JP2935444B2 - クリーンルーム用垂直搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム用垂直搬送装置Info
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Description
ンルーム間に配置され、半導体等の部品を積んだ台車を
搭載する台車移載装置を垂直方向に搬送するクリーンル
ーム用垂直搬送装置に関する。
精密化等の要請から、室内の塵埃を極めて少ない状態に
保つクリーンルームが採用されている。例えば、半導体
のチップの集積度が高くなるにつれて、半導体製造工場
におけるクリーンルームの清浄度も高くすることが要求
されている。工場内に複数のクリーンルームを隔離して
レイアウトした場合や多層階にレイアウトした場合、多
層階のクリーンルーム間を人や物を運ぶためのクリーン
ルーム用垂直搬送装置が設置されるが、このクリーンル
ーム用垂直搬送装置内も、クリーンルームの清浄度を高
く維持し、搬送される部品をクリーンに保護する必要が
ある。
搬送装置として、例えば、特開平3−152004号公
報に示すものが知られている。このクリーンルーム用垂
直搬送装置は、前面と後面とを開放した荷収納部の後面
側にフィルタを配設するととともに、このフィルタの後
方に隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供給路
に吐出部が連通し、かつ、荷収納部を通ったクリーンエ
アを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔壁
の後方に本体外板を介してエア回収路を形成するととと
もに、このエア回収路を、前記送風機を配設した区画室
内に連通したものである。
ーンルーム用垂直搬送装置にあっては、フィルタにより
清浄空気が荷収納部に供給されるものの、荷収納部は、
通路に向いた前面が開放され、通路内の昇降台等の機械
装置と荷収納部上の荷物は同じ空間内に配されているの
で、機械装置から発生する塵埃の一部が荷物に付着し、
荷物が汚染されるという問題があった。
なされたもので、その目的は、垂直に搬送される荷物の
汚染を防止するクリーンルーム用垂直搬送装置を提供す
ることである。
される搬入ステーション及び搬出ステーションを有する
シャフトを、垂直スリットを有する仕切壁を介して、搬
入ステーション及び搬出ステーションに連結される昇降
用シャフトと機械用シャフトとに分割して構成し、シャ
フト内に、昇降用シャフト内に位置する台車支持部と機
械用シャフト内に位置する機械部を有し台車支持部と機
械部が連結部を介して一体化される台車移載装置を、該
シャフトの仕切壁の垂直スリットに前記連結部を貫通さ
せて垂直方向移動自在に設け、機械用シャフト内に、台
車移載装置を垂直方向に移動自在にさせる昇降手段を配
設し、昇降用シャフトの壁面に沿って、該壁面に沿う給
気経路を該昇降用シャフト内と隔てて形成するように多
数の給気孔を有する給気壁を配設し、昇降用シャフトの
頂部または底部に、給気経路に連通し清浄空気が供給さ
れる吹出口を設け、機械用シャフトの壁面に沿って、該
機械用シャフト内の汚染空気を排出する排気経路を該機
械用シャフト内と隔てて形成するように多数の排出孔を
有する排気壁を設け、機械用シャフトに、排気経路に連
通し汚染空気を排出する排気口を設けたことを特徴とす
る。
清浄空気が供給される。清浄空気は、昇降用シャフトの
給気経路を介して給気壁の給気孔から平均に昇降用シャ
フト内に供給され、さらに、昇降用シャフト内から仕切
壁の垂直スリットを通り抜けて機械用シャフト内に導か
れる。
ャフト内への清浄空気の流れが形成される中において、
機械用シャフト内に台車移載装置の機械部や昇降手段か
ら塵等が発生し、機械用シャフト内の空気が汚染されて
も、機械用シャフト内を流れる清浄空気は、塵等を含ん
だ汚染空気となって排気壁へと向かう。汚染空気は、排
気壁の排気孔を介して排気経路に導かれ、さらに、排気
口に導かれる。即ち、機械用シャフト内で台車移載装置
の機械部や昇降手段から塵等が発生して生じた汚染空気
は、昇降用シャフト内へは流れない。
明する。図1ないし図4は本発明の実施例に係わるクリ
ーンルーム用垂直搬送装置を示す。
号2は第2の建屋をそれぞれ示し、第1の建屋1には第
1のクリーンルーム用垂直搬送装置3及びクリーンルー
ム1Aが、第2の建屋2には第2のクリーンルーム用垂
直搬送装置4及びクリーンルーム2Aがそれぞれ設置さ
