JP3061111B2 - 寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定装置Info
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- JP3061111B2 JP3061111B2 JP8176252A JP17625296A JP3061111B2 JP 3061111 B2 JP3061111 B2 JP 3061111B2 JP 8176252 A JP8176252 A JP 8176252A JP 17625296 A JP17625296 A JP 17625296A JP 3061111 B2 JP3061111 B2 JP 3061111B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の寸法を
検出する寸法測定装置に関し、特に測定信号の測定範囲
内での線形性（リニアリティ）を補正する機能を有する
寸法測定装置に関する。
検出する寸法測定装置に関し、特に測定信号の測定範囲
内での線形性（リニアリティ）を補正する機能を有する
寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の寸法を測定し、電気信号とし
て出力する各種の測定装置が使用されている。例えば、
差動トランスを使用した電気マイクロメータや、空気圧
を利用したエアマイクロメータ等である。また、静電容
量センサや、渦電流センサ等もある。このような測定装
置の重要な性能項目として測定範囲がある。一般に、寸
法の変化に応じて測定信号が変化する範囲の寸法であれ
ば、寸法を測定することが可能である。一方、寸法測定
装置の別の性能項目としてリニアリティがある。これ
は、寸法に対する測定信号の変化具合が比例するかどう
かということである。以下、電気マイクロメータに使用
される差動トランスと例としてリニアリティについて説
明する。
て出力する各種の測定装置が使用されている。例えば、
差動トランスを使用した電気マイクロメータや、空気圧
を利用したエアマイクロメータ等である。また、静電容
量センサや、渦電流センサ等もある。このような測定装
置の重要な性能項目として測定範囲がある。一般に、寸
法の変化に応じて測定信号が変化する範囲の寸法であれ
ば、寸法を測定することが可能である。一方、寸法測定
装置の別の性能項目としてリニアリティがある。これ
は、寸法に対する測定信号の変化具合が比例するかどう
かということである。以下、電気マイクロメータに使用
される差動トランスと例としてリニアリティについて説
明する。
【０００３】図３は、差動トランスの基本構成を示す図
である。図３に示すように、一次コイル５２と、同じ巻
数の二次コイル５３、５４の中を鉄心（コア）５１が移
動可能に保持されている。一次コイル５２には発振器５
５から交流信号が印加されており、一次コイル５２から
コア５１を介して二次コイル５３、５４に誘導される誘
導起電力には、コア５１の位置に応じて差が生じるの
で、二次コイル５３、５４の誘導起電力の差を検出して
コア５１の位置を検出する。誘導起電力の差はアンプ５
６で増幅された後、整流回路５７で直流信号に変換され
る。例えば、コア５１が二次コイル５３、５４のちょう
ど中間の位置にあるとすると、一次コイル５２からコア
５１を介して二次コイル５３、５４に誘導される誘導起
電力は等しくなるので、この位置をゼロ点とする。コア
５１の変位方向により二次コイル５３、５４の一方の誘
導起電力が大きくなり、逆の方向に変位すればもう一方
の誘導起電力が大きくなり、誘導起電力の差はゼロ点か
らの変位が大きくなるに従って大きくなる。コアの変位
に応じて誘導起電力の差が単調に増加又は減少する範囲
が検出可能範囲である。
である。図３に示すように、一次コイル５２と、同じ巻
数の二次コイル５３、５４の中を鉄心（コア）５１が移
動可能に保持されている。一次コイル５２には発振器５
５から交流信号が印加されており、一次コイル５２から
