JP3046570B2 - Abrasives and polishing equipment - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、板状体のバリ取り
作業を行う際等に使用する研磨材及び研磨装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing material and a polishing apparatus used for performing deburring work of a plate-like body.

【０００２】[0002]

【従来の技術】積層プリント基板を製造する場合に、無
数の小孔を穿孔した薄い銅板等の導電性の板状体を使用
する。この板状体には小孔をドリルで穿孔するため、板
状体の片面側にバリができるので、後処理の都合上、板
状体の表面をサンドペーパー等の研磨材により研磨しバ
リを除去する必要がある。本出願人は、このバリ取り等
に使用する研磨装置を特願平８−２８３０５３号におい
て既に提案した。この研磨装置は、板状体を搬送する搬
送手段と、この搬送手段上の板状体を搬送手段側に吸着
する吸着手段と、搬送手段上の板状体の表面を上側から
研磨する研磨手段とを備えている。そして、研磨手段
は、研磨ヘッドの下側の弾性パッドに研磨材を巻き付け
た後、その研磨材を研磨ヘッドの前後両側でネジ式の固
定具により着脱自在に固定し、この研磨ヘッドをエアー
駆動式の振動部により板状体の研磨面に沿って左右方向
に振動させて板状体を研磨するように構成している。2. Description of the Related Art When manufacturing a laminated printed circuit board, a conductive plate-like material such as a thin copper plate having a number of small holes is used. Since small holes are drilled in this plate-like body, burrs can be formed on one side of the plate-like body. For the sake of post-processing, the surface of the plate-like body is polished with an abrasive such as sandpaper to remove burrs. Need to be removed. The present applicant has already proposed a polishing apparatus used for the deburring and the like in Japanese Patent Application No. 8-285303. The polishing apparatus includes a conveying unit that conveys the plate, a suction unit that adsorbs the plate on the conveying unit to the conveying unit, and a polishing unit that polishes the surface of the plate on the conveying unit from above. And Then, the polishing means winds the polishing material around the elastic pad on the lower side of the polishing head, and then detachably fixes the polishing material on both front and rear sides of the polishing head with screw-type fixing devices, and drives the polishing head by air. The plate-shaped body is polished by vibrating in the left-right direction along the polished surface of the plate-shaped body by a vibrating portion of the type.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のサンドペーパー
等の研磨材は、可撓性を有するシート材の表面に砥粒層
を塗布しているため、研磨材自体が非常に硬く柔軟性に
欠け、弾性パッドを介して研磨ヘッドに研磨材を装着し
た時に、研磨材の湾曲部分で局部的な角張りが生じ、そ
の角張り部分で板状体の表面を損傷する欠点がある。ま
た研磨材が柔軟性に欠けるため、研磨ヘッドの下側に弾
性パッドを介して研磨材を装着しているものの、研磨材
の砥粒層側の全体を板状体の表面の全面に亘って均一に
接触させることが非常に困難である。従って、板状体の
バリ取り時に、研磨材の砥粒層と板状体との接触が悪い
部分では、板状体の表面にバリが残るという問題があ
る。更に従来は研磨ヘッドに巻き付けた研磨材をネジ式
の固定具で押圧して固定しているため、研磨材の交換時
に取り扱いが非常に煩雑になる欠点がある。本発明は、
かかる従来の課題に鑑み、柔軟性が良く砥粒層側の局部
的な角張り等の発生を防止できると共に、板状体等の被
研磨体の研磨面を容易且つ確実に研磨できる研磨材及び
研磨装置を提供することを目的とする。Conventional abrasives such as sandpaper have an abrasive layer applied to the surface of a flexible sheet material, and therefore the abrasive itself is very hard and lacks in flexibility. When the abrasive is mounted on the polishing head via the elastic pad, there is a drawback that a local corner is formed at a curved portion of the abrasive and the surface of the plate-shaped body is damaged at the corner. In addition, since the polishing material lacks flexibility, the polishing material is attached to the lower side of the polishing head via an elastic pad, but the entire abrasive layer side of the polishing material covers the entire surface of the plate-like body. It is very difficult to make uniform contact. Accordingly, there is a problem in that, when the plate-shaped body is deburred, burrs remain on the surface of the plate-shaped body in a portion where the contact between the abrasive layer of the abrasive and the plate-shaped body is poor. Further, conventionally, since the abrasive material wound around the polishing head is pressed and fixed by a screw-type fixing device, there is a disadvantage that handling is very complicated when the abrasive material is replaced. The present invention
In view of such conventional problems, an abrasive material that has good flexibility and can prevent the occurrence of local squaring and the like on the abrasive layer side and can easily and surely polish the polished surface of a body to be polished such as a plate-like body; An object of the present invention is to provide a polishing apparatus.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の研磨材は、可撓
性を有するシート材77に砥粒層78を設けた研磨材におい
て、シート材77の前後方向の両端部を取り付け部77a と
し、シート材77の両取り付け部77a 間の研磨領域79に、
左右両側で逆向きとなるように、前後方向に対して斜め
に傾斜するスリット80を左右方向に所定間隔おきに複数
個形成し、隣り合うスリット80間が、各取り付け部77a
に連続する斜め方向の帯状部81となっている。また本発
明の研磨装置は、可撓性を有するシート材77に砥粒層78
を設けた研磨材43を、被研磨体2 の研磨面に沿って左右
方向に往復移動する研磨ヘッド41に弾性パッド42を介し
て装着し、この研磨材43により、前後方向に搬送される
被研磨体2 の研磨面を研磨するようにした研磨装置にお
いて、研磨材43の弾性パッド42に対応する研磨領域79に
前後方向の張力が加わるように、この研磨材43を弾性パ
ッド42の前後両側の取り付け部77a で研磨ヘッド41に装
着し、この研磨材43の研磨領域79に、左右両側で逆向き
となるように、搬送方向に対して斜めに傾斜するスリッ
ト80を左右方向に所定間隔おきに複数個形成し、隣り合
うスリット80間が、各取り付け部77a に連続する斜め方
向の帯状部81となっている。According to the present invention, there is provided an abrasive in which an abrasive layer 78 is provided on a flexible sheet 77, and both ends in the front-rear direction of the sheet 77 are used as attachment portions 77a. In the polishing area 79 between the mounting portions 77a of the sheet material 77,
A plurality of slits 80 that are inclined obliquely to the front-rear direction are formed at predetermined intervals in the left-right direction so that the right and left sides are opposite to each other, and the space between adjacent slits 80 is each mounting portion 77a.
And a belt-like portion 81 extending in an oblique direction. In addition, the polishing apparatus of the present invention provides an abrasive layer 78 on a flexible sheet material 77.
A polishing material 43 provided with a polishing pad is attached via an elastic pad 42 to a polishing head 41 that reciprocates in the left-right direction along the polishing surface of the object 2 to be polished. In a polishing apparatus configured to polish the polished surface of the polishing body 2, the polishing material 43 is placed on both front and rear sides of the elastic pad 42 so that tension in the front-rear direction is applied to a polishing area 79 corresponding to the elastic pad 42 of the polishing material 43. Attachment to the polishing head 41 at the mounting portion 77a of the, the slit 80 inclined obliquely to the transport direction in the polishing area 79 of the abrasive material 43 at predetermined intervals in the left and right sides so that the left and right sides are reversed. A plurality of slits 80 are formed between the adjacent slits 80 to form obliquely extending strips 81 which are continuous with the respective mounting portions 77a.

【０００５】[0005]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳述する。図１乃至図１３は本発明の第１の
実施形態を例示する。本発明の研磨装置は、図１乃至図
４に示すように、基台1 と、この基台1 上に配置され且
つ板状体2 を搬送する搬送手段3 と、搬送手段3 の上手
側で基台1 に装着された投入台4 と、投入台4 上の板状
体2 を上側から１枚づつ搬送手段3 上に供給する供給手
段5 と、搬送手段3 の搬送部上の板状体2 を下側から搬
送手段3 に吸着する吸着手段6と、搬送手段3 に吸着さ
れて一体に移動する板状体2 の導体層を研磨する研磨手
段7 とを備えている。基台1 は箱型であって、その上側
に板状の側枠8 が幅方向に一対固定されている。投入台
4 は、基台1 に固定された一対の支柱9 に沿って昇降自
在に支持されると共に、上端の板状体2 が略一定高さと
なるように、昇降用のネジ機構10を介して昇降モータ11
により昇降制御可能になっている。ネジ機構10は、上下
両端で基台1 に支持されたネジ軸12と、このネジ軸12に
螺合するナット13とを備えている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. 1 to 13 illustrate a first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 1 to 4, the polishing apparatus of the present invention includes a base 1, a transport unit 3 disposed on the base 1 and transporting the plate-shaped body 2, and a polishing device on the upstream side of the transport unit 3. A loading table 4 mounted on a base 1, a supply means 5 for supplying the plate-like bodies 2 on the loading table 4 one by one from above to a transport means 3, and a plate-like body on a transport section of the transport means 3. There is provided an adsorbing means 6 for adsorbing the substrate 2 to the conveying means 3 from below, and a polishing means 7 for adhering the conductor layer of the plate-like body 2 adsorbed to the conveying means 3 and moving integrally therewith. The base 1 is box-shaped, and a pair of plate-shaped side frames 8 are fixed on the upper side in the width direction. Input stand
4 is supported by a pair of columns 9 fixed to the base 1 so as to be able to move up and down, and is moved up and down via a screw mechanism 10 for raising and lowering so that the plate-shaped body 2 at the upper end has a substantially constant height. Motor 11
Can be controlled up and down. The screw mechanism 10 includes a screw shaft 12 supported on the base 1 at both upper and lower ends, and a nut 13 screwed to the screw shaft 12.

