JP2967599B2 - 振動モータの駆動装置 - Google Patents
振動モータの駆動装置Info
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- JP2967599B2 JP2967599B2 JP3069076A JP6907691A JP2967599B2 JP 2967599 B2 JP2967599 B2 JP 2967599B2 JP 3069076 A JP3069076 A JP 3069076A JP 6907691 A JP6907691 A JP 6907691A JP 2967599 B2 JP2967599 B2 JP 2967599B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータに代表さ
れるような、振動子に振動を発生させて、この振動子に
加圧接触する相対運動部材との間に相対運動を発生させ
る振動モータの駆動装置に関する。
れるような、振動子に振動を発生させて、この振動子に
加圧接触する相対運動部材との間に相対運動を発生させ
る振動モータの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、超音波モータの駆動電極に印
加する駆動電圧波形と、超音波モータの弾性体の振動に
応じた周波電圧を発生するモニタ電極の電圧波形との位
相差が、安定した駆動状態が得られる所定の値になるよ
うに、駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置が
知られている（例えば、特開昭６１−２５１４９０号公
報参照）。
加する駆動電圧波形と、超音波モータの弾性体の振動に
応じた周波電圧を発生するモニタ電極の電圧波形との位
相差が、安定した駆動状態が得られる所定の値になるよ
うに、駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置が
知られている（例えば、特開昭６１−２５１４９０号公
報参照）。
【０００３】この種の超音波モータの駆動装置の構成を
図９に示す。発振部１で発生された周波数ｆ１の駆動信
号は、移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆
動信号に変換され、これらの駆動信号はそれぞれ別個に
出力増幅部３により増幅されて超音波モータ１０の圧電
体１１の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される。
図９に示す。発振部１で発生された周波数ｆ１の駆動信
号は、移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆
動信号に変換され、これらの駆動信号はそれぞれ別個に
出力増幅部３により増幅されて超音波モータ１０の圧電
体１１の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される。
【０００４】超音波モータ１０の圧電体１１がこれらの
駆動信号によって励振されると、この圧電体１１に接合
される弾性体１２の駆動面に進行性振動波を発生する。
そして、弾性体１２の駆動面に加圧接触される移動子１
３は、この進行性振動波により駆動されて回転する。
駆動信号によって励振されると、この圧電体１１に接合
される弾性体１２の駆動面に進行性振動波を発生する。
そして、弾性体１２の駆動面に加圧接触される移動子１
３は、この進行性振動波により駆動されて回転する。
【０００５】出力検出部４は、弾性体１２の振動に応じ
てモニタ電極１１ｃに発生する周波電圧（以下、モニタ
電圧と呼ぶ）と、駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される
駆動電圧との位相差を検出し、出力制御部５は、この位
相差が安定した駆動状態が得られる所定の値になるよう
に発振部１を制御する。すなわち、出力検出部４および
出力制御部５は、超音波モータ駆動装置のフィードバッ
ク回路を構成する。
てモニタ電極１１ｃに発生する周波電圧（以下、モニタ
電圧と呼ぶ）と、駆動電極１１ａ，１１ｂに印加される
駆動電圧との位相差を検出し、出力制御部５は、この位
相差が安定した駆動状態が得られる所定の値になるよう
に発振部１を制御する。すなわち、出力検出部４および
出力制御部５は、超音波モータ駆動装置のフィードバッ
ク回路を構成する。
【０００６】ところで、複数の超音波モータを用いて１
つの回転軸や回転筒などを駆動させる場合、各超音波モ
ータの駆動信号に対する動特性が異なるため、それぞれ
の超音波モータに対して駆動装置を独立に設けたものが
提案されている（例えば、特開平１−２２７６６９号公
報参照）。
つの回転軸や回転筒などを駆動させる場合、各超音波モ
ータの駆動信号に対する動特性が異なるため、それぞれ
の超音波モータに対して駆動装置を独立に設けたものが
提案されている（例えば、特開平１−２２７６６９号公
報参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、１つの
回転軸や回転筒などを駆動する複数の超音波モータのそ
れぞれに、図９に示すフィードバック回路を有した超音
波モータ駆動装置を用いると、回路が大規模になって装
置が大型になる上、各超音波モータごとに調整を行なう
必要があり、操作性が悪いという問題がある。
回転軸や回転筒などを駆動する複数の超音波モータのそ
れぞれに、図９に示すフィードバック回路を有した超音
波モータ駆動装置を用いると、回路が大規模になって装
置が大型になる上、各超音波モータごとに調整を行なう
必要があり、操作性が悪いという問題がある。
【０００８】本発明の目的は、複数の超音波モータを制
御して１つの回転体を駆動し、最小限の回路構成で小型
化を計るとともに、調整工数を低減して操作性を向上さ
せる超音波モータの駆動装置を提供することにある。
御して１つの回転体を駆動し、最小限の回路構成で小型
化を計るとともに、調整工数を低減して操作性を向上さ
せる超音波モータの駆動装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】一実施例の構成を示す図
１に対応づけて本発明を説明すると、請求項１の発明
は、少なくとも２個の振動子（１１，１２）、（２１，
２２）と、振動子（１１，１２）、（２１，２２）に発
生する振動によって振動子（１１，１２）、（２１，２
２）との間で相対運動を行う少なくとも１個の相対運動
部材１３，２３とを有する振動モータの駆動装置であっ
て、駆動信号を生成する発振部１と、振動モータの出力
を検出してその検出値に基づいて発振部１を制御する検
出部４，５とを有し、発振部１で生成された駆動信号を
少なくとも２個の振動子（１１，１２）、（２１，２
２）の内のいずれか１個の振動子に印加する第１の駆動
回路と、第１の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子１１，１２によって駆動される相対運動部材１３か
ら得られる出力特性が、他の振動子２１，２２により駆
動される相対運動部材２３から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部１からの駆動信号を補正する駆
動信号補正部７（７Ａ）を有し、駆動信号補正部７（７
Ａ）で補正された駆動信号を第１の駆動回路で駆動され
る振動子以外の振動子に印加する第２の駆動回路とを備
える振動モータの駆動装置を提供する。請求項２の発明
では、請求項１の振動モータの駆動装置において、前記
振動モータは、１個の振動子に対して１個の相対運動部
材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対運動
振動部材が同一回転体を介して直結されている。請求項
３の発明では、請求項１の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。請求項４の発明では、少なくとも２個の振動子
と、前記各振動子に発生する振動によってこれらの振動
子との間で相対運動を行う、少なくとも１個の相対運動
部材とを有する振動モータと、交流電圧を生成し、前記
少なくとも２個の振動子に印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記少なくとも２個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定できる振
動モータの駆動装置を提供する。請求項５の発明では、
請求項４の振動モータの駆動装置において、前記駆動回
路は、各振動子により駆動される相対運動部材から得ら
れる出力特性が互いに等しくなるように、１個の振動子
に印加される交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの
振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
請求項６の発明では、請求項４または請求項５の振動モ
ータの駆動装置において、前記振動モータは、１個の振
動子に対して１個の相対運動部材が設けられたユニット
を複数組有し、前記各相対運動振動部材が同一回転体を
介して直結されている。請求項７の発明では、請求項４
または請求項５に記載の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。
１に対応づけて本発明を説明すると、請求項１の発明
は、少なくとも２個の振動子（１１，１２）、（２１，
２２）と、振動子（１１，１２）、（２１，２２）に発
生する振動によって振動子（１１，１２）、（２１，２
２）との間で相対運動を行う少なくとも１個の相対運動
部材１３，２３とを有する振動モータの駆動装置であっ
て、駆動信号を生成する発振部１と、振動モータの出力
を検出してその検出値に基づいて発振部１を制御する検
出部４，５とを有し、発振部１で生成された駆動信号を
少なくとも２個の振動子（１１，１２）、（２１，２
２）の内のいずれか１個の振動子に印加する第１の駆動
回路と、第１の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子１１，１２によって駆動される相対運動部材１３か
ら得られる出力特性が、他の振動子２１，２２により駆
動される相対運動部材２３から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部１からの駆動信号を補正する駆
動信号補正部７（７Ａ）を有し、駆動信号補正部７（７
Ａ）で補正された駆動信号を第１の駆動回路で駆動され
る振動子以外の振動子に印加する第２の駆動回路とを備
える振動モータの駆動装置を提供する。請求項２の発明
では、請求項１の振動モータの駆動装置において、前記
振動モータは、１個の振動子に対して１個の相対運動部
材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対運動
振動部材が同一回転体を介して直結されている。請求項
３の発明では、請求項１の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。請求項４の発明では、少なくとも２個の振動子
と、前記各振動子に発生する振動によってこれらの振動
子との間で相対運動を行う、少なくとも１個の相対運動
部材とを有する振動モータと、交流電圧を生成し、前記
少なくとも２個の振動子に印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記少なくとも２個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定できる振
動モータの駆動装置を提供する。請求項５の発明では、
請求項４の振動モータの駆動装置において、前記駆動回
路は、各振動子により駆動される相対運動部材から得ら
れる出力特性が互いに等しくなるように、１個の振動子
に印加される交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの
振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
請求項６の発明では、請求項４または請求項５の振動モ
ータの駆動装置において、前記振動モータは、１個の振
動子に対して１個の相対運動部材が設けられたユニット
を複数組有し、前記各相対運動振動部材が同一回転体を
介して直結されている。請求項７の発明では、請求項４
または請求項５に記載の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。
【００１０】
【作用】請求項１では、第１の駆動回路において、発振
部１が駆動信号を発生し、少なくとも２個の振動子（１
１，１２）、（２１，２２）の内のいずれか１個の振動
子に印加する。そして、検出部４，５は振動モータの出
力を検出し、その検出値に基づいて発振部１を制御す
る。一方、第２の駆動回路では、駆動信号補正部７（７
Ａ）が、第１の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子１１，１２によって駆動される相対運動部材１３か
ら得られる出力特性が、他の振動子２１，２２により駆
動される相対運動部材２３から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部１からの駆動信号を補正し、駆
動信号補正部７（７Ａ）で補正された駆動信号を第１の
駆動回路で駆動される振動子以外の振動子に印加する。
請求項４では、駆動回路が、少なくとも２個の振動子に
印加される交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等し
い状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定し、少
なくとも２個の振動子に印加する。請求項５では、各振
動子により駆動される相対運動部材から得られる出力特
性が互いに等しくなるように、１個の振動子に印加され
る交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの振動子に印
加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
部１が駆動信号を発生し、少なくとも２個の振動子（１
１，１２）、（２１，２２）の内のいずれか１個の振動
子に印加する。そして、検出部４，５は振動モータの出
力を検出し、その検出値に基づいて発振部１を制御す
る。一方、第２の駆動回路では、駆動信号補正部７（７
Ａ）が、第１の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子１１，１２によって駆動される相対運動部材１３か
ら得られる出力特性が、他の振動子２１，２２により駆
動される相対運動部材２３から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部１からの駆動信号を補正し、駆
動信号補正部７（７Ａ）で補正された駆動信号を第１の
駆動回路で駆動される振動子以外の振動子に印加する。
請求項４では、駆動回路が、少なくとも２個の振動子に
印加される交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等し
い状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定し、少
なくとも２個の振動子に印加する。請求項５では、各振
動子により駆動される相対運動部材から得られる出力特
性が互いに等しくなるように、１個の振動子に印加され
る交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの振動子に印
加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
【００１１】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
【００１２】
【実施例】−第１の実施例− 図１は、本発明の第１の実施例の構成を示すブロック図
である。なお、図９に示す従来装置と同様な機器に対し
ては同符号を付して相違点を中心に説明する。２０は、
超音波モータ１０と同様な構成を有する超音波モータで
あり、その移動子２３は超音波モータ１０の移動子１３
と回転体６を介して直結される。なお超音波モータ１
０，２０は、駆動電圧の周波数に対してそれぞれ図２
（ａ），図２（ｂ）に示すような回転速度特性を有す
る。
である。なお、図９に示す従来装置と同様な機器に対し
ては同符号を付して相違点を中心に説明する。２０は、
超音波モータ１０と同様な構成を有する超音波モータで
あり、その移動子２３は超音波モータ１０の移動子１３
と回転体６を介して直結される。なお超音波モータ１
０，２０は、駆動電圧の周波数に対してそれぞれ図２
（ａ），図２（ｂ）に示すような回転速度特性を有す
る。
【００１３】超音波モータ１０の駆動回路は、図９に示
す駆動回路と同様な回路が用いられる。一方、超音波モ
ータ２０の駆動回路は、発振部１からの駆動信号の周波
数を補正する出力補正部７と、補正後の駆動信号を互に
π／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換する移相
部２と、それらを増幅して超音波モータ２０の駆動電極
２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３とから構成され
る。
す駆動回路と同様な回路が用いられる。一方、超音波モ
ータ２０の駆動回路は、発振部１からの駆動信号の周波
数を補正する出力補正部７と、補正後の駆動信号を互に
π／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換する移相
部２と、それらを増幅して超音波モータ２０の駆動電極
２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３とから構成され
る。
【００１４】図３に出力補正部７の構成を示す。図にお
いて、７１は、駆動信号に微分演算を行なう微分回路、
７２は、微分演算後の駆動信号を整流する整流回路、７
３は、不図示の定電圧源から供給される正の一定電圧＋
Ｖｄと負の一定電圧−Ｖｄとを切り換えるスイッチであ
る。７４は、後述する非反転型の増幅回路であり、スイ
ッチ７３により選択された入力電圧を増幅して電圧±△
Ｖを出力する。なお、スイッチ７３により正の一定電圧
＋Ｖｄが選択された時は、増幅回路７４は正の電圧＋△
Ｖを出力し、負の一定電圧−Ｖｄが選択された時は、増
幅回路７４は負の電圧−△Ｖを出力する。７５は加算回
路であり、整流回路７２の出力電圧Ｖと増幅回路７４の
出力電圧±△Ｖとを加算する。さらに７６は、電圧制御
発振器（以下、ＶＣＯと呼ぶ）であり、図４に示すよう
に入力電圧に比例した周波数の周波電圧を出力する。
いて、７１は、駆動信号に微分演算を行なう微分回路、
７２は、微分演算後の駆動信号を整流する整流回路、７
３は、不図示の定電圧源から供給される正の一定電圧＋
Ｖｄと負の一定電圧−Ｖｄとを切り換えるスイッチであ
る。７４は、後述する非反転型の増幅回路であり、スイ
ッチ７３により選択された入力電圧を増幅して電圧±△
Ｖを出力する。なお、スイッチ７３により正の一定電圧
＋Ｖｄが選択された時は、増幅回路７４は正の電圧＋△
Ｖを出力し、負の一定電圧−Ｖｄが選択された時は、増
幅回路７４は負の電圧−△Ｖを出力する。７５は加算回
路であり、整流回路７２の出力電圧Ｖと増幅回路７４の
出力電圧±△Ｖとを加算する。さらに７６は、電圧制御
発振器（以下、ＶＣＯと呼ぶ）であり、図４に示すよう
に入力電圧に比例した周波数の周波電圧を出力する。
【００１５】図５は、増幅回路７４の詳細な回路を示
す。増幅回路７４は、非反転型アンプＡＭＰ１と抵抗器
Ｒｓ，Ｒｆとから構成され、その出力電圧△Ｖは次式に
より算出される。 △Ｖ＝（＋Ｖｄまたは−Ｖｄ）×（１＋Ｒｆ／Ｒｓ） ・・・（１） すなわち、抵抗器Ｒｆの抵抗値を調整することにより、
出力電圧△Ｖを変化させることができる。
す。増幅回路７４は、非反転型アンプＡＭＰ１と抵抗器
Ｒｓ，Ｒｆとから構成され、その出力電圧△Ｖは次式に
より算出される。 △Ｖ＝（＋Ｖｄまたは−Ｖｄ）×（１＋Ｒｆ／Ｒｓ） ・・・（１） すなわち、抵抗器Ｒｆの抵抗値を調整することにより、
出力電圧△Ｖを変化させることができる。
【００１６】図６は、出力補正部７の回路各部の電圧波
形を示し、（ａ）は発振部１の駆動信号波形を示し、
（ｂ）は微分回路７１の出力電圧ｆＤの波形を示し、
（ｃ）は整流回路７２の出力電圧Ｖの波形を示し、
（ｄ）は加算回路７５の出力電圧Ｖ＋△Ｖの波形を示
し、（ｅ）はＶＣＯ７６の出力電圧波形を示す。これら
の図を参照して出力補正部７の動作を説明する。発振部
１から発生された周波数ｆ１の駆動信号Ａ・ｓｉｎ（２
π・ｆ１・ｔ）は、出力補正部７の端子ＩＮを経て微分
回路７１へ入力される。微分回路７１は、入力駆動信号
に対して微分演算を行い、図６（ｂ）に示す信号ｆＤ＝
２π・ｆ１・Ａ・ｃｏｓ（２π・ｆ１・ｔ）を出力す
る。なお、この信号ｆＤは、駆動信号の周波数ｆ１が高
いほどその振幅が大きくなる。次に整流回路７２は、微
分された駆動信号を図６（ｃ）に示す直流電圧Ｖに変換
して加算回路７５へ出力する。一方、増幅回路７４は、
スイッチ７３により選択された正の一定電圧＋Ｖｄを増
幅し、電圧＋△Ｖを加算回路７５へ出力する。加算回路
７５は、これらの電圧Ｖおよび＋△Ｖを加算し、図６
（ｄ）に示す出力電圧Ｖ＋△ＶをＶＣＯ７６へ出力す
る。ＶＣＯ７６は、図４に示すように、入力電圧Ｖ＋△
Ｖに比例した周波数ｆ１＋△ｆの方形波の周波電圧（図
６（ｅ））を出力し、さらに不図示の波形整形回路を経
て周波数ｆ１＋△ｆの正弦波電圧を端子ＯＵＴへ出力す
る。すなわち、発振部１からの駆動信号は、その信号周
波数がｆ１＋△ｆに補正される。逆に、スイッチ７３に
より−Ｖｄが選択された時は、増幅回路７４は−△Ｖを
出力し、加算回路７５は電圧Ｖ−△Ｖを出力する。その
結果、駆動信号の周波数はｆ１−△ｆに補正される。な
お、スイッチ７３により切り換えられる正負の一定電圧
±Ｖｄを変化させても、増幅回路７４の出力電圧±△Ｖ
を変えることができる。
形を示し、（ａ）は発振部１の駆動信号波形を示し、
（ｂ）は微分回路７１の出力電圧ｆＤの波形を示し、
（ｃ）は整流回路７２の出力電圧Ｖの波形を示し、
（ｄ）は加算回路７５の出力電圧Ｖ＋△Ｖの波形を示
し、（ｅ）はＶＣＯ７６の出力電圧波形を示す。これら
の図を参照して出力補正部７の動作を説明する。発振部
１から発生された周波数ｆ１の駆動信号Ａ・ｓｉｎ（２
π・ｆ１・ｔ）は、出力補正部７の端子ＩＮを経て微分
回路７１へ入力される。微分回路７１は、入力駆動信号
に対して微分演算を行い、図６（ｂ）に示す信号ｆＤ＝
２π・ｆ１・Ａ・ｃｏｓ（２π・ｆ１・ｔ）を出力す
る。なお、この信号ｆＤは、駆動信号の周波数ｆ１が高
いほどその振幅が大きくなる。次に整流回路７２は、微
分された駆動信号を図６（ｃ）に示す直流電圧Ｖに変換
して加算回路７５へ出力する。一方、増幅回路７４は、
スイッチ７３により選択された正の一定電圧＋Ｖｄを増
幅し、電圧＋△Ｖを加算回路７５へ出力する。加算回路
７５は、これらの電圧Ｖおよび＋△Ｖを加算し、図６
（ｄ）に示す出力電圧Ｖ＋△ＶをＶＣＯ７６へ出力す
る。ＶＣＯ７６は、図４に示すように、入力電圧Ｖ＋△
Ｖに比例した周波数ｆ１＋△ｆの方形波の周波電圧（図
６（ｅ））を出力し、さらに不図示の波形整形回路を経
て周波数ｆ１＋△ｆの正弦波電圧を端子ＯＵＴへ出力す
る。すなわち、発振部１からの駆動信号は、その信号周
波数がｆ１＋△ｆに補正される。逆に、スイッチ７３に
より−Ｖｄが選択された時は、増幅回路７４は−△Ｖを
出力し、加算回路７５は電圧Ｖ−△Ｖを出力する。その
結果、駆動信号の周波数はｆ１−△ｆに補正される。な
お、スイッチ７３により切り換えられる正負の一定電圧
±Ｖｄを変化させても、増幅回路７４の出力電圧±△Ｖ
を変えることができる。
【００１７】この出力補正部７では、補正量が発振部１
から入力される駆動信号とは別個に設定されるので、駆
動信号の電圧および周波数の変化に影響されることがな
い。
から入力される駆動信号とは別個に設定されるので、駆
動信号の電圧および周波数の変化に影響されることがな
い。
【００１８】次に、第１の実施例装置の動作を説明す
る。まず超音波モータ１０の駆動回路において、発振部
１から発生された周波数ｆ１の駆動信号は、移相部２で
互にπ／２の位相差を有する２つの駆動信号に変換さ
れ、それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅されて
超音波モータ１０の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加され
る。これによって、超音波モータ１０の弾性体１２の駆
動面に進行性振動波が発生し、移動子１３が駆動されて
図２（ａ）に示すように回転速度ｎ１で回転する。超音
波モータ１０のモニタ電極１１ｃで発生するモニタ電
圧、および駆動電極１１ａの駆動電圧は出力検出部４に
より検出され、それらの電圧波形の位相差が算出され
る。この位相差は出力制御部５に入力され、超音波モー
タ１０の安定した駆動状態が得られる所定の位相差にな
るように、発振部１の周波数ｆ１が補正される。これに
よって、発振部１は、超音波モータ１０に体して最適な
周波数の駆動信号を発生する。
る。まず超音波モータ１０の駆動回路において、発振部
１から発生された周波数ｆ１の駆動信号は、移相部２で
互にπ／２の位相差を有する２つの駆動信号に変換さ
れ、それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅されて
超音波モータ１０の駆動電極１１ａ，１１ｂに印加され
る。これによって、超音波モータ１０の弾性体１２の駆
動面に進行性振動波が発生し、移動子１３が駆動されて
図２（ａ）に示すように回転速度ｎ１で回転する。超音
波モータ１０のモニタ電極１１ｃで発生するモニタ電
圧、および駆動電極１１ａの駆動電圧は出力検出部４に
より検出され、それらの電圧波形の位相差が算出され
る。この位相差は出力制御部５に入力され、超音波モー
タ１０の安定した駆動状態が得られる所定の位相差にな
るように、発振部１の周波数ｆ１が補正される。これに
よって、発振部１は、超音波モータ１０に体して最適な
周波数の駆動信号を発生する。
【００１９】なお、例えば特開昭６３−２０６１７１号
公報に示されるように、回転体６にパルス発生器を設
け、出力検出部４でパルス数をカウントして移動子の１
３の回転速度を検出し、出力制御部５で超音波モータ１
０が安定な駆動状態となるように発振部１を制御しても
よい。
公報に示されるように、回転体６にパルス発生器を設
け、出力検出部４でパルス数をカウントして移動子の１
３の回転速度を検出し、出力制御部５で超音波モータ１
０が安定な駆動状態となるように発振部１を制御しても
よい。
【００２０】超音波モータ１０の出力を検出し安定な駆
動状態が得られるように補正された発振部１の駆動信号
は、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正部７にも供
給される。出力補正部７は、図２（ａ）に示すように、
超音波モータ２０の回転速度特性が超音波モータ１０の
それと一致するように駆動信号を補正する。すなわち、
出力補正部７から出力される駆動信号の周波数がｆ１−
△ｆとなるように、図３に示すスイッチ７３で負の一定
電圧−Ｖｄを選択し、さらに増幅回路７４の抵抗器Ｒｆ
を調整する。その後、出力補正部７の出力駆動信号は、
移相部２で互にπ／２の移相差を有する２つの駆動信号
に変換され、それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増
幅されて超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１ｂに
印加される。この結果、図２（ａ）に示すように両超音
波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モータ２
０は、周波数ｆ２＝ｆ１−△ｆの駆動電圧で駆動され、
移動子２３は、超音波モータ１０の移動子１３と等しい
回転速度ｎ１に駆動制御される。
動状態が得られるように補正された発振部１の駆動信号
は、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正部７にも供
給される。出力補正部７は、図２（ａ）に示すように、
超音波モータ２０の回転速度特性が超音波モータ１０の
それと一致するように駆動信号を補正する。すなわち、
出力補正部７から出力される駆動信号の周波数がｆ１−
△ｆとなるように、図３に示すスイッチ７３で負の一定
電圧−Ｖｄを選択し、さらに増幅回路７４の抵抗器Ｒｆ
を調整する。その後、出力補正部７の出力駆動信号は、
移相部２で互にπ／２の移相差を有する２つの駆動信号
に変換され、それらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増
幅されて超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１ｂに
印加される。この結果、図２（ａ）に示すように両超音
波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モータ２
０は、周波数ｆ２＝ｆ１−△ｆの駆動電圧で駆動され、
移動子２３は、超音波モータ１０の移動子１３と等しい
回転速度ｎ１に駆動制御される。
【００２１】なお上記実施例では、出力補正部７で発振
部１の駆動信号の周波数を補正し、超音波モータ１０の
回転速度と一致するように超音波モータ２０を制御した
が、超音波モータの駆動周波数領域における回転速度は
その駆動電圧に比例することが知られており、超音波モ
ータ２０の駆動電圧を補正して超音波モータ１０の回転
速度と一致するように制御してもよい。図７は、発振部
１で発生された駆動信号の周波数をｆ１のままとし、駆
動信号の電圧だけを補正する出力補正部７Ａの回路を示
す。この出力補正部７Ａは、アンプＡＭＰ２および抵抗
器Ｒｓ，Ｒｆから構成される反転型の増幅回路であり、
発振部１の駆動信号入力Ｖｉｎに対する出力Ｖｏｕｔは
次式で示される。 Ｖｏｕｔ＝Ｖｉｎ・（−Ｒｆ／Ｒｓ） ・・・（２） すなわち、抵抗器Ｒｆを調整することによって、出力補
正部７Ａの出力電圧Ｖｏｕｔ、つまり駆動信号の電圧が
補正される。補正された駆動信号は、上述したように、
超音波モータ２０の駆動回路の移相部２および出力増幅
部３を介して超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１
ｂに印加される。この結果、図２（ｂ）に示すように両
超音波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モー
タ２０は、駆動周波数ｆ１における補正前の回転速度ｎ
２から、超音波モータ１０と等しい回転速度ｎ１に増速
されて駆動制御される。
部１の駆動信号の周波数を補正し、超音波モータ１０の
回転速度と一致するように超音波モータ２０を制御した
が、超音波モータの駆動周波数領域における回転速度は
その駆動電圧に比例することが知られており、超音波モ
ータ２０の駆動電圧を補正して超音波モータ１０の回転
速度と一致するように制御してもよい。図７は、発振部
１で発生された駆動信号の周波数をｆ１のままとし、駆
動信号の電圧だけを補正する出力補正部７Ａの回路を示
す。この出力補正部７Ａは、アンプＡＭＰ２および抵抗
器Ｒｓ，Ｒｆから構成される反転型の増幅回路であり、
発振部１の駆動信号入力Ｖｉｎに対する出力Ｖｏｕｔは
次式で示される。 Ｖｏｕｔ＝Ｖｉｎ・（−Ｒｆ／Ｒｓ） ・・・（２） すなわち、抵抗器Ｒｆを調整することによって、出力補
正部７Ａの出力電圧Ｖｏｕｔ、つまり駆動信号の電圧が
補正される。補正された駆動信号は、上述したように、
超音波モータ２０の駆動回路の移相部２および出力増幅
部３を介して超音波モータ２０の駆動電極２１ａ，２１
ｂに印加される。この結果、図２（ｂ）に示すように両
超音波モータ１０，２０の動特性が一致し、超音波モー
タ２０は、駆動周波数ｆ１における補正前の回転速度ｎ
２から、超音波モータ１０と等しい回転速度ｎ１に増速
されて駆動制御される。
【００２２】この出力補正部７Ａは演算増幅回路のみか
ら構成されるので、図３に示す出力補正部７のように複
雑な回路構成を必要とせず、さらに小型化されるととも
に、最小限な回路構成で超音波モータ２０に対する最適
な駆動信号を生成することができる。なお、出力補正部
７，７Ａにおける駆動信号の周波数または電圧の補正方
法は、上記実施例に限定されなく、超音波モータ２０の
動特性が超音波モータ１０のそれと一致するように駆動
制御する方法であればよい。
ら構成されるので、図３に示す出力補正部７のように複
雑な回路構成を必要とせず、さらに小型化されるととも
に、最小限な回路構成で超音波モータ２０に対する最適
な駆動信号を生成することができる。なお、出力補正部
７，７Ａにおける駆動信号の周波数または電圧の補正方
法は、上記実施例に限定されなく、超音波モータ２０の
動特性が超音波モータ１０のそれと一致するように駆動
制御する方法であればよい。
【００２３】このように、一対の固定子と移動子とを有
する２組の超音波モータ１０，２０に対して、駆動信号
を発生する発振部１と、その駆動信号を互にπ／２だけ
位相が異なる２つの駆動信号に変換するとともに、それ
らを増幅して一方の超音波モータ１０の固定子の駆動電
極１１ａ，１１ｂに駆動電圧を印加する移相部２および
出力増幅部３と、超音波モータ１０の出力を検出し安定
な駆動状態が得られるように発振部１を制御する出力検
出部４および出力制御部５とから成る第１の駆動回路
と、超音波モータ２０の回転速度が超音波モータ１０の
回転速度と一致するように、発振部１からの駆動信号を
補正する出力補正部７（７Ａ）と、補正された駆動信号
を互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換す
るとともに、それらを増幅して超音波モータ２０の固定
子の駆動電極２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３と
から成る第２の駆動回路とを設けるようにしたので、各
超音波モータ１０，２０に対してそれぞれ別個に発振部
１、および出力検出部４と出力制御部５とから成るフィ
ードバック回路を設ける必要がなく、回路構成が小規模
となって装置が小型化されるとともに、調整工数が低減
されて操作性が向上する。
する２組の超音波モータ１０，２０に対して、駆動信号
を発生する発振部１と、その駆動信号を互にπ／２だけ
位相が異なる２つの駆動信号に変換するとともに、それ
らを増幅して一方の超音波モータ１０の固定子の駆動電
極１１ａ，１１ｂに駆動電圧を印加する移相部２および
出力増幅部３と、超音波モータ１０の出力を検出し安定
な駆動状態が得られるように発振部１を制御する出力検
出部４および出力制御部５とから成る第１の駆動回路
と、超音波モータ２０の回転速度が超音波モータ１０の
回転速度と一致するように、発振部１からの駆動信号を
補正する出力補正部７（７Ａ）と、補正された駆動信号
を互にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換す
るとともに、それらを増幅して超音波モータ２０の固定
子の駆動電極２１ａ，２１ｂに印加する出力増幅部３と
から成る第２の駆動回路とを設けるようにしたので、各
超音波モータ１０，２０に対してそれぞれ別個に発振部
１、および出力検出部４と出力制御部５とから成るフィ
ードバック回路を設ける必要がなく、回路構成が小規模
となって装置が小型化されるとともに、調整工数が低減
されて操作性が向上する。
【００２４】また、発振部１で、超音波モータ１０に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ
２０の回転速度が超音波モータ１０の回転速度に一致す
るように、発振部１の駆動信号を補正するので、互に異
なる制御特性の超音波モータ１０，２０であっても両者
の動特性はほぼ一致し、駆動効率が向上するとともに、
両超音波モータ１０，２０に駆動される回転体６の制御
精度が向上する。
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ
２０の回転速度が超音波モータ１０の回転速度に一致す
るように、発振部１の駆動信号を補正するので、互に異
なる制御特性の超音波モータ１０，２０であっても両者
の動特性はほぼ一致し、駆動効率が向上するとともに、
両超音波モータ１０，２０に駆動される回転体６の制御
精度が向上する。
【００２５】上記第１の実施例では、一対の固定子と移
動子とを有する２組の超音波モータ１０，２０を例に上
げて説明したが、１個の移動子の両側に２個の固定子を
それぞれ加圧接触させて駆動する超音波モータに対して
も本発明を適用でき、同様な効果を得ることができる。
動子とを有する２組の超音波モータ１０，２０を例に上
げて説明したが、１個の移動子の両側に２個の固定子を
それぞれ加圧接触させて駆動する超音波モータに対して
も本発明を適用でき、同様な効果を得ることができる。
【００２６】−第２の実施例− 次に、一対の固定子および移動子から成る３組の超音波
モータを駆動する第２の実施例を説明する。図８は、こ
の第２の実施例の構成を示すブロック図である。なお、
第１の実施例の構成を示す図１と同様な機器に対しては
同符号を付して相違点を中心に説明する。各超音波モー
タ１０，２０，３０の移動子１３，２３，３３は、同一
の回転体６に直結されている。超音波モータ１０，２０
の駆動回路は上述した図１に示す回路と同様であり、さ
らに、超音波モータ３０の駆動回路は超音波モータ２０
の駆動回路と同様である。すなわち、超音波モータ３０
の出力補正部７（７Ａ）は、発振部１に接続され、発振
部１から駆動信号が供給される。
モータを駆動する第２の実施例を説明する。図８は、こ
の第２の実施例の構成を示すブロック図である。なお、
第１の実施例の構成を示す図１と同様な機器に対しては
同符号を付して相違点を中心に説明する。各超音波モー
タ１０，２０，３０の移動子１３，２３，３３は、同一
の回転体６に直結されている。超音波モータ１０，２０
の駆動回路は上述した図１に示す回路と同様であり、さ
らに、超音波モータ３０の駆動回路は超音波モータ２０
の駆動回路と同様である。すなわち、超音波モータ３０
の出力補正部７（７Ａ）は、発振部１に接続され、発振
部１から駆動信号が供給される。
【００２７】発振部１で発生された駆動信号は、超音波
モータ１０の移相部２と、超音波モータ２０および超音
波モータ３０の出力補正部７（７Ａ）とに供給される。
超音波モータ１０の駆動回路では、上述したように、駆
動信号が移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの
駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３でそ
れぞれ別個に増幅されて超音波モータ１０の駆動電極１
１ａ，１１ｂに印加される。また、超音波モータ２０の
駆動回路では、上述したように、出力補正部７（７Ａ）
で超音波モータ２０の駆動速度が超音波モータ１０の駆
動速度と一致するように駆動信号が補正され、補正され
た駆動信号は移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２
つの駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３
でそれぞれ別個に増幅されて超音波モータ２０の駆動電
極２１ａ，２１ｂに印加される。さらに、超音波モータ
３０の駆動回路では、超音波モータ２０の駆動回路と同
様に、出力補正部７（７Ａ）で超音波モータ３０の駆動
速度が超音波モータ１０の駆動速度と一致するように駆
動信号が補正され、補正された駆動信号は移相部２で互
にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換され、
さらにそれらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅され
て超音波モータ３０の駆動電極３１ａ，３１ｂに印加さ
れる。
モータ１０の移相部２と、超音波モータ２０および超音
波モータ３０の出力補正部７（７Ａ）とに供給される。
超音波モータ１０の駆動回路では、上述したように、駆
動信号が移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２つの
駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３でそ
れぞれ別個に増幅されて超音波モータ１０の駆動電極１
１ａ，１１ｂに印加される。また、超音波モータ２０の
駆動回路では、上述したように、出力補正部７（７Ａ）
で超音波モータ２０の駆動速度が超音波モータ１０の駆
動速度と一致するように駆動信号が補正され、補正され
た駆動信号は移相部２で互にπ／２だけ位相が異なる２
つの駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部３
でそれぞれ別個に増幅されて超音波モータ２０の駆動電
極２１ａ，２１ｂに印加される。さらに、超音波モータ
３０の駆動回路では、超音波モータ２０の駆動回路と同
様に、出力補正部７（７Ａ）で超音波モータ３０の駆動
速度が超音波モータ１０の駆動速度と一致するように駆
動信号が補正され、補正された駆動信号は移相部２で互
にπ／２だけ位相が異なる２つの駆動信号に変換され、
さらにそれらは出力増幅部３でそれぞれ別個に増幅され
て超音波モータ３０の駆動電極３１ａ，３１ｂに印加さ
れる。
【００２８】このように、３台の超音波モータ１０，２
０，３０で同一の回転体６を駆動する場合でも、各超音
波モータ１０，２０，３０に対してそれぞれ別個に発振
部１と、フィードバック回路を構成する出力検出部４お
よび出力制御部５とを設ける必要がなく、回路構成が小
規模となって装置が小型化されるとともに、調整工数が
低減されて操作性が向上する。
０，３０で同一の回転体６を駆動する場合でも、各超音
波モータ１０，２０，３０に対してそれぞれ別個に発振
部１と、フィードバック回路を構成する出力検出部４お
よび出力制御部５とを設ける必要がなく、回路構成が小
規模となって装置が小型化されるとともに、調整工数が
低減されて操作性が向上する。
【００２９】また、発振部１で、超音波モータ１０に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正
部７（７Ａ）で、超音波モータ２０の回転速度が超音波
モータ１０の回転速度に一致するように、発振部１の駆
動信号を補正し、同様に、超音波モータ３０の駆動回路
の出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ３０の回転速
度が超音波モータ１０の回転速度に一致するように、発
振部１の駆動信号を補正するので、第１の実施例と同様
に、互に動特性が異なる超音波モータ１０，２０，３０
であってもそれらの動特性がほぼ一致し、駆動効率およ
び制御精度が向上する。
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、超音波モータ２０の駆動回路の出力補正
部７（７Ａ）で、超音波モータ２０の回転速度が超音波
モータ１０の回転速度に一致するように、発振部１の駆
動信号を補正し、同様に、超音波モータ３０の駆動回路
の出力補正部７（７Ａ）で、超音波モータ３０の回転速
度が超音波モータ１０の回転速度に一致するように、発
振部１の駆動信号を補正するので、第１の実施例と同様
に、互に動特性が異なる超音波モータ１０，２０，３０
であってもそれらの動特性がほぼ一致し、駆動効率およ
び制御精度が向上する。
【００３０】なお、上記実施例では、２個および３個の
超音波モータの駆動装置を例に上げて説明したが、４個
以上の超音波モータに対しても本発明を応用することが
でき、上述したと同様な効果が得られる。
超音波モータの駆動装置を例に上げて説明したが、４個
以上の超音波モータに対しても本発明を応用することが
でき、上述したと同様な効果が得られる。
【００３１】また、上記実施例では、超音波モータ１０
に対して発振部１，出力検出部４および出力制御部５を
設けたが、超音波モータ２０または超音波モータ３０に
設けてもよい。
に対して発振部１，出力検出部４および出力制御部５を
設けたが、超音波モータ２０または超音波モータ３０に
設けてもよい。
【００３２】以上の実施例の構成において、圧電体１１
と弾性体１２，圧電体２１と弾性体２２，圧電体３１と
弾性体３２がそれぞれ振動子を、移動子１３，２３，３
３が相対運動部材を、発振部１が発振部を、出力検出部
４および出力制御部５が検出部を、出力補正部７または
７Ａが駆動信号補正部をそれぞれ構成する。
と弾性体１２，圧電体２１と弾性体２２，圧電体３１と
弾性体３２がそれぞれ振動子を、移動子１３，２３，３
３が相対運動部材を、発振部１が発振部を、出力検出部
４および出力制御部５が検出部を、出力補正部７または
７Ａが駆動信号補正部をそれぞれ構成する。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
振動モータに対してそれぞれ別個に発振部と検出部とを
設ける必要がなく、回路構成が小型化されるとともに、
調整工数が低減されて操作性が向上する。また、駆動信
号補正部で、第１の駆動回路からの駆動信号を印加され
た振動子によって駆動される相対運動部材から得られる
出力特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材
から得られる出力特性とほぼ一致するように、発振部の
駆動信号を補正するので、互に異なる出力特性の振動モ
ータであってもそれらの出力特性がほぼ一致し、駆動効
率および制御精度が向上する。また、１個の振動子に１
個の相対運動部材が設けられたユニットを複数組有し、
各相対運動部材が同一回転体を介して直結される振動モ
ータに対しても、各ユニットに対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。さらに、相対運動部材の両側に振動子が配置さ
れ、複数の振動子と複数の相対運動部材とから成る振動
モータに対しても、各振動子に対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。
振動モータに対してそれぞれ別個に発振部と検出部とを
設ける必要がなく、回路構成が小型化されるとともに、
調整工数が低減されて操作性が向上する。また、駆動信
号補正部で、第１の駆動回路からの駆動信号を印加され
た振動子によって駆動される相対運動部材から得られる
出力特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材
から得られる出力特性とほぼ一致するように、発振部の
駆動信号を補正するので、互に異なる出力特性の振動モ
ータであってもそれらの出力特性がほぼ一致し、駆動効
率および制御精度が向上する。また、１個の振動子に１
個の相対運動部材が設けられたユニットを複数組有し、
各相対運動部材が同一回転体を介して直結される振動モ
ータに対しても、各ユニットに対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。さらに、相対運動部材の両側に振動子が配置さ
れ、複数の振動子と複数の相対運動部材とから成る振動
モータに対しても、各振動子に対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。
【図１】第１の実施例の構成を示すブロック図である。
【図２】超音波モータの駆動電圧の周波数に対する回転
速度特性を示す図で、（ａ）は、２個の超音波モータの
内の一方の駆動周波数を補正して、両超音波モータの駆
動速度特性を一致させる駆動信号補正方法を示し、
（ｂ）は、２個の超音波モータの内の一方の駆動電圧を
補正して、両超音波モータの駆動速度特性を一致させる
駆動信号補正方法を示す。
速度特性を示す図で、（ａ）は、２個の超音波モータの
内の一方の駆動周波数を補正して、両超音波モータの駆
動速度特性を一致させる駆動信号補正方法を示し、
（ｂ）は、２個の超音波モータの内の一方の駆動電圧を
補正して、両超音波モータの駆動速度特性を一致させる
駆動信号補正方法を示す。
【図３】出力補正部の構成を示すブロック図である。
【図４】電圧制御発振器（ＶＣＯ）の入力電圧に対する
出力周波数特性を示す図である。
出力周波数特性を示す図である。
【図５】非反転型増幅回路の詳細な回路図である。
【図６】出力補正部の回路各部の電圧波形を示す図で、
（ａ）は発振部の駆動信号波形を示し、（ｂ）は微分回
路の出力電圧ｆＤの波形を示し、（ｃ）は整流回路の出
力電圧Ｖの波形を示し、（ｄ）は加算回路の出力電圧Ｖ
＋△Ｖの波形を示し、（ｅ）は電圧制御発振器（ＶＣ
Ｏ）の出力電圧波形を示す。
（ａ）は発振部の駆動信号波形を示し、（ｂ）は微分回
路の出力電圧ｆＤの波形を示し、（ｃ）は整流回路の出
力電圧Ｖの波形を示し、（ｄ）は加算回路の出力電圧Ｖ
＋△Ｖの波形を示し、（ｅ）は電圧制御発振器（ＶＣ
Ｏ）の出力電圧波形を示す。
【図７】他の出力補正部の回路図である。
【図８】第２の実施例の構成を示すブロック図である。
【図９】従来の超音波モータの駆動装置を示すブロック
図である。
図である。
１ 発振部 ２ 移相部 ３ 出力増幅部 ４ 出力検出部 ５ 出力制御部 ６ 回転体 ７，７Ａ 出力補正部 １０，２０，３０ 超音波モータ １１，２１，３１ 圧電体 １１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ，３１ａ，３１ｂ 駆
動電極 １１ｃ モニタ電極 １２，２２，３２ 弾性体 １３，２３，３３ 移動子 ７１ 微分回路 ７２ 整流回路 ７３ スイッチ ７４ 増幅回路 ７５ 加算回路 ７６ 電圧制御発振器（ＶＣＯ） ＡＭＰ１，ＡＭＰ２ アンプ Ｒｓ，Ｒｆ 抵抗器
動電極 １１ｃ モニタ電極 １２，２２，３２ 弾性体 １３，２３，３３ 移動子 ７１ 微分回路 ７２ 整流回路 ７３ スイッチ ７４ 増幅回路 ７５ 加算回路 ７６ 電圧制御発振器（ＶＣＯ） ＡＭＰ１，ＡＭＰ２ アンプ Ｒｓ，Ｒｆ 抵抗器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−193836（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−30472（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−214271（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−277384（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−183982（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−174078（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02N 2/00
Claims (7)
- 【請求項１】 少なくとも２個の振動子と、前記振動子
に発生する振動によって前記振動子との間で相対運動を
行う少なくとも１個の相対運動部材とを有する振動モー
タの駆動装置であって、駆動信号を生成する発振部と、前記振動モータの出力を
検出してその検出値に基づいて前記発振部を制御する検
出部とを有し、前記発振部で生成された駆動信号を前記
少なくとも２個の振動子の内のいずれか１個の振動子に
印加する第１の駆動回路と、 前記第１の駆動回路からの駆動信号を印加された前記振
動子によって駆動される相対運動部材から得られる出力
特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材から
得られる出力特性とほぼ一致するように、前記発振部か
らの駆動信号を補正する駆動信号補正部を有し、前記駆
動信号補正部で補正された駆動信号を前記第１の駆動回
路で駆動される振動子以外の振動子に印加する第２の駆
動回路とを備えることを特徴とする振動 モータの駆動装
置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の振動モータの駆動装置
において、前記振動モータは、１個の振動子に対して１個の相対運
動部材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対
運動部材が同一回転体を介して直結されている ことを特
徴とする振動モータの駆動制御装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の振動モータの駆動装置
において、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が配置
され、複数の振動子と複数の相対運動部材とで構成され
ている ことを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項４】 少なくとも２個の振動子と、前記各振動
子に発生する振動によってこれらの振動子との間で相対
運動を行う、少なくとも１個の相対運動部材とを有する
振動モータと、 交流電圧を生成し、前記少なくとも２個の振動子に印加
する駆動回路とを備え、 前記駆動回路は、前記少なくとも２個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定 できるこ
とを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の振動モータの駆動装置
において、 前記駆動回路は、各振動子により駆動される相対運動部
材から得られる出力特性が互いに等しくなるように、１
個の振動子に印加される交流電圧の電圧値を固定したま
ま、残りの振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を
変更することを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項６】 請求項４または請求項５に記載の振動モ
ータの駆動装置において、 前記振動モータは、１個の振動子に対して１個の相対運
動部材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対
運動部材が同一回転体を介して直結されていることを特
徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項７】 請求項４または請求項５に記載の振動モ
ータの駆動装置において、 前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が配置
され、複数の振動子と複数の相対運動部材とで構成され
ていることを特徴とする振動モータの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3069076A JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3069076A JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04281375A JPH04281375A (ja) | 1992-10-06 |
| JP2967599B2 true JP2967599B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=13392130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3069076A Expired - Lifetime JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2967599B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3248545B2 (ja) * | 1993-07-23 | 2002-01-21 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動制御装置 |
| US5939847A (en) * | 1992-08-07 | 1999-08-17 | Nikon Corporation | Drive control device for ultrasonic motors |
| WO1999063653A1 (fr) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Star Micronics Co., Ltd. | Technique de detection de position et appareil correspondant, moteur a ultrasons et technique de commande de ce moteur |
| JP4636645B2 (ja) * | 2000-01-27 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置を用いた出力装置およびこの出力装置を有する装置 |
| JP5854630B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2016-02-09 | キヤノン株式会社 | 駆動制御方法、および駆動制御装置 |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP3069076A patent/JP2967599B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04281375A (ja) | 1992-10-06 |
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