JP3055496B2 - 半導体装置の実装構造 - Google Patents
半導体装置の実装構造Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置の実装構
造に関し、特に半導体パッケージの底面に多数の接続端
子を有する半導体装置の実装構造に関する。
造に関し、特に半導体パッケージの底面に多数の接続端
子を有する半導体装置の実装構造に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の半導体装置の高集積化に伴い、半
導体パッケージに設けられる外部接続用の端子の数も増
大される傾向にある。このような高集積化された半導体
装置においては、接続端子を半導体パッケージの底面に
格子状に配列したPGA(PinGrid Array) 型半導体装
置や、BGA(Ball Grid Array )型半導体装置が提案
されており、半導体装置プリント基板上に実装したとき
に、半導体装置のパッケージの底面において前記接続端
子がプリント基板に設けられたパッドに接続される構成
とされている。この場合、PGA型半導体装置では、パ
ッケージの底面から突出されている接続ピンをプリント
基板に設けた孔に挿通させた上で半田により接続を行っ
ている。また、BGA型半導体装置では、パッケージの
底面に配設された半田バンプをプリント基板に設けたパ
ッドに半田付けして接続を行っている。
導体パッケージに設けられる外部接続用の端子の数も増
大される傾向にある。このような高集積化された半導体
装置においては、接続端子を半導体パッケージの底面に
格子状に配列したPGA(PinGrid Array) 型半導体装
置や、BGA(Ball Grid Array )型半導体装置が提案
されており、半導体装置プリント基板上に実装したとき
に、半導体装置のパッケージの底面において前記接続端
子がプリント基板に設けられたパッドに接続される構成
とされている。この場合、PGA型半導体装置では、パ
ッケージの底面から突出されている接続ピンをプリント
基板に設けた孔に挿通させた上で半田により接続を行っ
ている。また、BGA型半導体装置では、パッケージの
底面に配設された半田バンプをプリント基板に設けたパ
ッドに半田付けして接続を行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このようなPGA型半
導体装置やBGA型半導体装置では、前記したように半
導体装置の実装時に、接続ピンや半田バンプ等の接続端
子がパッケージの下側に隠れてしまうため、半導体装置
を実装したときに各接続端子が正しくプリント基板に接
続されているのかを観察することができない。このた
め、接続用の半田が溶融されて隣接する接続ピンや半田
バンプと短絡してしまうこともあり、実装に際しての半
田の溶融を厳しく管理する必要があり、実装が難しいも
のとなっている。また、一旦実装した半導体装置をプリ
ント基板から取り外す際には、全ての接続ピンや半田バ
ンプにおける半田を溶融させるためにプリント基板を加
熱する必要があり、プリント基板に実装されている他の
電子部品、特に耐熱性の低い電子部品にダメージを与え
てしまうことがある。
導体装置やBGA型半導体装置では、前記したように半
導体装置の実装時に、接続ピンや半田バンプ等の接続端
子がパッケージの下側に隠れてしまうため、半導体装置
を実装したときに各接続端子が正しくプリント基板に接
続されているのかを観察することができない。このた
め、接続用の半田が溶融されて隣接する接続ピンや半田
バンプと短絡してしまうこともあり、実装に際しての半
田の溶融を厳しく管理する必要があり、実装が難しいも
のとなっている。また、一旦実装した半導体装置をプリ
ント基板から取り外す際には、全ての接続ピンや半田バ
ンプにおける半田を溶融させるためにプリント基板を加
熱する必要があり、プリント基板に実装されている他の
電子部品、特に耐熱性の低い電子部品にダメージを与え
てしまうことがある。
【0004】本発明の目的は、パッケージの底面に隠さ
れる接続端子におけるプリント基板との接続の信頼性を
高めるとともに、実装作業及び半導体装置の取り外しを
容易に行うことを可能にした半導体装置の実装構造を提
供することにある。
れる接続端子におけるプリント基板との接続の信頼性を
高めるとともに、実装作業及び半導体装置の取り外しを
容易に行うことを可能にした半導体装置の実装構造を提
供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、底面に接続端
子が配列された半導体装置と、前記半導体装置を実装す
るプリント基板とで構成され、半導体装置にはプリント
