JP3001989B2 - 座標測定装置の修正方法及び座標測定装置 - Google Patents
座標測定装置の修正方法及び座標測定装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、座標測定装置に回転旋
回継ぎ手を介して取り付けられたプローブヘッドの実際
・位置を修正する方法及び座標測定装置に関する。
回継ぎ手を介して取り付けられたプローブヘッドの実際
・位置を修正する方法及び座標測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転旋回継ぎ手は座標測定装置におい
て、ワークの座標測定に用いるプローブヘッドの角度を
整合させて、プローブヘッドを所望の測定課題のために
最適に導入できるように、すなわちワークの異なる配置
位置の複数の孔内へ進入させられるようにするものであ
る。
て、ワークの座標測定に用いるプローブヘッドの角度を
整合させて、プローブヘッドを所望の測定課題のために
最適に導入できるように、すなわちワークの異なる配置
位置の複数の孔内へ進入させられるようにするものであ
る。
【０００３】公知の回転旋回継ぎ手は２つの部類に分け
られる：１つの部類には切り替え可能な回転旋回継ぎ手
があり、この場合装着されたプローブヘッドがノッチを
介して有限の数の、例えば互いにほぼ７.５°異なる角
度位置に調節できるようになっている。他方の部類には
測定可能な回転旋回継ぎ手があり、この回転旋回継ぎ手
は両方の軸内にエンコーダを有していて、連続的に任意
の回転若しくは旋回角度に調節できるようになってお
り、エンコーダが調節された角度位置に相当する測定値
を座標測定装置のコンピュータに供給するようになって
いる。
られる：１つの部類には切り替え可能な回転旋回継ぎ手
があり、この場合装着されたプローブヘッドがノッチを
介して有限の数の、例えば互いにほぼ７.５°異なる角
度位置に調節できるようになっている。他方の部類には
測定可能な回転旋回継ぎ手があり、この回転旋回継ぎ手
は両方の軸内にエンコーダを有していて、連続的に任意
の回転若しくは旋回角度に調節できるようになってお
り、エンコーダが調節された角度位置に相当する測定値
を座標測定装置のコンピュータに供給するようになって
いる。
【０００４】切り替え可能な回転旋回継ぎ手は例えばＵ
Ｓ−ＰＳ４３１３２６３号公報に記載されており、測定
可能な回転旋回継ぎ手はＤＥ−ＯＳ３７４００７０号公
報に記載されている。
Ｓ−ＰＳ４３１３２６３号公報に記載されており、測定
可能な回転旋回継ぎ手はＤＥ−ＯＳ３７４００７０号公
報に記載されている。
【０００５】直接若しくは延長シャフトを介して回転旋
回継ぎ手に取り付けられたプローブヘッドの位置あるい
はプローブヘッドのプローブ球の位置は、座標測定を高
精度で行おうとする場合にはすべての角度位置で正確に
把握されていなければならない。前述の構成部分は自重
に基づき数１０μｍの範囲でたわむ。プローブ及び延長
シャフトの角度位置が変わらない限り、たわみの量は一
定であり、ワークの座標測定に影響を及ぼさない。しか
しながらこのような条件は回転旋回継ぎ手に取り付けら
れたプローブヘッドによる測定には当てはまらない。そ
れというのはプローブは回転旋回継ぎ手によって異なる
角度位置にもたらされるので、たわみの量がプローブヘ
ッドを例えば水平に若しくは垂直に向けてあるかどうか
によって変化する。プローブヘッドを垂直に向けた場合
には、たわみの量は実質的に零である。プローブヘッド
を水平に向けた場合には、たわみの量は１８０μｍまで
増大する。
回継ぎ手に取り付けられたプローブヘッドの位置あるい
はプローブヘッドのプローブ球の位置は、座標測定を高
精度で行おうとする場合にはすべての角度位置で正確に
把握されていなければならない。前述の構成部分は自重
に基づき数１０μｍの範囲でたわむ。プローブ及び延長
シャフトの角度位置が変わらない限り、たわみの量は一
定であり、ワークの座標測定に影響を及ぼさない。しか
しながらこのような条件は回転旋回継ぎ手に取り付けら
れたプローブヘッドによる測定には当てはまらない。そ
れというのはプローブは回転旋回継ぎ手によって異なる
角度位置にもたらされるので、たわみの量がプローブヘ
ッドを例えば水平に若しくは垂直に向けてあるかどうか
によって変化する。プローブヘッドを垂直に向けた場合
には、たわみの量は実質的に零である。プローブヘッド
を水平に向けた場合には、たわみの量は１８０μｍまで
増大する。
【０００６】従来、特に切り替え可能な回転旋回継ぎ手
は測定の前に、新たに装着されたプローブヘッドをキャ
リブレーションされ、この場合に目下のプローブ座標、
すなわちプローブヘッドのプローブ球の位置が測定過程
の空間内で必要なすべての角度位置で規定されかつ記憶
される。この場合、プローブ位置への重量の影響、すな
わちプローブヘッド若しくは延長シャフトの自重に基づ
くたわみの影響が自動的に一緒に把握される。しかしな
がらこのようなキャリブレーションは著しく時間を必要
とし、かつ煩雑である。それというのは回転旋回継ぎ手
の各角度位置でプローブヘッドの位置がキャリブレーシ
ョン球の複数回の接触及び続く球適合によって新たに規
定されにばならないからである。
は測定の前に、新たに装着されたプローブヘッドをキャ
リブレーションされ、この場合に目下のプローブ座標、
すなわちプローブヘッドのプローブ球の位置が測定過程
の空間内で必要なすべての角度位置で規定されかつ記憶
される。この場合、プローブ位置への重量の影響、すな
わちプローブヘッド若しくは延長シャフトの自重に基づ
くたわみの影響が自動的に一緒に把握される。しかしな
がらこのようなキャリブレーションは著しく時間を必要
とし、かつ煩雑である。それというのは回転旋回継ぎ手
の各角度位置でプローブヘッドの位置がキャリブレーシ
ョン球の複数回の接触及び続く球適合によって新たに規
定されにばならないからである。
【０００７】ＵＳ−ＰＳ４６６３８５２号公報により、
装着された傾斜計を用いて座標測定装置の測定アームの
位置の直線からのずれ、すなわち測定アームのたわみを
把握し、かつ傾斜計によって得られた測定値でプローブ
ヘッド若しくはプローブ球の実際・位置を修正すること
は公知である。しかしながらこの方法は当該の構成部分
の角度位置が回転旋回継ぎ手によって変えられる場合に
は利用できない。
装着された傾斜計を用いて座標測定装置の測定アームの
位置の直線からのずれ、すなわち測定アームのたわみを
把握し、かつ傾斜計によって得られた測定値でプローブ
ヘッド若しくはプローブ球の実際・位置を修正すること
は公知である。しかしながらこの方法は当該の構成部分
の角度位置が回転旋回継ぎ手によって変えられる場合に
は利用できない。
【０００８】ＥＰ−ＰＳ０１４７５２９号公報により、
プローブヘッドのプローブピンの曲がりを修正すること
は公知であり、この場合走査過程の速度に特有の修正値
及び、材料組み合わせを表す修正値が一緒に考慮される
ようになっている。しかしながらこの方法もプローブヘ
ッドの調節された各角度位置での異なる強いたわみに基
づくプローブ球の位置のずれを修正するためには適して
いない。
プローブヘッドのプローブピンの曲がりを修正すること
は公知であり、この場合走査過程の速度に特有の修正値
及び、材料組み合わせを表す修正値が一緒に考慮される
ようになっている。しかしながらこの方法もプローブヘ
ッドの調節された各角度位置での異なる強いたわみに基
づくプローブ球の位置のずれを修正するためには適して
いない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、座標
測定装置に回転旋回継ぎ手を介して取り付けられたプロ
ーブヘッドの実際・位置を修正する方法を提供し、この
方法がプローブヘッドの自重によるたわみに基づく変位
をできるだけ迅速かつ簡単に各角度位置でのキャリブレ
ーション過程なしに修正できるようにするすることであ
る。
測定装置に回転旋回継ぎ手を介して取り付けられたプロ
ーブヘッドの実際・位置を修正する方法を提供し、この
方法がプローブヘッドの自重によるたわみに基づく変位
をできるだけ迅速かつ簡単に各角度位置でのキャリブレ
ーション過程なしに修正できるようにするすることであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の方法では、−回転旋回継ぎ手の、若しくは回
転旋回継ぎ手にプローブヘッドを結合する延長シャフト
の剛性を表す値を規定して、記憶し、回転旋回継ぎ手の
測定過程のための設定された角度位置及び、剛性を表す
値から回転旋回継ぎ手若しくは延長シャフトの重力に基
づく目下のたわみを表す修正値を算出して、座標測定装
置から供給されたプローブヘッドのための位置測定値を
修正値によって修正するようになっている。
に本発明の方法では、−回転旋回継ぎ手の、若しくは回
転旋回継ぎ手にプローブヘッドを結合する延長シャフト
の剛性を表す値を規定して、記憶し、回転旋回継ぎ手の
測定過程のための設定された角度位置及び、剛性を表す
値から回転旋回継ぎ手若しくは延長シャフトの重力に基
づく目下のたわみを表す修正値を算出して、座標測定装
置から供給されたプローブヘッドのための位置測定値を
修正値によって修正するようになっている。
【００１１】
【発明の効果】本発明の方法では、回転旋回継ぎ手が唯
一の角度位置でキャリブレーションされ、かつ残りのす
べての角度位置での自重に基づくたわみが算出される。
従って本発明の方法は任意の角度位置に連続的に調節さ
れる測定可能な回転旋回継ぎ手と関連して申し分なく用
いられる。切り替え可能な回転旋回継ぎ手においては本
発明の方法により測定時間が著しく短縮される。それと
いうのは通常７２０°にわたって規定された角度位置で
の回転旋回継ぎ手の時間のかかる前述のキャリブレーシ
ョンが省略されるからである。
一の角度位置でキャリブレーションされ、かつ残りのす
べての角度位置での自重に基づくたわみが算出される。
従って本発明の方法は任意の角度位置に連続的に調節さ
れる測定可能な回転旋回継ぎ手と関連して申し分なく用
いられる。切り替え可能な回転旋回継ぎ手においては本
発明の方法により測定時間が著しく短縮される。それと
いうのは通常７２０°にわたって規定された角度位置で
の回転旋回継ぎ手の時間のかかる前述のキャリブレーシ
ョンが省略されるからである。
【００１２】回転旋回継ぎ手、延長シャフト及びプロー
ブヘッドから成る装置全体のたわみ特性及び、装置全体
の剛性を表す値を算出若しくは規定して、次いで座標測
定に際し測定値の修正に関与させると最も正確な結果が
得られる。多くの場合、特にプローブヘッド及び回転旋
回継ぎ手のような構成部分自体が十分に剛性的である場
合には、延長シャフトのたわみ特性だけを考慮するとよ
い。
ブヘッドから成る装置全体のたわみ特性及び、装置全体
の剛性を表す値を算出若しくは規定して、次いで座標測
定に際し測定値の修正に関与させると最も正確な結果が
得られる。多くの場合、特にプローブヘッド及び回転旋
回継ぎ手のような構成部分自体が十分に剛性的である場
合には、延長シャフトのたわみ特性だけを考慮するとよ
い。
【００１３】剛性にとって特有の値は種々の形式で規定
できる。剛性テンソルをプローブヘッド延長シャフト及
び場合によっては回転旋回継ぎ手の材料データ及び幾何
学的な寸法から定形材料の方式に基づき算出することも
可能である。検査装置を用いて値を規定することも可能
であり、この場合回転旋回継ぎ手がプローブヘッドと一
緒に負荷され、変形量が測定される。
できる。剛性テンソルをプローブヘッド延長シャフト及
び場合によっては回転旋回継ぎ手の材料データ及び幾何
学的な寸法から定形材料の方式に基づき算出することも
可能である。検査装置を用いて値を規定することも可能
であり、この場合回転旋回継ぎ手がプローブヘッドと一
緒に負荷され、変形量が測定される。
【００１４】値はキャリブレーション中に座標測定装置
自体を用いて規定することもできる。このためにプロー
ブヘッド若しくはプローブ球の位置を異なる２つの角度
位置で、例えば垂直及び水平の方向で測定する必要があ
る。
自体を用いて規定することもできる。このためにプロー
ブヘッド若しくはプローブ球の位置を異なる２つの角度
位置で、例えば垂直及び水平の方向で測定する必要があ
る。
【００１５】
【実施例】座標測定装置の測定アームの受容部１に回転
旋回継ぎ手２が装着されている。回転旋回継ぎ手２は各
軸Ａ，Ｂを中心として任意の角度α，βで回転可能な２
つの構成部分３，４から成っている。
旋回継ぎ手２が装着されている。回転旋回継ぎ手２は各
軸Ａ，Ｂを中心として任意の角度α，βで回転可能な２
つの構成部分３，４から成っている。
【００１６】回転旋回継ぎ手は両方の軸Ａ，Ｂ内に、設
定された角度位置を連続的に測定するためのエンコーダ
を有している。回転旋回継ぎ手の構造はドイツ連邦共和
国特許出願公開第３７４００７０号公報に記載されてい
る。
定された角度位置を連続的に測定するためのエンコーダ
を有している。回転旋回継ぎ手の構造はドイツ連邦共和
国特許出願公開第３７４００７０号公報に記載されてい
る。
【００１７】回転旋回継ぎ手の回転及び旋回可能な構成
部分４に延長シャフト５を介して座標測定装置のプロー
ブヘッド６が装着されている。プローブヘッド６のプロ
ーブピンのプローブ球７が本来の走査部材であり、この
走査部材の位置が測定装置の座標機構内に高精度で把握
されたい。
部分４に延長シャフト５を介して座標測定装置のプロー
ブヘッド６が装着されている。プローブヘッド６のプロ
ーブピンのプローブ球７が本来の走査部材であり、この
走査部材の位置が測定装置の座標機構内に高精度で把握
されたい。
【００１８】明細書の記載を簡単にするために、明細書
の記載の数式並びに図面に用いてあってかつＪＩＳによ
って定めてない記号は明細書の文章による記載において
は次の表１にしめす代替文字を用いて説明する：
の記載の数式並びに図面に用いてあってかつＪＩＳによ
って定めてない記号は明細書の文章による記載において
は次の表１にしめす代替文字を用いて説明する：
【００１９】
【表１】
【００２０】重力に基づき回転旋回継ぎ手の構成部分
３，４若しくは軸支承部並びに延長シャフト５及びプロ
ーブヘッド６が、図１に誇張して示してあるように理想
的に延びる破線で示した延長方向に対して変形する。プ
ローブ球のたわみｂは回転旋回継ぎ手２自体の曲がりの
曲がり分ｂ２及び延長シャフト５の曲がりの曲がり分ｂ
１から成っている。このようなたわみｂが測定に際して
考慮されない場合には、角度位置の誤差及び軸Ａ，Ｂを
中心とした方向の誤差が生じる。回転旋回継ぎ手が第１
図に示す位置でキャリブレーションされ、次いで軸線Ａ
を中心として角度α＝１８０°回転させられと、プロー
ブ球の実際の位置は、図２に実線で示すように、キャリ
ブレーションデータに基づいて算出された位置（短い破
線）から重力軸（ベクトルＳ）の方向へ所定の値２ｂだ
けそれる。プローブヘッド６の相応に三次元的に傾斜し
た方向においては、たわみのための別の小さな値が得ら
れ、それというのはこの場合有効なレバー長さが短くな
るからである。
３，４若しくは軸支承部並びに延長シャフト５及びプロ
ーブヘッド６が、図１に誇張して示してあるように理想
的に延びる破線で示した延長方向に対して変形する。プ
ローブ球のたわみｂは回転旋回継ぎ手２自体の曲がりの
曲がり分ｂ２及び延長シャフト５の曲がりの曲がり分ｂ
１から成っている。このようなたわみｂが測定に際して
考慮されない場合には、角度位置の誤差及び軸Ａ，Ｂを
中心とした方向の誤差が生じる。回転旋回継ぎ手が第１
図に示す位置でキャリブレーションされ、次いで軸線Ａ
を中心として角度α＝１８０°回転させられと、プロー
ブ球の実際の位置は、図２に実線で示すように、キャリ
ブレーションデータに基づいて算出された位置（短い破
線）から重力軸（ベクトルＳ）の方向へ所定の値２ｂだ
けそれる。プローブヘッド６の相応に三次元的に傾斜し
た方向においては、たわみのための別の小さな値が得ら
れ、それというのはこの場合有効なレバー長さが短くな
るからである。
【００２１】異なる角度位置のための後キャリブレーシ
ョンを行うために、座標測定装置の座標機構内でプロー
ブ球７の描く運動の数学的なモデルにおいて、重力に基
づくたわみが一緒に考慮される。数学的なもとのモデル
は次のような数式である。
ョンを行うために、座標測定装置の座標機構内でプロー
ブ球７の描く運動の数学的なモデルにおいて、重力に基
づくたわみが一緒に考慮される。数学的なもとのモデル
は次のような数式である。
【００２２】
【数１】
【００２３】この数式は値の記号がいくらか異なってい
ることを除いて、前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第
３７４００７０号公報に記載の数式Ｉに相応している。
この場合符号の説明は次の通りである： （ベクトルＸ）Ｍ ：座標測定装置のスケールの三次元
の測定値 （α，β） ：回転旋回継ぎ手の二次元の（角度
−）測定値 （ベクトルＰ）ｓ ：プローブヘッドに配属された座標
機構内のプローブ座標（Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓ） Ｄ（α，β） ：回転旋回継ぎ手の両方の軸を中心と
した回転運動を表すマトリックス （ベクトルＶ）（α，β）：軸線Ａ，Ｂの回転に際しプ
ローブ座標機構（ｘｓ，ｙｓ，ｚｓ）のトランスレーシ
ョン移動を表すベクトル ベクトル（ベクトルＰ）は三次元の測定点、すなわち座
標測定装置の座標機構内でのプローブ球７の中心点の位
置を表している。この測定点（ベクトルＰ）は座標測定
装置のコンピューターによって処理される。
ることを除いて、前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第
３７４００７０号公報に記載の数式Ｉに相応している。
この場合符号の説明は次の通りである： （ベクトルＸ）Ｍ ：座標測定装置のスケールの三次元
の測定値 （α，β） ：回転旋回継ぎ手の二次元の（角度
−）測定値 （ベクトルＰ）ｓ ：プローブヘッドに配属された座標
機構内のプローブ座標（Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓ） Ｄ（α，β） ：回転旋回継ぎ手の両方の軸を中心と
した回転運動を表すマトリックス （ベクトルＶ）（α，β）：軸線Ａ，Ｂの回転に際しプ
ローブ座標機構（ｘｓ，ｙｓ，ｚｓ）のトランスレーシ
ョン移動を表すベクトル ベクトル（ベクトルＰ）は三次元の測定点、すなわち座
標測定装置の座標機構内でのプローブ球７の中心点の位
置を表している。この測定点（ベクトルＰ）は座標測定
装置のコンピューターによって処理される。
【００２４】形式的に数式（１）は、角度位置（α，
β）に関連したプローブ座標（ベクトルＰ）ｓのプロー
ブヘッドのたわみを表す１つの項（ベクトルＢ）（α，
β）だけ展開できる：
β）に関連したプローブ座標（ベクトルＰ）ｓのプロー
ブヘッドのたわみを表す１つの項（ベクトルＢ）（α，
β）だけ展開できる：
【００２５】
【数２】
【００２６】この場合も第１図に関連している。すでに
公知の値（ベクトルＰ）ｓ及び（ベクトルＢ）（α，
β）の他に、第１図には座標測定装置の座標機構（ｘ
Ｍ，ｙＭ，ｚＭ）、プローブヘッドの座標機構（ｘｓ，
ｙｓ，ｚｓ）及び重力ベクトル（ベクトルＳ）も記入さ
れている。プローブヘッドのための曲げテンソル、回転
旋回継ぎ手の角度位置（α，β）のための延長量、及び
重力ベクトル（ベクトルＳ）が分かっている場合には、
任意の各角度位置のためのたわみ（ベクトルＢ）（α，
β）が算出される。曲げテンソルをＴ（α，β）として
表す場合、（ベクトルＢ）（α，β）のために次の数式
が得られる：
公知の値（ベクトルＰ）ｓ及び（ベクトルＢ）（α，
β）の他に、第１図には座標測定装置の座標機構（ｘ
Ｍ，ｙＭ，ｚＭ）、プローブヘッドの座標機構（ｘｓ，
