JP3070006B2 - 薄板状ワークの搬送方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、薄板状ワークに
フォトリソグラフィを適用してＬＣＤ（液晶ディスプレ
イパネル）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、
ＰＷＢ（プリント配線板）および印刷製版等を製作する
際の画像形成工程において、ワークを露光装置の露光部
に搬入し、露光後、ワークを露光部から搬出するために
適用される薄板状ワークの搬送方法、特にワークの表面
に搬送装置を接触させることなく、ワークを搬送できる
薄板状ワークの搬送方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】露光装置における薄板状ワークの搬送方
法については、取り扱う製品の種類によって格段の相違
がある。すなわちＰＷＢおよび印刷製版用のワークを搬
送する手段としては、例えば図２３に示すように内部を
減圧状態にした吸着箱１の下面に多数の真空チャック又
は吸着パッドを装着した２組の搬送装置２，２ａが広く
使用されており、この搬送装置２は仮位置決め部４にお
いて位置決めされたワーク３を吸着して露光部５に搬送
し、また搬送装置２ａは露光部５において露光されたワ
ーク３を吸着して搬出部６に搬送するようにしていた。
なお、図中の７，７ａは上、下部の焼枠ガラス、８，８
ａは放電灯，９，９は位置決め用ピンである。

【０００３】しかし、ＬＣＤおよびＰＤＰ用のワークを
搬送する手段については、次に述べるように真空チャッ
ク等を利用してワークを吸着することが困難であるた
め、露光部へのワークの搬入操作および露光部からの搬
出操作がすべて手動で行われており、生産能率の向上が
強く望まれている。

【０００４】真空チャック等を利用できない理由を、透
明なガラス基板上に「ＴＦＴ」と呼ばれる薄膜トランジ
スタを碁盤目状に配設したアクティブマトリクス方式の
ＬＣＤについて説明すると、この種のＴＦＴ７は、例え
ば図２４に示すようにゲート電極１３，半導体層１４，
保護膜層１５，ソース電極１７，ドレイン電極１８およ
びリード線（図示せず）等を層状に積み重ねて構成され
ており、これらの各層は、いずれも各層ごとに、その都
度フォトリソグラフィーを適用して下方の層から上方の
層に向って順次、形成されてゆくので、加工中のワーク
の表面を真空チャック等で吸着すると、ワークの上面に
損傷を招くおそれがあるからである。

【０００５】更に、真空チャック等を利用できない理由
を図２５に示す３電極面放電型のＰＤＰについて説明す
ると、このＰＤＰの背面側のガラス基板１０１の内側に
は、アドレス電極１０２，誘電体層１０３，隔壁１０４
が形成されていて、隣り合う隔壁１０４，１０４の谷間
には、三色（赤緑青）の蛍光体の薄層１０５が形成され
ており、前記アドレス電極の形成、隔壁の形成、蛍光体
の薄層の形成、ガラス基板の洗浄等の各工程では、その
都度、紫外線を照射するので、露光装置への搬入、搬出
操作が不可欠となるが、加工途中のパネル部分１０６の
上面（隔壁側）に真空チャック等を接触させることは好
ましくないからである。

【０００６】またパネル部分１０６の隔壁側は、前面側
のパネル部分１０７と一体に貼り合わせてＰＤＰを形成
したとき、ＰＤＰの内側に位置して、ガラス基板１０１
がＰＤＰの表面側にくるので、露光のための搬送中、ガ
ラス基板１０１の表面にキズを発生させないように取扱
うことが重要である。

