JPH0420910A - 簡易型オートフォーカス光学測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、特に同一種類の試料を連続して観察又は検査
するに好適な簡易型オートフォーカス光学測定機に関す
る。

【従来の技術】

オートフォーカス馨微鏡に適用されているオートフォー
カス装置としては、ＣＣＤカメラを用いるコントラスト
法を採用するもの、半導体レーザ等を用いる反射アクテ
ィブ方式を採用するもの等がある。上記何れのオートフ
ォーカス装置も、試料位置を検出し、それを電気信号に
変えるセンサ部、試料か載置されているステージを移動
させるステージ駆動モータ及び、センサからの信号を上
記ステージ駆動モータにフィードバックする制御部を主
たる装置構成としている。従って、上記オートフォーカ
ス装置は、種々の試料に対してピント合せを正確に行え
る性能を有している。

【発明が達成しようとする課題】

しかしながら、上記オートフォーカス装置は、それ自体
が複雑であるため、該オートフォーカスを備えた顕微鏡
も複雑な構成となり、それ故に該顕微鏡は高価にならざ
るを得ないという問題があった。 本発明は、前記問題点を解消するべくなされたもので、
構成が簡単で、それ故に安価に製造することができる簡
易型オートフォーカス光学測定機を提供することを課題
とする。

【課題を達成するための手段】

本発明は、簡易型オートフォーカス光学測定機において
、光学系の光軸方向にステージを進退動させるステージ
駆動手段、上記ステージの基準位置を設定する基準位置
設定手段、上記ステージに載置した試料に光学系の焦点
が一致するステージ測定位置を記憶する記憶手段、及び
上記ステージ駆動手段により上記ステージを上記測定位
１に復帰させる復帰手段を備えることにより、前記課題
を達成したものである。

【作用及び効果】

本発明においては、ステージを光学系の方向に移動させ
て該ステージに載置した試料に光学系の焦点を一致させ
、そのときの基準位置からの偏位をステージの測定位置
として記憶することにより、上記試料の測定を終了した
後、他の試料を任意のステージ位置で上記ステージに設
定する場合でも、該ステージを確実に前記測定位置に復
帰させることができる。従って、特に同一種類の試料を
連続して測定する場合には、ステージへの試料の設定を
任意のステージ位置で行った後、該ステージを前記測定
位置へ復帰させることにより、速やかに且つ正確に試料
に対するピント合せを行うことができるため、上記試料
を効率良く連続して測定することができる。 又、本発明によれば、センサ部やフィードバック制＃部
が不要となるので、オートフォーカス装置の構成を簡略
化でき、その結果、簡易型オートフォーカス光学測定機
を安価に製造することができる。

【実施例】

以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明す
る。 本発明の一実施例である簡易型オートフォーカス光学顕
微鏡は、第１図の正面図で示す顕微鏡本体と、第２図の
斜視図で示す操作キーボックスとを有している。 上記顕微鏡本体１０は、それぞれ倍率の異なる３つの対
物レンズ１２を有する光学系と、該対物レンズ１２の下
方に位置し、試料Ｓを載置するためのステージＩ４とを
備えている。 上記ステージ１４にはパルスモータ（ステージ駆動手段
）１６が付設され、該ステージ１４を上記対物レンズ１
２の方向に上下動可能になされている。 又、上記顕微鏡本体１０には、リミｙトスイッチ（基準
位置設定手段）１８が設けられており、該リミッドスイ
ｙチＩ８により、例えばステージ１４か下りきった位置
をステージ１４の基準位置（原点）として設定すること
が可能になされている。 又、本実施例の簡易型オートフォーカス光学顕微鏡には
、上記ステージ１４に載置した試料Ｓに対物レンズの焦
点が一致する該ステージ１４の位１を測定位置として記
憶する記憶手段（図示せず）が備えられている。この記
憶手段は、上記測定位置を上記基準位置からのステージ
１４の偏位量に相当するパルス数として記憶するように
なされている。 又、上記顕微鏡には、任意のステージ位置で試料Ｓを交
換した後、該交換位置と上記測定位！とに相当するパル
ス数を前記パルスモータ１６に出力し、該ステージ１４
を上記所定の測定位置に復・帰させるための復帰手段（
図示せず）を備えている。 又、前記第２図に示した操作キーボックス１９には、上
記の如く試料を交換した後、ステージ１４を上記測定位
置に復帰させるためのオートフォーカスキー２０等の操
作キー及び、ステージ１４のｇ＆副調整行うためのステ
ージ微動っまみ２２が設けである。 又、２微鏡本体１０は、鏡筒固定ねじ２３、鏡Ｉ！′ｉ
＠率切換ノブ２４、レボルバ固定ねじ２６、ステージ粗
動レバー２８、−軸ハンドル３０、表示パネル３２及び
照明用スイッチ３４等をも有している。 次に、本実施例の作用を、第３図のフローチャートを参
照しながら説明する。 まず、電源を入れ、操作キーボックス１９の原点確認キ
ーを押し、ステージ１４をリミットスイッチ１８まで下
降させることにより該ステージ１４の基準位置の設定を
行う（ステップ４１〜４３）次いで、試料Ｓを上記ステ
ージ１４の所定位置に載せ（ステップ４４）、前記ステ
ージ粗動レバー２８を使って手動で該試料Ｓに対するピ
ント合せを行う、このピント合せは、初めは低倍率の対
物レンズで行ってもよいが、最終的には高倍率のもので
行う（ステップ４５）。 通常、顕微鏡の対物レンズは、倍率によらず同じ位置で
焦点か合うようにされているので、このように、焦点深
度の浅い高倍率の対物レンズでピント合せを行えば、そ
の後低倍率のものに切換えても焦点深度が深いため、常
に正確にピントの合った状態が再現できる。 上記ピント合せが終わった後、ピントの合ったステージ
１４の位置を上記試料Ｓに対する測定位置として記憶手
段に記憶させる。具体的には、ステージ１４を、前記パ
ルスモータ１６で前記基準位置から上記測定位１まで移
動させるに要するパルス数を記憶させる（ステップ４６
）。 上記試料Ｓに対する所定の測定（観察又は検査）を終了
した後、任意の位置までステージ１４を下降させ、その
位置で同種の次の試料Ｓと交換を行う（ステップ４７〜
４８）。 同種試料の交換が完了した後、操作キーボックス１つの
オートフォーカスキー２０を押すと、パルスモータ１６
が駆動され、ステージ１４は、前記基準位置を起点とす
るパルス数として記憶した前記測定位置に正確に移動し
、復帰する（ステップ５０）、上記測定位置に復帰した
上記ステージ１４に載置されている試料Ｓに対する測定
（観察又は検査）を行い（ステップ５１）、ステップ４
７に戻る。 その後、ステップ４７〜５１の各動作を繰返し行うこと
により、同種類の試料については、試料の交換を行った
後、オートフォーカスキー２０を押すだけで、自動的に
ピントを合せることができるなめ、連続的測定を迅速に
行うことかできる。 又、同種試料に対する一連の測定が終了した場合には、
ステップ５１からステンプ４４に戻って該ステンブで異
種試料と交換することにより、該異種試料についても前
述と同様に連続的測定を迅速に行うことができる。 従って、工場などの現場で試料を観察又は検査する場合
のように、同一種類のものを何個も検査する場合には、
最初にステージを上下させてピントを合せ、このときの
ステージの位置を記憶しておけば、試料を交換したとき
は、記憶した位置にステージを移動させるだけでピント
を正確に合せろことかできるので、ａ察又は検査を迅速
に行うことが可能となる。 上述した如く、本実施例によれば、センサ部やフィード
バック制卸部を用いることなくオートフォーカス機構を
形成することができるので、オートフォーカス光学蓼黴
鏡を簡単な構成とすることか可能となり、その結果、安
価なオートフォーカス光学蓼微鏡を提供することが可能
となる。 以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は前
記実施例に示したものに限られるものでなく、種々変更
可能であることはいうまでもない。 例えば、簡易型オートフォーカス光学測定機としては、
実８１例で示した光字蓼微鏡に限られるものでなく、投
影検査機であってもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である簡易型オートフォー
カス光学謬微鏡の本体を示す正面図、第２図は、上記簡
易型オートフォーカス光学型ＷＬ鏡の操作キーボックス
を示す斜視図、第３図は、実施例の作用を説明するため
のフローチャートである。 １０・・・顕微鏡本体、　　　　１２・・・対物レンズ
、１４・・・ステージ、　　　　　１６・・・パルスモ
ータ、１８・・・リミットスイッチ、 １つ・・・操作キーボックス、 ２０・・・オートフォーカスキー ２８・・・ステージ粗動レバー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光学系の光軸方向にステージを進退動させるステ
   ージ駆動手段、上記ステージの基準位置を設定する基準
   位置設定手段、上記ステージに載置した試料に光学系の
   焦点が一致するステージ測定位置を記憶する記憶手段、
   及び上記ステージ駆動手段により上記ステージを上記測
   定位置に復帰させる復帰手段を備えていることを特徴と
   する簡易型オートフォーカス光学測定機。