JP3046010B2 - 収納容器および収納方法 - Google Patents

収納容器および収納方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハな
どの物品を収納する際の収納容器および収納方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来このような分野の技術としては、フ
レーム付きウエハ品がある。これは、粘着シートが貼り
付けられている金属製のフレームの、この粘着シートに
ウエハなどの物品を貼付け、そのウエハを個片に分割し
た状態のものである。
【０００３】しかしながら、フレーム付きウエハ品の収
納容器については、確立されたものはない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなフレーム付
きウエハ品を複数収納する場合、輸送中の衝撃、振動な
どで、粘着シートが他の物に貼り付いてしまうという課
題がある。
【０００５】また、このようなフレーム付きウエハ品に
おいては、ウエハは粘着シートによる粘着力により保持
されている。したがって、温度が高くなると粘着シート
の粘着力が低下してしまうという課題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の収納容器は、容器本体部と、この容器本体部
内に収納された、枠体とこの枠体に固定されると共にこ
の枠体内に配置された粘着シートとを含む複数のフレー
ムとを備え、互いに隣り合う粘着シートが所定の間隔と
なるように前記フレームが配置される構成としている。
【０００７】また、他の構成として、その内部に断熱材
を有する容器本体部と、この容器本体内に収納された、
枠体とこの枠体に固定されると共にこの枠体内に配置さ
れた粘着シートとを含む複数のフレームとを有する構成
としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
１〜図３を参照しながら説明する。図１はフレーム付き
ウエハ品を、図２は、図１におけるフレーム付きウエハ
品を収納容器本体に収納した状態の断面図を、図３は、
図１におけるフレーム付きウエハ品を収納容器本体に収
納する際の斜視図を示している。
【０００９】図１において、フレーム付きウエハ品１
は、以下のようにして形成される。まず、金属製ウエハ
フレーム２を準備する。次に、粘着シート３に貼り付け
られたウエハ品４を準備する。ここで、このウエハ品４
は、既に個片に分割されたＩＣチップの状態となってい
る。すなわち、粘着シート３にウエハが貼り付けられ、
これをダイヤモンドカッターを用い、個片のＩＣに分割
して形成する。
【００１０】このウエハ品４の貼り付けられた粘着シー
トを金属製ウエハフレーム２に貼付け、金属製ウエハフ
レーム２の外周にあわせて切断することにより、フレー
ム付きウエハ品１を得る。
【００１１】次に、図２および図３に示すように、この
ようなフレーム付きウエハ品１を収納容器に収納する。
収納容器は、収納容器本体５と、収納容器蓋部６とから
構成される。フレーム付きウエハ品１を収納する手順と
して、まず、収納容器本体５内に緩衝材７を入れる。緩
衝材７は外部からの衝撃などを吸収するために、例えば
ウレタンなどの材料を用いる。次に、金属製ウエハフレ
ームと略同一形状のスペーサ８を入れる。その上に、金
属製ウエハフレーム２およびスペーサ８を交互に重ね
る。スペーサ８の厚さは、粘着シート３の張力、粘着シ
ート３およびウエハ品４の厚さ、金属フレーム１の厚さ
を考慮し、適宜選択される。
【００１２】最上部の金属製ウエハフレーム２上には、
スペーサを介して緩衝材７を入れる。最後に、収納容器
蓋部６をかぶせ、収納容器本体５と固定する。収納容器
本体５と収納容器蓋部６とは固定しやすいようにネジ込
み式の構造を持つ。
【００１３】次に、図４に示すように、フレーム付きウ
エハ品１が収納され、収納容器蓋部６が固定された収納
容器本体５を防湿袋９に収納する。防湿袋９は例えばア
ルミニウムの層と、ポリエチレンの層から構成される材
料を使用した袋で、水分の透過を防ぐ働きをする。ま
た、防湿袋９内にはあわせて乾燥剤１０と脱酸素剤１１
を入れる。収納容器、乾燥剤、脱酸素剤を防湿袋９に入
れた後、防湿袋９の入り口は熱シールで封止し、外気を
遮断する。
【００１４】次に、図５に示すように、収納容器の収納
された防湿袋９を段ボール箱１３に収納する。段ボール
箱１３と防湿袋９との間には断熱材１４を入れる。断熱
材１４は発泡ポリエチレンなどの発泡性材料を使用す
る。防湿袋９の周囲すべてを覆うように断熱材１４を収
納した後に、段ボール箱１３の蓋をする。
【００１５】このように、フレーム付きウエハ品１はス
ペーサを介して互いに重ねられているため、粘着シート
３やウエハ品４が他の物と接触することがなく、ウエハ
品４を保護することができる。
【００１６】また、図４に示すように、乾燥剤１０およ
び脱酸素剤１１を使用して防湿包装することにより、包
装内部の水分と酸素濃度を抑えることでウエハやこのウ
エハを個片に分割したＩＣチップなどの収納される物品
の酸化、腐食を防止することができる。
【００１７】また、図５に示すように、段ボール箱に収
納する際に、断熱材を入れることにより、内部の温度上
昇を抑え、粘着シートの粘着力低下を防ぐことができ
る。
【００１８】次に、図６を用いて本発明の第２の実施形
態について説明する。
【００１９】この第２の実施形態において第１の実施形
態と同一構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は
省略する。
【００２０】この第２の実施形態においては、収納容器
本体１５は、その側面に複数の突起部１６が設けられて
いる。この突起部１６の間隔は、収納されるフレーム付
きウエハ品１における粘着シート３の張力、粘着シート
３およびウエハ品４の厚さ、金属フレーム１の厚さを考
慮し、適宜選択される。
【００２１】突起部１６を備えた収納容器本体１５内
に、複数のフレーム付きウエハ品１をそれぞれ突起部１
６に対応させて収納する。フレーム付きウエハ品１を収
納容器本体１５内に収納後、収納容器蓋部１７をはめ
る。
【００２２】この第２の実施形態の収納容器を用いた場
合、複数の突起部１６によりフレーム付きウエハ品１を
それぞれ支持するため、粘着シート３やウエハ品４が他
の物と接触することがなく、ウエハ品４を保護すること
ができる。
【００２３】また、このフレーム付きウエハ品１の収納
された収納容器は、第１の実施形態における図４および
図５で説明した方法と同様に、乾燥剤１０、脱酸素剤１
１とともに防湿袋９に収納し、断熱材１４を備えた段ボ
ール箱１３に収納すれば、ウエハ品４の酸化、腐食を防
止することができるとともに、温度上昇による粘着シー
ト３の粘着力低下を防止することができる。
【００２４】次に、図７を用いて本発明の第３の実施形
態を説明する。
【００２５】第３の実施形態は、第１の実施形態におけ
る収納容器本体および収納容器蓋部を断熱構造としたも
のである。
【００２６】図７は、第３の実施形態の収納容器本体１
７および収納容器蓋部１８の断面図である。
【００２７】図７において、収納容器本体１７および収
納容器蓋部１８は二重構造とし、その内部には、それぞ
れ断熱材１９が満たされている。断熱材１９としては、
例えば、発泡ポリエチレンなどの発泡材を用いることが
できる。
【００２８】このような収納容器に、第１の実施形態と
同様に、図示しない緩衝材、スペーサ、フレーム付きウ
エハ品を積み重ねて収納し、さらに、この収納容器を図
示しない乾燥剤、脱酸素剤とともに防湿袋に収納する。
【００２９】このように、断熱構造の収納容器にフレー
ム付きウエハ品を収納することにより、断熱材入りの段
ボール箱に収納することなく、外部温度の影響による粘
着シート３の粘着力低下を防ぐことができるため、作業
性が向上する。
【００３０】次に、図８を用いて本発明の第４の実施形
態を説明する。
【００３１】第４の実施形態は、第２の実施形態におけ
る収納容器本体および収納容器蓋部を断熱構造としたも
のである。
【００３２】図８は、第４の実施形態の収納容器本体２
０の断面図である。
【００３３】図８において、収納容器本体２０は二重構
造とし、その内部には、断熱材１９が満たされている。
断熱材１９としては、例えば、発泡ポリエチレンなどの
発泡材を用いることができる。また、収納容器本体２０
の内側には複数の突起部２１が設けられている。
