JP2976311B2 - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
搬送装置及び搬送方法Info
- Publication number
- JP2976311B2 JP2976311B2 JP13199091A JP13199091A JP2976311B2 JP 2976311 B2 JP2976311 B2 JP 2976311B2 JP 13199091 A JP13199091 A JP 13199091A JP 13199091 A JP13199091 A JP 13199091A JP 2976311 B2 JP2976311 B2 JP 2976311B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- wafer
- carriers
- wafers
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハの
キャリアを搬送するための搬送装置及び搬送方法に関す
る。
キャリアを搬送するための搬送装置及び搬送方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】例えば半導体ウエハを処理して集積回路
素子を得るためには、成膜、パターン化、エッチングあ
るいは洗浄などの種々の処理が必要であり、このためウ
エハはキャリア(容器)に収納されて各処理のステーシ
ョンの間を搬送されると共に、次の処理待ちのために一
旦ストッカ(保管領域)に保管されたり、ストッカから
運び出されたりする。
素子を得るためには、成膜、パターン化、エッチングあ
るいは洗浄などの種々の処理が必要であり、このためウ
エハはキャリア(容器)に収納されて各処理のステーシ
ョンの間を搬送されると共に、次の処理待ちのために一
旦ストッカ(保管領域)に保管されたり、ストッカから
運び出されたりする。
【0003】ここで一般の原料品例えば紙材や成形品、
あるいは機械部品等を工場内で運んだり、保管棚に収納
したりする場合には、パレットを介してフォークリフト
等により容易に複数個まとめて搬送することができる。
しかし、半導体製造には高度なクリーン度が要求されて
おり、半導体ウエハの搬送については、搬送機構自体か
ら発塵するものは使用できないし、また出来る限り振動
のない状態で搬送しなければならないという特殊な事情
があるため、例えばウエハを収納したキャリアを搬送ロ
ボットにより1個ずつ搬送し、ストッカへの保管につい
ても奥に向かってキャリアを何列も並べることなく手前
側一列とすることが多い。
あるいは機械部品等を工場内で運んだり、保管棚に収納
したりする場合には、パレットを介してフォークリフト
等により容易に複数個まとめて搬送することができる。
しかし、半導体製造には高度なクリーン度が要求されて
おり、半導体ウエハの搬送については、搬送機構自体か
ら発塵するものは使用できないし、また出来る限り振動
のない状態で搬送しなければならないという特殊な事情
があるため、例えばウエハを収納したキャリアを搬送ロ
ボットにより1個ずつ搬送し、ストッカへの保管につい
ても奥に向かってキャリアを何列も並べることなく手前
側一列とすることが多い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところでウエハの処理
工程が多くなるにつれて、搬送工程も多くなり、搬送に
おけるスループットの向上を図る必要がある。そのため
には、キャリアを1個ずつ搬送するのではなく、なるべ
く多くのキャリアをまとめてかつ迅速に搬送することが
望ましいが、上述のような事情から例えば複数のキャリ
アを同時に持ち上げるためには、重量、スペース共増加
するため搬送機構の各部の肉厚を大きくして強靭な構造
としなければならず、このため装置が大型化してしまう
ので、キャリアの一括搬送を簡単に取り扱うことはでき
ない。このような困難牲は、ウエハのサイズが6インチ
から8インチへ、更に12インチへと大型化するにつれ
て一層大きくなる。
工程が多くなるにつれて、搬送工程も多くなり、搬送に
おけるスループットの向上を図る必要がある。そのため
には、キャリアを1個ずつ搬送するのではなく、なるべ
く多くのキャリアをまとめてかつ迅速に搬送することが
望ましいが、上述のような事情から例えば複数のキャリ
アを同時に持ち上げるためには、重量、スペース共増加
するため搬送機構の各部の肉厚を大きくして強靭な構造
としなければならず、このため装置が大型化してしまう
ので、キャリアの一括搬送を簡単に取り扱うことはでき
ない。このような困難牲は、ウエハのサイズが6インチ
から8インチへ、更に12インチへと大型化するにつれ
て一層大きくなる。
【0005】本発明はこのような事情のもとになされた
ものであり、その目的は、例えばウエハのキャリアを複
数個一括して搬送する場合に搬送機構の小型化を図るこ