れ、第1のクリーンルーム用垂直搬送装置3と第2のク
リーンルーム用垂直搬送装置4とはリニアクリーンチュ
ーブ5を介して連結されている。リニアクリーンチュー
ブ5内には、走行自在の台車6が配されている。
ルーム用垂直搬送装置3は、シャフト7を有し、シャフ
ト7は、昇降用シャフト8と、機械用シャフト9とで構
成されている。昇降用シャフト8の上部にはリニアクリ
ーンチューブ5に連結される搬入ステーション10が、
昇降用シャフト8の下部にはクリーンルーム1Aに連結
される搬出ステーション11がそれぞれ設けられてい
る。
有する仕切壁12を介して、昇降用シャフト8と機械用
シャフト9とに分割されて構成されている。シャフト7
内に、台車移載装置13が垂直方向移動自在に設けら
れ、台車移載装置13は、昇降用シャフト8内に位置す
る台車支持部14と、機械用シャフト9内に位置する機
械部15と、シャフト7の仕切壁12の垂直スリット1
2Aを貫通する連結部16とから構成されている。
を垂直方向に移動自在にする昇降手段17が配設されて
いる。即ち、この昇降手段17は、機械用シャフト9内
の上部に配設された巻上げ装置17Aと、この巻上げ装
置17Aから繰り出す索体17Bとを有し、索体17B
の途中に、上記台車移載装置13の機械部15が取り付
けられている。
に、清浄空気が供給される吹出口18が形成されてい
る。昇降用シャフト8の壁面8Cに沿って、吹出口18
からの清浄空気を導く給気経路19を介して給気壁20
が、壁面8Cから所定の距離隔てて平行配置され、給気
壁20は多数の給気孔20A(図4)を有している。
機械用シャフト9内の汚染空気を排出する排気経路21
を介して排気壁22が配置され、排気壁22は多数の排
気孔22Aを有している。
気経路21内と連通する排気口23が設けられている。
そして、第1の建屋1の床部1Cには、循環空調機24
が設置され、この循環空調機24の還流側は、ダクト2
5を介して排気口23に連結されている。この循環空調
機24の送気側は、ダクト26を介して、シャフト7の
頂部8A上に設置したHEPAフィルタからなる超高性
能フィルタ27の入口部に連結し、さらに、超高性能フ
ィルタ27の出口部は吹出口18に連結されている。
第2のクリーンルーム用垂直搬送装置4から、リニアク
リーンチューブ5内を、部品を収納した台車6が搬送さ
れ、第1のクリーンルーム用垂直搬送装置3のシャフト
7の搬入ステーション10に到着する。搬入ステーショ
ン10では、リニアクリーンチューブ5の端部に到着し
た台車6が、該搬入ステーション10に上昇位置する台
車移載装置13のシャトルフォーク機構の作動により、
台車移載装置13上に乗り移る。
を駆動させると、台車6を搭載した台車移載装置13が
シャフト7内を下降し、搬出ステーション11に到達す
る。搬出ステーション11では、台車移載装置13上の
台車6は、クリーンルーム1Aに搬出される。
ルタ27を介して清浄空気(イ)が、昇降用シャフト8
の吹出口18に供給される。清浄空気(イ)は、昇降用
シャフト8の給気経路19を介して給気壁20の給気孔
20Aから平均に昇降用シャフト8内に供給され、さら
に、昇降用シャフト8内から仕切壁12の垂直スリット
12Aを介して機械用シャフト9内に導かれる。
シャフト9内への清浄空気(イ)の流れが形成される中
において、機械用シャフト9内に台車移載装置13の機
械部15や昇降手段17から塵等が発生し、機械用シャ
フト9内の空気が汚染されても、機械用シャフト9内を
流れる清浄空気(イ)は、塵等を含んだ汚染空気(ロ)
となって排気壁22へと向かう。汚染空気(ロ)は、排
気壁22を介して排気経路21に導かれ、さらに、排気
口23に導かれ、ダクト25を介して循環空調機24に
還流する。
置13の機械部15や昇降手段17から塵等が発生して
生じた汚染空気(ロ)は、昇降用シャフト8内へは流れ
ない。
8から機械用シャフト9へと清浄空気(イ)の流れが形
成されている。機械用シャフト9内に塵等が発生し、機
械用シャフト9内の空気が汚染されても、発生した汚染
空気(ロ)は機械用シャフト9内から排気壁22を介し
て排気経路21に導かれる。
染空気(ロ)は昇降用シャフト8内へは流れず、昇降用
シャフト8内を常に清浄状態に保持し、台車移載装置1
3に乗った台車6を清浄空気(イ)で包み込み、台車6
に積み込まれた半導体等の部品を空気汚染から防止する
ことができる。
ト8の頂部8Aに、清浄空気(イ)が供給される吹出口
18が形成され、清浄空気(イ)は給気経路19内を下
降しながら給気壁20を介して昇降用シャフト8内に供
