JP3047062B2 - ガスセンサ - Google Patents

ガスセンサ

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JP3047062B2
JP3047062B2 JP8249412A JP24941296A JP3047062B2 JP 3047062 B2 JP3047062 B2 JP 3047062B2 JP 8249412 A JP8249412 A JP 8249412A JP 24941296 A JP24941296 A JP 24941296A JP 3047062 B2 JP3047062 B2 JP 3047062B2
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    • Y02ATECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスセンサ材料に
関する。
【0002】
【従来の技術】ガスセンサは、空気等の気体中に含まれ
る特定のガスに感応し、その濃度に応じた電気信号、光
信号等を発するものである。現在、各種の検知方式のガ
スセンサが知られており、ガス成分の認識には、吸着、
反応、発光などのガスの化学的特性が利用されることが
多く、また信号への変換方法については、電池起電力の
様にガスとの接触によって直接センサ信号が得られるエ
ネルギー変換型もあるが、多くは電気抵抗などの材料物
性やトランジスタ特性などのデバイス特性の変化をセン
サ信号へ変換するエネルギー制御型である。
【0003】代表的なガスセンサ材料としては、比較的
難還元性の酸化物であるSnO2系、ZnO系等のもの
があり、現在の商用素子の殆どはn型半導体であるSn
2系の多孔質焼結体である。この様な酸化物半導体を
用いる半導体ガスセンサには、ガスとの相互作用が半導
体表面にとどまる表面制御型のものと、半導体本体にま
で及ぶバルク制御型のものとがあり、可燃性ガスセンサ
をはじめとして、多くのものは表面制御型である。この
様な表面制御型のセンサでは、半導体表面で化学反応が
起こるが、純粋な半導体だけでは活性が十分でないこと
が多く、半導体粒子表面に貴金属や金属酸化物の微粒子
を分散させてセンサ機能の向上が図られている。
【0004】しかしながら、これらの従来のガスセンサ
は、ガスを検知するために200〜300℃程度に加熱
する必要があり、しかも多くのガスに感応するためガス
種の特定が困難でガス種に対する選択性が充分ではない
という問題点があり、更に改善が望まれている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主な目的は、
室温でガス検知が可能なセンサ材料であって、しかもガ
ス種の選択性に優れたガスセンサ材料を提供することで
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記した如
き課題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、カーボン電極ア
ーク法によって得られるフラーレンを含有する炭素混合
物は、極性ガスを室温で吸着し、無極性ガスを吸着しな
いという特異なガス吸着特性を示し、しかも炭素微粒子
からなるために表面積が大きく、電気伝導性があって電
気的な計測が可能であることを見出し、この知見に基づ
いて、該炭素混合物のガスセンサ材料としての有用性に
ついて検討したところ、室温でガス検出が可能であっ
て、しかもガス選択性に優れたガスセンサ材料となるこ
とを見出した。更に、アーク放電に用いる炭素電極に金
属成分を含有させ、これを電極として用いてアーク放電
して得られる金属を含有する炭素混合物は、ガスに対す
る検知能力が向上し、ガスに対する選択性もより良好と
なることを見出し、ここに本発明を完成するに至った。
【0007】即ち、本発明は、下記のガスセンサ材料を
提供するものである: (1)圧力0.1〜600トールの不活性ガス中で、炭
素電極を用いて、電極の放電面についての電流密度が
0.8〜3.5A/mm2となる直流電流又は交流電流
を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得られ
る炭素混合物からなるガスセンサ材料。
【0008】(2)圧力0.1〜600トールの不活性
ガス中で、金属分を0.01〜30重量%含有する金属
含有炭素電極を用いて、電極の放電面についての電流密
度が0.8〜3.5A/mm2となる直流電流又は交流
電流を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得
られる金属含有炭素混合物からなるガスセンサ材料。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明においてガスセンサ材料と
して用いる炭素混合物は、不活性ガス中で炭素電極を用
いてアーク放電法によって得られるものである。
【0010】炭素混合物を製造する装置としては、通常
のアーク放電用の真空装置を用いることができる。
【0011】不活性ガスとしては、例えば、ヘリウム、
アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノン等を用いるこ
とができる。不活性ガスの圧力は、0.1〜600トー
ル程度とし、好ましくは、10〜400トール程度とす
る。
【0012】炭素混合物を製造する際に、アーク放電に
用いる電極としては、陰極及び陽極の両方の電極として
炭素電極を用いる。
【0013】アーク放電は、直流電流又は交流電流を通
電することによって行うことができ、炭素電極の放電面
についての電流密度、即ち、陰極と陽極とが一定の間隔
をあけて互いに相対する面についての電流密度は、0.
