JP2944017B2 - 磁気ディスクの突起検査方法 - Google Patents
磁気ディスクの突起検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスクの表面
に存在する突起の検査方法に関する。
に存在する突起の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータシステムの記録媒体に使用
される磁気ディスクは、磁気媒体の微細化と性能の向上
により、記録密度が飛躍的に向上しており、その表面に
突起があるとライト／リード信号にエラーを生ずるの
で、表面は極めて平滑に仕上げられている。磁気ディス
クの製造においては、ガラス板に磁気膜を塗布して研磨
（グライド）されるが、研磨しても突起がある程度存在
するので、バーニッシュとよばれる工程により除去さ
れ、さらに突起検査装置によりその有無が検査される。
この検査によりなお突起が残留するときは、さらにバー
ニッシュと検査が繰り返されている。
される磁気ディスクは、磁気媒体の微細化と性能の向上
により、記録密度が飛躍的に向上しており、その表面に
突起があるとライト／リード信号にエラーを生ずるの
で、表面は極めて平滑に仕上げられている。磁気ディス
クの製造においては、ガラス板に磁気膜を塗布して研磨
（グライド）されるが、研磨しても突起がある程度存在
するので、バーニッシュとよばれる工程により除去さ
れ、さらに突起検査装置によりその有無が検査される。
この検査によりなお突起が残留するときは、さらにバー
ニッシュと検査が繰り返されている。
【０００３】図３(a) は突起検査装置の概略の構成を示
し、被検査の磁気ディスク（以下単にディスクという）
１を装着するスピンドル21、これを回転するモータ22お
よびモータ制御回路23よりなる回転機構２と、ディスク
１の上側と下側の両面に対応し、支持アーム31に支持さ
れた２個の検出ヘッド（以下単にヘッドという）３
U（ＨU)，３D （ＨD)、これらをディスク１の半径Ｒの
方向に移動するキャリッジ機構41、およびキャリッジ制
御回路42よりなる移動機構４と、適当なスライス電圧が
設定され、各ヘッド３U,３D の検出電圧より突起を検出
する突起検出部５、ならびにマイクロプロセッサ（ＭＰ
Ｕ）６とにより構成される。図３(b) は各ヘッド３
（Ｈ）の構成を示し、支持アーム31の先端に固定され
た、モノリシックまたは薄膜の磁気ヘッドをスライダー
32とし、これにピエゾ素子33を固定してシールド線34に
より突起検出部５に接続されている。ただしこの場合は
磁気ヘッドの出力は利用しない。
し、被検査の磁気ディスク（以下単にディスクという）
１を装着するスピンドル21、これを回転するモータ22お
よびモータ制御回路23よりなる回転機構２と、ディスク
１の上側と下側の両面に対応し、支持アーム31に支持さ
れた２個の検出ヘッド（以下単にヘッドという）３
U（ＨU)，３D （ＨD)、これらをディスク１の半径Ｒの
方向に移動するキャリッジ機構41、およびキャリッジ制
御回路42よりなる移動機構４と、適当なスライス電圧が
設定され、各ヘッド３U,３D の検出電圧より突起を検出
する突起検出部５、ならびにマイクロプロセッサ（ＭＰ
Ｕ）６とにより構成される。図３(b) は各ヘッド３
（Ｈ）の構成を示し、支持アーム31の先端に固定され
た、モノリシックまたは薄膜の磁気ヘッドをスライダー
32とし、これにピエゾ素子33を固定してシールド線34に
より突起検出部５に接続されている。ただしこの場合は
磁気ヘッドの出力は利用しない。
【０００４】突起検査においては、ＭＰＵ６の指令の下
に、モータ制御回路23とキャリッジ制御回路42が動作
し、モータ22によりディスク１が回転する。これに対し
てキャリッジ機構41が両ヘッド３U,３D を移動し、図示
しないローディング機構によりディスク１の両面にそれ
ぞれローディングする。両ヘッド３U,３D は、回転する
ディスク１の表面の周速ｖに対応したエアフローにより
浮上し、表面に存在する突起にスライダー31が衝突して
ピエゾ素子32が振動し、この検出電圧が突起検出部６に
入力し、設定されたスライス電圧により突起が検出され
る。
に、モータ制御回路23とキャリッジ制御回路42が動作
し、モータ22によりディスク１が回転する。これに対し
てキャリッジ機構41が両ヘッド３U,３D を移動し、図示
しないローディング機構によりディスク１の両面にそれ
ぞれローディングする。両ヘッド３U,３D は、回転する