【０００７】更に、最近の傾向であるワークの大型化
（ＰＤＰでは幅×長さ×厚みが１０００ｍｍ×１３００
ｍｍ×０．６ｍｍのものがある）、ワークの厚みの極薄
化（ＰＤＰの中間材では厚みが５０μｍのものがあ
る）、画像パターンの微細化（前記アクティブマトリク
ス型ＬＣＤのＴＦＴの大きさは９〜１２μｍで位置決め
精度は±０〜７μｍである）およびワーク底面の平坦性
の向上に対する要求の高まりは、ＬＣＤ，ＰＤＰに対す
る手動操作を困難にするばかりでなく、ＰＷＢおよび印
刷製版に対する従来の手段についても再検討を必要とす
る状況になっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この発明は前記の問題
点に鑑み、ワークの上面に搬送装置を接触させることな
く、ワークを露光位置に搬入および搬出できる薄板状ワ
ークの搬送方法を提供することを第１の課題とし、更
に、搬送中のワーク下面に引っ掻きキズ等を生じない搬
送方法を提供することを第２の課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題は、次に述べる
請求項１ないし７に記載された発明によって達成され
る。 （１）請求項１の発明は、搬入側に設けたローラコンベ
アの上部に薄板状ワークを載置して、露光部に向かって
移送する工程と、移送中のワークを前記露光部に設けた
ベルトコンベアの上部に受け取って、中央の主定盤とこ
の主定盤に平行な両側に密接及び離隔可能に配置した左
右の補助定盤とからなる露光用定盤の上方に搬入する工
程と、前記ベルトコンベアを下降させて、前記露光用定
盤の上面にワークを移載する工程と、露光後、前記ベル
トコンベアを上昇させて、該ベルトコンベアの上部にワ
ークを受け取り、更に前記露光用定盤の上方に持ち上げ
る工程と、持ち上げたワークを前記ベルトコンベアの上
部に載置して、前記露光部から搬出する工程と、搬出中
のワークを搬出側に設けたローラコンベアの上部に受け
取って、移送する工程と、からなる。 そして、前記ベル
トコンベアが昇降する際に、前記左右の補助定盤が前記
主定盤の側方に離隔する薄板状ワークの搬送方法として
構成した。

【００１０】請求項１の構成によると、全工程を通して
ワークは常時、その下面がローラコンベア又はベルトコ
ンベアに支持されているので、搬送装置がワークの表面
に接触することはないという利点がある。また、一対の
べルトコンベアがワークを支持した際の支持スパンを大
きく設定しなくても済むので、ワークの幅方向の中央部
が下方に垂れ下がることがなく、ベルトコンベアから搬
送側のローラコンベアへのワークの移載が円滑に行われ
るという利点がある。さらに、ベルトコンベアが降下
し、その途中でワークを主定盤、補助定盤に受け渡す
と、左右の補助定盤を中央の主定盤に密着させる動作を
行う。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明に加え
て搬入側及び搬出側の各ローラコンベアの搬送速度をベ
ルトコンベアの搬送速度と等しく設定したものであり、
この構成によると、隣り合う２組のコンベア間でワーク
の受渡しを行う際、ローラ又はベルトが空回りしてワー
クの下面に引き掻きキズを与えないという利点がある。

【００１２】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
に加えてベルトコンベアが、その上部に露光済みのワー
クを載置して前記露光部から搬出する際に、前記搬入側
に設けたローラコンベアが、その上部に次に露光すべき
ワークを載置して該露光部に向かって移送するものであ
り、この構成によると、ワークの搬入と搬出を同時に並
行して行うのでワーク一枚当たりの搬送時間を短縮する
ことが可能になり、生産性を向上できるという利点があ
る。

【００１３】請求項4の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかの発明に加えて搬送側に設けたローラコンベア
が、中央の主ローラコンベアと、前記主ローラコンベア
における搬送方向に平行な両側に、昇降自在に配置した
左右の補助ローラとからなり、前記ベルトコンベアから
ワークを受け取る際、前記左右の補助ローラが下方の待
避位置にあって、前記主ローラコンベアがワークを受け
取ったのち、該左右の補助ローラが該主ローラコンベア
と同じレベルに上昇するようにしたものである。

【００１４】この構成によると、ワークの外形寸法が大
きいか、あるいはワークの板厚が薄いため、ベルトコン
ベアで支持されたワークの左右の両側部が下方に垂れ下
がっていても、ベルトコンベアから搬出側のローラコン
ベアへの移載が円滑に行われるという利点がある。

【００１５】請求項５の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかの発明に加えて前記主定盤が、空気を吸引する多
数の空気孔を有していて、かつ昇降自在に構成されてお
り、露光後、ワークがマスクフィルムに焼付いた状態で
上焼枠ガラスと共に上昇した際、前記主定盤が上昇して
ワークを吸着し、その後、下降してワークを該マスクフ
ィルムから離間させ、更に下降してワークを前記ベルト
コンベアの上部に移載するようにしたものである。この
構成によると、簡単な構成で、ワークをマスクフィルム
から離間させることができるという利点がある。

【００１６】請求項６の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかの発明に加えて、前記主及び補助の各露光用定盤
に冷却装置を設けたものであり、この構成によると、ワ
ークの熱膨張を軽減できるので、ワークの外形寸法が大
きくなっても精密な画像を形成できるという利点があ
る。

【００１７】請求項７の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかの発明に加えて前記ワークを前記露光用定盤の上
部に移載したのち、ワークの中心が該露光用定盤の中心
にくるようにワークを仮位置決めする工程を有してい
て、位置決めの際、前記露光用定盤に設けた多数の空気
孔から圧縮空気を吹き出してワークを該露光用定盤の上
面に浮上させ、その状態で該上面に沿ってワークを移動
するものであり、この構成によると、ワークの下面に引
っ掻きキズを与えることなく、ワークの位置決めをでき
るという利点がある。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例
である搬送方法の手順を示す工程図、図２は搬送装置の
斜視図、図３は図２の搬送装置を組み込んだ露光装置の
正面図、図４は図３の露光装置の切断平面図、図５はベ
ルトコンベア装置の側面図、図６は同じくベルトコンベ
ア装置の切断立面図である。

【００１９】そして、この例に示す搬送方法の主要部
は、搬入側に設けたローラコンベア２１（図３参照）の
上部に薄板状ワーク２２を載置して露光部２５に向って
移送する工程Ｉと、移送中のワーク２２を露光部２５に
設けたベルトコンベア２３，２３の上部に受け取って露
光用定盤２４の上方に搬入する工程ＩＩと、前記ベルト
コンベア２３，２３を下降させて前記露光用定盤２４の
上面にワーク２２を移載する工程ＩＩＩと、露光後、前
記ベルトコンベア２３を上昇させてベルトコンベア２
３，２３の上部にワーク２２を受け取り、更に露光用定
盤２４の上方に持ち上げる工程ＩＶと、持ち上げたワー
ク２２を前記ベルトコンベア２３，２３の上部に載置し
て露光部２０から搬出する工程Ｖと、搬出中のワーク２
２を搬出側に設けたローラコンベア２５の上部に受け取
って移送する工程ＶＩ等によって構成されている。以
下、ワークの搬送および露光に関与する各装置の構成に
ついて説明する。

【００２０】搬入側のローラコンベア２１は図２に示す
ように、モータ３１によって駆動される複数個の駆動輪
２１ａと、複数個の従動輪２１ｂとからなり、各ローラ
２１ａ，２１ｂは矢印Ｃ方向に回転してワーク２２を露
光部２５に向って移送するようになっている。

【００２１】なお、前記モータ３１は後述するベルトコ
ンベア駆動用モータ２８と同期して起動および停止する
ようになっており、このようにすると、ベルトコンベア
２３，２３がその上部に露光済みのワークを載置して露
光部２５から搬出する際に、これと並行してローラコン
ベア２１が次に露光すべきワークを載置して露光部２５
に移送することになる。従って、ワーク一枚当りの搬送
時間を短縮することが可能になり、生産性が向上する。

【００２２】露光部２５は図３に示すように、露光時、
ワーク２２をその下方から支持する露光用定盤２４と、
左右一対からなるベルトコンベア２３，２３と、ワーク
２２の中心が露光用定盤２４の中心にくるようにワーク
２２を位置決めする仮位置決め装置と、下面にマスクフ
ィルム（図示せず）を貼着した状態で上下方向および水
平方向に移動する上焼枠ガラス７３と、紫外線を照射す
る放電灯８７等によって構成されている。

【００２３】なお、光源装置としては、図３に示すもの
に代えて図２２に示すように放物面反射鏡９０，９２；
フライアイレンズ９３および平面反射鏡９４，９５，９
６を利用してワーク２２に平行光９７を照射するように
構成したものを使用してもよい。

【００２４】一対のベルトコンベア２３，２３は図５お
よび図６に示すように、共通の支持枠２７の上部に走行
可能に取り付けられており、この支持枠２７に固定した
モータ２８によって駆動されるようになっている。更
に、共通の支持台２７は、その前後側の下面に取り付け
たシリンダ装置２６，２６によって昇降するように構成
されており、ベルトコンベア２３，２３が上限位置にあ
るとき、ベルトコンベア２３，２３の上面はローラコン
ベア２１の上面と同じレベルにくるように、また下限位
置にあるとき、ベルトコンベア２３，２３の上面が露光
用定盤２４の上面より低い位置にくるようにシリンダ装
置２６，２６のストロークが設定されている。

