JP3040686B2 - 液晶デバイス製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は液晶デバイス製造装置
に関し、さらに詳しくは、欠陥のない液晶デバイスを効
率良くかつ簡便に製造することができ、小型で取り扱い
の容易な液晶デバイス製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】近年、各
種の液晶デバイスが開発され、製品化されている。液晶
デバイスとしては、たとえば液晶セル、液晶ディスプレ
イ等がある。液晶セルは、たとえばガラス板、絶縁膜、
電極等を積層してなる積層体同士をスペーサを介して一
体化してなる液晶空セルにおいて、積層体とスペーサと
により形成された空間内に液晶を充填することにより得
られる。液晶ディスプレイは、たとえば液晶セルを複数
積層することにより得られる。従来においては、積層
体、液晶空セル、液晶セル等を剛体プレスを用いて圧着
することにより、各種の液晶デバイスを製造していた。

【０００３】しかしながら、液晶デバイスにおける電極
等は一般的に複雑な網目状のパターンに形成されている
ので、液晶デバイスの圧着を剛体プレスにより高圧下で
行うと、液晶デバイスにおけるガラス層と前記電極等と
が接触する面と接触しない面との境界に応力が集中し、
そこからガラス層が破損してしまう。特に、液晶空セ
ル、液晶セル、液晶ディスプレイ等の場合、スペーサが
設けられている部分の内側は、中空あるいは液晶が充填
されている状態となっているので、ガラス層が不均一な
応力を受け、破損し易い。その結果、液晶漏れが生じた
りし、欠陥のある液晶デバイスが数多く製造され、液晶
デバイスを製造しても著しくその歩留が悪いという問題
がある。

【０００４】また、剛体プレスを用いた場合、そのプレ
ス面の平行度が十分でなく、均一な圧着を行うことがで
きず、液晶デバイスにおいて層剥れが生じ易いという問
題もある。特に、液晶デバイスにおける層数が増える
程、圧着時における密度差が顕著になるのでその影響が
大きい。このため多層構造の液晶デバイスを圧着する場
合には、圧着不良による欠陥品が数多く生じ易く、歩留
が悪くなるという問題がある。剛体プレスによる圧着
は、加圧した時に金型に歪みを生じるので、上型と下型
との作用位置によって力の加わり方が異なることがあ
り、加圧力の不均一を生じ易くなり、これまた層剥れの
原因になっている。さらに、剛体プレスは高圧に耐え得
る構造を必要とし、そのために大型で複雑な構造となっ
ているので取り扱いに不便である。

【０００５】この発明は、前記要望に応え、前記従来に
おける問題を解決することを目的とする。この発明は、
高品質の液晶デバイスを効率良くかつ簡便に製造するこ
とができ、小型で取り扱いの容易な液晶デバイス製造装
置を提供することを目的とする。

【０００６】

【前記課題を解決するための手段】前記課題を解決する
ための前記請求項１に記載の発明は、一方が開放された
素材収容空間と圧力媒体収容空間とを備えてなり、かつ
前記素材収容空間と前記圧力媒体収容空間とを隔絶し、
前記圧力媒体収容空間内に充填された圧力媒体の加圧力
を前記素材収容空間内に配置された素材に伝達するよう
に、前記素材収容空間における開放部とは反対側に配置
された弾性部材を有する圧力伝達手段を備えてなる圧力
容器本体、加圧時に前記圧力容器本体に対して固定さ
れ、前記素材収容空間を閉塞し、前記素材を押圧する平
滑面を有する押え部材、および前記圧力容器本体内を加
熱する加熱手段を備えてなることを特徴とする液晶デバ
イス製造装置であり、前記請求項２に記載の発明は、一
方が開放された素材収容空間と圧力媒体収容空間とを備
えてなり、かつ前記素材収容空間と前記圧力媒体収容空
間とを隔絶し、前記圧力媒体収容空間内に充填された圧
力媒体の加圧力を前記素材収容空間内に配置された素材
に伝達するように、前記素材収容空間における開放部と
は反対側に配置された弾性部材を有する圧力伝達手段を
備えてなる圧力容器本体、加圧時に前記圧力容器本体に
対して固定され、前記素材収容空間を閉塞し、前記素材
を押圧する平滑面を有する押え部材、前記素材収容空間
内に気体を導入し、かつ排出する気体導入排出手段、前
記素材収容空間内を前記気体導入排出手段により減圧に
するときに、前記素材収容空間内の気体を前記気体導入
排出手段により排出可能にする通気確保手段、および前
記圧力容器本体内を加熱する加熱手段を備えてなること
を特徴とする液晶デバイス製造装置である。

【０００７】さらに、前記液晶デバイス製造装置の好ま
しい態様としては、前記圧力伝達手段が、前記素材収容
空間と前記圧力媒体収容空間とを隔てて配設され、かつ
多数の貫通穴を備えてなる支持部材と、前記支持部材の
前記素材収容空間側の表面に配設されたシール部材と、
前記シール部材の表面に配設された弾性部材とを備えて
なる液晶デバイス製造装置、前記通気確保手段が、前記
圧力伝達手段における、前記素材収容空間に向かう面に
形成された溝である液晶デバイス製造装置、前記通気確
保手段が、前記圧力伝達手段における、前記素材収容空
間に向かう面であって、前記素材の載置される領域以外
の領域に形成された溝である液晶デバイス製造装置、前
記通気確保手段が、前記素材を収容可能とした開口空間
部を備えて前記素材収容空間内で前記圧力伝達手段の上
面に配置可能に形成されたスペーサにおける、前記押え
部材の平滑面に向かう面に形成された溝である液晶デバ
イス製造装置、前記通気確保手段が、前記素材を収容可
能とした開口空間部を備えて前記素材収容空間内で前記
圧力伝達手段の上面に配置可能に形成されたスペーサに
おける前記押え部材の平滑面に向かう面に設けられた網
部材である液晶デバイス製造装置、などを挙げることが
できる。

【０００８】

【作用】前記請求項１に記載の液晶デバイス製造装置
は、以下のように作用する。すなわち、素材収容空間内
に素材を配置する。押え部材における平滑面で、素材収
容空間を閉塞する。圧力媒体収容空間内に圧力媒体を充
填する。圧力媒体収容空間内が加圧される。圧力伝達手
段における弾性部材が、圧力媒体収容空間内に充填され
た圧力媒体の加圧力を素材に伝達し、素材を押圧する。
押え部材における平滑面が素材を押圧する。加熱手段が
圧力容器本体内を加熱する。素材が圧着され、液晶デバ
イスが製造される。

【０００９】前記請求項２に記載の液晶デバイス製造装
置は、以下のように作用する。すなわち、素材収容空間
内に素材を配置する。押え部材における平滑面で、素材
収容空間を閉塞する。気体導入排出手段が、素材収容空
間内の気体を排気する。素材収容空間が減圧状態とな
る。素材収容空間は、押え部材における平滑面によって
気密に閉塞される。圧力媒体収容空間内に圧力媒体を充
填する。圧力伝達手段における弾性部材が、圧力媒体収
容空間内に充填された圧力媒体の加圧力を素材に伝達
し、素材を押圧する。押え部材における平滑面が素材を
押圧する。弾性部材と平滑面とにより素材が加圧され
る。

【００１０】このとき、素材が配置されていない弾性部
材の領域と前記押え部材の平滑面との間に空間が存在す
る。さらに、気体導入排出手段により素材収容空間内の
気体を排気し、圧力媒体収容空間内に圧力媒体を充填す
ると、弾性部材は平滑面に向かって膨満する。前記空間
の容積が減少する。弾性部材が平滑面に接触する。この
間、弾性部材と平滑面とにより素材が加圧される。

【００１１】この加圧の際、通気確保手段により、気体
導入排出手段による素材収容空間内の気体の排気を行う
ための流路が確保されるので、気体導入排出手段による
素材収容空間内の排気が引き続き行われる。加熱手段が
圧力容器本体内を加熱する。この加熱と、弾性部材およ
び平滑面による加圧とにより、素材からガスが発生す
る。このガスは、通気確保手段を経て気体導入排出手段
により排気される。その結果、素材が密に圧着され、ボ
イドのない液晶デバイスが製造される。

【００１２】

【実施例】

（実施例１）以下、この発明の液晶デバイス製造装置の
第１の実施例について図面を参照しながら説明する。

【００１３】図１は、この発明の液晶デバイス製造装置
の一実施例を示す断面概略説明図である。図１に示す実
施例１の液晶デバイス製造装置は、圧力容器本体１と気
体供給排出装置とヨーク５と電熱ヒータとを有する。

【００１４】圧力容器本体１は、第１本体６と第２本体
７と弾性部材３と圧力媒体供給手段２１Ｅ（これについ
ては図５を参照）とを有する。

【００１５】第１本体６は、互いに平行な２つの平面を
有する円盤状の部材である。第１本体６は、図１および
図２に示すように、第１本体６の中心軸と共通の中心軸
を有する円盤状の貫通孔８を有する。したがって、この
第１本体６は、高さの小さな環状体であると言える。

【００１６】第１本体６には、Ｏリング３８および気体
導入排出路４１が設けられている。Ｏリング３８は、第
１本体６における一端面に形成された環状の溝に装着さ
れる。気体導入排出路４１は、第１本体６における内周
面であってＯリング３８が設けられた端面側に開口する
第３開口部３９と第１本体６における外周面に開口する
第４開口部４０とを連通した状態に設けられる。

【００１７】第２本体７は、互いに平行な２つの平面を
有し、かつ第１本体６と同じ外径を有する円盤状の部材
である。第２本体７には、第１本体６の中心軸の中心軸
と共通の中心軸を有し、第１本体６における貫通孔８の
内径と同じ内径を有する凹部９が形成されている。

【００１８】第１本体６は、前記凹部９が上を向いた状
態で配置された第２本体７の上に、前記Ｏリング３８が
上を向くようにして積み重ねられる。このとき、第１本
体６における貫通孔８と第２本体７における凹部９とに
よって、円筒形状の凹陥部が形成される。

【００１９】図２に示すように、第１本体６に接触する
第２本体７の上端面には、凹部９側に向かって傾斜し、
凹部９を囲繞するように環状に形成された環状テーパ面
１０と、環状テーパ面１０の下端から水平に前記凹部９
に連続するように環状に形成された環状水平面１１とが
設けられている。このため、前記第２本体７の上端面に
第１本体６を積み重ねると、第１本体６の下端面と、そ
の下端面に対して平行な環状水平面１１と、環状テーパ
面１０とによって間隙が形成される。この間隙におい
て、第１本体６の下端面と前記環状テーパ面１０とによ
って形成される部分が、バックアップリング装着部１２
である。バックアップリング装着部１２は、その縦断面
の形状がくさび型である。また、第１本体６の下端面と
前記環状水平面１１とによって形成される部分が、シー
ル部材装着部１３である。シール部材装着部１３は、そ
の縦断面の形状が長方形である。

【００２０】バックアップリング装着部１２には、その
縦断面の形状がバックアップリング装着部１３における
縦断面の形状と同じであるバックアップリング１４が装
着される。この実施例において、バックアップリング１
４は金属製である。なお、バックアップリング１４は、
加圧時に塑性変形可能な、あるいは弾性変形可能な材質
で形成されていれば特にその材質に制限はない。バック
アップリング１４の材質としては、各種の熱可塑性樹
脂、各種の金属、各種のゴムなどを挙げることができ、
加圧力に応じて適宜に選択することができる。

【００２１】図３に示されるように、弾性部材３は、シ
ール部材１５と支持部材１６と弾性体１５Ａとを有して
なる。

【００２２】シール部材１５は肉薄の円盤状部材であ
り、この実施例においてはゴム製である。なお、シール
部材１５は、弾性および耐圧性を有し、加圧媒体による
圧力を伝達可能な材質であれば特に制限はない。

【００２３】支持部材１６は肉薄の円盤状部材である。
支持部材１６には、その盤面に多数の貫通穴１７が形成
されている。この実施例において、支持部材１６は金属
製である。

【００２４】図２に示されるように、この実施例におい
てシール部材１５は、支持部材１６上に同心に配置され
た場合において、支持部材１６と接していないシール部
材１５の周縁部が、支持部材１６の裏面に折り返され、
支持部材１６と一体化されている。この支持部材１６と
一体化されたシール部材１５の周縁部が、シール部材装
着部１３に装着される。その結果、支持部材１６と一体
化されたシール部材１５が、圧力容器本体１内に張設さ
れる。このとき、支持部材１６は、圧力容器本体１内に
おいてシール部材１５の中央部が下方に垂れ下がり、あ
るいは下方に湾曲するのを防止し、圧力媒体収容空間１
８に充填された圧力媒体１９の圧力を前記開口部１７を
介してシール部材１５に伝達する機能を有する。

【００２５】弾性体１５Ａは円盤状部材であり、この実
施例においてはゴム製である。なお、弾性体１５Ａは、
弾性および耐圧性を有し、加圧媒体の圧力を伝達するこ
とのできる限りその材質に特に制限がない。弾性体１５
Ａには、図３および図４に示すように、その一方の盤面
に、その中心から放射状に配列された溝１５Ｂが形成さ
れている。この溝１５Ｂが通気確保手段の一例をなす。
溝１５Ｂは、弾性体１５Ａの周縁部からの所定の長さＬ
を有する。前記長さＬは、弾性体１５Ａの盤面におい
て、素材２４が載置される領域以外の領域に溝１５Ｂが
形成されるように決定される。この弾性体１５Ａは、そ
の溝１５Ｂが上を向くようにしてシール部材１５上に載
置される。なお、通気確保手段は、弾性部材３におけ
る、後述の素材収容空間２０に向かう面に設けられた溝
として形成することができる。

【００２６】圧力容器本体１内に弾性部材３を形成する
と、第１本体６と第２本体７とによって形成される凹陥
部が二つの空間に分割される。この二つの空間の内、第
２本体７の凹部９と弾性部材３とにより形成される空間
が、圧力媒体収容空間１８であり、第１本体６の貫通孔
８と弾性部材３とにより形成される空間が、素材収容空
間２０である。素材収容空間２０内における弾性部材３
上には素材２４が配置される。この実施例においては、
素材２４は液晶セルを所定枚数重ねてなる集合体であ
る。前記素材としては、ガラス板、絶縁膜、電極等を重
ねてなる液晶空セル構成部材、前記積層体同士をスペー
サを介して重ねてなる液晶空セル前駆体、液晶空セルを
所定枚数重ねてなる集合体など、加熱加圧成形により液
晶デバイスとすることができるものであれば特に制限は
ない。

【００２７】なお、この実施例において第１本体６は、
後述するヨーク５における平滑面４６によって素材収容
空間２０が閉塞された場合に、前記平滑面４６と素材収
容空間２０内に配置された素材２４の上面とが接する高
さに設計される。第１本体６におけるＯリング３８が設
けられた上端面を前記平滑面４６で覆うと、Ｏリング３
８と前記平滑面４６とにより、素材収容空間２０内が気
密に閉塞される。

【００２８】圧力媒体供給手段２１Ｅは、図５に示すよ
うに、圧力媒体導入排出路２１と、圧力媒体貯留槽２１
Ａと、配管Ｐと、第１ポンプ２１Ｂと、第２配管Ｐ₂
と、バルブＶと、第２ポンプ２１Ｃとを有する。

【００２９】圧力媒体導入排出路２１は、第２本体７の
底面に開口する第１開口部２２と、第２本体７の外周面
に開口する第２開口部２３とを連通する。圧力媒体貯留
槽２１Ａは、圧力容器本体１の外部に設置され、圧力媒
体１９を内部に収容している。配管Ｐは、圧力媒体貯留
槽２１Ａから第２開口部２３へ圧力媒体１９を導入す
る。第１ポンプ２１Ｂは、配管Ｐの途中に設けられ、圧
力媒体１９を前記圧力媒体導入排出路２１に圧送し、強
制排出する。第２配管Ｐ₂ は、配管Ｐの途中で分岐し、
前記圧力媒体貯留槽２１Ａに連絡する。バルブＶおよび
第２ポンプ２１Ｃは、第２配管Ｐ₂ の途中に設けられ
る。この圧力媒体供給手段２１Ｅにより、圧力媒体収容
空間１８内に圧力媒体１９が充填される。

【００３０】この発明においては、圧力伝達手段は弾性
部材３と圧力媒体供給手段２１Ｅとを有して形成され
る。この圧力伝達手段においては、支持部材１６が存在
することにより、素材２４は確固として支持され、シー
ル部材１５があるので素材収容空間２０と圧力媒体収容
空間１８とが液密に隔絶され、圧力媒体収容空間１８内
の圧力媒体１９が素材収容空間２０内に漏洩することが
ない。圧力媒体収容空間１８内に充填された圧力媒体１
９の加圧力が、前記支持部材１６における多数の貫通穴
１７を通じて前記シール部材１５および弾性体１５Ａに
加わり、シール部材１５および弾性体１５Ａを介して素
材２４に伝達される。なお、圧力伝達手段は、弾性体１
５Ａを省略して、支持部材１６とシール部材１５とによ
って形成してもよい。この場合、シール部材１５が圧力
伝達手段における弾性部材となる。

【００３１】なお、この圧力容器本体１はフレーム（図
示せず。）によって支持されている。圧力容器本体１
は、この実施例においては円盤状であるが、設計上四角
盤状であってもよい。

【００３２】図５に示されるように、気体供給排出装置
（図示せず。）は、前記第４開口部４０に接続された配
管Ｐ₁ と、配管Ｐ₁ の一端に接続され、気体を送り出
し、排出することのできるポンプ（図示せず。）とを備
える。この気体供給排出装置は気体導入排出路４１に接
続される。この実施例においては、気体導入排出手段
は、気体導入排出路４１と気体供給排出装置とを有して
形成される。

【００３３】ヨーク５は、図１および図６に示すよう
に、４つの平板によって形成される。ヨーク５は、垂直
に立設された一対の垂直部４２と、その垂直部４２の上
部および下部で水平に架け渡すように平行に設けられた
上部水平部４３および下部水平部４４とを有してなる。
これら一対の垂直部４２、上部水平部４３および下部水
平部４４は一体化されている。この実施例においては、
上部水平部４３における、ヨーク５の内側に位置する面
が平滑面４６である。このヨーク５が、この発明おける
押え部材となる。

【００３４】ヨーク５において、上部水平部４３および
下部水平部４４と一対の垂直部４２で形成される開口部
（以下「作用開口部４５」と称する。）とは、圧力容器
本体１を収容するに必要な大きさを有する。換言する
と、圧力容器本体１をこの作用開口部４５内に収容した
場合に、前記平滑面４６が圧力容器本体１の上面に接す
る位置にあり、下部水平部４４の上面が圧力容器本体１
の下面に位置し、一対の垂直部４２の相互の間隔が前記
圧力容器本体１の直径よりも十分に大きな長さになるよ
うに設計される。

【００３５】この実施例においてヨーク５は、水平に配
置された一対のレール（以下「水平レール４７」と称す
る。）上を跨座して摺動するガイド４７Ａ、およびその
駆動源としてのシリンダー４８を備えている。このた
め、圧力容器本体１における素材収容空間２０内に素材
２４を配置する際には、ヨーク５を圧力容器本体１から
退避した位置に自動的に水平移動させることができる。
また、加圧成形をする際には、ヨーク５の作用開口部４
５が圧力容器本体１を収容することができる位置に、ヨ
ーク５を自動的に水平移動させることができる。このヨ
ーク５は、前記駆動源を駆動しないときは、固定配置さ
れている。なお、ヨーク５の駆動源として、電動モータ
を使用してもよい。

【００３６】電熱ヒータ（図示せず。）は、この実施例
においては、ヨーク５における一対の垂直部４２、上部
水平部４３および下部水平部４４の内部に設けられる。
この電熱ヒータが、この発明における加熱手段である。
なお、加熱手段としては、圧力容器本体１内に収容され
た素材２４を加圧操作する間に、素材２４を加熱するこ
とができるように設計される限り、その構造には特に制
限がない。

【００３７】なお、図６において、４９は装置全体を支
持し、固定するためのフレームであり、５０は装置全体
の動作を制御し、また動作制御を支持するための操作ボ
ックスである。

【００３８】次に、この液晶デバイス製造装置を用いた
液晶デバイスの製造について説明する。

【００３９】まず、初期状態としてヨーク５を圧力容器
本体１から退避した位置に待機させる。圧力容器本体１
の凹陥部を開口し、露出させておく。圧力容器本体１の
素材収容空間２０におけるシール部材１５上に、弾性体
１５Ａを安置する。このとき、シール部材１５は支持部
材１６と一体になっているので、シール部材１５上に弾
性体１５Ａを安置しても、シール部材１５が下方に下が
ることもなく、確固としてシール部材１５上に安置され
る。次いで、弾性部材１５Ａ上に素材２４を配置する。
素材２４は、液晶セルを所定枚数重ねてなる集合体であ
る。この実施例においては、前記集合体は仮圧着されて
いるが、仮圧着をせずに、それぞれ分離して存在する液
晶セルを一枚一枚弾性部材１５Ａ上に配置してもよい。