ディスク１の表面の周速ｖに対応したエアフローにより
浮上し、表面に存在する突起にスライダー31が衝突して
ピエゾ素子32が振動し、この検出電圧が突起検出部６に
入力し、設定されたスライス電圧により突起が検出され
る。
【０００５】さて一般に検出ヘッドの浮上高には、支持
アーム31のばね力やスライダー32の形状などによるバラ
ツキがあり、ディスクの表面の周速が、例え同一であっ
てもヘッドにより浮上高は相違する。従って浮上高が異
なるヘッドでは、同一の突起に対する検出電圧が異な
り、検出された突起の大きさにムラが生じ、これが甚だ
しいときは検出ミスとなる。図４(a) において、前記の
両ヘッドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDには、図示のよう
にディスク１の周速ｖに対して上下に差があるとする。
これらに対する各ヘッドＨU,ＨD の検出電圧ｅU,ｅD の
特性曲線は、前記の理由により、図４(b) のように相違
する。例えば、同一の周速ｖ1 に対してｅD1＞ｅU1とな
り、これが突起の大きさに対する誤差となる。また周速
ｖ2 においては、ヘッドＨD により検出電圧ｅD2が検出
されるが、ヘッドＨU の検出電圧ｅU2は小さくてノイズ
レベルであり、スライス電圧ＳL によりカットされて検
出されず、検出ミスとなる。なお、ここでの各ヘッドＨ
U ,Ｈ D の検出電圧ｅ U ,ｅ D は、前記のスライス電圧Ｓ L
を超えた電圧である。このような突起の大きさの誤差や
検出ミスは突起検査の信頼性を損なうので、両ヘッドＨ
U,ＨD として、浮上高ＦHU，ＦHDが等しいものを使用す
ることが理想である。しかし、浮上特性が等しいものを
選択することは現実には困難であるため次善の策とし
て、当初においては適当な許容値Ｋを定め、｜ＦHU−Ｆ
HD｜＜Ｋとなる２個のヘッドを選択して、ディスク１の
両面の同時検査がなされている。なお、浮上高Ｆはテス
トディスクまたは干渉計などにより測定される。
アーム31のばね力やスライダー32の形状などによるバラ
ツキがあり、ディスクの表面の周速が、例え同一であっ
てもヘッドにより浮上高は相違する。従って浮上高が異
なるヘッドでは、同一の突起に対する検出電圧が異な
り、検出された突起の大きさにムラが生じ、これが甚だ
しいときは検出ミスとなる。図４(a) において、前記の
両ヘッドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDには、図示のよう
にディスク１の周速ｖに対して上下に差があるとする。
これらに対する各ヘッドＨU,ＨD の検出電圧ｅU,ｅD の
特性曲線は、前記の理由により、図４(b) のように相違
する。例えば、同一の周速ｖ1 に対してｅD1＞ｅU1とな
り、これが突起の大きさに対する誤差となる。また周速
ｖ2 においては、ヘッドＨD により検出電圧ｅD2が検出
されるが、ヘッドＨU の検出電圧ｅU2は小さくてノイズ
レベルであり、スライス電圧ＳL によりカットされて検
出されず、検出ミスとなる。なお、ここでの各ヘッドＨ
U ,Ｈ D の検出電圧ｅ U ,ｅ D は、前記のスライス電圧Ｓ L
を超えた電圧である。このような突起の大きさの誤差や
検出ミスは突起検査の信頼性を損なうので、両ヘッドＨ
U,ＨD として、浮上高ＦHU，ＦHDが等しいものを使用す
ることが理想である。しかし、浮上特性が等しいものを
選択することは現実には困難であるため次善の策とし
て、当初においては適当な許容値Ｋを定め、｜ＦHU−Ｆ
HD｜＜Ｋとなる２個のヘッドを選択して、ディスク１の
両面の同時検査がなされている。なお、浮上高Ｆはテス
トディスクまたは干渉計などにより測定される。
【０００６】上記の突起検査においては、突起との衝突
によりヘッドが損傷することがしばしばあり、このため
に取り替えが余儀なくされている。しかし、取り替えの
都度、上記の許容値Ｋ以下のヘッドを選択することは容
易でないので、最近では許容値Ｋを越えるものを使用し
て両面検査を行い、突起が検出されたとき浮上高Ｆが小
さい方のヘッドにより、検査をリトライ（再試行）する
方法が採られている。リトライ方法の概略を説明する
と、両ヘッドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHD の差が許容
値Ｋを越え、例えばＦHU＞ＦHD とする。両ヘッドによ
りディスクの上下の両面を同時に検査し、浮上高が大き
