JP2992901B2 - 画像表示装置の製造方法 - Google Patents
画像表示装置の製造方法Info
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- JP2992901B2 JP2992901B2 JP2251695A JP25169590A JP2992901B2 JP 2992901 B2 JP2992901 B2 JP 2992901B2 JP 2251695 A JP2251695 A JP 2251695A JP 25169590 A JP25169590 A JP 25169590A JP 2992901 B2 JP2992901 B2 JP 2992901B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子ビームを利用して画像表示を行わせる
画像表示装置の製造方法に関する。
画像表示装置の製造方法に関する。
［従来の技術］ 従来、平板状ディスプレイ装置としては、液晶表示装
置,EL表示装置，プラズマディスプレイパネルが実用化
されているが、視野角，カラー化，輝度等で画像表示用
には不十分なレベルである。特に陰極線管（CRT）に比
較すると表示性能の差は大きく、陰極線管に代替できる
ような状況に至っていない。
置,EL表示装置，プラズマディスプレイパネルが実用化
されているが、視野角，カラー化，輝度等で画像表示用
には不十分なレベルである。特に陰極線管（CRT）に比
較すると表示性能の差は大きく、陰極線管に代替できる
ような状況に至っていない。
一方、コンピューターによる情報処理の高度化，テレ
ビジョン放送の高画質化に伴い、高精細，大画面の平板
状ディスプレイ装置に対するニーズが急速に高まりつつ
ある。
ビジョン放送の高画質化に伴い、高精細，大画面の平板
状ディスプレイ装置に対するニーズが急速に高まりつつ
ある。
このため、画像表示用として電子ビーム加速型の平板
状ディスプレイ装置が、いくつか提案されてきた。例え
ば、、米国特許第3408532号明細書，米国特許第3935499
号明細書及び特開昭56−28445号公報に示されるように
平面状の電子源を有し、この電子源から電子ビームを引
き出し、蛍光体画素に対応する多数の孔部を設けた制御
電極群により制御，加速して、平面状蛍光面に照射し、
所望の蛍光体画素を発光させる構成となっている。
状ディスプレイ装置が、いくつか提案されてきた。例え
ば、、米国特許第3408532号明細書，米国特許第3935499
号明細書及び特開昭56−28445号公報に示されるように
平面状の電子源を有し、この電子源から電子ビームを引
き出し、蛍光体画素に対応する多数の孔部を設けた制御
電極群により制御，加速して、平面状蛍光面に照射し、
所望の蛍光体画素を発光させる構成となっている。
ところで、従来、簡単な構造で電子の放出が得られる
素子としては、例えば、エム・アイ・エリンソン（M.I.
Elinson）等によって発表された冷陰極素子が知られて
いる［ラジオ・エンジニアリング・エレクトロン・フィ
ジィッス（Radio・Eng.Electron.phys.）第10巻,1290〜
1296頁,1965年］。
素子としては、例えば、エム・アイ・エリンソン（M.I.
Elinson）等によって発表された冷陰極素子が知られて
いる［ラジオ・エンジニアリング・エレクトロン・フィ
ジィッス（Radio・Eng.Electron.phys.）第10巻,1290〜
1296頁,1965年］。
これは基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に平
行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利
用するもので、一般には表面伝導形電子放出素子と呼ば
れている。
行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利
用するもので、一般には表面伝導形電子放出素子と呼ば
れている。
この表面伝導形電子放出素子としては、前記エリンソ
ン等により開発されたSnO2（Sb）薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの［ジー・ディトマー“スイン・ソリド・
フィルムス”（G.Dittmer:“Thin Solid Films"）、
９巻,317頁，（1972年）］、ITO薄膜によるもの［エム
・ハートウェル・アンド・シー・ジー・フォンスタッド
“アイ・イー・イー・イー・トランス・イー・ディー・
コンフ”（M.Hartwell and C.G.Fonstad:“IEEE Tra
ns ED Conf."）519頁，（1975年）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久他：“青空",第26巻，第１号,22
頁，（1983年）］等が報告されている。