コア５１を介して二次コイル５３、５４に誘導される誘
導起電力には、コア５１の位置に応じて差が生じるの
で、二次コイル５３、５４の誘導起電力の差を検出して
コア５１の位置を検出する。誘導起電力の差はアンプ５
６で増幅された後、整流回路５７で直流信号に変換され
る。例えば、コア５１が二次コイル５３、５４のちょう
ど中間の位置にあるとすると、一次コイル５２からコア
５１を介して二次コイル５３、５４に誘導される誘導起
電力は等しくなるので、この位置をゼロ点とする。コア
５１の変位方向により二次コイル５３、５４の一方の誘
導起電力が大きくなり、逆の方向に変位すればもう一方
の誘導起電力が大きくなり、誘導起電力の差はゼロ点か
らの変位が大きくなるに従って大きくなる。コアの変位
に応じて誘導起電力の差が単調に増加又は減少する範囲
が検出可能範囲である。
【０００４】しかし、この検出可能範囲において、誘導
起電力の差とコアの変位は完全には比例しない。以前の
電気マイクロメータでは、整流回路５７の出力を増幅し
た信号で、アナログメータの指針を駆動していたため、
誘導起電力の差とコアの変位が比例していないと、メー
タの読み取り値と寸法の間に差が生じ、測定誤差になっ
ていた。そのため、逆に十分なリニアリティがある範囲
を測定範囲としていた。
起電力の差とコアの変位は完全には比例しない。以前の
電気マイクロメータでは、整流回路５７の出力を増幅し
た信号で、アナログメータの指針を駆動していたため、
誘導起電力の差とコアの変位が比例していないと、メー
タの読み取り値と寸法の間に差が生じ、測定誤差になっ
ていた。そのため、逆に十分なリニアリティがある範囲
を測定範囲としていた。
【０００５】これに対して、測定信号をディジタル信号
に変換してディジタル表示する電気マイクロメータで
は、各電気マイクロメータ毎に、リニアリティに関する
情報をあらかじめ記憶しておき、測定値をこの情報に従
って補正した後出力するリニアリティの補正が行われ
る。図４は、リニアリティの補正が行われる従来の電気
マイクロメータの構成を示す図である。図示のように、
この電気マイクロメータは、測定ヘッド７と測定ヘッド
７の出力信号を処理する管制部９とで構成されている。
に変換してディジタル表示する電気マイクロメータで
は、各電気マイクロメータ毎に、リニアリティに関する
情報をあらかじめ記憶しておき、測定値をこの情報に従
って補正した後出力するリニアリティの補正が行われ
る。図４は、リニアリティの補正が行われる従来の電気
マイクロメータの構成を示す図である。図示のように、
この電気マイクロメータは、測定ヘッド７と測定ヘッド
７の出力信号を処理する管制部９とで構成されている。
【０００６】測定ヘッド７は、被測定物の径や幅を測定
するため、被測定物に接触する２個の測子７１、７２
と、各測子の変位をそれぞれ測定する２個の差動トラン
ス７３、７４と、整流回路７５、７６と、２つの整流回
路の出力の和を算出するアナログ加算回路７７とを有し
ている。管制部９は信号処理のためのコンピュータで構
成される部分で、加算回路７７の出力をディジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器（ＡＤＣ）９１と、ＣＰＵ９２
と、ＲＯＭ９３と、ＲＡＭ９４と、リニアリティ補正デ
ータを記憶する補正用ＲＯＭ９５と、補正した測定値を
表示する表示器９６とを有する。加算回路７７の出力を
ＡＤＣ９１に伝送するケーブル８が設けられている。
するため、被測定物に接触する２個の測子７１、７２
と、各測子の変位をそれぞれ測定する２個の差動トラン
ス７３、７４と、整流回路７５、７６と、２つの整流回
路の出力の和を算出するアナログ加算回路７７とを有し
ている。管制部９は信号処理のためのコンピュータで構
成される部分で、加算回路７７の出力をディジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器（ＡＤＣ）９１と、ＣＰＵ９２
と、ＲＯＭ９３と、ＲＡＭ９４と、リニアリティ補正デ
ータを記憶する補正用ＲＯＭ９５と、補正した測定値を
表示する表示器９６とを有する。加算回路７７の出力を
ＡＤＣ９１に伝送するケーブル８が設けられている。
【０００７】図４の電気マイクロメータは、測定ヘッド
７と管制部９に分離されているが、一体に構成されてい
るものもある。但し、ここでは図４のように、測定ヘッ
ド７と管制部９が分離され、その間がケーブル８で接続
されているものが対象である。図４のように、測定ヘッ
ド７と管制部９が分離されているものは、測定ヘッド７
を小型にできるため、測定ヘッド７を狭いスペースに配
置できる等の利点がある。
７と管制部９に分離されているが、一体に構成されてい
るものもある。但し、ここでは図４のように、測定ヘッ
ド７と管制部９が分離され、その間がケーブル８で接続
されているものが対象である。図４のように、測定ヘッ
ド７と管制部９が分離されているものは、測定ヘッド７
を小型にできるため、測定ヘッド７を狭いスペースに配
置できる等の利点がある。
【０００８】補正データは、測定ヘッド毎に異なるの
で、所定の基準寸法を有するマスタを測定した時の測定
値と、基準寸法から補正データを算出する。
で、所定の基準寸法を有するマスタを測定した時の測定
値と、基準寸法から補正データを算出する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】補正データは測定ヘッ
ド７毎に異なるので、図４の構成の場合、測定ヘッド７
の補正データを記憶した管制部９は、その測定ヘッド７
に接続して使用しなければならない。すなわち、測定ヘ
ッド７と管制部９は１対１に対応しており、測定ヘッド
７と管制部９の間で互換性はなかった。そのため、例え
ば、測定ヘッド７が故障した場合には、測定ヘッド７だ
けでなく、管制部９も一緒に交換する必要があり、修理
のためには測定ヘッド７と管制部９を一緒に送って修理
してもらう必要があった。また、一方が使用不能になっ
た場合には両方を廃棄する必要があり、費用の点で好ま
しくないという問題があった。このように、測定ヘッド
７と管制部９は物理的には分離可能であるにもかかわら
ず、実際には一体に取り扱う必要があり、分離可能であ
ることの利点を十分に生かしてはいなかった。
ド７毎に異なるので、図４の構成の場合、測定ヘッド７
の補正データを記憶した管制部９は、その測定ヘッド７
に接続して使用しなければならない。すなわち、測定ヘ
ッド７と管制部９は１対１に対応しており、測定ヘッド
７と管制部９の間で互換性はなかった。そのため、例え
ば、測定ヘッド７が故障した場合には、測定ヘッド７だ
けでなく、管制部９も一緒に交換する必要があり、修理
のためには測定ヘッド７と管制部９を一緒に送って修理
してもらう必要があった。また、一方が使用不能になっ
た場合には両方を廃棄する必要があり、費用の点で好ま
しくないという問題があった。このように、測定ヘッド
７と管制部９は物理的には分離可能であるにもかかわら
ず、実際には一体に取り扱う必要があり、分離可能であ
ることの利点を十分に生かしてはいなかった。
【００１０】本発明は、上記問題点を解決するもので、
分離可能な測定ヘッドと管制部の特性を十分に生かした
使用が可能な寸法測定装置の実現を目的とする。
分離可能な測定ヘッドと管制部の特性を十分に生かした
使用が可能な寸法測定装置の実現を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の寸法測定装置は、補正データを記憶する不
揮発性メモリを測定ヘッド側に設け、測定の初期化時に
管制部からこの不揮発性メモリに記憶された補正データ
を読み取って記憶しておき、測定値をこの補正データに
従って補正するようにする。
め、本発明の寸法測定装置は、補正データを記憶する不
揮発性メモリを測定ヘッド側に設け、測定の初期化時に
管制部からこの不揮発性メモリに記憶された補正データ
を読み取って記憶しておき、測定値をこの補正データに
従って補正するようにする。
【００１２】すなわち、本発明の寸法測定装置は、被測
定物の測定部分の寸法を示すアナログ信号を出力する測
