JP2967599B2 - 振動モータの駆動装置 - Google Patents
振動モータの駆動装置Info
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- JP2967599B2 JP2967599B2 JP3069076A JP6907691A JP2967599B2 JP 2967599 B2 JP2967599 B2 JP 2967599B2 JP 3069076 A JP3069076 A JP 3069076A JP 6907691 A JP6907691 A JP 6907691A JP 2967599 B2 JP2967599 B2 JP 2967599B2
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- driving
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータに代表さ
れるような、振動子に振動を発生させて、この振動子に
加圧接触する相対運動部材との間に相対運動を発生させ
る振動モータの駆動装置に関する。
れるような、振動子に振動を発生させて、この振動子に
加圧接触する相対運動部材との間に相対運動を発生させ
る振動モータの駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、超音波モータの駆動電極に印
加する駆動電圧波形と、超音波モータの弾性体の振動に
応じた周波電圧を発生するモニタ電極の電圧波形との位
相差が、安定した駆動状態が得られる所定の値になるよ
うに、駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置が
知られている(例えば、特開昭61−251490号公
報参照)。
加する駆動電圧波形と、超音波モータの弾性体の振動に
応じた周波電圧を発生するモニタ電極の電圧波形との位
相差が、安定した駆動状態が得られる所定の値になるよ
うに、駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置が
知られている(例えば、特開昭61−251490号公
報参照)。
【0003】この種の超音波モータの駆動装置の構成を
図9に示す。発振部1で発生された周波数f1の駆動信
号は、移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2つの駆
動信号に変換され、これらの駆動信号はそれぞれ別個に
出力増幅部3により増幅されて超音波モータ10の圧電
体11の駆動電極11a,11bに印加される。
図9に示す。発振部1で発生された周波数f1の駆動信
号は、移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2つの駆
動信号に変換され、これらの駆動信号はそれぞれ別個に
出力増幅部3により増幅されて超音波モータ10の圧電
体11の駆動電極11a,11bに印加される。
【0004】超音波モータ10の圧電体11がこれらの
駆動信号によって励振されると、この圧電体11に接合
される弾性体12の駆動面に進行性振動波を発生する。
そして、弾性体12の駆動面に加圧接触される移動子1
3は、この進行性振動波により駆動されて回転する。
駆動信号によって励振されると、この圧電体11に接合
される弾性体12の駆動面に進行性振動波を発生する。
そして、弾性体12の駆動面に加圧接触される移動子1
3は、この進行性振動波により駆動されて回転する。
【0005】出力検出部4は、弾性体12の振動に応じ
てモニタ電極11cに発生する周波電圧(以下、モニタ
電圧と呼ぶ)と、駆動電極11a,11bに印加される
駆動電圧との位相差を検出し、出力制御部5は、この位
相差が安定した駆動状態が得られる所定の値になるよう
に発振部1を制御する。すなわち、出力検出部4および
出力制御部5は、超音波モータ駆動装置のフィードバッ
ク回路を構成する。
てモニタ電極11cに発生する周波電圧(以下、モニタ
電圧と呼ぶ)と、駆動電極11a,11bに印加される
駆動電圧との位相差を検出し、出力制御部5は、この位
相差が安定した駆動状態が得られる所定の値になるよう
に発振部1を制御する。すなわち、出力検出部4および
出力制御部5は、超音波モータ駆動装置のフィードバッ
ク回路を構成する。
【0006】ところで、複数の超音波モータを用いて1
つの回転軸や回転筒などを駆動させる場合、各超音波モ
ータの駆動信号に対する動特性が異なるため、それぞれ
の超音波モータに対して駆動装置を独立に設けたものが
提案されている(例えば、特開平1−227669号公
報参照)。
つの回転軸や回転筒などを駆動させる場合、各超音波モ
ータの駆動信号に対する動特性が異なるため、それぞれ
の超音波モータに対して駆動装置を独立に設けたものが
提案されている(例えば、特開平1−227669号公
報参照)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、1つの
回転軸や回転筒などを駆動する複数の超音波モータのそ
れぞれに、図9に示すフィードバック回路を有した超音
波モータ駆動装置を用いると、回路が大規模になって装
置が大型になる上、各超音波モータごとに調整を行なう
必要があり、操作性が悪いという問題がある。
回転軸や回転筒などを駆動する複数の超音波モータのそ
れぞれに、図9に示すフィードバック回路を有した超音
波モータ駆動装置を用いると、回路が大規模になって装
置が大型になる上、各超音波モータごとに調整を行なう
必要があり、操作性が悪いという問題がある。
【0008】本発明の目的は、複数の超音波モータを制
御して1つの回転体を駆動し、最小限の回路構成で小型
化を計るとともに、調整工数を低減して操作性を向上さ
せる超音波モータの駆動装置を提供することにある。
御して1つの回転体を駆動し、最小限の回路構成で小型
化を計るとともに、調整工数を低減して操作性を向上さ
せる超音波モータの駆動装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】一実施例の構成を示す図
1に対応づけて本発明を説明すると、請求項1の発明
は、少なくとも2個の振動子(11,12)、(21,
22)と、振動子(11,12)、(21,22)に発
生する振動によって振動子(11,12)、(21,2
2)との間で相対運動を行う少なくとも1個の相対運動
部材13,23とを有する振動モータの駆動装置であっ
て、駆動信号を生成する発振部1と、振動モータの出力
を検出してその検出値に基づいて発振部1を制御する検
出部4,5とを有し、発振部1で生成された駆動信号を
少なくとも2個の振動子(11,12)、(21,2
2)の内のいずれか1個の振動子に印加する第1の駆動
回路と、第1の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子11,12によって駆動される相対運動部材13か
ら得られる出力特性が、他の振動子21,22により駆