【００３４】このような収納容器に、第２の実施形態と
同様に、図示しないフレーム付きウエハ品を突起部２１
に対応させて収納する。さらに、この収納容器を図示し
ない乾燥剤、脱酸素剤とともに防湿袋に収納する。
【００３５】このように、断熱構造の収納容器にフレー
ム付きウエハ品を収納することにより、断熱材入りの段
ボール箱に収納することなく、外部温度の影響による粘
着シート３の粘着力低下を防ぐことができるため、作業
性が向上する。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば粘着シートは互いに所定
間隔離れて重ねられているため、粘着シートやこの粘着
シートに固定されている例えばウエハなどの物品が他の
物と接触することがなく、この物品を保護することがで
きる。
【００３７】また、収納容器の構造として、内部に断熱
材を格納することにより、外部温度の影響による粘着シ
ート３の粘着力低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の収納容器を示す図で
ある。
【図７】本発明の第３の実施形態の収納容器の断面図で
ある。
【図８】本発明の第４の実施形態の収納容器の断面図で
ある。
【符号の説明】
１ フレーム付きウエハ品 ２ 金属製ウエハフレーム ３ 粘着シート ４ ウエハ ５ 収納容器本体部 ６ 収納容器蓋部 ７ 緩衝材 ８ スペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 85/00 - 85/86 H01L 21/68

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 容器本体部と、 この容器本体部内に収納された、枠体とこの枠体に固定
    されるとともにこの枠体内に配置された粘着シートとを
    含む複数のフレームと、 互いに隣り合う前記枠体間に配置された、前記枠体と略
    同形状であり所定の厚さを有するスペーサとを備えてい
    ることを特徴とする収納容器。
  2. 【請求項２】 前記フレームと前記容器本体部の下面お
    よび上面との間に緩衝材を介在させたことを特徴とする
    請求項１記載の収納容器。
  3. 【請求項３】 内部に断熱材を有する容器本体部と、 前記容器本体内に収納された、枠体とこの枠体に固定さ
    れると共にこの枠体内に配置された粘着シートとを含む
    複数のフレームと、 を有することを特徴とする収納容器。
  4. 【請求項４】 前記容器本体部は、上容器と下容器とを
    含み、この下容器は底面と側面とを有し、前記上容器は
    上面と、前記側面を覆う側面とを有することを特徴とす
    る請求項３記載の収納容器。
  5. 【請求項５】 前記容器本体内部には複数の突起部が形
    成され、前記フレームは前記突起部に保持されることを
    特徴とする請求項４記載の収納容器。
  6. 【請求項６】 内側に粘着シートを備えた枠体とこの粘
    着シートに貼り付けられた物品とを含むフレームと、前
    記フレームと略同形状であり所定の厚さを有するスペー
    サとを準備する工程と、 前記フレームと前記スペーサとを収納容器内に交互に収
    納する工程と、 を含むことを特徴とする収納方法。
  7. 【請求項７】 前記収納容器は、乾燥剤および脱酸素剤
    とともに前記防湿袋に収納されることを特徴とする請求
    項６記載の収納方法。
  8. 【請求項８】 内側に粘着シートを備えた枠体とこの粘
    着シートに貼り付けられた物品とを含むフレームを準備
    する工程と、 前記フレームを内部に断熱材を備えた収納容器内に収納
    する工程と、 を含むことを特徴とする収納方法。
  9. 【請求項９】 前記収納容器内には複数の前記フレーム
    をスペーサを介して収納することを特徴とする請求項８
    記載の収納方法。
  10. 【請求項１０】 前記収納容器内には複数の突起部が形
    成され、その突起部に複数の前記フレームをそれぞれ保
    持することを特徴とする請求項８記載の収納方法。
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