【００４０】シリンダー４８を駆動し、ヨーク５を水平
レール４７に沿って水平移動させ、ヨーク５における作
用開口部４５内に圧力容器本体１を収容する。ヨーク５
における平滑面４６により、圧力容器本体１における素
材収容空間２０は、閉塞される。このとき、気体導入排
出手段を駆動させる。気体導入排出路４１から素材収容
空間２０内の気体が吸引排気される。素材収容空間２０
内が減圧になる。これに伴い、弾性部材１５Ａが、平滑
面４６に向かって膨満し、場合によっては弾性部材１５
Ａの上表面が平滑面４６に接する。その際、弾性部材１
５Ａの上表面には溝１５Ｂが形成されているから、溝１
５Ｂを通じて素材収容空間２０内の気体が円滑に排気さ
れ続ける。さらに、気体導入排出路４１の第３開口部３
９は第１本体６の内周面上端に開口しているので、膨満
する弾性部材１５Ａが前記平滑面４６に接しても、溝１
５Ｂと第３開口部３９とにより、素材収容空間２０内の
気体は、円滑に排気される。

【００４１】気体導入排出手段の駆動させる一方、圧力
媒体供給手段により圧力媒体導入排出路２１を介して圧
力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を充填する。圧力
媒体収容空間１８内の圧力が所定圧力に到達すると、圧
力媒体供給手段による圧力媒体収容空間１８内への圧力
媒体１９の充填を停止する。圧力媒体１９の所定圧力
は、支持部材１６における貫通穴１７を通して弾性部材
１５Ａに印加される。圧力媒体１９の所定圧力は、弾性
部材１５Ａおよび素材２４を介して前記平滑面４６を押
し上げるように作用するが、ヨーク５は固定配置されて
いるので上昇することはない。したがって、圧力媒体１
９の所定圧力により、素材２４は、弾性部材１５Ａと平
滑面４６とにより挟まれた状態で加圧される。素材２４
を加圧する圧力は、通常０．５〜９ｋｇ／ｃｍ² 程度で
ある。

【００４２】なお、この発明においては、この実施例に
示されるように、素材２４を加圧する圧力が前述のよう
に小さいので、圧力容器本体１の凹陥部内に嵌合する蓋
体ないし蓋部材を必要とせず、その分装置構造の簡単化
が達成される。

【００４３】この加圧中、ヨーク５内に設けられた電熱
ヒータによる加熱を行う。電熱ヒータによる熱が、ヨー
ク５および圧力容器本体１に伝導し、これによって素材
２４が加熱加圧される。素材２４を加熱する温度は、通
常１００〜２２０℃程度である。

【００４４】素材２４の加熱加圧により、素材２４中か
らガスが発生することがある。ところが、気体供給排出
装置により素材収容空間２０内の気体を排気しているの
で、発生したガスは、弾性部材１５Ａの上表面に形成さ
れた溝１５Ｂおよび気体導入排出路４１を通じて圧力容
器本体１の外部に排気される。このため、加熱加圧中に
素材２４内で発生するガスが残留することがない。その
結果、ボイドや亀裂などを有する不良品の液晶デバイス
が製造されることがない。

【００４５】このような加熱加圧処理をすることによ
り、素材２４が一体的に圧着される。その結果、液晶デ
ィスプレイが製造される。

【００４６】所定時間の加熱加圧処理が終了したとき、
圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入
排出路２１を通じて圧力媒体収容空間１８内に充填され
ている圧力媒体１９を、圧力媒体収容空間１８内の圧力
が常圧に戻るまで、排出させる。この圧力媒体１９の排
出と共に、あるいは圧力媒体収容空間１８内の圧力が常
圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動させることに
より、素材収容空間２０内に気体を導入する。この気体
の導入により、素材収容空間２０側に膨満していた弾性
部材１５Ａが支持部材１６側に押し戻され、もとの平坦
な平面を有するように、元に戻る。次に、シリンダー４
８を再び駆動することにより、ヨーク５を退避させる。
このとき、素材収容空間２０内には気体が導入されてい
るので、ヨーク５を圧力容器本体１から退避させる際
に、弾性部材１５Ａが平滑面４６側に引っ張られること
もないので、弾性部材１５Ａの亀裂を生じることもな
い。加熱加圧により圧着された液晶デバイスを圧力容器
本体１内から取り出す。

【００４７】液晶デバイスを素材収容空間２０内から取
り出した状態においては、弾性部材１５Ａの平滑面４６
側の平面が膨れ上がっていず、平らな平面状態になって
おり、亀裂等の損傷もないので、直ちに次の液晶デバイ
スの製造を開始することができる。

【００４８】この実施例１の液晶デバイス製造装置は以
下の効果を奏する。

【００４９】(1) 蓋部材を用いず、その代わりに押え部
材を蓋部材として兼用するので、装置を小型化すること
ができ、また、その取り扱いを容易にすることができ
る。さらに、押え部材の平滑面で圧力容器本体における
素材収容空間を閉塞する際に前記素材収容空間内の排気
を行う必要がなく、操作が簡単である。

【００５０】(2) 剛体プレスにより液晶デバイスを製造
する場合の問題点を解消することができる。すなわち、
液晶デバイスにおける層間を均一に圧着することができ
る。そのため液晶デバイスにおける層剥れを防止するこ
とができる。ガラス層が破損するのを防止することがで
きる。そのため欠陥のない液晶デバイスを歩留よく製造
することができる。前記歩留としては、機械プレスの場
合に比し、約１．５倍以上向上させることができる。

【００５１】(3) 弾性部材の上表面に溝を設けているの
で、素材収容空間内を減圧にすることにより弾性部材が
膨満して弾性部材の上表面が押え部材の平滑面に接する
ようなことがあったとしても、素材を収容した空間を有
効に所定の減圧度にすることができる。

【００５２】(4) 加熱加圧成形の際に発生するガスが、
弾性部材に設けた溝を通じて除去されるので、ボイドや
気泡の発生等を招くことがなく、高品質の液晶デバイス
を効率よく製造することができる。

【００５３】(5) 加圧操作の後に押え部材を容易に脱着
することができる。押え部材を圧力容器本体から退避す
るときに、弾性部材を引っ張ることによる、弾性部材の
破損を招くこともない。したがって、故障が少ない。

【００５４】(6) 加熱加圧操作の終了後には、弾性部材
の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を
交換することなく次の素材の加熱加圧成形操作を開始す
ることができ、効率良くかつ簡便に多数の液晶デバイス
を連続的に製造することができる。

【００５５】なお、実施例１の液晶デバイス製造装置
は、前記気体導入排出手段および通気確保手段を設けて
いるが、この発明においては、これらは必要に応じて適
宜に選択して用いればよく、用いない場合においてもこ
の発明の目的を達成することができる。ただし、前記気
体導入排出手段および通気確保手段を用いない場合に
は、前記(3) 〜(6) の効果が奏されないこともあるの
で、この発明においては、これらを用いる態様が好まし
い。

【００５６】（実施例２）図７は、この発明の液晶デバ
イス製造装置の一実施例を示す断面概略説明図である。

【００５７】実施例２の液晶デバイス製造装置は、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置において、ヨーク５を
平板状のヨーク５ａに代え、圧力容器本体１を、前記水
平レール４７上を跨座して摺動するガイド４７Ａ、およ
びその駆動源としてのシリンダー４８（図６参照）を備
えた圧力容器本体１に代えた外は実施例１の液晶デバイ
ス製造装置と同じである。したがって、各部材の詳細
は、前記実施例１における説明を参照することにより容
易に理解される。

【００５８】実施例２において、ヨーク５ａは圧力容器
本体１の上端面と接する高さの位置に固定して配置され
ている。ヨーク５ａの板面のうち圧力容器本体１の上端
面に接する面が、平滑面４６である。このヨーク５ａが
押え部材である。圧力容器本体１は、その凹陥部が開口
する位置から前記平滑面４６により閉塞される位置まで
水平レール４７上を自動的に水平移動することができ
る。

【００５９】この実施例においては、前記ヨーク５ａが
押さえ部材を構成している。

【００６０】なお、前記ヨーク５ａは、圧力容器本体１
の上端面に対し、わずかのクリアランスをもって配置さ
れ、加熱加圧成形の際に、圧力容器本体１の凹陥部を閉
塞するために下降し、前記平滑面４６と圧力容器本体１
の上端面とが接する位置で固定されるように設計しても
よい。

【００６１】実施例２の液晶デバイス製造装置は、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置と同様の機能・作用を
有する。したがって、実施例２の液晶デバイス製造装置
を用いると、前記実施例１と同様に液晶デバイスを製造
することができる。実施例２の液晶デバイス製造装置
は、前記実施例１の液晶デバイス製造装置と同様の優れ
た効果を奏するが、さらに実施例１の液晶デバイス製造
装置に比し、ヨーク５ａを簡略化することができるの
で、装置全体を小型化・簡略化することができる。

【００６２】（実施例３）図８に示されるように、実施
例３の液晶デバイス製造装置は、前記実施例１の液晶デ
バイス製造装置におけるヨーク５を、平板状に形成され
た上部ヨーク５ｂおよび下部ヨーク５ｃに代え、下部ヨ
ーク５ｃの上面に圧力容器本体１を固定的に載置した外
は、実施例１の液晶デバイス製造装置と同じである。

【００６３】前記下部ヨーク５ｃは、前記水平レール４
７上を跨座して摺動するガイド４７Ａ、およびその駆動
源としてのシリンダー４８（図６におけるのと同じ）を
備えている。

【００６４】前記上部ヨーク５ｂは、圧力容器本体１の
上端面と接する高さの位置に固定して配置されている。
前記上部ヨーク５ｂの板面のうち圧力容器本体１の上端
面に接する面が、平滑面である。この上部ヨーク５ｂが
押え部材である。圧力容器本体１は、凹陥部が上向きに
開口した状態で前記下部ヨーク５ｃ上に固定されてい
る。このため、圧力容器本体１は、凹陥部が開口する位
置から前記平滑面４６により閉塞される位置まで水平レ
ール４７上を自動的に水平移動することができる。な
お、前記下部ヨーク５ｃはその上面に圧力容器本体１を
固定してこれを載置しているので、この下部ヨーク５ｃ
は前記圧力容器本体１に対して載置台としての機能、前
記圧力容器本体１を固定する基台としての機能をも有し
ている。

【００６５】なお、前記上部ヨーク５ｂは、圧力容器本
体１の上端面に対し、わずかのクリアランスをもって配
置され、加熱加圧成形の際に、圧力容器本体１の凹陥部
を閉塞するために下降し、前記平滑面と圧力容器本体１
の上端面とが接する位置で固定されるように設計しても
よい。

【００６６】実施例３の液晶デバイス製造装置は、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置と同様の機能・作用を
有する。したがって、実施例３の液晶デバイス製造装置
を用いると、前記実施例１と同様に液晶デバイスを製造
することができる。実施例３の液晶デバイス製造装置
は、前記実施例１の液晶デバイス製造装置と同様の優れ
た効果を奏する。

【００６７】（実施例４）図９は、この発明の液晶デバ
イス製造装置の一実施例を示す断面概略説明図である。
実施例４の液晶デバイス製造装置は、図９に示されるよ
うに、圧力伝達手段を備える圧力容器本体１ａと気体供
給排出装置とヨーク５ｄとを有する。

【００６８】図９に示されるように、前記圧力容器本体
１ａは、その構造および配置状態ないし姿勢状態等の点
で、前記実施例１の液晶デバイス製造装置における圧力
容器本体１と異なる。

【００６９】先ず、この圧力容器本体１ａは、弾性体１
５Ａを用いず、シール部材１５の表面に溝１５Ｂが形成
されている。この溝１５Ｂは、素材２４中に存在する可
能性のある気体あるいは素材収容空間２０内に存在する
気体の排気を円滑に行えるように形成されていれば良
く、たとえば実施例１におけるのと実質的に同じに形成
されている。なお、この圧力容器本体１ａに設けられた
気体供給排出装置は、前記実施例１におけるのと実質的
に同様である。

【００７０】前記ヨーク５ｄは、上面が平滑面４６であ
る。このヨーク５ｄは、その位置不変に固定されていて
も良く、また、水平移動可能に形成されていても良い。

【００７１】前記圧力容器本体１ａは、その凹陥部が下
を向いた状態で、前記ヨーク５ｄにおける平滑面４６上
に配置される。前記圧力容器本体１ａは、図示しないシ
リンダーにより上下動可能になっており、任意の位置で
固定される。

【００７２】前記ヨーク５は前記実施例２と同様に、そ
の内部に電熱ヒータが設けられている。したがって、各
部材の詳細については、前記実施例１および実施例２に
おける説明を参照することにより容易に理解される。

【００７３】次に、実施例４の液晶デバイス製造装置を
用いた液晶デバイスの製造について説明する。

【００７４】まず、初期状態として圧力容器本体１ａを
ヨーク５ｄの上方に位置させる。この状態ではヨーク５
ｄの平滑面４６から所定の距離だけ離れた上方に圧力容
器本体１ａの凹陥部が存在し、凹陥部の開口部が平滑面
４６に向かって開口している。

【００７５】ヨーク５ｄの平滑面４６における所定の箇
所に素材２４を配置する。なお、前記素材２４は、前記
実施例１におけるのと同様のものを用いることができ
る。この実施例４においては、素材２４は、ガラス層、
電極、絶縁膜等を積層してなる積層体同士をスペーサを
介して重ね合わせてなる液晶空セル前駆体である。前記
液晶空セル前駆体は仮圧着されている。

【００７６】圧力容器本体１ａに備えられたシリンダー
（図示せず。）を駆動し、圧力容器本体１ａにおける凹
陥部内に前記液晶空セル前駆体が収容されるように圧力
容器本体１ａを下降させる。圧力容器本体１ａにおける
下端面と前記平滑面４６とが接する位置に圧力容器本体
１を固定配置する。すると、圧力容器本体１における素
材収容空間２０は、前記平滑面４６により閉塞される。
このとき、素材２４は圧力容器本体１の素材収容空間２
０内に収容され、その一端は平滑面４６と接し、他端は
シール部材１５と接している。

【００７７】気体導入排出手段の一部を構成する気体導
入排出路４１から素材収容空間２０内の気体が吸引排気
される。素材収容空間２０内が減圧になる。これに伴
い、シール部材１５が、平滑面４６に向かって膨満し、
平滑面４６に接する。なお、図９においては理解を容易
にするために圧力容器本体１ａにおける凹陥部の深さを
大きくして描いてあるが、その凹陥部の開口部からシー
ル部材１５Ａまでの深さは液晶空セル前駆体の厚みに実
質的に同じであるから、非常に小さな深さ寸法に設計さ
れる。したがって、素材収容空間２０内を減圧にする
と、前記シール部材１５Ａは膨満して容易に平滑面４６
に密着するのである。

【００７８】その際、シール部材１５の表面には溝１５
Ｂが形成されているから、溝１５Ｂを通じて素材収容空
間２０内の気体が円滑に排気され続ける。さらに、気体
導入排出路４１の第３開口部３９は第１本体６の内周面
下端に開口しているので、膨満するシール部材１５が平
滑面４６に接しても、溝１５Ｂと第３開口部３９とによ
り、素材収容空間２０内の気体は、円滑に排気される。

【００７９】気体導入排出手段を駆動させる一方、圧力
媒体供給手段により圧力媒体導入排出路２１を介して圧
力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を充填する。圧力
媒体収容空間１８内の圧力が所定圧力に到達すると、圧
力媒体供給手段による圧力媒体収容空間１８内への圧力
媒体１９の充填を停止する。圧力媒体１９の所定圧力
は、支持部材１６（図２を参照）における貫通穴１７
（図２を参照）を通してシール部材１５に印加される。
圧力媒体１９の所定圧力は、シール部材１５および素材
２４を介して平滑面４６を押し下げるように作用する
が、ヨーク５は固定配置されているので下降することは
ない。したがって、圧力媒体１９の所定圧力により、素
材２４は、シール部材１５と平滑面４６とにより挟まれ
た状態で加圧される。素材２４を加圧する圧力は、通常
１〜２ｋｇ／ｃｍ² 程度である。この加圧中、ヨーク５
ｄ内に設けられた電熱ヒータによる加熱を行う。電熱ヒ
ータによる熱が、ヨーク５ｄおよび圧力容器本体１に伝
導し、これによって素材２４が加熱加圧される。素材２
４を加熱する温度は、通常１４０〜１６０℃程度であ
る。

【００８０】素材２４の加熱加圧により、素材２４中か
らガスが発生することがある。ところが、気体供給排出
装置により素材収容空間２０内の気体を排気しているの
で、発生したガスは、シール部材１５の表面に形成され
た溝１５Ｂおよび気体導入排出路４１を通じて圧力容器
本体１ａの外部に排気される。このため、加熱加圧中に
素材２４内で発生するガスが残留することがない。その
結果、ボイドや亀裂などを有する不良品の液晶デバイス
が製造されることがない。

【００８１】このような加熱加圧処理をすることによ
り、素材２４が一体的に圧着され、液晶空セルが製造さ
れる。

【００８２】所定時間の加熱加圧処理が終了したとき、
圧力媒体供給装置を駆動することにより、圧力媒体導入
排出路２１を通じて圧力媒体収容空間１８内に充填され
ている圧力媒体１９を、圧力媒体収容空間１８内の圧力
が常圧に戻るまで、排出させる。この圧力媒体１９の排
出と共に、あるいは圧力媒体収容空間１８内の圧力が常
圧に戻ってから、気体供給排出装置を駆動させることに
より、素材収容空間２０内に気体を導入する。この気体
の導入により、素材収容空間２０側に膨満していたシー
ル部材１５が支持部材１６側に押し戻され、もとの状態
に戻る。次に、圧力容器本体１ａに備えられたシリンダ
ーを再び駆動し、圧力容器本体１ａを上昇させる。この
とき、素材収容空間２０内には気体が導入されているの
で、圧力容器本体１ａを上昇させる際に、シール部材１
５が平滑面４６側に引っ張られることもないので、シー
ル部材１５の亀裂を生じることもない。ヨーク５ｄにお
ける平滑面４６上には、液晶空セル前駆体を圧着してな
る液晶空セルが存在する。

【００８３】実施例４においては、素材２４を平滑面４
６上に自動的に配置し、完成品の液晶デバイスを平滑面
４６上から自動的に移動させることができる手段を設け
ることにより、液晶デバイスの連続的製造を効率よく行
うことができる。

【００８４】実施例４の液晶デバイス製造装置は、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置と同様の効果を奏す
る。

【００８５】（実施例５）図１０は、この発明の液晶デ
バイス製造装置の一実施例を示す断面概略説明図であ
る。実施例５の液晶デバイス製造装置は、図１０に示さ
れるように、その構造等の点で、例えば、この圧力容器
本体１ｂにおいて、ヨーク５ｅはその下面が平滑面４６
であること、弾性体１５Ａは、前記ヨーク５ｅの平滑面
４６に向かう面に、図３に示されるたような溝１５Ｂが
形成されていないこと、前記平滑面４６で素材収容空間
２０を閉塞した場合に、弾性部材１５Ａの上面と平滑面
４６とに挟まれた空間内の、素材２４が占めていない領
域に、スペーサ４が介装されていること、およびこのス
ペーサ４における、前記平滑面４６に向かう面に溝４Ａ
が設けられている点等において、前記実施例１の液晶デ
バイス製造装置と異なる。したがって、各部材の詳細
は、前記実施例１における説明を参照することにより容
易に理解される。

【００８６】前記スペーサ４は、図１０および図１１に
示されるように、環状の板状体であり、その表面に断面
Ｖ字形の溝４Ａを有する。そして、このスペーサ４は、
素材２４の平面形状よりも大きな平面形状たとえば方形
あるいは円形（この実施例５では円形である。）の収容
開口部４Ｂを備えてなる。

【００８７】なお、スペーサ４の材質としては硬質ゴム
などを挙げることができる。また、溝１４Ａは、素材を
収容する空間、換言すると収容開口部４Ｂから気体を有
効に排除することのできる機能を有する限り、どのよう
な断面形状を有していようが、スペーサ４の表面に何本
形成されようがそれは問題にならない。例えばスペーサ
４の表面に、内側から外側に向かって放射状に複数本の
溝が形成されていても良く、また、溝４Ａの断面は、図
１２に示すように方形であっても半円形であっても良
い。

【００８８】このようにスペーサ４を設けておくと、前
記実施例１におけるように、素材収容空間２０内を減圧
にし、加熱加圧成形時に加圧媒体収容空間１８内に加圧
媒体１９を充填することにより、弾性体１５Ａが膨満
し、膨満した弾性体１５Ａが平滑面４６の下面に接する
程の過度の変形を受けることが、防止される。スペーサ
４を介装することにより、弾性体１５Ａが過度の変形あ
るいは歪みを生じないので、弾性体１５Ａの破損をそれ
だけ少なくすることができる。

【００８９】スペーサ４の上面には溝４Ａが設けられて
いるので、素材収容空間２０内を減圧にすることによ
り、スペーサ４の上面と平滑面２４の下面とが密着する
としても、溝４Ａを通じて、素材２４の存在する領域の
気体を有効に排出することができる。これによって、加
熱加圧成形時に、素材２４から発生するガスを有効に圧
力容器本体２０外に排出することができ、ボイドや亀裂
のない液晶デバイスを容易に製造することができる。な
お、実施例５の液晶デバイス製造装置においても、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置とほぼ同様の作用効果
が奏される。

【００９０】（実施例６）図１３は、この発明の液晶デ
バイス製造装置の一実施例を示す断面概略説明図であ
る。実施例６の液晶デバイス製造装置は、図１３に示さ
れるように、素材２４の平面形状と実質的に同じ平面形
状の収容空間４Ｂを有するスペーサ４を使用する点で前
記実施例５の液晶デバイス製造装置と異なる。

【００９１】実施例６の液晶デバイス製造装置において
も、スペーサ４に溝４Ａを設けているので、前記実施例
５の液晶デバイス製造装置とほぼ同様の作用効果が奏さ
れる。

【００９２】実施例６の液晶デバイス製造装置において
特筆する作用効果は、弾性体１５Ａと平滑面４６とによ
り挟まれた空間全体が実質的に素材２４とスペーサ４と
で占められているので、加圧成形時あるいは、非加圧成
形時における減圧操作時に、弾性部材１５Ａの膨満が極
力抑制されるから、弾性部材１５Ａの変形疲労による破
損が極力少なくなる。換言すると、実施例６の液晶デバ
イス製造装置においては、弾性部材３の破損が極めて少
なく、弾性部材３を長持ちさせることができる。なお、
実施例６の液晶デバイス製造装置においても、前記実施
例５の液晶デバイス製造装置とほぼ同様の作用効果が奏
される。

【００９３】（実施例７）図１４は、この発明の液晶デ
バイス製造装置の一実施例を示す断面概略説明図であ
る。実施例７の液晶デバイス製造装置は、図１４および
図１５に示されるように、素材２４の平面形状と実質的
に同じ平面形状の収容空間４Ｂを有するスペーサ４を、
外側スペーサ４Ｃと内側スペーサ４Ｄとの二枚一組で形
成したことが、前記実施例６の液晶デバイス製造装置と
異なる。

【００９４】前記内側スペーサ４Ｄは、素材２４の平面
形状と実質的に同じ平面形状を有する収容空間４Ｂを有
し、円形盤状体である。この内側スペーサ４Ｄの上面に
複数の溝４ａが刻設されてなる。一方、外側スペーサ４
Ｃは、前記内側スペーサ４Ｄの平面形状と実質的に同じ
円形の開口部を有する環状盤体である。この外側スペー
サ４Ｃにおいてもその上面に複数の溝４Ａが刻設されて
なる。そして、この溝４ａおよび溝４Ａは、外側スペー
サ４Ｃの開口部に内側スペーサ４Ｄを嵌め込んだとき
に、一連の溝となるように、設けられている。

【００９５】二枚一組のスペーサ４の利点は、次のとお
りである。収容空間４Ｂの異なる複数種の内側スペーサ
４Ｄを多数用意しておくと、外側スペーサ４Ｃの開口部
に適宜に選択した内側スペーサ４Ｄを取り替えるだけ
で、同じ液晶デバイス製造装置を使用して大きさの異な
る液晶デバイスを製造することができる。なお、実施例
７の液晶デバイス製造装置においても、前記実施例６の
液晶デバイス製造装置とほぼ同様の作用効果が奏され
る。

【００９６】（実施例８）実施例８の液晶デバイス製造
装置は、溝を備えた内側スペーサ４Ｄを用いる代わり
に、図１６に示されるように、溝を設けていない内側ス
ペーサ４Ｆを使用し、その内側スペーサ４Ｆにおける、
平滑面４６に向かう面に網部材４Ｇ例えば金網を配置し
た点において、前記実施例７の液晶デバイス製造装置と
異なる。

【００９７】この網部材４ｇおよび外側スペーサ４Ｃに
おける溝４Ａは通気確保手段を構成する。

【００９８】網部材４ｇの利点は、溝を設けた内側スペ
ーサと溝を設けた外側スペーサとを使用するときには、
溝の位置合わせが必要であるが、網部材４Ｇを設けるこ
とによりそのような位置合わせが不溶になることであ
る。なお、実施例８の液晶デバイス製造装置において
も、前記実施例７の液晶デバイス製造装置とほぼ同様の
作用効果が奏される。

【００９９】（実施例９）実施例９の液晶デバイス製造
装置は、前記実施例１の液晶デバイス製造装置における
圧力媒体供給手段２１Ｅが２基のポンプ２１Ｂおよび２
１Ｃを使用するに対し、図１７に示されるように、実施
例９の液晶デバイス製造装置における圧力媒体供給手段
２１Ｆは１基のポンプを使用するという点などで、前記
実施例１の液晶デバイス製造装置と異なる。

【０１００】実施例９の液晶デバイス製造装置における
圧力媒体供給手段２１Ｆは、第２開口部２３に接続され
て圧力媒体貯留槽２１Ａに至る配管Ｐの途中に第１ポン
プ２１Ｂを介装し、その第１ポンプ２１Ｂと前記第２開
口部２３との間の配管Ｐに第１バルブＶ₁ を介装し、そ
の第１ポンプ２１Ｂと圧力媒体貯留槽２１Ａとの間の配
管に第２バルブＶ₂ を介装し、第１バルブＶ₁ と第２開
口部２３との間の配管Ｐに、第３バルブＶ₃ を介装する
迂回管Ｐ₃ の一端を接続し、その迂回管Ｐ₃ の他端は、
第１ポンプ２１Ｂと第２バルブＶ₂ との間の配管Ｐに接
続し、第１ポンプ２１Ｂと第１バルブＶ₁ との間の配管
Ｐには、先端を圧力媒体貯留槽２１Ａに引き込み、かつ
途中に第４バルブＶ₄ を介装する支管Ｐ₄ を結合してな
る。

【０１０１】このような圧力媒体供給手段２１Ａにおい
ては、圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９を充填す
るときには、第１バルブＶ₁ および第２バルブＶ₂ を開
放状態にし、その余のバルブＶ₃ ，Ｖ₄ を閉鎖状態にす
る。そして、第１ポンプ２１Ｂを駆動すると、配管Ｐを
介して圧力媒体収容空間１８内に圧力媒体１９が圧入さ
れる。圧力媒体収容空間１８内に圧入されている圧力媒
体１９を排出するには、第１バルブＶ₁ および第２バル
ブＶ₂ を閉鎖状態にし、その余のバルブＶ₃ およびＶ₄
を開放状態にする。そうすると、圧力媒体１９は迂回管
Ｐ₃ 、第１ポンプ２１Ｂおよび支管Ｐ₄ を通って圧力媒
体貯留槽２１Ａに排出される。

【０１０２】実施例９の液晶デバイス製造装置における
圧力媒体供給手段を採用すると、ポンプの数を１基にす
ることができるので、装置構成の簡単化および装置の小
型化を達成することができる。なお、実施例９の液晶デ
バイス製造装置においても、前記実施例１の液晶デバイ
ス製造装置とほぼ同様の作用効果が奏される。

【０１０３】

【発明の効果】この発明の液晶デバイス製造装置による
と、 (1) 蓋部材を用いず、その代わりに押え部材を蓋部材と
して兼用するので、装置を小型化することができ、ま
た、その取り扱いを容易にすることができる。さらに、
押え部材の平滑面で圧力容器本体における素材収容空間
を閉塞する際に前記素材収容空間内の排気を行う必要が
なく、操作が簡単である。

【０１０４】(2) 剛体プレスにより液晶デバイスを製造
する場合の問題点を解消することができる。すなわち、
液晶デバイスにおける層間を均一に圧着することができ
る。そのため液晶デバイスにおける層剥れを防止するこ
とができる。ガラス層が破損するのを防止することがで
きる。そのため欠陥のない液晶デバイスを歩留よく製造
することができる。前記歩留としては、機械プレスの場
合に比し、約１．５倍以上向上させることができる。

【０１０５】(3) 弾性部材の上表面に溝を設けているの
で、素材収容空間内を減圧にすることにより弾性部材が
膨満して弾性部材の上表面が押え部材の平滑面に接する
ようなことがあったとしても、素材を収容した空間を有
効に所定の減圧度にすることができる。

【０１０６】(4) 加熱加圧成形の際に発生するガスが、
弾性部材に設けた溝を通じて除去されるので、ボイドや
気泡の発生等を招くことがなく、高品質の液晶デバイス
を効率よく製造することができる。

【０１０７】(5) 加圧操作の後に押え部材を容易に脱着
することができる。押え部材を圧力容器本体から退避す
るときに、弾性部材を引っ張ることによる、弾性部材の
破損を招くこともない。したがって、故障が少ない。

【０１０８】(6) 加熱加圧操作の終了後には、弾性部材
の加圧操作による膨れが解消しているので、弾性部材を
交換することなく次の素材の加熱加圧成形操作を開始す
ることができ、効率良くかつ簡便に多数の液晶デバイス
を連続的に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の液晶デバイス製造装置の一
実施例を示す断面概略説明図である。

【図２】図２は、図１に示す液晶デバイス製造装置にお
ける第１本体と第２本体との重ね合わせ部分を示す部分
断面説明図である。

【図３】図３は、図１に示す液晶デバイス製造装置にお
いて弾性部材を装着した状態を示す一部断面説明図であ
る。

【図４】図４は、上表面に溝を刻設してなる弾性部材の
一例を示す一部斜視図である。

【図５】図５は、２基のポンプを採用してなる圧力媒体
供給手段の一例を示す概略説明図である。

【図６】図６は、図１に示す液晶デバイス製造装置を上
から見た状態を示す概略説明図である。

【図７】図７は、この発明の液晶デバイス製造装置の一
実施例を示す断面概略説明図である。

【図８】図８は、この発明の液晶デバイス製造装置の一
実施例を示す概略断面説明図である。

【図９】図９は、この発明の液晶デバイス製造装置の一
実施例を示す概略断面説明図である。

【図１０】図１０は、溝を有するスペーサを使用した液
晶デバイス製造装置の一例を示す一部断面説明図であ
る。

【図１１】図１１は、溝を有するスペーサを示す一部斜
視図である。

【図１２】図１２は、スペーサに設けられた溝の形態を
示す断面概略説明図である。

【図１３】図１３は、溝を有する他のスペーサを使用し
た液晶デバイス製造装置の一例を示す一部断面説明図で
ある。

【図１４】図１４は、溝を有する内側スペーサと外側ス
ペーサとからなる２枚一組のスペーサを使用した液晶デ
バイス製造装置の一例を示す一部断面説明図である。

【図１５】図１５は、図１４に示す液晶デバイス製造装
置における２枚一組のスペーサの一例を示す一部斜視図
である。

【図１６】図１６は、溝を有する外側スペーサと網部材
を有する内側スペーサとからなるスペーサの一例を示す
一部斜視図である。

【図１７】図１７は、１基のポンプを採用してなる圧力
媒体供給手段の一例を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ・・・圧力容器本体、３・・・弾性部
材、４・・・スペーサ、５，５ａ，５ｄ，５ｅ・・・ヨ
ーク、５ｂ・・・上部ヨーク、５ｃ・・・下部ヨーク、
６・・・第１本体、７・・・第２本体、８・・・貫通
孔、９・・・凹部、１０・・・環状テーパ面、１１・・
・環状水平面、１２・・・リング状装着部、１３・・・
弾性部材装着部、１４・・・バックアップリング、１５
・・・シール部材、１６・・・支持部材、１７・・貫通
穴、１８・・・圧力媒体収容空間、１９・・・圧力媒
体、２０・・・素材収容空間、２１・・・圧力媒体導入
排出路、２２・・・第１開口部、２３・・・第２開口
部、Ｐ・・・配管、２４・・・素材、３８・・・Ｏリン
グ、３９・・・第３開口部、４０・・・第４開口部、４
１・・・気体導入排出路、４２・・・垂直部、４３・・
・上部水平部、４４・・・下部水平部、４５・・・作用
開口部、４６・・・平滑面、４７・・・水平レール、４
７Ａ・・・ガイド、４８・・・シリンダー、４９・・・
フレーム、５０・・・操作ボックス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 櫻田 裕史 東京都東村山市野口町２−16−２ 日機 装株式会社 東村山製作所内 (72)発明者 堤 淳 東京都東村山市野口町２−16−２ 日機 装株式会社 東村山製作所内 (72)発明者 西岡 昭 東京都東村山市野口町２−16−２ 日機 装株式会社 東村山製作所内 (56)参考文献 特開 昭59−57221（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/1339 505 G02F 1/13 101

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方が開放された素材収容空間と圧力媒
   体収容空間とを備えてなり、かつ前記素材収容空間と前
   記圧力媒体収容空間とを隔絶し、前記圧力媒体収容空間
   内に充填された圧力媒体の加圧力を前記素材収容空間内
   に配置された素材に伝達するように、前記素材収容空間
   における開放部とは反対側に配置された弾性部材を有す
   る圧力伝達手段を備えてなる圧力容器本体、 加圧時に前記圧力容器本体に対して固定され、前記素材
   収容空間を閉塞し、前記素材を押圧する平滑面を有する
   押え部材、および前記圧力容器本体内を加熱する加熱手
   段を備えてなることを特徴とする液晶デバイス製造装
   置。
2. 【請求項２】 一方が開放された素材収容空間と圧力媒
   体収容空間とを備えてなり、かつ前記素材収容空間と前
   記圧力媒体収容空間とを隔絶し、前記圧力媒体収容空間
   内に充填された圧力媒体の加圧力を前記素材収容空間内
   に配置された素材に伝達するように、前記素材収容空間
   における開放部とは反対側に配置された弾性部材を有す
   る圧力伝達手段を備えてなる圧力容器本体、加圧時に前
   記圧力容器本体に対して固定され、前記素材収容空間を
   閉塞し、前記素材を押圧する平滑面を有する押え部材、
   前記素材収容空間内に気体を導入し、かつ排出する気体
   導入排出手段、前記素材収容空間内を前記気体導入排出
   手段により減圧にするときに、前記素材収容空間内の気
   体を前記気体導入排出手段により排出可能にする通気確
   保手段、および前記圧力容器本体内を加熱する加熱手段
   を備えてなることを特徴とする液晶デバイス製造装置。