い方のヘッドＨU により突起が検出されたときは、ディ
スク１の表裏を反転し、浮上高が小さい方のヘッドＨD
で、反対側の表面の検査がリトライされている。
によりヘッドが損傷することがしばしばあり、このため
に取り替えが余儀なくされている。しかし、取り替えの
都度、上記の許容値Ｋ以下のヘッドを選択することは容
易でないので、最近では許容値Ｋを越えるものを使用し
て両面検査を行い、突起が検出されたとき浮上高Ｆが小
さい方のヘッドにより、検査をリトライ（再試行）する
方法が採られている。リトライ方法の概略を説明する
と、両ヘッドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHD の差が許容
値Ｋを越え、例えばＦHU＞ＦHD とする。両ヘッドによ
りディスクの上下の両面を同時に検査し、浮上高が大き
い方のヘッドＨU により突起が検出されたときは、ディ
スク１の表裏を反転し、浮上高が小さい方のヘッドＨD
で、反対側の表面の検査がリトライされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のリトライにはか
なりの時間を必要とする。例えば５インチのディスクの
場合、トラック数は約３万あり、回転数を２４００／分
とすると１面の検査時間は約１２分であり、最初の検査
とリトライ検査で都合２４分以上となる。ディスクの生
産量はますます増加しており、これに対応して上記のリ
トライ検査時間を短縮することが要請されている。この
発明は以上に鑑みてなされたもので、磁気ディスクに対
するリトライ検査時間を短縮し、検査のスループットを
向上する検査方法を提供することを目的とする。
なりの時間を必要とする。例えば５インチのディスクの
場合、トラック数は約３万あり、回転数を２４００／分
とすると１面の検査時間は約１２分であり、最初の検査
とリトライ検査で都合２４分以上となる。ディスクの生
産量はますます増加しており、これに対応して上記のリ
トライ検査時間を短縮することが要請されている。この
発明は以上に鑑みてなされたもので、磁気ディスクに対
するリトライ検査時間を短縮し、検査のスループットを
向上する検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は磁気ディスク
の突起検査方法であって、前記のディスク突起検査方法
において、回転するディスクの周速ｖに対する、両ヘッ
ドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDの特性を予め測定する。
両ヘッドの浮上高の差｜ＦHU−ＦHD｜が許容値Ｋより大
きいとき、両浮上高ＦHU，ＦHDの小さい方、例えばヘッ
ドＨD に対する所定の周速ｖD でディスクを回転し、両
ヘッドＨU,ＨD によりディスクの両面を同時に検査す
る。ヘッドＨD の検出電圧ｅDD によりディスクの下側の
表面の突起データを求める。また、ヘッドＨU が所定の
スライス電圧より高い電圧ｅUDを検出した都度、キャリ
ッジ機構によるヘッドキャリッジを一時停止し、ディス
クの回転を制御して、ヘッドＨU の浮上高ＦHUが、周速
ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDに等しくなる周速
ｖU に低下し、ヘッドＨU により同一トラックに対する
リトライ検査を行い、このヘッドＨU の検出電圧ｅUU に
よりディスクの上側の表面の突起データを求めるもので
ある。
の突起検査方法であって、前記のディスク突起検査方法
において、回転するディスクの周速ｖに対する、両ヘッ
ドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDの特性を予め測定する。
両ヘッドの浮上高の差｜ＦHU−ＦHD｜が許容値Ｋより大
きいとき、両浮上高ＦHU，ＦHDの小さい方、例えばヘッ
ドＨD に対する所定の周速ｖD でディスクを回転し、両
ヘッドＨU,ＨD によりディスクの両面を同時に検査す
る。ヘッドＨD の検出電圧ｅDD によりディスクの下側の
表面の突起データを求める。また、ヘッドＨU が所定の
スライス電圧より高い電圧ｅUDを検出した都度、キャリ
ッジ機構によるヘッドキャリッジを一時停止し、ディス
クの回転を制御して、ヘッドＨU の浮上高ＦHUが、周速
ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDに等しくなる周速
ｖU に低下し、ヘッドＨU により同一トラックに対する