定ヘッドと、測定ヘッドから分離され、測定ヘッドの出
力する前記アナログ信号を処理する管制部と、アナログ
信号を測定ヘッドから管制部に伝送する伝送路とを備え
る寸法測定装置において、測定ヘッドは、測定信号の線
形性を補正するための補正データを記憶する不揮発性の
線形性補正データメモリを備え、管制部は、起動時に測
定ヘッドの線形性補正データメモリに記憶された補正デ
ータを読み出して記憶する補正データ記憶メモリを備
え、伝送路は、補正データと、管制部が測定ヘッドの線
形性補正データメモリをアクセスするための信号を伝送
することを特徴とする。
定物の測定部分の寸法を示すアナログ信号を出力する測
定ヘッドと、測定ヘッドから分離され、測定ヘッドの出
力する前記アナログ信号を処理する管制部と、アナログ
信号を測定ヘッドから管制部に伝送する伝送路とを備え
る寸法測定装置において、測定ヘッドは、測定信号の線
形性を補正するための補正データを記憶する不揮発性の
線形性補正データメモリを備え、管制部は、起動時に測
定ヘッドの線形性補正データメモリに記憶された補正デ
ータを読み出して記憶する補正データ記憶メモリを備
え、伝送路は、補正データと、管制部が測定ヘッドの線
形性補正データメモリをアクセスするための信号を伝送
することを特徴とする。
【００１３】補正データは、外部の装置を使用して線形
性補正データメモリに書き込むことも可能であるが、管
制部から書き込むこともできる。更に、測定ヘッドで基
準寸法を有する複数の測定部分を測定した時の管制部が
検出した測定値を、補正データとして線形性補正データ
メモリに書き込むようにしてもよい。管制部は、この補
正データが基準寸法になるように、補間法等で補正を行
う。
性補正データメモリに書き込むことも可能であるが、管
制部から書き込むこともできる。更に、測定ヘッドで基
準寸法を有する複数の測定部分を測定した時の管制部が
検出した測定値を、補正データとして線形性補正データ
メモリに書き込むようにしてもよい。管制部は、この補
正データが基準寸法になるように、補間法等で補正を行
う。
【００１４】本発明の寸法測定装置によれば、測定ヘッ
ド毎に異なる補正データは測定ヘッドと一体に保管され
る。使用する場合には、初期化時に管制部が伝送路を介
してこの補正データを読み出して記憶するので、線形性
補正データメモリからの補正データの読み出しは高速で
ある必要はなく、測定時にはこの管制部に記憶された補
正データに従って補正が行われるので、補正処理も十分
に高速に行える。補正データは測定ヘッドと一体に保管
されるので、管制部にどのような測定ヘッドを接続する
ことも可能であり、また逆に測定ヘッドをいずれの管制
部にも接続可能である。すなわち、測定ヘッドの互換性
が保てるようになる。
ド毎に異なる補正データは測定ヘッドと一体に保管され
る。使用する場合には、初期化時に管制部が伝送路を介
してこの補正データを読み出して記憶するので、線形性
補正データメモリからの補正データの読み出しは高速で
ある必要はなく、測定時にはこの管制部に記憶された補
正データに従って補正が行われるので、補正処理も十分
に高速に行える。補正データは測定ヘッドと一体に保管
されるので、管制部にどのような測定ヘッドを接続する
ことも可能であり、また逆に測定ヘッドをいずれの管制
部にも接続可能である。すなわち、測定ヘッドの互換性
が保てるようになる。
【００１５】また、これは線形性（リニアリティ）補正
を行う場合の一般的な特徴であるが、リニアリティが良
好になるので、高精度化が可能になる。また、これまで
寸法毎に行っていた基準寸法を有するマスタを測定して
測定値のゼロ点を合わせるマスタ合わせを、１つのマス
タで１点についてのみ行えばよくなり、ワンマスタ化が
可能になる。
を行う場合の一般的な特徴であるが、リニアリティが良
好になるので、高精度化が可能になる。また、これまで
寸法毎に行っていた基準寸法を有するマスタを測定して
測定値のゼロ点を合わせるマスタ合わせを、１つのマス
タで１点についてのみ行えばよくなり、ワンマスタ化が
可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例の寸法測
定装置の構成を示す図である。図１に示すように、測定
ヘッド１と管制部３は分離されており、その間で信号を
伝送するためのケーブル４が設けられている。測定ヘッ
ド１は、被測定物１００の測定部分に接触する２個の測
子１１、１２と、測子１１と１２の変位を検出する検出
部１３と、測定ヘッド特有の補正データを記憶するＥ2
ＰＲＯＭ２１とを有する。なお、ここでは管制部３から
記憶内容を書き換えられるように、Ｅ2ＰＲＯＭ２１を
使用したが、基本的には不揮発性のメモリであればよ
い。検出部１３の構成は図４に示した従来のものと同一
である。管制部３は、信号処理のためのコンピュータで
構成される部分で、検出部１３の出力するアナログ信号
をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器３１と、ＣＰ
Ｕ３２と、ＲＯＭ３３と、ＲＡＭ３４と、測定ヘッド１
のＥ2 ＰＲＯＭ２１にアクセスするための信号ポート３
５と、補正した測定値を表示する表示器３６とを有す
る。ケーブル４は、検出部１３の出力するアナログ信号
をＡ／Ｄ変換器３１に伝送する信号経路と、Ｅ2ＰＲＯ
Ｍ２１をアクセスするためのアドレス信号と制御信号を
ポート３５からＥ 2 ＰＲＯＭ２１に伝送する制御経路
と、Ｅ2 ＰＲＯＭ２１から読み出したデータをポート３
５に伝送するデータ経路とで構成されている。なお、こ
こでは管制部３からＥ2 ＰＲＯＭ２１に補正データの書
込みが行えるように、ポート３５はＥ 2 ＰＲＯＭ２１へ
もデータ伝送が行える双方向ポートになっている。ま
た、Ｅ2ＰＲＯＭ２１に記憶される補正データは複数ビ
ットのデータであるが、Ｅ2 ＰＲＯＭ２１へのデータの
書込みと読み出しはシリアル変換して１ビット単位で行
われるので、データ経路は１ビットである。
定装置の構成を示す図である。図１に示すように、測定
ヘッド１と管制部３は分離されており、その間で信号を
伝送するためのケーブル４が設けられている。測定ヘッ
ド１は、被測定物１００の測定部分に接触する２個の測
子１１、１２と、測子１１と１２の変位を検出する検出
部１３と、測定ヘッド特有の補正データを記憶するＥ2
ＰＲＯＭ２１とを有する。なお、ここでは管制部３から
記憶内容を書き換えられるように、Ｅ2ＰＲＯＭ２１を
使用したが、基本的には不揮発性のメモリであればよ
い。検出部１３の構成は図４に示した従来のものと同一
である。管制部３は、信号処理のためのコンピュータで
構成される部分で、検出部１３の出力するアナログ信号
をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器３１と、ＣＰ
Ｕ３２と、ＲＯＭ３３と、ＲＡＭ３４と、測定ヘッド１
のＥ2 ＰＲＯＭ２１にアクセスするための信号ポート３
５と、補正した測定値を表示する表示器３６とを有す
る。ケーブル４は、検出部１３の出力するアナログ信号
をＡ／Ｄ変換器３１に伝送する信号経路と、Ｅ2ＰＲＯ
Ｍ２１をアクセスするためのアドレス信号と制御信号を
ポート３５からＥ 2 ＰＲＯＭ２１に伝送する制御経路
と、Ｅ2 ＰＲＯＭ２１から読み出したデータをポート３
５に伝送するデータ経路とで構成されている。なお、こ
こでは管制部３からＥ2 ＰＲＯＭ２１に補正データの書
込みが行えるように、ポート３５はＥ 2 ＰＲＯＭ２１へ
もデータ伝送が行える双方向ポートになっている。ま
た、Ｅ2ＰＲＯＭ２１に記憶される補正データは複数ビ
ットのデータであるが、Ｅ2 ＰＲＯＭ２１へのデータの
書込みと読み出しはシリアル変換して１ビット単位で行
われるので、データ経路は１ビットである。
【００１７】測定値のリニアリティの補正方法は各種考
えられる。例えば、ルックアップテーブルの形式で測定
値毎に補正値を記憶し、Ａ／Ｄ変換器３１の出力する測
定値に対応する補正値を読み出してくる方法である。測
定の分解能のレベルですべての補正値を記憶するのは記
憶容量が大きくなるので、ある間隔で補正値を記憶して
おき、その間の測定値については補間法で補正値を算出
する。また、測定した補正値から補正式を求めて記憶し
ておき、管制部３がこの補正式から補正値を算出するよ
うにしてもよい。
えられる。例えば、ルックアップテーブルの形式で測定
値毎に補正値を記憶し、Ａ／Ｄ変換器３１の出力する測
定値に対応する補正値を読み出してくる方法である。測
定の分解能のレベルですべての補正値を記憶するのは記
憶容量が大きくなるので、ある間隔で補正値を記憶して
おき、その間の測定値については補間法で補正値を算出
する。また、測定した補正値から補正式を求めて記憶し
ておき、管制部３がこの補正式から補正値を算出するよ
うにしてもよい。
【００１８】補正データの算出は、外部の装置を使用し
て行うこともできるが、ここでは管制部３を利用して補
正データの算出とＥ2 ＰＲＯＭ２１への補正データの書
込みを行う。本実施例の寸法測定装置では、リニアリテ
ィ補正モードと測定モードが設けられている。図２は、
管制部３によるリニアリティ補正モードと測定モードを
示すフローチャートである。
て行うこともできるが、ここでは管制部３を利用して補
正データの算出とＥ2 ＰＲＯＭ２１への補正データの書
込みを行う。本実施例の寸法測定装置では、リニアリテ
ィ補正モードと測定モードが設けられている。図２は、
管制部３によるリニアリティ補正モードと測定モードを
示すフローチャートである。
【００１９】リニアリティ補正モードに設定した上で、
ステップ２０１から２０３で、マスタを交換しながらマ
スタの寸法の読み取りを行う。ここで、マスタは、例え
ば階段状に寸法の変化する円筒であったり、寸法が段階
的に変化する複数のマスタであったり、所定部分の寸法
が非常な高精度で段階的に変化する装置である。ステッ
プ２０１でこれらの寸法が測定される状態に設定した上
で、ステップ２０２でボタン操作により測定値の入力を
行う。管制部３はボタン操作された時の測定値を順次基
準寸法に対応する測定値として入力する。ステップ２０
３では、すべてのマスタ、すなわち、すべての基準寸法
値について測定が終了したかを判定し、すべての基準寸
法値について測定が終了するまで、ステップ２０１から
２０３を繰り返す。すべての基準寸法値について測定が
終了すると、ステップ２０４で補正値を演算する。具体
的には、基準寸法値とそれに対応する測定値の差を算出
する。ステップ２０５では、この差を基準寸法値に対応
させてＥ2 ＰＲＯＭ２１に記憶する。
ステップ２０１から２０３で、マスタを交換しながらマ
スタの寸法の読み取りを行う。ここで、マスタは、例え
ば階段状に寸法の変化する円筒であったり、寸法が段階
的に変化する複数のマスタであったり、所定部分の寸法
が非常な高精度で段階的に変化する装置である。ステッ
プ２０１でこれらの寸法が測定される状態に設定した上
で、ステップ２０２でボタン操作により測定値の入力を
行う。管制部３はボタン操作された時の測定値を順次基
準寸法に対応する測定値として入力する。ステップ２０
３では、すべてのマスタ、すなわち、すべての基準寸法
値について測定が終了したかを判定し、すべての基準寸
法値について測定が終了するまで、ステップ２０１から
２０３を繰り返す。すべての基準寸法値について測定が
終了すると、ステップ２０４で補正値を演算する。具体
的には、基準寸法値とそれに対応する測定値の差を算出
する。ステップ２０５では、この差を基準寸法値に対応
させてＥ2 ＰＲＯＭ２１に記憶する。
【００２０】測定モードに設定すると、まず初期化動作
であるステップ２１１で、管制部３がＥ2 ＰＲＯＭ２１
に記憶された補正データを読み出し、ＲＡＭ３４に記憶
する。その後は、所定のサンプル間隔毎に、ステップ２
２１でＡ／Ｄ変換器３１の出力する測定値を読み取り、
ステップ２２２でＲＡＭ３４に記憶された補正データに
従って測定値を補正し、ステップ２２３で補正した測定
値を表示器３６等に出力する。
であるステップ２１１で、管制部３がＥ2 ＰＲＯＭ２１
に記憶された補正データを読み出し、ＲＡＭ３４に記憶
する。その後は、所定のサンプル間隔毎に、ステップ２
２１でＡ／Ｄ変換器３１の出力する測定値を読み取り、
ステップ２２２でＲＡＭ３４に記憶された補正データに
従って測定値を補正し、ステップ２２３で補正した測定
値を表示器３６等に出力する。
【００２１】測定ヘッド１のリニアリティは、使用条件
に応じて変化する。従って、定期的にリニアリティ補正
モードに設定した上で、ステップ２０１から２０５を行
うことにより、最新の補正データに書き換える。これに
より、常時良好なリニアリティが維持できる。この場合
には、測定ヘッド１で補正データを記憶するメモリとし
て、電気的にデータの書換えが可能なＥ2 ＰＲＯＭ２１
を使用することが必要である。もし、出荷時点で記憶し
た補正データを書き換えることがなければ、Ｅ 2 ＰＲＯ
Ｍ２１の替わりにどのような不揮発性メモリでも使用可
能である。
に応じて変化する。従って、定期的にリニアリティ補正
モードに設定した上で、ステップ２０１から２０５を行
うことにより、最新の補正データに書き換える。これに
より、常時良好なリニアリティが維持できる。この場合
には、測定ヘッド１で補正データを記憶するメモリとし
て、電気的にデータの書換えが可能なＥ2 ＰＲＯＭ２１
を使用することが必要である。もし、出荷時点で記憶し
た補正データを書き換えることがなければ、Ｅ 2 ＰＲＯ
Ｍ２１の替わりにどのような不揮発性メモリでも使用可
能である。
【００２２】また、上記の実施例では、管制部３を使用
して補正データを算出したが、別の専用の補正データ算
出用装置を使用して補正データを算出するようにしても
よい。更に、上記実施例では、管制部３から測定ヘッド
１のＥ2 ＰＲＯＭ２１をアクセスするためにアドレス信
号が印加される例を示したが、これではケーブルの本数
が多くなるという問題がある。そこで、Ｅ2 ＰＲＯＭ２
１として、内部にカウンタ回路を有し、入力されるクロ
ック信号に従って順次カウント値を増加させて記憶され
たデータをシリアルに出力するメモリを使用すれば、管
制部３から測定ヘッド１へクロックを伝送する１ビット
の経路と、シリアルデータを伝送する１ビットの経路を
増加させるだけでよい。
して補正データを算出したが、別の専用の補正データ算
出用装置を使用して補正データを算出するようにしても
よい。更に、上記実施例では、管制部３から測定ヘッド
１のＥ2 ＰＲＯＭ２１をアクセスするためにアドレス信
号が印加される例を示したが、これではケーブルの本数
が多くなるという問題がある。そこで、Ｅ2 ＰＲＯＭ２
１として、内部にカウンタ回路を有し、入力されるクロ
ック信号に従って順次カウント値を増加させて記憶され
たデータをシリアルに出力するメモリを使用すれば、管
制部３から測定ヘッド１へクロックを伝送する１ビット
の経路と、シリアルデータを伝送する１ビットの経路を
増加させるだけでよい。
【００２３】以上、差動トランスを利用した電気マイク
ロメータを例として説明したが、本発明は測定ヘッドと
管制部が分離されており、ディジタル的にリニアリティ
を補正する寸法測定装置であればどのようなものにも適
用可能である。
ロメータを例として説明したが、本発明は測定ヘッドと
管制部が分離されており、ディジタル的にリニアリティ
を補正する寸法測定装置であればどのようなものにも適
用可能である。
【００２４】
【発明の効果】本発明の寸法測定装置によれば、補正デ
ータは測定ヘッドと一体に保管されるので、測定ヘッド
と管制部の間で互換性が保てるようになり、測定ヘッド
と管制部を自由に組み合わせることが可能になる。
ータは測定ヘッドと一体に保管されるので、測定ヘッド
と管制部の間で互換性が保てるようになり、測定ヘッド
と管制部を自由に組み合わせることが可能になる。
【図１】本発明の実施例の寸法測定装置の構成を示す図
である。
である。
【図２】本発明の実施例の寸法測定装置の各動作モード
における処理を示す図である。
における処理を示す図である。
【図３】リニアリティを補正する必要のある寸法測定器
の例である差動トランスを説明する図である。
の例である差動トランスを説明する図である。
【図４】差動トランスを利用した従来の電気マイクロメ
ータの構成を示す図である。
ータの構成を示す図である。
１…測定ヘッド ３…管制部 ４…伝送路 ２１…不揮発性メモリ（Ｅ2 ＰＲＯＭ）
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物（１００）の測定部分の寸法を
示すアナログ信号を出力する測定ヘッド（１）と、 該測定ヘッド（１）から分離され、前記測定ヘッド
（１）の出力する前記アナログ信号を処理する管制部
（３）と、 前記アナログ信号を前記測定ヘッド（１）から前記管制
部（３）に伝送する伝送路（４）とを備える寸法測定装
置において、 前記測定ヘッド（１）は、測定信号の線形性を補正する
ための補正データを記憶する不揮発性の線形性補正デー
タメモリ（２１）を備え、 前記管制部（３）は、起動時に前記測定ヘッド（１）の
前記線形性補正データメモリ（２１）に記憶された前記
補正データを読み出して記憶する補正データ記憶メモリ
（３４）を備え、 前記伝送路（４）は、前記補正データと、前記管制部
（３）が前記測定ヘッド（１）の前記線形性補正データ
メモリ（２１）をアクセスするための信号を伝送するこ
とを特徴とする寸法測定装置。 - 【請求項２】 前記管制部（３）は、前記伝送路（４）
を介して、前記補正データを前記線形性補正データメモ
リ（２１）に書き込む請求項１に記載の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176252A JP3061111B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | 寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176252A JP3061111B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | 寸法測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019545A JPH1019545A (ja) | 1998-01-23 |
| JP3061111B2 true JP3061111B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=16010321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8176252A Expired - Fee Related JP3061111B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | 寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3061111B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005055282A (ja) | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定方法及び測定装置 |
| ITMI20091072A1 (it) * | 2009-06-17 | 2010-12-18 | Giusta Misura S A S Di Aldo Pon Terio & C | Strumento manuale di misura di una lunghezza a lettura digitale |
-
1996
- 1996-07-05 JP JP8176252A patent/JP3061111B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1019545A (ja) | 1998-01-23 |
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