とができる搬送方法を提供することにある。
ものであり、その目的は、例えばウエハのキャリアを複
数個一括して搬送する場合に搬送機構の小型化を図るこ
とができる搬送方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明にかかる
搬送装置は、多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並列
に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウエ
ハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬送
装置において、 前記洗浄システムの手前側から奥側を見
て各ウエハキャリア内のウエハが前後に並ぶようにかつ
2個のウエハキャリアが互いに同一の向きで左右に隣接
して載置されるステ−ジと、このステ−ジに載置された
前記2個のウエハキャリアを、当該2個のウエハキャリ
アのウエハの並びが一列となるようにかつウエハキャリ
アが互いに反対の向きとなるように並び替える手段と、
この手段で並び替えられた2個のウエハキャリアを、2
個のウエハキャリアの並びに沿って伸びる一対のア−ム
によりその並びの両側から把持して搬送する搬送手段
と、を備えたことを特徴とする。 この搬送装置において
は、搬送手段により搬送された2個のウエハキャリアが
載置される移し替えステ−ジと、この移し替えステ−ジ
に搬送された2個のウエハキャリア内のウエハを一括し
て突き上げる突き上げ手段と、この突き上げ手段で突き
上げられた半導体ウエハを一括して把持する把持手段
と、を備えた構成とすることができる。請求項3にかか
る搬送方法は、多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並
列に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウ
エハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬
送方法において、前記洗浄システムの手前側から奥側を
見て各ウエハキャリア内のウエハが前後に並ぶようにか
つ2個のウエハキャリアを互いに同一の向きで左右に隣
接してステ−ジに載置する工程と、このステ−ジに載置
された前記2個のウエハキャリアを、当該2個のウエハ
キャリアのウエハの並びが一列となるようにかつウエハ
キャリアが互いに反対の向きとなるように並べ替える工
程と、この工程で並び替えられた2個のウエハキャリア
内のウエハを一括して突き上げ、これを把持手段により
把持する工程と、を含むことを特徴とする。
搬送装置は、多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並列
に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウエ
ハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬送
装置において、 前記洗浄システムの手前側から奥側を見
て各ウエハキャリア内のウエハが前後に並ぶようにかつ
2個のウエハキャリアが互いに同一の向きで左右に隣接
して載置されるステ−ジと、このステ−ジに載置された
前記2個のウエハキャリアを、当該2個のウエハキャリ
アのウエハの並びが一列となるようにかつウエハキャリ
アが互いに反対の向きとなるように並び替える手段と、
この手段で並び替えられた2個のウエハキャリアを、2
個のウエハキャリアの並びに沿って伸びる一対のア−ム
によりその並びの両側から把持して搬送する搬送手段
と、を備えたことを特徴とする。 この搬送装置において
は、搬送手段により搬送された2個のウエハキャリアが
載置される移し替えステ−ジと、この移し替えステ−ジ
に搬送された2個のウエハキャリア内のウエハを一括し
て突き上げる突き上げ手段と、この突き上げ手段で突き
上げられた半導体ウエハを一括して把持する把持手段
と、を備えた構成とすることができる。請求項3にかか
る搬送方法は、多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並
列に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウ
エハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬
送方法において、前記洗浄システムの手前側から奥側を
見て各ウエハキャリア内のウエハが前後に並ぶようにか
つ2個のウエハキャリアを互いに同一の向きで左右に隣
接してステ−ジに載置する工程と、このステ−ジに載置
された前記2個のウエハキャリアを、当該2個のウエハ
キャリアのウエハの並びが一列となるようにかつウエハ
キャリアが互いに反対の向きとなるように並べ替える工
程と、この工程で並び替えられた2個のウエハキャリア
内のウエハを一括して突き上げ、これを把持手段により
把持する工程と、を含むことを特徴とする。
【0007】
【作用】例えば作業者がウエハを収納した2個のキャリ
アを、搬入ステージに把手を正面側にして置いたとして
も、搬送ロボットによりこれらキャリアを、例えば把手
のない面(背面)同士を対向させ、接近あるいは接触さ
せた状態にする。このような状態で例えば2個のキャリ
アを把持アームで持ち上げれば、一方のキャリアの一端
から他方のキャリアの他端までの長さが短くなり、この
結果アームにおけるモーメントが小さくなるし、また搬
送路の幅も小さくて済む。
アを、搬入ステージに把手を正面側にして置いたとして
も、搬送ロボットによりこれらキャリアを、例えば把手
のない面(背面)同士を対向させ、接近あるいは接触さ
せた状態にする。このような状態で例えば2個のキャリ
アを把持アームで持ち上げれば、一方のキャリアの一端
から他方のキャリアの他端までの長さが短くなり、この
結果アームにおけるモーメントが小さくなるし、また搬
送路の幅も小さくて済む。
【0008】
【実施例】本発明の実施例に係る搬送装置は、例えばキ
ャリアとウエハとを分離して洗浄するための洗浄システ
ムの中に組み込まれ、当該実施例を説明する前に洗浄シ
ステムの全体について図1を参照しながら簡単に説明す
る。
ャリアとウエハとを分離して洗浄するための洗浄システ
ムの中に組み込まれ、当該実施例を説明する前に洗浄シ
ステムの全体について図1を参照しながら簡単に説明す
る。
【0009】100はウエハキャリアの搬入ステージで
あり、例えばCVD処理されたウエハWを縦向きで収納
した搬送用キャリアCが外部からここに運ばれる。搬入
ステージ100に置かれたキャリアCは、受け渡し部1
01に移載され、ここから洗浄システムの中に搬送され
ていく。また102は搬出ステージであり、洗浄システ
ムから送り出されたキャリアCが受け渡し部101を介
してここに置かれる。これらの間のキャリアCの移載は
インターフェイスロボットIFによって行われる。
あり、例えばCVD処理されたウエハWを縦向きで収納
した搬送用キャリアCが外部からここに運ばれる。搬入
ステージ100に置かれたキャリアCは、受け渡し部1
01に移載され、ここから洗浄システムの中に搬送され
ていく。また102は搬出ステージであり、洗浄システ
ムから送り出されたキャリアCが受け渡し部101を介
してここに置かれる。これらの間のキャリアCの移載は
インターフェイスロボットIFによって行われる。
【0010】103はアームを備えた搬送用キャリアエ
レベータであり、受け渡し部101を介して受け取った
キャリアCを、図示しないストッカに保管すると共に、
当該ストッカに保管されているキャリアCを、移載ロボ
ット104に間接的に受け渡す。この移載ロボット10
4は、そのキャリアCを、移動ステージ105に渡した
り、あるいはその逆の移載を行ったりする。
レベータであり、受け渡し部101を介して受け取った
キャリアCを、図示しないストッカに保管すると共に、
当該ストッカに保管されているキャリアCを、移載ロボ
ット104に間接的に受け渡す。この移載ロボット10
4は、そのキャリアCを、移動ステージ105に渡した
り、あるいはその逆の移載を行ったりする。
【0011】前記移動ステージ105上においては、そ
の上方の把持アーム106と下方の図示しない突き上げ
手段の協働作用により、未洗浄のウエハが搬送用キャリ
アCから洗浄用キャリアDに移し替えられ、また洗浄済
みのウエハが洗浄用キャリアDから搬送用キャリアCに
移し替えられる。
の上方の把持アーム106と下方の図示しない突き上げ
手段の協働作用により、未洗浄のウエハが搬送用キャリ
アCから洗浄用キャリアDに移し替えられ、また洗浄済
みのウエハが洗浄用キャリアDから搬送用キャリアCに
移し替えられる。
【0012】ここでウエハと分離された搬送用キャリア
Cは、搬送路L1,L2の一方によって図示しない外部
のキャリア洗浄部に送られると共に洗浄後他方の搬送路
によって戻され、洗浄済みウエハが収納される。
Cは、搬送路L1,L2の一方によって図示しない外部
のキャリア洗浄部に送られると共に洗浄後他方の搬送路
によって戻され、洗浄済みウエハが収納される。
【0013】107はアームを備えた洗浄用キャリアエ
レベータであり、前記移動ステージ105上の洗浄用キ
ャリアDを図示しないストッカに保管すると共に、当該
ストッカに保管されている洗浄用キャリアDを、洗浄処
理部への出力ポート108に受け渡す。このようにして
図1のシステムでは、搬送用キャリアとウエハとが分離
されて夫々洗浄され、洗浄後再び合体して、移載ロボッ
ト104や搬送用キャリアエレベータ103を介して搬
出ステージ102に送り出される。
レベータであり、前記移動ステージ105上の洗浄用キ
ャリアDを図示しないストッカに保管すると共に、当該
ストッカに保管されている洗浄用キャリアDを、洗浄処
理部への出力ポート108に受け渡す。このようにして
図1のシステムでは、搬送用キャリアとウエハとが分離
されて夫々洗浄され、洗浄後再び合体して、移載ロボッ
ト104や搬送用キャリアエレベータ103を介して搬
出ステージ102に送り出される。
【0014】次に上述のシステムに組み込まれた本発明
の実施例である搬送装置をこの方法に用いる装置と共に
説明する。
の実施例である搬送装置をこの方法に用いる装置と共に
説明する。
【0015】上記の洗浄システムの入力ポート及び出力
ポートに夫々相当する搬入ステージ100及び搬出ステ
ージ102と、受け渡し部101とについて、その平面
図を図2に示すと、搬入ステージ100は、互に左右に
並べられた2個のキャリア載置台1A,1Bを備えてい
る。各載置台1A,1Bには、図3に示すようにキャリ
アCの底部四隅を保持するためのガイド部2A、2Bが
取り付けられており、キャリアCはこれらガイド部2
A、2B上にて、図2の点線で示すように把手Tのある
面が正面を向いた状態で保持される。なおこのキャリア
Cの把手Tは本発明の突出部に相当する。また載置台1
A,1Bにおいて、キャリアCの背面(把手Tのある面
と反対の面)が位置する部位には、図4に示すキャリア
Cの背面下部側の大きな切り欠きC1に適合する形状の
突起板11が立設されている。このようにすればキャリ
アCの正面下部側の切り欠きC2は背面側の切り欠きC
1よりも小さいので、キャリアCを前後逆にして載置台
1A,1Bに置いた場合には当該キャリアCが大きく傾
くから、キャリアCを常に正しい向きで置くことができ
る。
ポートに夫々相当する搬入ステージ100及び搬出ステ
ージ102と、受け渡し部101とについて、その平面
図を図2に示すと、搬入ステージ100は、互に左右に
並べられた2個のキャリア載置台1A,1Bを備えてい
る。各載置台1A,1Bには、図3に示すようにキャリ
アCの底部四隅を保持するためのガイド部2A、2Bが
取り付けられており、キャリアCはこれらガイド部2
A、2B上にて、図2の点線で示すように把手Tのある
面が正面を向いた状態で保持される。なおこのキャリア
Cの把手Tは本発明の突出部に相当する。また載置台1
A,1Bにおいて、キャリアCの背面(把手Tのある面
と反対の面)が位置する部位には、図4に示すキャリア
Cの背面下部側の大きな切り欠きC1に適合する形状の
突起板11が立設されている。このようにすればキャリ
アCの正面下部側の切り欠きC2は背面側の切り欠きC
1よりも小さいので、キャリアCを前後逆にして載置台
1A,1Bに置いた場合には当該キャリアCが大きく傾
くから、キャリアCを常に正しい向きで置くことができ
る。
【0016】更に前記載置台1A,1Bには、後述する
インターフェイスロボット3(図1のIFで示すロボッ
トに相当する。)が下から上に抜けられるようにT字型
の切欠部12が形成されている。なお、前記搬出ステー
ジ102についても全く同様の構成であるため、その説
明は省略する。
インターフェイスロボット3(図1のIFで示すロボッ
トに相当する。)が下から上に抜けられるようにT字型
の切欠部12が形成されている。なお、前記搬出ステー
ジ102についても全く同様の構成であるため、その説
明は省略する。
【0017】搬入ステージ100、搬出ステージ10
2、受け渡し部101の間でキャリアCを移載するイン
ターフェイスロボット3は図5に示すように、昇降台4
1上にてモータMと図示しない伝達機構とにより点Zを
中心に鉛直軸のまわりに回動するキャリア支持部4を備
えており、前記昇降台41は、鉛直に伸びるように基枠
42に取り付けられたボールネジ43によって昇降でき
るようになっており、また前記基枠42は、水平かつ左
右方向に伸びるように固定枠44に取り付けられたボー
ルネジ45によって左右に移動できるようになってい
る。従って前記ロボット3は、上下、左右、回転(鉛直
軸のまわり)の自由度を備えている。
2、受け渡し部101の間でキャリアCを移載するイン
ターフェイスロボット3は図5に示すように、昇降台4
1上にてモータMと図示しない伝達機構とにより点Zを
中心に鉛直軸のまわりに回動するキャリア支持部4を備
えており、前記昇降台41は、鉛直に伸びるように基枠
42に取り付けられたボールネジ43によって昇降でき
るようになっており、また前記基枠42は、水平かつ左
右方向に伸びるように固定枠44に取り付けられたボー
ルネジ45によって左右に移動できるようになってい
る。従って前記ロボット3は、上下、左右、回転(鉛直
軸のまわり)の自由度を備えている。
【0018】前記受け渡し部101は、この例では図2
及び図6に示すように、前後方向に移動される移動ステ
ージ51を備えたインターフェイスライナー5により構
成され、移動ステージ51は例えばエアシリンダ52に
駆動されて固定板53上の図示しないガイドレールに沿
って前後方向に案内される。前記移動ステージ51に
は、図2に示すように2個のキャリアCの四隅を保持す
るためのガイド部6A、6Bが取り付けられており、2
個のキャリアCは、これらガイド部6A、6Bによっ
て、図2の点線で示すように把手Tのある面が横向きで
かつ互に反対向きの状態で保持される。
及び図6に示すように、前後方向に移動される移動ステ
ージ51を備えたインターフェイスライナー5により構
成され、移動ステージ51は例えばエアシリンダ52に
駆動されて固定板53上の図示しないガイドレールに沿
って前後方向に案内される。前記移動ステージ51に
は、図2に示すように2個のキャリアCの四隅を保持す
るためのガイド部6A、6Bが取り付けられており、2
個のキャリアCは、これらガイド部6A、6Bによっ
て、図2の点線で示すように把手Tのある面が横向きで
かつ互に反対向きの状態で保持される。
【0019】更に前記移動ステージ51には、載置台1
A,1Bと同様に前記ロボット3の通路であるT字型の
切欠部54が形成されており、この切欠部54内をロボ
ット3のキャリア支持部4が上から下にあるいは下から
上に抜けることにより、キャリアCが移動ステージ51
とロボット3との間で受け渡される。
A,1Bと同様に前記ロボット3の通路であるT字型の
切欠部54が形成されており、この切欠部54内をロボ
ット3のキャリア支持部4が上から下にあるいは下から
上に抜けることにより、キャリアCが移動ステージ51
とロボット3との間で受け渡される。
【0020】次に上述実施例の作用について述べる。例
えば外部から2個のキャリアCが搬入ステージ100の
載置台1A,1Bに、把手Tのある面を手前にして夫々
載置される。続いてインターフェイスロボット3が載置
台1BのキャリアCを受け取って、移動ステージ51上
の右側のガイド6A上に把手Tのある面を右に向けて受
け渡す。インターフェイスロボット3の搬送について
は、先ずロボット3の支持部4を載置台1Bの切欠部1
2の下方に位置させ(図2の一点鎖線の状態)、次いで
上昇させてキャリアCを載置台1Bから持ち上げ、前記
ロボット3の支持部4を横に移動させてガイド6A側の
切欠部54の通路上に位置させ、その後移動ステージ5
1を前方側に押し出して支持部4が切欠部54と重なっ
た状態とする。更に支持部4を90度または270度回
転させてキャリアCの把手Tが右向きとなるようにし、
しかる後支持部4を降下させて当該キャリアCをガイド
部6A上に置く。続いて載置台1A上のキャリアCを取
りに行き、当該キャリアCを同様にして移動ステージ5
1上の左側ガイド部6B上に置く。この場合キャリアC
は把手Tが左向きとなるように載置され、従って移動ス
テージ51上の2個のキャリアCは、把手Tとは反対側
の背面同士が互に対向した状態で置かれることになる。
従って把手Tが対向するように配置する場合と比較する
と、約把手2個分の高さだけ左右方向の占有長さを短く
できる。
えば外部から2個のキャリアCが搬入ステージ100の
載置台1A,1Bに、把手Tのある面を手前にして夫々
載置される。続いてインターフェイスロボット3が載置
台1BのキャリアCを受け取って、移動ステージ51上
の右側のガイド6A上に把手Tのある面を右に向けて受
け渡す。インターフェイスロボット3の搬送について
は、先ずロボット3の支持部4を載置台1Bの切欠部1
2の下方に位置させ(図2の一点鎖線の状態)、次いで
上昇させてキャリアCを載置台1Bから持ち上げ、前記
ロボット3の支持部4を横に移動させてガイド6A側の
切欠部54の通路上に位置させ、その後移動ステージ5
1を前方側に押し出して支持部4が切欠部54と重なっ
た状態とする。更に支持部4を90度または270度回
転させてキャリアCの把手Tが右向きとなるようにし、
しかる後支持部4を降下させて当該キャリアCをガイド
部6A上に置く。続いて載置台1A上のキャリアCを取
りに行き、当該キャリアCを同様にして移動ステージ5
1上の左側ガイド部6B上に置く。この場合キャリアC
は把手Tが左向きとなるように載置され、従って移動ス
テージ51上の2個のキャリアCは、把手Tとは反対側
の背面同士が互に対向した状態で置かれることになる。
従って把手Tが対向するように配置する場合と比較する
と、約把手2個分の高さだけ左右方向の占有長さを短く
できる。
【0021】このように2個のキャリアCがインターフ
ェイスライナー5(移動ステージ51)上に載置される
と、当該ライナー5は図7に示すようにこれらキャリア
Cを搬送用キャリアエレベータ103の作業領域の位置
P1(図1のP1にも相当する)まで搬送し、その後前
記エレベータ103のアームによりキャリアCを2個同
時に把持して、例えば上方の図示しないストッカに搬送
する。
ェイスライナー5(移動ステージ51)上に載置される
と、当該ライナー5は図7に示すようにこれらキャリア
Cを搬送用キャリアエレベータ103の作業領域の位置
P1(図1のP1にも相当する)まで搬送し、その後前
記エレベータ103のアームによりキャリアCを2個同
時に把持して、例えば上方の図示しないストッカに搬送
する。
【0022】そして上述のように背面同士を互に対向し
た2個のキャリアCを1組として、既に図1を参照しな
がら述べたように、前記エレベータ103によりストッ
カから取り出されて位置P2に置かれた後洗浄用キャリ
アDとの移し替え領域(移動ステージ105に相当す
る)まで搬送され、また洗浄済みウエハを収納した洗浄
済みキャリアCは、上述の流れとは逆の流れで外部に取
り出される。なお、インターフェイスライナー5の2個
のキャリアCは、搬入ステージ100からの受け渡しと
逆の動作で搬出ステージ102の載置部1A,1Bに受
け渡される。また洗浄用キャリアDについても、搬送用
キャリアCと同様に背面同士を互に対向した2個を1組
としてストッカへの保管や洗浄部への搬送が行われる。
た2個のキャリアCを1組として、既に図1を参照しな
がら述べたように、前記エレベータ103によりストッ
カから取り出されて位置P2に置かれた後洗浄用キャリ
アDとの移し替え領域(移動ステージ105に相当す
る)まで搬送され、また洗浄済みウエハを収納した洗浄
済みキャリアCは、上述の流れとは逆の流れで外部に取
り出される。なお、インターフェイスライナー5の2個
のキャリアCは、搬入ステージ100からの受け渡しと
逆の動作で搬出ステージ102の載置部1A,1Bに受
け渡される。また洗浄用キャリアDについても、搬送用
キャリアCと同様に背面同士を互に対向した2個を1組
としてストッカへの保管や洗浄部への搬送が行われる。
【0023】上述実施例では、被搬送物として突出部で
ある把手Tを備えたウエハ収納用のキャリアを例にとっ
て説明したが、本発明は、洗浄以外の処理をウエハに対
して行なうシステム中にてキャリアを一時的にストック
する場合にも適用できるし、更にはキャリアに限定され
ることなく、大きな重量でかつ安定した搬送が要求さ
れ、正面に突出部を有する例えば瀬戸物等を搬送する場
合にも好適に用いることができる。
ある把手Tを備えたウエハ収納用のキャリアを例にとっ
て説明したが、本発明は、洗浄以外の処理をウエハに対
して行なうシステム中にてキャリアを一時的にストック
する場合にも適用できるし、更にはキャリアに限定され
ることなく、大きな重量でかつ安定した搬送が要求さ
れ、正面に突出部を有する例えば瀬戸物等を搬送する場
合にも好適に用いることができる。
【0024】更にまた本発明は、突起物の反対側の面を
対向させた2個を1組とした被搬送物について、2組以
上を前後あるいは左右に並べた状態で搬送する場合にも
適用できる。
対向させた2個を1組とした被搬送物について、2組以
上を前後あるいは左右に並べた状態で搬送する場合にも
適用できる。
【0025】
【発明の効果】請求項1、2、3の発明は、ウエハのキ
ャリアを搬送するにあたって、2個のキャリアの背面同
士を対向させて搬送するようにした。即ち単純にキャリ
アを並べて搬送すると例えば把手等の突出部の分だけ被
搬送物群全長が伸び、そのために例えば搬送ロボットの
把持アームにおける荷重モーメントが大きくなるが、本
発明方法によれば、被搬送物同士が接近した状態で搬送
されるので、2個よりなる1組についてみればその全長
が短くなり、従ってアームにおける荷重モーメントがそ
の分だけ小さくなる。ここに例えばウエハのキャリア等
については非常に安定した搬送が要求されていてアーム
としては強靭な構造が要求されていることから、アーム
の肉厚を小さくできる等搬送機構の小型化を図ることが
できると共に、移動ステージ等の搬送路の占有スペース
の幅についても短くなる。そしてウエハについていえ
ば、今後6インチサイズから8インチ、12インチサイ
ズへと大口径化していき、それに伴いキャリア及びその
把手のサイズも大きくなっていくことから、本発明の搬
送方法は非常に有効である。更に本発明によれば、次の
ような効果がある。即ちウエハキャリア2個分のウエハ
を一括して洗浄し、かつ一方のキャリア内のウエハ群と
他方のキャリアのウエハ群との被処理面の向きを逆向き
にして洗浄する場合がある。ここで例えばCVD処理さ
れたウエハは搬送用キャリアC内に通常被処理面が同じ
向きになるように収納されるので、キャリアの向きを変
えることによりウエハの向きを変え、そのまま洗浄装置
内に持ち込むことができる。そして搬入ステージには2
個のキャリアを同じ向きに載置するので、作業者がキャ
リアを置く場合にキャリアの向きをミスなく置くことが
できるし、自動搬送ロボットを用いる場合にもキャリア
の搬送が容易である。
ャリアを搬送するにあたって、2個のキャリアの背面同
士を対向させて搬送するようにした。即ち単純にキャリ
アを並べて搬送すると例えば把手等の突出部の分だけ被
搬送物群全長が伸び、そのために例えば搬送ロボットの
把持アームにおける荷重モーメントが大きくなるが、本
発明方法によれば、被搬送物同士が接近した状態で搬送
されるので、2個よりなる1組についてみればその全長
が短くなり、従ってアームにおける荷重モーメントがそ
の分だけ小さくなる。ここに例えばウエハのキャリア等
については非常に安定した搬送が要求されていてアーム
としては強靭な構造が要求されていることから、アーム
の肉厚を小さくできる等搬送機構の小型化を図ることが
できると共に、移動ステージ等の搬送路の占有スペース
の幅についても短くなる。そしてウエハについていえ
ば、今後6インチサイズから8インチ、12インチサイ
ズへと大口径化していき、それに伴いキャリア及びその
把手のサイズも大きくなっていくことから、本発明の搬
送方法は非常に有効である。更に本発明によれば、次の
ような効果がある。即ちウエハキャリア2個分のウエハ
を一括して洗浄し、かつ一方のキャリア内のウエハ群と
他方のキャリアのウエハ群との被処理面の向きを逆向き
にして洗浄する場合がある。ここで例えばCVD処理さ
れたウエハは搬送用キャリアC内に通常被処理面が同じ
向きになるように収納されるので、キャリアの向きを変
えることによりウエハの向きを変え、そのまま洗浄装置
内に持ち込むことができる。そして搬入ステージには2
個のキャリアを同じ向きに載置するので、作業者がキャ
リアを置く場合にキャリアの向きをミスなく置くことが
できるし、自動搬送ロボットを用いる場合にもキャリア
の搬送が容易である。
【図1】本発明の実施例を利用した洗浄システムの全体
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図2】本発明の実施例に用いたキャリアの入出力ポー
トを示す平面図である。
トを示す平面図である。
【図3】図1の載置台を示す斜視図である。
【図4】キャリアを示す斜視図である。
【図5】本発明の実施例に用いた搬送ロボットを示す斜
視図である。
視図である。
【図6】本発明の実施例に用いたキャリアライナーを示
す側面図である。
す側面図である。
【図7】本発明の実施例による搬送の様子を示す平面図
である。
である。
【符号の説明】 1A,1B 載置台 2A,2B,6A,6B ガイド部 3 インターフェイスロボット 4 キャリア支持部 5 キャリアライナー 51 移動ステージ T 把手 C 搬送用キャリア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 浩二 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (72)発明者 友枝 隆之 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (56)参考文献 特開 昭48−91755(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 21/68 B65G 47/14
Claims (3)
- 【請求項1】 多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並
列に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウ
エハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬
送装置において、 前記洗浄システムの手前側から奥側を見て各ウエハキャ
リア内のウエハが前後に並ぶようにかつ2個のウエハキ
ャリアが互いに同一の向きで左右に隣接して載置される
ステ−ジと、 このステ−ジに載置された前記2個のウエハキャリア
を、当該2個のウエハキャリアのウエハの並びが一列と
なるようにかつウエハキャリアが互いに反対の向きとな
るように並び替える手段と、 この手段で並び替えられた2個のウエハキャリアを、2
個のウエハキャリアの並びに沿って伸びる一対のア−ム
によりその並びの両側から把持して搬送する搬送手段
と、を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項2】 搬送手段により搬送された2個のウエハ
キャリアが載置される移し替えステ−ジと、 この移し替えステ−ジに搬送された2個のウエハキャリ
ア内のウエハを一括して突き上げる突き上げ手段と、 この突き上げ手段で突き上げられた半導体ウエハを一括
して把持する把持手段と、を備えたことを特徴とする請
求項1記載の搬送装置。 - 【請求項3】 多数枚の半導体ウエハを立てた姿勢で並
列に一列に並べて収納するためのウエハキャリアを、ウ
エハ洗浄システム内にその手前側から搬入するための搬
送方法において、 前記洗浄システムの手前側から奥側を見て各ウエハキャ
リア内のウエハが前後に並ぶようにかつ2個のウエハキ
ャリアを互いに同一の向きで左右に隣接してステ−ジに
載置する工程と、 このステ−ジに載置された前記2個のウエハキャリア
を、当該2個のウエハキャリアのウエハの並びが一列と
なるようにかつウエハキャリアが互いに反対の向 きとな
るように並べ替える工程と、 この工程で並び替えられた2個のウエハキャリア内のウ
エハを一括して突き上げ、これを把持手段により把持す
る工程と、を含むことを特徴とする搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13199091A JP2976311B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 搬送装置及び搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13199091A JP2976311B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 搬送装置及び搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04332150A JPH04332150A (ja) | 1992-11-19 |
JP2976311B2 true JP2976311B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=15070978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13199091A Expired - Lifetime JP2976311B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 搬送装置及び搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2976311B2 (ja) |
-
1991
- 1991-05-07 JP JP13199091A patent/JP2976311B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04332150A (ja) | 1992-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW583129B (en) | Method and device for transporting substrate | |
US8292563B2 (en) | Nonproductive wafer buffer module for substrate processing apparatus | |
US5460478A (en) | Method for processing wafer-shaped substrates | |
KR100982366B1 (ko) | 기판처리장치 | |
JP4739532B2 (ja) | Lcdガラス基板の搬送システム | |
KR0153250B1 (ko) | 종형 열처리 장치 | |
US11515189B2 (en) | Automatic handling buffer for bare stocker | |
US9299597B2 (en) | Scalable stockers with automatic handling buffer | |
JPH0547896A (ja) | ウエハカセツトストツカ | |
JP2020109786A (ja) | 基板処理装置および基板搬送方法 | |
JP2976311B2 (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
JP3446158B2 (ja) | 基板搬送処理装置 | |
JP2002237512A (ja) | ウエハー枚葉搬送用コンベヤの移載装置 | |
JP2913119B2 (ja) | 被洗浄体の移載方法及びその装置並びに被移載体の位置決め装置 | |
JP4003029B2 (ja) | 自動倉庫 | |
KR101647277B1 (ko) | 베어 스토커용 자동 취급 버퍼 | |
JP2743274B2 (ja) | 基板処理装置および基板搬送装置 | |
JP3082784B2 (ja) | 被洗浄体の洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP3024005B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
JPH0640505A (ja) | パネルストッカ | |
WO2021060259A1 (ja) | 搬送システム | |
JPH03225847A (ja) | ウエハカセツトストツカ | |
JP2522336B2 (ja) | 製品搬送装置 | |
JP5491579B6 (ja) | マルチ−チャンバーシステムで半導体素子を製造する方法 | |
JP5491579B2 (ja) | マルチ−チャンバーシステムで半導体素子を製造する方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 |