ｙｓ，ｚｓ）及び重力ベクトル（ベクトルＳ）も記入さ
れている。プローブヘッドのための曲げテンソル、回転
旋回継ぎ手の角度位置（α，β）のための延長量、及び
重力ベクトル（ベクトルＳ）が分かっている場合には、
任意の各角度位置のためのたわみ（ベクトルＢ）（α，
β）が算出される。曲げテンソルをＴ（α，β）として
表す場合、（ベクトルＢ）（α，β）のために次の数式
が得られる：
【００２７】
【数３】
【００２８】曲げテンソルＴ（α，β）が任意の各角度
位置のための変換マトリックスＤ（α，β）を用いて簡
単に算出される。相応の説明が、文献“Ｔｅｎｓｏｒｒ
ｅｃｈｎｕｎｇｆｕｅｒ Ｉｎｇｅｎｉｅｕｒｅ ”vo
n J. Betten, Verlag Teubner, Stuttgart 1987に載っ
ている。
位置のための変換マトリックスＤ（α，β）を用いて簡
単に算出される。相応の説明が、文献“Ｔｅｎｓｏｒｒ
ｅｃｈｎｕｎｇｆｕｅｒ Ｉｎｇｅｎｉｅｕｒｅ ”vo
n J. Betten, Verlag Teubner, Stuttgart 1987に載っ
ている。
【００２９】曲げテンソルＴ（α，β）及び重力ベクト
ル（ベクトルＳ）の正確な規定には著しい算出費用が必
要であるので、たわみ修正を座標測定中に行う場合には
次の簡単な条件が提案される： A. 重力ベクトル（ベクトルＳ）は座標機構（ｘＭ，ｙ
Ｍ，ｚＭ）内でｚＭの方向を示している。
ル（ベクトルＳ）の正確な規定には著しい算出費用が必
要であるので、たわみ修正を座標測定中に行う場合には
次の簡単な条件が提案される： A. 重力ベクトル（ベクトルＳ）は座標機構（ｘＭ，ｙ
Ｍ，ｚＭ）内でｚＭの方向を示している。
【００３０】B. プローブヘッド及び延長部は１つのラ
インを形成している。この直線的なプローブヘッドの方
向はプローブヘッド座標系（ｘｓ，ｙｓ，ｚｓ）内で常
にｚｓにある。
インを形成している。この直線的なプローブヘッドの方
向はプローブヘッド座標系（ｘｓ，ｙｓ，ｚｓ）内で常
にｚｓにある。
【００３１】C. （ベクトルＰ）ｓの（ｘｓ，ｙｓ）座
標は０でなく、それというのは座標機構（ｘｓ，ｙｓ，
ｚｓ）の座標起点が回転旋回継ぎ手の中心に位置してい
るからである。（ベクトルＰ）ｓからのｚｓ−力成分は
零より常に大きく、かつプローブヘッドのアクチブなた
わみ長さのための尺度である。
標は０でなく、それというのは座標機構（ｘｓ，ｙｓ，
ｚｓ）の座標起点が回転旋回継ぎ手の中心に位置してい
るからである。（ベクトルＰ）ｓからのｚｓ−力成分は
零より常に大きく、かつプローブヘッドのアクチブなた
わみ長さのための尺度である。
【００３２】D. 延長シャフト５を備えた若しくは備え
ていないプローブヘッド６の各曲げ長さｚｓのために最
大のたわみｂ（ｚｓ）の量、すなわちすべての（α，
β）のための（ベクトルＢ）（α，β）の最大の長さは
把握されている。最大のたわみは重力ベクトル（ベクト
ルＳ）が第１図に示してあるようにプローブ方向ｚｓに
垂直に位置している場合に生じる。ｚｓの長さはプロー
ブ座標（ベクトルＰ）ｓを介して把握されている。ｚｓ
の長さは検出座標Ｐ→ｓを介して周知である。
ていないプローブヘッド６の各曲げ長さｚｓのために最
大のたわみｂ（ｚｓ）の量、すなわちすべての（α，
β）のための（ベクトルＢ）（α，β）の最大の長さは
把握されている。最大のたわみは重力ベクトル（ベクト
ルＳ）が第１図に示してあるようにプローブ方向ｚｓに
垂直に位置している場合に生じる。ｚｓの長さはプロー
ブ座標（ベクトルＰ）ｓを介して把握されている。ｚｓ
の長さは検出座標Ｐ→ｓを介して周知である。
【００３３】E. たわみの量はたわみｂ（ｚｓ）及び重
力ベクトル（ベクトルＳ）とｚｓとの間の角度の正弦の
積に等しい。
力ベクトル（ベクトルＳ）とｚｓとの間の角度の正弦の
積に等しい。
【００３４】このような条件を用いて、（ベクトルＢ）
（α，β）の計算のための具体的な数式が導き出され、
座標測定装置のコンピュータでプログラミングされる。
最大のたわみｂ（ｚｓ）は比較的に簡単に規定される。
（α，β）の計算のための具体的な数式が導き出され、
座標測定装置のコンピュータでプログラミングされる。
最大のたわみｂ（ｚｓ）は比較的に簡単に規定される。
【００３５】単純な条件ＡからＥは、回転旋回継ぎ手を
備えた従来のすべての座標測定装置にとって満たされて
いる。座標測定装置はたわみ（ベクトルＢ）（α，β）
の修正の計算を簡単に可能にする。次の記号が用いられ
る：ｆ（α，β）＝角度位置（α，β）のためのたわみ
の量。ｆ（α，β）は大きいか若しくは零に等しい。
備えた従来のすべての座標測定装置にとって満たされて
いる。座標測定装置はたわみ（ベクトルＢ）（α，β）
の修正の計算を簡単に可能にする。次の記号が用いられ
る：ｆ（α，β）＝角度位置（α，β）のためのたわみ
の量。ｆ（α，β）は大きいか若しくは零に等しい。
【００３６】（ベクトルＣ）（α，β）＝角度位置
（α，β）のたわみのベクトル。Ｃ→の長さは１に等し
い。
（α，β）のたわみのベクトル。Ｃ→の長さは１に等し
い。
【００３７】（ベクトルＲ）（α，β）＝（ｘＭ，ｙ
Ｍ，ｚＭ）・座標の角度位置内のプローブピンのための
ベクトル。（ベクトルＲ）（α，β）の長さは１に等し
い。
Ｍ，ｚＭ）・座標の角度位置内のプローブピンのための
ベクトル。（ベクトルＲ）（α，β）の長さは１に等し
い。
【００３８】これによって次の数式が得られる：
【００３９】
【数４】
【００４０】記号ｃは２倍の外積の長さである。
【００４１】ｆ（α，β）＝ｂ（ｚｓ）・正弦（ベクト
ルＳとベクトルＲ（α，β）との間の角度）
ルＳとベクトルＲ（α，β）との間の角度）
【００４２】
【数５】
【００４３】（ｄｉｊ）ｉ，ｊ＝１，２，３が回転運動
を表すマトリックスＤ（α，β）の成分でありかつ条件
Ａを用いると、外積ひいてはたわみが直接に回転マトリ
ックスＤ（α，β）の成分から算出される：
を表すマトリックスＤ（α，β）の成分でありかつ条件
Ａを用いると、外積ひいてはたわみが直接に回転マトリ
ックスＤ（α，β）の成分から算出される：
【００４４】
【数６】
【００４５】長さｃは長さｆ（α，β）にちょうど等し
いので、数式は著しく簡単になる。
いので、数式は著しく簡単になる。
【００４６】プローブ球７と回転旋回継ぎ手２との間の
距離ｚｓに関連した最大のたわみｂ（ｚｓ）は種々の方
法で求められる。
距離ｚｓに関連した最大のたわみｂ（ｚｓ）は種々の方
法で求められる。
【００４７】ここでは例えばプローブ座標、すなわちプ
ローブ球７の中心点がまず回転旋回継ぎ手の第１図に示
す方向でキャリブレーションされ、次いで１つの検査部
材がこの方向で座標測定装置の測定空間内で測定され