給されているが、昇降用シャフト8の底部8Bに、清浄
空気が供給される吹出口を形成することもできる。
昇降用シャフトから機械用シャフトへと清浄空気の流れ
が形成されている。機械用シャフト内に塵等が発生し、
機械用シャフト内に流入した清浄空気が汚染されても、
清浄空気から変化して発生した汚染空気は、機械用シャ
フト内から排気壁を介して排気経路に導かれる。
空気は昇降用シャフト内へは流れず、昇降用シャフト内
を常に清浄状態に保持し、台車移載装置に乗った台車を
清浄空気で包み込み、台車に積み込まれた半導体等の部
品を空気汚染から防止することができる効果を奏する。
搬送装置の内部を示す側面図である。
正面図である。
置の内部を示す平面図である。
図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 台車が搬出入される搬入ステーション及
び搬出ステーションを有するシャフトを、垂直スリット
を有する仕切壁を介して、搬入ステーション及び搬出ス
テーションに連結される昇降用シャフトと機械用シャフ
トとに分割して構成し、 シャフト内に、昇降用シャフト内に位置する台車支持部
と機械用シャフト内に位置する機械部を有し台車支持部
と機械部が連結部を介して一体化される台車移載装置
を、該シャフトの仕切壁の垂直スリットに前記連結部を
貫通させて垂直方向移動自在に設け、 機械用シャフト内に、台車移載装置を垂直方向に移動自
在にさせる昇降手段を配設し、 昇降用シャフトの壁面に沿って、該壁面に沿う給気経路
を該昇降用シャフト内と隔てて形成するように多数の給
気孔を有する給気壁を配設し、 昇降用シャフトの頂部または底部に、給気経路に連通し
清浄空気が供給される吹出口を設け、 機械用シャフトの壁面に沿って、該機械用シャフト内の
汚染空気を排出する排気経路を該機械用シャフト内と隔
てて形成するように多数の排出孔を有する排気壁を設
け、 機械用シャフトに、排気経路に連通し汚染空気を排出す
る排気口を設けたことを特徴とするクリーンルーム用垂
直搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25386291A JP2935444B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | クリーンルーム用垂直搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25386291A JP2935444B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | クリーンルーム用垂直搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0597352A JPH0597352A (ja) | 1993-04-20 |
JP2935444B2 true JP2935444B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=17257166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25386291A Expired - Fee Related JP2935444B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | クリーンルーム用垂直搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2935444B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008172089A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | リフタ装置 |
JP4502142B2 (ja) | 2007-11-07 | 2010-07-14 | 村田機械株式会社 | 鉛直循環搬送設備 |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP25386291A patent/JP2935444B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH0597352A (ja) | 1993-04-20 |
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