動される相対運動部材23から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部1からの駆動信号を補正する駆
動信号補正部7(7A)を有し、駆動信号補正部7(7
A)で補正された駆動信号を第1の駆動回路で駆動され
る振動子以外の振動子に印加する第2の駆動回路とを備
える振動モータの駆動装置を提供する。請求項2の発明
では、請求項1の振動モータの駆動装置において、前記
振動モータは、1個の振動子に対して1個の相対運動部
材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対運動
振動部材が同一回転体を介して直結されている。請求項
3の発明では、請求項1の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。請求項4の発明では、少なくとも2個の振動子
と、前記各振動子に発生する振動によってこれらの振動
子との間で相対運動を行う、少なくとも1個の相対運動
部材とを有する振動モータと、交流電圧を生成し、前記
少なくとも2個の振動子に印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記少なくとも2個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定できる振
動モータの駆動装置を提供する。請求項5の発明では、
請求項4の振動モータの駆動装置において、前記駆動回
路は、各振動子により駆動される相対運動部材から得ら
れる出力特性が互いに等しくなるように、1個の振動子
に印加される交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの
振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
請求項6の発明では、請求項4または請求項5の振動モ
ータの駆動装置において、前記振動モータは、1個の振
動子に対して1個の相対運動部材が設けられたユニット
を複数組有し、前記各相対運動振動部材が同一回転体を
介して直結されている。請求項7の発明では、請求項4
または請求項5に記載の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。
1に対応づけて本発明を説明すると、請求項1の発明
は、少なくとも2個の振動子(11,12)、(21,
22)と、振動子(11,12)、(21,22)に発
生する振動によって振動子(11,12)、(21,2
2)との間で相対運動を行う少なくとも1個の相対運動
部材13,23とを有する振動モータの駆動装置であっ
て、駆動信号を生成する発振部1と、振動モータの出力
を検出してその検出値に基づいて発振部1を制御する検
出部4,5とを有し、発振部1で生成された駆動信号を
少なくとも2個の振動子(11,12)、(21,2
2)の内のいずれか1個の振動子に印加する第1の駆動
回路と、第1の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子11,12によって駆動される相対運動部材13か
ら得られる出力特性が、他の振動子21,22により駆
動される相対運動部材23から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部1からの駆動信号を補正する駆
動信号補正部7(7A)を有し、駆動信号補正部7(7
A)で補正された駆動信号を第1の駆動回路で駆動され
る振動子以外の振動子に印加する第2の駆動回路とを備
える振動モータの駆動装置を提供する。請求項2の発明
では、請求項1の振動モータの駆動装置において、前記
振動モータは、1個の振動子に対して1個の相対運動部
材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対運動
振動部材が同一回転体を介して直結されている。請求項
3の発明では、請求項1の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。請求項4の発明では、少なくとも2個の振動子
と、前記各振動子に発生する振動によってこれらの振動
子との間で相対運動を行う、少なくとも1個の相対運動
部材とを有する振動モータと、交流電圧を生成し、前記
少なくとも2個の振動子に印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記少なくとも2個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定できる振
動モータの駆動装置を提供する。請求項5の発明では、
請求項4の振動モータの駆動装置において、前記駆動回
路は、各振動子により駆動される相対運動部材から得ら
れる出力特性が互いに等しくなるように、1個の振動子
に印加される交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの
振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
請求項6の発明では、請求項4または請求項5の振動モ
ータの駆動装置において、前記振動モータは、1個の振
動子に対して1個の相対運動部材が設けられたユニット
を複数組有し、前記各相対運動振動部材が同一回転体を
介して直結されている。請求項7の発明では、請求項4
または請求項5に記載の振動モータの駆動装置におい
て、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が
配置され、複数の振動子と複数の相対運動とで構成され
ている。
【0010】
【作用】請求項1では、第1の駆動回路において、発振
部1が駆動信号を発生し、少なくとも2個の振動子(1
1,12)、(21,22)の内のいずれか1個の振動
子に印加する。そして、検出部4,5は振動モータの出
力を検出し、その検出値に基づいて発振部1を制御す
る。一方、第2の駆動回路では、駆動信号補正部7(7
A)が、第1の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子11,12によって駆動される相対運動部材13か
ら得られる出力特性が、他の振動子21,22により駆
動される相対運動部材23から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部1からの駆動信号を補正し、駆
動信号補正部7(7A)で補正された駆動信号を第1の
駆動回路で駆動される振動子以外の振動子に印加する。
請求項4では、駆動回路が、少なくとも2個の振動子に
印加される交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等し
い状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定し、少
なくとも2個の振動子に印加する。請求項5では、各振
動子により駆動される相対運動部材から得られる出力特
性が互いに等しくなるように、1個の振動子に印加され
る交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの振動子に印
加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
部1が駆動信号を発生し、少なくとも2個の振動子(1
1,12)、(21,22)の内のいずれか1個の振動
子に印加する。そして、検出部4,5は振動モータの出
力を検出し、その検出値に基づいて発振部1を制御す
る。一方、第2の駆動回路では、駆動信号補正部7(7
A)が、第1の駆動回路からの駆動信号を印加された振
動子11,12によって駆動される相対運動部材13か
ら得られる出力特性が、他の振動子21,22により駆
動される相対運動部材23から得られる出力特性とほぼ
一致するように、発振部1からの駆動信号を補正し、駆
動信号補正部7(7A)で補正された駆動信号を第1の
駆動回路で駆動される振動子以外の振動子に印加する。
請求項4では、駆動回路が、少なくとも2個の振動子に
印加される交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等し
い状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定し、少
なくとも2個の振動子に印加する。請求項5では、各振
動子により駆動される相対運動部材から得られる出力特
性が互いに等しくなるように、1個の振動子に印加され
る交流電圧の電圧値を固定したまま、残りの振動子に印
加される前記交流電圧の電圧値を変更する。
【0011】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
【0012】
【実施例】−第1の実施例− 図1は、本発明の第1の実施例の構成を示すブロック図
である。なお、図9に示す従来装置と同様な機器に対し
ては同符号を付して相違点を中心に説明する。20は、
超音波モータ10と同様な構成を有する超音波モータで
あり、その移動子23は超音波モータ10の移動子13
と回転体6を介して直結される。なお超音波モータ1
0,20は、駆動電圧の周波数に対してそれぞれ図2
(a),図2(b)に示すような回転速度特性を有す
る。
である。なお、図9に示す従来装置と同様な機器に対し
ては同符号を付して相違点を中心に説明する。20は、
超音波モータ10と同様な構成を有する超音波モータで
あり、その移動子23は超音波モータ10の移動子13
と回転体6を介して直結される。なお超音波モータ1
0,20は、駆動電圧の周波数に対してそれぞれ図2
(a),図2(b)に示すような回転速度特性を有す
る。
【0013】超音波モータ10の駆動回路は、図9に示
す駆動回路と同様な回路が用いられる。一方、超音波モ
ータ20の駆動回路は、発振部1からの駆動信号の周波
数を補正する出力補正部7と、補正後の駆動信号を互に
π/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換する移相
部2と、それらを増幅して超音波モータ20の駆動電極
21a,21bに印加する出力増幅部3とから構成され
る。
す駆動回路と同様な回路が用いられる。一方、超音波モ
ータ20の駆動回路は、発振部1からの駆動信号の周波
数を補正する出力補正部7と、補正後の駆動信号を互に
π/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換する移相
部2と、それらを増幅して超音波モータ20の駆動電極
21a,21bに印加する出力増幅部3とから構成され
る。
【0014】図3に出力補正部7の構成を示す。図にお
いて、71は、駆動信号に微分演算を行なう微分回路、
72は、微分演算後の駆動信号を整流する整流回路、7
3は、不図示の定電圧源から供給される正の一定電圧+
Vdと負の一定電圧−Vdとを切り換えるスイッチであ
る。74は、後述する非反転型の増幅回路であり、スイ
ッチ73により選択された入力電圧を増幅して電圧±△
Vを出力する。なお、スイッチ73により正の一定電圧
+Vdが選択された時は、増幅回路74は正の電圧+△
Vを出力し、負の一定電圧−Vdが選択された時は、増
幅回路74は負の電圧−△Vを出力する。75は加算回
路であり、整流回路72の出力電圧Vと増幅回路74の
出力電圧±△Vとを加算する。さらに76は、電圧制御
発振器(以下、VCOと呼ぶ)であり、図4に示すよう
に入力電圧に比例した周波数の周波電圧を出力する。
いて、71は、駆動信号に微分演算を行なう微分回路、
72は、微分演算後の駆動信号を整流する整流回路、7
3は、不図示の定電圧源から供給される正の一定電圧+
Vdと負の一定電圧−Vdとを切り換えるスイッチであ
る。74は、後述する非反転型の増幅回路であり、スイ
ッチ73により選択された入力電圧を増幅して電圧±△
Vを出力する。なお、スイッチ73により正の一定電圧
+Vdが選択された時は、増幅回路74は正の電圧+△
Vを出力し、負の一定電圧−Vdが選択された時は、増
幅回路74は負の電圧−△Vを出力する。75は加算回
路であり、整流回路72の出力電圧Vと増幅回路74の
出力電圧±△Vとを加算する。さらに76は、電圧制御
発振器(以下、VCOと呼ぶ)であり、図4に示すよう
に入力電圧に比例した周波数の周波電圧を出力する。
【0015】図5は、増幅回路74の詳細な回路を示
す。増幅回路74は、非反転型アンプAMP1と抵抗器
Rs,Rfとから構成され、その出力電圧△Vは次式に
より算出される。 △V=(+Vdまたは−Vd)×(1+Rf/Rs) ・・・(1) すなわち、抵抗器Rfの抵抗値を調整することにより、
出力電圧△Vを変化させることができる。
す。増幅回路74は、非反転型アンプAMP1と抵抗器
Rs,Rfとから構成され、その出力電圧△Vは次式に
より算出される。 △V=(+Vdまたは−Vd)×(1+Rf/Rs) ・・・(1) すなわち、抵抗器Rfの抵抗値を調整することにより、
出力電圧△Vを変化させることができる。
【0016】図6は、出力補正部7の回路各部の電圧波
形を示し、(a)は発振部1の駆動信号波形を示し、
(b)は微分回路71の出力電圧fDの波形を示し、
(c)は整流回路72の出力電圧Vの波形を示し、
(d)は加算回路75の出力電圧V+△Vの波形を示
し、(e)はVCO76の出力電圧波形を示す。これら
の図を参照して出力補正部7の動作を説明する。発振部
1から発生された周波数f1の駆動信号A・sin(2
π・f1・t)は、出力補正部7の端子INを経て微分
回路71へ入力される。微分回路71は、入力駆動信号
に対して微分演算を行い、図6(b)に示す信号fD=
2π・f1・A・cos(2π・f1・t)を出力す
る。なお、この信号fDは、駆動信号の周波数f1が高
いほどその振幅が大きくなる。次に整流回路72は、微
分された駆動信号を図6(c)に示す直流電圧Vに変換
して加算回路75へ出力する。一方、増幅回路74は、
スイッチ73により選択された正の一定電圧+Vdを増
幅し、電圧+△Vを加算回路75へ出力する。加算回路
75は、これらの電圧Vおよび+△Vを加算し、図6
(d)に示す出力電圧V+△VをVCO76へ出力す
る。VCO76は、図4に示すように、入力電圧V+△
Vに比例した周波数f1+△fの方形波の周波電圧(図
6(e))を出力し、さらに不図示の波形整形回路を経
て周波数f1+△fの正弦波電圧を端子OUTへ出力す
る。すなわち、発振部1からの駆動信号は、その信号周
波数がf1+△fに補正される。逆に、スイッチ73に
より−Vdが選択された時は、増幅回路74は−△Vを
出力し、加算回路75は電圧V−△Vを出力する。その
結果、駆動信号の周波数はf1−△fに補正される。な
お、スイッチ73により切り換えられる正負の一定電圧
±Vdを変化させても、増幅回路74の出力電圧±△V
を変えることができる。
形を示し、(a)は発振部1の駆動信号波形を示し、
(b)は微分回路71の出力電圧fDの波形を示し、
(c)は整流回路72の出力電圧Vの波形を示し、
(d)は加算回路75の出力電圧V+△Vの波形を示
し、(e)はVCO76の出力電圧波形を示す。これら
の図を参照して出力補正部7の動作を説明する。発振部
1から発生された周波数f1の駆動信号A・sin(2
π・f1・t)は、出力補正部7の端子INを経て微分
回路71へ入力される。微分回路71は、入力駆動信号
に対して微分演算を行い、図6(b)に示す信号fD=
2π・f1・A・cos(2π・f1・t)を出力す
る。なお、この信号fDは、駆動信号の周波数f1が高
いほどその振幅が大きくなる。次に整流回路72は、微
分された駆動信号を図6(c)に示す直流電圧Vに変換
して加算回路75へ出力する。一方、増幅回路74は、
スイッチ73により選択された正の一定電圧+Vdを増
幅し、電圧+△Vを加算回路75へ出力する。加算回路
75は、これらの電圧Vおよび+△Vを加算し、図6
(d)に示す出力電圧V+△VをVCO76へ出力す
る。VCO76は、図4に示すように、入力電圧V+△
Vに比例した周波数f1+△fの方形波の周波電圧(図
6(e))を出力し、さらに不図示の波形整形回路を経
て周波数f1+△fの正弦波電圧を端子OUTへ出力す
る。すなわち、発振部1からの駆動信号は、その信号周
波数がf1+△fに補正される。逆に、スイッチ73に
より−Vdが選択された時は、増幅回路74は−△Vを
出力し、加算回路75は電圧V−△Vを出力する。その
結果、駆動信号の周波数はf1−△fに補正される。な
お、スイッチ73により切り換えられる正負の一定電圧
±Vdを変化させても、増幅回路74の出力電圧±△V
を変えることができる。
【0017】この出力補正部7では、補正量が発振部1
から入力される駆動信号とは別個に設定されるので、駆
動信号の電圧および周波数の変化に影響されることがな
い。
から入力される駆動信号とは別個に設定されるので、駆
動信号の電圧および周波数の変化に影響されることがな
い。
【0018】次に、第1の実施例装置の動作を説明す
る。まず超音波モータ10の駆動回路において、発振部
1から発生された周波数f1の駆動信号は、移相部2で
互にπ/2の位相差を有する2つの駆動信号に変換さ
れ、それらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増幅されて
超音波モータ10の駆動電極11a,11bに印加され
る。これによって、超音波モータ10の弾性体12の駆
動面に進行性振動波が発生し、移動子13が駆動されて
図2(a)に示すように回転速度n1で回転する。超音
波モータ10のモニタ電極11cで発生するモニタ電
圧、および駆動電極11aの駆動電圧は出力検出部4に
より検出され、それらの電圧波形の位相差が算出され
る。この位相差は出力制御部5に入力され、超音波モー
タ10の安定した駆動状態が得られる所定の位相差にな
るように、発振部1の周波数f1が補正される。これに
よって、発振部1は、超音波モータ10に体して最適な
周波数の駆動信号を発生する。
る。まず超音波モータ10の駆動回路において、発振部
1から発生された周波数f1の駆動信号は、移相部2で
互にπ/2の位相差を有する2つの駆動信号に変換さ
れ、それらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増幅されて
超音波モータ10の駆動電極11a,11bに印加され
る。これによって、超音波モータ10の弾性体12の駆
動面に進行性振動波が発生し、移動子13が駆動されて
図2(a)に示すように回転速度n1で回転する。超音
波モータ10のモニタ電極11cで発生するモニタ電
圧、および駆動電極11aの駆動電圧は出力検出部4に
より検出され、それらの電圧波形の位相差が算出され
る。この位相差は出力制御部5に入力され、超音波モー
タ10の安定した駆動状態が得られる所定の位相差にな
るように、発振部1の周波数f1が補正される。これに
よって、発振部1は、超音波モータ10に体して最適な
周波数の駆動信号を発生する。
【0019】なお、例えば特開昭63−206171号
公報に示されるように、回転体6にパルス発生器を設
け、出力検出部4でパルス数をカウントして移動子の1
3の回転速度を検出し、出力制御部5で超音波モータ1
0が安定な駆動状態となるように発振部1を制御しても
よい。
公報に示されるように、回転体6にパルス発生器を設
け、出力検出部4でパルス数をカウントして移動子の1
3の回転速度を検出し、出力制御部5で超音波モータ1
0が安定な駆動状態となるように発振部1を制御しても
よい。
【0020】超音波モータ10の出力を検出し安定な駆
動状態が得られるように補正された発振部1の駆動信号
は、超音波モータ20の駆動回路の出力補正部7にも供
給される。出力補正部7は、図2(a)に示すように、
超音波モータ20の回転速度特性が超音波モータ10の
それと一致するように駆動信号を補正する。すなわち、
出力補正部7から出力される駆動信号の周波数がf1−
△fとなるように、図3に示すスイッチ73で負の一定
電圧−Vdを選択し、さらに増幅回路74の抵抗器Rf
を調整する。その後、出力補正部7の出力駆動信号は、
移相部2で互にπ/2の移相差を有する2つの駆動信号
に変換され、それらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増
幅されて超音波モータ20の駆動電極21a,21bに
印加される。この結果、図2(a)に示すように両超音
波モータ10,20の動特性が一致し、超音波モータ2
0は、周波数f2=f1−△fの駆動電圧で駆動され、
移動子23は、超音波モータ10の移動子13と等しい
回転速度n1に駆動制御される。
動状態が得られるように補正された発振部1の駆動信号
は、超音波モータ20の駆動回路の出力補正部7にも供
給される。出力補正部7は、図2(a)に示すように、
超音波モータ20の回転速度特性が超音波モータ10の
それと一致するように駆動信号を補正する。すなわち、
出力補正部7から出力される駆動信号の周波数がf1−
△fとなるように、図3に示すスイッチ73で負の一定
電圧−Vdを選択し、さらに増幅回路74の抵抗器Rf
を調整する。その後、出力補正部7の出力駆動信号は、
移相部2で互にπ/2の移相差を有する2つの駆動信号
に変換され、それらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増
幅されて超音波モータ20の駆動電極21a,21bに
印加される。この結果、図2(a)に示すように両超音
波モータ10,20の動特性が一致し、超音波モータ2
0は、周波数f2=f1−△fの駆動電圧で駆動され、
移動子23は、超音波モータ10の移動子13と等しい
回転速度n1に駆動制御される。
【0021】なお上記実施例では、出力補正部7で発振
部1の駆動信号の周波数を補正し、超音波モータ10の
回転速度と一致するように超音波モータ20を制御した
が、超音波モータの駆動周波数領域における回転速度は
その駆動電圧に比例することが知られており、超音波モ
ータ20の駆動電圧を補正して超音波モータ10の回転
速度と一致するように制御してもよい。図7は、発振部
1で発生された駆動信号の周波数をf1のままとし、駆
動信号の電圧だけを補正する出力補正部7Aの回路を示
す。この出力補正部7Aは、アンプAMP2および抵抗
器Rs,Rfから構成される反転型の増幅回路であり、
発振部1の駆動信号入力Vinに対する出力Voutは
次式で示される。 Vout=Vin・(−Rf/Rs) ・・・(2) すなわち、抵抗器Rfを調整することによって、出力補
正部7Aの出力電圧Vout、つまり駆動信号の電圧が
補正される。補正された駆動信号は、上述したように、
超音波モータ20の駆動回路の移相部2および出力増幅
部3を介して超音波モータ20の駆動電極21a,21
bに印加される。この結果、図2(b)に示すように両
超音波モータ10,20の動特性が一致し、超音波モー
タ20は、駆動周波数f1における補正前の回転速度n
2から、超音波モータ10と等しい回転速度n1に増速
されて駆動制御される。
部1の駆動信号の周波数を補正し、超音波モータ10の
回転速度と一致するように超音波モータ20を制御した
が、超音波モータの駆動周波数領域における回転速度は
その駆動電圧に比例することが知られており、超音波モ
ータ20の駆動電圧を補正して超音波モータ10の回転
速度と一致するように制御してもよい。図7は、発振部
1で発生された駆動信号の周波数をf1のままとし、駆
動信号の電圧だけを補正する出力補正部7Aの回路を示
す。この出力補正部7Aは、アンプAMP2および抵抗
器Rs,Rfから構成される反転型の増幅回路であり、
発振部1の駆動信号入力Vinに対する出力Voutは
次式で示される。 Vout=Vin・(−Rf/Rs) ・・・(2) すなわち、抵抗器Rfを調整することによって、出力補
正部7Aの出力電圧Vout、つまり駆動信号の電圧が
補正される。補正された駆動信号は、上述したように、
超音波モータ20の駆動回路の移相部2および出力増幅
部3を介して超音波モータ20の駆動電極21a,21
bに印加される。この結果、図2(b)に示すように両
超音波モータ10,20の動特性が一致し、超音波モー
タ20は、駆動周波数f1における補正前の回転速度n
2から、超音波モータ10と等しい回転速度n1に増速
されて駆動制御される。
【0022】この出力補正部7Aは演算増幅回路のみか
ら構成されるので、図3に示す出力補正部7のように複
雑な回路構成を必要とせず、さらに小型化されるととも
に、最小限な回路構成で超音波モータ20に対する最適
な駆動信号を生成することができる。なお、出力補正部
7,7Aにおける駆動信号の周波数または電圧の補正方
法は、上記実施例に限定されなく、超音波モータ20の
動特性が超音波モータ10のそれと一致するように駆動
制御する方法であればよい。
ら構成されるので、図3に示す出力補正部7のように複
雑な回路構成を必要とせず、さらに小型化されるととも
に、最小限な回路構成で超音波モータ20に対する最適
な駆動信号を生成することができる。なお、出力補正部
7,7Aにおける駆動信号の周波数または電圧の補正方
法は、上記実施例に限定されなく、超音波モータ20の
動特性が超音波モータ10のそれと一致するように駆動
制御する方法であればよい。
【0023】このように、一対の固定子と移動子とを有
する2組の超音波モータ10,20に対して、駆動信号
を発生する発振部1と、その駆動信号を互にπ/2だけ
位相が異なる2つの駆動信号に変換するとともに、それ
らを増幅して一方の超音波モータ10の固定子の駆動電
極11a,11bに駆動電圧を印加する移相部2および
出力増幅部3と、超音波モータ10の出力を検出し安定
な駆動状態が得られるように発振部1を制御する出力検
出部4および出力制御部5とから成る第1の駆動回路
と、超音波モータ20の回転速度が超音波モータ10の
回転速度と一致するように、発振部1からの駆動信号を
補正する出力補正部7(7A)と、補正された駆動信号
を互にπ/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換す
るとともに、それらを増幅して超音波モータ20の固定
子の駆動電極21a,21bに印加する出力増幅部3と
から成る第2の駆動回路とを設けるようにしたので、各
超音波モータ10,20に対してそれぞれ別個に発振部
1、および出力検出部4と出力制御部5とから成るフィ
ードバック回路を設ける必要がなく、回路構成が小規模
となって装置が小型化されるとともに、調整工数が低減
されて操作性が向上する。
する2組の超音波モータ10,20に対して、駆動信号
を発生する発振部1と、その駆動信号を互にπ/2だけ
位相が異なる2つの駆動信号に変換するとともに、それ
らを増幅して一方の超音波モータ10の固定子の駆動電
極11a,11bに駆動電圧を印加する移相部2および
出力増幅部3と、超音波モータ10の出力を検出し安定
な駆動状態が得られるように発振部1を制御する出力検
出部4および出力制御部5とから成る第1の駆動回路
と、超音波モータ20の回転速度が超音波モータ10の
回転速度と一致するように、発振部1からの駆動信号を
補正する出力補正部7(7A)と、補正された駆動信号
を互にπ/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換す
るとともに、それらを増幅して超音波モータ20の固定
子の駆動電極21a,21bに印加する出力増幅部3と
から成る第2の駆動回路とを設けるようにしたので、各
超音波モータ10,20に対してそれぞれ別個に発振部
1、および出力検出部4と出力制御部5とから成るフィ
ードバック回路を設ける必要がなく、回路構成が小規模
となって装置が小型化されるとともに、調整工数が低減
されて操作性が向上する。
【0024】また、発振部1で、超音波モータ10に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、出力補正部7(7A)で、超音波モータ
20の回転速度が超音波モータ10の回転速度に一致す
るように、発振部1の駆動信号を補正するので、互に異
なる制御特性の超音波モータ10,20であっても両者
の動特性はほぼ一致し、駆動効率が向上するとともに、
両超音波モータ10,20に駆動される回転体6の制御
精度が向上する。
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、出力補正部7(7A)で、超音波モータ
20の回転速度が超音波モータ10の回転速度に一致す
るように、発振部1の駆動信号を補正するので、互に異
なる制御特性の超音波モータ10,20であっても両者
の動特性はほぼ一致し、駆動効率が向上するとともに、
両超音波モータ10,20に駆動される回転体6の制御
精度が向上する。
【0025】上記第1の実施例では、一対の固定子と移
動子とを有する2組の超音波モータ10,20を例に上
げて説明したが、1個の移動子の両側に2個の固定子を
それぞれ加圧接触させて駆動する超音波モータに対して
も本発明を適用でき、同様な効果を得ることができる。
動子とを有する2組の超音波モータ10,20を例に上
げて説明したが、1個の移動子の両側に2個の固定子を
それぞれ加圧接触させて駆動する超音波モータに対して
も本発明を適用でき、同様な効果を得ることができる。
【0026】−第2の実施例− 次に、一対の固定子および移動子から成る3組の超音波
モータを駆動する第2の実施例を説明する。図8は、こ
の第2の実施例の構成を示すブロック図である。なお、
第1の実施例の構成を示す図1と同様な機器に対しては
同符号を付して相違点を中心に説明する。各超音波モー
タ10,20,30の移動子13,23,33は、同一
の回転体6に直結されている。超音波モータ10,20
の駆動回路は上述した図1に示す回路と同様であり、さ
らに、超音波モータ30の駆動回路は超音波モータ20
の駆動回路と同様である。すなわち、超音波モータ30
の出力補正部7(7A)は、発振部1に接続され、発振
部1から駆動信号が供給される。
モータを駆動する第2の実施例を説明する。図8は、こ
の第2の実施例の構成を示すブロック図である。なお、
第1の実施例の構成を示す図1と同様な機器に対しては
同符号を付して相違点を中心に説明する。各超音波モー
タ10,20,30の移動子13,23,33は、同一
の回転体6に直結されている。超音波モータ10,20
の駆動回路は上述した図1に示す回路と同様であり、さ
らに、超音波モータ30の駆動回路は超音波モータ20
の駆動回路と同様である。すなわち、超音波モータ30
の出力補正部7(7A)は、発振部1に接続され、発振
部1から駆動信号が供給される。
【0027】発振部1で発生された駆動信号は、超音波
モータ10の移相部2と、超音波モータ20および超音
波モータ30の出力補正部7(7A)とに供給される。
超音波モータ10の駆動回路では、上述したように、駆
動信号が移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2つの
駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部3でそ
れぞれ別個に増幅されて超音波モータ10の駆動電極1
1a,11bに印加される。また、超音波モータ20の
駆動回路では、上述したように、出力補正部7(7A)
で超音波モータ20の駆動速度が超音波モータ10の駆
動速度と一致するように駆動信号が補正され、補正され
た駆動信号は移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2
つの駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部3
でそれぞれ別個に増幅されて超音波モータ20の駆動電
極21a,21bに印加される。さらに、超音波モータ
30の駆動回路では、超音波モータ20の駆動回路と同
様に、出力補正部7(7A)で超音波モータ30の駆動
速度が超音波モータ10の駆動速度と一致するように駆
動信号が補正され、補正された駆動信号は移相部2で互
にπ/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換され、
さらにそれらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増幅され
て超音波モータ30の駆動電極31a,31bに印加さ
れる。
モータ10の移相部2と、超音波モータ20および超音
波モータ30の出力補正部7(7A)とに供給される。
超音波モータ10の駆動回路では、上述したように、駆
動信号が移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2つの
駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部3でそ
れぞれ別個に増幅されて超音波モータ10の駆動電極1
1a,11bに印加される。また、超音波モータ20の
駆動回路では、上述したように、出力補正部7(7A)
で超音波モータ20の駆動速度が超音波モータ10の駆
動速度と一致するように駆動信号が補正され、補正され
た駆動信号は移相部2で互にπ/2だけ位相が異なる2
つの駆動信号に変換され、さらにそれらは出力増幅部3
でそれぞれ別個に増幅されて超音波モータ20の駆動電
極21a,21bに印加される。さらに、超音波モータ
30の駆動回路では、超音波モータ20の駆動回路と同
様に、出力補正部7(7A)で超音波モータ30の駆動
速度が超音波モータ10の駆動速度と一致するように駆
動信号が補正され、補正された駆動信号は移相部2で互
にπ/2だけ位相が異なる2つの駆動信号に変換され、
さらにそれらは出力増幅部3でそれぞれ別個に増幅され
て超音波モータ30の駆動電極31a,31bに印加さ
れる。
【0028】このように、3台の超音波モータ10,2
0,30で同一の回転体6を駆動する場合でも、各超音
波モータ10,20,30に対してそれぞれ別個に発振
部1と、フィードバック回路を構成する出力検出部4お
よび出力制御部5とを設ける必要がなく、回路構成が小
規模となって装置が小型化されるとともに、調整工数が
低減されて操作性が向上する。
0,30で同一の回転体6を駆動する場合でも、各超音
波モータ10,20,30に対してそれぞれ別個に発振
部1と、フィードバック回路を構成する出力検出部4お
よび出力制御部5とを設ける必要がなく、回路構成が小
規模となって装置が小型化されるとともに、調整工数が
低減されて操作性が向上する。
【0029】また、発振部1で、超音波モータ10に対
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、超音波モータ20の駆動回路の出力補正
部7(7A)で、超音波モータ20の回転速度が超音波
モータ10の回転速度に一致するように、発振部1の駆
動信号を補正し、同様に、超音波モータ30の駆動回路
の出力補正部7(7A)で、超音波モータ30の回転速
度が超音波モータ10の回転速度に一致するように、発
振部1の駆動信号を補正するので、第1の実施例と同様
に、互に動特性が異なる超音波モータ10,20,30
であってもそれらの動特性がほぼ一致し、駆動効率およ
び制御精度が向上する。
して安定な駆動状態が得られる最適な駆動信号が発生さ
れるとともに、超音波モータ20の駆動回路の出力補正
部7(7A)で、超音波モータ20の回転速度が超音波
モータ10の回転速度に一致するように、発振部1の駆
動信号を補正し、同様に、超音波モータ30の駆動回路
の出力補正部7(7A)で、超音波モータ30の回転速
度が超音波モータ10の回転速度に一致するように、発
振部1の駆動信号を補正するので、第1の実施例と同様
に、互に動特性が異なる超音波モータ10,20,30
であってもそれらの動特性がほぼ一致し、駆動効率およ
び制御精度が向上する。
【0030】なお、上記実施例では、2個および3個の
超音波モータの駆動装置を例に上げて説明したが、4個
以上の超音波モータに対しても本発明を応用することが
でき、上述したと同様な効果が得られる。
超音波モータの駆動装置を例に上げて説明したが、4個
以上の超音波モータに対しても本発明を応用することが
でき、上述したと同様な効果が得られる。
【0031】また、上記実施例では、超音波モータ10
に対して発振部1,出力検出部4および出力制御部5を
設けたが、超音波モータ20または超音波モータ30に
設けてもよい。
に対して発振部1,出力検出部4および出力制御部5を
設けたが、超音波モータ20または超音波モータ30に
設けてもよい。
【0032】以上の実施例の構成において、圧電体11
と弾性体12,圧電体21と弾性体22,圧電体31と
弾性体32がそれぞれ振動子を、移動子13,23,3
3が相対運動部材を、発振部1が発振部を、出力検出部
4および出力制御部5が検出部を、出力補正部7または
7Aが駆動信号補正部をそれぞれ構成する。
と弾性体12,圧電体21と弾性体22,圧電体31と
弾性体32がそれぞれ振動子を、移動子13,23,3
3が相対運動部材を、発振部1が発振部を、出力検出部
4および出力制御部5が検出部を、出力補正部7または
7Aが駆動信号補正部をそれぞれ構成する。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
振動モータに対してそれぞれ別個に発振部と検出部とを
設ける必要がなく、回路構成が小型化されるとともに、
調整工数が低減されて操作性が向上する。また、駆動信
号補正部で、第1の駆動回路からの駆動信号を印加され
た振動子によって駆動される相対運動部材から得られる
出力特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材
から得られる出力特性とほぼ一致するように、発振部の
駆動信号を補正するので、互に異なる出力特性の振動モ
ータであってもそれらの出力特性がほぼ一致し、駆動効
率および制御精度が向上する。また、1個の振動子に1
個の相対運動部材が設けられたユニットを複数組有し、
各相対運動部材が同一回転体を介して直結される振動モ
ータに対しても、各ユニットに対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。さらに、相対運動部材の両側に振動子が配置さ
れ、複数の振動子と複数の相対運動部材とから成る振動
モータに対しても、各振動子に対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。
振動モータに対してそれぞれ別個に発振部と検出部とを
設ける必要がなく、回路構成が小型化されるとともに、
調整工数が低減されて操作性が向上する。また、駆動信
号補正部で、第1の駆動回路からの駆動信号を印加され
た振動子によって駆動される相対運動部材から得られる
出力特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材
から得られる出力特性とほぼ一致するように、発振部の
駆動信号を補正するので、互に異なる出力特性の振動モ
ータであってもそれらの出力特性がほぼ一致し、駆動効
率および制御精度が向上する。また、1個の振動子に1
個の相対運動部材が設けられたユニットを複数組有し、
各相対運動部材が同一回転体を介して直結される振動モ
ータに対しても、各ユニットに対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。さらに、相対運動部材の両側に振動子が配置さ
れ、複数の振動子と複数の相対運動部材とから成る振動
モータに対しても、各振動子に対してそれぞれ別個に発
振部と検出部とを設ける必要がなく、上記と同様な効果
がある。
【図1】第1の実施例の構成を示すブロック図である。
【図2】超音波モータの駆動電圧の周波数に対する回転
速度特性を示す図で、(a)は、2個の超音波モータの
内の一方の駆動周波数を補正して、両超音波モータの駆
動速度特性を一致させる駆動信号補正方法を示し、
(b)は、2個の超音波モータの内の一方の駆動電圧を
補正して、両超音波モータの駆動速度特性を一致させる
駆動信号補正方法を示す。
速度特性を示す図で、(a)は、2個の超音波モータの
内の一方の駆動周波数を補正して、両超音波モータの駆
動速度特性を一致させる駆動信号補正方法を示し、
(b)は、2個の超音波モータの内の一方の駆動電圧を
補正して、両超音波モータの駆動速度特性を一致させる
駆動信号補正方法を示す。
【図3】出力補正部の構成を示すブロック図である。
【図4】電圧制御発振器(VCO)の入力電圧に対する
出力周波数特性を示す図である。
出力周波数特性を示す図である。
【図5】非反転型増幅回路の詳細な回路図である。
【図6】出力補正部の回路各部の電圧波形を示す図で、
(a)は発振部の駆動信号波形を示し、(b)は微分回
路の出力電圧fDの波形を示し、(c)は整流回路の出
力電圧Vの波形を示し、(d)は加算回路の出力電圧V
+△Vの波形を示し、(e)は電圧制御発振器(VC
O)の出力電圧波形を示す。
(a)は発振部の駆動信号波形を示し、(b)は微分回
路の出力電圧fDの波形を示し、(c)は整流回路の出
力電圧Vの波形を示し、(d)は加算回路の出力電圧V
+△Vの波形を示し、(e)は電圧制御発振器(VC
O)の出力電圧波形を示す。
【図7】他の出力補正部の回路図である。
【図8】第2の実施例の構成を示すブロック図である。
【図9】従来の超音波モータの駆動装置を示すブロック
図である。
図である。
1 発振部 2 移相部 3 出力増幅部 4 出力検出部 5 出力制御部 6 回転体 7,7A 出力補正部 10,20,30 超音波モータ 11,21,31 圧電体 11a,11b,21a,21b,31a,31b 駆
動電極 11c モニタ電極 12,22,32 弾性体 13,23,33 移動子 71 微分回路 72 整流回路 73 スイッチ 74 増幅回路 75 加算回路 76 電圧制御発振器(VCO) AMP1,AMP2 アンプ Rs,Rf 抵抗器
動電極 11c モニタ電極 12,22,32 弾性体 13,23,33 移動子 71 微分回路 72 整流回路 73 スイッチ 74 増幅回路 75 加算回路 76 電圧制御発振器(VCO) AMP1,AMP2 アンプ Rs,Rf 抵抗器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−193836(JP,A) 特開 昭64−30472(JP,A) 特開 平1−214271(JP,A) 特開 昭61−277384(JP,A) 特開 昭60−183982(JP,A) 特開 昭60−174078(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H02N 2/00
Claims (7)
- 【請求項1】 少なくとも2個の振動子と、前記振動子
に発生する振動によって前記振動子との間で相対運動を
行う少なくとも1個の相対運動部材とを有する振動モー
タの駆動装置であって、駆動信号を生成する発振部と、前記振動モータの出力を
検出してその検出値に基づいて前記発振部を制御する検
出部とを有し、前記発振部で生成された駆動信号を前記
少なくとも2個の振動子の内のいずれか1個の振動子に
印加する第1の駆動回路と、 前記第1の駆動回路からの駆動信号を印加された前記振
動子によって駆動される相対運動部材から得られる出力
特性が、他の振動子により駆動される相対運動部材から
得られる出力特性とほぼ一致するように、前記発振部か
らの駆動信号を補正する駆動信号補正部を有し、前記駆
動信号補正部で補正された駆動信号を前記第1の駆動回
路で駆動される振動子以外の振動子に印加する第2の駆
動回路とを備えることを特徴とする振動 モータの駆動装
置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の振動モータの駆動装置
において、前記振動モータは、1個の振動子に対して1個の相対運
動部材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対
運動部材が同一回転体を介して直結されている ことを特
徴とする振動モータの駆動制御装置。 - 【請求項3】 請求項1に記載の振動モータの駆動装置
において、前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が配置
され、複数の振動子と複数の相対運動部材とで構成され
ている ことを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項4】 少なくとも2個の振動子と、前記各振動
子に発生する振動によってこれらの振動子との間で相対
運動を行う、少なくとも1個の相対運動部材とを有する
振動モータと、 交流電圧を生成し、前記少なくとも2個の振動子に印加
する駆動回路とを備え、 前記駆動回路は、前記少なくとも2個の振動子に印加さ
れる前記交流電圧の各々に対し、周波数は互いに等しい
状態で、それぞれの電圧値が異なるように設定 できるこ
とを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載の振動モータの駆動装置
において、 前記駆動回路は、各振動子により駆動される相対運動部
材から得られる出力特性が互いに等しくなるように、1
個の振動子に印加される交流電圧の電圧値を固定したま
ま、残りの振動子に印加される前記交流電圧の電圧値を
変更することを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項6】 請求項4または請求項5に記載の振動モ
ータの駆動装置において、 前記振動モータは、1個の振動子に対して1個の相対運
動部材が設けられたユニットを複数組有し、前記各相対
運動部材が同一回転体を介して直結されていることを特
徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項7】 請求項4または請求項5に記載の振動モ
ータの駆動装置において、 前記振動モータは、相対運動部材の両側に振動子が配置
され、複数の振動子と複数の相対運動部材とで構成され
ていることを特徴とする振動モータの駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3069076A JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3069076A JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04281375A JPH04281375A (ja) | 1992-10-06 |
JP2967599B2 true JP2967599B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=13392130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3069076A Expired - Lifetime JP2967599B2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 振動モータの駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2967599B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3248545B2 (ja) * | 1993-07-23 | 2002-01-21 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動制御装置 |
US5939847A (en) * | 1992-08-07 | 1999-08-17 | Nikon Corporation | Drive control device for ultrasonic motors |
WO1999063653A1 (fr) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Star Micronics Co., Ltd. | Technique de detection de position et appareil correspondant, moteur a ultrasons et technique de commande de ce moteur |
JP4636645B2 (ja) * | 2000-01-27 | 2011-02-23 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置を用いた出力装置およびこの出力装置を有する装置 |
JP5854630B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2016-02-09 | キヤノン株式会社 | 駆動制御方法、および駆動制御装置 |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP3069076A patent/JP2967599B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04281375A (ja) | 1992-10-06 |
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