ン等により開発されたSnO2（Sb）薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの［ジー・ディトマー“スイン・ソリド・
フィルムス”（G.Dittmer:“Thin Solid Films"）、
９巻,317頁，（1972年）］、ITO薄膜によるもの［エム
・ハートウェル・アンド・シー・ジー・フォンスタッド
“アイ・イー・イー・イー・トランス・イー・ディー・
コンフ”（M.Hartwell and C.G.Fonstad:“IEEE Tra
ns ED Conf."）519頁，（1975年）］、カーボン薄膜
によるもの［荒木久他：“青空",第26巻，第１号,22
頁，（1983年）］等が報告されている。
これらの表面伝導形電子放出素子は、 １）高い電子放出効率が得られる、 ２）構造が簡単であるため、製造が容易である、 ３）同一基板上に多数の素子を配列形成できる、 等の利点を有する。
以下、前記表面伝導形電子放出素子である面状冷陰極
を使用した、平板型画像表示装置の従来例を図面を参照
しながら説明する。
を使用した、平板型画像表示装置の従来例を図面を参照
しながら説明する。
第３図は、従来の平板型画像表示装置を示すものであ
る。第３図において後方から前方に向かって順に面状冷
陰極12を配置した背面基板11,第１のスペーサ13,電子ビ
ーム流を制御する制御電極14と電子ビームを蛍光面に集
束させるための集束電極16とを具備した、一定の間隔で
孔15−１の開いている電極基板15,第２のスペーサ17,蛍
光体18および電子ビーム加速電極を具備した表示窓板19
が構成されており、上記構成部材は、端部を低融点ガラ
スフリットにて封着され内部を真空にして収納される。
真空排気は、真空排気管20にて排気される。
る。第３図において後方から前方に向かって順に面状冷
陰極12を配置した背面基板11,第１のスペーサ13,電子ビ
ーム流を制御する制御電極14と電子ビームを蛍光面に集
束させるための集束電極16とを具備した、一定の間隔で
孔15−１の開いている電極基板15,第２のスペーサ17,蛍
光体18および電子ビーム加速電極を具備した表示窓板19
が構成されており、上記構成部材は、端部を低融点ガラ
スフリットにて封着され内部を真空にして収納される。
真空排気は、真空排気管20にて排気される。
ここで、前記第１のスペーサ13および第２のスペーサ
17は、電気的に絶縁体からなるスペーサで、ガラス・セ
ラミック等を使用している。また電極基板15もガラス・
セラミック等を使用し、両面には制御電極14,集束電極1
6がそれぞれスクリーン印刷等により形成されている。
第１および第２のスペーサ，電極基板には、それぞれ孔
15−１、面状冷陰極に平行なスリット13−1,17−1,真空
排気用スリット15−２を形成している。これら孔、スリ
ットはエッチングあるいは、機械加工等によって加工で
きる。
17は、電気的に絶縁体からなるスペーサで、ガラス・セ
ラミック等を使用している。また電極基板15もガラス・
セラミック等を使用し、両面には制御電極14,集束電極1
6がそれぞれスクリーン印刷等により形成されている。
第１および第２のスペーサ，電極基板には、それぞれ孔
15−１、面状冷陰極に平行なスリット13−1,17−1,真空
排気用スリット15−２を形成している。これら孔、スリ
ットはエッチングあるいは、機械加工等によって加工で
きる。
第１のスペーサ13及び電極基板15は、1.0mm程度の厚
さで、第２のスペーサ17は上，下基板間の放電対策のた
め、３〜5mm程度の厚さを持っている。
さで、第２のスペーサ17は上，下基板間の放電対策のた
め、３〜5mm程度の厚さを持っている。
また表示窓板19には透明導電膜からなる電子ビーム加
速電極（図示せず）とこの電極上に、RGBの蛍光体18と
メタルバック層（図示せず）が形成されており、加速電
極には、10KV〜20KVの高電圧が印加され、内部を構成し
ている。
速電極（図示せず）とこの電極上に、RGBの蛍光体18と
メタルバック層（図示せず）が形成されており、加速電
極には、10KV〜20KVの高電圧が印加され、内部を構成し
ている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来例では画像を形成する構成要
素と装置を真空排気維持する構成要素が同一外囲器内に
あるため、次のような欠点があった。
素と装置を真空排気維持する構成要素が同一外囲器内に
あるため、次のような欠点があった。
．真空排気用の真空排気管及び真空を維持するゲッタ
保持部材とが画像表示装置の厚み方向に設けられている
ため、装置全体が厚み方向で大きくなってしまう。
保持部材とが画像表示装置の厚み方向に設けられている
ため、装置全体が厚み方向で大きくなってしまう。
．さらに、真空維持部材であるゲッタを動作させる
と、かかるゲッタ材が拡がって、外囲器内に付着し、他
の構成要素に悪影響を及ぼすおそれがあることから、で
きるだけその影響を避けるために内部空間を大きめにと
る必要がある。その結果として装置が大きくなる。
と、かかるゲッタ材が拡がって、外囲器内に付着し、他
の構成要素に悪影響を及ぼすおそれがあることから、で
きるだけその影響を避けるために内部空間を大きめにと
る必要がある。その結果として装置が大きくなる。
．また、画像表示部材が形成される基板材が真空容器
となる外囲器の部材を兼ねているため、耐大気圧構造上
基板材が厚くかつ極めて重量が重くなり、基板材上に画
像表示部材を形成，製造することが困難である。
となる外囲器の部材を兼ねているため、耐大気圧構造上
基板材が厚くかつ極めて重量が重くなり、基板材上に画
像表示部材を形成，製造することが困難である。
すなわち、本発明の目的とするところは、上述のよう
な問題点を解消し得る画像表示装置の製造方法を提供す
ることにある。
な問題点を解消し得る画像表示装置の製造方法を提供す
ることにある。
［課題を解決するための手段及び作用］ 本発明の特徴とするところは、 基板と、該基板上に配置された複数の面状冷陰極から
なる電子源と、該電子源から放出される電子ビームを変
調又は加速する電極と、電子ビームの照射により発光す
る蛍光面部材とが少なくとも外囲器内に収納され、か
つ、真空排気管による排気と、動作させるとゲッタ材が
拡がるゲッタの動作とを行う画像表示装置の製造方法に
おいて、 前記電子源、電極及び蛍光面部材を有する表示用空間
とは前記基板の反対側に、ゲッタを有しかつ真空排気管
が接続されたゲッタ用空間を、前記表示用空間とは基板
で仕切って設けると共に、該ゲッタ用空間と前記表示用
空間とを基板に形成した孔を介して連通させ、前記真空
排気管による排気と、該ゲッタ用空間内での前記ゲッタ
の動作とを行うことを特徴とする画像表示装置の製造方
法としている点にある。
なる電子源と、該電子源から放出される電子ビームを変
調又は加速する電極と、電子ビームの照射により発光す
る蛍光面部材とが少なくとも外囲器内に収納され、か
つ、真空排気管による排気と、動作させるとゲッタ材が
拡がるゲッタの動作とを行う画像表示装置の製造方法に
おいて、 前記電子源、電極及び蛍光面部材を有する表示用空間
とは前記基板の反対側に、ゲッタを有しかつ真空排気管
が接続されたゲッタ用空間を、前記表示用空間とは基板
で仕切って設けると共に、該ゲッタ用空間と前記表示用
空間とを基板に形成した孔を介して連通させ、前記真空
排気管による排気と、該ゲッタ用空間内での前記ゲッタ
の動作とを行うことを特徴とする画像表示装置の製造方
法としている点にある。
本発明においては、表示用空間とゲッタ用空間を形成
するための仕切として、前記電子源を形成する基板を用
いていることから、構造の簡略化を図ることができる。
するための仕切として、前記電子源を形成する基板を用
いていることから、構造の簡略化を図ることができる。
また、本発明によれば、ゲッタは表示用空間とは仕切
られたゲッタ用空間で動作され、基板に形成された孔を
介して表示用空間の真空度維持に寄与することから、表
示用空間に対するゲッタ材の拡散を極力抑えることがで
き、装置の寿命の点でも効果的である。
られたゲッタ用空間で動作され、基板に形成された孔を
介して表示用空間の真空度維持に寄与することから、表
示用空間に対するゲッタ材の拡散を極力抑えることがで
き、装置の寿命の点でも効果的である。
更には、後述する実施例のように、基板に外圧がかか
らない構成とすることにより、基板の薄肉化が可能であ
り、より薄型の装置の製造が可能となる。
らない構成とすることにより、基板の薄肉化が可能であ
り、より薄型の装置の製造が可能となる。
［実施例］ 以下に、本発明の実施例を図面により説明する。
実施例１ 第１図は、本発明の一実施例における画像表示装置の
断面を示すものである。
断面を示すものである。
第１図において、１は面状冷陰極及び変調電極を形成
する基板材、２は面状冷陰極、３は絶縁層、４は変調電
極、5,6は絶縁性スペーサ、７はゲッタ、８は蛍光体及
びメタルバック、９は背面基板、10は表示窓板、11は真
空容器内を同一排気系で排気するための孔、20は容器内
を排気させるための排気管である。上記構成部品を低融
点ガラスフリット（図示せず）により封着し、真空排気
管20により内部を真空にし、真空排気管20を封止し、ゲ
ッタ７を動作させ、容器内の真空を排気，維持する。
する基板材、２は面状冷陰極、３は絶縁層、４は変調電
極、5,6は絶縁性スペーサ、７はゲッタ、８は蛍光体及
びメタルバック、９は背面基板、10は表示窓板、11は真
空容器内を同一排気系で排気するための孔、20は容器内
を排気させるための排気管である。上記構成部品を低融
点ガラスフリット（図示せず）により封着し、真空排気
管20により内部を真空にし、真空排気管20を封止し、ゲ
ッタ７を動作させ、容器内の真空を排気，維持する。
本発明の装置の作製においては、先ず基板材１として
板厚1.1mmの青板ガラスを用い、真空成膜法及びフォト
リソグラフィー技術により面状冷陰極2,絶縁層3,及び変
調電極４を形成し、次いで基板材１に約5mmの孔11をあ
け、板厚5mmの青板ガラスからなる絶縁性スペーサ5,6、
背面基板９、真空排気管20、ゲッタ７及び、透明電極，
蛍光体及びメタルバックが形成された表示窓板10を第１
図のごとく低融点ガラスフリットにより封着形成し、真
空排気管20を通して約１×10-7Torrまで真空排気後、真
空排気管20を封止し、次いでゲッタ７を動作させ、表示
用空間とゲッタ用空間が基板材１を境に分割されると共
に同一の真空を得る画像表示装置を完成した。本画像表
示装置では、ゲッタ７を動作させても、面状冷陰極2,絶
縁層3,変調電極4,表示窓板10等に何んら影響を及ぼさな
いことは言うまでもない。
板厚1.1mmの青板ガラスを用い、真空成膜法及びフォト
リソグラフィー技術により面状冷陰極2,絶縁層3,及び変
調電極４を形成し、次いで基板材１に約5mmの孔11をあ
け、板厚5mmの青板ガラスからなる絶縁性スペーサ5,6、
背面基板９、真空排気管20、ゲッタ７及び、透明電極，
蛍光体及びメタルバックが形成された表示窓板10を第１
図のごとく低融点ガラスフリットにより封着形成し、真
空排気管20を通して約１×10-7Torrまで真空排気後、真
空排気管20を封止し、次いでゲッタ７を動作させ、表示
用空間とゲッタ用空間が基板材１を境に分割されると共
に同一の真空を得る画像表示装置を完成した。本画像表
示装置では、ゲッタ７を動作させても、面状冷陰極2,絶
縁層3,変調電極4,表示窓板10等に何んら影響を及ぼさな
いことは言うまでもない。
また、本実施例にて製造された画像表示装置は、画像
表示部約86.4mm（約3.4inch）、画像表示装置サイズ100
mm×90mmであった。従来の構成により形成される画像表
示装置サイズは100mm×120mmの寸法が必要であり、約30
mmほど小さくすることができた。
表示部約86.4mm（約3.4inch）、画像表示装置サイズ100
mm×90mmであった。従来の構成により形成される画像表
示装置サイズは100mm×120mmの寸法が必要であり、約30
mmほど小さくすることができた。
さらに、基板材１上に面状冷陰極2,絶縁層３及び変調
電極４を形成する製造工程においても、従来の構成では
基板材１と背面基板９が兼用のため、本実施例程度の画
像表示装置を形成するには耐大気圧構造上5mm以上の板
厚が必要となり製造が非常に困難であったのに対し、基
板材１と背面基板９を分けることにより、何んら問題な
く所望の面状冷陰極2,絶縁層３及び変調電極４を形成す
ることができる。
電極４を形成する製造工程においても、従来の構成では
基板材１と背面基板９が兼用のため、本実施例程度の画
像表示装置を形成するには耐大気圧構造上5mm以上の板
厚が必要となり製造が非常に困難であったのに対し、基
板材１と背面基板９を分けることにより、何んら問題な
く所望の面状冷陰極2,絶縁層３及び変調電極４を形成す
ることができる。
実施例２ 第２に、本発明の第２の実施例を示す。本実施例にお
いても実施例１と同様の部材を用いた。
いても実施例１と同様の部材を用いた。
本実施例では、基板材１に開孔11を設ける代わりに、
基板材１を２分割（1,1′）して長孔11′を確保し、第
２図のごとく画像表示装置を形成したところ、実施例１
と同様に、ゲッタ７による表示用空間への影響の全くな
い小型な画像表示装置を製造することができた。
基板材１を２分割（1,1′）して長孔11′を確保し、第
２図のごとく画像表示装置を形成したところ、実施例１
と同様に、ゲッタ７による表示用空間への影響の全くな
い小型な画像表示装置を製造することができた。
［発明の効果］ 以上説明したように、真空にされた画像表示装置の内
部空間を表示用空間とゲッタ用空間を電子源等が形成さ
れる基板材にて分割することにより、ゲッタ材による画
像表示部への影響を極力抑え、かつ、画像表示装置サイ
ズを小さくできる効果があり、一方、基板材が薄くでき
ることから、薄型の大画面画像表示装置を可能ならしめ
る効果がある。
部空間を表示用空間とゲッタ用空間を電子源等が形成さ
れる基板材にて分割することにより、ゲッタ材による画
像表示部への影響を極力抑え、かつ、画像表示装置サイ
ズを小さくできる効果があり、一方、基板材が薄くでき
ることから、薄型の大画面画像表示装置を可能ならしめ
る効果がある。
第１図は、本発明の第１の実施例における画像表示装置
の断面図である。 第２図は、本発明の第２の実施例における画像表示装置
の断面図である。 第３図は、従来の画像表示装置の構成図である。 1,1′……基板 ２……面状冷陰極 ３……絶縁層 ４……変調電極 5,6……絶縁性スペーサ ７……ゲッタ ８……蛍光体 ９……背面基板 10……表示窓板 11……孔 11′……長孔 20……真空排気管
の断面図である。 第２図は、本発明の第２の実施例における画像表示装置
の断面図である。 第３図は、従来の画像表示装置の構成図である。 1,1′……基板 ２……面状冷陰極 ３……絶縁層 ４……変調電極 5,6……絶縁性スペーサ ７……ゲッタ ８……蛍光体 ９……背面基板 10……表示窓板 11……孔 11′……長孔 20……真空排気管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中田 耕平 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 中村 尚人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−101844（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−12434（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−177234（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−64845（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/39 H01J 9/385 H01J 31/12
Claims (1)
- 【請求項１】基板と、該基板上に配置された複数の面状
冷陰極からなる電子源と、該電子源から放出される電子
ビームを変調又は加速する電極と、電子ビームの照射に
より発光する蛍光面部材とが少なくとも外囲器内に収納
され、かつ、真空排気管による排気と、動作させるとゲ
ッタ材が拡がるゲッタの動作とを行う画像表示装置の製
造方法において、 前記電子源、電極及び蛍光面部材を有する表示用空間と
は前記基板の反対側に、ゲッタを有しかつ真空排気管が
接続されたゲッタ用空間を、前記表示用空間とは基板で
仕切って設けると共に、該ゲッタ用空間と前記表示用空
間とを基板に形成した孔を介して連通させ、前記真空排
気管による排気と、該ゲッタ用空間内での前記ゲッタの
動作とを行うことを特徴とする画像表示装置の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2251695A JP2992901B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 画像表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2251695A JP2992901B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 画像表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04132147A JPH04132147A (ja) | 1992-05-06 |
| JP2992901B2 true JP2992901B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17226635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2251695A Expired - Fee Related JP2992901B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 画像表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992901B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2946189B2 (ja) * | 1994-10-17 | 1999-09-06 | キヤノン株式会社 | 電子源及び画像形成装置、並びにこれらの活性化方法 |
| US5729086A (en) * | 1995-02-28 | 1998-03-17 | Institute For Advanced Engineering | Field emission display panel having a main space and an auxiliary space |
| JP2009181926A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Panasonic Corp | 電界放出型電子源装置 |
| JP5044005B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-10-10 | マイクロＸジャパン株式会社 | 電界放射装置 |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP2251695A patent/JP2992901B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04132147A (ja) | 1992-05-06 |
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