JP3003439B2 - 磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法Info
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- JP3003439B2 JP3003439B2 JP5000176A JP17693A JP3003439B2 JP 3003439 B2 JP3003439 B2 JP 3003439B2 JP 5000176 A JP5000176 A JP 5000176A JP 17693 A JP17693 A JP 17693A JP 3003439 B2 JP3003439 B2 JP 3003439B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクなどの磁
気記録媒体の構成に関し、特に、小径，薄形磁気記録媒
体に用いられる磁気記録媒体用基板に関するものであ
る。
気記録媒体の構成に関し、特に、小径，薄形磁気記録媒
体に用いられる磁気記録媒体用基板に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、ホストコンピュータなどの情報処
理装置の外部記録装置として使用されている固定磁気デ
ィスク装置の小形化が図られ、たとえば、１４インチ，
１０．５インチなどの大形磁気ディスク装置を５．２５
インチ，３．５インチの磁気ディスク装置で置き換える
ことが行なわれている。これは、高記録密度対応の５．
２５インチ，３．５インチサイズの磁気ディスク媒体を
多数枚搭載した磁気ディスク装置をアレイ化すること
で、大容量，高速の磁気ディスク装置を構築するもので
ある。このような小形磁気ディスク装置に、磁気ディス
ク媒体を多数枚搭載するためには、磁気ディスク媒体の
板厚を薄くすることが有効であり、５．２５インチにつ
いては１．２７ｍｍ、３．５インチについては０．８ｍ
ｍの薄形媒体が使用されている。
理装置の外部記録装置として使用されている固定磁気デ
ィスク装置の小形化が図られ、たとえば、１４インチ，
１０．５インチなどの大形磁気ディスク装置を５．２５
インチ，３．５インチの磁気ディスク装置で置き換える
ことが行なわれている。これは、高記録密度対応の５．
２５インチ，３．５インチサイズの磁気ディスク媒体を
多数枚搭載した磁気ディスク装置をアレイ化すること
で、大容量，高速の磁気ディスク装置を構築するもので
ある。このような小形磁気ディスク装置に、磁気ディス
ク媒体を多数枚搭載するためには、磁気ディスク媒体の
板厚を薄くすることが有効であり、５．２５インチにつ
いては１．２７ｍｍ、３．５インチについては０．８ｍ
ｍの薄形媒体が使用されている。
【０００３】一方、ホストコンピュータなどに加えて、
最近では持ち運ぶことを前提として開発された情報処理
装置、たとえば、ノートブック形のパソコンなどにも磁
気ディスク装置が採用され始めている。これらノートブ
ック形のパソコンに採用される磁気ディスク装置として
は、２．５インチ以下のサイズが必要であり、磁気ディ
スク媒体としては２．５インチ，１．８９インチあるい
は１．３インチなどの小径媒体が用いられている。
最近では持ち運ぶことを前提として開発された情報処理
装置、たとえば、ノートブック形のパソコンなどにも磁
気ディスク装置が採用され始めている。これらノートブ
ック形のパソコンに採用される磁気ディスク装置として
は、２．５インチ以下のサイズが必要であり、磁気ディ
スク媒体としては２．５インチ，１．８９インチあるい
は１．３インチなどの小径媒体が用いられている。
【０００４】上記小形磁気ディスク装置においては、よ
り小形の装置への小径化が図られる一方で、大容量化，
低コスト化が必要である。このため、前述したように、
磁気ディスク媒体の板厚を薄くして、さらに多くの磁気
ディスク媒体を搭載可能なように、磁気ディスク媒体は
標準板厚から薄板厚へと移行している。そして、磁気デ
ィスク媒体の小径化と大容量化の双方を実現するために
は、今まで使用されていなかった内周部および外周部を
寸法限界まで使用し、記録領域を広くとることが必要と
なる。
り小形の装置への小径化が図られる一方で、大容量化，
低コスト化が必要である。このため、前述したように、
磁気ディスク媒体の板厚を薄くして、さらに多くの磁気
ディスク媒体を搭載可能なように、磁気ディスク媒体は
標準板厚から薄板厚へと移行している。そして、磁気デ
ィスク媒体の小径化と大容量化の双方を実現するために
は、今まで使用されていなかった内周部および外周部を
寸法限界まで使用し、記録領域を広くとることが必要と
なる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、板厚が
薄く変形し易い小径，薄形の磁気ディスク媒体に使用さ
れる磁気ディスク用基板において、基板の加工精度，表
面精度および低欠陥レベルを板厚の厚い磁気ディスク媒
体用基板と同等以上に維持することは極めて困難であっ
た。図３に、従来の磁気ディスク用基板のチャンファ部
形状を示してある。１１は磁気ディスク用基板であり、
その外周端部には外周面１２より内周側へ０．１８ｍｍ
（通常０．１５〜０．２５ｍｍ）の位置から角度４５°
にチャンファ部１０が形成されている。このような磁気
ディスク用基板１１においては、基板加工のポリシング
工程などで、研磨パッドが基板端部にめり込むことに起
因して、基板面１３とチャンファ部１０との境界部１０
ａに面垂れ（ロールオフ）が発生し、形状不良となる。
また、基板加工時に、磁気ディスク基板１１を支える支
持治具（カセット）２０の支持面２１の角度は、チャン
ファ部１０の角度と等しく、支持面２１とチャンファ部
１０とは全面で接触しているため、磁気ディスク用基板
１１が支持治具２０に傾いて装着されるなどセット不良
があると、チャンファ部１０の境界部１０ａが支持面２
１に強く接触して基板面１３にまでおよぶ基板変形が生
じる。磁気ディスク媒体の外周部でのヘッド浮上特性
は、磁気ディスク媒体の外周部の形状に大きく左右さ
れ、その形状は、概ね磁気ディスク用基板の形状によっ
て決定されるため、前述した基板外周部の面垂れや基板
変形があると、磁気ディスク媒体の外周部における磁気
ヘッドの浮上安定性が悪化するので、磁気ディスク装置
の小径化，大容量化は望めない。
薄く変形し易い小径，薄形の磁気ディスク媒体に使用さ
れる磁気ディスク用基板において、基板の加工精度，表
面精度および低欠陥レベルを板厚の厚い磁気ディスク媒
体用基板と同等以上に維持することは極めて困難であっ
た。図３に、従来の磁気ディスク用基板のチャンファ部
形状を示してある。１１は磁気ディスク用基板であり、
その外周端部には外周面１２より内周側へ０．１８ｍｍ
（通常０．１５〜０．２５ｍｍ）の位置から角度４５°
にチャンファ部１０が形成されている。このような磁気
ディスク用基板１１においては、基板加工のポリシング
工程などで、研磨パッドが基板端部にめり込むことに起
因して、基板面１３とチャンファ部１０との境界部１０
ａに面垂れ（ロールオフ）が発生し、形状不良となる。
また、基板加工時に、磁気ディスク基板１１を支える支
持治具（カセット）２０の支持面２１の角度は、チャン
ファ部１０の角度と等しく、支持面２１とチャンファ部
１０とは全面で接触しているため、磁気ディスク用基板
１１が支持治具２０に傾いて装着されるなどセット不良
があると、チャンファ部１０の境界部１０ａが支持面２
１に強く接触して基板面１３にまでおよぶ基板変形が生
じる。磁気ディスク媒体の外周部でのヘッド浮上特性
は、磁気ディスク媒体の外周部の形状に大きく左右さ
れ、その形状は、概ね磁気ディスク用基板の形状によっ
て決定されるため、前述した基板外周部の面垂れや基板
変形があると、磁気ディスク媒体の外周部における磁気
ヘッドの浮上安定性が悪化するので、磁気ディスク装置
の小径化，大容量化は望めない。
【０００６】そこで、以上の問題点に鑑みて、本発明の
課題は、基板外周部の面垂れおよび基板変形を極めて小
さく作製可能な磁気記録媒体用基板を実現して、高記録
密度，大容量の磁気記録媒体を構築することを目的とし
ている。
課題は、基板外周部の面垂れおよび基板変形を極めて小
さく作製可能な磁気記録媒体用基板を実現して、高記録
密度，大容量の磁気記録媒体を構築することを目的とし
ている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る磁気記録媒体用基板、すなわち、円板
状の非磁性体からなり、円周端部にチャンファ部を有す
る磁気記録媒体用基板においては、チャンファ部と基板
面とで形成される角度が２２．５°から３２．５°まで
の範囲内にあることを特徴としている。また、この磁気
記録媒体用基板において、チャンファ部は、基板外周面
より内周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されているこ
とが好ましい。
に、本発明に係る磁気記録媒体用基板、すなわち、円板
状の非磁性体からなり、円周端部にチャンファ部を有す
る磁気記録媒体用基板においては、チャンファ部と基板
面とで形成される角度が２２．５°から３２．５°まで
の範囲内にあることを特徴としている。また、この磁気
記録媒体用基板において、チャンファ部は、基板外周面
より内周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されているこ
とが好ましい。
【０００８】
【作用】斯かる手段を講じた本発明に係る磁気記録媒体
用基板においては、チャンファ部と基板面とで形成され
る角度が２２．５°から３２．５°までの範囲内にある
ことを特徴としている。従って、このような磁気記録媒
体用基板は、チャンファ部と支持治具の支持面とが面接
触することなく、図１に示すように、支持治具２０の支
持面２１に対して、チャンファ部１０の外側部１０ｂで
のみ接する。このため、支持治具に対する磁気記録媒体
用基板の自由度が保たれ、基板の僅かな傾きであれば正
規な位置への修正が可能となるので、セット不良による
基板変形を低減することが可能となる。また、仮に基板
変形が発生した場合にも、その変形は支持面との接触部
であるチャンファ部の外側部付近に制限され、記録領域
である基板面にまで及ぶことがない。また、基板面とチ
ャンファ部とで形成される内角が大きいため、研磨パッ
ドのめり込みによる面垂れを軽減することができる。
用基板においては、チャンファ部と基板面とで形成され
る角度が２２．５°から３２．５°までの範囲内にある
ことを特徴としている。従って、このような磁気記録媒
体用基板は、チャンファ部と支持治具の支持面とが面接
触することなく、図１に示すように、支持治具２０の支
持面２１に対して、チャンファ部１０の外側部１０ｂで
のみ接する。このため、支持治具に対する磁気記録媒体
用基板の自由度が保たれ、基板の僅かな傾きであれば正
規な位置への修正が可能となるので、セット不良による
基板変形を低減することが可能となる。また、仮に基板
変形が発生した場合にも、その変形は支持面との接触部
であるチャンファ部の外側部付近に制限され、記録領域
である基板面にまで及ぶことがない。また、基板面とチ
ャンファ部とで形成される内角が大きいため、研磨パッ
ドのめり込みによる面垂れを軽減することができる。
【０００９】ここで、チャンファ部が基板外周面より内
周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されている場合に
は、基板面とチャンファ部との境界部に発生する面垂れ
を基板の外周側へ移すことができ、磁気記録媒体用基板
の外周部形状を高品質に保持することができるので、か
かる磁気記録媒体用基板を用いた磁気記録媒体のヘッド
浮上特性を向上させることができる。
周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されている場合に
は、基板面とチャンファ部との境界部に発生する面垂れ
を基板の外周側へ移すことができ、磁気記録媒体用基板
の外周部形状を高品質に保持することができるので、か
かる磁気記録媒体用基板を用いた磁気記録媒体のヘッド
浮上特性を向上させることができる。
【００１０】
【実施例】以下に、実際の１．８９インチ（直径４８ｍ
ｍ）磁気ディスク媒体に用いられる磁気ディスク用基板
（磁気記録媒体用基板）を例として、本発明の一実施例
について添付図面に基づき説明する。
ｍ）磁気ディスク媒体に用いられる磁気ディスク用基板
（磁気記録媒体用基板）を例として、本発明の一実施例
について添付図面に基づき説明する。
【００１１】図１に、本発明の実施例に係る磁気ディス
ク用基板を示してある。なお、図１において、図３に示
す従来の磁気ディスク用基板に対応する部分には同一参
照符号を付して、その説明を省略する。本例の磁気ディ
スク用基板１１において着目すべき点は、チャンファ部
１０の形状にあり、基板１１の外周端部に形成されるチ
ャンファ部１０が、基板１１の外周面１２より０．１２
５ｍｍ内周側へ入った位置から基板面１３との角度２
７．５°に形成されている点にある。
ク用基板を示してある。なお、図１において、図３に示
す従来の磁気ディスク用基板に対応する部分には同一参
照符号を付して、その説明を省略する。本例の磁気ディ
スク用基板１１において着目すべき点は、チャンファ部
１０の形状にあり、基板１１の外周端部に形成されるチ
ャンファ部１０が、基板１１の外周面１２より０．１２
５ｍｍ内周側へ入った位置から基板面１３との角度２
７．５°に形成されている点にある。
【００１２】このような磁気ディスク用基板１１は、基
板加工工程において基板１１を支持する支持治具（カセ
ット）２０の支持面２１の角度が４５°であるのに対し
て、チャンファ部１０の角度は２７．５°であるため、
磁気ディスク基板１１はチャンファ部１０の外側部１０
ｂである外周端縁でのみ支持された状態に装着される。
このため、磁気ディスク用基板１１の支持治具２０への
装着は、チャンファ部１０の外側部１０ｂと支持治具２
０の支持面２１との実質的な線接触による案内によって
なされるので、従来の磁気ディスク用基板の面接触によ
る装着に比して装着時の自由度が確保されるため、磁気
ディスク用基板１１の傾きなどをある程度修正すること
が可能となり、セット不良による基板変形を低減するこ
とができる。また、仮に外側部１０ｂと支持面２１とが
強く接触してチャンファ部１０に凹部が生じるなど、基
板変形が発生しても、その基板変形は磁気ディスク用基
板１１の外周端の非記録領域に制限され、内周側の記録
領域にまで及ぶことがない。また、本例の磁気ディスク
用基板１１において、チャンファ部１０の角度が２７．
５°と鋭角であるため、基板面１３とチャンファ部１０
とで形成される内角θ1 は１５２．５°の大きな鈍角と
なる。これにより、基板加工のポリシング工程におい
て、研磨パッドが基板１１にめり込み、基板面１３とチ
ャンファ部１０との境界部１０ａに面垂れが発生した場
合にも、基板面１３とチャンファ部１０との内接Ｒが大
きいので、面垂れの程度を軽減することができる。加え
て、主な面垂れ発生領域である基板面１３とチャンファ
部１０との境界部１０ａは、基板１１の外周面１２より
内周側へ０．１２５ｍｍ入った位置であるので、記録領
域への面垂れの影響を最小限とすることができる。従っ
て、基板１１の外周部の変形や面垂れを軽減して、基板
１１の外周部形状の品質を向上させることができる。
板加工工程において基板１１を支持する支持治具（カセ
ット）２０の支持面２１の角度が４５°であるのに対し
て、チャンファ部１０の角度は２７．５°であるため、
磁気ディスク基板１１はチャンファ部１０の外側部１０
ｂである外周端縁でのみ支持された状態に装着される。
このため、磁気ディスク用基板１１の支持治具２０への
装着は、チャンファ部１０の外側部１０ｂと支持治具２
０の支持面２１との実質的な線接触による案内によって
なされるので、従来の磁気ディスク用基板の面接触によ
る装着に比して装着時の自由度が確保されるため、磁気
ディスク用基板１１の傾きなどをある程度修正すること
が可能となり、セット不良による基板変形を低減するこ
とができる。また、仮に外側部１０ｂと支持面２１とが
強く接触してチャンファ部１０に凹部が生じるなど、基
板変形が発生しても、その基板変形は磁気ディスク用基
板１１の外周端の非記録領域に制限され、内周側の記録
領域にまで及ぶことがない。また、本例の磁気ディスク
用基板１１において、チャンファ部１０の角度が２７．
５°と鋭角であるため、基板面１３とチャンファ部１０
とで形成される内角θ1 は１５２．５°の大きな鈍角と
なる。これにより、基板加工のポリシング工程におい
て、研磨パッドが基板１１にめり込み、基板面１３とチ
ャンファ部１０との境界部１０ａに面垂れが発生した場
合にも、基板面１３とチャンファ部１０との内接Ｒが大
きいので、面垂れの程度を軽減することができる。加え
て、主な面垂れ発生領域である基板面１３とチャンファ
部１０との境界部１０ａは、基板１１の外周面１２より
内周側へ０．１２５ｍｍ入った位置であるので、記録領
域への面垂れの影響を最小限とすることができる。従っ
て、基板１１の外周部の変形や面垂れを軽減して、基板
１１の外周部形状の品質を向上させることができる。
【００１３】図２に、上記構成の磁気ディスク用基板１
１のロールオフ測定の結果を示してある。ここで、ロー
ルオフ値は、基板半径が１９．５ｍｍの表面形状と、基
板半径が２３．５ｍｍの表面形状とを直線で結び、この
直線と表面形状との偏差の最大値としている。この結
果、本例の磁気ディスク用基板１１においては、基板半
径が約２３．１ｍｍの点Ａでロールオフ値を観測し、そ
の値は０．１５μｍ以下であった。従って、このような
磁気ディスク用基板１１を用いて製造した磁気ディスク
媒体において、外周端から０．５ｍｍの領域での磁気ヘ
ッドの浮上特性は２μインチ（０．０５μｍ）を達成
し、電磁変換特性の向上により、高記録密度，大容量の
磁気ディスク媒体を実現することができた。
１のロールオフ測定の結果を示してある。ここで、ロー
ルオフ値は、基板半径が１９．５ｍｍの表面形状と、基
板半径が２３．５ｍｍの表面形状とを直線で結び、この
直線と表面形状との偏差の最大値としている。この結
果、本例の磁気ディスク用基板１１においては、基板半
径が約２３．１ｍｍの点Ａでロールオフ値を観測し、そ
の値は０．１５μｍ以下であった。従って、このような
磁気ディスク用基板１１を用いて製造した磁気ディスク
媒体において、外周端から０．５ｍｍの領域での磁気ヘ
ッドの浮上特性は２μインチ（０．０５μｍ）を達成
し、電磁変換特性の向上により、高記録密度，大容量の
磁気ディスク媒体を実現することができた。
【００１４】このように、本例の磁気ディスク用基板１
１においては、チャンファ部１０の形状を長さ０．１２
５ｍｍ，角度２７．５°とすることにより、外周部の面
垂れの改善と、基板端面の変形を極力小さくすることが
可能となる。これにより、外周部の磁気ヘッド走行特性
が改善され、磁気ディスク用基板１１（磁気ディスク媒
体）の外周部においても磁気ヘッドの低浮上化を実現す
ることができ、高記録密度，大容量の磁気ディスク媒体
を構築することができる。
１においては、チャンファ部１０の形状を長さ０．１２
５ｍｍ，角度２７．５°とすることにより、外周部の面
垂れの改善と、基板端面の変形を極力小さくすることが
可能となる。これにより、外周部の磁気ヘッド走行特性
が改善され、磁気ディスク用基板１１（磁気ディスク媒
体）の外周部においても磁気ヘッドの低浮上化を実現す
ることができ、高記録密度，大容量の磁気ディスク媒体
を構築することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明に係る磁
気記録媒体用基板においては、チャンファ部と基板面と
で形成される角度が２２．５°から３２．５°までの範
囲内にあることを特徴としている。従って、基板加工時
に、基板を支持するための支持治具として一般に用いら
れている支持面の角度が４５°の支持治具に対して、本
発明に係る磁気記録媒体用基板は、チャンファ部の外側
部でのみ接触するので、支持治具に対する磁気記録媒体
用基板の自由度が保たれ、セット不良による基板変形を
低減することが可能となる。また、仮に基板変形が発生
した場合にも、基板変形は磁気記録媒体用基板と支持治
具との接触部であるチャンファ部の外側部付近の非記録
領域に制限され、記録領域にまで及ぶことがないので、
基板外周部における磁気ヘッドの浮上特性を損なうこと
がない。このように、本発明によれば、現在使用されて
いる設備（支持治具）を改造することなく、品質の高い
磁気記録媒体用基板、延いては磁気記録媒体を実現する
ことができる。また、基板面とチャンファ部の主面とで
形成される内角が大きいため、研磨パッドのめり込みに
よる面垂れを軽減することができ、磁気記録媒体用基板
上に形成されるべき記録領域の拡大を図ることができ
る。
気記録媒体用基板においては、チャンファ部と基板面と
で形成される角度が２２．５°から３２．５°までの範
囲内にあることを特徴としている。従って、基板加工時
に、基板を支持するための支持治具として一般に用いら
れている支持面の角度が４５°の支持治具に対して、本
発明に係る磁気記録媒体用基板は、チャンファ部の外側
部でのみ接触するので、支持治具に対する磁気記録媒体
用基板の自由度が保たれ、セット不良による基板変形を
低減することが可能となる。また、仮に基板変形が発生
した場合にも、基板変形は磁気記録媒体用基板と支持治
具との接触部であるチャンファ部の外側部付近の非記録
領域に制限され、記録領域にまで及ぶことがないので、
基板外周部における磁気ヘッドの浮上特性を損なうこと
がない。このように、本発明によれば、現在使用されて
いる設備（支持治具）を改造することなく、品質の高い
磁気記録媒体用基板、延いては磁気記録媒体を実現する
ことができる。また、基板面とチャンファ部の主面とで
形成される内角が大きいため、研磨パッドのめり込みに
よる面垂れを軽減することができ、磁気記録媒体用基板
上に形成されるべき記録領域の拡大を図ることができ
る。
【００１６】ここで、チャンファ部が基板外周面より内
周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されている場合に
は、基板面とチャンファ部との境界部に発生する面垂れ
を基板の外周側へ移すことができるので、かかる磁気記
録媒体用基板を用いた磁気記録媒体のヘッド浮上特性を
向上させることができ、電磁変換特性の向上により、磁
気記録媒体の大容量化を図ることができる。
周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形成されている場合に
は、基板面とチャンファ部との境界部に発生する面垂れ
を基板の外周側へ移すことができるので、かかる磁気記
録媒体用基板を用いた磁気記録媒体のヘッド浮上特性を
向上させることができ、電磁変換特性の向上により、磁
気記録媒体の大容量化を図ることができる。
【図１】本発明の実施例に係る磁気記録媒体用基板のチ
ャンファ部形状を示す説明図である。
ャンファ部形状を示す説明図である。
【図２】図１に示す磁気記録媒体用基板のロールオフ測
定の結果を示すグラフ図である。
定の結果を示すグラフ図である。
【図３】従来の磁気記録媒体用基板のチャンファ部形状
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１０・・・チャンファ部 １０ａ・・・境界部 １０ｂ・・・外側部 １１・・・磁気ディスク用基板（磁気記録媒体用基板） １２・・・外周面 １３・・・基板面 ２０・・・支持治具 ２１・・・支持面 θ1 ・・・内角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−72328（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−168445（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−99314（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−98223（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−94627（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/82 G11B 5/84 G11B 5/704 G11B 7/24 - 7/26 G11B 11/10
Claims (3)
- 【請求項１】 円板状の非磁性体からなり、円周端部に
チャンファ部を有する磁気記録媒体用基板において、チ
ャンファ部と基板面とで形成される角度が２２．５°か
ら３２．５°までの範囲内にあることを特徴とする磁気
記録媒体用基板。 - 【請求項２】 請求項１において、前記チャンファ部
は、基板外周面より内周側へ０．１５ｍｍの範囲内に形
成されていることを特徴とする磁気記録媒体用基板。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に規定する磁気
記録媒体用基板を用いた磁気記録媒体の製造方法であっ
て、 前記磁気記録媒体用基板に対する加工時には、前記磁気
記録媒体用基板を支持するための支持治具が前記チャン
ファ部の外側部のみに当接していることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5000176A JP3003439B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5000176A JP3003439B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06203361A JPH06203361A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3003439B2 true JP3003439B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=11466706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5000176A Expired - Fee Related JP3003439B2 (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 磁気記録媒体用基板および磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3003439B2 (ja) |
-
1993
- 1993-01-05 JP JP5000176A patent/JP3003439B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06203361A (ja) | 1994-07-22 |
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