【０００６】供給手段5 は、板状体2 を挟んで搬送手段
3 側に送る上下一対の送りローラ15と、投入台4 上の板
状体2 の先端部側を上側から真空吸着して送りローラ15
側に案内する吸着カップ16と、吸着カップ16による板状
体2 の吸着時に、その板状体2 を上側から押さえる押さ
えローラ17とを備えている。送りローラ15は両端の支持
側板18により支持され、板状体2 を上下から挟んで搬送
手段3 側に送るように、内蔵モータにより搬送方向に駆
動されている。各支持側板18は上端が横板19に固定さ
れ、横板19は一対の支柱9 間に支架されている。吸着カ
ップ16は送りローラ15の近傍で幅方向に２個配置され、
吸着シリンダ20を介して可動板21に昇降自在に取り付け
られている。可動板21は案内機構22を介して横板19の下
側に搬送方向に移動自在に装着され、横板19上の送りシ
リンダ23により搬送方向に往復移動自在である。押さえ
ローラ17は横板19から突出する一対の支持アーム24によ
り回転自在に支持され、吸着カップ16に対して送りロー
ラ15と反対側で板状体2 を下側に押さえるようになって
いる。[0006] The supply means 5 includes a transport means with the plate-shaped body 2 interposed therebetween.
And a pair of upper and lower feed rollers 15 for feeding to the side 3 and the feed roller 15 by vacuum-sucking the distal end side of the plate 2 on the loading table 4 from above.
The suction cup 16 is guided to the side, and a pressing roller 17 for pressing the plate 2 from above when the suction cup 16 sucks the plate 2 is provided. The feed roller 15 is supported by support side plates 18 at both ends, and is driven in the transport direction by a built-in motor so as to transport the plate-like body 2 to the transport means 3 side from above and below. The upper end of each support side plate 18 is fixed to a horizontal plate 19, and the horizontal plate 19 is supported between a pair of columns 9. Two suction cups 16 are arranged in the width direction near the feed roller 15,
It is attached to a movable plate 21 via a suction cylinder 20 so as to be able to move up and down. The movable plate 21 is mounted on the lower side of the horizontal plate 19 via a guide mechanism 22 so as to be movable in the transport direction, and is reciprocally movable in the transport direction by a feed cylinder 23 on the horizontal plate 19. The pressing roller 17 is rotatably supported by a pair of support arms 24 protruding from the horizontal plate 19, and presses the plate-like body 2 downward on the side opposite to the feed roller 15 with respect to the suction cup 16.

【０００７】搬送手段3 は板状体2 を水平方向に搬送す
るためのもので、一対の側枠8 間に配置された駆動ドラ
ム25及び従動ドラム26と、これら駆動ドラム25及び従動
ドラム26間に跨がって捲回された搬送ベルト27とを有す
る。駆動ドラム25は、一対の側枠8 に回転自在に支持さ
れた駆動軸28に固定され、また駆動軸28はプーリ29、ベ
ルト30、プーリ31を介して基台1 上の搬送モータ32に連
動連結されている。従動ドラム26は、一対の側枠8 に回
転自在に支持された従動軸35に固定されている。搬送ベ
ルト27はスチールベルト等の多孔金属ベルトにより構成
されている。各側枠8 の内側には、搬送手段3 の搬送ベ
ルト27の幅方向の端縁を上側から押さえる押さえ板36が
夫々設けられている。この押さえ板36はナイロン等の耐
磨耗性の合成樹脂材料により構成されており、この押さ
え板36で搬送ベルト27の幅方向の端縁の浮き上がりを防
止するようになっている。搬送手段3 の搬送部の下側に
は、搬送ベルト27を下側から支持するベルト案内板37が
設けられている。なお、ベルト案内板37は、図７に示す
ように、搬送ベルト27の吸着孔に連通する吸引孔38が多
数形成されている。The transport means 3 is for transporting the plate-like body 2 in the horizontal direction, and includes a driving drum 25 and a driven drum 26 disposed between a pair of side frames 8, and a driving drum 25 and a driven drum 26 between the driving drum 25 and the driven drum 26. And a transport belt 27 wound over the same. The drive drum 25 is fixed to a drive shaft 28 rotatably supported by the pair of side frames 8, and the drive shaft 28 is interlocked with a transport motor 32 on the base 1 via a pulley 29, a belt 30, and a pulley 31. Are linked. The driven drum 26 is fixed to a driven shaft 35 rotatably supported by the pair of side frames 8. The transport belt 27 is configured by a porous metal belt such as a steel belt. Inside each side frame 8, a holding plate 36 for holding an edge in the width direction of the transport belt 27 of the transport means 3 from above is provided. The holding plate 36 is made of a wear-resistant synthetic resin material such as nylon, and the holding plate 36 prevents the edge of the conveying belt 27 from rising in the width direction. A belt guide plate 37 that supports the transport belt 27 from below is provided below the transport section of the transport unit 3. As shown in FIG. 7, the belt guide plate 37 has a large number of suction holes 38 communicating with the suction holes of the conveyor belt 27.

【０００８】吸着手段6 は、ベルト案内板37の下側に吸
引室39を備え、その吸引室39は吸引管40等を介してブロ
アー等の吸引手段（図示省略）に接続されている。研磨
手段7 は、図５乃至図８に示すように、非磁性体から成
る研磨ヘッド41と、この研磨ヘッド41に弾性パッド42を
介して着脱自在に装着された研磨材43と、研磨ヘッド41
を板状体2 の上側の研磨面に沿って駆動する駆動モータ
44と、研磨ヘッド41及び駆動モータ44を支持する支持部
材45とを備え、駆動モータ44の回転軸46の下端に固定さ
れ且つ研磨ヘッド41に回転自在に嵌合する駆動偏心軸47
と、駆動モータ44の左右両側で支持部材45に回転自在に
支持された２個の支軸48と、各支軸48の下端に一体に形
成され且つ研磨ヘッド41に回転自在に嵌合する従動偏心
軸49と、駆動偏心軸47の回転時に、従動偏心軸49を該駆
動偏心軸47と同調回転させる同調手段50とを備えてい
る。The suction means 6 has a suction chamber 39 below the belt guide plate 37, and the suction chamber 39 is connected to a suction means (not shown) such as a blower via a suction pipe 40 or the like. As shown in FIGS. 5 to 8, the polishing means 7 includes a polishing head 41 made of a non-magnetic material, a polishing material 43 detachably mounted on the polishing head 41 via an elastic pad 42, and a polishing head 41.
Motor that drives the plate along the upper polishing surface of the plate-like body 2
A driving eccentric shaft 47 fixed to the lower end of a rotating shaft 46 of the driving motor 44 and rotatably fitted to the polishing head 41.
And two support shafts 48 rotatably supported by support members 45 on both left and right sides of the drive motor 44, and a driven shaft integrally formed at the lower end of each support shaft 48 and rotatably fitted to the polishing head 41. An eccentric shaft 49 and a tuning means 50 for rotating the driven eccentric shaft 49 in synchronization with the driving eccentric shaft 47 when the driving eccentric shaft 47 rotates.

【０００９】研磨ヘッド41及び支持部材45は、板状体2
の搬送方向と直交する左右方向に長い矩形状であって、
支持部材45の下側に研磨ヘッド41が近接して配置され、
これら支持部材45及び研磨ヘッド41は搬送ベルト27上の
板状体2 と平行に配置されている。研磨ヘッド41には、
図５、図７乃至図１０に示すように、左右方向の中央部
及びその左右両側に、上側に開口する嵌合凹部51が形成
されると共に、前後両側の側壁部52の上側に４個の磁石
53が等間隔を置いて埋設され、また下側に凹部56が左右
方向に形成されている。中央の嵌合凹部51には回転軸46
の駆動偏心軸47が、左右の各嵌合凹部51には各支軸48の
従動偏心軸49が夫々軸受を介して縦軸心廻りに回転自在
に嵌合されている。弾性パッド42は、図５、図７、図９
及び図１０に示すように、スポンジ等の剛性ゴム材料か
ら成り、下面側が下方に突出する緩やかな円弧状に形成
され、研磨ヘッド41の下面側に固着されている。The polishing head 41 and the supporting member 45 are
A rectangular shape that is long in the left-right direction orthogonal to the transport direction of
The polishing head 41 is arranged close to the lower side of the support member 45,
The support member 45 and the polishing head 41 are arranged in parallel with the plate-like body 2 on the conveyor belt 27. The polishing head 41 has
As shown in FIGS. 5, 7 to 10, fitting recesses 51 opening upward are formed at the center in the left-right direction and at the left and right sides thereof, and four fittings 51 are provided above the front and rear side walls 52. magnet
53 are buried at equal intervals, and a concave portion 56 is formed on the lower side in the left-right direction. The rotating shaft 46 is located in the central fitting recess 51.
The drive eccentric shaft 47 is rotatably fitted around the vertical axis via a bearing in each of the left and right fitting concave portions 51 via a bearing. The elastic pad 42 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 10, the polishing head 41 is formed of a rigid rubber material such as a sponge, has a lower surface formed in a gentle arc shape protruding downward, and is fixed to the lower surface of the polishing head 41.

【００１０】研磨材43は可撓性を有するシート状であっ
て、図７に示すように弾性パッド42の下側に当てた状態
で前後両端部が一対の保持部材54により研磨ヘッド41と
の間で挟持されている。各保持部材54は磁性体により構
成された帯板状であって、図７、図９及び図１０に示す
ように、磁石53により研磨ヘッド41の側壁部52側に着脱
自在に吸着されている。各保持部材54には板バネ材から
成る弾性押圧片55が上端側でネジ等により固定され、こ
の弾性押圧片55の下端側の屈曲部55a で研磨材43を凹部
56側に押圧して、研磨材43が弾性パッド42の下側に適度
な張力で密着するようになっている。駆動モータ44は、
図５及び図８に示す如く支持部材45の上側で左右中央に
固定されており、その回転軸46が板状体2 に対して垂直
になるように下方に突設され、この回転軸46に駆動偏心
軸47が着脱自在に套嵌されてキー結合されている。The abrasive 43 is in the form of a sheet having flexibility, and has a pair of holding members 54 at both front and rear ends of the abrasive 43 with the pair of holding members 54, as shown in FIG. Are sandwiched between. Each holding member 54 is in the form of a strip made of a magnetic material, and is detachably adsorbed to the side wall portion 52 of the polishing head 41 by a magnet 53 as shown in FIGS. 7, 9 and 10. . An elastic pressing piece 55 made of a leaf spring material is fixed to each holding member 54 by a screw or the like on the upper end side, and the polishing material 43 is recessed by a bent portion 55a on the lower end side of the elastic pressing piece 55.
By pressing to the 56 side, the abrasive 43 is brought into close contact with the lower side of the elastic pad 42 with an appropriate tension. The drive motor 44 is
As shown in FIGS. 5 and 8, the support member 45 is fixed at the center in the left and right direction above the support member 45, and its rotating shaft 46 is projected downward so as to be perpendicular to the plate-like body 2. The drive eccentric shaft 47 is detachably fitted and key-coupled.

【００１１】各支軸48は図５に示す如く駆動モータ44の
回転軸46と平行で上下方向に配置され、軸受を介して支
持部材45に回転自在に支持されている。各支軸48の下端
側に従動偏心軸49が一体に形成されている。各従動偏心
軸49は、回転軸46に対する駆動偏心軸47の偏心量A1と同
一の偏心量A2で支軸48に対して偏心し、駆動偏心軸47と
周方向に同一位相となるように設定されている。同調手
段50は、図５、図７及び図８に示すように、各支軸48の
上端部側のタイミングプーリ57と、各タイミングプーリ
57の前後両側に配置された４個のガイド輪58と、これら
タイミングプーリ57及びガイド輪58に巻き掛けられたタ
イミングベルト59とを備えている。各タイミングプーリ
57には、外周に歯を備えた歯付きプーリが使用され、各
支軸48の上端部に調整具60を介して周方向に位置調整可
能に固定されている。各ガイド輪58は、タイミングベル
ト59が駆動モータ44と干渉しないように内側の間隔を前
後に広げるためのもので、各支軸48よりも若干内側でそ
の前後両側に固定された固定軸61により回転自在に支持
され、そのタイミングベルト59の内側に駆動モータ44が
配置されている。As shown in FIG. 5, each support shaft 48 is arranged vertically in parallel with the rotation shaft 46 of the drive motor 44, and is rotatably supported by a support member 45 via a bearing. A driven eccentric shaft 49 is formed integrally with the lower end side of each support shaft 48. Each driven eccentric shaft 49 is set to be eccentric with respect to the support shaft 48 with the same eccentric amount A2 as the eccentric amount A1 of the driving eccentric shaft 47 with respect to the rotating shaft 46, and to have the same phase in the circumferential direction as the driving eccentric shaft 47. Have been. As shown in FIGS. 5, 7 and 8, the tuning means 50 includes a timing pulley 57 on the upper end side of each support shaft 48 and a timing pulley
The vehicle includes four guide wheels 58 disposed on both front and rear sides of the guide wheel 57, and a timing pulley 57 and a timing belt 59 wound around the guide wheel 58. Each timing pulley
For 57, a toothed pulley having teeth on the outer circumference is used, and is fixed to the upper end of each support shaft 48 via an adjusting tool 60 so that the position can be adjusted in the circumferential direction. Each guide wheel 58 is for widening the inner space back and forth so that the timing belt 59 does not interfere with the drive motor 44, and a fixed shaft 61 fixed slightly inside each support shaft 48 and fixed on both front and rear sides thereof. The drive motor 44 is rotatably supported, and the drive motor 44 is disposed inside the timing belt 59.

【００１２】タイミングベルト59には内周に歯を備えた
歯付きベルトが使用されており、このタイミングベルト
59がタイミングプーリ57に噛合しながら各従動偏心軸49
を駆動偏心軸47と同一位相で同調回転させるようになっ
ている。支持部材45には駆動モータ44の左右両側のブラ
ケット62を介して昇降枠63に固定されている。支持部材
45には、駆動モータ44に対応する位置に上側に屈曲する
屈曲部が設けられ、この屈曲部に駆動モータ44の上端側
が下側から嵌合されている。昇降枠63は、左右及び前後
のガイド機構64を介して回動枠65に昇降自在に支持さ
れ、昇降シリンダ64a の伸縮動作により、研磨ヘッド41
の研磨材43側が板状体2 から上方に離間する上昇位置
と、板状体2 に当接する下降位置との間で昇降自在にな
っている。ガイド機構64は、昇降枠63に固定されたガイ
ドロッド66と、回動枠65に固定され且つガイドロッド66
を支持案内するガイド筒67とにより構成されている。昇
降シリンダ64a は回動枠65の左右中央に固定され、その
ピストンロッドが昇降枠63に着脱自在に連結されてい
る。As the timing belt 59, a toothed belt having teeth on the inner periphery is used.
Each driven eccentric shaft 49 engages the timing pulley 57
Are tuned and rotated in the same phase as the drive eccentric shaft 47. The support member 45 is fixed to a lifting frame 63 via brackets 62 on both left and right sides of the drive motor 44. Support member
The 45 has a bent portion bent upward at a position corresponding to the drive motor 44, and the upper end of the drive motor 44 is fitted to the bent portion from below. The lifting frame 63 is supported by a rotating frame 65 via a left and right and front and rear guide mechanism 64 so as to be able to move up and down.
Is vertically movable between a rising position in which the abrasive material 43 side is separated upward from the plate-like body 2 and a descending position in contact with the plate-like body 2. The guide mechanism 64 includes a guide rod 66 fixed to the lifting frame 63, and a guide rod 66
And a guide cylinder 67 that supports and guides the guide tube 67. The lifting cylinder 64a is fixed to the left and right centers of the rotating frame 65, and its piston rod is detachably connected to the lifting frame 63.

【００１３】回動枠65は左右両側の横軸68を介して上側
板69に回動自在に支持され、その一方の横軸68に固定さ
れたハンドル70を操作することにより、研磨手段7 が下
方に向いた研磨姿勢と、研磨手段7 が搬送方向の下手側
に向いた退避姿勢との間で横軸68廻りに姿勢変更できる
ようになっている。なお、研磨ヘッド41の上手側近傍の
左右中央には、板状体2 の先端部を検出する到着センサ
ー71が配置され、この到着センサー71が板状体2 の先端
及び後端を検出して、昇降シリンダ64a の伸縮を制御す
るようになっている。研磨手段7 の前後両側には、板状
体2 を搬送ベルト27上に押さえる押圧ローラ72が設けら
れている。各押圧ローラ72は、左右一対の揺動アーム73
間の先端に固定されたローラ軸に回転自在に套嵌されて
いる。各揺動アーム73の基部は上側板69間に架設された
横枠74に枢軸75を介して枢支され、押圧ローラ72が板状
体2 を押さえる押圧位置と、上方に起立する起立位置と
の間で起伏自在となっている。なお、押圧ローラ72の下
手側の近傍には、塵埃を集塵する集塵口76が設けられて
いる。The rotating frame 65 is rotatably supported on the upper plate 69 via left and right horizontal shafts 68, and by operating a handle 70 fixed to one of the horizontal shafts 68, the polishing means 7 is rotated. The posture can be changed around the horizontal axis 68 between the downward polishing posture and the retracting posture in which the polishing means 7 faces the lower side in the transport direction. An arrival sensor 71 for detecting the front end of the plate-shaped body 2 is disposed in the center of the polishing head 41 near the upper side in the left and right direction. The arrival sensor 71 detects the front and rear ends of the plate-shaped body 2. The extension and retraction of the lifting cylinder 64a is controlled. On both front and rear sides of the polishing means 7, pressing rollers 72 for pressing the plate-like body 2 onto the conveyor belt 27 are provided. Each pressing roller 72 includes a pair of left and right swing arms 73.
The roller shaft is rotatably fitted to a roller shaft fixed to a leading end between the roller shafts. The base of each swing arm 73 is pivotally supported via a pivot 75 on a horizontal frame 74 provided between the upper plates 69, and a pressing position at which the pressing roller 72 presses the plate-like body 2 and a standing position at which the pressing roller 72 stands up. It is up and down freely between. In the vicinity of the lower side of the pressing roller 72, a dust collecting port 76 for collecting dust is provided.

【００１４】研磨材43は、図１１乃至図１３に示すよう
に、研磨ヘッド41及び弾性パッド42に応じた大きさの矩
形状であって、可撓性を有するシート材77と、このシー
ト材77の一側面に砥粒を塗布して形成された砥粒層78と
を備えたサンドペーパー等により構成され、そのシート
材77の幅方向の両側が取り付け部77a となっており、そ
の両取り付け部77a の中間が研磨領域79となっている。
研磨領域79には、左右両側で逆向きとなるように、左右
方向（長手方向）の略中央部から左右両端側に跨がって
多数のスリット80が所定間隔おきに斜め方向に略平行に
形成され、その各スリット80間が両取り付け部77a に連
続する斜め方向の帯状部81となっている。また研磨領域
79の中央部には、左右の何れかのスリット80と平行に短
スリット85が所定数（例えば１〜３本程度）形成されて
いる。As shown in FIGS. 11 to 13, the polishing material 43 is a rectangular sheet having a size corresponding to the polishing head 41 and the elastic pad 42, a flexible sheet material 77, and a sheet material. 77 is constituted by sandpaper or the like having an abrasive layer 78 formed by applying abrasive grains to one side surface, and both sides in the width direction of the sheet material 77 are mounting portions 77a, The middle of the portion 77a is a polishing region 79.
In the polishing area 79, a number of slits 80 are provided in a substantially oblique direction at predetermined intervals from a substantially central portion in the left-right direction (longitudinal direction) to both left and right sides so that the left and right sides are reversed. The slits 80 are formed to form oblique strips 81 that are continuous with the mounting portions 77a. Also polishing area
A predetermined number (for example, about 1 to 3) of short slits 85 are formed in the center of 79 in parallel with one of the left and right slits 80.

【００１５】各スリット80は、図１２に示すように、隣
り合うスリット80の一方のスリット80の幅方向の一端側
ａと他方のスリット80の他端側ｂとが左右方向に寸法c
（ｃ＝０を含む）だけ重なるか、又はその一端側ａと他
端側ｂとの間隔が研磨ヘッド41の左右方向の移動（振
動）量の範囲内に収まる程度に小さくなっている。この
場合には、各隣り合うスリット80間の幅方向の一端側ａ
と他端側ｂとが左右方向に重なるようになっている。な
お、この条件は短スリット85についても同様であり、ま
たこの短スリット85と、これと反対向きのスリット80
は、一端側ａ同士が左右方向に重なるようになってい
る。砥粒層78は、シート材77の全面に均一に塗布しても
良いが、この実施形態では図１２に示すように長円状の
独立した小さい塗布域78a をシート材77の全面に千鳥状
に配置して、その塗布域78a 間に、シート材77の全域に
亘って連続する非塗布部分78b を形成し、研磨材43全体
の可撓性を良くしている。なお、搬送手段3 の下手側に
は、研磨後の板状体2 を次工程に搬送するコンベア84が
配置されている。As shown in FIG. 12, each slit 80 has one end a in the width direction of one slit 80 of the adjacent slit 80 and the other end b of the other slit 80 have a dimension c in the left-right direction.
(Including c = 0) or the distance between one end a and the other end b is small enough to fall within the range of the movement (vibration) of the polishing head 41 in the left-right direction. In this case, one end a in the width direction between the adjacent slits 80
And the other end b overlap in the left-right direction. This condition is the same for the short slit 85, and the short slit 85 and the slit 80 in the opposite direction.
Is such that one end sides a overlap in the left-right direction. The abrasive layer 78 may be evenly applied to the entire surface of the sheet material 77, but in this embodiment, as shown in FIG. The non-applied portion 78b is formed between the application areas 78a and continuously over the entire area of the sheet material 77, thereby improving the flexibility of the entire abrasive 43. Note that a conveyor 84 for transporting the polished plate 2 to the next step is disposed below the transporting means 3.

【００１６】上記構成の研磨装置において、板状体2 の
表面を研磨してバリ取り作業を行う場合の動作を説明す
る。先ず研磨ヘッド41に弾性パッド42を介して６００
番、８００番程度の研磨材43を装着する。この場合、研
磨手段7 を図６に仮想線で示す退避姿勢にした後、研磨
ヘッド41の前後両側の保持部材54を外す。そして、弾性
パッド42側に研磨材43を当てた状態で両端を研磨ヘッド
41の側壁部52側に沿わせた後、研磨材43の両端の取り付
け部77a 側に保持部材54をセットする。すると保持部材
54が研磨ヘッド41側の磁石53に吸着されるので、研磨ヘ
ッド41と各保持部材54との間で研磨材43の両取り付け部
77a を挟持して保持でき、研磨ヘッド41に研磨材43を容
易に装着できる。各保持部材54が磁石53により研磨ヘッ
ド41に固定されると、各保持部材54の弾性押圧片55の先
端部が研磨材43を凹部56側に押圧する。このため、研磨
ヘッド41に弾性パッド42を介して研磨材43を装着するこ
とと相俟って、弾性押圧片55の弾性力により研磨材43に
適度な張力を付与でき、研磨材43の装着が容易であるに
も拘わらず研磨材43を弾性パッド42に沿って適度な張り
状態で装着できる。The operation of the above-structured polishing apparatus when the surface of the plate-like body 2 is polished to perform a deburring operation will be described. First, the polishing head 41
No. 800 abrasive is attached. In this case, after the polishing means 7 is set to the retracted position shown by a virtual line in FIG. 6, the holding members 54 on both front and rear sides of the polishing head 41 are removed. Then, with the abrasive 43 applied to the elastic pad 42 side, the both ends are polished
After being aligned along the side wall 52 side of 41, the holding member 54 is set on the mounting portion 77a side of both ends of the abrasive 43. Then the holding member
Since the magnet 54 is attracted to the magnet 53 on the side of the polishing head 41, both mounting portions of the polishing material 43 are provided between the polishing head 41 and each holding member 54.
77a can be pinched and held, and the polishing material 43 can be easily mounted on the polishing head 41. When each holding member 54 is fixed to the polishing head 41 by the magnet 53, the tip of the elastic pressing piece 55 of each holding member 54 presses the abrasive 43 toward the recess 56 side. Therefore, in combination with the mounting of the abrasive 43 on the polishing head 41 via the elastic pad 42, an appropriate tension can be applied to the abrasive 43 by the elastic force of the elastic pressing piece 55, and the mounting of the abrasive 43 Although it is easy, the abrasive 43 can be attached along the elastic pad 42 with an appropriate tension.

【００１７】研磨材43を弾性パッド42を介して研磨ヘッ
ド41に装着した状態では、そのスリット80間の帯状部81
に張力がかかるため、その帯状部81の幅方向の中央部分
が弾性パッド42側に圧接して緩やかに湾曲し、帯状部81
の幅方向の両端側、即ち、スリット80側が帯状部81の中
央部分よりも僅かに反り上がって突出した状態になる。
このため、後述するように、この状態で研磨材43を板状
体2 の表面に圧接させて板状体2 を研磨すれば、研磨材
43の各スリット80の近傍の反り上がり部分の砥粒層78に
よって板状体2 を確実に研磨でき、その表面側のバリを
容易且つ確実に除去できる。研磨材43を研磨ヘッド41に
装着した後は、研磨手段7 を下向きの研磨姿勢に戻し、
押圧ローラ72を起立位置から押圧位置へと戻す。研磨作
業に際しては、先ず多数枚の板状体2 を積層した状態で
投入台4 上に載置した後、上端の板状体2 が押さえロー
ラ17に当接するか、又は押さえローラ17に近接する高さ
まで、昇降モータ11により投入台4 を上昇させる。When the polishing material 43 is mounted on the polishing head 41 via the elastic pad 42, the belt-like portions 81 between the slits 80 are provided.
Is applied to the elastic pad 42, the central portion in the width direction of the band 81 is gently curved, and the band 81 is gradually curved.
, That is, both ends in the width direction, that is, the slit 80 side slightly warps up and protrudes from the central portion of the band-shaped portion 81.
For this reason, as described later, if the abrasive 43 is pressed against the surface of the plate 2 in this state and the plate 2 is polished, the abrasive
The plate-like body 2 can be reliably polished by the abrasive layer 78 in the warped portion near each slit 80 of 43, and burrs on the surface side thereof can be easily and reliably removed. After the abrasive 43 is attached to the polishing head 41, the polishing means 7 is returned to the downward polishing posture,
The pressing roller 72 is returned from the standing position to the pressing position. In the polishing operation, first, after a large number of plate-like bodies 2 are stacked and placed on the loading table 4, the plate-like body 2 at the upper end comes into contact with the pressing roller 17 or comes close to the pressing roller 17. The loading table 4 is raised by the lifting motor 11 to the height.

【００１８】次に吸着シリンダ20により吸着カップ16を
下降させて、この吸着カップ16により上端の板状体2 の
先端部分を吸着し、吸着シリンダ20により吸着カップ16
を上昇させる。すると吸着カップ16と共に上側の板状体
2 の先端側が上昇する時に、この上側の板状体2 が押さ
えローラ17により押さえられるので、板状体2 の押さえ
ローラ17から先端側がその下側の板状体2 から分離し易
くなる。上側の板状体2 の先端側が一対の送りローラ15
間に対応する高さまで上昇すると、送りシリンダ23を収
縮させて可動板21を送りローラ15側へとＸ矢示方向に移
動させて、板状体2 の先端部を送りローラ15間に挿入す
ると同時に、吸着カップ16による板状体2 の吸着を解除
する。板状体2 の先端側が送りローラ15間に入ると、こ
の送りローラ15の送り作用によって搬送手段3 の搬送ベ
ルト27上へとＸ矢示方向に供給されて行く。Next, the suction cup 16 is lowered by the suction cylinder 20, the tip of the upper plate 2 is sucked by the suction cup 16, and the suction cup 16 is sucked by the suction cylinder 20.
To rise. Then the upper plate-like body together with the suction cup 16
Since the upper plate 2 is pressed by the pressing roller 17 when the front end of the plate 2 is raised, the front end of the plate 2 from the pressing roller 17 is easily separated from the lower plate 2. The tip end of the upper plate-like body 2 is a pair of feed rollers 15
When the movable plate 21 is moved to the feed roller 15 side in the X-arrow direction when the feed cylinder 23 is retracted to a height corresponding to At the same time, the suction of the plate 2 by the suction cup 16 is released. When the leading end side of the plate-like body 2 enters between the feed rollers 15, the feed action of the feed rollers 15 causes the sheet to be supplied onto the conveying belt 27 of the conveying means 3 in the direction of the arrow X.

【００１９】搬送手段3 の搬送ベルト27は搬送モータ32
によってＸ矢示方向に駆動されているので、板状体2 の
先端側が搬送ベルト27上に乗ると、この板状体2 は送り
ローラ15と搬送ベルト27との送り作用によってＸ矢示方
向へと搬送される。そして、板状体2 の先端側が到着セ
ンサー71まで到着すると、この到着センサー71が板状体
2 を検出する。板状体2 の先端側が到着センサー71の下
側を通過して吸着手段6 側に到達すると、吸引手段が作
動してベルト案内板37の吸引孔38から吸引室39を介して
外気を吸入しているため、搬送ベルト27上の板状体2 が
搬送ベルト27の吸引孔38を介して搬送ベルト27側に吸着
されて、板状体2 が搬送ベルト27に固定状態となって一
体に搬送方向に移動し始める。また押圧ローラ72で板状
体2 をベルト案内板37側に押圧するため、この押圧ロー
ラ72によっても板状体2 の浮き上がり、左右方向への移
動等を確実に防止できる。The transport belt 27 of the transport means 3 includes a transport motor 32
When the leading end of the plate-like body 2 rides on the conveyor belt 27, the plate-like body 2 is moved in the X-arrow direction by the feed action of the feed roller 15 and the transfer belt 27. Is conveyed. When the leading end of the plate-like body 2 reaches the arrival sensor 71, the arrival sensor 71
2 is detected. When the tip end of the plate-like body 2 passes below the arrival sensor 71 and reaches the suction means 6 side, the suction means operates to suck outside air from the suction hole 38 of the belt guide plate 37 through the suction chamber 39. Therefore, the plate-like body 2 on the conveyor belt 27 is attracted to the conveyor belt 27 through the suction holes 38 of the conveyor belt 27, and the plate-like body 2 is fixed to the conveyor belt 27 and is integrally conveyed. Start moving in the direction. In addition, since the plate-shaped body 2 is pressed toward the belt guide plate 37 by the pressing roller 72, the lifting of the plate-shaped body 2 and the movement in the left-right direction can be reliably prevented by the pressing roller 72.

【００２０】一方、到着センサー71が板状体2 の先端側
を検出してから一定時間が経過し、板状体2 の先端側が
研磨手段7 の研磨ヘッド41の下側に数ｍｍ〜数十ｍｍ入
ると、制御装置からの信号によって昇降シリンダ64a が
伸長して研磨ヘッド41が下降し、駆動モータ44の作動に
よって水平面内で円運動により振動する研磨ヘッド41が
下降する。駆動モータ44が作動すると、その回転軸46に
固定された駆動偏心軸47が回転軸46の軸心廻りにＹ矢示
方向に回転するため、回転軸46と駆動偏心軸47との偏心
量に応じて研磨ヘッド41の中央部分が円運動をしようと
する。しかし、研磨ヘッド41の左右には駆動偏心軸47と
同一位相で同一偏心量の従動偏心軸49が嵌合しており、
その両従動偏心軸49が同調手段50のタイミングプーリ5
7、タイミングベルト59を介して連動状態にあるので、
この各従動偏心軸49が駆動偏心軸47に同調回転して、研
磨ヘッド41の両端部側も円運動を開始し、これらの協働
作用によって研磨ヘッド41が左右方向に平行状態を保ち
ながら、研磨材43を板状体2 に圧接させた状態のまま水
平面内で円運動により振動する。On the other hand, a certain period of time has passed since the arrival sensor 71 has detected the leading end of the plate 2, and the leading end of the plate 2 is positioned several millimeters to several tens below the polishing head 41 of the polishing means 7. mm, the raising / lowering cylinder 64a is extended by a signal from the control device to lower the polishing head 41, and the polishing motor 41 vibrating by a circular motion in a horizontal plane is lowered by the operation of the drive motor 44. When the drive motor 44 operates, the drive eccentric shaft 47 fixed to the rotation shaft 46 rotates in the Y direction around the axis of the rotation shaft 46, so that the amount of eccentricity between the rotation shaft 46 and the drive eccentric shaft 47 is reduced. Accordingly, the central portion of the polishing head 41 attempts to make a circular motion. However, a driven eccentric shaft 49 having the same eccentricity and the same phase as the drive eccentric shaft 47 is fitted on the left and right of the polishing head 41,
The two driven eccentric shafts 49 are the timing pulley 5 of the tuning means 50.
7, Since it is in an interlocked state via the timing belt 59,
Each of the driven eccentric shafts 49 is rotated synchronously with the drive eccentric shaft 47, and both ends of the polishing head 41 also start a circular motion, and the polishing head 41 is kept parallel to the left and right by the cooperation of these, The abrasive 43 vibrates by circular motion in a horizontal plane while being pressed against the plate-like body 2.

【００２１】従って、駆動モータ44、駆動偏心軸47、従
動偏心軸49及び同調手段50により研磨ヘッド41を振動さ
せる構成を採用しているため、研磨ヘッド41の駆動時の
騒音の発生を極力防止でき、振動機構全体の構成を簡単
な構造にでき容易且つ安価に製作できる。特に同調手段
50は、支軸48に固定のタイミングプーリ57とタイミング
ベルト59とにより構成しているため、構造が非常に簡単
であると同時に、騒音等も少なく動作が円滑であり、各
従動偏心軸49の位相のずれ等も確実に防止できる。また
同調手段50が支持部材45の上側にあるため、研磨ヘッド
41を支持部材45の下側に近接させて配置でき、小型化で
きる。更にガイド輪58でタイミングベルト59の内側の間
隔を広げ、その中に駆動モータ44を配置しているため、
全体を小型化できる。研磨ヘッド41が振動すると、この
研磨ヘッド41に弾性パッド42を介して装着された研磨材
43が板状体2 の表面に当接しているので、板状体2 が搬
送ベルト27と一体に移動するに伴って、研磨材43により
板状体2 の表面を一端側ａから他端側ｂへと順次研磨す
る。従って、板状体2 の表面を適当な粗面状に研磨して
そのバリを確実に除去できる。Therefore, since the polishing head 41 is vibrated by the drive motor 44, the drive eccentric shaft 47, the driven eccentric shaft 49 and the tuning means 50, generation of noise when the polishing head 41 is driven is minimized. The structure of the entire vibration mechanism can be simplified, and the vibration mechanism can be manufactured easily and inexpensively. Especially the tuning means
50 is composed of a timing pulley 57 and a timing belt 59 fixed to the support shaft 48, so that the structure is very simple, and at the same time, the operation is smooth with little noise and the like. A phase shift or the like can be reliably prevented. Also, since the tuning means 50 is above the support member 45, the polishing head
41 can be arranged close to the lower side of the support member 45, and the size can be reduced. Further, since the inner space of the timing belt 59 is widened by the guide wheels 58 and the drive motor 44 is disposed therein,
The whole can be miniaturized. When the polishing head 41 vibrates, the abrasive material attached to the polishing head 41 via the elastic pad 42
Since the plate 43 is in contact with the surface of the plate 2, as the plate 2 moves integrally with the conveyor belt 27, the surface of the plate 2 is moved from one end a to the other end by the abrasive 43. Polish sequentially to b. Therefore, the surface of the plate-like body 2 can be polished to an appropriate rough surface to reliably remove burrs.

【００２２】特に研磨材43は、多数のスリット80が斜め
方向に形成されているので、シート材77に砥粒層78があ
っても、研磨材43全体の剛性が低下して柔軟性が向上
し、弾性パッド42に沿って滑らかに屈曲し、湾曲部分で
局部的に角張るようなことがなく、研磨材43の弾性パッ
ド42に対する馴染み性が非常に良くなる。しかも、前述
のように帯状部のスリット80側が図１３に示すように反
り上がった状態になっており、その反り上がり部分の砥
粒層78で板状体2 の表面を研磨するので、板状体2 の表
面を傷付けることなくバリを除去できる。また研磨材43
のスリット80は斜め方向に形成し、隣り合うスリット80
間の幅方向の一端側ａと他端側ｂとの左右方向の間隔を
小さくし、又は隣り合うスリット80間の幅方向の一端側
ａと他端側ｂとが左右方向に重なるようにしているの
で、研磨ヘッド41の左右方向の振動量を小さくしても、
搬送ベルト27により搬送される板状体2 の全域を確実に
研磨できる。しかも、研磨材43のスリット80は、略中央
部の左右両側で逆向きにしているので、スリット80が斜
め方向であるにも拘わらず、研磨時における板状体2 の
左右方向への移動、位置ずれ等を防止できる。In particular, since the abrasive 43 has a large number of slits 80 formed obliquely, even if the sheet material 77 has the abrasive layer 78, the rigidity of the entire abrasive 43 is reduced and the flexibility is improved. However, the elastic material 42 does not bend smoothly along the elastic pad 42, and does not become locally angular at the curved portion, so that the adaptability of the abrasive 43 to the elastic pad 42 is greatly improved. Moreover, as described above, the slit 80 side of the belt-shaped portion is in a warped state as shown in FIG. 13, and the surface of the plate-shaped body 2 is polished by the abrasive layer 78 in the warped portion. Burrs can be removed without damaging the surface of the body 2. Also abrasive material 43
Slits 80 are formed diagonally, and adjacent slits 80
The width in the left-right direction between one end side a and the other end side b in the width direction is reduced, or the one end side a and the other end side b in the width direction between the adjacent slits 80 overlap in the left-right direction. Therefore, even if the amount of vibration in the horizontal direction of the polishing head 41 is reduced,
The entire area of the plate-like body 2 conveyed by the conveyor belt 27 can be reliably polished. Moreover, since the slits 80 of the abrasive 43 are reversed on the left and right sides of the approximate center, the plate-like body 2 moves in the left and right directions during polishing, despite the slits 80 being oblique. The displacement can be prevented.

【００２３】到着センサー71が板状体2 の後端側を検出
すると、その検出時点から一定時間が経過して板状体2
の後端側が研磨ヘッド41の下側を通過した後に、昇降シ
リンダ64a が収縮して研磨ヘッド41が上昇し、１枚の板
状体2 のバリ取り動作が終了する。なお、搬送手段3 を
通過した板状体2 は、コンベア84を経て次工程へと搬送
されて行く。研磨材43が損耗した場合には、研磨手段7
を横軸68廻りに退避姿勢まで回動させた後、磁石53によ
り研磨ヘッド41側に吸着された保持部材54を外して研磨
材43を研磨ヘッド41から取り外し、新しい研磨材43と交
換する。この時にも、保持部材54が磁石53で研磨ヘッド
41に固定されているので、ネジ等で研磨材43を固定する
場合に比較して容易に研磨材43を交換できる。When the arrival sensor 71 detects the rear end of the plate 2, a certain period of time has passed from the detection point and the plate 2 has been detected.
After the rear end side passes below the polishing head 41, the elevating cylinder 64a contracts and the polishing head 41 rises, and the deburring operation of one plate-like body 2 ends. Note that the plate-like body 2 that has passed through the conveying means 3 is conveyed to the next step via the conveyor 84. When the abrasive 43 is worn, the polishing means 7
Is rotated about the horizontal axis 68 to the retracted posture, the holding member 54 attracted to the polishing head 41 by the magnet 53 is removed, the abrasive 43 is removed from the polishing head 41, and is replaced with a new abrasive 43. At this time, the holding member 54 is also
Since it is fixed to 41, the abrasive 43 can be easily replaced as compared with the case where the abrasive 43 is fixed with screws or the like.

【００２４】図１４は本発明の第２の実施形態を例示
し、左右両側に長スリット80a と短スリット80b とを交
互に設けたものである。図１５は本発明の第３の実施形
態を例示し、左右両側に短スリット80を幅方向に２列設
けたものである。これらの場合には、第１の実施形態と
同様の作用効果の他に、スリット80a,80b,80の数が増え
るため、研磨材43の研磨領域79側の柔軟性が更に向上す
る利点がある。以上、本発明の実施形態について説明し
たが、本発明はこの実施形態に限定されるものではな
い。例えば、研磨材43を研磨ヘッド41に装着して使用す
る場合には、幅方向の両側に取り付け部77a が必要であ
り、その取り付け部77a 間の研磨領域79にスリット80を
形成するが、研磨材43を単独で使用する場合、或いは研
磨ヘッド41等に装着して使用する場合にも、そのシート
材77の略全面にスリット80を配置しても良い。またスリ
ット80は、実施形態以外の配列にしても良い。FIG. 14 illustrates a second embodiment of the present invention, in which long slits 80a and short slits 80b are alternately provided on both left and right sides. FIG. 15 illustrates a third embodiment of the present invention, in which short slits 80 are provided in two rows on the left and right sides in the width direction. In these cases, in addition to the same operation and effect as in the first embodiment, the number of the slits 80a, 80b, and 80 is increased, and therefore, there is an advantage that the flexibility of the polishing material 43 on the polishing region 79 side is further improved. . The embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to these embodiments. For example, when the abrasive 43 is used by being mounted on the polishing head 41, mounting portions 77a are required on both sides in the width direction, and a slit 80 is formed in a polishing region 79 between the mounting portions 77a. When the material 43 is used alone, or when it is used by attaching it to the polishing head 41 or the like, the slit 80 may be arranged on substantially the entire surface of the sheet material 77. Further, the slits 80 may be arranged other than in the embodiment.

【００２５】各実施形態の研磨材43は全体形状が矩形状
であり、その幅方向に対して斜めに傾斜するように各ス
リット80を形成しているが、研磨材43を研磨ヘッド41等
に装着して研磨する時に、そのスリット80が板状体2 の
移動方向又は研磨ヘッド41の移動方向に対して斜めにな
るように使用すれば良く、必ずしもシート材77の長手方
向、幅方向又は辺等に対して斜めにする必要はない。従
って、シート材77の直交する２方向の内、その一方の方
向に対して斜めに傾斜するスリット80を他方の方向に所
定間隔おきに複数個形成し、隣り合う各スリット80の
内、一方のスリット80の一端側ａと他方のスリット80の
他端側ｂとの前記他方の方向の間隔を小さくし、又は隣
り合う両スリット80一端側ａと他端側ｂとが前記他方の
方向に重なるように構成すれば良い。各スリット80,85
は必ずしも平行に設ける必要はない。The polishing material 43 of each embodiment has a rectangular shape as a whole, and each slit 80 is formed so as to be inclined with respect to the width direction. When mounting and polishing, the slit 80 may be used so that the slit 80 is inclined with respect to the moving direction of the plate-shaped body 2 or the moving direction of the polishing head 41, and is not necessarily required to be the longitudinal direction, the width direction or the side of the sheet material 77. It is not necessary to make it oblique to etc. Therefore, of the two orthogonal directions of the sheet material 77, a plurality of slits 80 inclined at an angle to one direction are formed at predetermined intervals in the other direction, and one of the adjacent slits 80 is formed. Reduce the distance in the other direction between the one end side a of the slit 80 and the other end side b of the other slit 80, or the two adjacent slits 80 one end side a and the other end side b overlap in the other direction. It may be configured as follows. Each slit 80,85
Need not necessarily be provided in parallel.

【００２６】また左右の各スリット80,85 は略対称に設
けるのが最も望ましいが、左下がりの複数本のスリット
80と右下がりの複数本のスリット80とを左右方向に交互
に複数組配置しても良い。更に研磨材43は、粗面仕上げ
用、平滑仕上げ用等の内から、板状体2 の研磨目的に応
じたものを適宜選択して使用すれば良い。研磨材43は、
弾性部材等に巻き付けた状態で作業者が手に持って研磨
する場合にも使用可能であり、従って、研磨ヘッド41等
に装着せずに単独で使用することも可能である。保持部
材54側に磁石を設け、研磨ヘッド41の側壁部52側を磁性
体により構成しても良いし、研磨ヘッド41の側壁部52と
保持部材54の両方に磁石を設けても良い。但し、後者の
場合には、両磁石が互いに吸引し合うように極性を逆に
する必要がある。また磁石を利用する場合、研磨ヘッド
41の側壁部52又は保持部材54自体を着磁して磁化するこ
とも可能である。被研磨体は、板状体2 に限定されるも
のではない。It is most desirable that the left and right slits 80 and 85 be provided substantially symmetrically, but a plurality of slits that are lower left
A plurality of sets 80 and a plurality of slits 80 descending to the right may be alternately arranged in the left-right direction. Further, the abrasive material 43 may be appropriately selected from those for rough surface finishing, smooth finishing, and the like according to the purpose of polishing the plate-like body 2 and used. Abrasive 43
The present invention can also be used in a case where an operator holds and grinds a hand while being wound around an elastic member or the like. Therefore, it can be used alone without being attached to the polishing head 41 or the like. A magnet may be provided on the holding member 54 side, and the side wall 52 side of the polishing head 41 may be made of a magnetic material, or a magnet may be provided on both the side wall 52 of the polishing head 41 and the holding member 54. However, in the latter case, it is necessary to reverse the polarity so that both magnets attract each other. If magnets are used, the polishing head
It is also possible to magnetize the side wall portion 52 of the 41 or the holding member 54 itself by magnetizing it. The object to be polished is not limited to the plate-like body 2.

【００２７】[0027]

【発明の効果】本発明の研磨材は、可撓性を有するシー
ト材77に砥粒層78を設けた研磨材において、シート材77
の前後方向の両端部を取り付け部77a とし、シート材77
の両取り付け部77a 間の研磨領域79に、左右両側で逆向
きとなるように、前後方向に対して斜めに傾斜するスリ
ット80を左右方向に所定間隔おきに複数個形成し、隣り
合うスリット80間が、各取り付け部77a に連続する斜め
方向の帯状部81となっているので、シート材77に砥粒層
78を設けているにも拘わらず、全体の柔軟性が向上し、
研磨ヘッド41等に装着した場合に砥粒層78側に角張った
箇所ができ難くなり、研磨時に被研磨体2 を損傷するこ
とがない。しかも研磨材43を弾性パッド42等で圧接させ
た状態で研磨する場合には、帯状部81のスリット80側が
反り上がって、その反り上がり部分で被研磨体2 を確実
に研磨でき、また研磨材43の振動による被研磨体2 の位
置ずれ等を防止でき、被研磨体2 を移動させながら研磨
する場合に有利である。また 左右両側の各スリット80
を平行に設け、隣り合うスリット80の内、その一方のス
リット80の一端側a と他方のスリット80の他端側b との
左右方向の間隔を小さくし、又はその一方のスリット80
の一端側a と他方のスリット80の他端側b とが左右方向
に重なるようにしているので、左右方向に研磨材43を振
動させながら、前後方向に被研磨体2 を相対的に移動さ
せて被研磨体2 を研磨する場合には、振動量を少なくし
つつ、研磨材43のスリット80側の反り上がり部分で容易
且つ確実に被研磨体2 を研磨できる。The abrasive of the present invention is an abrasive in which an abrasive layer 78 is provided on a flexible sheet 77,
Of the sheet material 77
In the polishing area 79 between the two mounting portions 77a, a plurality of slits 80 inclined at an angle to the front-rear direction are formed at predetermined intervals in the left-right direction so as to be opposite to the left and right sides, and adjacent slits 80 are formed. The gap forms an oblique strip 81 that is continuous with each mounting portion 77a.
Despite having 78, the overall flexibility has improved,
When it is mounted on the polishing head 41 or the like, it becomes difficult to form an angular portion on the abrasive layer 78 side, and the polishing target 2 is not damaged during polishing. In addition, when polishing is performed in a state where the abrasive 43 is pressed against the elastic pad 42 or the like, the slit 80 side of the belt-shaped portion 81 is warped, and the object 2 to be polished can be reliably polished at the warped portion. It is possible to prevent the position of the object 2 to be polished due to the vibration of 43, and it is advantageous when polishing while moving the object 2 to be polished. Each slit 80 on both sides
Are provided in parallel, and of the adjacent slits 80, the distance in the left-right direction between one end side a of one of the slits 80 and the other end side b of the other slit 80 is reduced, or one of the slits 80
The other end b of the other slit 80 is overlapped in the left-right direction, so that the polishing target 2 is relatively moved in the front-rear direction while vibrating the abrasive 43 in the left-right direction. When the object to be polished 2 is polished by polishing, the object to be polished 2 can be easily and reliably polished at the warped portion of the abrasive 43 on the slit 80 side while reducing the amount of vibration.

【００２８】本発明の研磨装置は、研磨材43の弾性パッ
ド42に対応する研磨領域79に前後方向の張力が加わるよ
うに、この研磨材43を弾性パッド42の前後両側の取り付
け部77a で研磨ヘッド41に装着し、この研磨材43の研磨
領域79に、左右両側で逆向きとなるように、搬送方向に
対して斜めに傾斜するスリット80を左右方向に所定間隔
おきに複数個形成し、隣り合うスリット80間が、各取り
付け部77a に連続する斜め方向の帯状部81となっている
ので、研磨材43の弾性パッド42に対する馴染み性が向上
し、研磨材43の局部的な角張り等を防止できると共に、
帯状部81のスリット80側に反り上がりができ、その反り
上がり部分で被研磨体2 を確実に研磨できる。The polishing apparatus of the present invention polishes the abrasive 43 at the mounting portions 77a on both the front and rear sides of the elastic pad 42 so that a longitudinal tension is applied to the polishing area 79 corresponding to the elastic pad 42 of the abrasive 43. Attached to the head 41, in the polishing area 79 of this abrasive 43, a plurality of slits 80 obliquely inclined with respect to the transport direction are formed at predetermined intervals in the left-right direction so that the left and right sides are reversed. Since the gap between the adjacent slits 80 is an oblique strip 81 continuous with each mounting portion 77a, the adaptability of the abrasive 43 to the elastic pad 42 is improved, and a local squaring of the abrasive 43 is performed. Can be prevented,
The belt-like portion 81 is warped to the slit 80 side, and the polished body 2 can be reliably polished at the warped portion.

【００２９】また左右両側の各スリット80を平行に設
け、隣り合うスリット80の内、その一方のスリット80の
一端側a と他方のスリット80の他端側b との左右方向の
間隔を小さくし、又はその一方のスリット80の一端側a
と他方のスリット80の他端側bとが左右方向に重なるよ
うにしているので、研磨時における被研磨体2 の位置ず
れ等を防止できると共に、研磨ヘッド41の振動等の移動
量を少なくしつつ被研磨体2 を斑なく研磨できる。更に
研磨ヘッド41と、弾性パッド42を介して研磨ヘッド41に
巻き付けられた研磨材43の前後の取り付け部77a を研磨
ヘッド41との間で保持する保持部材54との内、少なくと
も一方に磁石53を設け、この磁石53を介して保持部材54
を研磨ヘッド41に着脱自在に装着しているので、研磨材
43を容易に着脱でき、研磨材43の交換が容易である。し
かも本発明の研磨装置は、磁石53よりも弾性パッド42側
で研磨ヘッド41の両側に凹部56を形成し、この凹部56側
に研磨材43を押圧する弾性押圧片55を各保持部材54に設
けているので、弾性押圧片55により研磨材43に張力を付
与でき、研磨材43の弛みを防止できる。Also, the left and right slits 80 are provided in parallel, and the distance in the left and right direction between one end a of one slit 80 and the other end b of the other slit 80 among the adjacent slits 80 is reduced. Or one end side a of one of the slits 80 a
And the other end b of the other slit 80 are overlapped in the left-right direction, so that the displacement of the polished body 2 during polishing can be prevented, and the amount of movement such as vibration of the polishing head 41 can be reduced. The object 2 can be polished without unevenness. Further, at least one of the polishing head 41 and the holding member 54 for holding the front and rear mounting portions 77a of the polishing material 43 wound around the polishing head 41 via the elastic pad 42 between the polishing head 41 and the magnet 53, Is provided, and a holding member 54 is
Is detachably attached to the polishing head 41,
43 can be easily attached and detached, and the replacement of the abrasive 43 is easy. Moreover, the polishing apparatus of the present invention forms a concave portion 56 on both sides of the polishing head 41 on the elastic pad 42 side of the magnet 53, and an elastic pressing piece 55 for pressing the abrasive 43 toward the concave portion 56 is provided on each holding member 54. Since it is provided, tension can be applied to the abrasive 43 by the elastic pressing piece 55, and loosening of the abrasive 43 can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施形態を示す全体の正面図で
ある。FIG. 1 is an overall front view showing a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第１の実施形態を示す全体の平面図で
ある。FIG. 2 is an overall plan view showing the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第１の実施形態を示す全体の左側面図
である。FIG. 3 is an overall left side view showing the first embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第１の実施形態を示す全体の右側面図
である。FIG. 4 is an overall right side view showing the first embodiment of the present invention.

【図５】本発明の第１の実施形態を示す研磨手段の側面
断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a polishing means according to the first embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第１の実施形態を示す研磨手段の断面
図である。FIG. 6 is a sectional view of a polishing means according to the first embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第１の実施形態を示す研磨手段の拡大
断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view of a polishing means according to the first embodiment of the present invention.

【図８】本発明の第１の実施形態を示す研磨手段の断面
平面図である。FIG. 8 is a sectional plan view of a polishing means according to the first embodiment of the present invention.

【図９】本発明の第１の実施形態を示す研磨ヘッドの一
部切り欠き平面図である。FIG. 9 is a partially cutaway plan view of the polishing head showing the first embodiment of the present invention.

【図１０】本発明の第１の実施形態を示す研磨ヘッドの
一部切り欠き側面図である。FIG. 10 is a partially cutaway side view of the polishing head showing the first embodiment of the present invention.

【図１１】本発明の第１の実施形態を示す研磨材の平面
図である。FIG. 11 is a plan view of the abrasive according to the first embodiment of the present invention.

【図１２】本発明の第１の実施形態を示す研磨材の拡大
平面図である。FIG. 12 is an enlarged plan view of the abrasive according to the first embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の第１の実施形態を示す研磨材部分の
拡大断面図である。FIG. 13 is an enlarged cross-sectional view of an abrasive part showing the first embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第２の実施形態を示す研磨材の平面
図である。FIG. 14 is a plan view of an abrasive showing a second embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第３の実施形態を示す研磨材の平面
図である。FIG. 15 is a plan view of an abrasive according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 板状体 41 研磨ヘッド 42 弾性パッド 43 研磨材 53 砥石 54 保持部材 55 弾性押圧片 56 凹部 77 シート材 77a 取り付け部 78 砥粒層 79 研磨領域 80 スリット 2 Plate 41 Polishing head 42 Elastic pad 43 Abrasive 53 Grinding stone 54 Retaining member 55 Elastic pressing piece 56 Concave part 77 Sheet material 77a Mounting part 78 Abrasive layer 79 Polishing area 80 Slit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−67290（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−103959（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−81492（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−63761（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭62−37639（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭46−13667（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24D 11/00 B24B 9/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-54-67290 (JP, A) JP-A-63-103959 (JP, U) JP-A-53-81492 (JP, U) JP-A-5-81492 63761 (JP, U) Jikken 62-37639 (JP, Y2) Jikken 46-13667 (JP, Y1) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) B24D 11/00 B24B 9 / 00

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 可撓性を有するシート材(77)に砥粒層(7
8)を設けた研磨材において、シート材(77)の前後方向の
両端部を取り付け部(77a) とし、シート材(77)の両取り
付け部(77a) 間の研磨領域(79)に、左右両側で逆向きと
なるように、前後方向に対して斜めに傾斜するスリット
(80)を左右方向に所定間隔おきに複数個形成し、隣り合
うスリット(80)間が、各取り付け部(77a) に連続する斜
め方向の帯状部(81)となっていることを特徴とする研磨
材。An abrasive layer (7) is provided on a flexible sheet material (77).
In the abrasive material provided with 8), both ends in the front-rear direction of the sheet material (77) are used as attachment portions (77a), and the polishing area (79) between the attachment portions (77a) of the sheet material (77) is left and right. A slit that is obliquely inclined with respect to the front and rear direction so that it is opposite on both sides
A plurality of (80) are formed at predetermined intervals in the left-right direction, and the gap between adjacent slits (80) is an oblique band (81) continuous with each mounting portion (77a). Abrasive. 【請求項２】 左右両側の各スリット(80)を平行に設
け、隣り合うスリット(80)の内、その一方のスリット(8
0)の一端側(a) と他方のスリット(80)の他端側(b) との
左右方向の間隔を小さくし、又はその一方のスリット(8
0)の一端側(a)と他方のスリット(80)の他端側(b) とが
左右方向に重なるようにしたことを特徴とする請求項１
に記載の研磨材。2. Slits (80) on both left and right sides are provided in parallel, and one of the slits (8) of adjacent slits (80) is provided.
(0) and the other end (b) of the other slit (80) in the left-right direction, or one of the slits (8)
2. The one end (a) of (0) and the other end (b) of the other slit (80) overlap in the left-right direction.
The abrasive according to any one of the above. 【請求項３】 前記研磨領域(79)の中央部に、左右の何
れか一方のスリット(80)と平行な短スリット(85)を、他
方のスリット(80)と左右方向に重なるように設けたこと
を特徴とする請求項１又は２に記載の研磨材。3. A short slit (85) parallel to one of the left and right slits (80) is provided at the center of the polishing area (79) so as to overlap the other slit (80) in the left-right direction. The abrasive according to claim 1 or 2, wherein 【請求項４】 可撓性を有するシート材(77)に砥粒層(7
8)を設けた研磨材(43)を、被研磨体(2) の研磨面に沿っ
て左右方向に往復移動する研磨ヘッド(41)に弾性パッド
(42)を介して装着し、この研磨材(43)により、前後方向
に搬送される被研磨体(2) の研磨面を研磨するようにし
た研磨装置において、研磨材(43)の弾性パッド(42)に対
応する研磨領域(79)に前後方向の張力が加わるように、
この研磨材(43)を弾性パッド(42)の前後両側の取り付け
部(77a) で研磨ヘッド(41)に装着し、この研磨材(43)の
研磨領域(79)に、左右両側で逆向きとなるように、搬送
方向に対して斜めに傾斜するスリット(80)を左右方向に
所定間隔おきに複数個形成し、隣り合うスリット(80)間
が、各取り付け部(77a) に連続する斜め方向の帯状部(8
1)となっていることを特徴とする研磨装置。4. An abrasive layer (7) is formed on a flexible sheet material (77).
The abrasive material (43) provided with (8) is elastically padded to the polishing head (41) which reciprocates in the left-right direction along the polishing surface of the object (2).
(42), the polishing material (43) is used to polish the polishing surface of the object (2) to be polished conveyed in the front-rear direction. As tension in the front-rear direction is applied to the polishing area (79) corresponding to (42),
The abrasive (43) is attached to the polishing head (41) with the attachment portions (77a) on both front and rear sides of the elastic pad (42), and the abrasive (43) is turned upside down on both left and right sides in the polishing area (79). A plurality of slits (80) inclined at an angle to the transport direction are formed at predetermined intervals in the left-right direction, and the gap between adjacent slits (80) is continuous with each mounting portion (77a). Direction of the band (8
A polishing apparatus according to (1). 【請求項５】 左右両側の各スリット(80)を平行に設
け、隣り合うスリット(80)の内、その一方のスリット(8
0)の一端側(a) と他方のスリット(80)の他端側(b) との
左右方向の間隔を小さくし、又はその一方のスリット(8
0)の一端側(a)と他方のスリット(80)の他端側(b) とが
左右方向に重なるようにしたことを特徴とする請求項４
に記載の研磨装置。5. Each of the left and right slits (80) is provided in parallel, and one of the adjacent slits (80) is provided with one of the slits (80).
(0) and the other end (b) of the other slit (80) in the left-right direction, or one of the slits (8)
The one end (a) of the first slit (0) and the other end (b) of the other slit (80) overlap in the left-right direction.
A polishing apparatus according to claim 1. 【請求項６】 研磨ヘッド(41)と、弾性パッド(42)を介
して研磨ヘッド(41)に巻き付けられた研磨材(43)の前後
の取り付け部(77a) を研磨ヘッド(41)との間で保持する
保持部材(54)との内、少なくとも一方に磁石(53)を設
け、この磁石(53)を介して保持部材(54)を研磨ヘッド(4
1)に着脱自在に装着したことを特徴とする請求項４又は
５に記載の研磨装置。6. A polishing head (41) and an attachment portion (77a) before and after a polishing material (43) wound around the polishing head (41) via an elastic pad (42) are attached to the polishing head (41). A magnet (53) is provided on at least one of the holding members (54) held between the members, and the holding member (54) is connected to the polishing head (4) via the magnet (53).
The polishing apparatus according to claim 4, wherein the polishing apparatus is detachably mounted on 1). 【請求項７】 磁石(53)よりも弾性パッド(42)側で研磨
ヘッド(41)の両側に凹部(56)を形成し、この凹部(56)側
に研磨材(43)を押圧する弾性押圧片(55)を各保持部材(5
4)に設けたことを特徴とする請求項４〜６の何れかに記
載の研磨装置。7. A concave portion (56) is formed on both sides of the polishing head (41) closer to the elastic pad (42) than the magnet (53), and the elastic material presses the abrasive (43) against the concave portion (56). Pressing piece (55) with each holding member (5
The polishing apparatus according to any one of claims 4 to 6, wherein the polishing apparatus is provided in (4).