リトライ検査を行い、このヘッドＨU の検出電圧ｅUU に
よりディスクの上側の表面の突起データを求めるもので
ある。
【０００９】
【作用】上記の突起検査方法においては、予め測定され
た両ヘッドＨU,ＨD の浮上高の差｜ＦHU−ＦHD｜が許容
値Ｋより大きいときは、両浮上高ＦHU，ＦHDの小さい
方、例えばヘッドＨD に対する所定の周速ｖD でディス
クが回転され、両ヘッドＨU,ＨD によりディスクの両面
が同時に検査され、ヘッドＨD の検出電圧ｅDDは信頼性
があるとして、これより下側の表面の突起データが求め
られる。一方、ヘッドＨU が電圧ｅUDを検出すると、そ
の都度、ヘッドキャリッジが一時停止され、ディスクの
回転を制御して、ヘッドＨU の浮上高ＦHUが、上記の周
速ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDと等しくなる周
速ｖU に低下され、ヘッドＨU により同一トラックに対
するリトライ検査が行なわれ、その検出電圧ｅUUより上
側の表面の突起データが求められる。上記のリトライ検
査は、ディスクの周速をｖU に低下することにより大き
い浮上高のヘッドＨU を小さい浮上高のヘッドＨD に等
化させることが着眼点であり、また、ヘッドＨU が電圧
ｅUDを検出した都度、そのトラックの１周に対してのみ
リトライ検査がなされるので、リトライ検査は極めて短
時間で終了し、従来のディスクのすべてのトラックに対
するリトライ検査方法に比較して、検査時間が大幅に短
縮されるものである。なお上記においては、両浮上高Ｆ
HU，ＦHDの小さい方をヘッドＨD としたが、これが反対
にヘッドＨU の場合は、上記の両ヘッドと両浮上高およ
び両周速を入れ替えれば、同一の方法で検査を行うこと
ができることは勿論である。
た両ヘッドＨU,ＨD の浮上高の差｜ＦHU−ＦHD｜が許容
値Ｋより大きいときは、両浮上高ＦHU，ＦHDの小さい
方、例えばヘッドＨD に対する所定の周速ｖD でディス
クが回転され、両ヘッドＨU,ＨD によりディスクの両面
が同時に検査され、ヘッドＨD の検出電圧ｅDDは信頼性
があるとして、これより下側の表面の突起データが求め
られる。一方、ヘッドＨU が電圧ｅUDを検出すると、そ
の都度、ヘッドキャリッジが一時停止され、ディスクの
回転を制御して、ヘッドＨU の浮上高ＦHUが、上記の周
速ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDと等しくなる周
速ｖU に低下され、ヘッドＨU により同一トラックに対
するリトライ検査が行なわれ、その検出電圧ｅUUより上
側の表面の突起データが求められる。上記のリトライ検
査は、ディスクの周速をｖU に低下することにより大き
い浮上高のヘッドＨU を小さい浮上高のヘッドＨD に等
化させることが着眼点であり、また、ヘッドＨU が電圧
ｅUDを検出した都度、そのトラックの１周に対してのみ
リトライ検査がなされるので、リトライ検査は極めて短
時間で終了し、従来のディスクのすべてのトラックに対
するリトライ検査方法に比較して、検査時間が大幅に短
縮されるものである。なお上記においては、両浮上高Ｆ
HU，ＦHDの小さい方をヘッドＨD としたが、これが反対
にヘッドＨU の場合は、上記の両ヘッドと両浮上高およ
び両周速を入れ替えれば、同一の方法で検査を行うこと
ができることは勿論である。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における、両ヘッ
ドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDと、検出電圧ｅU,ｅD の
特性曲線図を示し、図２は検査手順に対するフローチャ
ートを示す。なお突起検査装置は前記した図３と同一と
する。
ドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDと、検出電圧ｅU,ｅD の
特性曲線図を示し、図２は検査手順に対するフローチャ
ートを示す。なお突起検査装置は前記した図３と同一と
する。
【００１１】以下、図１〜図３によりこの発明の突起検
査方法を説明する。検査においては、前記した許容値Ｋ
を適用し、また準備として両ヘッドＨU,ＨD の浮上特性
を予め測定する。ただし浮上測定は、ヘッドの取り替え
の際に、取り替えたヘッドについて行えばよい。図２
(a) は準備に対するフローチャートを示す。その各処理
ステップは○付き数字で示し、参照説明とする。まず、
回転するディスク１の周速ｖを変化し、両ヘッドＨU,Ｈ
D の浮上高ＦHU，ＦHDの特性を測定する。両者の差｜
ＦHU−ＦHD｜を許容値Ｋに比較し、差がＫより小さい
とき（Ｙｅｓ）は、当初に述べた条件であるので、両ヘ
ッドＨU,ＨD によりディスク１の両面に対する同時検査
を実行し、それぞれの検出電圧より突起データが求め
られる。これに対して｜ＦHU−ＦHD｜＞Ｋのときは、図
２(b) に示すフローチャートに従って突起検査がなされ
る。いま図１のようにＦHU＞ＦHDとすると、ヘッドＨU
とＨD の検出電圧ｅU,ｅDはｅU ＜ｅD である。また、
図のｖD はヘッドＨD に対する所定の周速とする。ディ
スク１を周速ｖD で回転し、両ヘッドＨU,ＨD により
ディスク１の両面を同時検査する。ヘッドＨD の検出電
圧ｅDDは突起検出部５に入力し、ディスクの下側表面に
対する突起データが求められ、ＭＰＵ６によりメモリ６
a に収録される。この間に、ヘッドＨU が所定のスラ
イス電圧より高い電圧ｅUDを検出したとき（Ｙｅｓ）は
、ＭＰＵ６より移動機構４に対して停止を指示して、
ヘッドキャリッジを停止するとともに、回転機構２に対
して減速を指示して、ディスク１の周速をｖU に低下す
る。なお、前記において、電圧ｅ UD を検出しないと
きには特別な処理はない。検出を判定処理としているの
で、Ｎｏ判定の状態を示せば、点線で示すように、の
頭に戻る、いわゆる検出待ちループとなる。さて、この
周速ｖU により、ヘッドＨU の浮上高ＦHUは、図１に示
すように、周速ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDと
等しくなる。ここでヘッドＨU により、上記の電圧ｅUD
が検出されたトラックの１周に対してリトライ検査を行
い、その検出電圧ｅUUが突起検出部５に入力し、ディス
クの上側表面に対する突起データが求められ、メモリ６
a に収録される。ＭＰＵ６においては、ディスク１の
各トラックに対する検査の進行状態が把握されており、
全トラックに対する検査が未終了（のＮＯ）であれ
ば、ルーチンはステップに戻って上記と同様の検査が
繰り返されて、当該ディスクの検査が終了する(10)。以
上のステップ〜のリトライ検査はトラックの１周に
対してのみなされるので、多数のトラックに対してリト
ライ検査を行っても、その所要時間は短くて、ディスク
１の全面の検査時間に対してあまり影響しない。
査方法を説明する。検査においては、前記した許容値Ｋ
を適用し、また準備として両ヘッドＨU,ＨD の浮上特性
を予め測定する。ただし浮上測定は、ヘッドの取り替え
の際に、取り替えたヘッドについて行えばよい。図２
(a) は準備に対するフローチャートを示す。その各処理
ステップは○付き数字で示し、参照説明とする。まず、
回転するディスク１の周速ｖを変化し、両ヘッドＨU,Ｈ
D の浮上高ＦHU，ＦHDの特性を測定する。両者の差｜
ＦHU−ＦHD｜を許容値Ｋに比較し、差がＫより小さい
とき（Ｙｅｓ）は、当初に述べた条件であるので、両ヘ
ッドＨU,ＨD によりディスク１の両面に対する同時検査
を実行し、それぞれの検出電圧より突起データが求め
られる。これに対して｜ＦHU−ＦHD｜＞Ｋのときは、図
２(b) に示すフローチャートに従って突起検査がなされ
る。いま図１のようにＦHU＞ＦHDとすると、ヘッドＨU
とＨD の検出電圧ｅU,ｅDはｅU ＜ｅD である。また、
図のｖD はヘッドＨD に対する所定の周速とする。ディ
スク１を周速ｖD で回転し、両ヘッドＨU,ＨD により
ディスク１の両面を同時検査する。ヘッドＨD の検出電
圧ｅDDは突起検出部５に入力し、ディスクの下側表面に
対する突起データが求められ、ＭＰＵ６によりメモリ６
a に収録される。この間に、ヘッドＨU が所定のスラ
イス電圧より高い電圧ｅUDを検出したとき（Ｙｅｓ）は
、ＭＰＵ６より移動機構４に対して停止を指示して、
ヘッドキャリッジを停止するとともに、回転機構２に対
して減速を指示して、ディスク１の周速をｖU に低下す
る。なお、前記において、電圧ｅ UD を検出しないと
きには特別な処理はない。検出を判定処理としているの
で、Ｎｏ判定の状態を示せば、点線で示すように、の
頭に戻る、いわゆる検出待ちループとなる。さて、この
周速ｖU により、ヘッドＨU の浮上高ＦHUは、図１に示
すように、周速ｖD におけるヘッドＨD の浮上高ＦHDと
等しくなる。ここでヘッドＨU により、上記の電圧ｅUD
が検出されたトラックの１周に対してリトライ検査を行
い、その検出電圧ｅUUが突起検出部５に入力し、ディス
クの上側表面に対する突起データが求められ、メモリ６
a に収録される。ＭＰＵ６においては、ディスク１の
各トラックに対する検査の進行状態が把握されており、
全トラックに対する検査が未終了（のＮＯ）であれ
ば、ルーチンはステップに戻って上記と同様の検査が
繰り返されて、当該ディスクの検査が終了する(10)。以
上のステップ〜のリトライ検査はトラックの１周に
対してのみなされるので、多数のトラックに対してリト
ライ検査を行っても、その所要時間は短くて、ディスク
１の全面の検査時間に対してあまり影響しない。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるデ
ィスクの突起検査方法においては、上側と下側の検出ヘ
ッドの浮上特性に許容値Ｋ以上のバラツキがある場合、
ディスクの周速をｖU 低下することにより、大きい浮上
高のヘッドＨU を小さい浮上高のヘッドＨD に等化でき
ることに着眼し、ヘッドＨU が電圧ｅUDを検出した都度
に、ヘッドのキャリッジを停止してディスクの周速をｖ
U に低下し、そのトラックの１周に対してのみリトライ
検査を行うもので、浮上特性が異なる両検出ヘッドの使
用が可能となるとともに、従来のリトライ検査方法に比
較して検査時間が大幅に短縮される効果には優れたもの
がある。
ィスクの突起検査方法においては、上側と下側の検出ヘ
ッドの浮上特性に許容値Ｋ以上のバラツキがある場合、
ディスクの周速をｖU 低下することにより、大きい浮上
高のヘッドＨU を小さい浮上高のヘッドＨD に等化でき
ることに着眼し、ヘッドＨU が電圧ｅUDを検出した都度
に、ヘッドのキャリッジを停止してディスクの周速をｖ
U に低下し、そのトラックの１周に対してのみリトライ
検査を行うもので、浮上特性が異なる両検出ヘッドの使
用が可能となるとともに、従来のリトライ検査方法に比
較して検査時間が大幅に短縮される効果には優れたもの
がある。
【図１】 この発明の一実施例における、両ヘッドＨU,
ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDと、検出電圧ｅU,ｅD の特性曲
線図を示す。
ＨD の浮上高ＦHU，ＦHDと、検出電圧ｅU,ｅD の特性曲
線図を示す。
【図２】 図１に対する突起検査手順のフローチャート
を示し、(a) は準備に対するフローチャート、(b) はリ
トライ検査を含む検査手順のフローチャートである。
を示し、(a) は準備に対するフローチャート、(b) はリ
トライ検査を含む検査手順のフローチャートである。
【図３】 (a) は突起検査装置の概略構成図、(b) は各
ヘッド３U,３D （ＨU,ＨD)の構成図である。
ヘッド３U,３D （ＨU,ＨD)の構成図である。
【図４】 (a) は両ヘッドＨU,ＨD の浮上高ＦHU，ＦHD
の特性の一例を示す曲線図、(b) は両ヘッドＨU,ＨD の
検出電圧ｅU,ｅD の特性の一例を示す曲線図である。
の特性の一例を示す曲線図、(b) は両ヘッドＨU,ＨD の
検出電圧ｅU,ｅD の特性の一例を示す曲線図である。
１…磁気ディスク、ディスク、２…回転機構、21…スピ
ンドル、22…モータ、23…モータ制御回路、３（Ｈ）…
検出ヘッド、ヘッド、３U(ＨU)…上側ヘッド、３D(ＨD)
…下側ヘッド 31…支持アーム、32…スライダー、33…
ピエゾ素子、34…シールド線、４…移動機構、41…キャ
リッジ機構、42…キャリッジ制御回路、５…突起検出
部、６…マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、６a …メモ
リ、Ｆ…浮上高、ＦHU…ヘッドＨU の浮上高、ＦHD…ヘ
ッドＨD の浮上高、ｅ…検出電圧、ｅU …ヘッドＨU の
検出電圧、ｅD …ヘッドＨD の検出電圧、ｖ…ディスク
の周速、〜(10)…フローチャートのステップ番号。
ンドル、22…モータ、23…モータ制御回路、３（Ｈ）…
検出ヘッド、ヘッド、３U(ＨU)…上側ヘッド、３D(ＨD)
…下側ヘッド 31…支持アーム、32…スライダー、33…
ピエゾ素子、34…シールド線、４…移動機構、41…キャ
リッジ機構、42…キャリッジ制御回路、５…突起検出
部、６…マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、６a …メモ
リ、Ｆ…浮上高、ＦHU…ヘッドＨU の浮上高、ＦHD…ヘ
ッドＨD の浮上高、ｅ…検出電圧、ｅU …ヘッドＨU の
検出電圧、ｅD …ヘッドＨD の検出電圧、ｖ…ディスク
の周速、〜(10)…フローチャートのステップ番号。
Claims (1)
- 【請求項１】 回転機構に被検査の磁気ディスクを装着
して回転し、該ディスクの上側と下側の両面に対応する
検出ヘッドＨU と検出ヘッドＨD を、キャリッジ機構に
より移動し、該ディスクにローディングしてそれぞれ浮
上させ、前記両面に存在する突起を検出するディスク突
起検査方法において、予め、前記回転する磁気ディスク
の周速ｖに対する、前記両検出ヘッドＨU,ＨD の浮上高
ＦHU，ＦHDの特性を測定し、該両浮上高の差｜ＦHU−Ｆ
HD｜が許容値Ｋより大きいとき、該両浮上高ＦHU，ＦHD
の小さい方、例えば検出ヘッドＨD に対する所定の周速
ｖD で前記磁気ディスクを回転し、前記両検出ヘッドＨ
U,ＨD により前記両面を同時に検査し、該検出ヘッドＨ
D の検出電圧ｅDD により前記下側の表面の突起データを
求め、かつ、該検出ヘッドＨU が所定のスライス電圧よ
り高い電圧ｅUDを検出した都度、前記キャリッジ機構に
よるヘッドキャリッジを一時停止し、該ディスクの回転
を制御して、該検出ヘッドＨU の浮上高ＦHUが、前記周
速ｖD における検出ヘッドＨD の浮上高ＦHDに等しくな
る周速ｖU に低下し、該検出ヘッドＨU により同一トラ
ックに対するリトライ検査を行い、該検出ヘッドＨU の
検出電圧ｅUU により、前記上側の表面の突起データを求
めることを特徴とする、磁気ディスクの突起検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17216493A JP2944017B2 (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 磁気ディスクの突起検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17216493A JP2944017B2 (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 磁気ディスクの突起検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076365A JPH076365A (ja) | 1995-01-10 |
| JP2944017B2 true JP2944017B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=15936765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17216493A Expired - Fee Related JP2944017B2 (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 磁気ディスクの突起検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2944017B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7064659B2 (en) | 2004-08-31 | 2006-06-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Glide testing of disks with calibration confirmation testing by inducing collision of the slider with production disk surface |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP17216493A patent/JP2944017B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH076365A (ja) | 1995-01-10 |
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Legal Events
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