る。次いで同じ検査部材が回転旋回継ぎ手を第２図に示
す方向へ回転させた状態でさらに一度測定される。両方
の測定によって異なる値が得られ、検査部材中心点の距
離は長さｚｓのプローブコンフィギュレーションのため
の値２ｂに相当する。
ローブ球７の中心点がまず回転旋回継ぎ手の第１図に示
す方向でキャリブレーションされ、次いで１つの検査部
材がこの方向で座標測定装置の測定空間内で測定され
る。次いで同じ検査部材が回転旋回継ぎ手を第２図に示
す方向へ回転させた状態でさらに一度測定される。両方
の測定によって異なる値が得られ、検査部材中心点の距
離は長さｚｓのプローブコンフィギュレーションのため
の値２ｂに相当する。
【００４８】異なる長さ及び幾何学形状のプローブコン
フィギュレーションのためにそれぞれその値ｂ（ｚｓ）
が規定され、座標測定装置のコンピュータの記憶装置内
に導入される。次いでコンピュータが回転旋回継ぎ手の
エンコーダの角度データからたわみＢ（α，β）を数式
（３）に基づき算出して、位置・測定値（ベクトルＰ）
の形成に際し数式（２）で考慮するこいよって、回転旋
回継ぎ手の任意の各角度位置で座標測定装置の測定機構
から送られた測定値を修正する。このために役立つブロ
ック回路が図３に示してある。座標測定装置の３つのス
ケールが符号１２ｘ，１２ｙ，１２ｚでかつ対応する発
信器が１３ｘ，１３ｙ，１３ｚで示してあり、発信器の
信号が座標測定装置の制御装置１１に供給される。さら
に制御装置１１には発信器１３ａ及び１３ｂを接続して
あり、この発信器は回転旋回継ぎ手内の角度エンコーダ
のピッチ円１２ａ，１２ｂを走査する。制御装置１１が
データバスを介して測定値を座標測定装置のコンピュー
タ１４に供給するようになっており、座標測定装置の記
憶装置１５内には例えば座標測定装置の案内の非直線性
に関する付加的な修正値のほかに、交換されるプローブ
ヘッドユニットの最大のたわみのための修正値ｂ１から
ｂｎも記憶されている。
フィギュレーションのためにそれぞれその値ｂ（ｚｓ）
が規定され、座標測定装置のコンピュータの記憶装置内
に導入される。次いでコンピュータが回転旋回継ぎ手の
エンコーダの角度データからたわみＢ（α，β）を数式
（３）に基づき算出して、位置・測定値（ベクトルＰ）
の形成に際し数式（２）で考慮するこいよって、回転旋
回継ぎ手の任意の各角度位置で座標測定装置の測定機構
から送られた測定値を修正する。このために役立つブロ
ック回路が図３に示してある。座標測定装置の３つのス
ケールが符号１２ｘ，１２ｙ，１２ｚでかつ対応する発
信器が１３ｘ，１３ｙ，１３ｚで示してあり、発信器の
信号が座標測定装置の制御装置１１に供給される。さら
に制御装置１１には発信器１３ａ及び１３ｂを接続して
あり、この発信器は回転旋回継ぎ手内の角度エンコーダ
のピッチ円１２ａ，１２ｂを走査する。制御装置１１が
データバスを介して測定値を座標測定装置のコンピュー
タ１４に供給するようになっており、座標測定装置の記
憶装置１５内には例えば座標測定装置の案内の非直線性
に関する付加的な修正値のほかに、交換されるプローブ
ヘッドユニットの最大のたわみのための修正値ｂ１から
ｂｎも記憶されている。
【００４９】座標測定装置が測定しようとする対象物の
における走査点の位置を算出すると、相応の値ｂが記憶
装置から送られ、数式（３）に基づきプローブヘッド６
の三次元の方向を表す角度値で乗じられ、次いで検査球
７のｚ・方向の重力に基づく変位が走査座標の算出に際
し一緒に考慮される。結果が表示ユニット１６に示され
る。
における走査点の位置を算出すると、相応の値ｂが記憶
装置から送られ、数式（３）に基づきプローブヘッド６
の三次元の方向を表す角度値で乗じられ、次いで検査球
７のｚ・方向の重力に基づく変位が走査座標の算出に際
し一緒に考慮される。結果が表示ユニット１６に示され
る。
【００５０】図３の実施例では座標測定装置は測定可能
な回転旋回継ぎ手を有している。修正方法は切り替え可
能な回転旋回継ぎ手と同じ形式で行われる。切り替え可
能な回転旋回継ぎ手のブロック回路が図４に示してあ
る。ここでは座標測定装置のスケールが符号１１２ｘ，
１１２ｙ，１１２ｚで、かつ長さ測定機構の発信器が符
号１１３ｘ，１１３ｙ，１１３ｚで示してある。切り替
え可能な回転旋回継ぎ手は両方の回転軸に関連してノッ
チ１１２ａ，１１ｂを有しており、ノッチが所定の角度
位置を規定しており、角度位置に回転旋回継ぎ手が駆動
装置１１３ａ，１１３ｂによって調節される。この場合
には、回転角αの異なる１５の位置及び旋回角βの異な
る４８の位置、すなわち異なる全部で７２０の係止位置
に対応する相応の角度値（α１からα１５及びβ１から
β４８）があらかじめ校正プロセスで得られ、コンピュ
ータ１１４の記憶装置１１５に記憶される。同じく記憶
装置１１５内には、種々のプローブコンビネーションの
最大のたわみを表す修正値ｂ１からｂｎも記憶されてい
る。
な回転旋回継ぎ手を有している。修正方法は切り替え可
能な回転旋回継ぎ手と同じ形式で行われる。切り替え可
能な回転旋回継ぎ手のブロック回路が図４に示してあ
る。ここでは座標測定装置のスケールが符号１１２ｘ，
１１２ｙ，１１２ｚで、かつ長さ測定機構の発信器が符
号１１３ｘ，１１３ｙ，１１３ｚで示してある。切り替
え可能な回転旋回継ぎ手は両方の回転軸に関連してノッ
チ１１２ａ，１１ｂを有しており、ノッチが所定の角度
位置を規定しており、角度位置に回転旋回継ぎ手が駆動
装置１１３ａ，１１３ｂによって調節される。この場合
には、回転角αの異なる１５の位置及び旋回角βの異な
る４８の位置、すなわち異なる全部で７２０の係止位置
に対応する相応の角度値（α１からα１５及びβ１から
β４８）があらかじめ校正プロセスで得られ、コンピュ
ータ１１４の記憶装置１１５に記憶される。同じく記憶
装置１１５内には、種々のプローブコンビネーションの
最大のたわみを表す修正値ｂ１からｂｎも記憶されてい
る。
【００５１】この場合には、各走査の前にすでにそれぞ
れの角度位置の積が所定のプローブのための修正値で求
められ、走査過程中に得られた位置測定値の修正のため
に用いられる。
れの角度位置の積が所定のプローブのための修正値で求
められ、走査過程中に得られた位置測定値の修正のため
に用いられる。
【図１】回転旋回継ぎ手及びプローブヘッドの第１の角
度位置での概略側面図
度位置での概略側面図
【図２】回転旋回継ぎ手及びプローブヘッドの第２の角
度位置での概略側面図
度位置での概略側面図
【図３】測定可能な回転旋回継ぎ手を備えた座標測定装
置の測定機構の概略的なブロックダイアグラム
置の測定機構の概略的なブロックダイアグラム
【図４】切り替え可能な回転旋回継ぎ手を備えた座標測
定装置の測定機構の概略的なブロックダイアグラム
定装置の測定機構の概略的なブロックダイアグラム
２ 回転旋回継ぎ手、 ３及び４ 構成部分、 ５
延長シャフト、６ プローブヘッド、 ７ プロー
ブ球、 １２ａ，１２ｂ エンコーダ、１２ｘ，１２
ｙ，１２ｚ 直線スケール、 １３ａ，１３ｂ エン
コーダ、 １３ｘ，１３ｙ，１３ｚ 発信器、 １
４ コンピュータ、 １５記憶装置、 １６ 表示
ユニット
延長シャフト、６ プローブヘッド、 ７ プロー
ブ球、 １２ａ，１２ｂ エンコーダ、１２ｘ，１２
ｙ，１２ｚ 直線スケール、 １３ａ，１３ｂ エン
コーダ、 １３ｘ，１３ｙ，１３ｚ 発信器、 １
４ コンピュータ、 １５記憶装置、 １６ 表示
ユニット
フロントページの続き (72)発明者 ヘルムート ミュラー ドイツ連邦共和国 シュヴェービッシュ グミュント グロースダインバッハ アム ホルツブルネン 11アー (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32
Claims (8)
- 【請求項１】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正するこ
とを特徴とする、座標測定装置の修正方法。 - 【請求項２】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正し、 前記 値（ｂ）をあらかじめ計算によって規定することを
特徴とする、座標測定装置の修正方法。 - 【請求項３】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性 を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正し、 前記 値（ｂ）をキャリブレーション中に座標測定装置に
よって規定することを特徴とする、座標測定装置の修正
方法。 - 【請求項４】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正し、 前記 値（ｂ）をセパレートの測定装置によって求めるこ
とを特徴とする、座標測定装置の修正方法。 - 【請求項５】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正し、 前記値（ｂ）がテンソルであることを特徴とする、座標
測定装置の修正方法。 - 【請求項６】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手（２）を
介して取り付けられたプローブヘッド（６）の実際・位
置を修正する方法において、 −回転旋回継ぎ手（２）の、若しくは回転旋回継ぎ手に
プローブヘッド（６）を結合する延長部材（５）の剛性
を表す値（ｂ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）に導入し、 −回転旋回継ぎ手の測定過程のための設定された角度位
置（α，β）及び、剛性を表す値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長部材（５）の重力（ベクトルＳ）に基
づくたわみを表す修正値（ベクトルＢ（α，β））を算
出し、 −座標測定装置から供給されたプローブヘッドのための
位置測定値（ベクトルＰ）を修正値によって修正し、 異なる複数のプローブコンフィギュレーションの値（ｂ
１・・・ｂｎ）を規定して、座標測定装置のコンピュー
タ（１４）の記憶装置（１５）内に記憶しておくことを
特徴とする、座標測定装置の修正方法。 - 【請求項７】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手を介して
取り付けられたプローブヘッドの実際・位置を修正する
方法を実施するための座標測定装置であって、−直交す
る３つの空間方向の直線スケール（１２ｘ，１２ｙ，１
２ｚ）及び直線スケールに所属の位置発信器（１３ｘ，
１３ｙ，１３ｚ）を備えており、 −エンコーダ（１２ａ／１３ａ，１２ｂ／１３ｂ）付き
の測定可能な回転旋回継ぎ手（２）を備えており、エン
コーダが回転旋回継ぎ手の角度位置（α，β）に関連し
て信号を生ぜしめるようになっており、 −延長シャフト（５）を介して回転旋回継ぎ手（２）に
取り付けられた少なくとも１つのプローブヘッド（６）
を備えており、 −コンピュータ（１４）を備えており、コンピュータが
位置発信器及びエンコーダの値からプローブヘッド及び
プローブヘッドに保持されたプローブ球（７）の三次元
の位置を算出するようになっており、 −修正値を記憶する記憶装置（１５）を有している形式
のものにおいて、 −修正値が回転旋回継ぎ手（２）若しくは延長シャフト
（５）の剛性を表しており、コンピュータ（１４）内に
修正プログラムを設けてあり、修正プログラムがエンコ
ーダの角度位置及び修正値から回転旋回継ぎ手若しくは
延長シャフトの重力（ベクトルＳ）の影響下のたわみを
算出して、プローブヘッド（６）若しくはプローブ球
（７）の位置を、算出されたたわみ（ベクトルＢ（α，
β））だけ修正するようになっていることを特徴とする
座標測定装置。 - 【請求項８】 座標測定装置に回転旋回継ぎ手を介して
取り付けられたプローブヘッドの実際・位置を修正する
方法を実施するための座標測定装置であって、−直交す
る３つの空間方向の直線スケール（１１２ｘ，１１２
ｙ，１１２ｚ）及び直線スケールに所属の位置発信器
（１１３ｘ，１１３ｙ，１１３ｚ）を備えており、 −切り替え可能な回転旋回継ぎ手（２）を備えており、
回転旋回継ぎ手が設定された有限の数の角度値（α，
β）に調節できるようになっており、 −延長シャフト（５）を介して回転旋回継ぎ手（２）に
取り付けられた少なくとも１つのプローブヘッド（６）
を備えており、 −コンピュータ（１１４）を備えており、コンピュータ
が位置発信器及びエンコーダの値からプローブヘッド及
びプローブヘッドに保持されたプローブ球（７）の三次
元の位置を算出するようになっており、 −回転旋回継ぎ手の調節可能な角度値並びに修正値を記
憶する記憶装置（１１５）を有している形式のものにお
いて、 −修正値が回転旋回継ぎ手（２）若しくは延長シャフト
（５）の剛性を表しており、コンピュータ（１４）内に
修正プログラムを設けてあり、修正プログラムが記憶さ
れた角度値（α，β）及び修正値（ｂ）から回転旋回継
ぎ手若しくは延長シャフトの重力（ベクトルＳ）の影響
下のたわみを算出して、プローブヘッド（６）若しくは
プローブ球（７）の位置を、算出されたたわみ（ベクト
ルＢ（α，β）だけ修正するようになっていることを特
徴とする座標測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4001433A DE4001433A1 (de) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete |
| DE4001433.9 | 1990-01-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223557A JPH05223557A (ja) | 1993-08-31 |
| JP3001989B2 true JP3001989B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=6398356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3003307A Expired - Fee Related JP3001989B2 (ja) | 1990-01-19 | 1991-01-16 | 座標測定装置の修正方法及び座標測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5138563A (ja) |
| EP (1) | EP0438095B1 (ja) |
| JP (1) | JP3001989B2 (ja) |
| DE (2) | DE4001433A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4231040C2 (de) * | 1992-09-17 | 2002-11-28 | Zett Mess Technik Gmbh | Höhenmess- und Anreißgerät |
| DE9421790U1 (de) * | 1993-02-23 | 1996-08-29 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary, Fla. | Meßvorrichtung zum Erfassen von dreidimensionalen Koordinaten |
| DE4436507A1 (de) * | 1994-10-13 | 1996-04-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
| EP0684448B1 (de) * | 1994-05-27 | 2004-03-24 | Carl Zeiss | Koordinatenmessung an Werkstücken mit Korrekturen von Beschleunigungen |
| DE59510796D1 (de) * | 1994-05-27 | 2003-10-23 | Zeiss Carl | Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes |
| DE59509004D1 (de) * | 1995-03-10 | 2001-03-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf mit gleichen Auslenkungen |
| GB9517214D0 (en) * | 1995-08-23 | 1995-10-25 | Renishaw Plc | Calibration of an articulating probe head for a coordinating positioning machine |
| US5832416A (en) * | 1995-09-01 | 1998-11-03 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
| US5808888A (en) * | 1996-01-11 | 1998-09-15 | Thermwood Corporation | Method and apparatus for programming a CNC machine |
| DE19960191B4 (de) * | 1999-12-14 | 2010-05-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Sicherung eines Koordinatenmessgerätes vor Bedienfehlern |
| DE10066470B4 (de) * | 2000-02-15 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
| DE10006753A1 (de) | 2000-02-15 | 2001-08-16 | Zeiss Carl | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
| US6497134B1 (en) * | 2000-03-15 | 2002-12-24 | Image Guided Technologies, Inc. | Calibration of an instrument |
| DE50106760D1 (de) * | 2000-05-23 | 2005-08-25 | Zeiss Ind Messtechnik Gmbh | Korrekturverfahren für Koordinatenmessgeräte |
| DE10136559B4 (de) * | 2001-07-27 | 2011-08-11 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts |
| GB0326532D0 (en) * | 2003-11-13 | 2003-12-17 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
| US7376261B2 (en) * | 2003-11-25 | 2008-05-20 | Mitutoyo Corporation | Surface scan measuring device and method of forming compensation table for scanning probe |
| DE602004010899T2 (de) * | 2004-07-16 | 2009-01-02 | Tesa Sa | Lenkbarer Taststift |
| DE102004044827A1 (de) | 2004-09-16 | 2006-03-23 | Bayer Cropscience Ag | Jod-phenylsubstituierte cyclische Ketoenole |
| DE102004053191A1 (de) | 2004-11-04 | 2006-05-11 | Bayer Cropscience Ag | 2,6-Diethyl-4-methyl-phenyl substituierte Tetramsäure-Derivate |
| DE102005017708A1 (de) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken mit einem Messtaster an einer Werkzeugmaschine |
| GB0508402D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Probe calibration |
| WO2006114603A2 (en) | 2005-04-26 | 2006-11-02 | Renishaw Plc | Probe calibration |
| GB0512138D0 (en) * | 2005-06-15 | 2005-07-20 | Renishaw Plc | Method of determining measurement probe orientation |
| JP4839827B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2011-12-21 | コニカミノルタセンシング株式会社 | ３次元測定装置 |
| JP5441302B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2014-03-12 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
| GB0712008D0 (en) | 2007-06-21 | 2007-08-01 | Renishaw Plc | Apparatus and method of calibration |
| GB0713639D0 (en) * | 2007-07-13 | 2007-08-22 | Renishaw Plc | Error correction |
| DE102007051054A1 (de) | 2007-10-19 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät |
| GB201013938D0 (en) | 2010-08-20 | 2010-10-06 | Renishaw Plc | Method for recalibrating coordinate positioning apparatus |
| EP2729763A1 (de) * | 2011-07-08 | 2014-05-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Korrektur und/oder vermeidung von fehlern bei der messung von koordinaten eines werkstücks |
| DE102015205567A1 (de) | 2015-03-26 | 2016-09-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Kalibrierung einer an einem beweglichen Teil eines Koordinatenmessgeräts angebrachten Drehvorrichtung |
| DE102016010840A1 (de) | 2016-09-08 | 2017-03-30 | Daimler Ag | Montagesystem |
| DE102017003641B4 (de) * | 2017-04-13 | 2019-10-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche |
| JP7436181B2 (ja) * | 2019-11-08 | 2024-02-21 | ファナック株式会社 | たわみ量算出装置及びプログラム |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD139454A1 (de) * | 1978-11-09 | 1980-01-02 | Gerd Huebner | Messkopf |
| GB2045437B (en) * | 1979-03-30 | 1984-02-08 | Renishaw Electrical Ltd | Coordinate measuring machine |
| JPS5769315A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-28 | Fanuc Ltd | Control system of industrial robot |
| US4710884A (en) * | 1984-12-19 | 1987-12-01 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Device for compensating for deflection in a pliable positioning apparatus |
| US4663852A (en) * | 1985-09-19 | 1987-05-12 | Digital Electronic Automation, Inc | Active error compensation in a coordinated measuring machine |
| DE3740070A1 (de) * | 1987-11-26 | 1989-06-08 | Zeiss Carl Fa | Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten |
| DE3842151A1 (de) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
| DE3843125A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
-
1990
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