JP2956191B2 - 電源供給回路 - Google Patents
電源供給回路Info
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- JP2956191B2 JP2956191B2 JP2273868A JP27386890A JP2956191B2 JP 2956191 B2 JP2956191 B2 JP 2956191B2 JP 2273868 A JP2273868 A JP 2273868A JP 27386890 A JP27386890 A JP 27386890A JP 2956191 B2 JP2956191 B2 JP 2956191B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置などの電気特性を測定する装置
に関し、特に被測定物に電源を供給するための回路の構
成に関する。
に関し、特に被測定物に電源を供給するための回路の構
成に関する。
第２図に、従来の半導体電気特性測定装置における電
源供給回路の回路構成を示す。
源供給回路の回路構成を示す。
又、この図には、半導体集積回路装置（以下ICと記
す）のペレットを例にして、上記の電源供給回路からこ
のICペレットに電源を供給する方法についても模式的に
示してある。
す）のペレットを例にして、上記の電源供給回路からこ
のICペレットに電源を供給する方法についても模式的に
示してある。
第２図において、電源供給回路１は、入力抵抗RAと、
この抵抗RAを介して入力される基準電位を増幅する増幅
器2aと、この増幅器2aの出力の一部を入力側へ帰還する
ための帰還抵抗RFaと、電源供給端子３と帰還端子4aと
が開放となった場合に帰還ループを確保するための短絡
抵抗RDとからなる。
この抵抗RAを介して入力される基準電位を増幅する増幅
器2aと、この増幅器2aの出力の一部を入力側へ帰還する
ための帰還抵抗RFaと、電源供給端子３と帰還端子4aと
が開放となった場合に帰還ループを確保するための短絡
抵抗RDとからなる。
上述のような電源供給回路１を用いて、ICペレット５
に電源VCCを供給する場合には、第２図に示すように、
電源供給端子３に探針6aを接続し、この探針6aをICペレ
ット５上の電源パッド７に接触させ、この電源パッド７
からICペレット５上の配線８を通して回路ブロック９に
電源VCCを供給する。
に電源VCCを供給する場合には、第２図に示すように、
電源供給端子３に探針6aを接続し、この探針6aをICペレ
ット５上の電源パッド７に接触させ、この電源パッド７
からICペレット５上の配線８を通して回路ブロック９に
電源VCCを供給する。
なお、他の電源やグランドラインについても電源VCC
の場合と同様の方法をとる。
の場合と同様の方法をとる。
上述の場合、探針6aと電源パッド７との間には接触抵
抗が介在し、又、配線８が有限の抵抗を持つ。
抗が介在し、又、配線８が有限の抵抗を持つ。
このため、電源パッド７の近くに配置された回路ブロ
ックに供給される電源電位と、電源パッド７から遠くは
なれた回路ブロックに供給される電源電位とは必ずしも
同じくはならない。
ックに供給される電源電位と、電源パッド７から遠くは
なれた回路ブロックに供給される電源電位とは必ずしも
同じくはならない。
従って、ICペレット５上の各回路ブロックは、それが
配置されている場所によってそれぞれの基準電位や入出
力レベルが異なってしまう。
配置されている場所によってそれぞれの基準電位や入出
力レベルが異なってしまう。
このような状態でこのICペレットの電気特性を測定し
ても正確な評価はできない。
ても正確な評価はできない。
しかし、今ここで、帰還端子4aに探針6bを接続し、こ
の探針6bをICペレット５上のセンスパッド10に接触させ
ると、増幅器2aの出力と入力との間には、電源供給端子
3,探針6a,電源パッド7,配線8,センスパッド10,探針6b,
帰還端子4a,帰還抵抗RFaを介して帰還ループができる。
の探針6bをICペレット５上のセンスパッド10に接触させ
ると、増幅器2aの出力と入力との間には、電源供給端子
3,探針6a,電源パッド7,配線8,センスパッド10,探針6b,
帰還端子4a,帰還抵抗RFaを介して帰還ループができる。
従って、探針6aと電源パッド７との間の接触抵抗や配
線８の抵抗の影響で、回路ブロック毎に電源電位が異な
り、従ってその回路ブロック毎の基準電位や入出力レベ
ルに差異が生ずるような場合でも、探針6bの電位が所望
の電位となるように、帰還抵抗RFaと入力抵抗RAとの比
率を調節することにより、上記の電源電位の違いによる
影響を補償することができる。
線８の抵抗の影響で、回路ブロック毎に電源電位が異な
り、従ってその回路ブロック毎の基準電位や入出力レベ
ルに差異が生ずるような場合でも、探針6bの電位が所望
の電位となるように、帰還抵抗RFaと入力抵抗RAとの比
率を調節することにより、上記の電源電位の違いによる
影響を補償することができる。
従来の電源供給回路では、上に述べた、いわゆる電源
供給時のケルビン接続における帰還線は単線であり、被
測定物上の一点についてのみ帰還を掛けていた。
供給時のケルビン接続における帰還線は単線であり、被
測定物上の一点についてのみ帰還を掛けていた。
上述したように、従来の電源供給回路１は、ICペレッ
トに電源を供給する場合、所望の部分の電源電位を増幅
器2aに帰還することにより、探針6aと電源パッド６との
間の接触抵抗や配線８の抵抗の影響で、ICペレット内の
場所毎に電源電位が異なる場合でもこの影響を補償する
ことができる。
トに電源を供給する場合、所望の部分の電源電位を増幅
器2aに帰還することにより、探針6aと電源パッド６との
間の接触抵抗や配線８の抵抗の影響で、ICペレット内の
場所毎に電源電位が異なる場合でもこの影響を補償する
ことができる。
しかし近年、半導体装置、特にICやLSIの機能が高度
化するのに伴って、その集積度が飛躍的に高まって来て
いる。
化するのに伴って、その集積度が飛躍的に高まって来て
いる。
その結果、これら半導体装置のペレット上の配線は細
く、薄くなる傾向にあり、従って、配線の単位長当りの
抵抗が大きくなってきている。
く、薄くなる傾向にあり、従って、配線の単位長当りの
抵抗が大きくなってきている。
更に又、ペレットのサイズも大型化してきている。
このため、半導体装置の電気特性を測定する場合、ペ
レット上の場所毎に電源電位が異なることが測定結果に
及ぼす影響が大きくなってきており、従来の電源供給回
路のような一点のみの電位の帰還では、この影響を十分
には補償することができず、半導体装置の電気特性を正
確に測定できない。
レット上の場所毎に電源電位が異なることが測定結果に
及ぼす影響が大きくなってきており、従来の電源供給回
路のような一点のみの電位の帰還では、この影響を十分
には補償することができず、半導体装置の電気特性を正
確に測定できない。
本発明による電源供給回路は、入力抵抗と、この入力
抵抗を介して入力される電位を増幅する増幅器と、前記
増幅器の入力に接続された帰還抵抗と、複数のケルビン
接続の帰還線と、前記複数の帰還線のそれぞれを介して
入力される電位を演算する演算回路とを有し、前記演算
回路の出力は前記帰還抵抗を介して前記増幅器の入力に
帰還されることを特徴とする。
抵抗を介して入力される電位を増幅する増幅器と、前記
増幅器の入力に接続された帰還抵抗と、複数のケルビン
接続の帰還線と、前記複数の帰還線のそれぞれを介して
入力される電位を演算する演算回路とを有し、前記演算
回路の出力は前記帰還抵抗を介して前記増幅器の入力に
帰還されることを特徴とする。
次に本発明について図面を用いて説明する。
第１図は本発明の実施例の回路構成を示す図である。
第１図に示す本発明の実施例では、増幅器2aと帰還抵
抗RFaと入力抵抗RAと短絡抵抗RDとにより、第２図に示
す従来の電源供給回路１と同様の電源部11を構成し、こ
の電源部11の帰還端子12に、増幅器2bと帰還抵抗RFbと
複数の入力抵抗RB1,RB2,…,RBnとで構成された加算回路
13の出力を入力する。
抗RFaと入力抵抗RAと短絡抵抗RDとにより、第２図に示
す従来の電源供給回路１と同様の電源部11を構成し、こ
の電源部11の帰還端子12に、増幅器2bと帰還抵抗RFbと
複数の入力抵抗RB1,RB2,…,RBnとで構成された加算回路
13の出力を入力する。
上述のような構成の電源供給回路で、ICペレットに電
源を供給する場合には、上記の複数の帰還端子4bのそれ
ぞれに個別の探針を接続し、これらの探針をICペレット
上の、配線から分岐して設けた複数のセンスパッドに接
触させ、電源供給端子３接続した探針をICペレット上の
電源パッドに接触させる。
源を供給する場合には、上記の複数の帰還端子4bのそれ
ぞれに個別の探針を接続し、これらの探針をICペレット
上の、配線から分岐して設けた複数のセンスパッドに接
触させ、電源供給端子３接続した探針をICペレット上の
電源パッドに接触させる。
このようにすると、ICペレット上の複数部分の電源電
位について、その平均電位を帰還することができる。
位について、その平均電位を帰還することができる。
更に、帰還抵抗RFbと各入力抵抗RB1,RB2,…,RBnの比
率を変えることによって、ICペレット上のどの部分から
の帰還を重視するかという、重み付けをすることができ
る。
率を変えることによって、ICペレット上のどの部分から
の帰還を重視するかという、重み付けをすることができ
る。
以上説明したように、本発明によれば、半導体装置な
どの電気特性を測定するに当って、これに電源を供給す
る際、ペレット上の複数部分の電源電位の帰還を掛けな
がら電源を供給することができる。
どの電気特性を測定するに当って、これに電源を供給す
る際、ペレット上の複数部分の電源電位の帰還を掛けな
がら電源を供給することができる。
しかも、この帰還においては、どの部分からの帰還を
重視するかという、重み付けをすることができる。
重視するかという、重み付けをすることができる。
従って、本発明によれば、被測定物内の配線抵抗や接
触抵抗など測定系の抵抗に起因する、被測定物内の場所
の違いによる電源電位の違いが大きくなった場合でも、
この影響に対して、従来の電源供給回路を用いた場合よ
りも更に精度よく補償することができる。
触抵抗など測定系の抵抗に起因する、被測定物内の場所
の違いによる電源電位の違いが大きくなった場合でも、
この影響に対して、従来の電源供給回路を用いた場合よ
りも更に精度よく補償することができる。
第１図は、本発明の実施例の回路構成を表す図、第２図
は、従来の電源供給回路の回路構成と、この電源供給回
路を用いてICペレットに電源を供給する場合の概略を表
す図である。 １……電源供給回路、2a,2b……増幅器、３……電源供
給端子、4a,4b,12……帰還端子、５……半導体集積回路
装置（IC）ペレット、6a,6b……探針、７……電源パッ
ド、８……配線、９……回路ブロック、10……センスパ
ッド、11……電源部、13……加算回路。
は、従来の電源供給回路の回路構成と、この電源供給回
路を用いてICペレットに電源を供給する場合の概略を表
す図である。 １……電源供給回路、2a,2b……増幅器、３……電源供
給端子、4a,4b,12……帰還端子、５……半導体集積回路
装置（IC）ペレット、6a,6b……探針、７……電源パッ
ド、８……配線、９……回路ブロック、10……センスパ
ッド、11……電源部、13……加算回路。
Claims (1)
- 【請求項１】入力抵抗と、この入力抵抗を介して入力さ
れる電位を増幅する増幅器と、前記増幅器の入力に接続
された帰還抵抗と、複数のケルビン接続の帰還線と、前
記複数の帰還線のそれぞれを介して入力される電位を演
算する演算回路とを有し、前記演算回路の出力は前記帰
還抵抗を介して前記増幅器の入力に帰還されることを特
徴とする電源供給回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2273868A JP2956191B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 電源供給回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2273868A JP2956191B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 電源供給回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04148561A JPH04148561A (ja) | 1992-05-21 |
| JP2956191B2 true JP2956191B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=17533684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2273868A Expired - Fee Related JP2956191B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 電源供給回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2956191B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020149104A1 (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | 株式会社村田製作所 | 電子回路モジュール、検査システム、及び通信装置 |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP2273868A patent/JP2956191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04148561A (ja) | 1992-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |