を持たせた場合には、画像重ね合わせ手段か
ら出力された出力観察画像および出力スペクトル画像か
らなる合成画像をメモリするメモリ機能を有する光ディ
スク等の磁気記録媒体に出力観察画像および出力スペク
トル画像の2情報を同時に保存したり、該情報をプリン
タしておけば、2情報を1つのCRTモニターに出力す
ることで、設置の面積が低減できるとともに、フーリエ
変換赤外分光測定中には、現在、スペクトル測定してい
る測定対象部位がどこなのかを静止画像で観察画像を表
示しながら測定ができる。そして、プロッタ出力したス
ペクトルがどこを測ったものなのかを一枚の紙に表示で
きたり、保存した2情報も、磁気記録媒体から呼び出せ
ば、出力観察画像および出力スペクトル画像が出てくる
ので後日、観察画像と出力スペクトル画像の測定対象部
位の不一致をもたらすおそれは無い。
【0015】
【作用】画像重ね合わせ手段にスペクトル画像と観察画
像を取り込み、合成画像信号を合成画像表示手段へ出力
することから、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせ
た全体像を出力観察画像で表示しながらの出力スペクト
ル画像の測定が行える。すなわち、測定対象部位と全体
像を重ね合わせた観察画像を、その試料のフーリエ変換
赤外分光測定により得たスペクトル画像に画像重ね合わ
せ手段で合成し、合成画像表示手段に表示させることが
できる。
像を取り込み、合成画像信号を合成画像表示手段へ出力
することから、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせ
た全体像を出力観察画像で表示しながらの出力スペクト
ル画像の測定が行える。すなわち、測定対象部位と全体
像を重ね合わせた観察画像を、その試料のフーリエ変換
赤外分光測定により得たスペクトル画像に画像重ね合わ
せ手段で合成し、合成画像表示手段に表示させることが
できる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、本発明はそれによって限定を受けるものではない。
また、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせた全体像
を観察する顕微機能、赤外光を用いてフーリエ変換赤外
分光測定を行うフーリエ変換機能は、本発明でも、従来
例でも同等の機能を有し、したがって、本発明におい
て、図9〜図12に示された従来例と同一符号のもの
は、同一又は相当物である。図1は本発明の第1実施例
を示す。図1において、顕微式フーリエ変換赤外分光測
定装置は、試料4の測定対象部位Aとこれに重ね合わせ
た全体像を観察するために試料4の測定対象部位Aを透
過した光または照射光を像点6で結像させる顕微機能、
赤外光を用いて測定対象部位Aのフーリエ変換赤外分光
測定を行うフーリエ変換機能および像点6を通過した光
を像点における結合像としてモニターするモニター30
を有し、該モニター30からの信号を、前記測定対象部
位Aと全体像を重ね合わせた観察画像Mを表示する第1
画像信号mとして出力する顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置本体31と、前記測定対象部位を前記フーリエ
変換機能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペ
クトル画像Nを表示する第2画像信号nを出力するフー
リエ変換赤外分光用コントローラ32と、顕微式フーリ
エ変換赤外分光測定装置本体31およびフーリエ変換赤
外分光用コントローラ32からそれぞれ第1画像信号m
および第2画像信号nを入力し、この第1および第2画
像信号m,nを合成し、該第2画像信号nのスペクトル
画像Nに、第1画像信号mの観察画像Mを所定の重ね合
わせモードにて重ね合わせ、第1画像信号mおよび第2
画像信号nの合成画像信号tを出力する画像重ね合わせ
手段33と、該画像重ね合わせ手段から出力された出力
観察画像m’および出力スペクトル画像n’からなる合
成画像を表示する合成画像表示手段34とを主として備
えている。
お、本発明はそれによって限定を受けるものではない。
また、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせた全体像
を観察する顕微機能、赤外光を用いてフーリエ変換赤外
分光測定を行うフーリエ変換機能は、本発明でも、従来
例でも同等の機能を有し、したがって、本発明におい
て、図9〜図12に示された従来例と同一符号のもの
は、同一又は相当物である。図1は本発明の第1実施例
を示す。図1において、顕微式フーリエ変換赤外分光測
定装置は、試料4の測定対象部位Aとこれに重ね合わせ
た全体像を観察するために試料4の測定対象部位Aを透
過した光または照射光を像点6で結像させる顕微機能、
赤外光を用いて測定対象部位Aのフーリエ変換赤外分光
測定を行うフーリエ変換機能および像点6を通過した光
を像点における結合像としてモニターするモニター30
を有し、該モニター30からの信号を、前記測定対象部
位Aと全体像を重ね合わせた観察画像Mを表示する第1
画像信号mとして出力する顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置本体31と、前記測定対象部位を前記フーリエ
変換機能によりフーリエ変換赤外分光測定して得たスペ
クトル画像Nを表示する第2画像信号nを出力するフー
リエ変換赤外分光用コントローラ32と、顕微式フーリ
エ変換赤外分光測定装置本体31およびフーリエ変換赤
外分光用コントローラ32からそれぞれ第1画像信号m
および第2画像信号nを入力し、この第1および第2画
像信号m,nを合成し、該第2画像信号nのスペクトル
画像Nに、第1画像信号mの観察画像Mを所定の重ね合
わせモードにて重ね合わせ、第1画像信号mおよび第2
画像信号nの合成画像信号tを出力する画像重ね合わせ
手段33と、該画像重ね合わせ手段から出力された出力
観察画像m’および出力スペクトル画像n’からなる合
成画像を表示する合成画像表示手段34とを主として備
えている。
【0017】更に、画像重ね合わせ手段33はフーリエ
変換赤外分光用コントローラ32からの第2画像信号n
とモニター30からの第1画像信号mとを入力してスペ
クトル画像Nと観察画像Mを取り込むスーパーインポー
ズ装置(スーパーインポーザ)であり、該スーパーイン
ポーズ装置33は、例えば、図4に示すように、1つの
CRTモニター(後述する合成画像表示手段)34の画
面38上に表示される出力スペクトル画像Nによるスペ
クトルの全体スペクトルSを有する枠内に、動画表示と
同倍率の出力観察画像M’を枠内全体に位置させて表示
できるものであるとともに、このスーパーインポーズ装
置33が、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像
信号を出力するモード変換用コントローラ(図示せず)
に連動するモード変換用スイッチパネル35を具備して
いる。
変換赤外分光用コントローラ32からの第2画像信号n
とモニター30からの第1画像信号mとを入力してスペ
クトル画像Nと観察画像Mを取り込むスーパーインポー
ズ装置(スーパーインポーザ)であり、該スーパーイン
ポーズ装置33は、例えば、図4に示すように、1つの
CRTモニター(後述する合成画像表示手段)34の画
面38上に表示される出力スペクトル画像Nによるスペ
クトルの全体スペクトルSを有する枠内に、動画表示と
同倍率の出力観察画像M’を枠内全体に位置させて表示
できるものであるとともに、このスーパーインポーズ装
置33が、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像
信号を出力するモード変換用コントローラ(図示せず)
に連動するモード変換用スイッチパネル35を具備して
いる。
【0018】また、合成画像表示手段34は1つのCR
Tモニターであり、モニター30がCCDカメラであ
る。
Tモニターであり、モニター30がCCDカメラであ
る。
【0019】そして、顕微式フーリエ変換赤外分光測定
装置はスーパーインポーズ装置33から出力された出力
観察画像m’および出力スペクトル画像n’からなる合
成画像tをメモリするメモリ機能を有する光ディスク3
6を有し、これに出力観察画像m’および出力スペクト
ル画像n’の2情報を同時に保存できるとともに、該情
報をプロッタできるプリンタ37を有する。したがっ
て、前記2情報を1つのCRTモニター34に出力する
ことで、複雑な機構を必要とせずに装置の設置の面積が
低減できるとともに、フーリエ変換赤外分光測定中に
は、現在、スペクトル測定している測定対象部位がどこ
なのかを静止画像で観察画像Mを表示しながら測定がで
きる。そして、プロッタ出力した出力スペクトル画像
n’がどこを測ったものなのかを、プリンタ37により
一枚の紙に表示できたり、保存した2情報も、光ディス
ク36から呼び出せば、出力観察画像m’および出力ス
ペクトル画像n’が出てくるので後日、観察画像と出力
スペクトル画像の測定対象部位の不一致をもたらすおそ
れは無い。
装置はスーパーインポーズ装置33から出力された出力
観察画像m’および出力スペクトル画像n’からなる合
成画像tをメモリするメモリ機能を有する光ディスク3
6を有し、これに出力観察画像m’および出力スペクト
ル画像n’の2情報を同時に保存できるとともに、該情
報をプロッタできるプリンタ37を有する。したがっ
て、前記2情報を1つのCRTモニター34に出力する
ことで、複雑な機構を必要とせずに装置の設置の面積が
低減できるとともに、フーリエ変換赤外分光測定中に
は、現在、スペクトル測定している測定対象部位がどこ
なのかを静止画像で観察画像Mを表示しながら測定がで
きる。そして、プロッタ出力した出力スペクトル画像
n’がどこを測ったものなのかを、プリンタ37により
一枚の紙に表示できたり、保存した2情報も、光ディス
ク36から呼び出せば、出力観察画像m’および出力ス
ペクトル画像n’が出てくるので後日、観察画像と出力
スペクトル画像の測定対象部位の不一致をもたらすおそ
れは無い。
【0020】このように本実施例では、スーパーインポ
ーズ装置33のモード変換用コントローラに、スペクト
ル情報Nと観察画像Mを取り込み、図4〜図7で示す各
種の出力モードに変換してCRTモニター34あるいは
プリンタ37に出力する。例えば、上述したような図4
に示すように、試料4の観察位置を確認するために1つ
のCRTモニター34の画面38上に表示される出力ス
ペクトル画像Nによるスペクトルの全体スペクトルSを
有する枠内に、動画表示と同倍率の出力観察画像M’が
重ね合わされている。この重ね合わせモード切り換え
は、本実施例では、スーパーインポーズ装置33に具備
されたスイッチパネル35で操作できることから、試料
4の測定対象部位Aとこれに重ね合わせた全体像を出力
観察画像M’で表示しながらの出力スペクトル画像Nの
全体スペクトルSの測定が行える。したがって、このま
まをプリント出力することでデータの信頼性向上につな
がる。なお、図5、図7において、モニター画面38の
向かって下側には、縮小された全体スペクトルS’が表
示されており、モニター画面38上には部分スペクトル
S’’が表示されている。
ーズ装置33のモード変換用コントローラに、スペクト
ル情報Nと観察画像Mを取り込み、図4〜図7で示す各
種の出力モードに変換してCRTモニター34あるいは
プリンタ37に出力する。例えば、上述したような図4
に示すように、試料4の観察位置を確認するために1つ
のCRTモニター34の画面38上に表示される出力ス
ペクトル画像Nによるスペクトルの全体スペクトルSを
有する枠内に、動画表示と同倍率の出力観察画像M’が
重ね合わされている。この重ね合わせモード切り換え
は、本実施例では、スーパーインポーズ装置33に具備
されたスイッチパネル35で操作できることから、試料
4の測定対象部位Aとこれに重ね合わせた全体像を出力
観察画像M’で表示しながらの出力スペクトル画像Nの
全体スペクトルSの測定が行える。したがって、このま
まをプリント出力することでデータの信頼性向上につな
がる。なお、図5、図7において、モニター画面38の
向かって下側には、縮小された全体スペクトルS’が表
示されており、モニター画面38上には部分スペクトル
S’’が表示されている。
【0021】図2、図3は、スーパーインポーズ装置4
3がフーリエ変換赤外分光用コントローラ45に基板と
して組み込まれている本発明の第2実施例を示す。図
2、図3において、スーパーインポーズ装置43が、フ
ーリエ変換赤外分光用コントローラ45からの第2画像
信号(図示せず)とモニター30からの第1画像信号m
とを入力してスペクトル画像Nと観察画像Mを取り込
み、さらに、フーリエ変換赤外分光用コントローラ45
は、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像信号t
を出力するモード変換用コントローラ(図示せず)に接
続されたマウス46(図3参照)を具備している。
3がフーリエ変換赤外分光用コントローラ45に基板と
して組み込まれている本発明の第2実施例を示す。図
2、図3において、スーパーインポーズ装置43が、フ
ーリエ変換赤外分光用コントローラ45からの第2画像
信号(図示せず)とモニター30からの第1画像信号m
とを入力してスペクトル画像Nと観察画像Mを取り込
み、さらに、フーリエ変換赤外分光用コントローラ45
は、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像信号t
を出力するモード変換用コントローラ(図示せず)に接
続されたマウス46(図3参照)を具備している。
【0022】この実施例のものは上記構成を有するか
ら、スーパーインポーズ装置43が上記第1実施例のよ
うに箱状の装置自体で設置されるものではなくて、フー
リエ変換赤外分光用コントローラ45に上記第1実施例
のスーパーインポーズ装置33より小さい形状の基板と
して組み込まれる程度の大きさに構成されることから、
本顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置の設置の面積を
更に低減できる。
ら、スーパーインポーズ装置43が上記第1実施例のよ
うに箱状の装置自体で設置されるものではなくて、フー
リエ変換赤外分光用コントローラ45に上記第1実施例
のスーパーインポーズ装置33より小さい形状の基板と
して組み込まれる程度の大きさに構成されることから、
本顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置の設置の面積を
更に低減できる。
【0023】また、本実施例でも上記第1実施例と同様
の効果を奏する。すなわち、スペクトル画像N内に観察
画像Mを自由な位置、大きさで表示できる基板形状のス
ーパーインポーズ装置43を利用して、一画像内に2情
報を表示させることでモニターを1つだけにする。例え
ば、図6に示すように、試料4の観察位置を確認するた
めに1つのCRTモニター34の画面38上に表示され
る出力スペクトル画像によるスペクトルの全体スペクト
ルSを有する枠外に、縮小された出力観察画像M’’を
重ね合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル全体
Sが表示されているモニター画面38の向かって右上に
縮小された観察画像M’’を表示できる。この表示モー
ドは、図6のシングル・スペクトル表示モードから、例
えば図7のダブル・スペクトル表示モードに、キーボー
ドあるいはマウス46で切り替えが可能である。しか
も、分光測定中にも試料4の測定対象部位Aが分かるよ
うに、スーパーインポーズ装置43に静止画メモリ機能
を設ける構成では、観察画像M’’を分光測定中にも表
示できる。また、観察画像M’’とスペクトル全体Sの
データを同時に光ディスク36へ保存することもでき
る。
の効果を奏する。すなわち、スペクトル画像N内に観察
画像Mを自由な位置、大きさで表示できる基板形状のス
ーパーインポーズ装置43を利用して、一画像内に2情
報を表示させることでモニターを1つだけにする。例え
ば、図6に示すように、試料4の観察位置を確認するた
めに1つのCRTモニター34の画面38上に表示され
る出力スペクトル画像によるスペクトルの全体スペクト
ルSを有する枠外に、縮小された出力観察画像M’’を
重ね合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル全体
Sが表示されているモニター画面38の向かって右上に
縮小された観察画像M’’を表示できる。この表示モー
ドは、図6のシングル・スペクトル表示モードから、例
えば図7のダブル・スペクトル表示モードに、キーボー
ドあるいはマウス46で切り替えが可能である。しか
も、分光測定中にも試料4の測定対象部位Aが分かるよ
うに、スーパーインポーズ装置43に静止画メモリ機能
を設ける構成では、観察画像M’’を分光測定中にも表
示できる。また、観察画像M’’とスペクトル全体Sの
データを同時に光ディスク36へ保存することもでき
る。
【0024】このように上記第1,第2の各実施例で
は、観察画像を、その試料のフーリエ変換赤外分光測定
により得たスペクトル情報にモニター上で合成し、表示
させることができる。
は、観察画像を、その試料のフーリエ変換赤外分光測定
により得たスペクトル情報にモニター上で合成し、表示
させることができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、画像重ね合わせ手段にスペクトル画像と、試料の測
定対象部位と全体像を重ね合わせた観察画像とを取り込
み、合成画像信号を合成画像表示手段へ出力することか
ら、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせた全体像を
出力観察画像で表示しながらの出力スペクトル画像の測
定が行える。すなわち、観察画像を、その試料のフーリ
エ変換赤外分光測定により得たスペクトル画像に画像重
ね合わせ手段で合成し、合成画像表示手段に表示させる
ことができることから、前記出力観察画像と出力スペク
トル画像の2情報をCRTモニターに出力することで、
複雑な機構を必要とせずに装置の設置の面積が低減でき
るとともに、フーリエ変換赤外分光測定中には、現在、
スペクトル測定している測定対象部位がどこなのかを観
察画像を表示しながら測定ができる。そして、プロッタ
出力した出力スペクトル画像がどこを測ったものなのか
を、プリンタ等により一枚の紙に表示できたり、保存し
た前記2情報も、光ディスク等のメモリから呼び出せ
ば、出力観察画像および出力スペクトル画像が出てくる
ので後日、これら2情報の測定対象部位の不一致をもた
らすおそれは無くなる利点を有する。
は、画像重ね合わせ手段にスペクトル画像と、試料の測
定対象部位と全体像を重ね合わせた観察画像とを取り込
み、合成画像信号を合成画像表示手段へ出力することか
ら、試料の測定対象部位とこれに重ね合わせた全体像を
出力観察画像で表示しながらの出力スペクトル画像の測
定が行える。すなわち、観察画像を、その試料のフーリ
エ変換赤外分光測定により得たスペクトル画像に画像重
ね合わせ手段で合成し、合成画像表示手段に表示させる
ことができることから、前記出力観察画像と出力スペク
トル画像の2情報をCRTモニターに出力することで、
複雑な機構を必要とせずに装置の設置の面積が低減でき
るとともに、フーリエ変換赤外分光測定中には、現在、
スペクトル測定している測定対象部位がどこなのかを観
察画像を表示しながら測定ができる。そして、プロッタ
出力した出力スペクトル画像がどこを測ったものなのか
を、プリンタ等により一枚の紙に表示できたり、保存し
た前記2情報も、光ディスク等のメモリから呼び出せ
ば、出力観察画像および出力スペクトル画像が出てくる
ので後日、これら2情報の測定対象部位の不一致をもた
らすおそれは無くなる利点を有する。
【図1】本発明の第1実施例を示す全体ブロック図であ
る。
る。
【図2】本発明の第2実施例を示す全体ブロック図であ
る。
る。
【図3】上記第2実施例における要部構成説明図であ
る。
る。
【図4】本発明における重ね合わせモードの第1の例を
示す図である。
示す図である。
【図5】本発明における重ね合わせモードの第2の例を
示す図である。
示す図である。
【図6】本発明における重ね合わせモードの第3の例を
示す図である。
示す図である。
【図7】本発明における重ね合わせモードの第4の例を
示す図である。
示す図である。
【図8】従来例の測定対象部位設定動作を示す全体構成
説明図である。
説明図である。
【図9】一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置
の測定方法を説明するための図である。
の測定方法を説明するための図である。
【図10】同じく一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置の測定方法を説明するための図である。
測定装置の測定方法を説明するための図である。
【図11】同じく一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置の測定方法を説明するための図である。
測定装置の測定方法を説明するための図である。
【図12】従来例の分光測定動作を示す全体構成説明図
である。
である。
4…試料、6…像点、30…CCDカメラ(モニタ
ー)、31…顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本
体、32,45…フーリエ変換赤外分光用コントロー
ラ、33,43…スーパーインポーズ装置(画像重ね合
わせ手段)、34…CRTモニター(合成画像表示手
段)、M…観察画像、m…第1画像信号、N…スペクト
ル画像、n…第2画像信号、t…合成画像信号、m’…
出力観察画像、n’…出力スペクトル画像。
ー)、31…顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本
体、32,45…フーリエ変換赤外分光用コントロー
ラ、33,43…スーパーインポーズ装置(画像重ね合
わせ手段)、34…CRTモニター(合成画像表示手
段)、M…観察画像、m…第1画像信号、N…スペクト
ル画像、n…第2画像信号、t…合成画像信号、m’…
出力観察画像、n’…出力スペクトル画像。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−224482(JP,A) 特開 昭63−264047(JP,A) 実開 平4−99060(JP,U)
Claims (4)
- 【請求項1】 試料の測定対象部位を観察するために試
料の測定対象部位を透過した光または照射光を像点で結
像させる顕微機能、赤外光を用いて前記測定対象部位の
フーリエ変換赤外分光測定を行うフーリエ変換機能およ
び前記像点を通過した光を像点における結合像としてモ
ニターするモニターを有し、該モニターからの信号を、
前記測定対象部位と全体像を重ね合わせた観察画像を表
示する第1画像信号として出力する顕微式フーリエ変換
赤外分光測定装置本体と、前記測定対象部位を前記フー
リエ変換機能によりフーリエ変換赤外分光測定して得た
スペクトル画像を表示する第2画像信号を出力するフー
リエ変換赤外分光用コントローラと、前記顕微式フーリ
エ変換赤外分光測定装置本体およびフーリエ変換赤外分
光用コントローラからそれぞれ第1画像信号および第2
画像信号を入力し、この第1および第2画像信号を合成
し、該第2画像信号の前記スペクトル画像に、第1画像
信号の前記観察画像を重ね合わせ、第1画像信号および
第2画像信号の合成画像信号を出力する画像重ね合わせ
手段と、該画像重ね合わせ手段から出力された出力観察
画像および出力スペクトル画像からなる合成画像を表示
する合成画像表示手段とを備えた顕微式フーリエ変換赤
外分光測定装置。 - 【請求項2】 画像重ね合わせ手段が、フーリエ変換赤
外分光用コントローラからの第2画像信号とモニターか
らの第1画像信号とを入力してスペクトル画像と観察画
像を取り込むスーパーインポーザであり、該スーパーイ
ンポーザが、所定の重ね合わせモードに変換して合成画
像信号を出力するモード変換用コントローラに連動する
モード変換用スイッチパネルを具備している請求項1に
記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置。 - 【請求項3】 画像重ね合わせ手段が、フーリエ変換赤
外分光用コントローラに基板として組み込まれてなるス
ーパーインポーザであり、該スーパーインポーザが、フ
ーリエ変換赤外分光用コントローラからの第2画像信号
とモニターからの第1画像信号とを入力してスペクトル
画像と観察画像を取り込み、さらに、前記フーリエ変換
赤外分光用コントローラは所定の重ね合わせモードに変
換して合成画像信号を出力するモード変換用コントロー
ラに連動するモード変換用スイッチパネルを具備してい
る請求項1に記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装
置。 - 【請求項4】 合成画像表示手段が1つのCRTモニタ
ーであり、画像重ね合わせ手段のモード変換用コントロ
ーラが、前記1つの該CRTモニター画面上に出力観察
画像を静止画像として表示する静止画像形成機能と、該
静止画像をフーリエ変換赤外分光測定中に表示可能な静
止画像メモリ機能とを有する請求項1ないし請求項3の
いずれかに記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20189193A JP3072948B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20189193A JP3072948B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0735689A JPH0735689A (ja) | 1995-02-07 |
JP3072948B2 true JP3072948B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=16448546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20189193A Expired - Fee Related JP3072948B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3072948B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014526035A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-10-02 | シレカ セラノスティック エルエルシー | スペクトルイメージングによる生体試料の分析方法 |
US9495745B2 (en) | 2010-06-25 | 2016-11-15 | Cireca Theranostics, Llc | Method for analyzing biological specimens by spectral imaging |
US10460439B1 (en) | 2015-08-12 | 2019-10-29 | Cireca Theranostics, Llc | Methods and systems for identifying cellular subtypes in an image of a biological specimen |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3381777B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2003-03-04 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
US6888148B2 (en) * | 2001-12-10 | 2005-05-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample |
-
1993
- 1993-07-21 JP JP20189193A patent/JP3072948B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9495745B2 (en) | 2010-06-25 | 2016-11-15 | Cireca Theranostics, Llc | Method for analyzing biological specimens by spectral imaging |
US10067051B2 (en) | 2010-06-25 | 2018-09-04 | Cireca Theranostics, Llc | Method for analyzing biological specimens by spectral imaging |
JP2014526035A (ja) * | 2011-06-24 | 2014-10-02 | シレカ セラノスティック エルエルシー | スペクトルイメージングによる生体試料の分析方法 |
US10460439B1 (en) | 2015-08-12 | 2019-10-29 | Cireca Theranostics, Llc | Methods and systems for identifying cellular subtypes in an image of a biological specimen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0735689A (ja) | 1995-02-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |