JP3020593B2 - スルーホールの内面観察方法及びその装置 - Google Patents
スルーホールの内面観察方法及びその装置Info
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- JP3020593B2 JP3020593B2 JP2302555A JP30255590A JP3020593B2 JP 3020593 B2 JP3020593 B2 JP 3020593B2 JP 2302555 A JP2302555 A JP 2302555A JP 30255590 A JP30255590 A JP 30255590A JP 3020593 B2 JP3020593 B2 JP 3020593B2
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- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、プリント基板等の積層基板等に設けられた
スルーホールの穴の内部の状態を観察する方法及びその
装置に関する。
スルーホールの穴の内部の状態を観察する方法及びその
装置に関する。
［従来の技術］ 従来の観察法は実開昭63−126856号公報に記載のよう
に、傾斜状反射面を先端に持つ軸をホール内部に挿入
し、ホール内壁の像を傾斜状反射面により反射させ、ホ
ール外部へ導いて観察するものである。すなわち、従来
技術のホール観察法は第３図に示す様に、光源14からの
照明光15をハーフミラー32で反射させ、スルーホール12
内部へ導いて、スルーホール12内部に挿入した軸34先端
の反射面34aで、更に、反射させスルーホール12の内壁1
2aに照射させる。スルーホール12の内壁12aの像は同様
に軸34先端の反射面34aで反射されスルーホール外部へ
導かれた後、今後はハーフミラー32を通過したものが光
学レンズ系35によって光電変換素子36に結像し、検出さ
れていた。
に、傾斜状反射面を先端に持つ軸をホール内部に挿入
し、ホール内壁の像を傾斜状反射面により反射させ、ホ
ール外部へ導いて観察するものである。すなわち、従来
技術のホール観察法は第３図に示す様に、光源14からの
照明光15をハーフミラー32で反射させ、スルーホール12
内部へ導いて、スルーホール12内部に挿入した軸34先端
の反射面34aで、更に、反射させスルーホール12の内壁1
2aに照射させる。スルーホール12の内壁12aの像は同様
に軸34先端の反射面34aで反射されスルーホール外部へ
導かれた後、今後はハーフミラー32を通過したものが光
学レンズ系35によって光電変換素子36に結像し、検出さ
れていた。
もう一つの従来の観察法は第４図（ａ）に示す様な細
径のファイバースコープ40を用いてホール内壁を観察す
るものである。このファイバースコープ40は、医学用等
に用いられている一般的なものと構造の上では同一のも
のである。光源（図示せず）からの照明光はライドガイ
ド41によって導かれ、スルーホール12の内壁12aを照射
する。スルーホール12の内壁12aの像はイメージガイド
部11によって接眼部へ導かれて観察される。
径のファイバースコープ40を用いてホール内壁を観察す
るものである。このファイバースコープ40は、医学用等
に用いられている一般的なものと構造の上では同一のも
のである。光源（図示せず）からの照明光はライドガイ
ド41によって導かれ、スルーホール12の内壁12aを照射
する。スルーホール12の内壁12aの像はイメージガイド
部11によって接眼部へ導かれて観察される。
ファイバースコープ40をスルーホール12に挿入すれば
（第４図（ｂ））、スルーホール12の内壁12aの観察が
可能になる。この場合、観察される像はスルーホール12
の内壁12aが同心円状になったものであり、第４図
（ｃ）の様になる。スルーホール12の口12bは中心に観
察されることになる。なおイメージガイド部11には、先
端に結像レンズ42が付属している。
（第４図（ｂ））、スルーホール12の内壁12aの観察が
可能になる。この場合、観察される像はスルーホール12
の内壁12aが同心円状になったものであり、第４図
（ｃ）の様になる。スルーホール12の口12bは中心に観
察されることになる。なおイメージガイド部11には、先
端に結像レンズ42が付属している。
更に、もう一つの従来の観察法は第５図に示す様に、
ファイバースコープ40よりも細い穴径のスルーホール12
でも観察可能にするため、ファイバースコープ40のイメ
ージガイド部11のみをスルーホール12に挿入し、観察す
るものである。照明光15はハーフミラー32によって反射
し、光学レンズ系35でイメージガイド部11の検出端11a
に入射して観察端11bよりスルーホール12の内壁12aを照
射する。スルーホール12の内壁12aの像はイメージガイ
ド部11を伝って光学レンズ系35を通り、ハーフミラー32
を通過して観察される。
ファイバースコープ40よりも細い穴径のスルーホール12
でも観察可能にするため、ファイバースコープ40のイメ
ージガイド部11のみをスルーホール12に挿入し、観察す
るものである。照明光15はハーフミラー32によって反射
し、光学レンズ系35でイメージガイド部11の検出端11a
に入射して観察端11bよりスルーホール12の内壁12aを照
射する。スルーホール12の内壁12aの像はイメージガイ
ド部11を伝って光学レンズ系35を通り、ハーフミラー32
を通過して観察される。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来の実開昭63−126856号公報による観察法はア
スペクト比の高くないスルーホール12について考えられ
たもので、高密度プリント基板のスルーホールの様に、
アスペクト比が高くスルーホール12の径が細い場合は対
応が困難である。
スペクト比の高くないスルーホール12について考えられ
たもので、高密度プリント基板のスルーホールの様に、
アスペクト比が高くスルーホール12の径が細い場合は対
応が困難である。
すなわち、第６図に示す様な細くて長いスルーホール
12では、軸34もスルーホール12に応じて細くて長くしな
くてはならず、先端の反射面34aの製作が難しくなる。
また、スルーホール12には傾きのあるものもあり、軸34
をスルーホール12内壁12aに接触させずに出し入れさせ
たり、回動させたりする事が難しい。軸34を接触させる
事はスルーホール内壁12aに傷をつけて状態を変えてし
まう可能性や、軸34自体を損傷する可能性があり問題で
ある。更に、照明光15の一部や検出光61の一部がスルー
ホール12の端12cによって遮られてしまい、充分な明る
さの観察像を得る事が出来ない。
12では、軸34もスルーホール12に応じて細くて長くしな
くてはならず、先端の反射面34aの製作が難しくなる。
また、スルーホール12には傾きのあるものもあり、軸34
をスルーホール12内壁12aに接触させずに出し入れさせ
たり、回動させたりする事が難しい。軸34を接触させる
事はスルーホール内壁12aに傷をつけて状態を変えてし
まう可能性や、軸34自体を損傷する可能性があり問題で
ある。更に、照明光15の一部や検出光61の一部がスルー
ホール12の端12cによって遮られてしまい、充分な明る
さの観察像を得る事が出来ない。
他方、上記従来の第４図の観察法では、ファイバース
コープ40よりも細い穴径のスルーホール12の観察は事実
上無理である。（現在最も細いファイバースコープ40の
径は0.55mmである。） ファイバースコープ40の一般的な構造なライトガイド
41とイメージガイド部11が一組になっている。ライトガ
イド41はイメージガイド部11で画像を観察する際の照明
を導く手段として必要であり、ライトガイド41を取り除
いたものではスルーホール12の内壁12aの観察が出来な
い。
コープ40よりも細い穴径のスルーホール12の観察は事実
上無理である。（現在最も細いファイバースコープ40の
径は0.55mmである。） ファイバースコープ40の一般的な構造なライトガイド
41とイメージガイド部11が一組になっている。ライトガ
イド41はイメージガイド部11で画像を観察する際の照明
を導く手段として必要であり、ライトガイド41を取り除
いたものではスルーホール12の内壁12aの観察が出来な
い。
また、従来の第５図の観察法ではイメージガイド部11
を、そのままライトガイドとして使用する事によってフ
ァイバースコープ40よりも細い穴径のスルーホール12を
観察しようとしているが、照明光15がイメージガイド11
内で検出光に侵入してハレーションを起こしてしまい、
実際に像が観察出来ない。
を、そのままライトガイドとして使用する事によってフ
ァイバースコープ40よりも細い穴径のスルーホール12を
観察しようとしているが、照明光15がイメージガイド11
内で検出光に侵入してハレーションを起こしてしまい、
実際に像が観察出来ない。
照明光15をスルーホール12のイメージガイド部11を挿
入していない側から照射した場合も同様にハレーション
を起こしてしまう。
入していない側から照射した場合も同様にハレーション
を起こしてしまう。
本発明の目的は、細くて長いホールであっても不都合
なく観察できる、スルーホールの内面観察方法及びその
装置を提供することにある。
なく観察できる、スルーホールの内面観察方法及びその
装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、スルーホールの内面観察装置を、特定帯
域の波長の光を発生する光源手段と、ファイバスコープ
のイメージガイド部からなるイメージガイド手段と、光
源手段で発生させた特定帯域の波長の光をイメージガイ
ド手段の一端から入射させてイメージガイド手段の他端
から出射させることにより試料に設けられたスルーホー
ルの内壁面を照射する照射手段と、この照射手段の照射
によりスルーホールの内壁面から発生した蛍光のうちイ
メージガイド手段の他端に入射した蛍光によりスルーホ
ールの内部の像を結像させる結像手段と、この結像手段
により結像されたスルーホールの内部の像を観察する観
察手段とを備えて構成したことにより達成される。
域の波長の光を発生する光源手段と、ファイバスコープ
のイメージガイド部からなるイメージガイド手段と、光
源手段で発生させた特定帯域の波長の光をイメージガイ
ド手段の一端から入射させてイメージガイド手段の他端
から出射させることにより試料に設けられたスルーホー
ルの内壁面を照射する照射手段と、この照射手段の照射
によりスルーホールの内壁面から発生した蛍光のうちイ
メージガイド手段の他端に入射した蛍光によりスルーホ
ールの内部の像を結像させる結像手段と、この結像手段
により結像されたスルーホールの内部の像を観察する観
察手段とを備えて構成したことにより達成される。
又、上記目的は、スルーホールの内面観察方法を、フ
ァイバスコープのイメージガイド部の先端部を試料のス
ルーホールの内部に挿入し、特定帯域の波長の照明光を
イメージガイド部の先端部との側からイメージガイド部
に入射させ先端部から出射させてスルーホールの内面に
照射し、この照射によりスルーホールの内面から発生し
た蛍光を先端部からイメージガイド部に入射させ、この
イメージガイド部に入射して先端部と反対の側から出射
した蛍光を照明光から分離し、この分離した蛍光を結像
させてスルーホールの内面の像を得ることにより達成さ
れる。
ァイバスコープのイメージガイド部の先端部を試料のス
ルーホールの内部に挿入し、特定帯域の波長の照明光を
イメージガイド部の先端部との側からイメージガイド部
に入射させ先端部から出射させてスルーホールの内面に
照射し、この照射によりスルーホールの内面から発生し
た蛍光を先端部からイメージガイド部に入射させ、この
イメージガイド部に入射して先端部と反対の側から出射
した蛍光を照明光から分離し、この分離した蛍光を結像
させてスルーホールの内面の像を得ることにより達成さ
れる。
［作用］ 本発明では、ホール観察がイメージを伝達する部分の
みのファイバー径が有れば済むので、傾きの有るホール
等でも挿入さえ出来、別に設けた照明で励起光を照射す
る事が出来れば、従来より細くて長いホールであっても
容易に観察することが可能になる。
みのファイバー径が有れば済むので、傾きの有るホール
等でも挿入さえ出来、別に設けた照明で励起光を照射す
る事が出来れば、従来より細くて長いホールであっても
容易に観察することが可能になる。
［実施例］ 以下添付の図面に示す実施例により、更に詳細に本発
明について説明する。
明について説明する。
第１図に本発明の第一の実施例を示す。図示する様
に、ファイバースコープよりも細い穴径をもつスルーホ
ール12に対し、ファイバースコープ40のイメージガイド
部11のみを取り出したものを挿入する。イメージガイド
部11の検出端11a側には蛍光顕微鏡13を配置する。光源1
4からの照明光15は紫色フィルタ16によって紫色成分だ
けとなり、波長分離フィルタ17によって反射され、対物
レンズ18でイメージガイド部11の検出端11aに入射して
観察端11bよりスルーホール12の内壁12aを照射する。ス
ルーホール12の内壁12aの像はイメージガイド部11を伝
って顕微鏡13の対物レンズ18の焦点面に導かれるが、内
壁12aの像の内、蛍光成分のみが波長分離フィルタ17と
黄フィルタ19を検出光15aとして通過して接眼レンズ20
より観察出来る。
に、ファイバースコープよりも細い穴径をもつスルーホ
ール12に対し、ファイバースコープ40のイメージガイド
部11のみを取り出したものを挿入する。イメージガイド
部11の検出端11a側には蛍光顕微鏡13を配置する。光源1
4からの照明光15は紫色フィルタ16によって紫色成分だ
けとなり、波長分離フィルタ17によって反射され、対物
レンズ18でイメージガイド部11の検出端11aに入射して
観察端11bよりスルーホール12の内壁12aを照射する。ス
ルーホール12の内壁12aの像はイメージガイド部11を伝
って顕微鏡13の対物レンズ18の焦点面に導かれるが、内
壁12aの像の内、蛍光成分のみが波長分離フィルタ17と
黄フィルタ19を検出光15aとして通過して接眼レンズ20
より観察出来る。
蛍光検出を応用し、照明光15と検出光15aを分離出来
る様にする事によれば、照明光15のガイドと検出光15a
のガイドに同一の光ファイバを用いても、検出光15aに
照明光15によるハレーションが出ない。また、蛍光によ
る観察は銅めっき部を暗く、ボイド部（基材が露出して
いる所）を明るく観察出来るので、コントラストの良い
画像が得られ、ボイドの有無が明確に分かる。プリント
板基材による蛍光の発生は、文献IEEE Trans.PAMI Vol.
10,No.1 P.69（1988）に示されている。
る様にする事によれば、照明光15のガイドと検出光15a
のガイドに同一の光ファイバを用いても、検出光15aに
照明光15によるハレーションが出ない。また、蛍光によ
る観察は銅めっき部を暗く、ボイド部（基材が露出して
いる所）を明るく観察出来るので、コントラストの良い
画像が得られ、ボイドの有無が明確に分かる。プリント
板基材による蛍光の発生は、文献IEEE Trans.PAMI Vol.
10,No.1 P.69（1988）に示されている。
第２図に本発明の第二の実施例を示す。第一の実施例
と同様にイメージガイド部11と蛍光顕微鏡13を用いる
が、照明としては別に照明用ファイバ21を用いている。
照明用ファイバ21から出射した光は、照明用ファイバ21
の先端部に取り着けられた紫色フィルタ16によって紫色
成分だけとなり、スルーホール12内部を照明する。照明
光そのものが黄フィルタ19によってカットされ、蛍光成
分のみが観察出来るのは第一の実施例と同様である。
と同様にイメージガイド部11と蛍光顕微鏡13を用いる
が、照明としては別に照明用ファイバ21を用いている。
照明用ファイバ21から出射した光は、照明用ファイバ21
の先端部に取り着けられた紫色フィルタ16によって紫色
成分だけとなり、スルーホール12内部を照明する。照明
光そのものが黄フィルタ19によってカットされ、蛍光成
分のみが観察出来るのは第一の実施例と同様である。
［発明の効果］ 本発明によれば、高密度積層プリント基板のスルーホ
ールの様に特に細くて長いホールであってもその内壁を
観察する事が出来る。従来は内壁を観察するためには、
基板を破壊検査せざるを得なかったが、本発明により、
破壊検査をせずに済むようになる。また、蛍光を用いた
場合には、内壁めっきはがれ欠陥（ボイド）の有無が直
接観察できるようになる。
ールの様に特に細くて長いホールであってもその内壁を
観察する事が出来る。従来は内壁を観察するためには、
基板を破壊検査せざるを得なかったが、本発明により、
破壊検査をせずに済むようになる。また、蛍光を用いた
場合には、内壁めっきはがれ欠陥（ボイド）の有無が直
接観察できるようになる。
第１図および第２図は、本発明によるスルーホールの内
面観察装置の概略構成を示す正面図である。 第３図ないし第６図は、従来のスルーホールの内面観察
装置の概略構成を示す正面図である。 符号の説明 11……イメージガイド部、 13……蛍光顕微鏡、 16……紫色フィルタ、 17……波長分離フィルタ、 19……黄フィルタ。
面観察装置の概略構成を示す正面図である。 第３図ないし第６図は、従来のスルーホールの内面観察
装置の概略構成を示す正面図である。 符号の説明 11……イメージガイド部、 13……蛍光顕微鏡、 16……紫色フィルタ、 17……波長分離フィルタ、 19……黄フィルタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 品田 聡 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 日立ビデオエンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−1940（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−135788（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−114024（ＪＰ，Ｕ)
Claims (4)
- 【請求項１】特定帯域の波長の光を発生する光源手段
と、 ファイバスコープのイメージガイド部からなるイメージ
ガイド手段と、 前記光源手段で発生させた前記特定帯域の波長の光を前
記イメージガイド手段の一端から入射させて前記イメー
ジガイド手段の他端から出射させることにより試料に設
けられたスルーホールの内壁面を照射する照射手段と、 該照射手段の照射により前記スルーホールの内壁面から
発生した蛍光のうち前記イメージガイド手段の他端に入
射した蛍光により前記スルーホールの内部の像を結像さ
せる結像手段と、 該結像手段により結像された前記スルーホールの内部の
像を観察する観察手段と を備えたことを特徴とするスルーホールの内面観察装
置。 - 【請求項２】前記結像手段が、蛍光顕微鏡を含むことを
特徴とする請求項１記載のスルーホールの内面観察装
置。 - 【請求項３】ファイバスコープのイメージガイド部の先
端部を試料のスルーホールの内部に挿入し、 特定帯域の波長の照明光を前記イメージガイド部の前記
先端部と反対の側から前記イメージガイド部に入射させ
前記先端部から出射させて前記スルーホールの内面に照
射し、 該照射により前記スルーホールの内面から発生した蛍光
を前記先端部から前記イメージガイド部に入射させ、 該イメージガイド部に入射して前記先端部と反対の側か
ら出射した蛍光を前記照明光から分離し、 該分離した蛍光を結像させて前記スルーホールの内面の
像を得る ことを特徴とするスルーホールの内面観察方法。 - 【請求項４】前記スルーホールの内面の像を蛍光顕微鏡
により得ることを特徴とする請求項３記載のスルーホー
ルの内面観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2302555A JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2302555A JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177152A JPH04177152A (ja) | 1992-06-24 |
| JP3020593B2 true JP3020593B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=17910388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2302555A Expired - Fee Related JP3020593B2 (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | スルーホールの内面観察方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020593B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011083193B4 (de) * | 2010-09-29 | 2020-10-15 | Mazda Motor Corporation | Klopfsteuervorrichtung für Innenverbrennungsmotor |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135788A (en) * | 1976-05-07 | 1977-11-14 | Sony Corp | Detection of impurities |
| JPS5858376A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-06 | 松下電工株式会社 | 門扉解錠装置 |
| JPH0660878B2 (ja) * | 1987-06-25 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 多層プリント基板におけるスルーホールボイド検査方法とその装置 |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP2302555A patent/JP3020593B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011083193B4 (de) * | 2010-09-29 | 2020-10-15 | Mazda Motor Corporation | Klopfsteuervorrichtung für Innenverbrennungsmotor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04177152A (ja) | 1992-06-24 |
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Legal Events
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