基板に対する位置決めを行うためのガイドピンが設けら
れ、またプリント基板には前記ガイドピンを案内するた
めのガイドホールと、前記接続端子に接触されて電気接
続される接続パッドとが設けられ、前記ガイドホールは
前記プリント基板の厚さよりも浅い盲穴として形成さ
れ、その内面には前記接続パッドを構成する金属膜と同
じ金属膜が形成され、前記金属膜に対して前記ガイドピ
ンをろう付けすることを特徴とする。前記接続端子は、
半球状または球状に突出形成された導電バンプで構成さ
れ、前記接続パッドは前記導電バンプの外形に対応した
球面状に凹設された導電膜で形成されることが好まし
い。また、前記半導体装置は矩形のパッケージを有し、
このパッケージの底面の四隅にガイドピンが突出形成さ
れる。
子が配列された半導体装置と、前記半導体装置を実装す
るプリント基板とで構成され、半導体装置にはプリント
基板に対する位置決めを行うためのガイドピンが設けら
れ、またプリント基板には前記ガイドピンを案内するた
めのガイドホールと、前記接続端子に接触されて電気接
続される接続パッドとが設けられ、前記ガイドホールは
前記プリント基板の厚さよりも浅い盲穴として形成さ
れ、その内面には前記接続パッドを構成する金属膜と同
じ金属膜が形成され、前記金属膜に対して前記ガイドピ
ンをろう付けすることを特徴とする。前記接続端子は、
半球状または球状に突出形成された導電バンプで構成さ
れ、前記接続パッドは前記導電バンプの外形に対応した
球面状に凹設された導電膜で形成されることが好まし
い。また、前記半導体装置は矩形のパッケージを有し、
このパッケージの底面の四隅にガイドピンが突出形成さ
れる。
【0006】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明をBGA型半導体装置
に適用した実施形態を示す図であり、同図(a)は正面
方向の断面図、(b)はその底面図である。BGA型半
導体装置1は、ベース2上にICチップ3が搭載され、
ベース2の上面に形成された配線4にボンディングワイ
ヤ5により電気接続される。また、前記ベース2の下面
には格子状に電極パッド6が配設されており、各電極パ
ッド6には半球状をした金属バンプ7、例えば、銅やア
ルミニウム等の金属バンプが形成されている。また、前
記ベース2の下面の四隅位置には、それぞれガイドピン
8が突出されている。そして、前記ベース2を厚さ方向
に貫通するスルーホール9が設けられ、このスルーホー
ル9によって前記ベース2の上面の配線4と下面の電極
パッド6とがそれぞれ電気接続されている。さらに、前
記ベース2の上面には、前記ICチップ3やボンディン
グワイヤ5を覆うキャップ10が被せられ、内部が封止
されている。
参照して説明する。図1は本発明をBGA型半導体装置
に適用した実施形態を示す図であり、同図(a)は正面
方向の断面図、(b)はその底面図である。BGA型半
導体装置1は、ベース2上にICチップ3が搭載され、
ベース2の上面に形成された配線4にボンディングワイ
ヤ5により電気接続される。また、前記ベース2の下面
には格子状に電極パッド6が配設されており、各電極パ
ッド6には半球状をした金属バンプ7、例えば、銅やア
ルミニウム等の金属バンプが形成されている。また、前
記ベース2の下面の四隅位置には、それぞれガイドピン
8が突出されている。そして、前記ベース2を厚さ方向
に貫通するスルーホール9が設けられ、このスルーホー
ル9によって前記ベース2の上面の配線4と下面の電極
パッド6とがそれぞれ電気接続されている。さらに、前
記ベース2の上面には、前記ICチップ3やボンディン
グワイヤ5を覆うキャップ10が被せられ、内部が封止
されている。
【0007】一方、図2(a),(b)は前記半導体装
置1を実装するためのプリント基板11の平面図と断面
図であり、その絶縁基板12の表面には前記4本のガイ
ドピン8が挿入可能なガイドホール13が開設されてい
る。また、これらガイドホール13で囲まれる領域に
は、前記金属バンプ7に対応して格子状に配列された接
続パッド14が形成されている。ここで、前記接続パッ
ド14は、前記絶縁基板12の表面に半球に近い形状の
凹部15が形成され、この凹部15を含む絶縁基板12
の表面にそれぞれ金属膜16が形成された構成とされて
いる。このような構成のプリント基板1は、例えば、フ
ォトリソグラフィ技術を利用して形成しており、図示は
省略するが、絶縁基板12の表面に格子状の窓を有する
マスクを形成した上で、絶縁基板12の表面を等方性エ
ッチングして半球状の凹部15を形成する。その後、全
面に金属薄膜を形成し、さらにその上に前記マスクを利
用して露光を行って形成したフォトレジストマスクを用
いてこの金属薄膜をエッチングして前記金属膜16を形
成すればよい。なお、この金属膜16の一部は前記ガイ
ドホール13部位にも形成されている。
置1を実装するためのプリント基板11の平面図と断面
図であり、その絶縁基板12の表面には前記4本のガイ
ドピン8が挿入可能なガイドホール13が開設されてい
る。また、これらガイドホール13で囲まれる領域に
は、前記金属バンプ7に対応して格子状に配列された接
続パッド14が形成されている。ここで、前記接続パッ
ド14は、前記絶縁基板12の表面に半球に近い形状の
凹部15が形成され、この凹部15を含む絶縁基板12
の表面にそれぞれ金属膜16が形成された構成とされて
いる。このような構成のプリント基板1は、例えば、フ
ォトリソグラフィ技術を利用して形成しており、図示は
省略するが、絶縁基板12の表面に格子状の窓を有する
マスクを形成した上で、絶縁基板12の表面を等方性エ
ッチングして半球状の凹部15を形成する。その後、全
面に金属薄膜を形成し、さらにその上に前記マスクを利
用して露光を行って形成したフォトレジストマスクを用
いてこの金属薄膜をエッチングして前記金属膜16を形
成すればよい。なお、この金属膜16の一部は前記ガイ
ドホール13部位にも形成されている。
【0008】このように構成された半導体装置1を前記
プリント基板11に実装する際には、図3に示すよう
に、プリント基板11のガイドホール13に半導体装置
1のガイドピン8を挿通し、このガイドピン8をガイド
ホール13の金属膜16において半田17により接続す
る。このとき、半導体装置1をプリント基板11に強く
押圧した状態で半田付けを行う。この半田付けにより、
半導体装置1の金属バンプ7はプリント基板11の接続
パッド14に押圧され、この接続パッド14において表
面の金属膜16に当接される。したがって、金属バンプ
7と金属膜16は押圧力によって接触状態となり、相互
に電気接続されることなる。なお、このとき押圧力の強
さによっては、金属バンプ7と金属膜17の表面が幾分
押し潰され、両者がより密接状態となり、良好な接続状
態となる。
プリント基板11に実装する際には、図3に示すよう
に、プリント基板11のガイドホール13に半導体装置
1のガイドピン8を挿通し、このガイドピン8をガイド
ホール13の金属膜16において半田17により接続す
る。このとき、半導体装置1をプリント基板11に強く
押圧した状態で半田付けを行う。この半田付けにより、
半導体装置1の金属バンプ7はプリント基板11の接続
パッド14に押圧され、この接続パッド14において表
面の金属膜16に当接される。したがって、金属バンプ
7と金属膜16は押圧力によって接触状態となり、相互
に電気接続されることなる。なお、このとき押圧力の強
さによっては、金属バンプ7と金属膜17の表面が幾分
押し潰され、両者がより密接状態となり、良好な接続状
態となる。
【0009】したがって、この実装構造では、半導体装
置1の4本のガイドピン8に対して半田付けを行うのみ
で実装が完成されることになり、実装を容易に行うこと
ができる。そして、実装された半導体装置1では、金属
バンプ7と金属膜16との接触のみであるため、溶融半
田によって隣接する接続端子間での短絡が生じるような
こともなく、信頼性が向上される。これにより、より高
密度な端子配列が可能となり、半導体装置の高集積化に
有利となる。さらに、一旦実装した半導体装置1をプリ
ント基板11から取り外す際には、ガイドピン8を接続
している半田17を溶融して取り外せばよく、多数個の
金属バンプにおける取り外しは不要であるため、極めて
容易に取り外しが可能となる。
置1の4本のガイドピン8に対して半田付けを行うのみ
で実装が完成されることになり、実装を容易に行うこと
ができる。そして、実装された半導体装置1では、金属
バンプ7と金属膜16との接触のみであるため、溶融半
田によって隣接する接続端子間での短絡が生じるような
こともなく、信頼性が向上される。これにより、より高
密度な端子配列が可能となり、半導体装置の高集積化に
有利となる。さらに、一旦実装した半導体装置1をプリ
ント基板11から取り外す際には、ガイドピン8を接続
している半田17を溶融して取り外せばよく、多数個の
金属バンプにおける取り外しは不要であるため、極めて
容易に取り外しが可能となる。
【0010】ここで、半導体装置1に形成される金属バ
ンプ7の径寸法は、プリント基板11に形成される接続
パッド14の凹状球面をした金属膜16の径寸法に等し
く形成すれば、金属バンプ7と金属膜16とがほぼ全面
で接触され、接触抵抗の小さな接続が実現できる。ま
た、両者の寸法が必ずしも一致しなくとも、前記したよ
うに金属ハンプ7と金属膜16の表面での潰れにより、
両者を密接して良好な接触状態を得ることも可能であ
る。さらに、金属バンプ7や金属膜16は必ずしも金属
で形成される必要はなく、導電バンプおよび導電膜とし
て弾力性のある素材を用いれば、両者を弾性力を利用し
て接触させることができ、好適な接続を得ることができ
る。
ンプ7の径寸法は、プリント基板11に形成される接続
パッド14の凹状球面をした金属膜16の径寸法に等し
く形成すれば、金属バンプ7と金属膜16とがほぼ全面
で接触され、接触抵抗の小さな接続が実現できる。ま
た、両者の寸法が必ずしも一致しなくとも、前記したよ
うに金属ハンプ7と金属膜16の表面での潰れにより、
両者を密接して良好な接触状態を得ることも可能であ
る。さらに、金属バンプ7や金属膜16は必ずしも金属
で形成される必要はなく、導電バンプおよび導電膜とし
て弾力性のある素材を用いれば、両者を弾性力を利用し
て接触させることができ、好適な接続を得ることができ
る。
【0011】なお、本発明における半導体装置に設けら
れる導電バンプの形状は、角錐状、紡錘状等、適宜の形
状変更は可能であり、導電膜の凹部形状もこれに対応し
て適宜の形状変更は可能である。また、本発明ではPG
A型半導体装置においても、各接続端子としての接続ピ
ンの長さを短めに形成し、かつプリント基板にはこの接
続ピンを受け入れるための微小な凹部を形成して接続パ
ッドを形成することで、前記実施形態と同様に本発明を
実現することが可能である。
れる導電バンプの形状は、角錐状、紡錘状等、適宜の形
状変更は可能であり、導電膜の凹部形状もこれに対応し
て適宜の形状変更は可能である。また、本発明ではPG
A型半導体装置においても、各接続端子としての接続ピ
ンの長さを短めに形成し、かつプリント基板にはこの接
続ピンを受け入れるための微小な凹部を形成して接続パ
ッドを形成することで、前記実施形態と同様に本発明を
実現することが可能である。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体装
置に設けたガイドピンをプリント基板のガイドホールに
案内させた状態で、半導体装置に設けた接続端子をプリ
ント基板に設けた接続パッドに接触させてその実装を行
う構成であり、半導体装置をプリント基板に実装する際
には、ガイドピンをガイドホールにろう付けすればよ
く、多数の接続端子をろう付けする必要はない。このた
め、ろう付けする箇所が少なくてすみ、実装作業が容易
であるとともに、隣接する接続端子や接続パッドでのろ
う材の溶融による短絡が生じることはない。また、半導
体装置を取り外す場合にも、ガイドピンのろう付けを取
り外すだけでよく、容易に取り外すことができる。さら
に、ガイドホールは盲穴として構成され、その表面には
接続パッドを構成する金属膜と同じ金属膜が形成され、
この金属膜に対してガイドピンをろう付けしているた
め、ガイドホール及び接続パッドの製造を容易に行うこ
とが可能となる。
置に設けたガイドピンをプリント基板のガイドホールに
案内させた状態で、半導体装置に設けた接続端子をプリ
ント基板に設けた接続パッドに接触させてその実装を行
う構成であり、半導体装置をプリント基板に実装する際
には、ガイドピンをガイドホールにろう付けすればよ
く、多数の接続端子をろう付けする必要はない。このた
め、ろう付けする箇所が少なくてすみ、実装作業が容易
であるとともに、隣接する接続端子や接続パッドでのろ
う材の溶融による短絡が生じることはない。また、半導
体装置を取り外す場合にも、ガイドピンのろう付けを取
り外すだけでよく、容易に取り外すことができる。さら
に、ガイドホールは盲穴として構成され、その表面には
接続パッドを構成する金属膜と同じ金属膜が形成され、
この金属膜に対してガイドピンをろう付けしているた
め、ガイドホール及び接続パッドの製造を容易に行うこ
とが可能となる。
【図1】本発明にかかる半導体装置の正面方向の断面図
と底面図である。
と底面図である。
【図2】本発明にかかるプリント基板の平面図と断面図
である。
である。
【図3】半導体装置をプリント基板に実装した状態の断
面図である。
面図である。
1 半導体装置 2 ベース 3 ICチップ 7 金属バンプ 8 ガイドピン 9 スルーホール 11 プリント基板 12 絶縁基板 13 ガイドホール 14 接続パッド 16 金属膜 17 半田
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 1/18 H01L 23/12
Claims (3)
- 【請求項1】 底面に接続端子が配列された半導体装置
と、前記半導体装置を実装するプリント基板とで構成さ
れ、前記半導体装置には前記プリント基板に対する位置
決めを行うためのガイドピンが設けられ、前記プリント
基板には前記ガイドピンを案内するためのガイドホール
と、前記接続端子に接触されて電気接続される接続パッ
ドとが設けられ、前記ガイドホールは前記プリント基板
の厚さよりも浅い盲穴として形成され、その内面には前
記接続パッドを構成する金属膜と同じ金属膜が形成さ
れ、前記金属膜に対して前記ガイドピンをろう付けする
ことを特徴とする半導体装置の実装構造。 - 【請求項2】 前記接続端子は、半球状または球状に突
出形成された導電バンプで構成され、前記接続パッドは
前記導電バンプの外形に対応した球面状に凹設された導
電膜で形成される請求項1に記載の半導体装置の実装構
造。 - 【請求項3】 前記半導体装置は矩形のパッケージを有
し、前記接続端子はこのパッケージの底面に配設され、
かつ前記ガイドピンはこのパッケージの底面の四隅に突
出形成される請求項2に記載の半導体装置の実装構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9169772A JP3055496B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 半導体装置の実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9169772A JP3055496B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 半導体装置の実装構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1117307A JPH1117307A (ja) | 1999-01-22 |
JP3055496B2 true JP3055496B2 (ja) | 2000-06-26 |
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ID=15892585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9169772A Expired - Fee Related JP3055496B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 半導体装置の実装構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3055496B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200073578A (ko) * | 2018-12-14 | 2020-06-24 | 윤주영 | 유리기판 지지용 코팅직물의 제조방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10103456C1 (de) | 2001-01-25 | 2002-08-29 | Infineon Technologies Ag | Vorrichtung mit mindestens einem Halbleiterbauteil und einer Leiterplatte und Verfahren zur Herstellung einer elektromechanischen Verbindung zwischen beiden |
KR101006619B1 (ko) | 2008-10-20 | 2011-01-07 | 삼성전기주식회사 | 라운드형 솔더범프를 갖는 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
-
1997
- 1997-06-26 JP JP9169772A patent/JP3055496B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20200073578A (ko) * | 2018-12-14 | 2020-06-24 | 윤주영 | 유리기판 지지용 코팅직물의 제조방법 |
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Publication number | Publication date |
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JPH1117307A (ja) | 1999-01-22 |
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