8〜3.5A/mm2程度とする。
【0014】本発明では、この様な方法によって得られ
る炭素混合物をガスセンサ材料とする。この炭素混合物
は、いわゆる炭素ススと称されるものであり、通常、粉
末の状態で装置内に付着して得られる。該炭素混合物
は、通常、直径1nm程度〜100μm程度の炭素超微
粒子であり、主として、グラファイトカーボン、不定形
カーボン、フラーレン類からなり、フラーレン類は一般
に0.1〜15重量%程度含まれる。
【0015】又、本発明では、上記炭素混合物中に金属
成分を含有させて、これをガスセンサ材料とすることが
できる。この様に炭素混合物中に金属成分を含有させる
ことにより、ガスに対する検知感度が向上し、又、含有
させる金属の種類によって、特異な特性を示すものとな
り、ガスに対する選択性も向上する。例えば、ニッケル
を含有する炭素混合物を用いる場合には、三フッ化窒素
の雰囲気下では、直流電流の出力形式が極めて特異なも
のとなり、ガス種の特定が容易になる。
【0016】金属を含有する炭素混合物からなるセンサ
材料では、金属成分としては、典型元素の金属及び遷移
金属を用いることができ、その具体例としては、B、M
g、Al、Si、In等の典型元素の金属、La、N
i、Co、Fe、Cr、Ta、Mn、Mo、Ti、A
u、Pd、Pt、Ag等の遷移金属等を挙げることがで
きる。金属成分は一種単独又は二種以上混合して用いる
ことができ、その含有量は、センサ材料中に0.01〜
30重量%程度とすることが適当である。
【0017】金属を含有する炭素混合物は、金属を含有
する炭素電極を用いて、上記した炭素混合物の製造方法
と同様にして、不活性ガス中でアーク放電を行なうこと
によって得ることができる。金属を含有する炭素電極の
形状等については、特に限定はなく、通常のアーク放電
に用いる電極と同様の形状とすればよく、電極中の金属
成分の含有量は、アーク放電により蒸発消失する電極部
分の金属含有率が目的物であるアーク放電による生成す
る炭素混合物中の金属含有率と同一となるようにすれば
よい。電極中に金属を含有させる方法としては、炭素と
金属粉体を均一に混合し成形して電極とする方法、炭素
電極中に空隙部を設け、この部分に粉体状、線状、ブロ
ック状等の金属を充填する方法などがあるが、いずれの
方法でも良い。アーク放電の条件は、上記した炭素混合
物を得るためのアーク放電と同様の条件とすればよい。
【0018】金属を含有する炭素電極を用いてアーク放
電により得られる生成物は、上記した炭素混合物と同様
に直径1nm程度〜100μm程度の炭素超微粒子と、
これと同程度の大きさの金属超微粒子とが混合したもの
となる。このうちで、炭素超微粒子は、グラファイトカ
ーボン、不定形カーボン、フラーレン類からなり、炭素
超微粒子中にフラーレン類は一般に0.1〜15重量%
程度含まれる。金属含有炭素混合物中の金属の含有率
は、アーク放電によって蒸発消失した電極部分の金属含
有率と同一となる。
【0019】本発明によれば、上記した方法によって得
られる炭素混合物又は金属含有炭素混合物をセンサ材料
として用いて、ガスセンサを得ることができる。ガスセ
ンサの形状については、特に限定はなく、公知の各種の
ガスセンサと同様とすればよい。例えば、炭素混合物又
は金属含有炭素混合物をペレット状、球形等に成形した
もの、炭素混合物又は金属含有炭素混合物をペースト状
にしてセラミックス基板に印刷したもの、MOS構造の
トランジスタとし、金属の代わりに炭素混合物又は金属
含有炭素混合物をつけたFET型のもの等とすることが
できる。成形体とする方法は特に限定はなく、炭素混合
物又は金属含有炭素混合物を高圧でプレスすることによ
って成形体とすることもできるが、例えば、パラフィン
等の炭化水素類、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコー
ル、カルボキシメチルセルロース、石油ピッチ、石炭ピ
ッチ等をバインダーとして全体量の5〜10重量%程度
用い、炭素混合物又は金属含有炭素混合物とバインダー
を、水、アルコール類、メチルセルソルブ等の分散媒中
に分散させた後、所望の形状に成形し、固化乾燥させた
後、200〜300℃程度で加熱し、更に、必要に応じ
て、400〜900℃程度で焼成することによって、成
形体とすることができる。或いは、炭素混合物又は金属
含有炭素混合物にコロイダルシリカを1〜20重量%程
度添加して成形し、室温〜200℃で乾燥する方法、炭
素混合物又は金属含有炭素混合物に金属アルコキシド溶
液(例えば、Si(OC254を25g、C25OH
を37.6g、H2Oを23.5g及びHClを0.3
g含有する溶液)を1〜30重量%程度添加して室温〜
200℃程度で乾燥する方法等により成形体とすること
ができる。
【0020】これらのガスセンサでは、ガス濃度の変化
に対応して出力電圧又は出力電流に変化が生じることか
ら、ガスの検出が可能である。更に、炭素混合物又は金
属含有炭素混合物を水素振動子に固定し、ガス吸着によ
る重量変化に伴う水素振動子の周波数変化によりガスを
検出することもできる。
【0021】本発明のセンサ材料を用いたガスセンサに
よれば、室温でガスを検出することができるが、検出ガ
スの種類によっては検出感度が低い場合があるので、検
出感度を向上させるためにセンサを50〜200℃程度
まで加熱しても良い。加熱方式は、連続的に一定温度に
加熱する方法でよいが、本発明のセンサ材料は、常温で
ガスを吸着し、加熱すると吸着ガスを放出する性質を有
するので、パルス状加熱を行って、吸着ガスを強制的に
放出しつつガスの検知を行うこともできる。
【0022】本発明のガスセンサ材料は、極性ガスに感
応し、メタン、ブタン、イソブタンなどの無極性ガスに
は殆ど感応しないという特異な特性を有するものであ
る。又、極性ガスについても、ガス種によって電流又は
電圧の出力形式に相違があることから、これらの特性に
基づいて、容易にガス種を特定できるので、選択性に優
れたセンサ材料である。本発明のセンサ材料を用いて検
出できる極性ガスの例としては、アミノ基を含有するガ
スであるアンモニア、メチルアミン等のアミン類;チオ
ール基を含有するガスであるメチルメルカプタン等の硫
黄化合物;酸素原子を含有するガスであるNOx、SO
x等の酸化物;フッ素原子を含有するガスである臭化三
フッ化メタン、二フッ化二塩化メタン等のフロン類及び
三フッ化窒素(NF3);塩素原子を含有するガスであ
るジクロロシラン、トリクロロシラン等の塩素化化合
物;水素原子を含有するガスであるアルシン(As
3)、ホスフィン(PH3)等の水素化化合物などを挙
げることができる。
【0023】
【発明の効果】本発明のガスセンサ材料は、アーク放電
によって得られた炭素混合物又は金属含有炭素混合物
を、精製することなくそのまま利用したのであり、精製
等の操作を要することがないために、精製に伴う廃棄物
の発生やコストの上昇などの弊害を生じることがない。
【0024】又、該センサ材料は、室温でガス検出が可
能であり、しかもガス種の選択性に優れているために、
非常に有用性が高いものである。
【0025】
【実施例】以下、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
【0026】実施例1 図1に示す炭素電極アーク放電装置を用いて炭素混合物
を製造した。該装置において、陽極1及び陰極2として
は、いずれも直径20mm、長さ500mmの炭素電極
を用いた。真空槽3内を真空排気後、ヘリウムガスを真
空槽3内に導入して圧力を100トールとした後、直流
電源4を用いて、炭素電極1、2に、放電面(電極の互
いに相対する面)についての電流密度が約2A/mm2
となるように直流電流を通電してアーク放電を行ない、
炭素混合物を蒸発させた。その後、工業用窒素ガスを真
空槽3に導入して槽内を大気圧とした後、真空槽3の内
部に付着した炭素混合物を取り出した。
【0027】この様にして得られた炭素混合物0.2g
を直径14mmのダイスに入れ、プレス機により1トン
の荷重を加えて、ペレット状に成形した。
【0028】得られたペレットについて、以下に示す四
端子法によって室温でアンモニアガスの検知試験を行っ
た。
【0029】ガス撹拌用ファンを設置した容量5400
mlのアクリル製容器を試験装置として用い、容器内の
底部に上記炭素混合物のペレットを入れ、該ペレットの
表面に2mm間隔で直線状に4個の端子を設け、両端の
2端子に0.09mAの直流電流を流し、内側の二つの
端子の出力電圧を測定し、出力が安定した後、マイクロ
シリンジを使って、容器内にアンモニアガスを5ppm
注入し、出力電流の時間変化を求めた。結果を図2に示
す。この結果から、上記炭素混合物が、アンモニアガス
に対して室温で良好な応答性を示すことが判る。
【0030】実施例2 直径20mm、長さ500mmの円柱状の炭素棒の一方
の底面の中心部分に直径3.2mm、深さ15mmの円
筒状の穴をあけ、この穴にニッケル粉体(200メッシ
ュ)を0.9g充填して、ニッケルを含有する炭素電極
を作製した。これを陽極1及び陰極2として用い、ニッ
ケルを充填した面同士を一定間隔をあけて相対させて放
電面とし、実施例1と同様の炭素電極アーク放電装置を
用いて、実施例1と同様の条件でアーク放電を行ない、
電極を蒸発させて、真空槽内部の付着物としてニッケル
を含有する炭素混合物を得た。得られた混合物は、粒径
200オングストローム程度のニッケルを2.95重量
%含有するものであった。
【0031】この様にして得られたニッケル含有炭素混
合物をガスセンサ材料として用いて、ガスの検出試験を
行った。
【0032】試験装置としては、実施例1と同様の試験
装置を用い、実施例1と同様にしてニッケル含有炭素混
合物をペレット状に成形し、実施例1と同様にこれから
4端子を取り出し、両端の2端子に0.1mAの電流を
流し、マイクロシリンジを使って、容器内にアンモニア
ガスを5ppm注入した後、一定時間経過後に、容器の
蓋を開けたときのDC電流の出力変化を求めた。結果を
図3に示す。
【0033】又、同様の試験装置を用いて、ニッケル含
有炭素混合物のペレットから4端子を取り出し、両端の
2端子に0.1mAの電流を流し、マイクロシリンジを
使って、容器内にトリエチルアミンを10μl注入し、
DC電流の出力変化を求めた。結果を図4に示す。
【0034】更に、同様の試験装置を用いて、ニッケル
含有炭素混合物のペレットから4端子を取り出し、両端
の2端子に0.1mAの電流を流し、マイクロシリンジ
を使って、容器内に一酸化窒素ガス又は三フッ化窒素ガ
スを8ppm注入し、DC電流の出力変化を求めた。一
酸化窒素ガスについての試験結果を図5に示し、三フッ
化窒素ガスについての試験結果を図6に示す。
【0035】以上の結果から明らかな様に、ニッケル含
有炭素混合物は、各種の極性ガスに対して優れた感応性
を示し、しかもガス種の相違によってそれぞれ特有の出
力形式を示すことから、ガス種の選択性に優れたもので
ある。特に、三フッ化窒素ガスについては、他のガスと
異なる特異な出力電流形式となるために、ガス種の特定
が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1で用いたアーク放電装置の概略図。
【図2】実施例1で得た炭素混合物を用いたアンモニア
ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図3】実施例2で得たNi含有炭素混合物を用いたア
ンモニアガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図4】実施例2で得たNi含有炭素混合物を用いたト
リエチルアミンの検知試験結果を示すグラフ。
【図5】実施例2で得たNi含有炭素混合物を用いた一
酸化窒素ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図6】実施例2で得たNi含有炭素混合物を用いた三
フッ化窒素ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【符号の説明】
1 炭素電極(陽極) 2 炭素電極(陰極) 3 真空槽 4 直流電源
フロントページの続き (72)発明者 野坂 俊紀 大阪府和泉市いぶき野3丁目5−12− 301 (72)発明者 櫻井 芳昭 奈良県橿原市久米町473 (72)発明者 夏川 一輝 大阪府堺市赤坂台5丁28−5 (72)発明者 四谷 任 大阪府堺市赤坂台5丁9−6 (72)発明者 川端 俊策 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 西田 勝美 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 西川 一廣 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 森 京博 大阪府堺市築港新町2−6−40 大同ほ くさん株式会社内 (72)発明者 木山 洋実 大阪府堺市築港新町2−6−40 大同ほ くさん株式会社内 (72)発明者 大森 宣典 大阪府堺市築港新町2−6−40 大同ほ くさん株式会社内 (56)参考文献 FENXI HUAXUE,23(2) 1995 p.163−166 大阪府立産業技術総合研究所報告、10 巻、1997年、58−61頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/12 JICSTファイル(JOIS) C04B 31/02

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧力0.1〜600トールの不活性ガス中
    で、炭素電極を用いて、電極の放電面についての電流密
    度が0.8〜3.5A/mm2となる直流電流又は交流
    電流を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得
    られる炭素混合物からなるガスセンサ材料。
  2. 【請求項2】圧力0.1〜600トールの不活性ガス中
    で、金属分を0.01〜30重量%含有する金属含有炭
    素電極を用いて、電極の放電面についての電流密度が
    0.8〜3.5A/mm2となる直流電流又は交流電流
    を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得られ
    る金属含有炭素混合物からなるガスセンサ材料。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7416699B2 (en) * 1998-08-14 2008-08-26 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube devices
US6346189B1 (en) * 1998-08-14 2002-02-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube structures made using catalyst islands
US6245280B1 (en) * 1999-06-21 2001-06-12 Energy Conversion Devices, Inc. Method and apparatus for forming polycrystalline particles
US6321587B1 (en) * 1999-10-15 2001-11-27 Radian International Llc Solid state fluorine sensor system and method
DE69925317D1 (de) * 1999-11-23 2005-06-16 Mat & Electrochem Res Corp Lagerung von gasen mit hilfe von auf fulleren basierten sorbentien
TW523960B (en) * 2000-09-29 2003-03-11 Sony Corp Method of producing fuel cell
US7183228B1 (en) 2001-11-01 2007-02-27 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube growth
US7022541B1 (en) 2001-11-19 2006-04-04 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Patterned growth of single-walled carbon nanotubes from elevated wafer structures

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422053C2 (de) * 1984-06-14 1986-07-17 Matter + Siegmann Ag, Wohlen Verfahren zur quantitativen und/oder qualitativen Erfassung von Substanzen
US5227038A (en) * 1991-10-04 1993-07-13 William Marsh Rice University Electric arc process for making fullerenes
US5413689A (en) * 1992-06-12 1995-05-09 Moltech Invent S.A. Carbon containing body or mass useful as cell component
US5334351A (en) * 1992-06-27 1994-08-02 Dragerwerk Aktiengesellschaft Sensor for detecting analytes in a fluid medium
US5876684A (en) * 1992-08-14 1999-03-02 Materials And Electrochemical Research (Mer) Corporation Methods and apparati for producing fullerenes
JPH06118042A (ja) * 1992-10-08 1994-04-28 Kyocera Corp ガスセンサ素子
US5393955A (en) * 1993-01-14 1995-02-28 Simmons; Walter N. Preparation of fullerenes and apparatus therefor
US5470680A (en) * 1993-03-19 1995-11-28 Materials And Electrochemical Research Corp. Electrochemical fullerene system
US5350794A (en) * 1993-07-22 1994-09-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Aliphatic polyamide compositions and fibers
JP3358245B2 (ja) * 1993-08-31 2002-12-16 ソニー株式会社 水蒸気センサ
US5547748A (en) * 1994-01-14 1996-08-20 Sri International Carbon nanoencapsulates
JP2611179B2 (ja) * 1994-02-25 1997-05-21 工業技術院長 フラーレンの製造方法及び装置
JP2644677B2 (ja) * 1994-02-28 1997-08-25 名古屋大学長 フラーレン類の製造方法及びその製造装置
JP3337313B2 (ja) * 1994-03-22 2002-10-21 東海カーボン株式会社 フラーレン類の製造方法および装置
CA2120682C (en) * 1994-04-06 1999-02-23 Sabatino Nacson Improved apparatus for rapid and specific detection of organic vapours
JP3517276B2 (ja) * 1994-05-19 2004-04-12 東洋炭素株式会社 フラーレン類の製造方法
JPH08165112A (ja) * 1994-12-08 1996-06-25 Tokai Carbon Co Ltd フラーレン類の製造装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
FENXI HUAXUE,23(2)1995 p.163−166
大阪府立産業技術総合研究所報告、10巻、1997年、58−61頁

Also Published As

Publication number Publication date
EP0869355A1 (en) 1998-10-07
US6105417A (en) 2000-08-22
WO1998012548A1 (fr) 1998-03-26
EP0869355A4 (en) 1999-05-19
JPH1090209A (ja) 1998-04-10
KR19990071612A (ko) 1999-09-27

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