【００２５】なお、ベルトコンベアのベルトはワーク２
２の下面に引っ掻きキズを与えないように軟性の合成ゴ
ム等でつくられており、またベルトコンベア２３の搬送
速度はローラコンベア２１からワーク２２を受け取る際
にローラコンベアの駆動輪２２ａ又はベルト２３のどち
らかが空回りしてワーク２２の下面に引っ掻きキズを与
えないようにローラコンベア２１の搬送速度と等しくな
るように設定されている。

【００２６】モータ２８は、搬入側のローラコンベア２
１を駆動するモータ３１と同時に起動し、またワークが
露光用定盤２４の真上に到達したことを検出するセンサ
３０（図４参照）からの停止信号によって停止するよう
になっている。なお、停止信号を発生するセンサ３０の
取付位置は、ワークの寸法によって、その都度、取付位
置を変更できるようになっている。

【００２７】露光用定盤２４は図７および図８に示すよ
うに、中央に位置する長方形をした主定盤３２と、この
主定盤３２の両側に密接および離隔可能に配置した左右
の補助定盤３３，３３等によって構成されており、各補
助定盤３３，３３の側部には、２台のシリンダ装置３
４，３４が水平方向に、また主定盤３２の下面には図８
に示すようにシリンダ装置３５が垂直方向に配置されて
いる。

【００２８】シリンダ装置３４，３４は左右の補助定盤
３３，３３を主定盤３２の側部に密接させたり、あるい
は側部から離隔させるためのもので、ベルトコンベア２
３，２３が昇降動作する際、左右の補助定盤を主定盤の
側方に離隔させるようになっている。

【００２９】なおシリンダ装置３４，３５には、各ロッ
ドの伸縮状態を検出するリミットスイッチ（図示せず）
および駆動用作動媒体（空気又は油）の供給および排出
を制御するための電磁式切換弁（図示せず）等が設置さ
れており、これ等のリミットスイッチおよび電磁式切換
弁はワークの移動位置を検出するセンサ（図示せず）等
と共同してワークの搬送作業を自動的に実行するように
なっている。

【００３０】主および補助の各定盤３２，３３，３３
は、いずれも中空構造で、図８に示すように上方に向っ
て開口した凹所を有する台板３６，３７，３７と各台板
３６，３７，３７の上部に取り付けた平坦な天板３８，
３９，３９等によって構成されており、各天板３８，３
９，３９には、天板を貫通して中空部４０，４２，４２
に連通する多数の空気孔４１が各天板のほぼ全面に亘っ
て開口している。

【００３１】また各台板３６，３７，３７の下面には、
空気管４３が取り付けられていて、この空気管４３を介
して各中空部４０，４２，４２に圧縮空気を注入した
り、あるいは各中空部４０，４２，４２から空気を吸引
するようになっている。

【００３２】多数の空気孔４１はワークを位置決めする
際、この空気孔４１から圧縮空気を吹き出してワークを
浮上させるために使用される一方、露光時、ワークを天
板に密着させるために使用される。また主定盤３２の空
気孔４１は、マスクフィルムに焼付いたワークをマスク
フィルムから引き剥がすためにも使用される。

【００３３】各定盤の中空部４０，４２，４２には、図
７および図８に示すように冷却液を流通するための冷却
管４４が装着されている。冷却管４４は各天板３８，３
９，３９の裏面および台板の凹所の内面に密接した状態
で中空部を蛇行している。なお、冷却管４４を装着する
代わりに、図１０に示すように各台板の内部に冷却流路
４５を穿設したり、あるいは図１１に示すように冷却管
４４を台板の下面に取り付けるようにしてもよい。

【００３４】露光用定盤２４の近傍にはワークの仮位置
決め装置が配置されている。この仮位置決め装置は図１
２および図１３に示すように、露光用定盤２４の四周に
２個づつ配置した合計８個の摺動子４６と、各摺動子４
６が、その下面を露光用定盤２４の上面に当接させた状
態で露光用定盤２４の中心側に水平移動するようにすべ
ての摺動子を２個づつ１組として支持する合計４組の支
持装置４７，４７，４７，４７と、対向する摺動子が同
時に動作するように各支持装置を２組づつ同時に駆動す
る２組の駆動装置４８，４９等によって構成されてい
る。

【００３５】各摺動子４６は図１４に示すように、中心
部に軸受５０を設けた円筒状のリング５２と、軸受５０
を介してリング５２を回転自在に支承する心棒５３と、
この心棒５３の下端に取り付けた合成樹脂製の抜け止め
５４等によって構成されており、前記抜け止め５４の底
面は球面状に形成されていて、露光用定盤２４の上面を
滑動するようになっている。

【００３６】各支持装置４７は図１２および図１３に示
すように、摺動子４６を２個づつ支持するコの字形のア
ーム５５と、アーム５５の下面に取り付けた支柱５６
と、支柱５６の下端に取り付けたベース５７と、このベ
ース５７を水平方向に移動可能に支持する案内機構等に
よって構成されており、この案内機構は、ベース５７の
一方の端部の下面に取り付けた案内金物５８と、この案
内金物５８を貫通する水平な案内棒５９と、ベース５７
の他方の端部の下面に取り付けた走行車輪６０等によっ
て構成されており、この走行車輪６０は水平な走行路６
２を走行するようになっている。なお、ここには図示し
ていないが、各ベース５７には、支持装置４７の走行位
置を検出するセンサが取り付けられている。

【００３７】２組の駆動装置４８，４９は相互に直交す
るように露光用定盤２４の下方に配置した２組の無端の
チエーン６３，６４と、この２組のチエーン６３，６４
を個別に正逆方向に走行駆動する２個のモータ６５，６
５等によって構成されている。そして、前記４組の支持
装置４７のうちの相互に対向する２組の支持装置がそれ
ぞれ１本のチエーンを共有して、チエーンの両端部に近
いところに連結されている。

【００３８】対向する２組の支持装置４７，４７を１本
のチエーン６３又は６４に連結するには、図１９に示す
ように一方の支持装置のベース５７を、連結金物６６を
介してチエーンの下側部分６８に、また他方の支持装置
のベース５７を、連結金物６７を介してチエーンの上側
部分６９に連結する。

【００３９】このように支持装置をチエーンに連結する
と、モータ６５を或る方向に回転したとき、対向する２
組の支持装置が相互に近接する方向に移動し、またモー
タ６５を反対方向に回転したとき、対向する２組の支持
装置が相互に離反する方向に移動する。

【００４０】位置決め操作を行う際は、図１４に示すよ
うに各定盤３２，３３，３３の空気孔４１から圧縮空気
を一斉に吹き出してワーク２２を浮上させ、リング５２
の側部をワーク２２の周縁に当接させてワーク２２を押
動する（矢印ａ）。各摺動子４６は定盤２４の中心に対
して対称に配置してあるので、ワーク２２は、その中心
が露光用定盤２４の中心に一致するように位置決めされ
る。

【００４１】ワークが露光用定盤上を移動する際、ワー
クは露光用定盤の上面から浮上しているので、ワークの
裏面に損傷を生ずるおそれがない。また各摺動子４６の
下端が露光用定盤２４の上面を滑動しながらワーク２２
を押動するので、ワークの寸法の大小に拘わりなく、各
種サイズのワークを位置決めすることができる。

【００４２】摺動子の変形を図１５に示す。この摺動子
４６ａは下端にフランジ７０を取り付けた円筒状のリン
グ５２ａと、このリング５２ａに遊動自在に嵌入した状
態で下端と側部に設けた空気孔から圧縮空気を吹き出す
円柱状の中空軸７２によって構成されている。

【００４３】この摺動子４６ａによると、中空軸７２の
下端から吹き出した圧縮空気と、露光用定盤２４の空気
孔４１から吹き出した圧縮空気がフランジ７０を介して
リング５２ａを浮上させる一方、リング５２ａと中空軸
７２の間に空気軸受が形成されるので、摺動子４６ａは
露光用定盤の上面に接触することなく円滑に移動する。

【００４４】上焼枠ガラス７３（図３参照）の下面に
は、ここには図示していないが、マスクフィルム（ＰＷ
Ｂ，印刷製版の場合）又はガラスマスク（ＬＣＤ，ＰＤ
Ｐの場合）が貼着されており、これ等のマスクとワーク
の位置決め操作は上焼枠ガラスを水平方向に移動させて
行う。すなわち、図１６および図１７に示す駆動機構７
４，７４，７４および受止め機構７５，７５，７５を用
いて上焼枠ガラス７３をＸ軸方向（搬送方向）およびＹ
軸方向（搬送方向に直交する方向）に移動させ、マスク
フィルムに設けた整合マークをワークに設けた整合マー
クに一致させる。整合マークが完全に一致したかどうか
はテレビカメラ（図示せず）を用いて確認する。

【００４５】かくして、位置決め操作が完了すると、次
に露光を行う。露光の方法としては焼枠ガラスをワーク
に密着させる真空密着および焼枠ガラスをワークに近接
離間させて行うプロキシミティ露光の二つの方法がある
が、以下では真空密着を行う場合について説明する。な
お、図１７中の符号７６は土手ゴム、７７は上焼枠、７
８はモータ，７９はねじを利用した送り機構、８０はス
ライドベースである。

【００４６】搬出側のローラコンベア８５はモータ８８
によって駆動される中央のローラコンベア８４と、この
中央のローラコンベア８４の搬送方向に平行な両側に隣
接した左右の補助ローラ８２，８２と、この補助ローラ
８２，８２を昇降駆動するシリンダ装置８６，８６等に
よって構成されている。

【００４７】なお、前記モータ８８は後述するように露
光後、ベルトコンベア２３，２３がワーク２２を載置し
て上限位置に到達したことを知らせるシリンダ２６から
の信号によって自動的に起動するようになっている。ま
た、ローラコンベア８５の搬送速度はベルトコンベア２
３からワーク２２を受け取る際にローラコンベアの駆動
輪又はベルトコンベア２３のどちらかが空回りしてワー
ク２２の下面に引っ掻きキズを与えないようにベルトコ
ンベア２３の搬送速度と等しくなるように設定されてい
る。

【００４８】次に、搬送装置、露光用定盤およびこれ等
に関連する露光装置各部の作動について、図３，図１８
および図１９を参照して工程順に説明する。 （１）搬入側のローラコンベア２１がワーク２２を載置
して露光部２５に向って移送すると、ベルトコンベア２
３，２３がワーク２２を受け取って露光用定盤２４の上
方にワーク２２を搬入する〔図１参照〕。 （２）両側のシリンダ装置３４，３４が作動して左右の
補助定盤３３，３３を主定盤３２の側方に離隔させる
〔図１８（ａ）参照〕。

【００４９】（３）ベルトコンベア２３，２３が下降
し、その途中でワーク２２を主定盤３２，補助定盤３
３，３３に受け渡す〔図１８（ｂ）参照〕。 （４）両側のシリンダ装置３４，３４が作動して左右の
補助定盤３３，３３を中央の主定盤３２に密接させる
〔図１８（ｃ）参照〕。 （５）仮位置決め装置が作動してワーク２２の中心が主
定盤３２の中心にくるようにワーク２２を位置決めする
〔図１８（ｄ）参照〕。

【００５０】（６）仮位置決め装置が原位置に復帰する
と、マスクフィルムを貼着した上焼枠ガラス７３が主定
盤３２，補助定盤３３，３３の上部に降下し、次いで、
マスクフィルムとワークの位置合わせが行われる。ここ
で、土手ゴム７６が取り囲む内部空間を減圧状態にして
マスクフィルムをワークに密着させ、露光を行う〔図１
９（ａ）参照〕。

【００５１】（７）露光後、上焼枠ガラス７３が上昇し
て原位置に復帰すると、左右の補助定盤３３，３３が離
隔し、ベルトコンベア２３，２３が上昇してワーク２２
を受け取り、上限位置まで上昇する〔図１９（ｂ）参
照〕。 （８）ここで、ベルトコンベア２３，２３が作動してワ
ーク２２を露光部２５から搬出する。

【００５２】（９）この際、ベルトコンベア２３，２３
が動作を開始すると同時に搬出側のローラコンベア８５
および搬入側のローラコンベア２１が動作を開始する。
そして、ローラコンベア２１は次に露光すべきワークを
露光部２５に向って移送する一方、搬出側のローラコン
ベア８５がベルトコンベア２３，２３からワークを受け
取り、次の工程に向ってワークを移送する。

【００５３】この際、ワーク２２が大型で、板厚が薄い
ためワークの左右の側端部８３，８３が図２０（ａ）に
示すように垂れ下がる場合は、予め搬出側の補助ローラ
８２，８２を降下させておいて、中央のローラコンベア
８４でワークの中央部を受け止める。その後、図２０
（ｂ）に示すように補助ローラ８２，８２を上昇させて
垂れ下った側端部８３，８３を上方に持ち上げる。そし
て、補助ローラ８２，８２が中央のローラコンベア８４
と同じレベルに到達すると、ワークの姿勢が水平になっ
て次の工程に向けて搬出される。

【００５４】次に、露光によってマスクフィルムとワー
クの間に焼付現象を生じた際のワークの離間方法につい
て図２１（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）を参照して説明す
る。 （１）上焼枠ガラス７３を上昇させると、ワーク２２は
マスクフィルムに貼り付いた状態で上昇する〔図２１
（ａ）参照〕。 （２）ここで、左右の補助定盤３３，３３を側方に離隔
して主定盤３２を上昇させ、主定盤３２をワーク２２の
下面に当接させる〔図２１（ｂ）参照〕。

【００５５】（３）次いで、主定盤３２の中空部を減圧
状態にして主定盤をワーク２２に吸着させたのち主定盤
を適宜、降下させる。この操作によって、ワーク２２は
マスクフィルムから離間して主定盤３２の上面に載置さ
れる〔図２１（ｃ）参照〕。 （４）ここで、ベルトコンベア２３，２３を上昇させて
ワーク２２を受け取り、一方、ワーク２２を引き渡した
主定盤３２は下降して原位置に復帰する〔図２１（ｄ）
参照〕。

【００５６】なお、この発明は前記の発明の実施の形態
にのみ限定されるものではなく、例えばワークの外形寸
法が充分小さいか、あるいはワークの厚さが充分大きい
場合は、露光用定盤は分割型のものとする代りに一体の
ものとしても差支えないこと等、その他この発明の要旨
を逸脱しない範囲において種々の変更を加え得ることは
勿論である。

【００５７】

【発明の効果】以上に述べたように、この発明は次の優
れた効果を発揮する。 （１）請求項１の発明によると、ワークの上面に搬送装
置を接触させることなくワークを搬送することができ
る。と共に、前記ベルトコンベアが昇降する際に、前記
左右の補助定盤が前記主定盤の側方に離隔するため、ワ
ークの幅方向の中央部が下方に垂れ下がることがなく、
ベルトコンベアから搬出側のローラコンベアへのワーク
の移載が円滑に行われる。 （２）請求項２の発明によると、ワークの下面に損傷を
与えることなく、ワークを搬送することができる。

【００５８】（３）請求項３の発明によると、ワーク一
枚当たりの搬送時間を短縮することが可能になり、搬送
作業の生産性を向上することができる。 （４）請求項４の発明によると、ワークの外形寸法が大
きくても、あるいはワークの板厚が薄い場合でも、円滑
な搬送を行うことができる。 （５）請求項５の発明によると、マスクフィルムに焼付
いたワークを容易にマスクフィルムから引き剥がすこと
ができる。

【００５９】（６）請求項６の発明によると、ワークの
熱膨張を軽減できるので、ワークの外形寸法が大きくて
も精密な画像を形成することができる。 （７）請求項７の発明によると、ワークの中心が露光用
定盤の中心にくるように、かつワークの下面に損傷を与
えることなくワークを仮位置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態を示す工程図である。

【図２】この発明の方法を実行するための搬送装置の斜
視図である。

【図３】図２に示す搬送装置を組み込んだ露光装置の正
面図である。

【図４】図３におけるIV−IV方向からの矢視図である。

【図５】図３に示すベルトコンベアおよび駆動装置の一
部中間部省略の側面図（図６におけるＶ−Ｖ方向からの
矢視図）である。

【図６】図５におけるVI−VI方向からの矢視図である。

【図７】作動状態にある露光用定盤の平面図である。

【図８】図７におけるVIII−VIII方向からの矢視図であ
る。

【図９】図７に示す冷却手段の別の例を示す平面図であ
る。

【図１０】図９におけるＸ−Ｘ方向からの矢視図であ
る。

【図１１】図７に示す冷却手段の更に別の例を示す平面
図である。

【図１２】図３に示す仮位置決め装置の平面図である。

【図１３】図１２におけるXIII−XIII方向からの矢視図
である。

【図１４】仮位置決め装置の作動説明図である。

【図１５】図１４に示す摺動子の別の例を示す切断側面
図である。

【図１６】図３に示す上焼枠ガラスの近傍を示す底面図
である。

【図１７】図１６に示すXVII部の拡大切断側面図であ
る。

【図１８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は図２に示
す搬送装置の作動説明図である。

【図１９】（ａ）、（ｂ）は同じく図２に示す搬送装置
の作動説明図である。

【図２０】（ａ）、（ｂ）は図２に示す搬出側の補助ロ
ーラの作動説明図である。

【図２１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はワークの
離間方法の作動説明図である。

【図２２】光源装置の別の例を示す原理図である。

【図２３】従来の搬送装置の説明図である。

【図２４】薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の切断側面図で
ある。

【図２５】プラズマディスプレイパネルの部分を示す分
解斜視図である。

【符号の説明】

２１，８５ ローラコンベア ２２ ワーク ２３ ベルトコンベア ２４ 露光用定盤 ２５ 露光部 ２６，３４，３５ シリンダ装置 ３２ 主定盤 ３３ 補助定盤 ４０，４２ 中空部 ４１ 空気孔 ４４ 冷却管 ４５ 冷却流路 ４６ 摺動子 ４７ 支持装置 ６３，６４ チエーン ８２ 補助ローラ ８４ 中央のローラコンベア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 49/07 H01L 21/68 B65G 47/52

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬入側に設けたローラコンベアの上部に
   薄板状ワークを載置して、露光部に向かって移送する工
   程と、 移送中のワークを前記露光部に設けたベルトコンベアの
   上部に受け取って、中央の主定盤とこの主定盤に平行な
   両側に密接及び離隔可能に配置した左右の補助定盤とか
   らなる露光用定盤の上方に搬入する工程と、 前記ベルトコンベアを下降させて、前記露光用定盤の上
   面にワークを移載する工程と、 露光後、前記ベルトコンベアを上昇させて、該ベルトコ
   ンベアの上部にワークを受け取り、更に前記露光用定盤
   の上方に持ち上げる工程と、 持ち上げたワークを前記ベルトコンベアの上部に載置し
   て、前記露光部から搬出する工程と、 搬出中のワークを搬出側に設けたローラコンベアの上部
   に受け取って、移送する工程と、からなり、 前記ベルトコンベアが昇降する際に、前記左右の補助定
   盤が前記主定盤の側方に離隔する ことを特徴とする薄板
   状ワークの搬送方法。
2. 【請求項２】 搬入側及び搬出側の各ローラコンベアの
   搬送速度とベルトコンベアの搬送速度が等しく設定され
   ている請求項１に記載の薄板状ワークの搬送方法。
3. 【請求項３】 前記ベルトコンベアが、その上部に露光
   済みのワークを載置して前記露光部から搬出する際に、
   前記搬入側に設けたローラコンベアが、その上部に次に
   露光すべきワークを載置して該露光部に向かって移送す
   る請求項１又は２に記載の薄板状ワークの搬送方法。
4. 【請求項４】 前記搬出側に設けたローラコンベアが、
   中央の主ローラコンベアと、前記主ローラコンベアにお
   ける搬送方向に平行な両側に、昇降自在に配置した左右
   の補助ローラとからなり、前記 ベルトコンベアからワークを受け取る際、前記左右
   の補助ローラが下方の待避位置にあって、前記主ローラ
   コンベアがワークを受け取ったのち、該左右の補助ロー
   ラが該主ローラコンベアと同じレベルに上昇する請求項
   １ないし３のいずれかに記載の薄板状ワークの搬送方
   法。
5. 【請求項５】 前記主定盤が、空気を吸引する多数の空
   気孔を有していて、かつ昇降自在に構成されており、 露光後、ワークがマスクフィルムに焼付いた状態で上焼
   枠ガラスと共に上昇した際、前記主定盤が上昇してワー
   クを吸着し、その後、下降してワークを該マスクフィル
   ムから離間させ、更に下降してワークを前記ベルトコン
   ベアの上部に移載する請求項１ないし３のいずれかに記
   載の薄板状ワークの搬送方法。
6. 【請求項６】 前記主及び補助の各露光用定盤に冷却装
   置が設けてある請求項１ないし３のいずれかに記載の薄
   板状ワークの搬送方法。
7. 【請求項７】 前記ワークを前記露光用定盤の上部に移
   載したのち、ワークの中心が該露光用定盤の中心にくる
   ようにワークを位置決めする工程を有していて、 位置決めの際、前記露光用定盤に設けた多数の空気孔か
   ら圧縮空気を吹き出してワークを該露光用定盤の上面に
   浮上させ、その状態で該上面に沿ってワークを移動させ
   る請求項１ないし３のいずれかに記載の薄板状ワークの
   搬送方法。