JP3028967B2 - プローブ - Google Patents
プローブInfo
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- JP3028967B2 JP3028967B2 JP3064926A JP6492691A JP3028967B2 JP 3028967 B2 JP3028967 B2 JP 3028967B2 JP 3064926 A JP3064926 A JP 3064926A JP 6492691 A JP6492691 A JP 6492691A JP 3028967 B2 JP3028967 B2 JP 3028967B2
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- JP
- Japan
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- light
- rotating disk
- disk
- unit
- shielding pattern
- Prior art date
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプローブに係り、特に人
体の血管等に挿入される超音波カテーテル診断装置の先
端に装着され、内蔵した回転走査部の回転数を正確に検
出するエンコーダを備えたプローブに関する。
体の血管等に挿入される超音波カテーテル診断装置の先
端に装着され、内蔵した回転走査部の回転数を正確に検
出するエンコーダを備えたプローブに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、循環器系疾患の診断においては血
管内の診断部位まで血管カテーテルを挿入してその部分
に造影剤を注入してX線撮影を行う循環器X線診断が行
われている。この診断方法では、患者の周囲を自在かつ
容易に移動できるX線発生装置とTVカメラ等の撮像装
置を備えた大きな診断装置システムを必要とし、大規模
な病院にのみ設置されているのが現状である。一方、小
型でリアルタイムの診断を行える診断装置として超音波
診断装置が各診療機関において急速に発展してきてい
る。この超音波診断装置では装置内の超音波振動子で発
生した超音波をプローブを介して皮膚表面から診断部位
に照射し、診断部位からの反射波を再びプローブで捉
え、その信号を画像処理して診断部位の断層像等を作成
することができる。これにより体内のいろいろな部位を
視覚的に容易に確認することができる。この診断に用い
られるプローブは走査形態に応じて各種形状のものが用
意されている。
管内の診断部位まで血管カテーテルを挿入してその部分
に造影剤を注入してX線撮影を行う循環器X線診断が行
われている。この診断方法では、患者の周囲を自在かつ
容易に移動できるX線発生装置とTVカメラ等の撮像装
置を備えた大きな診断装置システムを必要とし、大規模
な病院にのみ設置されているのが現状である。一方、小
型でリアルタイムの診断を行える診断装置として超音波
診断装置が各診療機関において急速に発展してきてい
る。この超音波診断装置では装置内の超音波振動子で発
生した超音波をプローブを介して皮膚表面から診断部位
に照射し、診断部位からの反射波を再びプローブで捉
え、その信号を画像処理して診断部位の断層像等を作成
することができる。これにより体内のいろいろな部位を
視覚的に容易に確認することができる。この診断に用い
られるプローブは走査形態に応じて各種形状のものが用
意されている。
【0003】ところで、最近、この超音波診断装置の利
便性が注目され、上述の循環器X線診断や血管形成術に
使用される血管カテーテルの先端に超音波振動子を組み
込み、カテーテルをプローブとして使用する超音波カテ
ーテル診断装置が提案されている。この種のカテーテル
が使用されるプローブでは内蔵した超音波振動子から照
射された超音波をカテーテルの中心軸回りに所定回転数
で回転させ、血管等の内面を走査して血管内面の360
°の展開画像を撮像することができる。
便性が注目され、上述の循環器X線診断や血管形成術に
使用される血管カテーテルの先端に超音波振動子を組み
込み、カテーテルをプローブとして使用する超音波カテ
ーテル診断装置が提案されている。この種のカテーテル
が使用されるプローブでは内蔵した超音波振動子から照
射された超音波をカテーテルの中心軸回りに所定回転数
で回転させ、血管等の内面を走査して血管内面の360
°の展開画像を撮像することができる。
【0004】超音波カテーテル診断装置に使用されるカ
テーテルの具体的な寸法として筒状ケーシングの外径直
径はφ=2mm、全長はL=1.5m程度に設定されてい
る。また、先端に形成されたプローブの内部には超音波
を発生する超音波振動子と、この超音波を所定方向に反
射するとともに、対象からの反射波を再び振動子の受信
部に導く回転反射鏡が内蔵されている。この回転反射鏡
は外径が約φ=1.5mmで回転軸の直径がφ=0.8mm
以下に設定されており、回転駆動力はカテーテルの口元
から延設されているトルクチューブにより付与されるよ
うになっている。このトルクチューブに付与される回転
力は通常、カテーテル先端の回転反射鏡に所定回転数が
生じるようにカテーテルの口元の駆動源の制御部でオー
プン制御されるようになっている。ところが、この超音
波カテーテル診断装置は診断用カテーテルを診断部位に
到達させるために体内の複雑に湾曲した血管内を誘導さ
れるので、曲率の小さい部分においてカテーテルの筒状
ケーシングとトルクチューブとが摩擦接触してしまう場
合がある。このためトルクチューブを介しての導入トル
クが先端に均一に伝達されず、カテーテル先端のプロー
ブ内に収容された回転反射鏡を一定角速度で回転できな
い。この結果、超音波振動子が超音波を発するタイミン
グと回転反射鏡の回転角との間に位相差が生じ、均一な
走査信号を抽出できない。この走査信号を画像処理装置
で処理するとモニターTVは歪みの多い展開画像を表示
してしまい、血管表面にあるポリープ等の位置や大きさ
を正確に診断できず、むしろ誤った診断を導くおそれも
ある。
テーテルの具体的な寸法として筒状ケーシングの外径直
径はφ=2mm、全長はL=1.5m程度に設定されてい
る。また、先端に形成されたプローブの内部には超音波
を発生する超音波振動子と、この超音波を所定方向に反
射するとともに、対象からの反射波を再び振動子の受信
部に導く回転反射鏡が内蔵されている。この回転反射鏡
は外径が約φ=1.5mmで回転軸の直径がφ=0.8mm
以下に設定されており、回転駆動力はカテーテルの口元
から延設されているトルクチューブにより付与されるよ
うになっている。このトルクチューブに付与される回転
力は通常、カテーテル先端の回転反射鏡に所定回転数が
生じるようにカテーテルの口元の駆動源の制御部でオー
プン制御されるようになっている。ところが、この超音
波カテーテル診断装置は診断用カテーテルを診断部位に
到達させるために体内の複雑に湾曲した血管内を誘導さ
れるので、曲率の小さい部分においてカテーテルの筒状
ケーシングとトルクチューブとが摩擦接触してしまう場
合がある。このためトルクチューブを介しての導入トル
クが先端に均一に伝達されず、カテーテル先端のプロー
ブ内に収容された回転反射鏡を一定角速度で回転できな
い。この結果、超音波振動子が超音波を発するタイミン
グと回転反射鏡の回転角との間に位相差が生じ、均一な
走査信号を抽出できない。この走査信号を画像処理装置
で処理するとモニターTVは歪みの多い展開画像を表示
してしまい、血管表面にあるポリープ等の位置や大きさ
を正確に診断できず、むしろ誤った診断を導くおそれも
ある。
【0005】この場合、プローブ内に収容された回転反
射鏡の回転数を把握し、画像処理段階でこの回転数に基
づいた展開画像を構成するようなクローズドループ制御
系を導入することにより正確な画像を表示することがで
きる。ところで、この回転反射鏡のような回転体の回転
数を検出するための装置としては一般的にエンコーダ装
置が知られている。このエンコーダ装置はモータ駆動系
のクローズドループ制御を行うための位置センサとして
知られており、機械軸の回転移動や直線成分移動の移動
量に比例した一定量のディジタル符号を発生するように
なっている。この計測媒体としては光が一般的であり、
この光の経路を円板状あるいは直線尺状の形状の符号板
群で遮断透過あるいは遮断反射させることによりディジ
タル符号を発生させることができる。このため一般的な
エンコーダ装置は光の経路(光路)を確定するための投
光部受光部と、必要に応じて配置された反射部と、形成
された光路を遮断する上述の符号板群とから構成されて
いる。このエンコーダ装置はその光路を遮断透過させる
タイプと光路を遮断反射させるタイプの2タイプに分類
される。光路を遮断透過させ遮断回数を計測するタイプ
のエンコーダ装置では投光部と受光部とは符号板群を挟
んで対向するように直線状に配置されている。一方、光
路を遮断反射させ遮断回数を計測するタイプでは投光部
から発射された光が確実に受光部に入射するように投光
部と受光部との位置関係が調整されている。特に、後者
の場合には投光部と受光部とを平行に近接して配置した
り投光部と受光部とを符号板に対して角度を持たせて配
置することにより光の授受を確実に行えるようになって
いる。
射鏡の回転数を把握し、画像処理段階でこの回転数に基
づいた展開画像を構成するようなクローズドループ制御
系を導入することにより正確な画像を表示することがで
きる。ところで、この回転反射鏡のような回転体の回転
数を検出するための装置としては一般的にエンコーダ装
置が知られている。このエンコーダ装置はモータ駆動系
のクローズドループ制御を行うための位置センサとして
知られており、機械軸の回転移動や直線成分移動の移動
量に比例した一定量のディジタル符号を発生するように
なっている。この計測媒体としては光が一般的であり、
この光の経路を円板状あるいは直線尺状の形状の符号板
群で遮断透過あるいは遮断反射させることによりディジ
タル符号を発生させることができる。このため一般的な
エンコーダ装置は光の経路(光路)を確定するための投
光部受光部と、必要に応じて配置された反射部と、形成
された光路を遮断する上述の符号板群とから構成されて
いる。このエンコーダ装置はその光路を遮断透過させる
タイプと光路を遮断反射させるタイプの2タイプに分類
される。光路を遮断透過させ遮断回数を計測するタイプ
のエンコーダ装置では投光部と受光部とは符号板群を挟
んで対向するように直線状に配置されている。一方、光
路を遮断反射させ遮断回数を計測するタイプでは投光部
から発射された光が確実に受光部に入射するように投光
部と受光部との位置関係が調整されている。特に、後者
の場合には投光部と受光部とを平行に近接して配置した
り投光部と受光部とを符号板に対して角度を持たせて配
置することにより光の授受を確実に行えるようになって
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
プローブ内の回転反射鏡の回転軸にエンコーダ装置を装
着するためには以下のような問題がある。
プローブ内の回転反射鏡の回転軸にエンコーダ装置を装
着するためには以下のような問題がある。
【0007】まず、対象プローブ内の装着スペースは内
径約φ=1.8mm以下の円筒状空間であり、投光部の光
源を内部に備えることができないので、光ファイバ等の
光伝送系をケーシング内に挿入延設してカテーテルの外
部の光源を投光部に導いている。このとき光ファイバの
直径は約φ=100μm でありその曲げ半径rもr=5
00μm 以上しかとれないため、プローブのように先端
部が閉塞したような形態の計測対象では上述の光路を遮
断透過させ、光路を直線状にするタイプのエンコーダ装
置は使用することができない。また、光路を遮断反射さ
せるタイプにおいても高い分解能を実現するには、符号
板として使用される回転円板の表面に外周位置での幅5
μm 程度の放射状の遮光パターンを形成する必要があ
る。この回転円板はワイヤ放電加工等により切り出すこ
とも可能であるが、現在のところこの精度を保持して機
械加工を行うことは精度管理上、困難である。また、エ
ッチングにより表面を化学的処理する方法もあるが、素
材の厚みの制限、加工可能性の点で問題も多い。さらに
使用される光ファイバは直径が細く、投光部へ伝達され
る光量が小さいので、各装置の配置を正確に組み立てる
必要があり、微小部品を取り扱う精密作業を行わなけれ
ばならない。そこで、本発明の目的は上述した従来の技
術が有する問題点を解消し、回転走査部の回転数に応じ
て発生する光路の遮断回数を計測して回転走査部の回転
数を検出するエンコーダ装置をケーシング内に内蔵した
プローブを提供することにある。
径約φ=1.8mm以下の円筒状空間であり、投光部の光
源を内部に備えることができないので、光ファイバ等の
光伝送系をケーシング内に挿入延設してカテーテルの外
部の光源を投光部に導いている。このとき光ファイバの
直径は約φ=100μm でありその曲げ半径rもr=5
00μm 以上しかとれないため、プローブのように先端
部が閉塞したような形態の計測対象では上述の光路を遮
断透過させ、光路を直線状にするタイプのエンコーダ装
置は使用することができない。また、光路を遮断反射さ
せるタイプにおいても高い分解能を実現するには、符号
板として使用される回転円板の表面に外周位置での幅5
μm 程度の放射状の遮光パターンを形成する必要があ
る。この回転円板はワイヤ放電加工等により切り出すこ
とも可能であるが、現在のところこの精度を保持して機
械加工を行うことは精度管理上、困難である。また、エ
ッチングにより表面を化学的処理する方法もあるが、素
材の厚みの制限、加工可能性の点で問題も多い。さらに
使用される光ファイバは直径が細く、投光部へ伝達され
る光量が小さいので、各装置の配置を正確に組み立てる
必要があり、微小部品を取り扱う精密作業を行わなけれ
ばならない。そこで、本発明の目的は上述した従来の技
術が有する問題点を解消し、回転走査部の回転数に応じ
て発生する光路の遮断回数を計測して回転走査部の回転
数を検出するエンコーダ装置をケーシング内に内蔵した
プローブを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は可撓性を有する細径管内の先端部近傍に回
転自在に支持された回転走査部の一部を回転駆動させて
所定の走査情報を検出するプローブにおいて、上記細径
管の先端部近傍に設けられたホルダに保持された投光部
と、この投光部から出射された光束を反射拡散させ上記
ホルダとの間で所定光量の発光空間を形成する反射板
と、上記ホルダの上記投光部と離れた位置に保持され上
記発光空間の光量を感知する受光部と、上記ホルダと上
記反射板との軸方向の中間に位置し上記回転走査部の回
転軸に固着された放射状遮光パターンを有する回転円板
と、この回転円板と同軸的に配置され、上記放射状遮光
パターンとの重ね合わせにより上記発光空間から受光部
への光路を遮断する放射状遮光パターンを有する固定円
板とを備え、上記回転走査部の回転数に応じて発生する
上記光路の遮断回数を計測して上記回転走査部の回転数
を検出するようにしたことを特徴とするものである。
に、本発明は可撓性を有する細径管内の先端部近傍に回
転自在に支持された回転走査部の一部を回転駆動させて
所定の走査情報を検出するプローブにおいて、上記細径
管の先端部近傍に設けられたホルダに保持された投光部
と、この投光部から出射された光束を反射拡散させ上記
ホルダとの間で所定光量の発光空間を形成する反射板
と、上記ホルダの上記投光部と離れた位置に保持され上
記発光空間の光量を感知する受光部と、上記ホルダと上
記反射板との軸方向の中間に位置し上記回転走査部の回
転軸に固着された放射状遮光パターンを有する回転円板
と、この回転円板と同軸的に配置され、上記放射状遮光
パターンとの重ね合わせにより上記発光空間から受光部
への光路を遮断する放射状遮光パターンを有する固定円
板とを備え、上記回転走査部の回転数に応じて発生する
上記光路の遮断回数を計測して上記回転走査部の回転数
を検出するようにしたことを特徴とするものである。
【0009】また、上記投光部と受光部とは上記細径管
内に延設された光伝送系により上記細径管外部に備えら
れた発光素子と受光素子とにそれぞれ接続されたことを
特徴とするものである。
内に延設された光伝送系により上記細径管外部に備えら
れた発光素子と受光素子とにそれぞれ接続されたことを
特徴とするものである。
【0010】さらに、上記回転円板と固定円板とは光透
過性樹脂膜からなり、これら樹脂膜の表面に塗布された
微粒子感光乳剤層を感光現像させることにより遮光パタ
ーンを形成したことを特徴とするものである。
過性樹脂膜からなり、これら樹脂膜の表面に塗布された
微粒子感光乳剤層を感光現像させることにより遮光パタ
ーンを形成したことを特徴とするものである。
【0011】
【作用】本発明によれば、細径管の先端部近傍にホルダ
に保持された投光部を配置し、この投光部から出射され
た光束を反射拡散させる反射板を上記ホルダと対向させ
るように設け、この仕切られた空間に上記投光部からの
光を入射させて所定光量の発光空間を形成し、上記ホル
ダの上記投光部と離れた位置で上記発光空間の光量を感
知する受光部を支持し、上記ホルダと上記反射板との軸
方向の中間位置の回転反射鏡の回転軸に放射状遮光パタ
ーンを有する回転円板を固着するとともに、上記放射状
遮光パターンとの重ね合わせにより上記発光空間から受
光部への光路を遮断する放射状遮光パターンを有する固
定円板を上記回転円板と同軸的に上記細径管の内周面に
固着し、上記回転走査部の回転数に応じて発生する上記
光路の遮断回数を計測して上記回転走査部の回転数を検
出するようにしたので、反射板の前面に反射光の広がり
を確保することができ、この光の広がり全体を光源とし
て捉えることで受光部の精密な位置合わせの必要がなく
なる。また、この受光部での光の検知は直接反射光の
他、受光部周辺の反射板の乱反射により到達する光の総
量を捉えることで行うことができる。また、上記投光部
と受光部とを上記細径管内に延設された光伝送系により
上記細径管外部に備えられた発光素子と受光素子とにそ
れぞれ接続したので、長く柔軟性を有する細径管からな
るプローブを作ることができる。
に保持された投光部を配置し、この投光部から出射され
た光束を反射拡散させる反射板を上記ホルダと対向させ
るように設け、この仕切られた空間に上記投光部からの
光を入射させて所定光量の発光空間を形成し、上記ホル
ダの上記投光部と離れた位置で上記発光空間の光量を感
知する受光部を支持し、上記ホルダと上記反射板との軸
方向の中間位置の回転反射鏡の回転軸に放射状遮光パタ
ーンを有する回転円板を固着するとともに、上記放射状
遮光パターンとの重ね合わせにより上記発光空間から受
光部への光路を遮断する放射状遮光パターンを有する固
定円板を上記回転円板と同軸的に上記細径管の内周面に
固着し、上記回転走査部の回転数に応じて発生する上記
光路の遮断回数を計測して上記回転走査部の回転数を検
出するようにしたので、反射板の前面に反射光の広がり
を確保することができ、この光の広がり全体を光源とし
て捉えることで受光部の精密な位置合わせの必要がなく
なる。また、この受光部での光の検知は直接反射光の
他、受光部周辺の反射板の乱反射により到達する光の総
量を捉えることで行うことができる。また、上記投光部
と受光部とを上記細径管内に延設された光伝送系により
上記細径管外部に備えられた発光素子と受光素子とにそ
れぞれ接続したので、長く柔軟性を有する細径管からな
るプローブを作ることができる。
【0012】さらに、上記回転円板と固定円板とを光透
過性樹脂膜で構成し、これら樹脂膜の表面に塗布された
微粒子感光乳剤層を感光現像させるようにしたので、マ
イクロ化写真技術により実現する高い分解能の光学系を
経て精度の高い微細形状を示す遮光パターンを容易かつ
大量に作ることができる。
過性樹脂膜で構成し、これら樹脂膜の表面に塗布された
微粒子感光乳剤層を感光現像させるようにしたので、マ
イクロ化写真技術により実現する高い分解能の光学系を
経て精度の高い微細形状を示す遮光パターンを容易かつ
大量に作ることができる。
【0013】
【実施例】以下本発明によるプローブの一実施例を添付
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【0014】図1において、符号Vは人体組織の血管の
内部を示しており、この血管V内に超音波カテーテル診
断装置1が挿入されている。このカテーテル2の先端に
はプローブ3が一体的に形成されている。このプローブ
3の形状はカテーテル2と外径がほぼ等しいかあるいは
さらに細い直径に設定されており、柔軟性を有する樹脂
製のケーシングに覆われ、先端端面には超音波振動子4
が固着されている。この超音波振動子4は2MHz 〜10
MHz の高周波数波を発射可能な発信部と、対象物からの
反射波を受信可能な受信部とから構成されている。この
超音波振動子4の対向位置には回転反射鏡5が回転可能
に筒状ライナ管6に嵌着されたすべり軸受7に支持され
ている。この反射鏡5の反射面5aはプローブ3の軸線
方向に対して45°に傾斜した面となるように加工され
ている。このため振動子4から発射された超音波Sはこ
の反射鏡5でプローブ3の軸線と直角な方向に反射し、
さらに血管壁面V等で反射する。この反射波は入射経路
と同じ経路を介して再び振動子4に戻るようになってい
る。また、上述のように回転反射鏡5は回転軸9が回転
可能にすべり軸受7に支持されており、さらにこの回転
軸9にはコネクタ部10を介してトルクチューブ11が
接続されている。このトルクチューブ11は従来と同様
にカテーテル2の口元まで延設されており、その端部は
図示しない制御部を備えた電動モータ等の駆動源に接続
されている。一方、回転反射鏡5の後方には、この回転
反射鏡5の回転数を計測するためのエンコーダ装置12
が装着されている。このエンコーダ装置12にはカテー
テル2の口元に設けられた図示しない発光素子等の光源
から光を投光部13に伝送する投光用光ファイバ14
と、受光部15で検出した光をカテーテル2の口元に設
けられた図示しない受光素子に伝達する受光用光ファイ
バ16とが接続されている。これら光ファイバ14、1
6はホルダ17の一部に設けられたソケット17a、1
7bに取着され、このホルダ17は図2に示したように
円板形状をなし、ホルダ17の一部に投光部13と受光
部15とが間隔をおいて形成されている。また、ホルダ
17は遮光壁の役割も兼ねており、投光部13から発射
された光が直接受光部15に到達しないようになってい
る。またホルダ17のプローブ先端側の面には固定円板
18が隣接して固着されている。この固定円板18には
中心から放射状に遮光部と光透過部とが交互に形成され
た遮光パターンが形成されている。この遮光パターンは
外周部分の幅が5μm 程度となるように加工されてい
る。本実施例ではホルダ17と固定円板18とはライナ
管6の内周面に一体的に密着して固着されている。
内部を示しており、この血管V内に超音波カテーテル診
断装置1が挿入されている。このカテーテル2の先端に
はプローブ3が一体的に形成されている。このプローブ
3の形状はカテーテル2と外径がほぼ等しいかあるいは
さらに細い直径に設定されており、柔軟性を有する樹脂
製のケーシングに覆われ、先端端面には超音波振動子4
が固着されている。この超音波振動子4は2MHz 〜10
MHz の高周波数波を発射可能な発信部と、対象物からの
反射波を受信可能な受信部とから構成されている。この
超音波振動子4の対向位置には回転反射鏡5が回転可能
に筒状ライナ管6に嵌着されたすべり軸受7に支持され
ている。この反射鏡5の反射面5aはプローブ3の軸線
方向に対して45°に傾斜した面となるように加工され
ている。このため振動子4から発射された超音波Sはこ
の反射鏡5でプローブ3の軸線と直角な方向に反射し、
さらに血管壁面V等で反射する。この反射波は入射経路
と同じ経路を介して再び振動子4に戻るようになってい
る。また、上述のように回転反射鏡5は回転軸9が回転
可能にすべり軸受7に支持されており、さらにこの回転
軸9にはコネクタ部10を介してトルクチューブ11が
接続されている。このトルクチューブ11は従来と同様
にカテーテル2の口元まで延設されており、その端部は
図示しない制御部を備えた電動モータ等の駆動源に接続
されている。一方、回転反射鏡5の後方には、この回転
反射鏡5の回転数を計測するためのエンコーダ装置12
が装着されている。このエンコーダ装置12にはカテー
テル2の口元に設けられた図示しない発光素子等の光源
から光を投光部13に伝送する投光用光ファイバ14
と、受光部15で検出した光をカテーテル2の口元に設
けられた図示しない受光素子に伝達する受光用光ファイ
バ16とが接続されている。これら光ファイバ14、1
6はホルダ17の一部に設けられたソケット17a、1
7bに取着され、このホルダ17は図2に示したように
円板形状をなし、ホルダ17の一部に投光部13と受光
部15とが間隔をおいて形成されている。また、ホルダ
17は遮光壁の役割も兼ねており、投光部13から発射
された光が直接受光部15に到達しないようになってい
る。またホルダ17のプローブ先端側の面には固定円板
18が隣接して固着されている。この固定円板18には
中心から放射状に遮光部と光透過部とが交互に形成され
た遮光パターンが形成されている。この遮光パターンは
外周部分の幅が5μm 程度となるように加工されてい
る。本実施例ではホルダ17と固定円板18とはライナ
管6の内周面に一体的に密着して固着されている。
【0015】さらに回転軸9のコネクタ部10にはこの
回転軸9と一体的に回転する回転円板19が固着されて
いる。この回転円板19と固定円板18とは回転反射鏡
5の回転軸9の軸線に関して同軸的に配置され、回転円
板19の表面にも固定円板18に形成された遮光パター
ンと同様の遮光パターンが形成されている。さらにこの
回転円板19とすべり軸受7との間には円錐台形状をな
す反射板20が反射面20aをホルダ17の投光部13
と受光部15とに対向するように配置され、ライナ管6
の内周面に固着されている。
回転軸9と一体的に回転する回転円板19が固着されて
いる。この回転円板19と固定円板18とは回転反射鏡
5の回転軸9の軸線に関して同軸的に配置され、回転円
板19の表面にも固定円板18に形成された遮光パター
ンと同様の遮光パターンが形成されている。さらにこの
回転円板19とすべり軸受7との間には円錐台形状をな
す反射板20が反射面20aをホルダ17の投光部13
と受光部15とに対向するように配置され、ライナ管6
の内周面に固着されている。
【0016】上述のような構成において、回転反射鏡5
の回転に伴って回転円板19が所定回転数で回転し、回
転円板19の光透過部のパターンと固定円板18の光透
過部のパターンとが一致するごとに投光部13から反射
板20に至る光経路が形成される。投光部13からの光
はこの形成された光経路を通過して反射板20に入射す
るとともに、反射板20とホルダ17とで仕切られた閉
空間内を所定の光量で発光させることができる。このと
き受光部15の前面においても投光部13と等しいタイ
ミングで回転円板19の光透過部と固定円板18の光透
過部とが一致する。これにより受光部15への光経路が
形成され、受光部15ではこの光経路を介して反射板2
0から直接入射する光の他に、所定光量の発光空間から
の光も検知できる。したがってこのエンコーダ装置12
の受光部15では反射部分での光の総量を検知するよう
になっている。一方、回転円板19の遮光部が固定円板
18の光透過部を遮断する場合には投光部13から反射
板20への光が遮断され、受光部15には光が到達しな
いか低い光強度の光しか到達しない。このとき受光部1
5には所定の光強度以上を感知するしきい値が設定され
ているので、このしきい値を横切る単位時間当りの回数
を計数することにより回転反射鏡5の回転角速度を知る
ことができる。このとき光強度の管理が十分になされ、
受光部15に接続された受光素子の分解能が十分にあれ
ばこのしきい値を複数設定することで1個の遮光パター
ン当りで設定しきい値を横切る数が増えるので、回転角
速度の計数分解能を向上できる。
の回転に伴って回転円板19が所定回転数で回転し、回
転円板19の光透過部のパターンと固定円板18の光透
過部のパターンとが一致するごとに投光部13から反射
板20に至る光経路が形成される。投光部13からの光
はこの形成された光経路を通過して反射板20に入射す
るとともに、反射板20とホルダ17とで仕切られた閉
空間内を所定の光量で発光させることができる。このと
き受光部15の前面においても投光部13と等しいタイ
ミングで回転円板19の光透過部と固定円板18の光透
過部とが一致する。これにより受光部15への光経路が
形成され、受光部15ではこの光経路を介して反射板2
0から直接入射する光の他に、所定光量の発光空間から
の光も検知できる。したがってこのエンコーダ装置12
の受光部15では反射部分での光の総量を検知するよう
になっている。一方、回転円板19の遮光部が固定円板
18の光透過部を遮断する場合には投光部13から反射
板20への光が遮断され、受光部15には光が到達しな
いか低い光強度の光しか到達しない。このとき受光部1
5には所定の光強度以上を感知するしきい値が設定され
ているので、このしきい値を横切る単位時間当りの回数
を計数することにより回転反射鏡5の回転角速度を知る
ことができる。このとき光強度の管理が十分になされ、
受光部15に接続された受光素子の分解能が十分にあれ
ばこのしきい値を複数設定することで1個の遮光パター
ン当りで設定しきい値を横切る数が増えるので、回転角
速度の計数分解能を向上できる。
【0017】次に、上述のエンコーダ装置を構成する各
部品について説明する。図2は光ファイバの端部を固定
保持するホルダ17の一例を示しており、このホルダ1
7はライナ管に内接する円板状をなし、中央部には貫通
孔17cが穿設されており回転反射鏡5の回転軸9が貫
通するようになっている。この貫通孔17cは本実施例
では回転軸9と遊嵌されているが、この部分に軸受部を
形成し、回転軸9を保持してもよい。また、このホルダ
17には貫通孔17cを挟むようにして2個のソケット
17a、17bが形成されている。このソケット17は
光ファイバ14、16の端部を挿入して固着できるよう
になっており、光ファイバ14,16の端面により投光
部13と受光部15とが構成されている。同図(b)は
複数本の光ファイバ素線を円弧状をなすように束ねて形
成した光ファイバ14、16を保持するホルダ17を示
している。このときソケット17a、17bの形状も光
ファイバ束の形状に合うように形成されている。
部品について説明する。図2は光ファイバの端部を固定
保持するホルダ17の一例を示しており、このホルダ1
7はライナ管に内接する円板状をなし、中央部には貫通
孔17cが穿設されており回転反射鏡5の回転軸9が貫
通するようになっている。この貫通孔17cは本実施例
では回転軸9と遊嵌されているが、この部分に軸受部を
形成し、回転軸9を保持してもよい。また、このホルダ
17には貫通孔17cを挟むようにして2個のソケット
17a、17bが形成されている。このソケット17は
光ファイバ14、16の端部を挿入して固着できるよう
になっており、光ファイバ14,16の端面により投光
部13と受光部15とが構成されている。同図(b)は
複数本の光ファイバ素線を円弧状をなすように束ねて形
成した光ファイバ14、16を保持するホルダ17を示
している。このときソケット17a、17bの形状も光
ファイバ束の形状に合うように形成されている。
【0018】図3(a)〜(c)は回転円板19と固定
円板18の遮光パターンの一例を示したものである。同
図(a)は円板素材21に複数の略扇状のスリット21
a、21a…が放射状に配置形成されたもので、回転円
板19と固定円板18とは円板21の内径d1と外径d
2の寸法を変えることによりそれぞれ作成することがで
きる。このためスリット部分を同一形状とすることがで
きる。また同図(b)は内部を所定ピッチの角歯型状に
くり抜いた固定円板18を、(c)は外周を所定ピッチ
の角歯型状にくり抜いた回転円板19を示したものであ
る。同図(b)、(c)はワイヤ放電加工等により1回
のワイヤ送り動作で切り取ることが可能であり、加工上
容易であるという利点を有する。
円板18の遮光パターンの一例を示したものである。同
図(a)は円板素材21に複数の略扇状のスリット21
a、21a…が放射状に配置形成されたもので、回転円
板19と固定円板18とは円板21の内径d1と外径d
2の寸法を変えることによりそれぞれ作成することがで
きる。このためスリット部分を同一形状とすることがで
きる。また同図(b)は内部を所定ピッチの角歯型状に
くり抜いた固定円板18を、(c)は外周を所定ピッチ
の角歯型状にくり抜いた回転円板19を示したものであ
る。同図(b)、(c)はワイヤ放電加工等により1回
のワイヤ送り動作で切り取ることが可能であり、加工上
容易であるという利点を有する。
【0019】ここで円板素材21に遮光パターンを形成
する方法について説明する。この円板素材21は上述の
ようにその外径が約φ=1.5mmで回転軸9の直径がφ
=0.8mm以下に設定され、各遮光パターンの外周部分
の幅が5μm 程度となるように加工する必要がある。こ
のため上述のワイヤ放電加工の他、精密な加工が可能な
方法として円板素材として透明なガラス板を用い、この
ガラス板の所定位置に銀塩を蒸着させたり、表面に付着
させた薄膜状金属の一部をエッチングにより除去する方
法を採ることができる。また、精密な遮光パターンを形
成する方法としてマイクロカメラを用いた写真技術を応
用することもできる。一般に、この種の写真技術では感
光フィルムとして使用されるベースにはセルロイド等が
使用されるが、本実施例ではこのベースから上述の回転
円板19と固定円板18とを切り出して使用するので、
熱の影響に強い材質で光を透過する樹脂膜を構成するよ
うな種々の材料の膜材を使用することが好ましい。ま
た、このマイクロ化写真技術では撮影対象を高い分解能
で上記ベースに結像できるようなマイクロカメラを利用
することが好ましい。このときベース上には微粒子感光
乳剤が塗布されており、この感光乳剤を感光現像するこ
とよりベースに微小な遮光パターンを形成することがで
きる。このとき問題になるのは樹脂膜からなるベースフ
ィルムの機械強度であるが、この程度のサイズでは直径
に対して十分な厚さを有しているので、自重等による撓
みや変形はない。また、エンコーダ装置には回転力以外
はほとんど作用しないので、補強を必要とせずに回転軸
9等に取り付けることができる。次に上述のように遮光
パターンの形成された回転円板19を回転軸9へ取着す
る手段について図4の各図を参照して説明する。
する方法について説明する。この円板素材21は上述の
ようにその外径が約φ=1.5mmで回転軸9の直径がφ
=0.8mm以下に設定され、各遮光パターンの外周部分
の幅が5μm 程度となるように加工する必要がある。こ
のため上述のワイヤ放電加工の他、精密な加工が可能な
方法として円板素材として透明なガラス板を用い、この
ガラス板の所定位置に銀塩を蒸着させたり、表面に付着
させた薄膜状金属の一部をエッチングにより除去する方
法を採ることができる。また、精密な遮光パターンを形
成する方法としてマイクロカメラを用いた写真技術を応
用することもできる。一般に、この種の写真技術では感
光フィルムとして使用されるベースにはセルロイド等が
使用されるが、本実施例ではこのベースから上述の回転
円板19と固定円板18とを切り出して使用するので、
熱の影響に強い材質で光を透過する樹脂膜を構成するよ
うな種々の材料の膜材を使用することが好ましい。ま
た、このマイクロ化写真技術では撮影対象を高い分解能
で上記ベースに結像できるようなマイクロカメラを利用
することが好ましい。このときベース上には微粒子感光
乳剤が塗布されており、この感光乳剤を感光現像するこ
とよりベースに微小な遮光パターンを形成することがで
きる。このとき問題になるのは樹脂膜からなるベースフ
ィルムの機械強度であるが、この程度のサイズでは直径
に対して十分な厚さを有しているので、自重等による撓
みや変形はない。また、エンコーダ装置には回転力以外
はほとんど作用しないので、補強を必要とせずに回転軸
9等に取り付けることができる。次に上述のように遮光
パターンの形成された回転円板19を回転軸9へ取着す
る手段について図4の各図を参照して説明する。
【0020】回転円板19は図1では回転軸9に形成さ
れた凹部状のコネクタ部10に挟持されているが、図4
(a)〜(c)では回転軸9に回転円板19固定用のフ
ランジ9aが形成されている。同図(a)において回転
円板19は回転軸9のフランジ9aに固着されるととも
に、フランジ9aの一部には回転円板19の空回り防止
用の爪部9bが形成されている。同図(b)において回
転円板19は透明な材質の支持基板22に固着されてお
り、この支持基板22にはフランジ9aから突設した位
相ずれ防止用のキー9cを収容する溝22aが形成され
ている。
れた凹部状のコネクタ部10に挟持されているが、図4
(a)〜(c)では回転軸9に回転円板19固定用のフ
ランジ9aが形成されている。同図(a)において回転
円板19は回転軸9のフランジ9aに固着されるととも
に、フランジ9aの一部には回転円板19の空回り防止
用の爪部9bが形成されている。同図(b)において回
転円板19は透明な材質の支持基板22に固着されてお
り、この支持基板22にはフランジ9aから突設した位
相ずれ防止用のキー9cを収容する溝22aが形成され
ている。
【0021】同図(c)は(b)に示した円板をさらに
別の透明な材質の支持基板22で挟持した例を示してい
る。同図(d)は回転軸9とトルクチューブ11との間
に透明円板状の回転フランジ23aを有する継手部23
が形成された例を示している。この継手部23の軸部2
3aは回転軸9の端面とトルクチューブ11の端面とに
接着接合されている。この場合にも回転フランジ23a
に挟持された回転円板19が空回りしないようにフラン
ジ23aの一部にキー23bが形成されている。同図
(e)はこのキー23bをフランジの外周の一部に設け
た例を示している。
別の透明な材質の支持基板22で挟持した例を示してい
る。同図(d)は回転軸9とトルクチューブ11との間
に透明円板状の回転フランジ23aを有する継手部23
が形成された例を示している。この継手部23の軸部2
3aは回転軸9の端面とトルクチューブ11の端面とに
接着接合されている。この場合にも回転フランジ23a
に挟持された回転円板19が空回りしないようにフラン
ジ23aの一部にキー23bが形成されている。同図
(e)はこのキー23bをフランジの外周の一部に設け
た例を示している。
【0022】さらに図5は回転円板19を挟持するフラ
ンジ部分に放射状のスポーク24aと円形リム24bと
からなる基板24を取り付けた例を示したものである。
この場合には加工性の問題から比較的大きな径のエンコ
ーダ装置に適用することが好ましい。
ンジ部分に放射状のスポーク24aと円形リム24bと
からなる基板24を取り付けた例を示したものである。
この場合には加工性の問題から比較的大きな径のエンコ
ーダ装置に適用することが好ましい。
【0023】一方、図6は固定円板18をライナ管6の
内部に固定するための固定手段を示したものである。図
1では固定円板18はライナ管6の内周面に固着された
ホルダ17と一体的に固着されていたが、図6(a)で
は固定円板18を挟持するように2枚の透明基板25、
25が取付けられている。また、固定円板18には回転
力が伝達されないので、所定の固定位置からずれること
はほとんどないが、支持板の一部にキー25aを設け、
固定円板18が空回りするのを防止することもできる。
同図(b)では固定円板18はライナ管6の内周部に嵌
着された2個のリテーナリング26、26に挟持されて
いる。
内部に固定するための固定手段を示したものである。図
1では固定円板18はライナ管6の内周面に固着された
ホルダ17と一体的に固着されていたが、図6(a)で
は固定円板18を挟持するように2枚の透明基板25、
25が取付けられている。また、固定円板18には回転
力が伝達されないので、所定の固定位置からずれること
はほとんどないが、支持板の一部にキー25aを設け、
固定円板18が空回りするのを防止することもできる。
同図(b)では固定円板18はライナ管6の内周部に嵌
着された2個のリテーナリング26、26に挟持されて
いる。
【0024】次に光路を変更させるために取付けられる
反射板20について図7及び図8を参照して説明する。
図7は反射板として角錐体状のポリゴンミラーを使用し
た例を示している。この反射板20の材質はアルミニウ
ムであるが、その材質としては入射した光を高い反射率
で反射するものであれば各種のものを使用することがで
きる。またこの反射面20aには細かい凹凸部が形成さ
れ、拡散反射面が形成されている。この拡散反射面によ
り入射された光を反射面で包囲された空間内で拡散させ
ることができる。図8は反射板20の他の実施例を示し
たものである。同図(a)は円錐台形状のミラー型反射
板を、同図(b)は平板を屈曲して形成した平面ミラー
型反射板を、同図(c)はアクリル樹脂等の透明樹脂体
からなるプリズム型反射体で、その形状は中実円錐体で
あり、回転反射鏡5の回転軸9の貫通する貫通孔20b
が穿設されている。この反射体の反射率を高めるために
円錐面を鏡面加工しても良い。同図(d)は円筒体状反
射板を、同図(e)は同図(c)と同様の材質の樹脂体
からなる中実円筒体の反射体を示している。さらに同図
(f)のようにこの中実円筒体の反射体に鏡面板27を
貼着することもできる。以上の板状反射体ではその表面
に細かい凹凸状をなす反射面を形成することで入射した
光を適度に拡散させることができ、反射面との反射効果
とあいまって十分な光量を反射面の前面に確保すること
ができる。また、中実の反射体では回転軸9が遊嵌する
貫通孔が中央位置に形成されているが、この部分に軸受
を設け、回転保持機能を付加することも可能である。
反射板20について図7及び図8を参照して説明する。
図7は反射板として角錐体状のポリゴンミラーを使用し
た例を示している。この反射板20の材質はアルミニウ
ムであるが、その材質としては入射した光を高い反射率
で反射するものであれば各種のものを使用することがで
きる。またこの反射面20aには細かい凹凸部が形成さ
れ、拡散反射面が形成されている。この拡散反射面によ
り入射された光を反射面で包囲された空間内で拡散させ
ることができる。図8は反射板20の他の実施例を示し
たものである。同図(a)は円錐台形状のミラー型反射
板を、同図(b)は平板を屈曲して形成した平面ミラー
型反射板を、同図(c)はアクリル樹脂等の透明樹脂体
からなるプリズム型反射体で、その形状は中実円錐体で
あり、回転反射鏡5の回転軸9の貫通する貫通孔20b
が穿設されている。この反射体の反射率を高めるために
円錐面を鏡面加工しても良い。同図(d)は円筒体状反
射板を、同図(e)は同図(c)と同様の材質の樹脂体
からなる中実円筒体の反射体を示している。さらに同図
(f)のようにこの中実円筒体の反射体に鏡面板27を
貼着することもできる。以上の板状反射体ではその表面
に細かい凹凸状をなす反射面を形成することで入射した
光を適度に拡散させることができ、反射面との反射効果
とあいまって十分な光量を反射面の前面に確保すること
ができる。また、中実の反射体では回転軸9が遊嵌する
貫通孔が中央位置に形成されているが、この部分に軸受
を設け、回転保持機能を付加することも可能である。
【0025】次に、反射体の他の実施例として反射板を
回転円板19の透明基板22と一体的に構成した例を図
9により説明する。図9において、回転円板19は2枚
の透明基板22、22に挟持されている。さらに固定円
板18と反対側の透明基板22には鏡面板27が透明基
板22と一体的に取付けられている。これにより回転円
板19を通過した光はこの鏡面27aで反射され、回転
円板19自体が反射部を構成することができる。このと
き固定円板18を保持しているホルダ17に投光部13
と受光部15とを隣接して配置しても受光部15で上記
反射光を直接、受光することができる。したがって、こ
の場合には反射体のスペースを最小にすることができ、
2本の光ファイバ14、16の配置を同じ側に一カ所に
まとめることもできる。
回転円板19の透明基板22と一体的に構成した例を図
9により説明する。図9において、回転円板19は2枚
の透明基板22、22に挟持されている。さらに固定円
板18と反対側の透明基板22には鏡面板27が透明基
板22と一体的に取付けられている。これにより回転円
板19を通過した光はこの鏡面27aで反射され、回転
円板19自体が反射部を構成することができる。このと
き固定円板18を保持しているホルダ17に投光部13
と受光部15とを隣接して配置しても受光部15で上記
反射光を直接、受光することができる。したがって、こ
の場合には反射体のスペースを最小にすることができ、
2本の光ファイバ14、16の配置を同じ側に一カ所に
まとめることもできる。
【0026】プローブ3内のエンコーダ装置の配置構成
が軸方向に変更可能な例として、図10及び図11に示
したエンコーダ装置が考えられる。図10では回転円板
19の位置と固定円板18の位置とが軸方向に逆転して
配置されている。この配置は光路の遮断が円板に形成さ
れた遮光部の重ね合わせにより実現することからその順
序は何ら関係ないことは明らかである。図11は回転円
板19を反射板と一体的に回転軸9に取付けた例を示し
たものである。この例では反射板は回転円板19ととも
に回転するが、これにより反射面での拡散作用を増加さ
せることも可能である。
が軸方向に変更可能な例として、図10及び図11に示
したエンコーダ装置が考えられる。図10では回転円板
19の位置と固定円板18の位置とが軸方向に逆転して
配置されている。この配置は光路の遮断が円板に形成さ
れた遮光部の重ね合わせにより実現することからその順
序は何ら関係ないことは明らかである。図11は回転円
板19を反射板と一体的に回転軸9に取付けた例を示し
たものである。この例では反射板は回転円板19ととも
に回転するが、これにより反射面での拡散作用を増加さ
せることも可能である。
【0027】なお、上述のように走査部を構成する回転
反射鏡に代えて超音波振動子自体をトルクチューブに接
続された回転軸により直接回転させることも可能であ
り、この場合にはこの超音波振動子の回転数を計測する
ことができる。
反射鏡に代えて超音波振動子自体をトルクチューブに接
続された回転軸により直接回転させることも可能であ
り、この場合にはこの超音波振動子の回転数を計測する
ことができる。
【0028】また上述の実施例では光ファイバ14によ
り外部の発光素子からの光を伝送してきたが、上記反射
板20の前面に電源等を必要としない化学的発光物質等
を充填し、所定時間発光反応させることにより光源とし
て利用することもできる。
り外部の発光素子からの光を伝送してきたが、上記反射
板20の前面に電源等を必要としない化学的発光物質等
を充填し、所定時間発光反応させることにより光源とし
て利用することもできる。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、受光部から発射された光を反射板で反射する
とともに反射板の前面に反射光の広がりを確保すること
ができ、この光の広がり全体を光源として捉え、容易に
受光部での光の検知を行え、また、投光部と受光部とを
上記光伝送系により発光素子と受光素子とにそれぞれ接
続したので、長く柔軟性を有する細径管のプローブを実
現でき、さらに上記回転円板と固定円板とを光透過性樹
脂膜で構成し、これら樹脂膜の表面に塗布された微粒子
感光乳剤層を感光現像させることによりマイクロ化写真
技術により高い分解能を遮光パターンを容易かつ大量に
作ることができる等の効果を奏する。
によれば、受光部から発射された光を反射板で反射する
とともに反射板の前面に反射光の広がりを確保すること
ができ、この光の広がり全体を光源として捉え、容易に
受光部での光の検知を行え、また、投光部と受光部とを
上記光伝送系により発光素子と受光素子とにそれぞれ接
続したので、長く柔軟性を有する細径管のプローブを実
現でき、さらに上記回転円板と固定円板とを光透過性樹
脂膜で構成し、これら樹脂膜の表面に塗布された微粒子
感光乳剤層を感光現像させることによりマイクロ化写真
技術により高い分解能を遮光パターンを容易かつ大量に
作ることができる等の効果を奏する。
【図1】本発明によるプローブの一実施例を示した縦断
面図。
面図。
【図2】本発明のホルダの変形例を示した斜視図。
【図3】本発明の回転円板、固定円板の一例を示した正
面図。
面図。
【図4】本発明の回転円板の取付け手段の変形例を示し
た縦断面図。
た縦断面図。
【図5】本発明の回転円板の取付け手段の変形例を示し
た斜視図。
た斜視図。
【図6】本発明の固定円板の取付け手段の変形例を示し
た縦断面図。
た縦断面図。
【図7】本発明の反射板の一例を示した斜視図。
【図8】本発明の反射板の変形例を示した斜視図。
【図9】本発明の他の実施例として反射板とを一体化し
た回転円板を示した縦断面図。
た回転円板を示した縦断面図。
【図10】本発明の回転円板と固定円板との軸方向位置
を入替えた他の実施例を示した縦断面図。
を入替えた他の実施例を示した縦断面図。
【図11】本発明の回転円板と反射板とを一体化した他
の実施例を示した縦断面図。
の実施例を示した縦断面図。
2 カテーテル 3 プローブ 4 超音波振動子 5 回転反射鏡 7 すべり軸受 9 回転軸 11 トルクチューブ 13 投光部 14,16 光ファイバ 15 受光部 17 ホルダ 18 固定円板 19 回転円板 20 反射板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/26 - 5/38 G01B 11/00 - 11/30 A61B 8/12 G01N 29/26
Claims (3)
- 【請求項1】可撓性を有する細径管内の先端部近傍に回
転自在に支持された回転走査部の一部を回転駆動させて
所定の走査情報を検出するプローブにおいて、上記細径
管の先端部近傍に設けられたホルダに保持された投光部
と、この投光部から出射された光束を反射拡散させ上記
ホルダとの間で所定光量の発光空間を形成する反射板
と、上記ホルダの上記投光部と離れた位置に保持され上
記発光空間の光量を感知する受光部と、上記ホルダと上
記反射板との軸方向の中間に位置し上記回転走査部の回
転軸に固着された放射状遮光パターンを有する回転円板
と、この回転円板と同軸的に配置され、上記放射状遮光
パターンとの重ね合わせにより上記発光空間から受光部
への光路を遮断する放射状遮光パターンを有する固定円
板とを備え、上記回転走査部の回転数に応じて発生する
上記光路の遮断回数を計測して上記回転走査部の回転数
を検出するようにしたことを特徴とするプローブ。 - 【請求項2】上記投光部と受光部とは上記細径管内に延
設された光伝送系により上記細径管の外部に備えられた
発光素子と受光素子とにそれぞれ接続されたことを特徴
とする請求項1記載のプローブ。 - 【請求項3】上記回転円板と固定円板とは光透過性樹脂
膜からなり、これら樹脂膜の表面に塗布された微粒子感
光乳剤層を感光現像させることにより遮光パターンを形
成したことを特徴とする請求項1記載のプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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